TWI277538B - A head unit, a droplet ejection apparatus, a method of manufacturing a panel from a base, an image display apparatus and an electronic apparatus - Google Patents

Description

I277538 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用於液滴喷出裝置中之噴頭單元、液滴噴 出裝置、從基材製造面板之方法、圖像顯示裝置及電子裝 置。 【先前技術】 作為製造用於諸如液晶顯示器之彩色濾光片之圖像顯示 裝置的面板之方法，已知一使用液滴噴出裝置（喷墨繪圖 裝置）之方法（例如，參見jp-a-59_75205)。在此方法中， 複數個像素係形成於用於製造面板之基板上，其中在該基 板上藉由使用液滴喷出裝置以液滴形式將諸如墨水之液體 材料供應至複數個像素上而形成該等複數個像素（喷出區 域)。此用於製造面板之液滴嘴出褒置藉由以下步驟來將 用於形成像素之液體材料供應至基板上的複數個像素上： 以液滴形式將液體材料噴出至基板上，同時關於一喷頭單 π (其上提供有複數個液滴喷出 基板之平臺。 ^相互移動-用於支撲 複數個噴嘴（噴嘴開口）係形成於一 準，且趨勃伽+你 、液滴嘴出頭中以便對 上以使得二二:液滴喷出頭經排列於喷頭單元 使在-喷：單時’其噴嘴陣列彼此連接以 貝早凡知描細作時液滴所噴 (待繪製之寬度）更長。 的區域之寬度 然而，由於不可避免地會在複數 1出頭之間發生 105J92.doc 1277538 一些喷出量變化’例如，一液滴噴出頭將液體材料之液滴 喷出至的像素之顏色可變深；且另一液滴喷出頭將液體材 料之液滴喷出至的像素之顏色可變淺。在此狀況下，存在 著於面板中產生顏色不均勻性的問題。 另外，位於一液滴喷出頭之喷嘴陣列與鄰近液滴喷出頭 之喷嘴陣列之間的接縫附近之供應有液體材料之像素中， 存在著由於兩個液滴喷出頭之噴出量之間的差異或喷嘴間 春 距之誤差而在面板中產生其中顏色不均勻性沿液滴喷出頭 之掃描方向延伸之條紋的問題。在其中於面板中產生條紋 之狀況下’當一圖像顯示裝置係使用此面板而製造時，該 圖像顯示裝置之顯示似乎包括一條紋。此使得圖像品質降 - 低。 【發明内容】 因此，本發明之一目的在於提供：喷頭單元，其用於液 滴喷出裝置中：液滴喷出裝置，其可製造無顏色不均句性 • 及條紋之高品質面板；從基材製造面板之方法；圖像顯示 裝置及電子裝置，其具有無顏色不均勻性及條紋之面板。 為達成上述目的，在本發明之一態樣中，本發明係針對 於一用於液滴噴出裝置中的噴頭單元。本發明之喷頭單元 具有複數個液滴噴出頭，其用於以液滴形式將具有預定顏 色之一或多個種類液體材料噴出至基材上。每一液滴喷出 頭包括由線性對準之複數個喷嘴構成之至少一喷嘴陣列。 β液體材料係適用於經由複數個液滴喷出頭之複數個噴嘴 而以液滴形式喷出。複數個液滴喷出頭包括至少兩組之兩 105192.doc 1277538 相鄰液滴喷出頭，其係在平行於每一喷嘴陣列之第一方 上以連續方式而排列以喷出相同顏色之液體材料，且該^ 至少兩組之兩相鄰液滴噴出頭中之每一組的兩相鄰喷嘴 列經排列以使得當自垂直於第—方向之第二方向觀察時， 其喷嘴經由兩相鄰液滴噴出頭之兩相鄰喷嘴陣列之間的接 縫而連續。用於喷出相同顏色之液體材料的液滴的^等至 少兩組之兩相鄰喷出頭經排列以使得當自第二方向x觀察 時，其接縫中之一者在第一方向上關於該等接縫中之任何 其它接縫而移位。 根據用於本發明之液滴喷出裝置中之喷頭單元，可使用 喷嘴陣列之重疊經由複數個液滴喷出頭之噴嘴將液體材料 之液滴喷出至一喷出區域（亦即，一像素）上。因此，即使 在其中複數個液滴喷出頭之喷出量之間存在變化（誤差）的 狀況下，使用本發明之噴頭單元亦可能防止在待從基材製 造之面板的表面中產生有害之顏色不均勻性。換言之，與 本發明相對比，在其中液體材料經由僅一液滴喷出頭之喷 嘴而供應至-噴出區域上的狀況下，液滴噴出頭噴出量之 變化直接引起供應至每一噴出區域上之液體材料量的變化 (誤差），藉以使得在面板中呈現嚴重的顏色不均勻性。另 方面在本發明中，由於待供應至一喷出區域上之液體 材料之里k成於掃描方向重疊之複數個液滴噴出頭喷出之 平句虽故可月b使供應至每一噴出區域上之液體材料之量 均勻化，藉以使得可能防止產生顏色不均勻性。 另外，猎由在平行於每一喷嘴陣列之第一方向上以連續 105192.doc 1277538 方式對用於喷出相同顏色液體材料之至少兩組的兩相鄰液 滴喷出頭進行排列（在此狀況下，該等兩相鄰液滴噴出頭 充當一長喷嘴陣列），可能增大整個喷頭單元可噴出 液體材料至基材的寬度。（^ 此外，藉由對用於喷出相同顏色液體材料之液滴的至少 兩組之兩相鄰液滴喷出頭進行排列以使得當自第二方向觀 察時其所有接縫在第一方向上關於彼此而移位，即使在其 Φ 中由於兩個相鄰噴嘴陣列之接縫而產生條紋的狀況下，每 一該等接縫之條紋亦不會彼此重疊，而是分散在不同位置 處。因此，可能使條紋變得不顯著。 在本發明之喷頭單元中，較佳地，複數個液滴噴出頭中 每一者之喷嘴陣列的複數個噴嘴在喷嘴陣列兩末端附近包 括去能喷嘴，該等去能喷嘴係建構以便不喷出液體材料之 液滴，且兩個相鄰喷嘴陣列經排列以使得兩相鄰噴嘴陣列 中之者的末、與该等兩相鄰喷嘴陣列中之另一者的一 • 末端部分地重疊從而提供接縫。 因此，在不使用位於每一液滴喷出頭中喷嘴陣列之兩末 端附近之去此噴嘴的情況下（對於該等去能喷嘴而言以高 準確度控制每一液滴嘴出頭之喷出量較為困難），液體材 料將、、&由其匕噴嘴而噴出（對於該等其它噴嘴而言可以高 準確度控制噴出量）。因此，可對待供應至每一喷出區域 上之液體材料之量進行均勻化，且此使得可使用本發明之 喷頭單元更必然地防止在從基材製造之面板表面中產生有 害的顏色不均勻性。 105192.doc 1277538 、—在本發明之噴頭單元中’較佳地，每—液滴噴出頭包括 稷數個喷嘴陣列’該等複數個噴嘴陣列在第二方向上以並 排關係而排列以使得當自第二方向觀察時，複數個液滴喷 出頭之每一者中的複數個喷嘴陣列之兩末端對準。 此使得可使用複數㈣料狀經由複數個液滴喷 出頭中之複數個喷嘴陣列之喷嘴而將液體材料之液滴喷出 至-喷出區域（亦像素）上。以，可將待供應至每 一噴出區域上之液體材料之量極度均句化，且可使用本發 明之噴頭單元更必然地防止在從基材製造之面板表面中產 生有害的顏色不均勻性。 另外’可進一步增大整個喷頭單元可噴出（供應）液體材 料^基材的寬度。此外’藉由排列複數個噴嘴陣列使得當 自第二方向㈣時複數個液滴纟出頭之所有接縫在第一方 向上關於彼此而移位’即使在其中由於複數個喷嘴陣列之 接縫而產生條紋的狀況下，每一該等接縫之條紋亦不會彼 此重疊’而是分散於不同位置處。因&，可能使條紋㈣ 不顯著。 在本發明之喷頭單元中，較佳地，該或該等種類之液體 材料包括三種類之液體材料，其分別具有紅色、綠色及藍 在本發明之另一態樣中’本發明係針對於—液滴噴出裝 置’其用於以液滴形式將-或多個種類液體材料供應至— 基材上。該或該等種類之液體材料具有預定顏色。該裝置 105192.doc 1277538 上述喷頭單元； /、有兩主要表面之平臺，該平臺之兩主φ 者面向該喷頭嚴一 t至之兩主要表面中之一 之複數㈣滴喷出頭，且基材係切於 十至之該—個主要表面上； 一移動機構，f^日曰^ & 臺；及 # #用於關於该喷頭單元而相互移動該平 &制單凡，其用於控制該喷頭單元及該移動機構之 X使付4嘴頭單元之複數個液滴噴出頭中的每_者將 液體材料之液滴噴出至該基材上，同時在垂直於第-方向 之第二方向上關於該喷頭單元而相互移動該平臺。 根據本發明之液滴喷出裝置，可使用噴嘴陣列之重疊經 灵數個液滴噴出頭之喷嘴而將液體材料之液滴喷出至一 2區域（亦即’一像素）上。因此’即使在其中複數個液 滴喷出頭之喷出量之間存在變化（誤差）的狀況下，使用本 發明之喷頭單元亦可能防止在待從基材製造之面板表面中 生有=的顏色不均勻性。換言之，與本發明相對比，在 其中液體材料經由僅一液滴喷出頭之喷嘴而供應至一喷出 區域上的狀況下’液滴喷出頭之噴出量之變化直接引起待 供應至每一喷出區域上的液體材科之量的變化（誤差卜藉 以在面板中呈現嚴重的顏色不均勻性。另一方面，在本發 =中，由於待供應至-噴出區域上之液體材料之量變成在 掃描方向上重豐之複數個液滴噴出頭喷出的平均量，故可 使供應至每一喷出區域上之液體材料之量均勻化，藉以使 得可防止產生顏色不均勻性。 105192.doc -10- 1277538 在本發明之液滴喷出裝置中’較佳地，基材為用於製造 一用於液晶顯示器之彩色濾光片基板的基底材料（base material)，且該或該等種類之液體材料為用於形成彩色濾 光片基板之濾光層的墨水。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害之顏色不 均勻性及條紋的用於液晶顯示器之彩色濾光片基板。 在本發明之液滴喷出裝置中，較佳地，基材為適於製造 春 t致發光顯示器之基底材料，且該或該等種類液體材料包 括一用於製造該電致發光顯示器之發光材料。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害之顏色不 均勻性及條紋的電致發光顯示器。 在本發明之另-態樣中’本發明係針對於一使用上述液 滴喷出裝置從基材製造面板之方法。該方法包括以下步 準備一基材；及 藉由以下步驟以液滴形式脾 乂 ^將預疋顏色之一或多個種類洛 體材料供應至該基材上：鋅由 糟由違液滴喷出裝置而噴出該筹 液滴，同時在垂直於第一方向 心罘一方向上關於該喷頭專 元而相互移動該基材。 、根據使用本發明之液滴嘴出裝置從基材製造面板之方 法可使用喷實陣列之重疊經由複數個液滴喷出頭之喷嘴 將液體材料的液滴喷出至一 、 赁出&域（亦即，一像素）上。 因此，即使其中於複數個 滴賀出頭噴出量之間存在變化 (块差）的狀況下，使用本發 _ 乃之11碩早兀亦可能防止在待 105192.doc !277538 / ”亥基材製造之面板表面中產生有害的顏色不均勻性。換 σ之，與本發明相對比，在其中液體材料經由僅一液滴噴 出頭之噴嘴而供應至一喷出區域上的狀況下，液滴噴出頭 噴出里’灸化直接引起待供應至每一喷出區域之液體材料 之里的變化（誤差），藉以使得在面板中呈現嚴重的顏色不 句勻丨生。另一方面，在本發明中，由於待供應至一喷出區 域上之液體材料之量變成在一掃描方向上重疊之複數個液 鲁 滴噴出頭噴出的平均量，故可將供應至每一喷出區域上之 液體材料之量均勻化，藉以使得可能防止產生顏色不均勻 性。 另外’藉由在平行於每一喷嘴陣列之第一方向上以連續 方式對用於噴出相同顏色液體材料的至少兩組之兩相鄰液 滴喷出頭進行排列（在此狀況下，該等兩相鄰液滴喷出頭 充當一長噴嘴陣列），可能增大整個喷頭單元可喷出（供應） 液體材料至基材的寬度。 _ 此外，藉由對用於喷出相同顏色液體材料之液滴的至少 兩組之兩相鄰液滴喷出頭進行排列以使得當自第二方向觀 察時’其所有接縫在第一方向上關於彼此移位，即使在其 中由於兩相鄰喷嘴陣列之接縫而產生條紋的狀況下，每— 該等接縫之條紋亦不會彼此重疊，而是分散在不同位置 處。因此，可能使條紋變得不顯著。 在根據本發明從基材製造面板之方法中，較佳地，該基 材為用於製造一用於液晶顯示器之彩色濾光片基板的基底 材料，且該或該等種類液體材料為用於形成該彩色濾光片 105192.doc -12- I277538 基板之遽光層的墨水。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害之顏色不 均勻性及條紋的用於液晶顯示器之彩色濾光片基板。 在根據本發明從基材製造面板之方法中，較佳地，該基 材為用於製造電致發光顯示器之基底材料，且該或該等種 類液體材料包括用於製造該電致發光顯示器之發光材料。

