KR100796848B1 - 작업물 측정 장치 - Google Patents

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KR100796848B1
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토모유키 코지마
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가부시키가이샤 도쿄 웰드
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Abstract

프로브의 접촉면이 작업물 위를 슬라이딩 이동하는 거리를 통제하여 작업물 위에 줄무늬 자국이 생기거나 떨어져 나가는 경우가 발생하는 것을 방지한다.
작업물 측정 장치(1)는 베이스(2)와, 베이스(2)위를 슬라이딩 이동하며 작업물 수납구멍(6)이 형성된 반송 테이블(3)을 구비한다. 반송 테이블(3) 위에 가이드 판(4)이 고정되고, 가이드 판(4)에는 작업물 수납구멍(6)의 상단부에 위치하는 가이드 포트(port)(5)가 형성되어 있다. 가이드 판(4)의 상방에는 프로브(8)가 설치되며, 이 프로브(8)는 작업물 수납구멍(6)속의 작업물(W)에 대하여 가압되어 있다. 반송 테이블(3)의 회전에 따라 프로브(8)가 가이드 판(4)위를 슬라이딩 이동한 후, 가이드 포트(5)로부터 작업물 수납구멍(6) 속의 작업물(W)쪽으로 안내되어 작업물(W)에 맞닿는다. 그 후 프로브(8)는 가이드 포트(5)로부터 밖으로 나온다.

Description

작업물 측정 장치{WORK MEASUREMENT APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 일 실시형태를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 작용을 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 변형예를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 다른 변형예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 또 다른 변형예를 나타낸 도면이다.
도 6은 종래의 작업물 측정 장치를 나타낸 도면이다.
도 7은 작업물의 단면 전극에 생긴 줄무늬 자국을 나타낸 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
1 : 작업물 측정 장치 2 : 베이스
2a : 반송면 3 : 반송 테이블
4 : 가이드 판 5 : 가이드 포트
5a : 가이드 사면 6 : 작업물 수납구멍
6a : 수납구멍의 라인 7 : 베이스 프로브
7a : 절연층 8 : 검측 프로브
8a : 접촉면 9 : 프로브 홀더
9a : 프로브 홀더 고정부 10 : 지지점
11 : 탄성체 W : 작업물
t : 상측 전극 단면 ta : 하측 전극 단면
본 발명은 수납구멍에 작업물을 수납하여 반송하는 작업물 측정 장치에 관한 것으로서, 특히 측정 프로브(probe)와의 찰과(마찰)로 인해 작업물의 전극에 줄무늬 자국이 생기거나 전극 모서리부가 떨어져 나가는 등의 전극 불량이 발생하는 것을 억제할 수 있는 작업물 측정 장치에 관한 것이다.
종래, 작업물을 반송하면서 측정하는 작업물 측정 장치로서, 작업물의 길이보다 약간 얇은 반송체 속에 작업물을 그 전극방향이 두께방향이 되도록 수납하고, 반송체에 의해 작업물을 반송하면서 프로브를 작업물에 접촉시켜 작업물을 측정하는 장치가 알려져 있다. 이 경우, 작업물은 이동하면서 측정되기 때문에, 작업물의 전극단면에 찰과로 인한 줄무늬 자국이 생겨 전극 피막이 불량해지거나, 돌출된 작업물에 프로브가 충돌하여 전극 모서리부가 떨어져 나가는 등 전극 불량이 발생하는 경우가 있었다.
도 6은 종래의 작업물 측정 장치를 나타낸 세로 부분 단면 확대도이고, 도 7은 도 6의 프로브에 의해 작업물의 특성을 측정했을 때 작업물의 전극 단면에 생기는 줄무늬 자국을 모식적으로 나타낸 것이다. 도 6에 있어서, 작업물 측정 장치(20)는 베이스(2)와, 베이스(2)위에 회전이 가능하도록 설치된 반송체로서의 반송 테이블(3)을 구비하며, 반송 테이블(3)에는 동심원상으로 복수의 작업물 수납구멍(6)이 등간격으로 형성되어 있다.
