TWI253184B - Semiconductor image pickup device capable of sensing light over wider range - Google Patents

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TWI253184B
TWI253184B TW093131581A TW93131581A TWI253184B TW I253184 B TWI253184 B TW I253184B TW 093131581 A TW093131581 A TW 093131581A TW 93131581 A TW93131581 A TW 93131581A TW I253184 B TWI253184 B TW I253184B
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Fusayoshi Hirotsu
Junichi Hirotsu
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Fusayoshi Hirotsu
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Description

1253184 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於半導體攝影元件,更特別地係有關於 即使在視野内同時存在輝度差異大的區域,仍可以進行寬 動態範圍的攝影,並且可在全區域檢知對比的半導體攝影 元件。 【先前技術】 CCD(Charge-coupied devic勾或 CM〇s(c〇mplementag metal_GXide semiconduct〇r)成像器等固體攝影元件,所謂半 導體成像感測器(以下稱作,,半導體攝影元件”),開始作為視 訊照相機或數位照相機’目前也内藏於行動電話中,並且 因為廉價被廣泛普及作為消耗電力少的攝影元件。 不過’半導體攝影元件的感之能力,與人類的視覺感 知:比’遠遠不如。就人類的視覺而言,在一視野内,即 4〜5位數程度的輝度分布’也可充分檢知明處與暗 二秀、比。此優秀的對比感知能力係由視網膜内的受光细 現。 “周正各個細胞的光感度特性的機能加以實 相對於此’在習知的丰導辦 音且古, 牛等體攝影兀件中,若全部的傻 素具有相同的受光特性,很難在福❹"王叫 到充分的對比。 、現野内明處與暗處同時得 _ 29與圖30係繪示 影例的圖式。這些攝影例 的半導體攝影元件之攝 的白天從點有螢光燈的 2075-662〇、pp 1253184 室内拍攝包括窗外的光景。此等光景是在曰常生活中經常 見到的情況。在此種普通的光景中’人類的眼睛對於= 或窗外的光景都可以毫無困難地在充分的對比之下看見 這在經驗上是很清楚的。 然而在習知的半導體攝影元件中,因為全部的像素具 有相同的受光特性,且動態範圍相當小,若對在同一視野 中的特定區域攝影,會發生該其減域在攝影可能區域: 外的現象。 、例如,在圖29所示的攝影例中,由於調節各像素的受 光感度特性以適合陰暗區域的屋内攝影,在屋外則變得2 過明亮,導致所謂過白的狀態’無法檢知明亮部分的對比。 ^相對地,在圖30所示的攝影例中,由於調節各像素的 受光感度特性以適合明亮的屋外攝影,這次則是在屋内則 變得太暗,導致所謂轉暗的狀態,難以檢知黑暗部分的對 如此,在f知的影像感測器中,在視野内同時存在明 亮區域與黑暗區域的情況’對全區域檢知充分的對比的能 力明顯比人類的視覺檢知差。 又,在高田謙二他,CCD/CM〇s影像感測器:第三節 「Mm〇lta/R〇HM巾對數變㈣CMOS影像感測器技術與 應用」,、丁riceps公司,p·107-117等之中,作為動態範圍小 ^丨起:過白或轉暗等檢出界限的應對技術,使用對數放大 器的寬動態範圍照相機的方式被提倡。 在圖巾係綠示以使用對數放大器的寬動態範圍照
2075-6620-PF 1253184 祁機的攝景> 例。太从 在使用對數放大器的架構中,各 態範圍寬,不過由认Λ、& ^ 谷V素的動 丘、s u 由乂成為壓縮全部像素的受光感度特性均 共通的影像的方式, 、 問題。 產生對比較差且晝面整體較模糊的 作為解決此問韻 報^ 特開___79號公 機能,揭示了半導體Lr 圍及高對比檢知 像辛的入射光旦攝“件的架構,其具備對應於周邊 機構。里’可移動在各像素電路的受光感度範圍的 中不過/在上述專利文獻1揭示的架構,在各像辛電路 中’必須配置在用以檢知本 傢“路 件,與用以檢知在 |的弟1受光檢知元 牧W迎像素的平均受去旦 件在其他檢知元件之F彳妯4 又先先里之經由電阻元 兩個受光檢知元件。因此又Μ知凡件等 來對高解析度化的要求。 Κ素大小以滿足近年 又由於必須在單-像素電路申配置2個為光於4 — 件’兩者本來相同位準的受光 广知- 置而不同。亦即,在橫向配置2個/=不 置位 …不會同-,在兩者縱向配=先由:元件時’入射 同,也會依存於波長,所 ' ’由於即使入射光相 上的相同的受光量。因此,受光:t個受光檢知元件 確,使得檢出精度降低。 里呉輪出電壓的關係不正 由於該第1與第2受光檢4 一 列接φ,、、☆ 件在各像素電路 歹…⑽入至與周邊的像 … 包虱地接續之節點的嗓
2075-6620-PF 8 1253184 音有可能被重疊至上述第i受人 使得噪音容易被讀取,導梦知元件的光電流上,這 〜杈出精度降低。 【發明内容】 為了解決此等問題,本發明 度且小型的半導體攝影元件,其g的即在於提供一高精 大的場合,也可以充分的對比檢視野内輝度分布 分。 月壳的部分與黑暗的部 本發明之半導體攝影元件 素間接續部。各像素電路係包括复數個像素電路及像 節點上產生對應於受光量的光電流知元件,在第1 將第1及第2節點同時接續 二弟1電流產生電路, 流至第1節點的光電古别即點上,以產生對應於 !電…J 弟1電流與第2電流,同時使第 包机與弟2電流分別流至 了仗罘 雷、、六姦 即”,占與輪出節點;及第2 电机產生電路,將第2節點與 及弟2 A ^ 2 ^ p 接、·、貝,以對應於成 為弟2即點之通過電流的第3電 使第2電流與第4電 :弟4…同時 績部係將各像素電路的第2節 认素間接 即^电軋地與鄰接的像素電路 中的至少1個的第2節點接續。 上述半導體攝影元件,利用在各像素電路令配置單一
