TWI262164B - Airtight semiconductor transferring container - Google Patents

Description

1262164 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明為提供-種密封轉移容器 罩或是晶圓的密封轉移容器，係刹田u A , ^ u 九 诉利用抵持部與墊片之彈性 變形能力，使其於結合後可讓宓絲 密性。 “封轉移容器具有良好的氣 【先前技術】 二積體電路是構成所謂「第三波」革命最重要的 元素，舉凡現今影響人類生Μ重要的電腦（ C 〇mp u t e Γ )、手機（M〇 b i i )、網際網路應用（j n t e r n +、 等等，無-不是此數位時代影：二】）：LCD顯示器 用，且由於！ C晶片的類生活最重要的發明應 乂應用’產品種類繁多，也使得半導 體的技術發展一日千里，而讓電义于干绎 短、」、古：^ μ 畏包于產口口不斷朝向輕、薄、 冋速、向頻、高效能等特性發展，★田卜卜古#皮 大的市場需求、促使半導體势 二 有者龐 進’因此國際上半導"心$ f術朝向此-目標不斷演 展與設備投資非常_ =衣& 焱年對於半導體技術的發 藉由技：二應付如此的市場需求，也希望 國企業無不全場！求及商業利益，世界各 烈，如何降低成太,業也因此市場的競爭格外激 業之業者重要的課題效能，這是每-個投入此產 …!，也是決定其能否生存的要素。 衣&就疋所謂的微影照像技術（

第5頁 將光罩上的電子線路圖案， 顯影、烘烤等製程，使得晶 ，擇做後序的製程，因此若 製程裡下手，而越小的線寬 I，可以擠進更多的電晶體 ^ 更低成本，例如將1 2 程技術從0· 2 5 //m縮小到 晶圓可以提昇將近4倍的產 t D R a Μ晶片，其晶片顆 F牛低，此即所謂的摩爾定律 因為摩爾定律的關係， 技術中，黃光微影製程技術 其中的關鍵設備即是掃描步

今主流是以2 4 8 n m D U // m以上的微影製程為市場 光線波長的關係要使其要再 5奈米已經是不可能了，再 線光，製造〇 · 1 1 # m的微 光罩（PSM Retie 用所謂的I目（Μ〇）合金製 C製程要得到愈小的線寬， 長發展，所以，從以前的3 8 n m D U V深紫外線光， aPhy)的應用，其方法是 利用光線投射到晶圓上，經過 圓上有了縮小的圖案，而可以 要缩小線寬，必須從黃光微影 c〇值代表的是在相同的面積 ’使的I C的功能更強、更省 8 Μ B的D R A Μ晶片將其製 〇.13//m時，相同的§英吋 里’或者是提升到2 5 6 Μ β 粒（D 1 e )產出並不會大幅 〇 在朝更小的線寬C D值進展的 才是決定其成敗的重要因素， 進機（S c a n n e Γ )招 V深紫外線光，製造〇 ·工工 上主要的應用技術，但，因為 往下的線幅走如9 〇奈米〜6 者以2 4 8 n m D U V深紫外 影製程必須使用所謂的相位移 1 e )，而此相位移光罩是使 成，所以價格非常昂貴，而工 勢必曝光機光源要朝向愈短波 6 5 n m紫外線光進步到2 4 直到最近，許多數的廠商開始

