TWI276803B - Work measurement apparatus - Google Patents

Description

1276803 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明’是有關將工件收納在收納孔的搬運工件測 裝置’即有關可以抑制因與測定探針的擦過（摩擦）而 工件的電極產生條痕或電極角部的缺陷等的電極不良的 生的工件測定裝置。 【先前技術】 以往，已知有：一邊搬運工件的一邊測定的工件測 裝置’是在比工件的長度若干薄的搬運體內將工件使其 極方向是成爲厚度方向地收納，藉由搬運體一邊搬運工 ，一邊使探針接觸工件，來測定工件的裝置。此情況， 件是因爲一邊移動一邊測定，所以在工件的電極端面因 過所產生的條痕，會發生：電極皮膜的不良、或因與朝 出的工件的探針的衝突使電極角部缺陷等的電極不良。 第6圖是顯示習知的工件測定裝置的縱部分剖面擴 圖，第7圖是將藉由第6圖的探針進行工件的特性測定 在工件的電極端面所發生的條痕模式地顯示。在第6圖 工件測定裝置20是具備：基台2、及可旋轉自如於基召 上地設置的作爲搬運體的搬運載置台3，在搬運載置台 中複數的工件收納孔6是呈同心圓狀等間隔設置。

工件收納孔6是如第6圖所示貫通搬運載置台3， 工件收納孔6內收納工件W。且，搬運載置台3的表背 (以下表側爲上側，背側爲下側）是分別成爲工件W 定 於 發 定 電 件 工 擦 突 大 時 2 3 在 側 的 1276803

電極端面t、ta。朝由箭頭所顯示的方向使搬運載置台3 是間歇旋轉的話，工件W會被搬運。

且使與基台2的工件搬運面2a保持同一面地設置底 基探針7，此底基探針7是貫通基台2，藉由絕緣層7 a與 基台2絕緣。且與底基探針7相面對地挾持工件收納孔6 內的工件W地設置檢測定探針8。檢測定探針8是藉由無 圖示的探針支架以支點爲中心朝上下方向可擺動自如地設 置’檢測定探針8是藉由設置於探針支架的彈性體隨時朝 搬運載置台3側推迫。 檢測定探針8的接觸面8a是使其全面與工件W的電 極端面t接觸地形成適切的角度，檢測定探針8是對於工 件W藉由朝前述搬運載置台3側的推迫力而在與底基探 針7之間獲得適切的接觸壓力。 【發明內容】

(本發明所欲解決的課題） 這種工件測定裝置2 0，搬運載置台3是朝由箭頭所 顯示的方向旋轉的話，從搬運載置台3的上面使工件W 的上側電極端面t稍微突出，使檢測定探針8的接觸面8a 抬起於此工件W的上側電極端面上。此情況，藉由檢測 定探針8的接觸面8a —邊使上側電極端面上是擦過一邊 進行到達測定位置的測定。 測定完成後，再度藉由檢測定探針8的接觸面8a使 工件W的上側電極端面t 一邊擦過一邊搬運工件W，使 -5- (3) 1276803 工件W成爲從測定位置拔出。因此，在被拔出測定位置 的工件W的上側電極端面t，是藉由與接觸面8a的擦過 而發生第7圖所示於的條痕1 5，會導致工件W的製品品 質下降，或者是造成不適合品。 且，對於檢測定探針8因爲接觸面8 a是擦過工件W 的上側電極端面t，所以從上側電極端面t剝取的大量的 氧化皮膜等的氧化物會附著於檢測定探針8的接觸面8a ，而會增大接觸阻力並悪化測定精度。 進一步爲了達成測定的高速化而使搬運載置台3的速 度（即工件W的速度）高速，而使工件W的電極端面t 及檢測定探針8的接觸時的衝擊力會變強，會造成電極角 部產生缺陷。 本發明是考慮這種問題，其目的是提供一種在測定中 不會在工件產生條痕或缺陷的工件測定裝置。 (用以解決課題的手段） 本發明，是一種工件測定裝置，由具有工件收納孔的 搬運體所構成，工件收納孔是貫通搬運體形成的同時，至 少在一側端具有導引口，在搬運體的表側及背側，各設置 抵接工件的探針，工件是被收納於工件收納孔的一側端的 內側’至少一探針是對於工件收納孔內的工件推迫，該探 針是被導引至導引口並進入工件收納孔內抵接工件之後， 從導引口朝工件收納孔外方伸出。 本發明中，搬運體是由電力絕緣材一體形成。 -6- 1276803