=光檢知元件的架構,在第2節點上產生對應於在周邊 均受光量之平均電流,同時透過第丨及第2電流 產生电路’不直接演算光電流,而可得到對應於自身光★ 流與平均電流的相對差之輸出。 % 2075-6620-PF 1253184 伙而’不配置複數個受光檢知元件,對應於如同人 網膜般的周邊的亮度,可修正移動各像素電路中的受^ 度範圍。因此’由於經由感度曲線的移動,可擴大有效: 動感範圍,以實現寬受光感度範圍及高對比的檢知,同日士 達成料電路的小型化,並使依照多像素化的高解析度: 的對應容易。又,由於沒有如同在各像素電路上需要複數 的受光檢知元件的架構,其各個配置位置的差別所導致檢 出精度降低的顧慮,而可提高檢出精度。再者,由於光· ,流過的節點(第i節點)未被接續至其他電流流過的節: (弟2即點)’可減少噪音的影像,並提高輸出精度。 /最好是在本發明的半導體攝影元件中,像素間接續部 係包括被接續至不同的像素電路中之第2節點間 分。 入 辛門述的半導體攝影元件中’透過以電阻成分構成像 =接^,對應於電阻成分的電阻值,可調整攝影感度 與X光量的平均化之範圍。 最好是在本發明的半導體攝影元件中,設計第工^ 產生電路’以使得第1及第2電流比光電流大。 机 在上述的半導體攝影元件中,由於透過第i電产產生 電路將光電流增幅’求取得到的電流與上述平均電流之電 流差,可增大η被演算的電流值,並可進一步提高抗•音性: 或者,最好是在本發明的半導體攝影元件中,各斤素 電路係更包括用以得到輪出節點之通過電流的積分值^ 分電路,及用以將積分值重置的重置電路。 、
2075-6620-PF 10 1253184 在上述的半導體攝影元件中,經由更具備積分電路及 '路在對螢光燈等不停的亮度變化的物體攝影時, 不g產生晝面閃爍等問題。再者,與輸出瞬間值的架構相 b 貝貝上感度增加,可在更低的照度下攝影。 干取好是在本發明的半導體攝影元件中,第1電流產生 二路/、有·第1電晶體,被電氣地接續至供給第i電壓的 弟二電源節點與第i節點間;第2電晶體,被電氣地接續 = 電源節點與第2節點間,1 3電晶體,被電氣地接 二至第1電源節點與輸出節點間。第2電流產生電路具有: =…電曰曰體,被電氣地接續至供給與第1電壓不同的第2 電壓之第2電源節點與第2節點間;第5電晶體,被電氣 地接續至輸出節點與第2電源節點間。第i至第3電晶體 的各控制電極被電氣地接續至第1節點,帛4及第5電晶 妝的各控制電極被電氣地接續至第2節點。 “在上述的半導體攝影元件中,作為第1及第2電流產 生電路,由於採用以電晶體構成的電流靜電路,可簡化電 路架構。 再者’取好’各像素電路更包括:電容器,被電氣地 與輸出節點接續;帛6電晶體,被電氣地接續至供給既定 的重置電壓的供給節點與輸出節點之間,並在重置時開啟。 在上述的半導體攝影元件中,關於積分電路與重置電 路’可透過單一的電容與電晶體,簡單地構成。 最好是在本發明的半導體攝影元件中,受光檢知元件 係由被電氣地接續至供給第1既定電壓的第i電源節點及
2075-6620-PF Ϊ253184 第1即,點間以_皮逆向偏M的光 電流產生電路係包括:當η a 構^再者^1 與第1 6十二 电日日體,被電氣地接續至供达 1既疋電塵不同的第2既定電 '4— 1郎點之間,以在第丨節點上產生 电源卽點及第 第2電曰辦,+予— 對應於光電流的電壓; 电曰曰體’被電氣地接續至帛 仏 間,且复柝劁+托i 电原即點與第2節點之 /、控制电極被電氣地與第i節點接續 +曰 ,破電氣地接續至第1電源節點與輪出r 控制電極被電氣地與第1節點接續。第2 :::間’且其 包括:第4兩曰俨 .,_ 电机產生電路係 節點之二:破電氣地接續至第2電源節點… 5電:、二電極被電氣地與第2節點^^ —破电轧地接績至第2電源節點盥輪 其控制電極被電氣地與第2節點接續D U間, 在上述的半導體攝影元件中,透過 構成的簡單架構之電流產生電路,可實現二〜=電晶體 的輪出之與在周邊像素的平均受光量間的差 定最好是在本發明的半導體攝^件+,第^ '堡比弟2既定電壓高,。電晶體係由開極盘既 相互接續且源極被電氣地與第 7 及極被 電晶體所構成,光二極體的陰極係被電==場效 點接續,同時其陽極被電氣地與第i節點接續弟1電源節 ^在上述的半導體攝影元件中,透過將第1電日體Μ 對數電晶體動作,可將相對於vds(閑極 曰曰體作為 化之Ids(閘極.汲極間電产 ^ B屯壓)的變 电机)的交化设定為像對數函數。藉
2075-6620-PF 12 1253184 可抑制相對於廣㉟圍的照度的飽#,同時進行使 圍中夕忒危& & _ ^ I- , v…、/又π吧P ’ Μ吋進打使低用 又耗圍中之感度提昇的電产㊆ 7电彼电屋麩換。從而,可進一步管 現廣攝影範圍的確 s ^ 去,. 的確保及緹幵在低照度區域的攝影感度。 _ 〜、又先私知兀件的光二極體的固定偏壓 較短的年、η , 勺夕數載子,由於係生命時間相游 的甩洞,其鍍膜電阻較佳。 …、又’最好是在本發明的半導體攝影元件中,第!既〜 包壓比第2既定電壓低,第曰 疋 -弟1 %曰曰體係由閘極與汲極被相 互接,且源極被電氣地盥 曰濟所接Λ、身 、弟印;接績的η通道型場效電 择 體的陰極係被電氣地與第丨節點接 、,’心其陽極被電氣地與第1電源節點接續。 對數ΐίΐ的半導體攝影元件中,透過將第1電晶體作為 對數电日日體動作,可抑制相對 制相對於廣耗圍的照度的飽和,同 ▼進订使低照度範圍中之感度提昇的電流電μ變換。 特別在此種架構中,場效雷曰 “體#、讀個串聯被接續 在弟2黾源郎點與第1節點之間。 在此種架構的半導體攝影元件中,可對應於場效電晶 +的配置個數的增加,增大經由第1節點電壓第電壓將光 =Γ=出:光電變換的變換率(輸出變化量/光電流 二:所二广“晶體增加部分的佈局面積變大者, 由於貝貝地k幵攝影感度’可以更低的照度進行攝影。 又,最好是在本發明的半導體攝影元件中,更包 :電路,被設置在供給既定的重置電壓第電麗節點:第1 即點之間,以既定的週期動作並將第1節點電氣地與電壓