第6頁 Ϊ262164 五、：明說明⑶ _________ :,何利肖1 9 3 n m ί罙紫外、線*阻劑 深J (如：使用敦化氬A r F準分子雷射產生=長之 。外線），來使黃光微影製程可進步到 n m 5 nm奈米以下。 j U . 1 3 #ιη〜6 然而’目前半導體工廠大多利用由，牵、並八 封趙1 F系統來作為晶圓、光罩的儲運裳i ί::提出之 ^轉移容器，且此SM! F系統已m 統之目的係為。半以: = 又微粒通量。可局部達成此一目的之作 、程中所 過程中以機械方式確保晶圓或光罩 括：在儲運 對於晶圓而固定不動、確保周本上係相 鄰光罩、晶圓之環境中，而SM 2不致進入緊 無微粒之氣體’為物件提供一乾淨之環境，兮：-少量、 :氣流方向及污染物均受控制，以降低無塵室 進行黃光微影製程9】n㈣紫外線光源來 …紫外線雷射光曝意閱圖弟：圖;斤示由=⑴ 出，光罩A與光罩護瞑6於 圖中可清楚看 器D内儲存，當光罩A盘光|=置：於密閉的儲存容 容器D取出放置在現行益的' $使=時將其從儲存 nm深紫外線雷射光境下，並利用1 9 3 會產生有害物h ~ 、先罩A與光罩護膜B表面 曰曰c (如弟三圖所示）’此結晶C為會 I國 1262164 五、發明說明（4) 使光罩A與光罩護 得光罩上的圖形失 後續製程，使得整 問題不可謂不嚴重 波長較長能量較低 量較少所以此種問 結果說明，3 6 5 T = 7 6 · 1 %、 • 2 %已經接近極 則幾乎是不透光了 可以確定的是整個 以上，而無法如摩 數量會增加一倍。 所以，為了解 照後表面會產生有 有害物質結晶C的 為1 9 3 n m深紫 (一)，由圖中可 膜B置於儲存容器 其取出並放至於一 深紫外線雷射光曝 生結晶C，而實驗 内維持固定溫度4 的環境下，再利用 光率降 之良率 廢，讓 雖也有 結晶的 於嚴重 線光的 m D U 9 3η 一問題 程技術 測般每 光罩護膜 問題，發 請參閱第 曝照示意 實驗I為 定溫度4 環境下， A與光罩 光罩A置 後再將其 深紫外線 B於深 明人遂 膜B之透 真、成品 批晶圓報 ，而早期 ’其生成 題還不至 n m紫外 2 4 8 η 限，但1 ’因此此 半導體製 爾定律預 決光罩A與 害物質C的 產生原因， 外線雷射光 清楚看出， D内維持固 般無塵室的 照，其光罩 Π為單獨將 〇 ，三天 1 9 3 n m 低，甚 降低， 半導體 此現象 透明度 到無法 結晶生 V深紫 m深紫 若沒有 會被限 1 8個 圖（一 將光罩 0 °C， 再利用 護膜B 於塑膠 取出並 雷射光 不透光使 害到整個 失慘重， 射的光源 且生成的 根據實驗 透光率約 T = 2 9 = 13% 決則幾乎 • 1 1 “ m 電晶體的 紫外線光曝 不斷的研究 圖所示，係、 )及示意圖 A與光罩護 三天後再將 1 9 3 n in 之表面會產 儲存容器D 放至於清潔 曝照，其光 第8頁 1262164 五、發明說明（5) 罩A之表面 與光罩護暝 4 CTC，三 的環境下利 與光罩護膜 產生跟儲存 且，發 點有害物質 1、 根據分 由氨（ 的過程 機或無 2、 不管是 深紫外 9 3η 很高， 以在光 紫外線 結晶物 3、 儲存容 濕氣（ 供其化 出使用 生結晶 S〇4，其主要 還疋會產生結晶c，再者，實驗皿為將光罩A /置於不鏽鋼製儲存容器D内維持固定溫度 天後再將其取出並放置於乾淨、清潔且低溼度 用1 9 3 n m深紫外線雷射光曝照，其光罩a ^表面便不會產結晶C ，由此可見，結晶C的 容器D有明顯直接的影響關係。 月人藉由不斷的分析及實驗，為歸納出下列幾 產生之原因： 析結晶其化學式為（N Η 4 ) Ν Η 4 )及硫酸根離子（s〇4 )組成，其化合 有幾個重要的觸媒a短波長高能量光源、b有 機氣體、c環境的溼度。 使用氣化氮K r F準分子雷射產生2 4 8 nm 線，或者使用氟化氬A r F準分子雷射產生丄 m深紫外線光都是窄頻的脈衝式光，其能量都 會在其顯影的過程中源源不斷的提供能量 罩尚未曝光之前並不會有問題，但是只要一經 光照射就會產生結晶，且波長越短能量越高： 就越不透明，問題就越嚴重。 ^ 器之密性不佳，使得外界無塵室環境空氣 水分子）會源源不斷的滲入至儲存容哭内切 學反應需要之元素，使得光罩與光罩i膜於^ 並經1 9 3 n m深紫外線雷射光曝照後，、备 附著於光罩與光罩護膜表面。 胃產

