TWI281531B - Screw pump and screw gear - Google Patents

Description

1281531 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於例如使用於在半導體製造過程中之螺 旋泵以及適用於該螺旋泵之螺輪。 【先前技術】 一般而言，在半導體製造過程中，爲了製作出真空環

境，螺旋泵係作爲真空泵加以使用。就是說，在半導體製 造過程中，爲了在真空環境下對晶圓進行各種處理，一方 面將流體之F2氣體（氟氣）供應到收容有晶圓之容器，一方 面將該氣體同時與殘留於該容器內之雜質（〇2(氧氣）、 C〇2(二氧化碳）等）以真空泵吸出，在容器內製造出乾淨之真 空環境。作爲如此之真空泵，從以往，已知有例如專利文 獻1所記載之螺旋泵。 在該專利文獻1之螺旋泵，呈螺旋狀咬合之一對螺輪， 也就是一對螺旋轉子作爲流體移送體（氣體移送體）行使功 能般加以構成。各螺輪，係對於藉由驅動源旋轉之旋轉軸 作一體旋轉般地連接。各螺輪之導程角（扭轉角），係根據 該螺輪之螺紋（螺旋線）做連續性變化，具體而言，導程角 係由螺輪中的低壓（吸入）側之軸方向端部向高壓（排出）側 之軸方向端部作遞增。又，導程角係定義爲對於螺輪軸線 之螺紋之傾斜角。在隨著前述旋轉軸之旋轉而兩螺輪進行 旋轉時，惰性氣體係由外部吸入到泵室內，在該泵室中藉 由兩螺輪一方面受到壓縮一方面向排出側移送之後，由泵 室內排出到外部。 第4(a)圖係說明專利文獻1所記載之螺輪之導程角Θ之 1281531 ^ 變化態樣之曲線圖。第4(a)圖係將從螺輪之螺紋（螺旋線） 起點（吸入側端部）到終點（排出側端部）之間的導程角6的 變化，以在螺輪之軸線周圍之旋轉角度x作爲橫軸加以表 ; 示。如第4(a)圖所示般，從吸入側端部到排出側端部之螺 : 紋之導程角0的變化，能夠以在螺輪之軸線周圍之旋轉角 度X之函數0 (X)表示。又，關於第4(a)圖之曲線圖之橫軸， ’ 對應於螺紋之吸入側端部之旋轉角度X係定義爲旋轉起始 ' 角0，對應於螺紋之排出側端部之旋轉角度X係定義爲旋 轉終止角E。 由第4(a)圖之曲線圖可得知，導程角0係從對應在旋轉 起始角0處之導程角亦即旋轉起始導程角DegS(例如50 度），到旋轉終止角 E處之導程角亦即旋轉終止導程角 DegE(例如80度）進行遞增。因此，在專利文獻1中，如第 4(b)圖所示般，螺輪之軸方向之全長L，可藉由使用旋轉起 始導程角DegS和旋轉終止導程角DegE之遞增函數0 U)加 以定義。

也就是說，顯示螺輪之導程角Θ變化之遞增函數i9 (X) 可由下列方程式（11)加以表示，在方程式（Π)中之常數k可 由下列方程式（1 2)加以表示。又，r爲螺輪之節距圓之半徑。 0(x) = DegS + k*x ...(11) k = ( DegE - DegS ) / (2 7Γ r · E) ··· (12) 由前述方程式（11)、（12)，螺輪之全長L，可藉由下述方 程式（13)定義性地求取。 L = 1 / k · log( sin ( DegS + k · 2τγ r · E ) / sin ( DegS )…（13) 上述方程式（13)係說明了螺輪之全長L乃是藉由該螺輪 1281531 ^ 中的旋轉起始導程角DegS及旋轉終止導程角DegE加以決 定。 又，在上述專利文獻1之旋轉泵中，由於螺輪使得形成 ; 於泵室內之複數個氣體作用室之容積，會由吸入側朝向排 : 出側逐漸地變小，氣體會隨著被移送向排出側之作用室而 被壓縮。從吸入側到排出側之作用室的容積變化態樣，換 " 句話說在變更旋轉泵之氣體壓縮特性時，影響到螺輪之全 、 長L之前述旋轉起始導程角DegS及前述旋轉終止導程角 DegE會受到變更。另一方面，由於螺輪係收容於真空泵之 泵室中之物件，所以螺輪之全長L，必須設定爲能夠將螺 輪收容於泵室內之値。但是，在爲了變更旋轉泵之氣體壓 縮特性而變更旋轉起始導程角 DegS或旋轉終止導程角 DegE時，螺輪之全長L亦有成爲無法將螺輪收容於泵室內 之値的情形。因此，專利文獻1之旋轉泵，其氣體壓縮特 性之變更自由度較差。 〔專利文獻1〕日本特開平9-32766號公報