本發明中，搬運體是具有：搬運基板、 基板並具有被導引口的導引板。 本發明中，導引板是由導電性材料組成 本發明中，導引板是由絕緣性材料組成 本發明中，在搬運體的其他側設置基台 是由設置於基台的底基探針組成。 本發明中，搬運體，是由旋轉載置台組 本發明中，搬運體，是由皮帶組成。 本發明中，導引口的形狀是形成比工件 【實施方式】 以下，圖面參照說明本發明的實施例。 圖是顯示本發明的工件測定裝置的一實施例 如第1圖及第2圖所示，工件測定裝置 台2、及在基台2上可旋轉自如地被設置的 〇 且，在搬運載置台3的上側固定有被圓 4，並藉由搬運載置台（搬運基板）3、及導 運體。在此搬運體3、4使複數的工件收納 圓狀等間隔配置，此工件收納孔6是形成 6a。此情況，各工件收納孔6是貫通搬運體 進一步，在導引板4之中工件收納孔6 側端），設有將後述檢測定探針8導引至工 的圓形狀的導引口 5，在此導引口 5的周緣 及層疊於搬運 ，其他的探針 成。 收納孔大。 第1圖及第2 的圖。 1是具備：基 搬運載置台3 板狀的導引板 引板4構成搬 ?L 6是呈同心 工件收納孔列 3、4形成。 的上側端（一 件收納孔6內 形成有導引斜