此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害之顏色不 均勻性及條紋的電致發光顯示器。 在本發明之另一態樣中，本發明係針對於圖像顯示裝 置’其包括使用上述方法製造的面板。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害之顏色不 均勻性及條紋的圖像顯示裝置。 在本發明之另-態樣中’本發明係針對於電子裝置，其 包括上述圖像顯示裝置。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造包括無有害之顏 色不均勻性及條紋之圖像顯示裝置的電子裝置。 【實施方式】 本發明之喷頭單元、液 法、圖像顯示裝置及電 將作為面板之一實例而 片基板10之狀況。 現將參看隨附圖式詳細描述根據 滴喷出裝置、從基材製造面板之方 子裝置的較佳實施例。 在本實施例中，通常描述製造一 成為液晶顯示器之組件的彩色濾光 (液滴噴出裝置之整個組態） 圖 1為本發明之一實施例中之液滴嘴出裝置1的透視 圖 105192.doc -13 - 1277538 如圖1所示，液滴喷出裝置 畆μ v、★ 具有·噴頭單元103，：&中禎 數個液滴喷出頭2安裝於滑架 八 Ά^)104 上，&架移動機構（移動 銘動晗π⑽- 下文中’稱為”Χ軸方向，，） 移動喷頭早兀103;平臺1〇6，苴 10Α · ϋ> ^ ^ ^ 八用於支撐稍後所述之基材 10Α，千室移動機構（移動機 古具用於在垂直於X軸 方向之水平方向（下 方批也丨⑽” r稱為Υ軸方向”）移動平臺106,· 及裎制早兀112，其用於控制喷 104^ ^ ^ „ 、壙早兀103、滑架移動機構 104及千室移動機構108。 另外，在液滴喷出裝置1之 #ε ^ 戒罝1之附近提供用於分別儲存三種 類之液體材料111之三個貯# _槽101 ’ §亥等液體材料包括紅色 (R)、綠色（G)及藍色（Β)β每一 _ 槽101經由管110而連接至 贺頭早兀103，管110夯杏_田狄他 h 一 充田用於傳送液體材料111之流動 路徑。儲存於每一貯槽1〇1中 中之液體材料111係傳送（供應） 至喷頭早几1〇3中之每一液滴喷出頭2。 在此方面，本發明之"液體材料"包括用於形成面板之像 素的材料，且意味著-具有足夠黏度以經由液滴喷出頭2 之喷嘴25而喷出的材料。在卜 、、 在此狀況下，該材料可為水基的 〆+ 土勺$外ϋ亥材料僅需要具有可經由液滴喷出頭2 之喷嘴25噴出的流動性（黏度）。即使固體材料可分散入材 料中’該材料總體上亦可為流體。本實施例中之液體材料 U1為有機溶劑墨水，其中用於形成彩色據光片基板10之 像素的濾光層之顏料溶解或分散於有機溶劑中。 在此方面’於以下描述中，在區分紅色、綠色及藍色之 液體材料⑴的狀況下’其分別稱為"液體材料niR、液體 105192.doc • 14- 1277538 材料111G及液體材料111B"。 的情況下對其進行大致命名的 為”液體材料111，，。 另一方面，在於不區分顏色 狀況下’將其每一者簡單稱 一滑架移動機構104之操作係藉由控制單元112而控制。本 貫^例中之滑架移動機構1料具有藉由沿-垂直方向（下文 稱為z軸方向）移動噴頭單元1〇3來調整喷頭單元Μ] 门度的功此。另外，滑架移動機構1 亦具有圍繞一平 鲁行於Z軸方向之軸旋轉噴頭單元1〇3之功能，且此使得可能 精細地調整喷頭單元103圍繞Z軸之角。 平臺106具有一平行於X軸方向與Y軸方向之平面。另 外，平室106經建構以使得用於製造彩色遽光片基板狀 基㈣A可固定或固持（或支撐）於其上。平臺移動機構1〇8 名著垂直於X軸方向與2軸方向之γ軸方向而移動平臺 106。平臺移動機構108之操作係藉由控制單元112而控 另外，本實施例中之平臺移動機構108亦具有圍繞一 # 平行於z軸方向之軸旋轉平臺1〇6之功能，且此使得可能藉 由精細地凋整安裝於平臺1〇6上之基材l〇A圍繞Z軸方向的 傾斜來杈正基材10A之位置，以使得基材1〇A變得關於喷 頭單元103為平直的。 如上文所述，噴頭單元1〇3藉由滑架移動機構1〇4而向χ 軸方向移動。另一方面，平臺1〇6藉由平臺移動機構ι〇8而 向Υ軸方向移動。因此，喷頭單元103關於平臺1〇6之相互 位置可藉由滑条移動機構1〇4及平臺移動機構1〇8而改變。 在此方面，稍後將描述控制單元112之詳細構造及功 105192.doc •15- I277538

(噴頭單元） 圖2為展不圖1中所示之液滴喷出裝置】之喷頭單元1〇3及 展不基材10A的平面圖。圖2中所示之喷頭單元1〇3具有一 構在该結構中中複數個液滴噴出頭2安裝於滑架1 〇5 上。滑架105在圖2中以雙點劃線（chain doubIe_dashed Iine) 展不另外，分別展示複數個液滴喷出頭2之實線指示複

數個液滴噴出頭2之喷嘴表面（亦即，稍後所述之喷嘴板 128)的位置。 用於噴出紅色液體材料i丨1R之四個液滴噴出頭2、用於 噴出綠色液體材料111G之四個液滴噴出頭2及用於喷出藍 色液體材料111B之四個液滴喷出頭2係提供於喷頭單元1〇3 f用於喷出紅色液體材料111R之四個液滴喷出頭2包括 第-液滴喷出頭21R、第二液滴噴出頭22R、第三液滴喷 出頭23R及液滴喷出頭24R。用於噴出綠色液體材料⑴g 之四個液滴喷出頭2包括第—液滴噴出頭21G、第二液滴喷 出頭22G、第三液滴喷出頭23G及液滴喷出頭加。用於喷 出藍色液體材W11B之四個液滴噴出頭2包括第__液滴喷 出頭21B、第二液滴噴出頭22B、第三液滴噴出頭23B及液 滴噴出頭24B。 在以下描述巾，於對此等液滴噴_2A致進行命名而 不藉由待喷出之液體材料的顏色對其進行區分的狀況下， 將其每一者間單稱為，，液滴噴出頭2”。另一方面，在區分 用於喷出紅色、綠色及藍色液體材料⑴之液滴噴出頭2的 105192.doc -16 - 1277538 狀況下，可將其稱為（例如）"第一液滴噴出頭2iR、第二液 滴喷出頭22R、…”。 圖2中所示之基材10A為用於製造液晶顯示器中所用之彩 色濾光片基板10的基底材料，在該彩色濾光片基板1〇上彩 色濾光片以條紋方式而排列。複數個紅色像素（噴出區 域）18R、複數個綠色像素（喷出區域）18(}及複數個藍色像 素（喷出區域）18B係提供於基材1〇A上。液滴喷出裝置丨運 作以使得紅色液體材料111R供應至每一像素18R上，綠色 液體材料111G供應至每一像素18G上，且藍色液體材料 111B供應至每一像素18B上。 每一像素18R、18G及18B具有大體長方形形狀。基材 10A以下列姿勢支撐於平臺1〇6上：其中像素i8R、及 18B中每一者之長軸方向平行於χ軸方向，且像素^以、 18G及18B中每一者之短軸方向平行於γ軸方向。複數個像 素18R、18G及18B排列於基材1〇A上以便以此次序沿著γ 軸方向重複地排列’且使得相同顏色之像素沿著X軸方向 排列。於γ軸方向排列之一組像素18R、18(3及18B對應於 待製造之彩色濾、光片基板1 〇之一像元。 (液滴喷出頭） 圖3為展不液滴噴出頭2之噴嘴表面（喷嘴板128)之一部分 及展示基材10A之像素的放大平面圖。在此方面，儘管每 一液滴喷出頭2之噴嘴表面經提供以便面向基材1〇A(亦 即’於垂直方向），但出於觀測方便起見，圖3以實線展示 每一液滴喷出頭2之噴嘴表面。複數個喷嘴（喷嘴孔）25形成 105192.doc 1277538 於母-液滴噴出頭2之噴嘴表面