本發明之目的係提供氣體壓縮特性之變更自由度優良 之旋轉泵及螺輪。 爲了達到前述目的，本發明係一種在從螺紋之起點到終 點之間具有導程角做連續性變化之部分之螺輪，且提供關 於前述螺輪之軸線周圍之旋轉角度，係將從對應於該螺紋 fE點之旋轉角度亦即旋轉起始角，到對應於該螺紋終點之 旋轉角度亦即旋轉終止角之間的該導程角變化，以導程角 變化函數表示時，該導程角變化函數由變化態樣不同之複 1281531 數個變化函數之組合而構成之螺輪。 又，本發明進而提供一種旋轉泵裝置，係具備一對互相 咬合之螺輪以及收容兩螺輪之泵室，藉由兩螺輪互相咬合 進行旋轉之方式，使吸入在泵室內之流體在該栗室內一面 被壓縮，一面朝螺輪的軸方向被移送。各螺輪係由前述構 成之螺輪所構成，在各螺輪之軸方向相鄰的螺紋頂部分之 間，形成有壓縮流體用之作用室。 【實施方法】

以下，將根據第1圖到第3 (b)圖說明將本發明具體化之 一實施形態。 如第1圖所示般，本實施形態中之螺旋真空泵11係具 備成筒狀之轉子套殼元件12、接合於轉子套殻元件12之前 端（第1圖中爲左端）之呈蓋狀之前方套殼元件13、及接合 於轉子套殼元件12之後端（第1圖中爲右端）之呈板狀之後 方套殻元件14。後方套殻元件14形成有具有段差之安裝孔 1 4 a，軸承體1 5係嵌合於該安裝孔1 4 a之態樣下藉由螺栓 固定於後方套殻元件14。前述轉子套殼元件12中，收容有 一對行使作爲流體移送體功能之螺旋轉子（螺輪）1 6。在該 等螺旋轉子1 6外周面與轉子套殼元件1 2內周面之間，形 成有泵室1 7。又，針對前述螺旋轉子1 6之具體構成，將在 後面加以敘述。 前述軸承體1 5處形成有貫穿之一對支撐孔1 8，旋轉軸 1 9分別插入在各支撐孔1 8而受到支撐。各旋轉軸1 9之端 部（第1圖中爲左端）係從所對應之支撐孔1 8突出在泵室1 7 內，對於各旋轉軸19之端部，前述兩螺旋轉子1 6之一方 1281531 ' (螺旋線）之起點（吸入側端部）到終點（排出側端部）之間 導程角0的變化，以在B旋轉子1 6軸線周圍之旋轉角度 作爲橫軸表示。如第2(a)圖所示般，從吸入側端部到排 側端部之螺紋之導程角0的變化，能夠以在螺旋轉子1 6 ' 線周圍之旋轉角度X之函數0 (X)表示。以下，將此函數 (X)稱爲導程角變化函數0 (x)。又，關於第2(〇圖之曲線 之橫軸，對應於螺紋之吸入側端部之旋轉角度X係定義 旋轉起始角0，對應於前述中途地點m之旋轉角度X係 義爲切換角Μ，對應於螺紋之排出側端部之旋轉角度x 定義爲旋轉終止角Ε。也就是說，在一邊繞螺旋轉子16 軸線周圍旋轉一邊使螺紋從其吸入側端部行至排出側端 時，對應於螺紋之吸入側端部之旋轉角度X係定義爲旋 起始角0，到達前述中途地點m之旋轉角度X係定義爲 換角Μ，到達螺紋之排出側端部之旋轉角度X係定義爲 轉終止角Ε。 如第2 (a)圖所示般，前述旋轉角度X由旋轉起始角〇 旋轉終止角E之間，前述導程角變化函數0 U)係由變化 樣不同之複數個（在第2(a)圖中爲兩個）變化函數01(x) 0 2 (X)之組合所構成。換句話說，在旋轉角度X從旋轉起 角◦起到旋轉終止角E之間，導程角0之變化係由變化 樣不同之變化函數0 l(x) 、0 2(x)之組合表示。 前述變化函數0 1 U)係對應於從旋轉起始角〇到切換 Μ之角度範圍之第1變化函數（吸入側變化函數）’說明 述第1範圍（吸入側範圍）中導程角之β之變化。變化函 0 2 (X)係對應於從切換角Μ到旋轉終止角Ε之角度範圍 之 X 出 軸 Θ 圖 爲 定 係 之 部 轉 切 旋 到 態 > 始 態 角 二，r · 刖 數 之 -11 - 1281531 軸方向長度）L2，可根據對應於從切換角Μ到旋轉終止角E 之角度範圍之第2變化函數β 2U)求取。然後，求出前述兩 軸方向長度L1、L2之總和，作爲螺旋轉子1 6之軸線方向 全長L。 前述第1變化函數（9 1U)、第2變化函數Θ2(χ)、以及 根據該等變化函數0 l(x)、0 2U)所求得之螺旋轉子16之 軸線方向全長L( = L1+L2)，可由以下之方程式表示。