(5) 1276803 面5a。 且在各工件收納孔6內收納有工件W，此工件W是 從工件收納孔6的上側端表面被收納至下方在（內側）。 在工件收納孔6內，工件W是被收納成使表側（上 側）及背側（下側）分別成爲電極端面t、ta，朝由箭頭 所顯示的方向使搬運體3、4間歇地旋轉來搬運工件W。 且，在基台2中，設有藉由絕緣層7a與基台2絕緣的底 基探針7，底基探針7的上端是與基台2的工件搬運面2a 成爲同一面，且底基探針7是貫通基台2。 且如上述，與底基探針7相面對，並將被收納於收納 孔6的工件W挾持地設置檢測定探針8。檢測定探針8是 被保持於探針支架9的同時，此探針支架9是藉由探針支 架固定部9a以支點1 0爲中心朝上下方向，即搬運體3、 4方向接近及分離地可擺動自如地被支撐。且在探針支架 9及探針支架固定部9a間設有彈性體η，藉由此彈性體 1 1使檢測定探針8是隨時朝搬運體3、4側推迫。 且如上述覆蓋搬運載置台3的圓板狀的導引板4是被 固定於搬運載置台3上，在導引板4中設有各別對應於各 工件收納孔6的導引口 5，在導引口 5中形成有錐面狀的 導引斜面5a。導引口 5是具有比檢測定探針8的接觸面 8 a稍大的形狀，將檢測定探針8從導引口 5導引至工件 收納孔6內’使收納於工件收納孔6內的工件W的上側 電極端面t及檢測定探針8的接觸面8 a可以相互接觸。 這時的工件W的尺寸及其他的尺寸條件，是如以下 (6) 1276803 。搬運中探針7、8不抵接工件W的兩電極t、ta的雙方 ’在測定點使工件W的兩電極t、ta探針7、8同時抵接 〇 因此成爲 tl+t4-t2<tw<tl+t4。 在此 tl:搬運體3、4的厚度 t2·導引板4的厚度 t4 ·基台2及搬運體3、4的間隙t、ta間距離 且，導引口 5的形狀，是形成比工件收納孔6大徑。 接著說明這種結構的本實施例的作用。 在第1圖’作爲搬運體的搬運載置台3及導引板4是 朝箭頭所示方向旋轉的話’藉由彈性體n往導引板4側 推迫的檢測定探針8的接觸面8 a會在導引板4的表面相 對地滑動。而且，導引板4的導引口 5是到達檢測定探針 8的接觸面8 a下面位置的話’如第2 ( a )圖所示，檢測 定探針8的先端部是被導引至導引口 5的導引斜面5a而 侵入導引口 5內。進一步搬運載置台3及導引板4是如第 2 ( b )圖所示旋轉的話，檢測定探針8的先端部會從導引 斜面5 a脫落，使檢測定探針8的接觸面8 a接觸工件W 的上側電極端面t上。 接觸面8 a及上側電極端面t接觸之後，進一步使搬 運載置台3稍微旋轉而當接觸面8 a到達工件收納孔6的 略中央的話，使搬運載置台3 —時停止，藉由檢測定探針 8的接觸面8a及底基探針7來挾持工件W進行工件W的 -9- (7) 1276803 特性測定等。 此情況，檢測定探針8的接觸面8a，是接觸上側電 極端面t時接觸面8 a是形成成爲與工件W的上側電極端 面t略平行。因此在接觸面8a及上側電極端面t之間， 可獲得良好的接觸狀態的同時，對於被挾持於檢測定探針 8及底基探針7之間的工件W是藉由彈性體1 1的推迫力 而可獲得適切的接觸壓力。 實施特性測定等之後，搬運載置台3及導引板4是進 一步旋轉的話，如第2 ( c )圖所示，檢測定探針8是藉 由導引斜面5 a被提高。檢測定探針8的接觸面8 a從工件 W的上側電極端面t脫離後，此接觸面8a在導引板4表 面相對地滑動，同樣被定位於下一個導引口 5。 如以上依據本實施例，檢測定探針8的接觸面8a， 只有測定時會接觸工件W的上側電極端面上。因此可以 抑制上側電極端面t及接觸面8 a的擦過（摩擦），因此 可抑制工件W的擦過痕最小，且可以防止工件W的電極 的缺陷。且變更工件 W的尺寸的情況時，雖要交換具有 適合工件尺寸的工件收納孔6的搬運載置台3，但是比導 引工件W的最大外形的口 5要小的話，就不需要變更檢 測定探針8，因此導引板4可以共通使用。且，因爲檢測 定探針8的接觸面8 a及工件W的上側電極端面t從接觸 至脫離爲止只稍微滑動，所以可以破壞上側電極端面t的 氧化皮膜而獲得良好的接觸狀態。這時附著於檢測定探針 8的接觸面8a的微量的氧化物等是藉由滑動於導引板4 -10- 1276803 (8) 表面而被除去，使接觸面8 a保持淸淨。 然而導引板4的材質是導電性或是絕緣性的任 妨，使用導電性素材的情況時，可以具有靜電密封 一方面，絕緣性素材是使用導引板4的材質的情況 反地雖無靜電密封的效果但是絕緣性優秀。因此依 W可以選擇適合的素材的導引板4。例如工件w是 器進行高周波特性測定等的情況時選擇導電性素材 工件W的情況或是工件w是由電容器進行絕緣的 定的情況時選擇絕緣性素材較佳。 接著藉由第3圖乃至第5圖，說明本發明的變 如第3圖所示的變形例，是取代使用導引板4 運載置台3的上面側只加厚相當於導引板4的部分 厚的部分直接設在導引口 5及導引斜面5a。在第 與第1圖及第2圖所示的實施例同一部分是使用同 而省略詳細的說明。在第3圖，搬運載置台3的載 材是限定於絕緣性素材’只由搬運載置台3構成搬 然而，在第3圖，搬運載置台3的上面側是只 當於導引板4的部分（厚度t2)。 接著藉由第4圖顯示其他的變形例。如第4圖 變形例是在搬運載置台3的表側及背側設在各設置 檢測定探針8。如第4圖所示，在搬運載置台3的 背側各固定有導引板4、4，在各導引板4、4開口 引斜面5a的導引口 5，在各導引口 5內配置可動 定探針8。 一也無 效果。 時，相 據工件 由電容 ，阻力 阻力測 形例。 而將搬 ，被加 3圖， 一符號 置台素 運體。 加厚相 所示的 可動的 表側及 具有導 的檢測 -11 - 1276803 (9) 在第4圖，工件W及其他的尺寸條件，是成爲 t 3 <t w<t 1。 tl :搬運體3、4的厚度

t2、t3 :導引板4的厚度 t4 :基台2及搬運體3、4的間隙 tw :工件W的電極端面t、ta間距離 接著藉由第5圖進一步說明其他的變形例。如第1圖 所示的實施例導引口 5雖是成爲圓形狀，是如第5圖所示 將導引口 5形成角形也可以。 然而，在上述各實施例，搬運體雖是由在基台2上旋 轉的搬運載置台3所構成，但是將搬運體由直進性的搬運 載置台，例如由皮帯輸送帶或承載帶等的長條（長帶）板 狀體所構成也可以。