2075-6620-PF 13 1253184 卽點接續。重置電壓係被決定以使得重置電壓與第2既定 電壓的電壓差成為在對應於第1電晶體的弱反轉區域之閘 極·源極間電壓的範圍内的電壓。 一一在上述的半導體攝影元件中,透過對於受光檢知元件 (光-極體)直接進行重置動作,可構成抑制殘像並快速回 f㈣素電路。特別,在重置動作之後透過將重置電壓設 疋在第1電晶體在弱反轉區域的動作範圍内,在第工帝曰 2電流-電壓特性上,可增大相對於電流變化(亦即二 /瓜交化)的電壓變化(亦即第i節點的電壓變化)。藉此, 增高光細:快速回應,可進一步提昇像素電路:回應。 又,最好是在本發明的半導體攝影元件中, ί::間被設置ί供給既定的重置電壓第電壓節點及第1 二心1 ’以既定的週期動作。重置電路在各動作時回雇 ;在該打點之第i節點的電塵與重置電壓的電塵差,決6 Z。1節點彻設定為重置錢的重置動作的執行;不 在上述的半導體攝影元件中,在各重置 於重置電麼與第i節點的電屡差,亦即,從^ ’回應 對各像素電路的入射光的照度 ^置動作 可控制是否執行"動作。從而;二:既定值, 置週期可能變長,等價地會減低框架逮'率的:果素電:的重 低照度中亦可確保充分的光量,可 :果,即使在 攝影照度的界限。 - 體攝影兀件的 特別在此等構成中,第1既定電屢比第2既定㈣高,
2075-6620-PF 14 1253184 光二極體的陰極被電氣地接續至第ι電 ^ 極被電氣地接續至第】節 ’、‘.,,,同時其陽 “丨點,重置電政伟白社 可變電晶體,被接續至重置二*、11通道增益 置包壓即點與第1節點之門,日 對應於控制閘極的電位上! ”,之間且 f上升,其增益係數類比地增大,n 通道增盃可變電晶體的通f 曰入 n 逋吊閑極係根據既定週期,接收被 活性化為固定期間的邏輯高位準的重置信 被 閘極被電氣地接續至第1節點。 D化亚且/、控制 在上述的半導體攝影元 田π遷過早一的半導髀 元件(增益可變電晶體)可構A 、 傅欣上述重置電路, 電路的小型化。再者,在受央/ 運成像素 又先守在作為受光檢知元件的光 二極體的固定偏塵電極(亦即陰極)上產生的少數載子,由 於係生命時間相對較短的電洞,其鍵膜電阻較佳。 或者,特別在此種架構中,第1既定電麗比第2既定 電屋低,光二極體的陰極被電氣地接續至第^節點,同時 其陽極被電氣地接續至箆1帝、、盾Μ ^ ^ 、、,, 侵Κ主弟1电源即點,重置電路係包括ρ 通道〜扭可k電晶體’被接續至重置電壓節點與第i節點 之間’且對應於控制閘極的電位下降,其增益係數類比地 柘大’ p通道增盃可變電晶體的通常閘極係根據既定週期, 接收被活性化為固定期間的邏輯低位準的重置信號,並且 其控制閘極被電氣地接續至第1節點。 在上述的半導體攝影元件中,由於透過單一的半導體 疋件(增益可變電晶體)可構成上述重置電路,可達成像素 電路的小型化。 、 再者,重置電壓係被決定以使得重置電壓與第2既定
2075-6620-PF 15 1253184 :壓的電壓差成為在對應於帛丨電晶體的弱反轉區域之間 極·源極間電壓的範圍内的電壓。 在上述的半導體攝影元件中右 ^ ^ r 在重置動作之後透過將 畫置電壓設定在第1電晶俨名弨只絲广α 私日日體在弱反轉區域的動作範圍内, 在第1電晶體的電流-電屬拉 _ 兒土特性上,可增大相對於電流變化 亦即光電流變化)的電壓變化(亦即第丨節點的電壓變 2此,更增⑤光電變換的快速回應,可進—步提昇像 素電路的回應。 本1¾明之主要優點係利用在半導 # 带 π仕千泠體攝影疋件的各像素 兒中配置單一的受光檢知元件的牟椹 ,5 y 1卞日1木構,可對應於如同人 頰網膜般的周邊的亮度 ㈣π 4正移動各像素電路巾的受光感度 、_ 移動’有效的動態範圍被擴 ,以實現寬受光感度範圍及高對 /、 -t- ^ ^ r , 门野比的檢知,同時達成像 畜电路的小型化,並使依昭吝作 宏总。 、便依',、、夕‘素化的高解析度化的對應 柊j - π 冬素包路上需要複數的受光 榀知70件的架構,其各個配置 隊狀* 置的差別所導致檢出精度 爷低的顧慮,而可提高檢出精度。 本發明之上述與其他目的、牲 寺徵、局面及優點,經由 下面的坪細說明配合附圖可進—步闡明及理解。 【實施方式】 下面,參照圖式詳細說明本發 ,, η <貝知例。又,為下 面的說明中對相同或相當的部 刀賊予相同的參考標號。
2075-6620-PF 16 1253184 貫施例1 圖Η系纷示構成本發明之實施例ί的半導體攝影 的複數像素電路的各個架構的電路圖。 ’·, 件圖卜實施例1的像素電㉟10係包括受光檢知元 :(代表性的是光二極體)20,及被設置以作為「 電路」的電流鏡電路30a、30b。 電流鏡電路施具有P通道M〇s電晶體31〜33。在下 面本發明之實施例中,p通道M〇s電晶體及η通道刪 電晶體係被顯Μ作為電晶體(特別係場效電晶體)的代表 例0 Ρ通道MOS電晶體31係被電氣地接續至供給電源電 壓vdd的電源節,點13與節點Na之間。ρ通道刪電晶體 32係被電氣地接續至電源節點13與節點⑽之間。p通道 MOS電晶體33係被電氣地接續至電源節點13與輸出節點 N〇之間、。再者,P通道M〇S電晶體31〜33的各閘極(控制 電極)係被接續至節點Na,以構成電流鏡電路。 作為受光檢知元件的光二極體2〇的陰極被接續至節 點⑽,陽極被接續至接地節點14。藉此,在節點Na上, 對應於光二極體2〇的入射光21的光量(受光量)之光電流 10係從電源節點13向接地節點14的方向流動。