首先，對應於從旋轉起始角0到切換角Μ之角度範圍 (0<χ<Μ)之第1變化函數0 1(χ)可由下列方程式（1)表示，方 程式（1)中之常數kl可由下列方程式（2)表示。又，方程式 (2)中之r乃是螺旋轉子16之節距圓之半徑。 Θ l(x) = DegS + k 1 · x …（1) kl = (DegM-DegS)/(2 π r · M) ··· (2) 如果，針對第2(a)圖中以實線表示之第1變化函數0 l(x)，不改變切換角Μ以及切換導程角DegM，而將旋轉起 始導程角DegS變更爲較大數値。在此情形時，從旋轉起始 φ $角0到切換角Μ之間之導程角0的變化程度，較以實線所 示之第1變化函數0 1U)中更爲緩和。換句話說，決定泵 1 1之氣體壓縮特性之由吸入側到排出側之作用室25之容 積變化程度，在螺旋轉子1 6之第1範圍中，較以實線所示 之第1變化函數0 1 (X)之情形中更爲緩和。相反的，針對第 2 (a)圖中以實線表示之第1變化函數Θ 1U)，將旋轉起始導 程角DegS變更爲較小數値。在此情形時，從旋轉起始角〇 到切換角Μ之間之導程角0之變化程度，較以實線所示之 第1變化函數Θ 1 (X)中更爲陡峻。換句話說，由吸入側到排 -13- 1281531 出側之作用室25之容積變化程度，在螺旋轉子1 6之第1 範圍中，較以實線所示之第1變化函數0 l(x)之情形中更爲 陡峻。 另一方面，對應於從切換角Μ到旋轉終止角E之角度範 圍（Μ<χ<Ε)之螺第2變化函數0 2(χ)可由下列方程式（3)表 示，方程式（3)中之常數k2可由下列方程式（4)表示。 Θ 2(x) = DegM + k2 · (x-M) …（3) k2 = (DegE-DegM)/(2 7Γ r · E) ··· (4)