軸方向線性地對準。每相隔處沿著X ^ 卡母一液滴喷出頭2中之葙盔伽a Ab 構成至少-㈣陣 ？之複數個喷嘴25 方式形成於每m ^例中’兩喷嘴陣列以平行 距…、 滴噴出頭2上以便關於彼此以-半之間 而私位。然而，本發明並不限於此 有之噴嘴陣列之數目可為一個或三個或更多二出頭;具 於一液滴噴ΐ通9 μ + 卜死^成

且… 之贺嘴25之數目並未受到特定限制， 且其通吊可在約數打至數百之範圍内。 、、圖4⑷及圖_分別為圖丨中料之液滴喷㈣置！之液 滴喷，頭2的透視截面圖及截面圖。如圖4⑷及圖4⑻所 ^母-液滴噴出頭2構成一喷墨喷頭。更具體言之，液 滴噴出頭2具有橫隔板126及喷嘴板⑶。健集器129位於橫 隔板126與噴嘴板128之間。該儲集器129藉由自貯槽⑻經 墨水進口（intake port)i31而供應之液體材料lu而填充 (fulfill) 〇 複數個間壁（dividing wall)122位於橫隔板126與喷嘴板 128之間。空腔120係藉由橫隔板126、喷嘴板128及一對間 壁122而界定。由於空腔12〇係根據一喷嘴25而提供，故空 腔120之數目與噴嘴25之數目相同。液體材料1丨丨經由提供 於β亥對間壁12 2之間的墨水供應口 13 0而供應至空腔12 〇。 作為驅動元件之振動器124根據每一空腔120而位於橫隔 板126上。振動器124改變空腔120内填充之液體材料iu的 液體壓力，且包括一壓電元件124C，及一對電極124A及 124B，在該對電極之間夾著該壓電元件124C。藉由在該 105192.doc -18 · 1277538 對電極124A與124B之間施加一驅動電壓信號，壓電元件 124C變形以改變填充於空腔12〇内之液體材料lu的液體壓 力，藉此經由對應噴嘴25而以液滴形式喷出液體材料 1U。每一喷嘴25之形狀經調整以使得液體材料^丨丨經由每 一喷嘴25而於Z軸方向噴出。 可建構圖1所示之控制單元112以向複數個振動器124中 每一者彼此獨立地施加一驅動電壓信號。換言之，可參考 φ 每一噴嘴25根據來自控制單元112之驅動電壓信號而控制 經由每一喷嘴25喷出之液體材料U1的體積。 在此方面，液滴噴出頭2並不限於一使用如圖4所示之壓 電致動器作為驅動元件的液滴喷出頭。舉例而言，液滴喷 丨可使用靜電致動器，或可具有—結構，在該結構中 藉由電熱轉換元件使用液體材料出之熱膨脹（薄膜沸騰 (film boiling))而以液滴形式喷出液體材料丨i i。 (控制單元） 八二人，現將描述控料元112之組態'。圖5為^中所示 之液滴喷出裝置！的方塊圖，其包括控制單元如^ 所不，控制早兀112具有輸入緩衝記憶體200、儲存單元 2们、處理單元204、掃描驅動單元2Q6啥㈣早凡 物W籾平兀2〇6、噴頭驅 2〇8、滑架位置偵測器件 _ 及十至位置偵測器件3〇3。 早電連接至輸人缓衝記憶體200、儲存單元 2〇2、掃描驅動單元、喷頭驅動單 、、目丨ί哭/止12 τ 8 ;月务：位置禮 心件3G2及平堂位置偵測器件3()3中 、 描驅動單元206電連接至滑芊 者。另外’掃 W移動機構104與平臺移動機構 105192.doc -19- 1277538 i〇8。類似地，噴頭驅動單元2〇8電連接至噴頭單元ι〇3中 之複數個液滴喷出頭2中的每一者。 輸入缓衝記憶體200接收關於液體材料lu之液滴待噴出 之位置的資料，亦即，自外部資訊處理裝置的繪製圖案資 料（drawmg pattern data)。輸入緩衝記憶體2〇〇將繪製圖案 資料輸出至處理單元2G4，且處理單元接著將繪製圖案 資料儲存於儲存單元202中。在此方面，圖5中所示之儲存 _ 早兀202係由RAM(隨機存取記憶體）、磁性記錄媒體、磁 光記錄媒體或其類似物構成。 滑架位置偵測器件302偵測滑架1〇5之位置，亦即，喷頭 單元103於X軸方向之位置（滑架1〇5於又軸方向之移動距 . 離），且將送偵測之信號輸出至處理單元204中。舉例而 ° α木位置偵測器件302及平臺位置偵測器件303由線性 編碼器、雷射長度量測器件或其類似器件而構成。 處理單元204基於滑架位置偵測器件3〇2與平臺位置偵測 • 器件3〇3之所偵測信號而經由掃描驅動單元206來控制滑架 移動機構104及平臺移動機構1〇8之操作，藉此控制喷頭單 元之位置及基材10Α之位置。另外，處理單元綱控制 :臺1〇6之移動速度，亦即，藉由控制平臺移動機構ι〇8之 操作而控制基材1 0 Α。 =外，處理單元204基於儲存在儲存單元2〇2中之繪製圖 案資料而將一用於在每一喷出時序中指定每一喷嘴25之開 啓/關閉（ΟΝ/OFF)的選擇信號sc輸出至喷頭驅動單元綱。 噴頭驅動單元208接著基於選擇信號sc向每—液滴喷出頭2 105192.doc -20· 1277538 輸出-噴出液體材料⑴所需之噴出信號。因此，液體材 料ill經由每—液滴噴出頭2中之對應喷嘴25而以液滴形式 喷出。 控制單元112可為電腦，其具有cpu(中央處理單元）、 ROM(唯頃冗憶體）、RAM及其類似器件。在此狀況下，可 使用違電腦可執行之軟體程式來實現上述控制單元i 12的 操作。或者，以專用電路（亦即，使用硬體）來實現控制單 • 元 112。 其次，將描述控制單元112中之喷頭驅動單元2〇8之組態 及功能。圖6(a)為喷頭驅動單元2〇8之示意圖。圖6(b)為一 展不用於喷頭驅動單元2〇8之驅動信號、選擇信號及喷出 仏號的時序圖。如圖6(a)所示，喷頭驅動單元2〇8包括一驅 動信號產生器203及複數個類比開關as。如圖6(b)所示， 驅動彳§號產生器203產生驅動信號DS。該驅動信號DS之電 位隨時間而關於參考電位L改變。更具體言之，該驅動信 • 號DS&括以喷出循環EP重複之複數個喷出波形p。在此方 面’噴出波形P對應於一待施加於對應振動器124中之該對 電極124 A與124B之間的驅動電壓波形，以經由一喷嘴25 喷出一液滴。 驅動信號DS係供應至每一類比開關AS之輸入端子。每 一類比開關AS係根據每一喷嘴25而提供。亦即，類比開關 AS之數目與噴嘴25之數目相同。 處理單元2 0 4輸出對每一類比開關A S用於指示每一喷嘴 25之ΟΝ/OFF的選擇信號Sc。在此方面，選擇信號SC可關 105192.doc 21 1277538 於每一類比開關AS而變成高位準狀態或低位準狀態。回應 驅動信號DS及選擇信號SC，每一類比開關AS將一噴出信 號ES施加至對應振動器124之電極124A。更具體言之，在 其中選擇信號SC變成高位準狀態之狀況下，對應類比開關 AS開啓（ON)，且向對應電極124A施加驅動信號DS作為嘴 出信號ES。另一方面，在其中選擇信號Sc變成低位準狀 態之狀況下，對應類比開關AS關閉（OFF)，且對應類比開 _ 關八8輸出至對應電極124A之喷出信號ES的電位變成參考 電位L。當驅動信號DS施加至振動器124之電極124A時， 液體材料111經由對應於振動器124之喷嘴25而喷出。在此 方面，參考電位L施加至每一振動器124之電極124B上。 ' 在圖6(b)所示之一實例中，設定兩選擇信號SC中每一者 之高位準週期（level period)及低位準週期，以使得喷出波 形P在兩喷出信號ES之每一者中以循環2EP而出現，其為 喷出循環EP的兩倍。因此，液體材料i丨丨以循環2Ep經由兩 φ 對應喷嘴25中每一者以液滴形式喷出。共同驅動信號DS自 共用驅動信號產生器203而施加至對應於兩喷嘴25之每一 振動器124。為此原因，液體材料丨丨〗以大體相同之時序經 由兩喷嘴25而喷出。 此液滴喷出裝置1運作以使得液體材料U1之液滴經由喷 頭單元103中之每一液滴喷出頭2的喷嘴25而噴出，且將其 供應（降落）至基材10A上之每一像素18R、18G&18B上， 同時藉由平臺移動機構108之運作於丫軸方向移動支撐於平 $ 106上之基材i〇A ’且將基材1〇A傳遞至喷頭單元1〇3下 105192.doc -22· !277538 方。下文中，液滴噴出裝置丨之此操作可稱為"喷頭單元 1〇3與基材i〇A之間的主要掃描移動，，。 在其中基材10A於X軸方向之寬度小於可關於基材1〇A喷 出液體材料111之整個喷頭單元103於乂軸方向之長度（亦 即，稍後所述之整個喷出寬度貿）的狀況下，可藉由在喷頭 早A 103與基材l〇A之間進行主要掃描移動而將液體材料 ill供應至整個基材10Α上。另一方面，在其中基材10Α在 % X軸方向之寬度大於喷頭單元103之整個噴出寬度W的狀況 下，可藉由重複交替喷頭單元103與基材10Α之間的主要掃 描移動及喷頭單元103在χ軸方向上藉由滑架移動機構104 之運作所進行的移動（稱為，，次掃描移動”）來將液體材料m 供應至整個基材丨〇 A。 其-人，現將詳細描述使用上述液滴喷出裝置丨製造彩色 濾光片基板10之方法。圖7為展示製造彩色濾光片基板1〇 之方法的示意性截面圖。如圖7所示，基材1〇A包括一具有 • 光滲透性之支撐基板12，及複數個像素i8r、18(}及186， 其每一者變成一形成於支撐基板12上之彩色元件（像素區 域）以便與黑色矩陣（black matrice) 14及岸堤（bank) 16相分 離黑色矩陣14係由具有光遮蔽效應之材料形成。黑色矩 陣14及提供於黑色矩陣14上之岸堤16係位於支撐基板12上 以使得藉由其以矩陣方式界定複數個光滲透部分（亦即， 複數個像素18R、18G及18B)。亦即，複數個像素18R、 18G及18B係由支撐基板12、黑色矩陣14及岸堤16而形成 為分割區。像素18R為一區域，在該區域中將形成濾光層 105192.doc •23- 1277538 111FR ’其中僅具有紅光波長區域内之任何波長的光會滲 透至該濾光層111FR中。像素18(3為一區域，在該區域中 將形成遽光層111FG ’其中僅具有綠光波長區域内之任何 波長的光會滲透至該濾光層111FG中。像素18B為一區 域，在該區域中將形成濾光層丨丨1FB，其中僅具有藍光波 長區域内之任何波長的光會滲透至該濾光層1111?]3中。 當製造彩色濾光片基板1 〇時，根據以下步驟製造基材 φ 10A。首先，藉由濺鍍方法或蒸鍍方法將金屬薄膜形成於 支撐基板12上。接著，藉由光微影方法自該金屬薄膜以網 狀圖案形成黑色矩陣14。可將金屬鉻及氧化鉻作為用於黑 色矩陣14之材料而提及。在此方面，支撐基板12為關於可 見光（光學波長）而具有光滲透性之基板，諸如玻璃基板。 隨後’施加一由負型光聚合物組合物構成之抗蝕層（resist layer)以便覆蓋支樓基板12及黑色矩陣ι4。曝露該抗餘 層’同時使以矩陣圖案形成之光罩膜黏貼於該抗蝕層上。 • 接著’藉由使用蝕刻方法移除該抗蝕層之未曝露部分而獲 得岸堤16。以此方式，獲得基材1〇A。 在此方面，可利用由樹脂黑（resin black)形成之岸堤替 代岸堤16。在此狀況下，無需金屬薄膜（亦即，黑色矩陣 14)，且由一層建構岸堤層。 其次’在大氣壓下藉由氧電漿使基材丨〇 A變得親液。藉 由此處理’位於凹面部分（像素之一部分）中的支撐基板12 之表面、黑色矩陣14之表面及岸堤16之表面傾向於具有親 液性’其中每一凹面部分係藉由支撐基板12、黑色矩陣14 105192.doc -24- 1277538 及岸堤16而界定。另外，接著對基材1〇A進行使用cF4作為 處理氣體之電漿處理。藉由使用CL之電漿處理，使每一 凹面部分中之岸堤16之表面氟化，且藉由此處理岸堤16之 表面傾向於具有非親液性。在此方面，藉由使之電 水處理，具有親液性之支揮基板12之表面及黑色矩陣1 *之 表面稍微失去親液性。然而，即使如此，此等表面亦可保 持親液性。在此方面，根據支撐基板12之材料、黑色矩陣 φ 14之材料及岸堤16之材料，每一凹面部分之表面可在無上 述表面處理的情況下具有所要親液性及非親液性。在此狀 況下，表面無需經受上述表面處理。 將基材10A(如上文所述其上形成有像素18R、18G及 1 SB)輸送至液滴噴出裝置i之平臺1〇6上，且將其支撐於平 臺1〇6上。液滴喷出裝置1藉由操作平臺移動機構1〇8而在γ 軸方向移動基材10A，且自每一液滴喷出頭2以液滴形式將 液體材料供應至像素18R、18G及18B中的每一者，同時將 • 基材10A傳遞至喷頭單元103下方。此時，如圖7(a)至圖 7(c)所示，紅色液體材料111尺（彩色濾光片材料）噴出至每 一像素18R上，綠色液體材料111(3(彩色濾光片材料）喷出 至每—像素18G上，且藍色液體材料111B(彩色濾光片材 料）嘴出至每一像素18B上。 在將液體材料111R、111(3及1118分別供應至每一像素 18R、18G及18B上之後，將基材ι〇Α輸送至一乾燥裝置（圖 式中未展示）中以乾燥分別供應至每一像素18r、18g及 18B中之液體材料111R、111(}及U1B。因此，濾光層 105192.doc •25- 1277538 111FR、111FG及111FB分別形成於每一像素18R、18G及 1 8B上。在此方面，藉由重複使用液滴喷出裝置1進行對液 體材料111R、111G及111B之供應，且藉由乾燥裝置乾燥 所供應之液體材料111R、111G及111B以交替層壓液體材 料 111R、111G及 111B及濾光層 111FR、111FG及 111FB，最 終之濾光層111FR、111FG及111FB可形成於每一像素 18R、18G及 18B上。 φ 接著，將基材10A傳送至一烘箱（圖式中未展示）中且在 此烘箱中對濾光層111FR、111FG及111FB進行事後烘烤處 理（亦即，再加熱）。 其次，將基材10A輸送至一保護膜形成裝置（圖式中未展 示）中且在此保護膜形成裝置中一保護膜（位於塗層膜之 上）2〇形成於濾光層111FR、111FG、111FB及岸堤16之 上。在保護膜20已形成於濾光層111FR、111FG、111FB及 岸堤16之上後，在該乾燥裝置中對保護膜2〇進行完全乾 • 燥。另外，將保護膜20於一硬化裝置（圖式中未展示）中加 熱以將其完全硬化，藉由其使基材1 〇 A變成彩色濾光片基 板10。 圖8為示意性平面圖，其用於闡述根據本發明之液滴喷 出裝置1之喷頭單元103中每一液滴喷出頭2的位置關係。 如上文所述，用於喷出紅色液體材料丨丨以之四個液滴噴出 頭2(包括第一液滴噴出頭21R至第四液滴噴出頭24r)、用 於噴出綠色液體材料111G之四個液滴喷出頭2 (包括第一液 滴噴出頭21G至第四液滴喷出頭24G)及用於噴出藍色液體 105192.doc -26- 1277538 材料1UB之四個液滴喷出頭111B(包括第一液滴喷出頭21B 至第四液滴喷出頭24B)係提供於喷頭單元1〇3上。在此方 面’圖8中所示之每一線指示每一液滴喷出頭2中喷嘴陣列 之位置。 通常難以控制位於每一液滴喷出頭2之喷嘴陣列兩末端 附=的每一嗔嘴25之噴出量，藉由其易於產生此等喷嘴喷 出里之誤差丨於此原因，建構本實施例中之液滴喷出裝 鲁置1以使得不使用每一液滴喷出頭2中之噴嘴陣列兩末端附 近的預定數目（例如約10)之喷嘴（下文中，此等喷嘴25可稱 為”去能喷嘴25")(亦即，液體材料⑴不 ' …，因此，可均勻化每一喷嘴25中喷出之= 11之—里此使得可均句化待製造之彩色滤光片基板W 中之每-像素18R、18G及18B的顏色1此，可更必然地 T止產生顏色不均句性。在此方面，如圖8中所示提供於 每-液滴喷出頭2中之喷嘴陣列兩末端處之不使用部分 • (nonuse卿如咖指示其中定位去能喷嘴h之區域。 ;了文中’將給出四個液滴喷出頭2之位置關係的描述， 該等四個液滴噴出頭2包括用於喷出紅色液體材料之 弟:液滴噴出頭21R至第四液滴喷出頭24r。 ★、夜4噴出頭21R及第二^液滴噴出頭22r以連續方式 在平仃於母-噴嘴陣列之第一方向（亦即，X轴方向）排 =且第—液滴噴出頭21R及第二液滴喷出頭22R之兩個 噴鳴陣列經排列以# 4日# ώ 向卜 梆幻以使侍當自垂直於每一噴嘴陣列（第一方 0 "方向（亦即，Υ軸方向）觀察時，其喷嘴25經由第 105192.doc -27- 1277538 一液滴喷出頭21R及第二液滴喷出頭22R之兩個相鄰噴嘴 陣列之間的接縫r!而連續。在此狀況下，第一液滴喷出頭 21R及第二液滴喷出頭22R之兩個喷嘴陣列充當一長噴嘴 陣列。換言之，設定當自Y軸方向觀察時接缝〇處之噴嘴 間距以使其變成類似於噴嘴陣列中之噴嘴間距的規則長 度。由以此位置關係排列之第一液滴噴出頭21R及第二液 滴喷出頭22R構成的喷頭陣列稱為噴頭陣列3 1R。