且，在本實施例中，搬運載置台3是將工件W的各 電極端面t、ta成爲上下方向地水平方向配置，但是不限 定朝水平方向，垂直方向或是斜傾狀配置也可以。 且’在上述各實施例，形成搬運體3、4的工件收納 孔 6 ’雖是形成於搬運體3、4的外緣的內側（第1圖（ b )參照），但不限定於此，將工件收納孔6從搬運體3 ' 4的外緣往外方開口地設置也可以。此情況，設置於搬 運體3、4的工件收納孔6，是形成平面「〕」字狀也佳 ’導引D 5也對應此平面「口」字狀的工件收納孔6而成 爲「3」字狀或是圓形狀。 -12- (10) 1276803 (發明之效果） 如以上依據本發明，可以使探針在滑動工件上的距離 成爲最小限度，由此可以抑制工件的條痕的發生及缺陷。 且，在工件上因探針只稍微滑動，所以可減少朝探針的氧 化物等的附著量，之後藉由與搬運體及探針的滑動可以除 去探針的氧化物等。因此可以保持工件及探針的良好的接 觸狀態。 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕顯示本發明的工件測定裝置的一實施例的 圖。 〔第2圖〕說明本發明的工件測定裝置的作用的圖。 〔第3圖〕顯示本發明的工件測定裝置的變形例的圖 〇 〔第4圖〕顯示本發明的工件測定裝置的其他的變形 例的圖。 〔第5圖〕顯示本發明的工件測定裝置的其他的變形 例的圖。 〔第6圖〕顯示習知的工件測定裝置的圖。 〔第7圖〕顯示在工件的端面電極所產生的條痕的圖 〔圖號說明〕 t :電極端面 -13- 1276803 (11) W :工件 1 :工件測定裝置 2 :基台 2a :工件搬運面 3:搬運載置台（搬運體） 4 :導引板（搬運體） 5 :導引口

5a :導引斜面 6 :工件收納孔 6 a :工件收納孔列 7 :底基探針 7 a :絕緣層 8 :檢測定探針 8 a :接觸面 9 :探針支架

9a :探針支架固定部 1 〇 :支點 1 1 :彈性體 1 5 :條痕 20 :工件測定裝置 -14-

Claims (1)

1276803 (1) 拾、申請專利範圍 第93 1 043 1 7號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國95年7月10日修正 1·一種工件測定裝置，其特徵爲： 由具有工件收納孔的搬運體所構成， 工件收納孔，是貫通搬運體所形成，並且至少在一側 端具有導引口， 在搬運體的表側及背側，各設置有抵接於工件的探針 工件是被收納於工件收納孔的一側端的內側， 至少一探針是對於工件收納孔內的工件而被推迫，該 探針是被導引至導引口並進入工件收納孔內，抵接工件之 後，從導引口朝工件收納孔外方伸出。 2·如申請專利範圍第1項的工件測定裝置，其中，搬 運體是由電力絕緣材一體形成。 3 ·如申請專利範圍第i項的工件測定裝置，其中，搬 運體是具有：搬運基板、及層疊於搬運基板並具有導引口 的導引板。 4.如申請專利範圍第3項的工件測定裝置，其中，導 引板是由導電性材料組成。 5 ·如申請專利範圍第3項的工件測定裝置，其中，導 引板是由絕緣性材料組成。 6 ·如申請專利範圍第1項的工件測定裝置，其中，在 1276803 (2) 搬運體的其他側設置基台，其他的探針是由設置於基台的 底基探針組成。 7 .如申請專利範圍第1項的工件測定裝置，其中，搬 運體，是由旋轉載置台組成。 8 .如申請專利範圍第1項的工件測定裝置，其中，搬 運體，是由皮帶組成。 9.如申請專利範圍第1項的工件測定裝置，其中，導 引口的形狀是形成比工件收納孔更大。