如果，針對第2 (a)圖中以實線表示之第2變化函數0 2(x)，不改變切換導程角DegM，而將旋轉終止導程角DegE 變更爲較大値。在此情形時，從切換角Μ到旋轉終止角E 之間之導程角0變化程度，較以實線所示之第2變化函數 0 2 U)中更爲陡峻。換句話說，由吸入側到排出側之作用 室25之容積變化程度，在螺旋轉子16之第2範圍中，較 以實線所示之第2變化函數0 2(χ)之情形中更爲陡峻。相反 的，針對第2(a)圖中以實線表示之第2變化函數0 2(χ)，將 旋轉終止導程角DegE變更爲較小數値。在此情形時，從切 換角Μ到旋轉終止角E之間之導程角0變化程度，較以實 線所示之第2變化函數β 2U)中更爲緩和。換句話說，由吸 入側到排出側之作用室25之容積變化程度，在螺旋轉子1 6 之弟2範圍中，較以實線所不之第2變化函數0 2 (X)之情形 中更爲緩和。 接著，說明關於從上述導程角變化函數（θ 1(χ)，θ 2(χ)) 導出的前述螺旋轉子16之軸方向全長L(= L1+L2)。 首先，對應於從旋轉起始角〇到切換角Μ之角度範圍（〇 -14- 1281531 ' 壓縮。因此，在排出口附近產生急驟地壓力上升之事態可 受到避免，可抑制在排出口附近之局部溫度上升。 螺旋轉子16之軸線方向全長L，可根據前述方程式 • (1)〜（6)決定。在此前提下，不變更該軸方向全長 L，而變 ： 更決定泵11氣體壓縮特性之由吸入側到排出側之作用室 25之容積變化態樣之情形時，例如如第2(a)圖所示般變更 切換導程角DegM。又，在第2(a)圖之例中，旋轉起始角〇、 切換角Μ以及旋轉終止角E並未受到變更，並且，旋轉起 始導程角DegS及旋轉終止導程角DegE亦未受到變更。也 就是說，例如將切換導程角DegM，變更爲較在第2(a)圖以 實線所表示之導程角變化函數0 (X)之値爲小之値DegM’之 情形時，如第2(a)圖中之一點鏈線所示般，而會顯現出較 第1變化函數β l(x)更爲緩和之導程角0之變化程度，會顯 現出較第2變化函數0 2 U)更爲陡峻之導程角0之變化程 度。在此情形中，如第2(b)圖中之一點鏈線所示般，螺旋 轉子16之軸線方向全長L( = L1’+L2’）係與變更切換導程角 0_DegM之前之軸方向全長L( = L1+L2)相同。又，例如將切換 導程角DegM，變更爲較在第2(a)圖以實線所表示之導程角 變化函數0 (X)之値爲大之値DegM”之情形時，如第2(a)圖 中之二點鏈線所示般，會顯現出較第1變化函數0 l(x)更爲 陡峻之導程角0之變化程度，而會顯現出較第2變化函數 沒2U)更爲緩和之導程角0之變化程度。在此情形中，如 第2(b)圖中之二點鏈線所示般，螺旋轉子16之軸線方向全 長L( = L1” + L2”）係與變更切換導程角DegM之前之軸方向全 長L( = L1+L2)相同。如此，利用不同之變化態樣之複數個變 -16 - 1281531 " 化函數0 1U)、θ 2(x)之組合而構成導程角變化函數0 (x) 的話，即是存在有無法變更螺旋轉子1 6之軸線方向全長L 之情況時，藉由變更從旋轉起始角◦到旋轉終止角E之間 ' 之導程角Θ之變化態樣之方式，能夠變更泵1 1之壓縮特 : 性。 另一方面，在不變更第1變化函數0 1U)與第2變化函 數0 2U)，而變更前述螺旋轉子16之軸線方向全長L時， ' 例如第3(a)圖所示般變更切換角Μ。又，在第3(a)圖所示 之例中，不變更旋轉起始角0及旋轉終止角Ε，亦不變更 旋轉起始導程角DegS。也就是說，在將切換角Μ如第3(a) 圖中之一點鏈線所示般變更爲較小値之値Μ ’時，在分別藉 由第1與第2變化函數0 l(x)、0 2(χ)表示之導程角0之變 化程度沒有變化之態樣下，切換導程角DegM及旋轉終止 導程角DegE會變小。結果，在此情形，如第3(b)圖中之一 點鏈線所示般，螺旋轉子1 6之軸方向全長L會變爲數値較 大之L ’。又，在將切換角Μ如第3 (a)圖中之二點鏈線所示 般變更爲較大値之M”時，在分別藉由第1與第2變化函數 0 l(x)、0 2(χ)表示之導程角0之變化程度沒有變化之態樣 下，切換導程角DegM及旋轉終止導程角DegE會變大。結 果，在此情形，如第3 (b)圖中之二點鏈線所示般，螺旋轉 子1 6之軸線方向全長L會變更爲値較小之L”。如此’不 變更構成導程角變化函數θ (X)之複數個變化函數θ l(x) ' 0 2(x)本身，藉由變更切換角Μ之方式，能夠任意變更螺 旋轉子1 6之軸線方向全長L。 前述實施形態，具有以下之優點。 -17- 1281531 (1)在本實施形態中，從旋轉起始角0到旋轉終止角E 之間，螺旋轉子1 6之導程角0之變化，係由變化型態不同 之複數個變化函數0 l(x)、0 2(x)組合而成之導程角變化函 ' 數0 (X)表示。因此，依照複數個變化函數0 1 (X )、0 2 (X) : 之組合方式，能夠任意設定導程角（9之變化型態。因此， 根據所組合之複數個變化函數0 l(x)、0 2(x)所產生之導程 角0之變化型態而導出之壓縮特性（作用室25之容積變化 態樣），在與螺旋轉子1 6之軸線方向全長L之關係上，能 夠任意地設定，根據成爲壓縮對象之惰性氣體（流體）之種 類，可設定最適合之壓縮效率。