再者,透過電流鏡電路30a,比例於光電流10的電流 係被產生至節點Nb,同時比例於光電流1〇的電流J2係 被產生至輪出節點N〇。電流比1〇:11係對應於p通道M〇s 电日日體3 1及32的電流驅動能力而被決定。電流比1〇 ·· 2075-6620-PF 17 1253184 係對應於p通道M〇S電晶體3 1及33的電流驅動能力而被 決定。 MOS電晶體的電流驅動能力,由於係比例於以閘極寬 度/閘極長度表示的電晶體大小,具體而言,係透過P通道 MOS電晶體3 1〜33中的閘極長與閘極寬的尺寸設計,在電 流鏡電路30a中,可使得電流比10 : II及10 : 12成為期望 的值。最好是設計使得Π/Ι〇>1且12/10>1,以透過電流鏡 電路30a增大光電流10。 再者,若可在節點Nb及輸出節點No上產生對應於光 電流10的同樣的電流II、12,則雖然取代電流鏡電路30a, 任何架構的電流產生電路均可適用,但透過適用電流鏡電 路,可簡單地構成該電流產生電路。 電流鏡電路30b係具有:η通道MOS電晶體34,被電 氣地接續至節點Nb及接地節點14之間;及η通道MOS 電晶體35,被電氣地接續至輸出節點No及接地節點14之 間。透過使η通道MOS電晶體34及35的各閘極(控制電 極)與節點Nb接續,構成電流鏡電路。 透過電流鏡電路3 Ob,產生比例於通過節點Nb的電流 13之電流14。產生的電流14流動以從輸出節點No被拉出。 亦即,電流鏡電路30b係被配置以將依據電流鏡電路30a 的電流12與比例於電流13的電流14間的電流差流向輸出 節點No。再者,電流鏡電路30b中的電流比13 : 14係對應 於η通道MOS電晶體34及35的電流驅動能力比(電晶體 尺寸比)加以設計。 2075-6620-PF 18 1253184 若可在輪出節點上姦 取代電流鏡電路30b /、 K目5的電流差,雖然 '任何架構的電流產生電 但透過適用電汚锫兩物 包吩7」通用, 再 甩,可簡單地構成該電流產生電路。 各像素電路1 〇中,節點Nb 作為「像素間接續部、、工由被故叶以 J按、貝邛」的電阻成分40,被電翁 個鄰接像素電路 、-、至>、1 “ 0中的卽點Nb接續。藉此,對岸於夂供 素电路中的光電流10電4 。、各铋 L 1係透過複數電阻成分4Π ; 被为、极,並被流向鄰接帝 在各像辛電路^節點灿上,且 素’路10的節點Nb上流過從自身及鄰接的… 路被分流的電流η的電流 ①素電 於包括自身的周邊巴…工、,,°果'流13成為對應 周域中的平均受光量的電流。 電阻成分40,舉例而言, 冬 阳分杜而操^ 了透過被形成在基板上的電 阻7C件而構成。或者,如—、 斤不’被接續至不同的轳去 電路心、⑽中的節點灿間 不Π的‘素 電壓Vc的場效電晶體4 °過可調整閘極 眾双冤日日體41構成電阻成分40。 •由於對應於被接續在像素電路lQ間的電阻成分 电阻值,可调整攝影感度 、 ^ 0 ^ _ A 先里的平均化的範圍,若如 圖2所不般構成電阻成分4。,則可減輕在設計 值的負荷,並且實際在安裝時电 象的調整。 了合易心丁對應於攝影對 再苓照圖1,輸出節點N〇的帝古 产你本帝h 燕出兒、飢10成為對應於 在“、笔路10本身的光電流10的電:像 素電路的平均受光量之電流14的電、.差於周邊像 12-14。被與輸出端子15接續 jL m〇 = 輸出即點N〇係經由p通道
2075-6620-PF 19 1253184 M〇S电曰日體33及n通道M〇s電晶 節點13與接地μ & u 體35而被接續至電源 、狹地即點14之間。 攸而,在輪出端子15上被輸出 為對應於輪出輸出电壓Vout係成 像素的平均受 =:= 〜 +里之U的相對的差而被決定。 右况明圖1所示之像素電路2 〇 的對應關係,♦+ a 的木構與本發明之架構 流產生電路」……々彳對應於本發明之「第i電 流產生電路 #對應於本發明之「第2電 於本發明(特」別=ΓΜΟδ電晶體31〜33係分別對應 〜「第3命 請專利範圍第5項)中的「第1電晶體」 於本發明(特…X θ曰體34及35係分別對應 (特別疋申請專利範圍第s 〜「第5電晶體」。…5項)中的「第4電晶體」 圖3係繪示在實施例1的像夸+ m Vmit ^ 71七素毛路中受光量與輸出電 & V〇Ut之關係的概念圖。 圖3的橫軸係表示像辛雷踗〗 係表干久^ 抛京电路10的受光量(照度),縱軸 ‘素電路10的輸出端子15的輸出電壓細。 出二,出電壓Vout係對應於受光量而變化,受光量與輸 化=_曰的特性係對應於在周邊像素的平均受光量而變 表示如特性線5 1〜57。 妹之,在周邊像素的平均受光量小時,由於圖1中 別出即點No被拉出的電流14相 綠 的區域輪出電流1〇大 、欠 又 、、吉果,在對應於周邊像素的
2075-6620-PF 20 Ϊ253184 :,光里又光1相對較小的區域’可確保良好的感度。 中/目對於此,在周邊像素的平均受光量大時,由於圖1 大::饥14相對地變大’在受光量大的區域輸出電流Ιο 相董 。結果,在對應於周邊像素的平均受光量受光量 、車乂大的區域,可確保良好的感度。 ,果’在實施素電路1Q中’因為 门邊的明冗修正移動各像素電路的受光感度範 圍’可擴大有效的動態範圍,並可實現 祀 高對比的檢知。 五了貝現見又先感度範圍及 透、尚ΐ:參照圖1,在實施例1的像素電路10的架構中, 的= 極體(受光檢知元件),對應於在周邊像素 干::光量,可變化在各像素電路的受光感度範圍。從 光檢知元件的配置個數 之木構比車父,可削減受 可受光檢知元件的尺寸,與依存”程界限值而 呆可以檢知入射 少的本二匕又到限制。因此,受光檢知元件的配置個數 較,有心之像素電路,與專利文獻1揭示的像素電路比 皁乂 有利於電晶If _叙· |、,i 照多像素介^ 大小的縮小化。結果,使依 ’、々问解析度化的對應容易。 為在單明者,在專利文獻1揭示的架構中,因 同的:兩;:受電::必須配置2個受光檢知元件,本來相 於此,在本發明之半導體攝影元件中,由於在各像素=
2075-6620-PF 21 1253184 ι〇上透過單_66总止从^ — 、又光彳欢知元件檢知受光量, 带 光量的關係變得争 月彳出电壓與受 文付更加正確,且輸出精度高。 再者’與專利文獻1揭 至A他铧去+ 的木構不同,容易與被接續 至/、他‘素電路等的節點重疊的節, 接與受光檢知元件20接續,產生的啤立2、)由於未直 高。 座生的本S、交少,且輸出精度 特別,經由透過電流鏡電路30a 大来Φ、、六 !王甩桃Π、12以增 大先私机10,由於可使為了 的雷、、古n T/1 i 于叛出兒後ί〇而被加減運算