在此方面，考慮到第一液滴喷出頭21R及第二液滴噴出 頭22R之個別一末端之不使用部分％，排列第一液滴噴出 頭21R及第二液滴喷出頭22R以使得當自丫軸方向觀察時， 第一液滴喷出頭21R中喷嘴陣列之圖8中的右端部分與第二 液滴喷出頭22R中喷嘴陣列之圖8中的左端部分在喷嘴陣列 之接縫r〗附近彼此重疊。 以類似之方式’第三液滴喷出頭23R及第四液滴噴出頭 24R以連續之方式在平行於每一噴嘴陣列之第一方向(亦 即X軸方向）排列，且對第三液滴喷出頭23r及第四液滴 喷出頭地之兩個喷嘴陣列進行排列以使得當自垂直於每 :嘴嘴陣列(第一方向)之第二方向(亦即，γ轴方向)觀： 時’其贺嘴25經由第三液滴喷出頭规及第四液滴喷出頭 ;=相鄰喷嘴陣列之間的接縫。而連續。在此狀況 皆έ彳4 ^出頭23R及第四液滴11 ii{頭24R之兩個喷 2列充當-長㈣㈣。㈣之， 疚 列中之喷嘴間距的規則長度…此 =陣 105I92.doc -28- 1277538 液滴喷出頭23R及第四液滴喷出頭24R構成之喷頭陣列稱 為喷頭陣列32R。 在此方面，考慮到第三液滴喷出頭23R及第四液滴喷出 頭24R之個別一末端之不使用部分26，排列第三液滴噴出 頭23R及第四液滴噴出頭24R使得當自γ軸方向觀察時，第 三液滴喷出頭23R中噴嘴陣列之圖8中的右端部分與第四液 滴喷出頭24R中噴嘴陣列之圖8中的左端部分在喷嘴陣列之 $ 接縫r2附近彼此重疊。 藉由將由上述喷頭陣列31R形成之長喷嘴陣列與由上述 喷頭陣列32R形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排列 以使得當自Y軸方向觀察時，接縫^及^在又軸方向上關於 ' 彼此移位。使用此重疊液滴喷出裝置1，可經由複數個不 同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)之喷嘴 25以液滴形式將液體材料mR喷出至一像素18r上。 舉例而言，在使用圖8中指示為&之區域（其中第一液滴 • 喷出頭21R與第三液滴喷出頭23R重疊）以液滴形式將液體 材料111R喷出至像素18R上的狀況下，如圖3所示，經由第 一液滴喷出頭21R之噴嘴25喷出之液滴91及經由第三液滴 喷出頭23R之喷嘴25噴出的液滴92供應於此處。 在此方面，於圖3中，儘管當自γ軸方向觀察時，喷頭陣 列31R(本文中，第一液滴喷出頭21R)中之喷嘴25的位置與 喷頭陣列32R(本文中，第三液滴喷出頭23R)中之喷嘴乃的 位置在X軸方向關於彼此移位，但可排列噴頭陣列3 1尺及 32R使得每一噴頭陣列3丨化及32R中之喷嘴位置彼此相對 105192.doc -29- 1277538 應。 儘管圖式中（詳言之，圖3中）未展示，但在使用圖8中指 示為R2之區域（其中第一液滴喷出頭21R與第四液滴喷出頭 24R重疊）以液滴形式將液體材料mR喷出至像素18R上的 狀況下’經由第一液滴喷出頭21R之喷嘴25喷出的液滴及 經由第四液滴噴出頭24R之喷嘴25喷出的液滴供應於此 處。另外，在使用圖8中指示為R3之區域（其中第二液滴噴 φ 出頭22R與第四液滴噴出頭24R重疊）以液滴形式將液體材 料111R喷出至像素18R上的狀況下，經由第二液滴喷出頭 22R之喷嘴25噴出的液滴及經由第四液滴喷出頭24R之喷 嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式’液滴喷出裝置i運作以使得液體材料111R# 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2的噴嘴25而喷出至 一像素1 8R上。因此，即使在其中複數個液滴喷出頭2之喷 出量之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴喷出裝置 ❿ 喷頭單元1〇3亦可能防止待從基材10A製造之彩色濾光片基 板10的表面中產生有害之顏色不均勻性。換言之，與本發 明之液滴噴出裝置1相對比，在其中僅經由一液滴喷出頭2 之喷嘴25將液體材料111R供應至一像素18R上的狀況下， 液滴喷出頭2之喷出量的變化直接引起待供應至每一像素 18R上之液體材料111R之量的變化（誤差），藉以使得在彩 色濾光片基板10上呈現嚴重的顏色不均勻性。另一方面， 在本發明之液滴喷出裝置1中，由於待供應至一像素18R上 之液體材料111R的量變成於掃描方向重疊之複數個液滴喷 105192.doc -30- 1277538 出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)中的喷嘴。喷出 之平均量，故可能均勻化供應至每一像素18R上之液體材 料111R之量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，在液滴喷出裝置，藉由自第一液滴噴出頭2ir 及第二液滴喷出頭22R構成喷頭陣列3 1R，第一液滴喷出 頭21R及第二液滴噴出頭22R之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣 列，同時藉由自第三液滴喷出頭23R及第四液滴噴出頭 24R構成喷頭陣列32R而使第三液滴喷出頭23R及第四液滴 喷出頭24R之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增 大整個喷出寬度W(亦即，於X軸方向之喷頭單元1〇3之長 度）’其中液體材料111R可經由整個喷頭單元丨〇3中之喷嘴 25而喷出至基材l〇A上。因此，可能減少將液體材料1UR 喷出至整個基材10A上所需之喷頭單元103關於基材1〇A的 主掃描移動之數目。詳言之，在其中基材10A之寬度小於 整個喷出寬度W的狀況下，可能藉由一主掃描移動而將液 體材料111R喷出至整個基材10A上。 此外，由於液滴喷出裝置1經建構使得當自γ轴方向觀察 時’喷頭陣列3 1R中之噴嘴陣列的接縫ri與喷頭陣列32R中 之喷嘴陣列的接縫r2關於彼此移位，故液滴喷出裝置1具有 以下優點。 在經由兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近的喷嘴25供應液 體材料111R所至的像素1 8R中比在位於其它位置處的像素 18R中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮以 下因素··由於喷嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附近而使 105192.doc -31 - 1277538 知以同準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近之此等喷嘴 25的噴出量較為困難；接縫處喷嘴間距之誤差；及其類似 因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫產生顏色不均勻性的狀 況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於一線而 沿液滴噴出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延伸）可 呈現於待製造之彩色濾光片基板1 0中。 在其中當噴頭陣列31R中之喷嘴陣列之接縫Γ1的位置與 φ 喷則車列训中之喷嘴陣列之接縫r2的位置相對應時在彩 色濾光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在 待製造之彩色濾光片基板10中重疊，藉以使此等條紋變得 顯著。另一方面，由於液滴喷出裝置i經建構以使得當自γ 軸方向觀察時喷頭陣列31R中之喷嘴陣列的接縫rl與噴頭 陣列32R中之喷嘴陣列的接縫h關於彼此移位，故該等兩 條紋分散於待製造之彩色濾光片基板1〇中之接縫^及巧的 位置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 瞻 其次，將給出四個液滴喷出頭2之位置關係的描述，該 等四個液滴喷出頭2包括用於噴出綠色液體材料丨丨丨G之第 一液滴噴出頭21G至第四液滴噴出頭24G。包括用於噴出 綠色液體材料111G之第一液滴喷出頭21(}至第四液滴噴出 頭2 4 G之四個液滴喷出頭2的位置關係類似於包括用於噴出 紅色液體材料111R之第一液滴噴出頭2111至第四液滴噴出 頭24R的四個液滴喷出頭2之位置關係。出於此原因，下文 中，將簡化此位置關係之描述。 第一液滴喷出頭21G及第二液滴噴出頭22G以連續方式 105192.doc -32- 1277538 在平行於每一噴嘴陣列之x軸方向排列，且第一液滴喷出 頭21G及第二液滴噴出頭22G之兩個喷嘴陣列經排列以使 得當自垂直於每一噴嘴陣列（亦即，χ軸方向）之丫轴方向觀 察時，其喷嘴25經由第一液滴喷出頭21G及第二液滴喷出 頭22G之兩個相鄰噴嘴陣列之間的接縫^而連續。在此狀 況下，第一液滴噴出頭21G及第二液滴喷出頭22G之兩個 喷嘴陣列充當-長噴嘴陣列。由以此位置關係排列之第一 液滴嘴出頭21G及第二液滴喷出頭22G構成的喷頭陣列稱 為喷頭陣列3 1G。 以類似之方式，第三液滴噴出頭23G及第四液滴喷出頭 24G以連續之方式在平行於每—喷嘴陣列之乂軸方向排 列，且第三液滴喷出頭23G及第四液滴噴出頭24G之兩個 喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每―喷嘴陣列（亦即，χ 軸方向）之Υ轴方向觀察時，其喷嘴25經由第三液滴喷出頭 23G及第四液滴噴出頭24G之兩個相鄰噴嘴陣列之間的接 縫g2而連續。在此狀況了’第三液滴喷出頭23g及第四液 滴喷出頭24G之兩個喷嘴陣列充#—長噴嘴❹卜由以此 位置關係排列之第三液滴噴出頭23g及第四液滴喷出頭 24G構成的贺頭陣列稱為喷頭陣列mg。 藉由對由上述噴頭陣列31G形成之長噴嘴陣列與由上述 喷頭陣列32G形成之長噴嘴陣列進行重疊而對其進行排 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫g丨與邮軸方向關 於彼此移位。使用此重疊，液滴噴出裝以可經由複數個 不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)之喷 105192.doc -33- 1277538 嘴25以液滴形式將液體材料111G喷出至一像素18G上。 換言之，在使用圖8中指示為G!之區域（其中第一液滴喷 出頭21G與第三液滴喷出頭23G重疊）以液滴形式將液體材 料111G噴出至像素18G上的狀況下，經由第一液滴喷出頭 21G之噴嘴25喷出的液滴及經由第三液滴噴出頭23G之喷 嘴25喷出的液滴供應於此處。