(2) 導程角0之變化程度，在螺旋轉子16之第2範圍中 較在第1範圍中更爲緩和。換句話說，決定泵11之壓縮特 性之作用室25之容積變化程度，在螺旋轉子1 6之第2範 圍中較在之第1範圍中更爲緩和。因此，在泵1 1動作時， 作用室25之容積變化程度，在泵1 1之排出口附近會變得 緩和。因此，能夠良好地避免在排出口附近急驟的壓力上 升及該壓力上升爲起因之局部溫度上升。 (3) 構成導程角變化函數0 (X)之第1與第2變化函數0 l(x)、0 2U)，分別係旋轉角度X從旋轉起始角〇朝向旋轉 終止角Ε而使導程角0逐漸增加之遞增函數。因此，螺旋 轉子1 6之導程，乃是從旋轉起始角0朝向旋轉終止角Ε 單純地減少。因此，在泵室1 7內一對螺旋轉子1 6互相咬 合旋轉之際，兩螺旋轉子1 6的旋轉負擔會變少，能夠實線 泵1 1良好之壓縮動作。 (4) 根據成爲在泵1 1內之壓縮對象之惰性氣體之種類， -18- 1281531 - 而有受到要求變更泵1 1之壓縮特性（作用室25之容積變化 態樣）之情形。在該情形時，在本實施形態中，在對應於螺 旋轉子1 6之軸方向中途地點m處之切換角Μ之切換導程 ，· 角DegM會受到變更。其結果，收容於空間上受到限制之 : 泵室17內之螺旋轉子16之軸方向全長L不變更，可容易 地變更泵1 1之壓縮特性，能夠將各種惰性氣體以最佳之壓 縮效率進行壓縮並且進行移送。 ' (5)在變更泵室17之容積時，不變更泵11之壓縮特性（作 用室25之容積變化態樣），而有受到要求變更螺旋轉子1 6 之軸方向全長L之情形。在該情形時，在本實施形態中， 成爲兩變化函數0 1(χ)、0 2(χ)切換境界之旋轉角度X，也 就是，切換角Μ受到變更。又，此時，隨著切換角Μ之變 更，切換導程角DegM亦受到變更。其結果，不變更泵之 壓縮特性本身，而能夠容易變更螺旋轉子1 6之軸方向全長 L 〇 又，前述實施形態亦可變更以下所述般。

以 隨著螺旋轉子16之旋轉在泵室17內一邊受到壓縮一邊 到移送之流體，除了惰性氣體（F2氣體等）之外，例如可 是冷媒氣體，又，亦可以是作用油等之液體亦可。又， 本發明之旋轉泵，亦可適用於真空泵以外之泵。 用於構成導程角變化函數0 (x)而組合之複數個變化函 數0 l(x)、0 2(x)，並不限制於遞增函數，亦可以是二次函 數、η次函數或是指數函數等。 用於構成導程角變化函數（9 (χ)而組合之變化函數0 l(x)、0 2(χ)，只要是複數的話，並不限定於兩個，亦可以 -19- 1281531 是3個以上。 針對用於構成導程角變化函數0 (χ)而組合之變化函數 0 1(χ)、Θ2(χ)’與第2(a)圖中以實線表示者不同，第1變 化函數θ 1(χ)較第2變化函數0 2(χ)將其導程角0之變化更 - 爲緩和地表示亦可。 針對用於構成導程角變化函數0 (χ)而組合之複數個變 化函數，例如亦可在以兩個函數進行組合之情形，將一方 之函數作爲表示導程角0作連續性變化態樣之變化函數， 將另一方之函數作爲表示導程角0作非連續性變化態樣之 變化函數。也就是說，螺旋轉子1 6在螺紋（螺旋線）之起點 (吸入側端部）到終點（排出側端部）之間，至少一部分係具有 導程角0作連續性變化之部分即可。 【圖式之簡單說明】 第1圖係本發明之一實施形態所述之螺旋真空泵之俯視 剖面圖。 第2(a)圖係說明螺旋轉子導程角之變化態樣之曲線圖， Λ 第2(b)圖係說明螺旋轉子之軸方向長度之曲線圖。 第3(a)圖係說明螺旋轉子導程角之變化態樣之曲線圖， 第3(b)圖係說明螺旋轉子之軸方向長度之曲線圖。 第4(a)圖係說明習知技術之螺旋轉子導程角之變化態樣 之曲線圖，第4(b)圖係說明習知技術之螺旋轉子之軸方向 長度之曲線圖。 【主要元件符號說明】 1 1〜真空泵 12〜轉子套殼元件 -20· 1281531