작업물 수납구멍(6)은 도 6에 나타낸 바와 같이 반송 테이블(3)을 관통하며, 작업물 수납구멍(6)속에는 작업물(W)이 수납되어 있다. 또한, 반송 테이블(3)의 표면 및 이면측(이하에서 표면측을 상측, 이면측을 하측이라 함)이 각각 작업물(W)의 전극 단면(t, ta)으로 되어 있다. 화살표로 나타낸 방향으로 반송 테이블(3)이 간헐적으로 회전하면 작업물(W)이 반송된다.
또 베이스(2)의 작업물 반송면(2a)과 대략 면 일치되도록 베이스 프로브(7)가 설치되며, 상기 베이스 프로브(7)는 베이스(2)를 관통하고 절연층(7a)에 의해 베이스(2)로부터 절연되어 있다. 또 베이스 프로브(7)와 대향하여 작업물 수납구멍(6)속의 작업물(W)을 핀칭하도록 검측 프로브(8)가 설치되어 있다. 검측 프로브(8)는 도시되지 않은 프로브 홀더에 의해 지지점을 중심으로 하여 상하방향으로 슬라이딩할 수 있도록 설치되어 있으며, 검측 프로브(8)는 프로브 홀더에 설치된 탄성체에 의해 항상 반송 테이블(3)쪽으로 가압되어 있다.
검측 프로브(8)의 접촉면(8a)은 그 전면(全面)이 작업물(W)의 전극단면(t)과 접촉되도록 적절한 각도로 형성되며, 검측 프로브(8)는 작업물(W)에 대하여 상기 반송 테이블(3)쪽으로의 가압력에 의해 베이스 프로브(7)와의 사이에서 적절한 접촉 압력이 얻어지도록 되어 있다.
이러한 작업물 측정 장치(20)에 있어서, 반송 테이블(3)이 화살표로 나타낸 방향으로 회전하면, 반송 테이블(3)의 상면으로부터 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)이 약간 돌출되고, 그 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)에 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)이 얹히게 된다. 이 경우, 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)에 의해 상측 전극 단면(t)이 찰과되면서 측정 위치에 도달하여 측정이 이루어진다.
측정이 완료된 후, 다시 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)에 의해 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)이 찰과되면서 작업물(W)이 반송되어 작업물(W)은 측정 위치로부터 빠져나오도록 되어 있다. 이로 인해, 측정 위치를 빠져나온 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)에는 접촉면(8a)과의 찰과로 인해 도 7에서 모식적으로 나타낸 바와 같이 줄무늬 자국(15)이 생겨, 작업물(W)의 제품으로서의 품질이 저하되거나 혹은 부적합한 제품이 제조되고 마는 문제가 있다.
또, 검측 프로브(8)에서는 접촉면(8a)이 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)을 찰과하므로, 상측 전극 단면(t)에서 벗겨진 산화 피막 등의 대량의 산화물이 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)에 부착되어 접촉 저항을 증대시켜 측정 정밀도를 악화시킨다.
더욱이 빠른 측정을 꾀할 경우에는 반송 테이블(3)의 속도(즉, 작업물(W)의 속도)를 고속으로 하기 때문에, 작업물(W)의 전극단면(t)과 검측 프로브(8)가 접촉할 때의 충격력이 강하여 전극 모서리부가 떨어져 나가는 경우가 있다.
본 발명은 이러한 점을 고려하여 이루어진 것으로서, 측정중에 작업물에 줄무늬 자국이 생기거나 떨어져 나가는 경우가 없는 작업물 측정 장치를 제공하는 것 을 목적으로 한다.