Ll〜14的值變大,可進-步提高耐噪音性。 圖4係綠示以行列狀配置實施例i的像 成之實施例1的半導體摄马-从A ”路而被構 千导體攝如π件的全體架構之圖式。 參照圖4,實施例1的半 J干V體攝影7C件i 〇〇係包枯 行列狀配置的複數像专兩支 括破 赵… “路1G#、垂直移位暫存H 110、複 數行選擇線115'水平移位暫 设 125。 节仔时120、及稷數列選擇線 行選擇線115,在像夸兩枚^ a —,,、l 、— 隹侬素电路1⑽的各行(以下稱作,,像素 视… 置傳達表示對應的像素行為選 擇狀m /非選擇狀態中哪一個的 、 '個的订選擇信號RS。列選擇線 125,在像素電路10#的各列(以下稱作”像素們上,沿著 :向被配置#達表不對應的像素列為選擇狀態/非選擇 狀態中哪一個的列選擇信號c s。 ‘垂直移位暫存器110,以既定的週期依序選擇複數f 素行,同時將對應於選擇的傻丰γ 一 冬 伴]像π仃之仃選擇信號RS設定 活性狀態,並將對應於非選摆的 F k释的像素打之行選擇信號Rs
2075-6620-PF 22 1253184 设疋為非活性狀態。同樣地,水平移位暫存器12〇, 疋的週期依序選擇複數像素列,同時將對應於選渥的像素 選擇信號cs設定為活性並將對應於非選擇的 ^素列之列選擇信號以設^為非活性狀態。在下面 唬::舌性狀態為邏輯高位準(以下表示為”Η位準”),非活 狀態為邏輯低位準(以下表示為” l位準,,)。 彳 像素電路⑽的架構,基本上與圖” 10相同,更句括粁馮摆銼工, 丨$系包路 …丁 k擇知子16及列選擇端子17。在行選 而 i輸入對應的像素行之行選擇信號RS,在列選 上輸入對應的像素列之列選擇信號cs。從輸出 知子輸出與像素電路1〇相同的輸出電壓V⑽。 p芩'日'?、圖5 ’圖4所示的像素電路1〇#係在圖丄所示之 =例1的基本像素電路1G之架構外,更包括輸出選擇電路 輸出選擇電路6G係具有n通道議電晶體61〜63。 i 4及刪電晶體6 1及6 2係被串聯接―接地節點 十剧、舄子15之間。11通道M0S電晶體61的閘極(控 制電極)被與輸出節點N接續 工 通道M〇s電晶體α的 、=控制電極)係經由η通道M0S電晶體63被接續至列 通道刪電晶體63被接續^通道_ 包日日體62的閘極盥列潠煜山 行選擇端子16。“子17之間’其閘極被接續至 η通运MOS電晶體61係構成源極隨減大器,在相 當於没極的節點Nc上產生對應於輸出節點如的電塵之輸
2075-6620-PF 23 1253184 出電壓Vout。輪出電壓v〇ut,鱼 ” V素電路1 〇相同,對庳 二议素電路10#自身的光電流與對應於在周邊像夸上: +均受光量的電流13的相對值而被決定。 η通迢MOS電晶體62在對 擇信號cs兩者擇uRS與列選 χτ 為活性狀恶(Η位準)時開啟,以接續節點 仏與輸出端子15。处果 貝即-占 …果议素電路10#,在對應的像素扞 舁像素列兩者被選擇的選擇時 壓v〇ut。 攸輸出鳊子15輸出輸出電 如此’可構成連續配置眚 祖 貝置κ轭例1之像素電路的半導妒 攝影7G件。此半導體攝影元件,、 U1對應於如人類姻 般周邊的明亮修正移動各像素電路的受光感度範圍十 ,光感度範圍及高對比的檢知。再者,因為可使像: 電路小型化,有利於依照多 ^ 夕槔言化的咼解析度化,並且, 可得到噪音影響小的高精度的輸出電壓。 實施例2 參照圖6 ’實施例2的像辛雷故 %路11,.除了圖4所示之 路10#的架構外,尚包括被設置以作為「積分電路」 的電容70及被設置以作為「重置電路」的η通道助^ 晶體72 。 % 電容70的-端被接續至輪出節點Ν〇’其另—端被鱼 例如接地節點14接續。η通道Μ〇 一 ⑽兒日日體72破電氣地接 ,至供給重置電壓νΓ的重置電壓節點73與輸出節點知 之間。η通道M〇S電晶體72的閘極被接續至被給予 24
2075-6620-PF I253184 脈衝RST的重置端子?4 的重晉m I、、σ予在重置端子74上 、衝RST為活性狀態(Η位準)時, 續至重置雷懕r7 了輸出即點No被接 罝兒壓即點,並且被設定為重置電壓V。 在重2rRST係週期地脈衝狀地被設定為活性狀態。 赴、衝RST的非活性狀態(L位準)期間,由於輸出μ …、Ν〇從重置電壓節點73被切離,輪出節 、月_即 於受氺旦从认丨 铷出即點No按照對應 、 里的輪出電流lQ而被充放電,輪出雷,v 於輪屮+τ 弘叛出電壓Vout對應 、輸出电k Ιο的時間積分值而變化。 在實施例1的像素電路i 1〇 -„ ^ ^ 仔上輸出電流1〇係在 瞬間對應於受光量的值,因為僅於 _ U為僅此進仃瞬間值的攝影,若 1螢光燈等不斷改變明亮度的物體 ^ ^ 量曲可能產头Μ 爍等問題,在實施例2的像f i j j AA 士 们像常电路11,由於輪出電流I〇 的日守間積分值被輸出,解決此等問題。 圖7係說明本發明之實施例2的像素電路的動 念圖。 參照圖7,重置脈衝RST,根據既定間隔,在一定期 間(時刻t〇〜⑽間與時刻t2〜t2#間)中,活性狀態饵位準)被 活性化。 在重置脈衝RST的活性狀態期間中,輪出節點如被 充電至重置電厂堅Vr。在重置脈衝咖的非活性狀態(匕位 準)期間中,對應於自身的像素電路的受光量與周邊像素電 路的受光量之電流差’由於輸出節點N〇#充放電,據此電 壓Vo亦隨著時間變化。 再者,在自身的像素的選擇時序(時刻U〜⑽)中,行選 2075-6620-PF 25 1253184 擇信號RS盥列選擇信缺r Q i + 庠的恭^ 、、〜S兩者被活性化為Ή位準。此時 、%壓V〇係透過由電晶冑 你; ul構成的源極隨耦放大器# 大’從輪出端子15被輪出為輪出電壓vout。 八 按照此等架構,藉由附+拉八 .. 由附加積分電路及源極隨耦放大 σσ' 吳只施例1的像素電路;j:日μμ — ^ y 包路相比,貫質上感度提昇,可進 仃更低照度的攝影。 在圖4所示的半導I#攝旦/ _ 币 导體攝影凡件100中,透過取代像素 电路10#而配置像素電路nr 1 (圖6),可構成連續配置實施例 2的像素電路之半導體攝影元件。 在圖8及圖9中係修+ 士又义 , y 日不本發明之半導體攝影元件的攝 影例之模擬結果。 圖8係對與圖29及圖3〇所示之習知的半導體攝影元 件的攝影例相同的被拍攝之物體進行拍攝者。同樣地,圖 9係對舆圖31所示之使用習知的對數放大器的半導體攝影 几件的攝影例相同的被拍攝之物體進行拍攝者。如圖8與 圖9所tf依據本發明’因為可對應於如人類網膜般的周 邊月儿修正移動各像素電路的受光感度範圍,可實現可 以充分的對比檢知在同—^目蚊七^ ^ 1 J視野内的明亮部分與黑暗部分之 半導體攝影元件。 實施例3 在貫施例3係說明產生對應於光電流1〇的電流n及 12的電流產生電路(圖工之電流鏡電路3〇a)的其他構成例。 參照圖10,實施例3的像素電路15〇,與圖丨所示的