1262164 五、發明說明（6) 4合态本身所使用之材質為會釋放出有宝. 氣體會滲透進人於光罩護膜9 ^ 口乳體，且 線雷射光暖W4 4 〇> 、内於1 9 3 n m深紫外 護膜表Ϊ曝…會生成有害物質附著於光罩與光罩 5 | : ί ί遵膜使用之紹框本身因為成本的問題大都# 用鋁3金做硫酸陽極處理， 、大都使 硫酸根離子殘留太多的問題。$ 個鋁框表面 容器之氣密Ϊ 了戶=結：：產生，首要工作即是增加儲存 密封轉移容器提出發明專利申目；業 民國專利公報第二二二丄 ^ ’且此案業已公告於中華 ，係為習用可密封轉；二請參閱第四、五圖所示 。視剖面圖（二），：圖义面圖㈠及局 ^态為設置有一容器門a ，且六二楚看出，5亥可密封轉移 片3 1 ，而墊片a 1表 =态門3之四周為設置有墊 b覆蓋於容器Ha上時，：；二f有膜片a 2，當容器上蓋 為會抵持於墊片a i與膜=谷g上蓋b所設置之銳緣b丄 ，因容器為了符合s M ^ =上，進而形成密閉，然而 亡下開合之機構，所以無法二供：規範，其必需具有容易 〜為容器内必需要能容納 ^個較大的鎖固力，再者 :般而言容器門a大多 ，者8时的光罩或晶圓，故 =a i與膜片a 2為軟：?广以上之正方形結構，而 mm之正方形容器門a之四；：製成，其整個散佈在2 ’會有局部凹凸不平之現^ 乂圍，故表面不會是完全 ^發生，而容器上蓋b現有 第10頁 1262164

只有一個硬質材 些變形 1與膜 無法達 ，使得 轉移容 第六圖 ，由圖 孔e 1 置f為設置有一 設有一 管h推 f使缺 力，再 充填完 回復力 充裝置 而將氣 1及填 生細屑 内的潔 而危害 裝時相 上述習 質的外 以當容 時，會 密合的 降低， 為習用 看出， 孔e 1 凹槽f 當對密 置f所 動，且 由缺槽 充氣管 充氣前 時係利 密封轉 產生極 會隨著 因此污 圓生產 ’使力ϋ 良襯墊 移容器 封轉移 一填充 f 2， 器e充 f 1内 產生彈 至密封 充裝置 成一閉 及充氣 内，但 ’容易 而破壞 移容器 和良率 幅上升 轉移容 =Α，護其所容置之物品 二f蓋b之銳緣b 1抵壓 上：、、' 上下開合之機構鎖固 放^，使得局部產生細小 而讓外界@ $氣慢慢地進 的設計為 ，會有一 於墊片a 力太小， 的缝隙c 入可密封 參閱 構分解圖 設置有透 而填充裝 置f為套 先將充氣 填充裝置 具有回復 e内，當 彈簧g之 然上述填 生移動， 與透孔e 觸過程產 移容器e 罩或晶圓 作法於組 惟， 公差，所 片a 2上 到讓整個 密閉效果 器内。 所示，係 中可清楚 ，並於透 彈簧g， 入填充裝 槽f 2移 將氣體藉 畢時抽出 而恢復為 f於使用 體充填至 充裝置f ，而細屑 淨度，並 到整個晶 當的繁雜 用具有改 可密封轉 習用之密 内穿設有 1及缺槽 封轉移容 設之凹槽 使彈簧g f 2充填 h，而填 之位置並 用彈簧g 移容器e 大的摩擦 充氣動作 染密封轉 中的品質 工成本大 之可密封 之充氣結 容器e為 裝置f ， 且填充裝 氣時，為 ，並推動 性變形而 轉移容器 f會藉由 合狀態， 管h來產 彈簧g會 在摩擦接 了密封轉 e内的光 ，且此種 0 器，存在