본 발명은, 작업물 수납구멍을 갖는 반송체로 이루어지며, 작업물 수납구멍은 반송체를 관통하여 형성되는 동시에, 적어도 한쪽 단부에 가이드 포트를 가지며, 반송체의 표면 및 이면쪽에 작업물에 닿는 프로브가 각각 설치되고, 작업물은 작업물 수납구멍의 한쪽 단부보다 안쪽에 수납되어 있으며, 적어도 하나의 프로브는 작업물 수납구멍 속의 작업물에 대하여 가압되고, 상기 프로브는 가이드 포트로 안내되어 작업물 수납구멍 속으로 진입해 작업물에 맞닿은 후, 가이드 포트로부터 작업물 수납구멍 밖으로 나오게 되는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 반송체가 전기 절연재에 의해 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 반송체가 반송기판과, 반송기판에 적층되며 가이드 포트를 갖는 가이드 판을 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 가이드 판이 전도성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 가이드 판이 절연성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 반송체의 타측에 베이스가 설치되며, 다른 프로브는 베이스에 설치된 베이스 프로브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 반송체가 회전 테이블로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 반송체가 벨트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
본 발명은, 가이드 포트의 형상이 작업물 수납구멍보다 대형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 작업물 측정 장치의 일 실시형태를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 작업물 측정 장치(1)는 베이스(2)와, 베이스(2) 위에 회전 가능하도록 설치된 반송 테이블(3)을 구비한다.
또, 반송 테이블(3)의 상측에는 원판 형상의 가이드 판(4)이 강고히 부착되며, 반송 테이블(반송기판 ; 3)과 가이드 판(4)에 의해 반송체가 구성되어 있다. 상기 반송체(3,4)에는 동심원상으로 복수의 작업물 수납구멍(6)이 등간격으로 배치되며, 이 작업물 수납구멍(6)은 작업물 수납구멍의 라인(6a)을 형성한다. 이 경우, 각 작업물 수납구멍(6)은 반송체(3,4)를 관통하여 형성되어 있다.
더욱이 가이드 판(4)에서 작업물 수납구멍(6)의 상측단(일측단)에는, 후술하는 검측 프로브(8)를 작업물 수납구멍(6)속으로 인도하는 원형의 가이드 포트(5)가 형성되며, 이 가이드 포트(5)의 가장자리에는 가이드 사면(5a)이 형성되어 있다.
또 각 작업물 수납구멍(6)속에는 작업물(W)이 수납되며, 상기 작업물(W)은 작업물 수납구멍(6)의 상측단 표면보다 하방(내측)에 수납되어 있다.
작업물 수납구멍(6) 속에서, 작업물(W)은 표면측(상측) 및 이면측(하측)이 각각 전극단면(t,ta)이 되도록 수납되며, 화살표로 나타낸 방향으로 반송체(3,4)가 간헐적으로 회전하여 작업물(W)이 반송된다. 또한, 베이스(2)에는 절연층(7a)에 의해 베이스(2)로부터 절연된 베이스 프로브(7)가 설치되며, 베이스 프로브(7)의 상단은 베이스(2)의 작업물 반송면(2a)과 대략 면 일치하도록 되어 있고, 베이스 프로브(7)는 베이스(2)를 관통하고 있다.
또한 상술한 바와 같이 베이스 프로브(7)와 대향하여, 수납구멍(6)에 수납된 작업물(W)을 핀칭하도록 검측 프로브(8)가 설치되어 있다. 검측 프로브(8)는 프로브 홀더(9)에 의해 유지되는 동시에, 상기 프로브 홀더(9)는 프로브 홀더 고정부(9a)에 의해 지지점(10)을 중심으로 상하 방향, 즉 반송체(3,4)방향으로 접근 및 이간(離間)하도록 요동이 가능하게 지지되어 있다. 또 프로브 홀더(9)와 프로브 홀더 고정부(9a)간에 탄성체(11)가 설치되며, 이 탄성체(11)에 의해 검측 프로브(8)는 항상 반송체(3,4)쪽으로 가압되어 있다.