2075-6620-PF 26 1253184 V素電路1 〇(實施例i )比較,在取代電流鏡電路(電流產生 電路)30a,而具備電流產生電路3〇c這一點上,與作為受 光檢知元件的光二極體20被接續至節點Na及電源節點13 之間這一點上,以及更具備作為「重置電路」作用的重置 電晶體90這一點上不同。 光二極體20,其陰極被電氣地與電源節點13接續, 其陽極被電氣地與節點Na接續,並被逆向偏壓。 電流產生電路30c係包括p通道MOS電晶體32、33, 及作為在節點Na上產生對應於光電流1〇的電壓%之電流 電壓變換器作用的p通道MOS電晶體80。 p通道MOS電晶體80,其源極被接續至節點,其 沒極被接續至接地節點14。p通道MOS電晶體8〇, 由於 其閘極與汲極相同被接續至接地節點14,閘極電壓固^於 接地電壓Vss,可增大電流驅動力。 、 η通道MOS電晶體34、35係與圖1所示的像素恭 10相同,構成電流鏡電路3 Ob。 重置電晶體90係以η通道MOS電晶體構成,、,、 座被接 續於重置電壓節點18與節點Na之間。在重置恭曰 电曰曰體9 〇 的閘極上,與給予重置脈衝RST的重置端子74接^ 置脈衝RST,與圖7所示者相同,以既定周期於〜^ 、 疋期間 被設定為活性狀態(在此為Η位準)。從重置電壓節 °,、占1 8才皮 供給的重置電壓VRL係被設定為接近接地節點]4 ^ 4之電壓
Vss 的正電壓。亦即,VssSVRLcVdd,且 VRL、\rSs 不 像素電路1 50之其他部分的架構,由於係與圖i戶斤 2075-6620-PF 27 1253184 的像素電路1G相同,不在重覆詳細說明。 在此,說明圖1〇所示的像素電路15〇 之架構的對應關係,電流產生電路 之架構與本發明 「第1電流產生電路」,電流鏡;路=對應於本發明之 「第2電流產生電路」。又,在圖i。的架=於:發明之 13對應於「第1電源節點」,接地節點14 ,.,电源即點 源節點」。亦即,p通道M〇s電晶體8〇係^'應於「第2電 別是申請專利範圍第7項)之「第1 “ /應於本發明(特 電晶體32及33係分別對應於本發明==」,P通道助S 第7項)之「第2電晶體」及「第3 /日^中請專利範圍 電晶體34及35係分別對^本;;體^通道咖 第〜…4電晶體」及「第二(:::申請 其次說明電流產生電路3〇c的動 晶體⑼上,經由被串聯接續的光二刪電 動以作為ids(源極·汲極間電 “ 10流 ^ 〇Λ ^ M此 P通道MOS電晶 =吝係根據其VdS(源極·汲極間電昼)他特性’在節點 a上產生對應於光電流10的電壓Va。々 >、
電晶體的Vds-Ids特性,由於係 面Λ明,MOS 由於係顯不為對數的響應,在下 面將此電晶體稱為,,對數電晶體”。 圖ί 1係緣示對數雷晶#如 要的岡斗、$ 了數'曰曰體80之Vds-Ids特性的模擬結 果的圖式。再者,模擬條件係州叫.3(v)’vss=0(v), β ( ) 0 2·5。在此,Vt及β係對數電晶體80的臨 界值電屡(絕對值)及增益係數。 …、、、圖1 1,對數電晶體的動作特性係對應於源極·没極
2075-6620-PF 28 1253184 間包壓Vds而變化。從源極i極間電壓低的區域變化 至问日」把域氧數電晶體係在弱反轉區域(Vds<0.5V)、強 反轉區域(純^^^卜及對數區域…^詞進行動 作。弱反轉區域大概相當於Vds比臨界值電壓低的區域。 特別’在Vds為弱反轉區域及強反轉區域,源極.没極 間迅* Ids係對應於Vds急速增加,若變高而進入強 反轉區域,因為不能無視於MOS電晶體的n層與p層間的 電阻值,Ids增加的傾向變小。此現象稱為二極體的膝點特 性。如此,由於當Vds變高時ids的傾向變小,相對於1〇 位數以上的廣強度分布,可抑制節點Na的電壓%的飽和。 重置電晶體90在重置脈衝RST的活性化期間導通, 將節點Na驅動至重置電壓VRL。節點⑽的電壓%,從透 過此重置動作被設定在接地電壓Vss附近的狀態,提昇至 對應於依知、透過對數電晶體8〇的電流-電壓變換之光電流 1〇的位準。換言之’電! Va係以相當於光電流1〇的Ids 流過對數電晶體80時的Vds表示。 特別透過將重置電壓VRL設定於在重置動作時對 電晶體8 0在弱及鏟F々 一 牧%夂轉區域動作的範圍,亦即若根據圖u所 不的特性,在VRL —Vsss〇 5(v)以下,則即使在低照 域的攝影也可得到感度好的響應。 又时 再芩照圖l〇,p通道M〇s電 、 士 - ⑫“ /八^w厂甲·]極各 被接績至節點Na。因此,透過p通道MOS電晶體32, 應於光1〇的電流π在節點⑽上流動。同樣地,透 P通道MOS電晶體33,對應於光電流ι〇的電流η在輸
2075-6620-PF 29 1253184 郎點No上流動。 即使在像素電路i5〇中,節點Nb經由被設置 ::接續部」的電阻成分,被電氣地與至少丨個鄰接的像 2路W中的節點灿接續。藉此,在節點灿上,透過 '、长、、工由包阻成分40被接續的像素電路間上之電流〗丨分 =與合成,對應於相互接續的周邊像素電路中的 量之電流13通過。 九 即』⑽的通過電流13係透過電流鏡電路30b,被移 轉成η通道M0S電晶體35的通過電流14。 果,在輸出筇點N〇上的輸出電流1〇,與圖1所示 士’素電路1〇相同,成為對應於自身像素電路之光電 :的電流12與對應於在包括自身的周邊像素電路的平 句雙光量之電流14的電流差。因此,在輸出端子15產生 的輪出系對應於輸出電流1〇的值,亦即對庫於 在像素電路15〇自身上的受光量與在包括自身的周邊料 上的平均受光量的差之值。 從而,即使是實施例3的像素電路15〇,亦可古心與 實施们的像素電路1()相同的效果。亦即,像素電路=0 的雙光量與輸出電壓V〇ut的關係與圖3相同,透過在各ρ :电路上配置f的光二極體(受光檢知元件)的架構,可 貫現寬受光感度範圍及高對比的檢知。