另外，在使用圖8中指示為G2之區域（其中第一液滴喷出 頭21G與第四液滴喷出頭24G重疊）以液滴形式將液體材料 111G喷出至像素18G上的狀況下’經由第一液滴喷出頭 21G之喷嘴25喷出的液滴及經由第四液滴噴出頭24G之喷 鳴2 5喷出的液滴供應於此處。此外，在使用圖8中指示為 G3之區域（其中第二液滴喷出頭22G與第四液滴喷出頭24 G 重豐）以液滴形式將液體材料1 Πg喷出至像素1 gG上的狀況 下，經由第二液滴喷出頭22G之喷嘴25喷出的液滴及經由 第四液滴喷出頭24G之喷嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式，液滴喷出裝置}運作使得液體材料lnG以液 滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之噴嘴25而喷出至一 像素18G上。因此，即使在其中於複數個液滴噴出頭2之喷 出量之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴噴出裝置1之 噴頭單元H)3亦可能防止在待從基#1〇A製造之彩色遽光片 基板H)之表面中產生有害的顏色不均句性。換言之:鱼本 發明之液滴喷出裝置！相對比，在其中僅經由—液滴嗔出 碩2之噴嘴25將液體材料111G供應至—像素咖上的狀況 下，液滴喷出頭2之喷出量的變化直接引起待供應至每一 I〇5l92.d〇c -34 - 1277538 像素18G上之液體材料111G的量之變化（誤差），藉以在彩 色濾光片基板10中呈現嚴重顏色不均勻性。另一方面，在 本發明之液滴喷出裝置丨中’由於待供應至一像素18G上之 液體材料mG的量變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷出 頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)中的喷嘴25喷出之 平均量，故可能均勻化供應至每一像素18G上之液體材料 111G的罝’藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，在液滴喷出裝置1中，藉由自第一液滴喷出頭2 及第一液滴喷出頭22G構成喷頭陣列3 1 g，第一液滴喷出 頭21G及第二液滴喷出頭22G之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣 列’同時藉由自第三液滴噴出頭23G及第四液滴喷出頭 24G構成喷頭陣列32G，第三液滴喷出頭23G及第四液滴喷 出頭24G之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大 整個喷出寬度W(亦即，在X軸方向之喷頭單元1〇3之長 度）’其中液體材料111G可經由整個喷頭單元1〇3中之喷嘴 25而喷出至基材i〇A上。因此，可能減少將液體材料111G 喷出至整個基材10A上所需之喷頭單元1〇3關於基材i〇A的 主掃描移動之數目。詳言之，在其中基材l〇A之寬度小於 整個噴出寬度W的狀況下’可能藉由一主掃描移動而將液 體材料111G喷出至整個基材ι〇Α上。 此外’由於液滴喷出裝置1經建構以使得當自γ軸方向觀 察時’喷頭陣列31G中之噴嘴陣列的接縫gl與喷頭陣列32G 中之噴嘴陣列的接縫g2關於彼此移位，故液滴喷出裝置1 具有以下優點。 105192.doc •35- 1277538 在經由兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近的喷嘴25供應液 體材料111G所至的像素18G上比在提供於其它位置處之像 素18G中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮 以下因素·由於噴嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附近而 使得以高準碟度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近之喷嘴25 的喷出量較為困難；接縫處喷嘴間距之誤差；及其類似因 素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均勻性之狀 鲁 況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於一線而 沿著液滴喷出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延伸） 可呈現於待製造之彩色濾光片基板10中。 在當喷頭陣列3 1G中之喷嘴陣列之接缝gi的位置與噴頭 陣列32G中之喷嘴陣列之接縫的位置相對應時在彩色濾 光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在待製 造之彩色濾光片基板10中重疊，藉以使得此等條紋變得顯 著。另一方面，由於液滴噴出裝置丨經建構以使得當自¥軸 • 方向觀察時喷頭陣列31G中之喷嘴陣列之接縫§1與噴頭陣 列32G中之喷嘴陣列的接縫“關於彼此移位，故此等兩條 紋分散在待製造之彩色濾光片基板1〇中之接缝^及匕的位 置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 其次，將給出四個液滴喷出頭2之位置關係的描述，該 等四個液滴喷出頭2包括用於噴出藍色液體材料U1B之第 一液滴噴出頭21B至第四液滴噴出頭24B。包括用於噴出 藍色液體材料111B之第一液滴f出頭21B至第目液滴嘴出 頭24B之四個液滴喷出頭2的位置關係類似於包括用於噴出 105192.doc -36 - 1277538 紅色液體材料111R之第一液滴喷出頭21R至第四液滴噴出 頭24R之四個液滴喷出頭2的位置關係。出於此原因，下文 中將簡化此位置關係之描述。 第一液滴喷出頭2 1B及第二液滴喷出頭2 2 B以連續之方 式在平行於每-噴嘴陣狀χ軸方向排列，且第_液滴喷 出頭21Β及第二液滴喷出頭22Β之兩個喷嘴陣列經排列以 使得當自垂直於每一噴嘴陣列（亦即，χ軸方向）之丫軸方向 觀察時，其噴嘴25經由第一液滴噴出頭21Β及第二液滴喷 出頭22Β之兩個相鄰噴嘴陣列之間的接縫、而連續。在此 狀況下，第一液滴喷出頭21B及第二液滴噴出頭22β之兩 個喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置關係排列之第 一液滴喷出頭21B及第二液滴喷出頭22B構成之喷頭陣列 稱為喷頭陣列3 1B。 、類似之方式，第二液滴喷出頭23B及第四液滴喷出頭 24B以連縯之方式在平行於每一喷嘴陣列之X軸方向排 列，且第三液滴喷出頭23B及第四液滴噴出頭MB之兩個 喷嘴陣列經排列以使得#自垂直於每—喷嘴陣列（亦即，χ 軸方向)之Υ軸方向觀察時’其喷嘴25經由第三液滴喷出頭 23Β及第四液滴喷出頭24Β之兩個相鄰噴嘴陣列之間的接 _而連續。在此狀況下’第三液滴喷出頭23β及第四液 滴噴出頭24Β之兩個噴嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此 位置關係排列之第三液滴喷出頭23Β及第四液滴喷出頭 24Β構成的喷頭陣列稱為喷頭陣列32Β。 藉由對由上述噴頭陣列31Β形成之長喷嘴陣列與由上述 105192.doc -37- 1277538 喷頭陣列32B形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫1^與1)2在又軸方向上 關於彼此移位。使用此重疊，液滴喷出裝置1可經由複數 個不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)之 噴嘴25而以液滴形式將液體材料iiiB喷出至一像素18B 上。