상술한 바와 같이 반송 테이블(3)을 덮는 원판형상의 가이드 판(4)은 반송 테이블(3)위에 고정되며, 가이드 판(4)에는 각 작업물 수납구멍(6) 각각에 대응하여 가이드 포트(5)가 형성되고, 가이드 포트(5)에는 테이퍼형상의 가이드 사면(5a)이 형성되어 있다. 가이드 포트(5)는 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)보다 약간 큰 형상이며, 검측 프로브(8)를 가이드 포트(5)로부터 작업물 수납구멍(6)속으로 안내하여 작업물 수납구멍(6)속에 수납된 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)과 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)을 접촉시킬 수 있도록 되어 있다.
이 때 작업물(W)의 크기와 기타 크기 조건은 다음과 같다. 반송 중에는 작 업물(W)의 양 전극(t,ta) 모두에 프로브(7,8)가 맞닿지 않고, 측정점에서 작업물(W)의 양 전극(t,ta)에 프로브(7,8)가 동시에 맞닿는다.
따라서 t1 + t4 - t2 ＜ tw ＜ t1 + t4가 된다.
여기서,
t1 : 반송체(3,4)의 두께
t2 : 가이드 판(4)의 두께
t4 : 베이스(2)와 반송체(3,4)의 극간
tw : 작업물(W)의 전극단면(t,ta)간 거리
또한, 가이드 포트(5)의 형상은 작업물 수납구멍(6)보다 지름이 크게 형성되어 있다.
다음으로, 이러한 구성으로 이루어진 본 실시형태의 작용에 대해 설명한다.
도 1에 있어서, 반송체인 반송 테이블(3) 및 가이드 판(4)이 화살표로 나타낸 방향으로 회전하면, 탄성체(11)에 의해 가이드 판(4)쪽으로 가압된 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)이 가이드 판(4)의 표면을 상대적으로 슬라이딩 이동한다. 그리고, 가이드 판(4)의 가이드 포트(5)가 검측 프로브(8)의 접촉면(8a) 하면 위치에 도달하면, 도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이 검측 프로브(8)의 선단부가 가이드 포트(5)의 가이드 사면(5a)으로 가이드되어 가이드 포트(5)속으로 침입한다. 더욱이 반송 테이블(3) 및 가이드 판(4)이 회전하면 도 2의 (b)와 같이 검측 프로브(8) 의 선단부가 가이드 사면(5a)으로부터 벗어나 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)이 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)위에 접촉된다.
접촉면(8a)과 상측 전극 단면(t)이 접촉된 후, 다시 미세하게 반송 테이블(3)이 회전하여 접촉면(8a)이 작업물 수납구멍(6)의 대략 중앙에 도달하면, 반송 테이블(3)이 일시 정지하고, 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)과 베이스 프로브(7)에 의해 작업물(W)을 핀칭하여 작업물(W)의 특성 등을 측정하게 된다.
이 경우, 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)은 상측 전극 단면(t)에 접촉되었을 때 접촉면(8a)이 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)과 대략 평행해지도록 형성되어 있다. 이로 인해 접촉면(8a)과 상측 전극 단면(t)의 사이에서 양호한 접촉상태가 얻어지는 동시에, 검측 프로브(8)와 베이스 프로브(7)간에 핀칭된 작업물(W)에 대하여 탄성체(11)의 가압력에 의해 적절한 접촉 압력이 얻어지도록 되어 있다.
특성 등을 측정한 후, 반송 테이블(3) 및 가이드 판(4)이 더욱 회전하면, 도 2의 (c)에 나타낸 바와 같이 검측 프로브(8)가 가이드 사면(5a)에 의해 밀어 올려진다. 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)이 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)으로부터 이탈한 후, 상기 접촉면(8a)이 가이드 판(4) 표면을 상대적으로 슬라이딩 이동하며, 마찬가지 방법으로 다음의 가이드 포트(5)에 위치 결정된다.