第11頁 五 有 (四） (五 發明說明（8) 諸多，失，如下列所述 )習用之可密封轉移容器於密閉時為奋 隙’而讓外界的有害氣體慢慢地二、、、田小的縫 ，内，使得其所館存之光罩與光；ί:;::移容 時’表面會產生有害物質，此有出使用 與光單護膜之透光率降低，而讓製程使光罩 再者，為了防止光罩接觸到有宝廣 良率降低； 容器内填充乾淨氣體，而此乾^氣=為二般都會在 慢慢流失，而無法有效的防止光===間 。 早座生刖述之問題 ΊίΓΙ密封轉移容器由於現有塑膠材料内的益機 :問：會因為本身材料的關係而使得 )移容器為了充填乾淨氣體-般皆設 強制氣密二功mi使用金屬圈形彈菁使其有 ;兼…持内部潔；：;主：因為摩擦產生灰塵無 質材：z:，轉移容器由於現有的設計只有-個硬 來保護其所容置之物品，於製造時會 本辦加71差、’必需嚴袼控管其尺寸造成生產成 容^ ^俘y日因為使用過一段時間後，因為外殼及 效果越來越差。 山、轉移各器於密閉時為會產生細小的缝 、發明說明（9) 隙，而讓外界的空氣慢慢地 … ，所以，當廠商於使用時必可密封轉移容器内 增加管理上的困難，且無法矣先進先出之方式， y一是以，要如何解決上述習用之 ^保存。 此行業之相關廠商所亟欲研究改盖°題與缺失，即為從事 【發明内容】 °之方向所在者。 :是、，發明人有鑑於上述習用物。 :貝辟，並針對可密封轉移容器之:之缺失，特搜集相 改，再經由多方評估及考量，方私性進行重新設計與修 此種：解決光罩表面結晶問題之新^ :之方式，遂研發出 本發明之主要目的乃在於，:^务明專利誕生者。 片與内襯分別設置於底座表面與 彈性材質所製成之墊 :一：：空間，而當墊片或内襯表面2，使内襯與底座形 訏，忒墊片與内襯為會因受到 有不平整的狀況發生 動調整而可相互緊密的配合，讓密二：作肖，使其形狀自 性，可以防止外部空 才空間有著極佳的氣兹 即能得到良好的氣密效果。又可達到不需太大的鎖固力 本發明之次要目的 抵壓片將底座所設置之 ；丄利用具有彈性變形能力之 内充氣時，只需將充氣总^ ，封，當使用者欲對傳送盒 片向上推起即可，且以=孔伸入傳送盒内並將抵； 孔後’該抵持片為會藉由二：二氣管抽離底座之充氣 封，以達到使晶圓、光 匕力恢復至原位將充氣孔密 氣體，而利用簡單的 j子於十月性氣體内，隔離掉有宝 下開合動作徹底解決傳統充填 1262164 五、發明說明（10) _ 會產生灰塵的問題。 本發明之再一目的乃右 親封盒子之塑㈣：：揮吸收、 平均混合在塑膠材料中加：毛出之有““匕物，將其 料内就吸收乾淨其硫化物本：，而3 =:在塑谬材 從材料上揮發出來的問題 =硫化物 【實施方式】 螂决材枓造成上述的問題。 A構ί達Ϊ 士述目的及功效，本發明所採用之技術手段及 功能如下，俾利完全瞭解。軼佳““列坪加洗明其特徵與 、青楚！ ΐ閱：：圖所示’係為本發明之分解圖’由圖中可 ，2出士發明係設置有底座i、墊片2、壓合片3、 1 2:=11 ΐ表面為設置有複數支撐座1 1、充氣座孔 =^ ’且支撐座1 1為可供光罩或晶圓置放。 右相使用彈性材質所製成，且塾片2上為設置 有相對於座體1之穿透孔2 1。 4壓a片3為设置有複數個相對於墊片2之穿孔2 1 的累孔3 1且壓合片3表面為剖設有複數抵壓片3 2， 使各抵壓片3 2具有彈性變形之能力Q — #用：=為設置有蓋體41 ’且蓋體41内為設置有 使用弹性材質所製成之内襯4 2，且 :!:=21，而蓋體41之四周為連接有複= ° 氏壓部4 3為將内襯4 2固定於蓋體4 1與抵