換言之，在使用圖8中指示為心之區域（其中第一液滴喷 籲 出頭2 1B與第三液滴喷出頭23B重疊）以液滴形式將液體材 料111B喷出至像素18B上的狀況下，經由第一液滴喷出頭 21B之喷嗔2 5喷出的液滴及經由第三液滴噴出頭2 3 b之喷 嘴25喷出的液滴供應於此處Q -另外，在使用圖8中指示為&之區域（其中第一液滴喷出 頭21B與第四液滴喷出頭24B重疊）以液滴形式將液體材料 111B喷出至像素18B上的狀況下，經由第一液滴噴出頭 2 1B之喷嘴25喷出的液滴及經由第四液滴噴出頭24B之喷 φ 嘴25喷出的液滴供應於此處。此外，在使用圖8中指示為 B3之區域（其中第二液滴喷出頭22B與第四液滴喷出頭24B 重疊）以液滴形式將液體材料丨丨1B喷出至像素18B上的狀況 下，經由第二液滴噴出頭22B之喷嘴25噴出的液滴及經由 第四液滴喷出頭24B之噴嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式，液滴喷出裝置！運作以使得液體材料iiib# 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之噴嘴乃而喷出至 像素18B上。因此，即使在其中於複數個液滴噴出頭2之 喷出ϊ之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴喷出裝置工 105192.doc -38- 1277538 之喷頭單元1〇3亦可能防止在待從基材i〇a製造之彩色遽'光 片基板ίο之表面中產生有害的顏色不均句性。換$之，與 本發明之液滴喷出裝相對比，在其中經由僅：液滴喷 出頭2之喷嘴25將液體材料1UB供應至一像素⑽上的狀況 下，液滴噴出頭2噴出量的變化直接引起待供應至每一像 素18B上之液體材料111B之量的變化（誤差），藉以在彩色 濾光片基板10中呈現嚴重顏色不均勻性。另一方面，在本 # 發明之液滴喷出裝置β，由於待供應至一像素18B上之液 體材料mB的量變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷出頭 2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)中的喷嘴乃之喷出平 均ϋ可能均句化#應至每一像素18B上之液體材料 ‘ 111B的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，在液滴喷出裝置1中，藉由自第一液滴喷出頭2lB 及第二液滴喷出頭22B構成喷頭陣列31B，第一液滴喷出 頭21B及第二液滴喷出頭22B之噴嘴陣列充當一長喷嘴陣 _ 列，同時藉由自弟二液滴喷出頭23B及第四液滴喷出頭 24B構成喷頭陣列32B，第三液滴噴出頭23b及第四液滴喷 出頭24B之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大 整個喷出寬度W(亦即，在X軸方向上噴頭單元之長 度）’其中液體材料111B可經由整個喷頭單元1〇3中之喷嘴 25而喷出至基材1 〇A上。因此，可能減少將液體材料j丨J B 喷出至整個基材10A上所需之喷頭單元i〇3關於基材i〇a的 主掃描移動之數量。詳言之，在其中基材10A之寬度小於 整個喷出寬度W之狀況下，可能藉由一主掃描移動將液體 105192.doc -39- 1277538 材料111B喷出至整個基材10A上。 此外，由於液滴喷出裝置1經建構以使得當自Y軸方向觀 察時，喷頭陣列31B中之喷嘴陣列的接縫h與噴頭陣列32B 中之喷嘴陣列的接縫1>2關於彼此移位，故液滴噴出裝置j 具有以下優點。 在經由兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近的噴嘴25供應液 體材料111B所至的像素18B中比在提供於其它位置處之像 鲁 素1 中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮 以下因素：由於喷嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附近而 使得以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近的此等喷 嘴25之喷出量較為困難；接縫處喷嘴間距之誤差；及其類 似因素。在其中由於此喷嘴陣列之接縫產生顏色不均勻性 之狀況下，一所謂之條紋（其中該顏色不均勻性類似於一 線而沿著液滴喷出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延 伸）可呈現於待製造之彩色濾光片基板1〇中。 • 在其中當喷頭陣列31B中之喷嘴陣列之接縫匕的位置與 喷頭陣列32B中之喷嘴陣列之接縫的位置相對應時於彩 色濾光片基板1 0中產生上述條紋之狀況下，此等兩條紋在 待製造之彩色濾光片基板1〇中重疊，藉以使此等條紋變得 顯著。另一方面，由於液滴噴出裝置i經建構以使得當自γ 軸方向觀察時喷頭陣列31B中之喷嘴陣列的接縫、與喷頭 陣列32B中之噴嘴陣列的接縫^關於彼此移位，故該等兩 條紋分散在待製造之彩色滤光片基板1〇中之接縫^及^的 位置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 105192.doc !277538 在此喷頭單元103中，分別由用於喷出紅色液體材料 111R之喷頭陣列31R及32R形成的兩長喷嘴陣列、分別由 用於喷出綠色液體材料111G之喷頭陣列31G及32G形成的 兩長喷嘴陣列，及分別由用於喷出藍色液體材料丨丨1B之喷 頭陣列3 1B及32B形成的兩長噴嘴陣列經排列以便當自γ軸 觀察時其關於彼此重疊。此使得可能藉由喷頭單元丨〇3關 於基材10A進行之掃描移動來於整個喷出寬度w上將紅色 φ 液體喷出材料U1R、綠色液體喷出材料111G及藍色液體喷 出材料111B分別供應至像素18R、18G及18B上。 另外，在液滴喷出裝置1中，用於喷出紅色液體材料 111R之喷頭陣列31R及32R中之喷嘴陣列的接縫Γι&Γ2、用 於喷出綠色液體材料111G之喷頭陣列3ig及32G中之喷嘴 陣列的接缝gl&g2，及用於喷出藍色液體材料1UB之喷頭 陣列3 1Β及32Β中之喷嘴陣列的接縫匕及匕經排列以便當自 γ軸方向觀察時移位。 II 因此，在待製造之彩色濾光片基板10中，可於任何紅色 像素18R上產生之條紋、可於任何綠色像素18G上產生之 條紋、可於任何藍色像素18G上產生之條紋可關於彼此而 分散。因此，可能更必然地防止此等條紋變得顯著。詳言 之，在本實施例中，由於當自γ軸方向觀察時喷嘴陣列之 接縫h、以、h、ri、引及…之位置係以均等間隔而定位， 故即使在該等條紋稍微變得顯著的狀況下，亦可能規則地 分散該等條紋。因此，可能使此等條紋變得不顯著。 圖9為示意性地展示本發明之液滴噴出裝置丨中的喷頭單 105192.doc -41 - 1277538 元103之組態之另一實例的平面圖。四個液滴噴出頭$工、 52、53及54提供於圖9所示之喷頭單元1〇3,中。每一液滴喷 出頭51、52、53及54包括複數個喷嘴陣列（在本實施例 中12個喷鳴陣列）’其在γ軸方向以並排關係排列以使得 當自Y軸方向觀察時，每一複數個液滴喷出頭51、52、53 及54中之12個喷嘴陣列的兩末端對準。因此，四個液滴喷 出頭51、52、53及54之48個喷嘴陣列提供於噴頭單元1〇3, φ 中。每一液滴喷出頭51、52、53及54以類似於上文所述之 噴頭單το 103中之彼等（參見圖8)的方式而排列。在此方 面，出於簡明之目的，在圖9中每一液滴喷出頭51、52、 53及54係指示為簡單長方形。 液滴喷出頭51及液滴喷出頭52在平行於每一噴嘴陣列之 X軸方向以連續之方式排列，且液滴喷出頭51及52之24個 噴嘴陣列經排列以使得當自垂直於每一喷嘴陣列之Y軸方 向觀察時，其喷嘴25經由兩個相鄰液滴喷出頭5丨及52之間 肇 的接縫j1而連續。在此狀況下，兩個液滴喷出頭5 1及52充 當一噴頭組陣列61。 以類似之方式，液滴喷出頭53及液滴噴出頭54在平行於 母一噴嘴陣列之X軸方向以連續之方式排列，且液滴喷出 頭53及54之24個喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每一喷 嘴陣列之Y軸方向觀察時，其喷嘴25經由兩個相鄰液滴喷 出頭53及54之間的接縫而連續。在此狀況下，兩液滴噴 出頭53及54充當一噴頭組陣列62。#由對上述喷頭組陣列 及喷頭、、、且陣列62進行重疊而對其進行排列，以使得當自 105192.doc -42- 1277538 Y軸方向觀察時接縫1及』2在又軸方向關於彼此移位。 在具有此噴頭單元103·之液滴喷出裝置！中，自兩個液 滴喷出頭（亦即，兩個液滴噴出頭51及53、51及54或53及 54)喷出之液體材料ιη供應至每一像素、we或18Β 上。此使得可能進一步均勻化待供應至基材1〇Α之任何位 置處的每一像素18尺、18G或18Β上之液體材料iu的量。 因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾光片基板1〇之 _ 表面中產生顏色不均勻性。 另外，由於液滴喷出頭51之噴出寬度W!與液滴喷出頭52 之喷出寬度W2相連接而起作用且液滴喷出頭53之喷出寬度 W3與液滴噴出頭54之喷出寬度W4相連接而起作用，故可 能增大X軸方向上喷頭單元1〇3,之長度（亦即，圖9中之整 個喷出寬度W)，其中液體材料U1可經 阶中之喷嘴加喷出至基㈣AJ^ ^早兀 此外，由於本實施例之液滴噴出裝置丨經建構以使得當 ❿自Y軸方向觀察時喷頭組陣列61中之噴嘴陣列的接縫二 喷頭組陣列62中之喷嘴陣列的接縫j2關於彼此移位，故可 由於接心而產生之條紋及可由於接縫]2而產生的條紋可 在待製造之彩色濾光片基板10中之獨立點處分散。因此， 可能更必然地防止條紋變得顯著。 上文已描述之本發明不但可應用於製造彩色滤光片基板 10之狀況而且可應用於製造諸如電致發光顯示器之其它類 型圖像顯示裝置的狀況。 圖10為展示一製造有機電致發光顯示器3〇之方法的示意 105192.doc -43 - 1277538 性截面圖。下文中，將給出對於使用本發明製造有機電致 發光顯示器30之狀況的閣述；然而，主要描述上文所述製 造彩色濾光片基板10之狀況與製造有機電致發光顯示器3〇 之狀況之間的差異，且省略了對類似闡述之描述。 圖10中所不之基材30A為用於製造有機電致發光顯示器 3〇之基板。基材30A具有以矩陣方式排列於其上之複數個 像素（亦即，複數個噴出區域）38R、38〇及38]3。 更具體言之，基材30A包括一支撐基板32、一形成於該 支撐基板32上之電路元件層34、形成於該電路元件層34上 之複數個像素電極36，及形成於複數個像素電極36中相鄰 兩者之間的複數個岸堤40。支撐基板32具有關於可見光 (光學波長）之光滲透性，諸如玻璃基板。每一複數個像素 電極36亦具有關於可見光（光學波長）之光滲透性，諸如 ITO(氧化銦錫）電極。另外，複數個像素電極％可以矩陣 方式排列於電路元件層34上，且每一像素電極36界定一像 素。每一岸堤4〇具有類似晶格之結構，且每一複數個像素 電極36環繞有預定岸堤4〇。此外，岸堤4〇由形成於電路元 件層34上之無機岸堤4〇a及位於無機岸堤4〇A上之有機岸 堤40B構成。 坪 電路元件層34為一具有以下各物之層··複數個掃描電 極’其各自於支撐基板32上朝向預定方向延伸；一絕緣膜 42 ’其形成以便覆蓋複數個掃描電極；複數個信號電極 其提供於絕緣膜42上且各自朝向一垂直於預定方向 而延伸，其中每一複數個掃描電極朝向該預定方向而延 105192.doc -44- 1277538 伸；複數個開關元件44，其各自提供於掃描電極與信號電 極之間的相交點附近；及複數個層間絕緣膜45，諸如聚醯 亞私：’其形成以便覆蓋複數個開關元件44。每一開關元件 44之閘電極44G及源電極44S分別電連接至對應掃描電極及 對應彳§號電極。複數個像素電極36位於層間絕緣膜45上。 複數個通孔44 V分別提供於對應於開關元件44之汲電極 44D的部分處’且開關元件44經由通孔44 V而分別電連接 至對應像素電極36。另外，開關元件44分別提供於對應於 岸堤40之位置處。換言之，當自圖1〇中之上侧觀察時，每 一複數個開關元件44經定位以便覆蓋有對應岸堤4〇。 各自藉由像素電極36及對應岸堤40界定之凹面部分分別 對應於像素38R、38G及38B。像素38R為一區域，在該區 域中將形成一發光層211FR，其中經由該發光層211FR而 發射具有紅光波長區域内之波長的光。像素38G為一區 域’在該區域中將形成一發光層211FG，其中經由該發光 層211FG而發射具有綠光波長區域内之波長的光。像素 38B為一區域，在該區域中將形成一發光層211FB，其中 經由該發光層211FB而發射具有藍光波長區域内之波長的 光。 可使用已知成膜技術及圖案化技術來製造此基材3 〇 A。 首先，在大氣壓下藉由氧電漿處理使基材30A變得親 液。藉由此處理，在像素38R、38G及38B(各自藉由像素 電極36及岸堤40來界定）中，像素電極36之表面、無機岸 堤40A之表面及有機岸堤40B之表面傾向於具有親液性。 105192.doc -45- 1277538 另外’接著對基材3GA進行使用W作為處理氣體之電聚處 7。猎由使用cf4之電漿處理’使每一凹面部分中有機岸 知彻之表面乾化’且有機岸堤彻之表面藉由此處理而 傾向於具有非親液性。在此方面，藉由使用⑺之電衆處 理，先前已具有親液性之像素電極36之表面及無機岸堤 40A之表面稍微失去親液性。然@，即使如此，此等表面 亦可保持親液性。 在此方面，根據像素電極36之材料、無機岸堤4〇A之材 料及有機岸堤40B之材料，每一凹面部分之表面在無上述 表面處理的情況下彳具有戶斤要親液性及非親;夜性。在此狀 況下’該表面無需經歷上述表面處理。 此外，對應電洞輸送層37R、37〇及376可形成於每一複 數個像素電極36上從而經歷表面處理。在其中電洞輸送層 37R、37G及37B分別位於像素電極36與發光層211FR、 211FG及211FB之間的狀況下，可能改良電致發光顯示器 之發光效率。 如圖10(a)至圖10(c)所示，液體材料211R、211G及211B 分別供應至基材30A上，其中像素38R、38G及38B如上文 所述以類似於使用本發明之液滴喷出裝置1形成上述彩色 濾、光片基板10之狀況的方式而形成於基材3 〇 A上。在此狀 況下，液體材料211R包括紅色有機發光材料，液體材料 2 11G包括綠色有機發光材料，且液體材料211 b包括藍色發 光材料。 接著，將基材30A轉移至乾燥裝置中。發光層211FR、 105192.doc -46- 1277538

