TWI279565B - Dock plate with the function of cleaning and cooling - Google Patents

Dock plate with the function of cleaning and cooling Download PDF

Info

Publication number
TWI279565B
TWI279565B TW94142067A TW94142067A TWI279565B TW I279565 B TWI279565 B TW I279565B TW 94142067 A TW94142067 A TW 94142067A TW 94142067 A TW94142067 A TW 94142067A TW I279565 B TWI279565 B TW I279565B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
test
opening
fixing plate
test stand
socket
Prior art date
Application number
TW94142067A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200720679A (en
Inventor
Hung-Ching Hung
Jen-Kuei Li
Original Assignee
Advanced Semiconductor Eng
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Semiconductor Eng filed Critical Advanced Semiconductor Eng
Priority to TW94142067A priority Critical patent/TWI279565B/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI279565B publication Critical patent/TWI279565B/zh
Publication of TW200720679A publication Critical patent/TW200720679A/zh

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

1279565 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種測試裝置,更 測气私壯m i 士 7 m 又将別有關一種用於電性 、以封衣構^承置封農構造之測試座的固定板。 【先前技術】
之後積體^路^ (IGehiP)在封以料構造Wge) 測試機台對封裝構造進行電性測試,以確保 、至各戶知的封裝構造,其品質特性符合客戶的要求。 現請參考第1圖,其顯示習知 — 、 彳/、承載待測封裝構造以進 灯測試的測試座1 〇 〇之立體圖。 厶11Λ 版口 4測试座100具有一承置 口 Π 0 ’用於承載一待測之封裝槿 3了衣褥造,该承置台110略呈 矩形之底壁120具有探針ι3〇,用 υ用以支撐亚電連接置於該 承置台11 0内之封裝構造;由哕s 田Θ承置台110的底壁12〇周 緣向上延伸的侧壁140 ±,具有穿通該側壁14〇的開口 150。為了方便測試起見’常需要利用一個固定板,將上述 之測試座1 00固定於一外部的測試機台上。 、第2圖為習知測試座固定板之立體圖,其可固定第!圖 之測試座1GG ’該固定才反goo具有板狀外形,於其上則有 一穿通的承放口 210,可用以容納及固定該測試座1〇〇。 第3圖為顯示第2圖之固定板2〇〇結合第!圖之測試座 100之剖面圖。該容承有測試座1〇〇之固定板2〇〇,係裝設 於一外部之測試機380上。測試時,待測之封裝構造39〇 係置於該承置台Π 0中,藉由該封裝構造390底部的輸出 端3 92與該等探針130電連接,該等探針13〇則與該外部 01046-TW/ASE-1490 5 !279565 之测試機3 8 〇雷、金士立 進行電性挪試。mi 4機380能對該封I構造390 播、Λ而,在挪試過程中會產生高孰,孰量传隹φ 構造_底部的下方。由 :、‘,、、里料中於該封裝 為該固定板200所擋住,執量\、去通140的開。150 成該等輸出端392熔化产:、’精政出,有可能會造 毁損,造成測試成本的^ f,導致探針咖因高溫而 屑,同時探針二裝構造39°本身的重量而卡沾錫 130之間也會卡附使用時掉落 二,漸多時會造成電性测試不良(碎二 的浪費。…清潔’而造成測試時間成本 有鐘於此,便有須將羽田 上述之問題。 自用的測試座以板改良,以解決 【發明内容】 本發明之目的在於提供-種用於電性測試封裝構、 承置封裝構造之測試座固定拓 ^ ^ 、, 疋板’可清潔測試座内的摄斜, 增加測貨良率,及降低測試時針 用壽命。 