이상과 같이 본 실시형태에 따르면, 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)은 측정할 때에만 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)에 접촉하게 된다. 때문에 상측 전극 단면(t)과 접촉면(8a)간의 찰과(마찰)를 억제할 수 있으며, 따라서 작업물(W)의 찰과로 인한 자국을 최소한으로 억제할 수 있고, 작업물(W)의 전극이 떨어져 나가는 것을 방지할 수 있다. 또한 작업물(W)의 크기가 변경되었을 경우, 작업물의 크기에 맞는 작업물 수납구멍(6)을 구비한 반송 테이블(3)로 교환하게 되는데, 작업물(W)의 최대 외형이 가이드 포트(5)보다 작으면 검측 프로브(8)를 변경할 필요가 없으며, 따라서 가이드 판(4)은 공통적으로 사용할 수가 있다. 또, 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)과 작업물(W)의 상측 전극 단면(t)이 접촉된 후 부터 이탈할 때까지 미세하게 슬라이딩 이동하기 때문에, 상측 전극 단면(t)의 산화피막을 파괴하여 양호한 접촉상태를 얻을 수 있다. 이 때 검측 프로브(8)의 접촉면(8a)에 부착된 미량의 산화물 등은 가이드 판(4) 표면을 슬라이딩 이동함으로써 제거되어 접촉면(8a)이 청정하게 유지되도록 이루어져 있다.
또한, 가이드 판(4)의 재질은 전도성 혹은 절연성 중 어느 것이어도 무방하며, 전도성 소재를 이용했을 경우에는 정전 실드 효과를 가져올 수가 있다. 한편, 가이드 판(4)의 재질로서 절연성 소재를 이용했을 경우에는, 반대로 정전 실드 효과는 없지만 절연성이 우수하다. 따라서 작업물(W)에 따라 각각의 장점을 살릴 수 있는 소재의 가이드 판(4)을 선택한다. 예컨대 작업물(W)이 콘덴서이고 고주파 특성 등을 측정할 경우에는 전도성 소재를 선택하고, 작업물(W)이 저항일 경우 혹은 작업물(W)이 콘덴서이면서 절연 저항을 측정할 경우에는, 절연성 소재를 선택하는 것이 바람직하다.
다음으로 도 3 내지 도 5를 통해 본 발명의 변형예에 관해 설명한다.
도 3에 나타낸 변형예는 가이드 판(4)을 이용하는 대신에 반송 테이블(3)의 상면쪽을 가이드 판(4)에 상당하는 분량만큼 두껍게 하고, 두껍게 한 부분에 가이 드 포트(5) 및 가이드 사면(5a)을 직접 형성한 것이다. 도 3에서 도 1 및 도 2에 도시된 실시형태와 동일한 부분에는 동일한 부호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다. 도 3에 있어서, 반송 테이블(3)의 테이블 소재는 절연성 소재로 한정되며, 반송 테이블(3)에 의해서만 반송체가 구성된다.
한편, 도 3에서 반송 테이블(3)의 상면쪽은 가이드 판(4)에 상당하는 분량(두께;t2)만큼 두껍게 되어 있다.
다음으로 도 4를 통해 다른 변형예를 제시한다. 도 4에 도시된 변형예는 반송 테이블(3)의 표면측 및 이면측에 각각 가동(可動)의 검측 프로브(8)를 설치한 것이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 반송 테이블(3)의 표면측 및 이면측에 각각 가이드 판(4,4)이 고정되고 각 가이드 판(4,4)에 가이드 사면(5a)을 갖는 가이드 포트(5)가 개구되며, 각 가이드 포트(5)속에 가동의 검측 프로브(8)가 배치되어 있다.