第14頁 1262164 ^^ΐ^Γαϊ7 壓部4 3之間。 之彈;ί 5封件5為設置有-凸緣5 1且密封件5經由本身 之，定於座體i之充氣座孔12上。 本身

分解心九、十圖所示，係為本發明之 面圖，由圖。中構合後之分解圖、外觀圖及局部侧視剖 封件5裝入座看出本發明於組構時，先將複數個密 4穿過壓合的充氣孔12内，再利用固定元件1 底座1之鎖孑牙孔31，中間壓著塾片2，再鎖固於 3緊密的貼合，’使座體1、塾片2與壓合片 抵壓於密封件5 j 3之複數抵壓片3 2之底面會 1露出於壓合片η ”1使其密㈤’而支撐座1 4 2所設置之抵持邻？^盖4罩覆於底座1上’讓内襯 與内襯4 2之門抵持於墊片2胃圍，使底座1 再者，空間，即完成本發明之組構。

性聚合物、橡膝所製成，；；=:使用發泡泡棉或彈 、鋁合金、報合金或塑膠聚二片3可使用彈性不鏽鋼 為可使用靜電消散材料、導ς =寻所製成，而該内襯4 2 複請參閱第十、十—圖所=料真空吸塑所製成。 剖面圖（一）及局部侧視剖面=，係為本發明之局部侧視 出，當上蓋4設置之蓋體4丄罩^二），由圖中可清楚看 4 2所設置之抵持部4 2 1為备覆於底座1上時，該内襯 與内襯4 2之間形成一密閉空&抵待於墊片2，使底座丄 皆具有彈性變形之能力，所 、> 足因墊片2與内襯4 2 _ 田塾片2或抵持部4 2 1 I麵

第15 ^62164 五、發明說明（12) ___ ^面有不平整的狀況發生時，該墊 曰因盒子四周大面積分佈，〃抵持部4 2 1為 ，動調整而可相互緊密二的壓力，使其 所形成的密閉空間有著極佳的氣密 =1與内襯4 2 t到密閉空間内，使密閉空間内所儲存之：ί外界空，進 更好的保護。 光*罩或晶圓得到 請參閱第十二圖、十二 之局部側視剖面圖及充氣時 清楚看出，當使用者欲對可 係先將充氣管6由裝在底座 5下方向上插入，並將抵持 持片3 2向上推起，使抵持 位能力，而當抵持片3 2平 生一間隙時，該充氣管6即 進行充氣’且當充氣完成而 抵持片3 2為會因復位能力 面再次抵壓於密封件5之凸 ’藉此’讓使用者可方便的 他元件，以降低成本。 請參閱第十四圖所示， 示意圖’由圖中可清楚看出 抗靜電的塑膠材料所組成， 子所聚合而成，往往在材料 其射出加工完成底座1及上

圖所不，係為本發明於充氣前 之局部侧視剖面圖，由圖中可 密封轉移容器内進行充氣時， 1之充氣座孔1 2内之密封件 於密封件5之凸緣5 i上之抵 片3 2產生彈性變形而具有復 面離開凸緣5 1上之表面並產 可利用充氣管6之填充孔6 1 充氣管6抽離密封件5後，該 而向下抵壓，使抵持片3 2平 緣5 1上，而讓密封件5密閉 進行充氣，且不需另外設置其