再者,在電流產生電路30c,透過使用對數電晶體糾, 可確保寬攝影範圍,同時即使在低照度區域攝影也可進 感度好的光電變換。對數電晶體8〇的電流驅動力,與構= 2075-6620-PF 30 1253184 電流鏡電路30a(圖1)的p通道MOS電晶體31比較因為是 比較大,可縮短在節點Na上得到對應於光電流10的電2
Va的時間。亦即,可相對地改善從光電流至輸出電壓的光 電變換動作的快速回應性。
再者,透過決定重置電壓VRL,在重置動作之後使對 數電晶體80在弱反轉區域動作,此光電變換動作會更高速 化。此因在將透過對光二極體2〇的光照射而產生=光=流 1〇變換成電壓時,在共有被接續至光二極體2〇的陽極上2 節點Na的對數電晶體8〇上,如圖u的電流-電壓特性 (IdS_VdS)所示’透過在弱反轉區域動作,可確保相對於電 流之變化的電壓之變化,比在其他區域動作時大。因此, 根據重置電晶體90的配置,透過節點Na的直接的重置動 作,可構成抑制殘像並加快響應的像素電路。 在饭素电路15〇中,透過適當設計p通道M〇s電晶體 _ 33及n通道M〇s電晶體34、35的電流驅動能力(電晶 _】)產生电流11〜14以增大光電流1〇,可提高耐噪音 性0
’、、圖1 2貝知例3的其他構成例之像素電路丄5 ,、圖1 0所不的像素電路i $架構比較,在複數對數^ 體80及82被串列接病。 甲夕j接_至郎點Na及接地節點14之間3 點上不同。 #對數%曰曰體82係以P通道MOS電晶體構成,而被接 ,、圖1〇所不的對數電晶體80與節點Na之間。換言之, 對數電晶體82的源極被與節點Na接續,閘極與汲極被與
2075-6620-PF 31 1253184 對數電晶體82(PMOS)的源極接續。如此,對數電晶體肋 的源極矬由對數電晶體82被電氣地與節點Na接續,對數 電晶體82的汲極經由對數電晶體80被電氣地與接地節點 14接續。對數電晶體82具有與圖u所示之對數電晶體_ 同樣的Vds-Ids特性。 透過此種架構’在像素電路155 i,與像素電路… 比較’可將把光電流10變換成電壓Va的光電變換的 (△Va/ΔΙΟ)變成約2倍。從而,像素電路155僅在增加對數 ^晶體82的部分其佈局面積變大,與像素電路m相比實 質上感度提昇,並可在更低的照度下進行攝影。 只 在圖12所示的像素電路155中,雖然是說明將2個 數電晶體串聯接續至節點Na與接地節點丨4之間的架構、 但,可為將3個以上的任意的複數個對數電晶體串聯接續 在實施例3的像素電路15〇及155中,透過將降極^ 續至電源節點13,將光二極體20逆向偏壓。 I ° ^ 王相對於此 在只施例3的變形例中,說明透過將陽極接 、王接地節j 1 4 ’而將光二極體2〇逆向偏壓的構成例。 參照圖13,實施例3的變形例之像素電路15〇#,與日 1 0所不的像素電路丨5〇比較,在取代對數電晶體8〇及^ 置電晶體90,而具備對數電晶體80#及重置带 1包晶體90#i] 一點上不同。再者,光二極體2〇,被配置 甘即點Na與袭
2075-6620-PF 32 1253184 地節點14之間,其陰極與節點Na電氣地接續,其陽極與 接地節點14電氣地接續。 對數電晶體80#係由η通道MOS電晶體構成,其汲極 與閘極與電源節點1 3接續,其源極與節點Na接續。亦即, 對數電晶體80#的閘極電壓被固定於電源電壓Vdd。 重置電晶體90#係由p通道MOS電晶體構成,而被電 氣地接續於重置電壓節點1 8#與節點Na之間。重置電晶體 90#的閘極與給予重置脈衝/RST的重置端子74#接續。重置 脈衝/RST係與重置脈衝RST相反極性的信號,其為在每一 週期於固定期間被活性化為L位準的信號。 由重置電壓節點18#被供給的重置電壓VRH係在電源 電壓Vdd以下,且被設定於電源電壓Vdd附近。亦即,Vss < VRH < Vdd,且VRH Vdd。與實施例3中說明者相同, 重置電壓VRH最好被決定以使得對數電晶體80#在重置動 作之後係在弱反轉區域動作。 在像素電路15 0#中,η通道MOS電晶體34與35的各 閘極係被接續至節點Na。從而,透過包括η通道MOS電 晶體34、35及對數電晶體80#而構成的電流產生電路 3 0c#,對應於光電流10的電流II及12係分別在節點Nb 及輸出節點N 〇上產生。 即使在像素電路1 50#中,節點Nb由於係經由電阻成 分40,被電氣地與至少1個鄰接的像素電路中的節點Nb 接續,透過在經由電阻成分40被接續之像素電路間的電流 11之分流與合成,在節點Nb上,通過對應於相互接續的 2075-6620-PF 33 1253184 周邊像素電路上的平均受光量之電流ο。
在像素電路15〇#上,、苦A y P ^逼MOS電晶體32與33的各 閘極係被接續至節點Nb。 ^ ’透過經由p通道MOS電 晶體3 2及3 3而構成的雷、、六於 成的电*鏡電路3〇b#,對應於節點Nb 的通過電流13之電流14係在松 货杜翰出節點No上產生。 在此’若說明圖1 3所干士 厅不之像素電路150#的架構盥本 發明之架構的對應關係, ^ 產生電路30c#係對應於本發 明之弟1電流產生電路 _ 包机鏡電路30b#係對應於本 餐月之弟2電流產生電路 斤 」又’在圖10的架構中,接 地卽點14係對應於「第j 「# 原即點」,電源節點13係對應 :電源節點」。換言之,p通道_電晶體嶋對 應本㈣(特別是中請專利範圍第7項)之「第丨電晶 體」,η通道MOS電晶體34菸^ ,a 34及35係分別對應於本發明(特 別疋申请專利範圍第7項)之「 ’ 弟2電晶體」及「第3雷曰 體」,P通道MOS電晶體32另u〆 θ Λ ^ 曰體32及33係分別對應於本發明(特 別疋申請專利範圍第7項)之「 體」。 电日日體」及「第5電晶 結果,在輸出端子15上漆