도 4에서 작업물(W)과 기타 크기 조건은 t1 - t2 - t3 ＜ tw ＜ t1로 되어 있다.
t1 : 반송체(3,4)의 두께
t2, t3 : 가이드 판(4)의 두께
t4 : 베이스(2)와 반송체(3,4)간의 간극
tw : 작업물(W)의 전극 단면(t,ta)간 거리
다음으로 도 5를 통해 또 다른 변형예에 대해 설명한다. 도 1에 도시된 실시형태에서는 가이드 포트(5)가 원형으로 되어 있으나, 도 5와 같이 가이드 포트(5)는 각진 형태일 수도 있다.
한편, 상기 각 실시형태에 있어서 반송체는 베이스(2)상에서 회전하는 반송 테이블(3)로 구성되어 있으나, 반송체를 직진성의 반송 테이블, 가령 벨트 컨베이어나 캐리어 테이프 등의 길이가 긴 판형상체로 구성할 수도 있다.
또, 본 실시예에서 반송 테이블(3)은 작업물(W)의 각각의 전극단면(t,ta)이 상하방향이 되도록 수평방향으로 배치되어 있으나, 수평방향에 한하지 않고 수직방향 혹은 비스듬히 기울어진 상태로 배치되어도 무방하다.
또한, 상기 각 실시형태에 있어서, 반송체(3,4)에 형성된 작업물 수납구멍(6)은 반송체(3,4)의 바깥 테두리보다 안쪽에 형성되어 있지만(도 1의 (b) 참조), 이것으로 한정되지 않고 작업물 수납구멍(6)을 반송체(3,4)의 바깥 테두리에서 외부쪽으로 개구되도록 형성할 수도 있다. 이 경우, 반송체(3,4)에 형성된 작업물 수납구멍(6)은 평면이 コ자 형상을 이루어도 무방하며, 상기 평면이 コ자 형인 작업물 수납구멍(6)에 대응하여 가이드 포트(5)도 コ자 형상 혹은 원형상이 된다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 프로브가 작업물 위를 슬라이딩 이동하는 거리를 최소화할 수 있으며, 이로써 작업물에 줄무늬 자국이 생기거나 떨어져 나가는 것을 억제할 수 있다. 또, 작업물 위를 프로브가 미세하게 슬라이딩 이동함으로써 프로브에 대한 산화물 등의 부착량이 감소하며, 그 후 반송체와 프로브의 슬라이딩 이동에 의해 프로브의 산화물 등을 제거할 수가 있다. 이로 인해 작업물과 프로브의 양호한 접촉상태를 유지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 베이스;
    상기 베이스 위를 슬라이딩 이동하며 작업물 수납구멍이 관통 형성된 반송체;
    상기 반송체 위에 고정되고, 상기 작업물 수납구멍의 적어도 한쪽 단부에 가이드 포트가 형성되어 있는 가이드 판; 및
    프로브 홀더와, 상기 프로브 홀더에 의해 유지되는 프로브를 구비한 작업물 검측부를 포함하는 작업물 측정 장치로서,
    상기 작업물은 상기 작업물 수납구멍의 한쪽 단부보다 안쪽에 수납되어 있으며,
    적어도 하나의 프로브는 상기 작업물 수납구멍 속의 작업물에 대하여 가압되고, 상기 프로브는 가이드 포트로 안내되어 작업물 수납구멍 속으로 진입해 작업물과 접촉한 후, 가이드 포트로부터 작업물 수납구멍 외부로 나오게 되는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    반송체는 전기 절연재에 의해 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    반송체는 반송기판과, 상기 반송기판에 적층되며 가이드 포트를 갖는 가이드 판을 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    가이드 판은 전도성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    가이드 판은 절연성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    반송체의 다른 쪽에 베이스가 설치되며,
    다른 프로브는 베이스에 설치된 베이스 프로브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    반송체는 회전 테이블로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    반송체는 벨트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    가이드 포트의 형상은 작업물 수납구멍보다 대형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 작업물 측정 장치.
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