係為本發明於吸收硫化物時之 底座1及上蓋4一般都是採用 它是由石油中提煉出來的高分 中會含有許多的硫化物7 ，當 蓋4以後，會持續不斷的揮發

第16頁 1262164 五、發明說明（13) 出硫化物7 硫化物7佔 製程中，加 如此一來的 掉，徹底解 再者， 8，使銀金 化物7而產 是以， 生之技術關 (一） 本發明 於底座 内所設 成一密 成，因 部表面 各部份 緊密的 外部有 (二） 本發明 底座及 、硫化 料本身 環境。 ，根據 很大比 入銀金 底座1 決此問 該底座 屬8可 生結晶 本發明 鍵在於 為利用 表面與 置之抵 閉空間 在盒子 有不平 受到不 配合， 害氣體 為利用 蓋體之 物揮發 所造成 前述習 例，因 屬8粉 及上蓋 題的發 1或壓 吸收空 物的問 之密封 彈性材 上蓋内 持部為 ，且因 四周圍 整的狀 同的壓 讓密閉 、水分 銀金屬 材質内 所產生 的問題 用之分 此在射 ，並使 4材料 生。 合片3 氣中之 題發生 轉移容 質所製 ，使上 會抵壓 墊片與 大面積 況發生 力，使 空間有 子進入 對硫分 ，以吸 對光罩 ，提供 析可之結晶物的組合成份 出加工底座1及上蓋4的 其與塑膠材料均勻分佈， 中的硫化物7就會被吸收 表面亦可電鍍—層銀金屬 硫化物7，徹底解決因硫 器 可改善習用結晶物產 成之墊片與内襯分別設置 蓋於罩覆至底座上時，該 於墊片，使内襯與底座形 内襯為使用彈性材質所制 分佈，所以當塾片或二 時，該墊片與抵持部會因 其形狀自動調整而可相互 著極佳的氣密性，以防止 Ο 子的活性，添加銀金屬至 收消除材料本身之硫分子 等之危害，解決了盒子材 光罩、晶圓等一個安全的

第17頁 1262164 五、發明說明（14) (三）本發明為 具有彈性 具彈性之 封轉移容 密封轉移 密封件之 氣，且當 抵持片為 而讓密封 上述詳細 明而已，惟該 ，凡其它未脫 變化與修飾變 〇 綜上所述 之功效增進， ，羑依法提出 人之辛苦發明 ，發明人定當 利用壓 變形能 密封件 器内充 容器内 面沐 充氣完 會藉由 件密閉 說明為 實施例 離本發 更，均 合片表面剖設的抵壓 力，並於抵壓片之一 上，而將 氣時，只 其密封，當 需將充氣管 片向上推起 產生一間隙，即可利 管抽離底座 使抵壓片抵 用者可方便 並將抵壓 成而充氣 復位能力 ，以讓使 針對本發 並非用以 明所揭示 應包含於 明一種較佳 限定本發明 之技藝精神 本發明所涵 片，且 侧平面 使用者 由密封 ，使抵 用充氣 之密封 壓於密 充氣。 之可行 之申請 下所完 蓋之專 抵壓片為 可抵持於 欲對可密 件伸入可 壓片離開 管進行充 件後，該 封件上， 實施例說 專利範圍 成之均等 利範圍中 ’本發明之密封轉移容器於使用時具有顯著 誠^合新穎性、創作性及進步性之專利要件 申明’盼審委早曰賜准本案，以保障發明 倘右鈞局有任何稽疑，請不吝來函指示 竭力配合，實感德便。

1262164 圖式簡單說明 圖式簡單說明 圖 圖圖圖 圖 一 二三四 五 第第第第第 圖圖 意意 示示 光光 曝曝 線線 外外 紫 深深 m m η η 3 3 9 9 IX 1± 為為 係係 圖 面 剖 視 側 R— it口 〇 局 圖之 意器 示容 物移 成轉 生封 晶密 結可 罩用 光習 為為 係係 圖 面 剖 視 側 部 局 之 器 容 移 轉 封 密 可 用 習 為 係 第 六 圖 係 為 習用 可 密 封 轉 移 容 器 之 充 氣 結 構 分解圖。 第 七 圖 係 為 本發 明 之 分 解 圖 〇 第 八 圖 係 為 本發 明 於 局 部 構件 組 合 後 之 分 解 圖。 第 九 圖 係 為 本發 明 之 外 觀 圖 〇 第 十 圖 係 為 本發 明 之 局 部 側 視 剖 面 圖 ( 一 ) 〇 第 十一 圖 係 為 本發 明 之 局 部 側 視 剖 面 圖 ( 二 ) 〇 第 十二 圖 係 為 本發 明 於 充 氣 前 之 局 部 側 視 剖 面 圖。 第 十三 圖 係 為 本發 明 於 充 氣 時 之 局 部 側 視 剖 面 圖。 第 十四 圖 係 為 本發 明 於 吸 收 硫 化 物 時 之 示 意 圖 〇 【主 要 元 件 符 號 說 明 ] 1 、底 座 1 1 、支 撐 座 1 3 鎖 孔 1 2 、充 氣 座孔 1 4 固 定 元 件