211FG及211FB係藉由對供應至每一像素38R、38〇及38B 之液體材料211R、211G及211B進行乾燥而於每一像素 38R、38G及38B上獲得。 其次，對向電極（counter electrode)46形成以便覆蓋發光 層211FR、211FG及211FB及岸堤40。每一對向電極46充當 一負電極。 隨後’藉由將密封基板48接合至基材3〇A(以該等兩者之 φ 周邊部分而接合），獲得圖10(d)所示之有機電致發光顯示 器30。在此方面，惰性氣體封裝在密封基板48與基材3〇a 之間。 在有機電致發光顯示器30中，自發光層211FR、211FG 及211FB發射之光經由像素電極36、電路元件層34及支撐 基板32而發射至外部。以此方式經由電路元件層34發射光 之有機電致發光顯示器稱為底部發光型顯示器。 儘管已基於圖式中所示之較佳實施例描述了其中本發明 • 應用至製造液晶顯示器（彩色濾光片基板）及有機電致發光 顯示器之方法中的狀況，但應注意：本發明並不限於上述 實施例。舉例而言，可將本發明應用於製造電漿顯示器之 背基板（back substrate)或製造具有電子發射元件之圖像顯 不器（其亦稱為SED(表面傳導電子發射顯示器）或FED(場發 射顯示器））的方法中。 <電子器件之實施例> 可利用諸如具有使用上述方法製造之彩色濾光片基板j 〇 之液晶顯示器，及使用上述方法製造之有機電致發光顯示 105192.doc -47- 1277538 器的圖像顯示裝置1000(亦即，本發明之電子裝置）作為各 種類型電子裝置中每一者之顯示部分。 圖11為展示一應用本發明之電子裝置的行動（或膝上型） 個人電腦1100之結構之透視圖。參看圖U，個人電腦11〇〇 具有一具鍵盤1102之主體1104，及顯示單元11〇6。該顯示 單元1106經由一鉸鏈部分可旋轉地支撐於主體11〇4上。在 此個人電腦1100中，顯示單元1106具有上述圖像顯示裝置 1000。 圖12為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電話（包 括個人莩上型電話系統）12〇〇之結構之透視圖。參看圖 12，攜帶型電話1200具有複數個按紐12〇2、一聽筒12〇4、 一話筒1206及一顯示部分。該顯示部分係由上述圖像顯示 裝置1000構成。 圖13為展不一應用本發明之電子裝置的數位靜態相機 1300之結構之透視圖。在此圖式中，示意性地展示該數位 # 靜態相機與其外部設備之連接。普通相機基於對象 (subject)之光學圖像而曝光銀鹽照相軟片，而數位靜態相 機1300藉由以諸如電荷耦合器件（CCD)之成像器件將對象 之光學圖像光電轉換為成像信號而產生成像信號（圖像信 號）。 上述圖像顯不裝置1000係提供為數位靜態相機13〇〇中之 外殼（主體）1302之背表面上的顯示部分。圖像顯示裝置 1000回應於藉由CCD輸出之成像信號來顯示圖像，且充當 用於將對象顯示為電子圖像之取景器（finder)。電路板i 3〇8 105192.doc -48- 1277538 置放於外殼1302内部。能夠儲存諸如成像信號之記憶體置 放於電路板1308上。 另外’包括光學透鏡（成像光學系統）、CCD及其類似物 之光揍收單元1304係提供於外殼13〇2之前表面側。當攝影 者確定顯示於顯示部分（亦即，圖像顯示裝置1〇〇〇)上之對 象圖像，且按下快門按鈕13〇6時，此時CCD之成像信號轉 移至電路板1308之記憶體且儲存於此記憶體中。 φ 另外’視訊信號輸出端子13 12及用於資料通信之輸入/ 輸出端子1314提供於數位靜態相機13〇〇中之外殼13〇2的側 表面上。如圖13中所示，若需要，則電視監控器143〇及個 人電腦1440分別連接至視訊信號輸出端子13 12及輸入/輸 出端子1314以用於資料通訊。此外，儲存於電路板13〇8之 A fe體中的成像信號藉由一預定操作而輸出至電視監控器 1430或個人電腦1440。 在此方面，除圖11中所示之個人電腦（行動個人電 • 腦）11〇〇、圖12中所示之攜帶型電話1200及圖13中所示之 數位靜態相機1300之外，本發明之電子裝置可合適地用於 (或應用於)(例如)電視、視訊相冑、觀察取景器類型或監 控器直接觀察型錄影帶錄像機、膝上型個人電腦、汽車導 航器件、尋呼機、電子筆記型電腦（包括具有通信功能之 彼等）、電子辭典、袖珍計算器、電子遊戲器件、文書處 理器、工作站、電視電話、用於犯罪預防之電視監控器、 電子雙筒望遠鏡、POS(銷售點）終端機、具有觸控面板之 裝置(例如，金融機構中之自動提款機、自動售票機）、醫 105192.doc -49- 1277538 療器件（例如，電子溫度計、血壓計、血醣計、心電圖顯 不為件、超音診斷器件、用於内診鏡之顯示器）、探魚儀 (fish finder)、各種量測器件、量計（例如，用於車輛、飛 機船及其類似物之量計）、飛行模擬器、任何其它類型 監控益、諸如投影儀之投影型顯示器及其類似物。 雖然已基於圖式中所示之實施例描述了根據本發明之用 於液滴噴出裝置之噴頭單元、液滴噴出裝置、從基材製造 面板之方法、圖像顯示裝置及電子裝置，但應注意，本發 明並不限於該實施例。可以能夠以相同方式起作用之任奇 配置來替代根據本發明之喷頭單元、液㈣出裝置及電: 裝置的個別部分。另外，任柯直 Γ怯何具匕任思組件可添加至根據 本發明之喷頭單元、液滴喷出裝置及電子裝置。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明之―實施財的液滴喷出裝置之透視圖。 展示圖1中所示之液滴嘴出裝置之噴頭單元及展示 一基材的平面圖。 圖3為展示液滴喷出頭之 示基材之像素的放大平面圖。㈤板）之-部分及展 圖4⑷及圖4(b)分別為^中所示之液滴 喷出頭的透視截面圖及截面圖。 羞置之液滴 圖5為圖1中所示之液滴噴出裝置的方塊圖。 圖6(a)為喷頭驅動單元之示专圖。 圖6⑻為展示用於噴頭驅動單元之驅動信 及喷出信號的時序圖。 k擇L號 105192.doc 1277538 不製造彩色濾光片基板之方法的示 圖7⑷至圖7(d)為展 意性截面圖。 二：；闡述根據本發明之液滴喷出裝置之喷頭單元 中的母—液滴噴出頭之位置關係的示意性平面圖。 圖:為示意性展示本發明之液滴噴出裝置中的喷頭單元 之組態之另一實例的平面圖。 圖1〇⑷至圖10⑷為展示製造有機電致發光顯示器之方 法的示意性截面圖。 圖11為展示一應用本發明之電子裴置的行動（或膝上型） 個人電腦之結構的透視圖。 圖12為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電話（包 括個人掌上型電話系統）之結構的透視圖。 【主要元件符號說明】 圖13為展示一應用本發明之電子裝置的數位靜態相機之 結構的透視圖。 1 液滴喷出裝置 2 液滴喷出頭 2 EP兩倍喷出循環 10 彩色遽光片基板 10A 基材 12 支撐基板 14 黑色矩陣 16 岸堤 18B 藍色像素（噴出區域） 105192.doc -51 1277538