刼針之/皿度,以增加探針使 為達上述目的,本發明於測試座固定板上設置導氣通 道’使其可與測試座侧邊的開口相連通’藉由導氣通道注 入高壓氣體’以將氣體導入測試座内,達到清潔及降溫的 01046-TW / ASE-1490 6 1279565 效果。 了讓本發明之上述和其他 下々枯m 、他目的、心徵、和優點能更明 卜文特舉本發明實施例,並 H 口所附圖示,作詳細說 L灵施方式】 4。。現第4圖’其顯示根據本發明之測試座固定相 4〇〇用於電性測試封裝構造時,固定i 座。固疋承置封裝構造之測言3 压禳测试座固定板400具有一永飨α w Λ ^ 承放口 410,用以容納石 疋=座,該測試座以側邊具有穿通開口之測試座, 例如弟1圖之測試座100。該固定板4〇。還i有至少一· 設於表面的輸氣管42。,其一端開口似位於該承放口 41 周緣、,另—端開口 424則可與—外部的送氣單& (圖未示 連通於4固定板400的表面可設有至少一條凹槽43〇 用以容納該輸氣管42〇。 現」青茶考帛5圖’其顯示根據本發明之測試座固定板 4〇〇,容納有測試座100,該測試座1〇〇係藉由該固定板4〇〇 固定於一外部的測試機380上。該輸氣管42〇的開口 422 係舁忒測4座1 〇 〇的開口 1 5 0相連通,由外部送氣單元(圖 未示)所產生的氣體,可由該輸氣管420的開口 424送入, /口著3輸氣管4 2 0而進入該測試座的承置台11 〇中。當對 封I構造進行電性測試時,一封裝構造39〇係置於該承置 台110中,該封裝構造390底部的輸出端392與位在該承 置。11 0底壁1 2 0上的複數個探針1 3 0電連接,該等探針 130則與該外部之測試機38〇電連接,使該測試機38〇能 01046-TW/ASE-1490 7 1279565 對該封裝構造390進行電性測試。為使該輸氣管420更易 與該測試座1 〇〇的開口 1 5〇相連通,可於兩者間設置一氣 嘴 426。
測試進行中,由該送氣單元所送出之低溫氣體,經由該 輸氣管420穿過該測試座1〇〇的開口 15〇而進入該封裝構 造390底部下方與該承置台n〇底壁ι2〇上方之間的空間 中’降低因測試所產生的高溫,使為錫球的輸出端392不 會因此而熔化,該等探針i 3〇亦不會因此而毀損,可延長 該等楝針130的使用壽命。再者,因該封裝構造39〇本身 的重量而導致其底部的錫球392卡沾於該等探針13〇上所 形成的錫屑,以及掉落於該承置台i丨〇内的髒污、碎屑等, 可於省封1構造390被取出時,一併吹出該承置台i丨〇外, 不會因該等髒污’造成電性測試不良,亦不需因此常常將 該測試座100取下清潔,可防止測試時間的浪費。 第6目為根據本發明《測試座固定板的另一實施態 樣’該測試座固定才反400,相似於第5圖之測試座固定板 4 0 0 ’所不同的是,測試座固定 — 压口疋板400的内部具有作用與該 輸乳官420相同的輸氣通道42〇 7 , υ - 端開口 422,位在該 承放口 410周緣,可與該測試 L 1 υ υ的開口 i 5 〇相連通, 另一端開口 424,則可與一外邱的、芝# 计认々、、、, 卜^的运乳單元(圖未示)連接。 以輸氣通道420’可使由該外部之 一 # ^ r 1 Πη A 、乳早兀所產生的氣體, 牙過该測试座1 〇〇的開口 i 5() 下方盥He W 該封裝構造390底部 :方…置自110底壁12。上方 試座固定板400,其餘部分的 門中上相 400,在此不再贅述。 ,、作用,相同於該固定板 01046-TW/ASE-1490 8 Ϊ279565 廣瞭解到各種增添、修改和取代可 例’必 施例,而不會脫離如所;本發明較佳實 ::::;- 於报多形式、結構、佈置、比例、材::=月:使用 口务 门、 T 70件和組件的修 用因此’本文於此所揭示的實施例於所有觀點,應被視 雍:以說明本發明,而非用以限制本發明。本發明的範圍
=後^請專利範圍所界定’並涵蓋其合法均等物,並 不限於先前的描述。 01046-TW/ASE-1490 9 1279565 【圖式簡單說明】 第1圖:為習知供承載待測封裝構造以進行測試的測試 座之立體圖 第2圖··為習知測試座固定板之立體圖,其可固定第1 圖之測試座。 第3圖:其顯示第2圖之測試座固定板結合第1圖之測 試座之剖面圖,並將其固定於一外部的測試機上。 第4圖:為顯示根據本發明之測試座固定板之立體圖, 用於電性測試封裝構造時,固定承置封裝構造之測試座。 第5圖:為顯示根據本發明之測試座固定板,容納有第 1圖之測試座之剖面圖,其將該測試座固定於一外部的測 試機上。 第6圖:為顯示根據本發明之測試座固定板的另一實施 態樣之剖面圖,其容納有第1圖之測試座,並將該測試座 固定於一外部的測試機上。 【圖號說明】 100 測試座 110 承置台 120 底部 130 探針 140 側壁 150 開口 200 測試座固定板 210 承放口 380 測試機 390 封裝構造 392 輸出端 400 測試座固定板 01046-TW/ASE-1490 10 1279565 400’ 測試座固定板 410 承放口 420 輸氣管 420! 輸氣管 422 開口 422, 開口 424 開口 424, 開口 426 氣嘴 430 凹槽 ❿ 01046-TW/ASE-1490 11

Claims (1)