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Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 、~種密封轉移容器，尤 封轉移容器，該密封轉：：，儲存光罩或是晶圓的 表面為覆蓋有具彈性徵谷器為設置有底座，且底 設置有上蓋；其改3形能力之墊片，而底座上方 °亥上盍為設置有蓋體，1 能力之内襯，且内概 :豆内為設置有具彈性變形 蓋罩覆於座體上時，兮二&為凸設有抵持部，而當上 上，使抵持部與墊片，之抵持部為會抵壓於墊片 部與墊片之彈性變形At二*、、'α合之狀悲，並利用抵持 或是抵持部表面不方使其於結合後不會因墊片 具有良好的氣密效果產生縫隙，使密封轉移容器 如申請專利範圍第1 塾片可為發:泡泡棉返之密封轉移容器，其中該 利範圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 墊片可為彈性聚合物所製成。 γ / 内1 :專利靶圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 内襯為可使用靜電消散材料所製成。 =申:月專利範圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 内襯為可使用導電材料所製成。 明專利範圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 氐座為可使用具有銀金屬之材質所製成。 签!明專利範圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 :為可使用具有銀金屬之材質所製成。 Μ專利圍第1項所述之密封轉移容器，其中該 密 座 為 2 4 7 8

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   32164 中靖專利範圍 9 、 0 2 3 4 蓋體之四周Λ設罟古+上 η句°又1有複數抵壓部 觀抵壓於蓋體與抵壓部之間。 且抵壓部為可將内 一種密封轉移容器， 密封轉移容器，該密封轉移容：：存光罩或是晶圓的 座表面為覆蓋有具彈 :為設置有底座，且 為設置有上蓋；其改良力之塾[而底座上方 該墊片亡為可進_步罩覆有壓合 · 設置有複數穿孔，利用固定元件穿、二壓合片表面為 底座之螺孔内，使墊片穩、固的=姿合片而鎖固於 間上。 疋於底座與壓合片之 、如申請專利範圍第 該壓合片可為不銹鋼材料；J:封轉移容器，其中 、：二Ϊ專利範圍第9項所述：密封辕一 5玄壓合片可為塑膠材料所製成。、轉移容器，其t 、如申請專利範圍第9項所述之 該壓合片可為銀合金所製成。*轉移容器，其中 、如申請專利範圍第9項所述 閉結構，其中該底座表面為 ^轉移容器之密 罩或晶圓置放之複數支撺座，2 =言曼置有可供光 合片上。 支撐座為露出於壓 ，一種密封轉移容器，尤指使用於 的密封轉移容器，該密封轉移容晶： 密閉空間，而該底座表面為=谷器内形成一 々又复有可供充氣管伸入 IH9 第23頁 1262164 六 、中 5 16 請專利範圍 J =之密封件；其改良在於： 面覆蓋有具彈性變形能力之壓合片，而壓 二其:设有數量相當於密封件之抵壓片，俾使充密：轉移容器内時，充氣管會 -^ I 上頂開進订充氣，且抵壓片會形成彈性 ΐ有復位能力’當充氣完成後將充氣管抽出 h」，垓抵壓片為會藉由復位能力而向下抵壓 詒由^，而使密封件再次形成密封狀態。 t：ί利乾圍第14項所述之密封轉移容器，其 二二片表面為設置有複數穿孔，使可:=:固定元件依序穿過壓合片穿孔、塾片而 壓合片之間：螺孔内’使墊片穩固的固定於底座與 、如申請專利範圍第i 4項所述之密封呈 中該底座表面為可進一步設置有可供:置 放之複數支樓座，且支樓座為露出於壓曰圓置 、如申請專利範圍第i 4項所述之密封轉二 中戎壓合片可為不銹鋼材料所製成。 谷时 、如申請專利範圍第i 4項所述之密 中該壓合片可為銀合金材料所製成。移合口口 、如申請專利範圍第工4項所述之密封 中該壓合片可為塑膠材料所製成。 谷一 其 其 其 其 、如申請專利範圍第i 4項所述之密封 w 中該壓合片可為鋁合金所製成。 移合為

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