18G 綠色像素（喷出區域） 18R 紅色像素（喷出區域） 20 保護膜 21B 藍色液體材料111B之第一液滴噴出頭 21G 綠色液體材料111G之第一液滴噴出頭 21R 紅色液體材料111R之第一液滴噴出頭 22B 藍色液體材料111B之第二液滴噴出頭 22G 綠色液體材料111G之第二液滴噴出頭 22R 紅色液體材料111R之第二液滴噴出頭 23B 藍色液體材料111B之第三液滴喷出頭 23G 綠色液體材料111G之第三液滴噴出頭 23R 紅色液體材料111R之第三液滴噴出頭 24B 藍色液體材料111B之第四液滴噴出頭 24G 綠色液體材料111G之第四液滴喷出頭 24R 紅色液體材料111R之第四液滴噴出頭 25 喷嘴 26 不使用部分 30 有機電致發光顯示器 30A 基材 31R，32R，31G， 喷頭陣列 32G，31B，32B 32 支撐基板 34 電路元件層 36 像素電極 105192.doc -52- 1277538

37R, 37G，37B 電洞輸送層 38R，38G，38B 像素 40 岸堤 40A 無機岸堤 40B 有機岸堤 42 絕緣膜 44 開關元件 44D 汲電極 44G 閘電極 44S 源電極 44V 通孔 45 層間絕緣膜 46 對向電極 48 密封基板 51，52, 53, 54 液滴喷出頭 61，62 喷頭組陣列 91，92 液滴 101 貯槽 103 喷頭單元 103' 喷頭單元 104 滑架移動機構（移動機構） 105 滑架 106 平臺 108 平臺移動機構（移動機構） 105192.doc -53 - 1277538

110 管 111 液體材料 111B 藍色液體材料 111FR，111FG，111FB 濾光層 111G 綠色液體材料 111R 紅色液體材料 112 控制單元 120 空腔 122 間壁 124 振動器 124A, 124B 電極 124C 壓電元件 126 橫隔板 128 噴嘴板 129 儲集器 130 墨水供應口 131 墨水進口 200 輸入缓衝記憶體 202 儲存單元 203 信號產生器 204 處理單元 206 掃描驅動單元 208 喷頭驅動單元 211FR，211FG，211FB發光層 105192.doc -54- 1277538

211R，211G，211B 302

303 1000 1100 1102 1104 1106 1200 1202 1204 1206 1300 1302 1304 1306 1308 1312 1314 1430 1440 AS DS EP 液體材料 滑架位置偵測器件 平臺位置偵測器件 圖像顯示裝置 個人電腦 鍵盤 主體 顯示單元 攜帶型電話 按紅 聽筒 話筒 數位靜態相機 外殼（主體） 光接收單元 快門按鈕 電路板 視訊信號輸出端子 輸入/輸出端子 電視監控器 個人電腦 類比開關 驅動信號 喷出循環 105192.doc -55- 1277538 ES 喷出信號 jl， 接縫 L 參考電位 P 喷出波形 Ri，R2，R3，Gi，G2， 區域 G35 Bi? B2, B3 n，r2, g】，g2, bl5 b2 接縫 SC 選擇信號 w 整個喷出寬度 Wl5 w2, w3, w4 喷出寬度 X X軸方向 Y Y 軸方向 z z 轴方向 105192.doc -56-

Claims (1)

1277538 十、申請專利範圍·· '·單元’其係用於一液滴喷出裝置中者，該噴頭 液體材料：Γ液滴形式將一預定顏色之—或多個種類 滴噴出頭二:基材上的複數個液滴喷出頭，該等液 至少-個:括由線㈣準之複數個噴嘴構成之 液滴噴出頭'陣列，，該液體材料適用於經由該等複數個 、碩之5亥等複數個喷嘴以液滴形式而噴出 滴ΠΓΓ個液滴喷出頭包括至少兩組之兩相鄰液 商喷出碩，其以一連續方式在一平行於用於噴 色之該液體材料之該等喷嘴陣列中每一: 排列，且兮榮 示万向而 …/ 之兩相鄰液滴噴出頭中每-組之 ㈣兩相鄰噴嘴陣列經㈣以使得當自—垂直於 方向之第二方向觀察時’其之該等喷嘴經由—位於唁等 ==嘴出頭之該等兩相鄰喷嘴陣列之間的—接縫 =用於噴出相同顏色之該液體材料之該等液滴的該 專 >兩組之兩相鄰液滴噴出頭經排列以使得當自續第 :移方:觀察時’其之所有該等接縫在該第-方向關:彼 2.如請求項!之噴頭單元’其中每一該等複數個液滴喷出 頭之该噴嘴陣列的該等複數個喷嘴包括位於該喷嘴陣列 之兩末端附近的去能喷嘴，該等去能噴嘴經建構以便不 喷出4液體材料之液滴’且料兩相鄰噴嘴陣列經排列 以使得該等兩相鄰喷嘴陣財之—者的—末端與該等兩 105192.doc 1277538 相鄰噴嘴陣列中 該接縫。 者的-末端部分地重疊從而提供 3· 、、員1之噴頭單元，其中每一該等液滴喷出頭包括 個喷冑陣列’該等複數個噴嘴陣列以_並排關係在 ^二方向排列，以使得當自該第二方向觀察時，每一 *、數個液滴噴出頭中之該等複數個喷嘴陣列的 端對準。 ••如請求項1之喷頭單元，其中該或該等種類之液體材料 包括三種類之液體材料，其分別具有紅色、綠色及藍 色。 5·、-種液滴噴出裝置，其用於以液滴形式將一或多個種類 液體材料供應至—基材上，該或該等種類之液體材料具 有一預定顏色，該裝置包含： a 。亥噴碩單元，其係藉由請求項1界定； 平臺’其具有兩個主要表面，該平臺之該等兩主要 • 纟面巾之-者面向該料單元之該等複數個液滴喷出 頭’且該基材係切於該平臺之該__個主要表面上； -移動機構，其用於關於該噴頭單元相互移動該平 臺；及 。-控制單it，其用於控制該噴頭單元及該移動機構之 操作以使付β亥喷頭單π之每一該等複數個液滴噴出頭將 δ亥液體材料之液滴嗔出5 負出至5亥基材上，同時在垂直於該第 一方向之該第二方向關於該喷頭單元相互移動該平臺。 6.如請求項5之液滴噴出裝置，其中該基材為-用於製造 105192.doc 1277538 用於一液晶顯示器之彩色廣 钱兮笼接， 基板的基底材料，且 义及《亥4種類之液體材料 之一啸“ ㈣為用於形成該彩色濾光片基板 々 應先層的墨水。

8.

如”月求項5之液滴喷出裝置， 一 ，、甲孩基材為一用於製造 材料2 器之基底材料，且該或該等種類之液體 一二括-用於製造該電致發光顯示器之發光材料。 —種從基材製造面板之方法，其係使㈣由請求項5界 疋之液滴噴出裝置者，該方法包含以下步驟： 準備一基材；及 藉由使用該液滴喷出裝置噴出液滴同時在垂直於 、:之第二方向關於喷頭單元相互移動該基材而以該等 疒商之形式將一預定顏色之一或多個種類液體材料供應 至該基材上。 月求項8之方法’其中該基材為一用於製造一用於一 液曰曰顯示器之彩色濾光片基板的基底材料，且該或該等 種類之液體材料為用於形成該彩色濾光片基板之一濾光 層的墨水。 月长項8之方法’其中該基材為一用於製造一電致發 光.、、、員示為之基底材料，且該或該等種類之液體材料包括 —用於製造該電致發光顯示器之發光材料。 U· 一種圖像顯示裝置，其包含使用藉由請求項8界定之方 法而製造的面板。 12· 一種電子裝置，其包含藉由請求項11界定之圖像顯示裝 置。 105192.doc