1279565 十、申請專利範圍: 1、 一種測試座固定板,用於電性測試封裝構造時,固定承 置封裝構造之測試座於一外部之測試機上,該測試座具 有至少一個穿通其側壁的開口,該測試座固定板包含·· 一承放口,用以容納及固定該測試座;及 至少一條輸氣管,設於該測試座固定板的表面,其一 端開口位於該承放口周緣,可與該測試座的開口相連 通,另一端開口則可與一外部之送氣單元相連通; 其中一氣體可由該送氣單元產生,並沿著該輸氣管經 由該測試座之開口注入該測試座中,以清潔及冷卻該測 試座。 2、 依申請專利範圍第丨項之測試座固定板,其中該輸氣管 係藉由氣嘴與該測試座的開口相連通。 3、 依申請專利範圍第2項之測試座固定板,其另包含至少 一條設於表面的凹槽,用以容納該輸氣管。 4、 一種測試座固定板,用於電性測試封裝構造時,固定承 置封裝構造之測試座於一外部之測試機上,該測試座具 有至少一個穿通其侧壁的開口,該測試座固定板包含·· 一承放口,用以容納及固定該測試座;及 至少一條輸氣通道,設於該測試座固定板的内部,其 一端開口位於該承放口周緣,可與該測試座的開口相連 通,另一端開口則可與一外部之送氣單元相連通; 其中一氣體可由該送氣單元產生,並沿著該輸氣通道 01046-TW/ASE-1490 12 1279565 經由該測試座之開口注入該測試座中,以清潔及冷卻該 測試座。
01046-TW/ASE-1490 13
TW94142067A 2005-11-30 2005-11-30 Dock plate with the function of cleaning and cooling TWI279565B (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW94142067A TWI279565B (en) 2005-11-30 2005-11-30 Dock plate with the function of cleaning and cooling

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW94142067A TWI279565B (en) 2005-11-30 2005-11-30 Dock plate with the function of cleaning and cooling

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI279565B true TWI279565B (en) 2007-04-21
TW200720679A TW200720679A (en) 2007-06-01

Family

ID=38645456

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW94142067A TWI279565B (en) 2005-11-30 2005-11-30 Dock plate with the function of cleaning and cooling

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI279565B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101968498B (zh) * 2009-07-27 2012-07-18 京元电子股份有限公司 具自我清洁的封装件测试座
WO2023236182A1 (zh) * 2022-06-10 2023-12-14 致茂电子股份有限公司 电子元件检测设备的温度控制系统及其方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI424172B (zh) * 2011-09-07 2014-01-21 Hon Tech Inc Temperature control system for electronic component test
TWI487923B (zh) * 2013-06-18 2015-06-11 Chroma Ate Inc Test the temperature control module
CN112710872A (zh) * 2019-10-24 2021-04-27 珠海格力电器股份有限公司 用于芯片测试装置的装载器及芯片测试装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101968498B (zh) * 2009-07-27 2012-07-18 京元电子股份有限公司 具自我清洁的封装件测试座
WO2023236182A1 (zh) * 2022-06-10 2023-12-14 致茂电子股份有限公司 电子元件检测设备的温度控制系统及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW200720679A (en) 2007-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI279565B (en) Dock plate with the function of cleaning and cooling
TWI631344B (zh) Probe device
TWI381165B (zh) 用於測試半導體晶片之插座
KR101034980B1 (ko) 프로빙 장치
KR20110031886A (ko) 프로브 카드의 클램프 기구 및 검사 장치
CN108064345B (zh) 用于测试异形元器件高压水密性功能的测试装置
TW200721344A (en) Body for keeping a wafer, heater unit and wafer prober
JP2014192218A (ja) ウエハ検査装置
KR101438692B1 (ko) 반도체칩용 온도 측정 장치
KR100610779B1 (ko) 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이
TW202006384A (zh) 測試機台
KR20080015621A (ko) 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이
JP2011077077A (ja) 半導体試験装置
TW200834079A (en) Probing tester and testing method for a wafer using the same
CN103706577B (zh) 测试分选机
KR20130063402A (ko) 반도체 제조 장치
US6213636B1 (en) Furnace for testing integrated circuits
CN215115013U (zh) 一种光伏接线盒的盖板用防水测试工装
KR20080060081A (ko) 결로를 방지할 수 있는 퍼지 공기 공급부를 포함하는반도체 패키지 테스터
CN108064334B (zh) 异形元器件高压水密性功能测试仪
CN108205095A (zh) 连接器测试装置
KR100736256B1 (ko) 웨이퍼 칩 테스트용 프로버 척
CN212693920U (zh) 一种光电检测冷热台装置
CN101968498A (zh) 具自我清洁的封装件测试座
CN118147615A (zh) 分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备