13〜前方套殼元件 14〜後方套殼元件 14a〜安裝孔 1 5〜軸承體 16〜螺旋轉子（螺輪） 16a〜螺紋頂 1 6 b〜螺紋溝 1 7〜栗室 1 8〜支撐孔 1 9〜旋轉軸 1 9 a〜端部 20〜齒輪套殼元件 2 1〜齒輪 22〜電動馬達 22a〜輸出軸 2 3〜軸接頭 24〜吸入口 25〜作用室 -21

Claims (1)

1281531 4 第 94 1 1 9 574 號 十、申請專利範圍 扣月3⑽修練)正本 螺旋泵及螺輪」專利申請案 ( 2006年10月30日修正）

1 · 一種螺輪，在從螺紋之起點到終點之間具有導程角做連 續性變化之部分，其特徵爲：關於該螺輪之軸線周圍之 旋轉角度，係將從對應於該螺紋起點之旋轉角度亦即旋 轉起始角，到對應於該螺紋終點亦即旋轉角度之旋轉終 止角之間的該導程角變化，以導程角變化函數表示時， 該導程角變化函數係由變化態樣不同之複數個變化函數 之組合而構成。 2 ·如申請專利範圍第1項之螺輪，其中將前述旋轉起始角

與旋轉終止角之間之既定旋轉角度設定爲切換角，前述 導程角變化函數包含對應於從前述旋轉起始角到前述切 換角之角度範圍之第1變化函數，和對應於從前述切換 角到前述旋轉終止角之角度範圍之第2變化函數，前述 第2變化函數較第1變化函數，顯現導程角之變化具有 較緩和之變化程度。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之螺輪，其中構成前述 導程角變化函數之複數個變化函數各自是前述旋轉角度 從前述旋轉起始角向前述旋轉終止角逐漸使導程角增加 之遞變函數。 4 ·如申請專利範圍第1項之螺輪，其中在X :旋轉角度、〇: 旋轉起始角、E :旋轉終止角、Μ :設定在旋轉起始角〇與 旋轉終止角Ε之間之旋轉角度X之切換角、D e g S :在旋轉 起始角0處之導程角之旋轉起始導程角、DegE:在旋轉終 -1 1281531 止角E處之導程角之旋轉終止導程角、DegM :在切換角 Μ處之導程角之切換導程角、θ l(x):表示從旋轉起始角 〇到切換角Μ之角度範圍（〇<x<M)中的導程角變化之變 化函數、0 2U):表示從切換角Μ到旋轉終止角E之角度 範圍（Μ<χ<Ε)中的導程角變化之變化函數、kl，k2:常數、 r:螺輪之節距圓之半徑、L:螺輪之軸方向全長、L1:對應 於〇oc<M之角度範圍之螺輪之軸方向長度、L2:對應於 Mocd之角度範圍之螺輪之軸方向長度時，以下之方程

Θ l(x) = DegS + kl · x (但是，〇<x<M) kl = (DegM-DegS)/(2 ττ r · M) Θ 2(x) = DegM -f k2 · (x-M)(但是，M<x<E) k2 = (DegE-DegM)/(2 ττ r · E) Ll = l/ kl · log(sin(DegS + kl · 2 π r · M)/sin(DegS)) L2=l/k2 · log(sin(DegM + k2 · 2 7r r · E)/sin (DegM)) L=L1+L2。 5 . —種螺旋泵，具備一對互相咬合之螺輪以及收容兩螺輪 之泵室，藉由兩螺輪互相咬合進行旋轉之方式，吸入到 泵室內之流體一方面在該泵室內受到壓縮一方面向螺輪 之軸方向移送，其特徵爲：該螺輪係由申請專利範圍第 1項至第4項中任何一項之螺輪所構成，在各螺輪之軸 方向，相鄰的螺紋頂部分之間，形成有壓縮流體用之作 用室。