上產生的輪出電壓V 1〇所示的像素電路150相同,係斟_ 與圖 和U,係對應於對應自 150之光電流1〇的電流12與 ”包 路上的平均受光量—成 =邊像素電 的值,亦即成為對應於像素電路15:=:輸:電流 包括自身的周邊像素上的平均 之文光量與在 卞叼又先®之差的值。 攸而即使疋貫施例3的變形例t 4 心例之像素電路150#,也
2075-6620-PF 34 1253184 有與實施例3的像素電路15〇相同的效果。亦即,透過在 各像素電路上配置單一的光二極體(受光檢知元件)的架 構,κ現覓5:光感度範圍與高對比的檢知,同時經由對數 電晶體80#及重置電晶體9〇#的配置,確保寬的攝影範圍並 提昇在低照度區域攝影之感度,且構成可抑制殘像及響應 快的像素電路。即使在像素電路150#中,透過適切的設計 p通道MOS黾阳體32、33及η通道]VIOS電晶體34、35 的電流驅動能力(電晶體大小),產生電流η〜ΐ4以增大光電 流10 ’可提局耐噪音性。 在匕對於刀別在圖及圖13所示的像素電路150 及1 50# ’比較其鍍膜耐性。 戈所周知,鑛膜係在非常強的光入射至光二極體時, 在固^偏壓側電極上產生的少數載子與多數載子再結合而 消滅前,透過流人鄰接像素,產生假錢的現I因此, 固定偏慶側電極上產生的少數載子的壽命小者成為鑛膜耐 性佳的架構。 ρ在像素電路丨50(圖10)上,由於陰極⑶極)係固定的被 偏壓至電源電| Vdd,在固定㈣側電極上的少數載子為 電洞。相對於此,在像素電路15〇#(圖13)上,由於陽極& 極)係固疋的被偏壓至接地電壓,在固定偏壓側電極上 的少=載子為電子。因為當觀察載子移動率時電祠的移動 率比电子小,關於有效的壽命,也是電洞—方變得較短。 因此’將壽命相對較短的電润作為在固定偏塵側電極上的 少數載子之像素電路15〇’鑛膜的耐性變得更好。亦即,
2075-6620-PF 35 Ϊ253184 貫施例3與其變形例之傻音雷 —輕、屮+。 ” ,、15〇#,關於光電流 耐性 心/換U相同的機能與效果,關於鑛膜 則疋貝轭例3的像素電路J 5〇較佳。 參照圖14,實施例3的變形 政] . j之,、他構成例的像素電 數:與圖U所示的像素電路155之架構比較,在複 数對數電晶體80#及82#被串聯接@ 13 3. „ 孤甲恥接績至即點Na與電源節點 〇足間這一點上不同。 數電晶體㈣係由n通道刪電晶體構成,被接續 ;圖13所示的對數電晶體8〇#與節點❿之間。對數•曰 體82#的源極與節點Na接續 曰 只閘極與汲極則舆對數電晶體 8〇#(nMQS)的源極接續。亦 ^ 1對數電b曰體80#的源極經由 士數笔晶體㈣被電氣地與節點Na接續,對㈣晶體㈣
:汲極、”工由對數電晶體8〇#被電氣地與電源節點I〗接續。 對數電晶體82#具有與對數電晶體_相同的I 性。 吁守 透過此等架構,在像素電路155#上,與像素電路155 比較,可將把光電流1〇變換成電壓力的光電變換 (△V姻)變成約2倍。從而,像素電路⑽僅在增加對: 私曰曰體82#的部分其佈局面積變大,與像素電路i55相 實質上感度提昇,並可在更低的照度下進行攝影。 在圖Μ所示的像素電路伽中,雖然是說明 對數電晶體串聯接續至節點Na與電源節,點13之間的产 構,但也可為將3個以上的任意的複數個對數電 = 接續的架構。 ¥ ~
2075-6620-PF 36 1253184 貫施例4 在實施例4中,說明適用可調整增益係數β的場效電晶 的"^為增盈可變電晶體),作為實施_ 3及其變形例 、冬素包路所不之重置電晶體的架構。 m3圖15,實施例4的像素電路⑽,與實施们的 ^:物⑽丨。)比較,在取代重置電晶體9。,而具傷 重置电晶體95這一點上不同。 g晶體95係由P通道型的增益可變電晶體構成。 如以下說明,增益可變電晶體除了與通常的場效電晶體相 μ閘極(以下稱”通常_”)、源極與祕,更包括控制間 極CG,且其特徵為增益係數β係對應於控制間才亟⑶的電 壓(以下稱為”控制閘極電壓,,)而變化。 (有關增益可變電晶體的說明) i先,詳細說明增益可變電晶體的原理及動作。 圖16A係繪示增益可變電晶體(η通道型)的第丨構成例 之圖式。目16Β係圖16Α㈤XVlB〇cvm線的截面圖。 在圖16A、B所不之n通道型的增益可變電晶體2〇〇 在P型石夕基板PB的表面上經由絕緣膜形成帶狀的通常 閘極GR,更經由、絕緣層形成㈣閑極⑶以覆蓋通常間極 GR。控制閘極CG係被斜向配置以相對於通常間極⑽成 角度Θ。 n型不純物被注入至其 的長方形區域,在閘極Gr 長邊中央部與通常閘極GR正交 、C G的一側上形成源極s R,在
2075-6620-PF 37 1253184 閑極GR、CG的另一相丨丨i* 上、 , 1为 側上形成汲極DR。通常閘極GR、控 制閘極CG、源極SR I %托々 士 5IV只及極DR各自經由接觸孔CH而被 接續至其他的節點。兴-T h α
日里可變電晶體200具有通常閘極GR
的閘極長Lr及閘極甯Wr、、$ /^日日L 往見Wr通常閘極GR及控制閘極CG的 角度Θ作為參數。 圖17A、B係繪示增益可變電晶體的^調變的原理之圖 式m控制閘極電壓以使得控制閘極CG下之通道的 電導與通常閘極GR相等或在其之下時,目17A的斜線部 分係有效的閘極區域。亦即,由於有效的閘極長L比通常 閘極GR的閘極長Lr長,有效的閘極寬W比通常閘極GR 的閘極Wr窄,增益係數降低。 另方面,在设定控制閘極電壓以使得控制閘極cg 下之通道的電導變得比通常閘極⑽大很多時,圖i7B的 斜線部分係有效的閘極區域。亦即,有效的閘極長l與問 極見w係與通常閘極GR的閘極長Lr與閘極相等,增 益係數β上昇。 曰
控制控制閘極CG 如此’透過對應於控制閘極電壓 下通道的電阻值(電導),調變被施加於通常閘極gr下通道 的通道方向之電場的方向,以改變有效的閘極長與閘極 寬。藉此,增益可變電晶體200的增益係數p對應於控制閘 極電壓連續地變化。增益係數β的調變範圍可透過上述元件 的形狀參數Wr、Lr、㊀而設定。 CG以覆蓋通 常閘極GR上 在圖1 6 A、B中,雖然斜向設置控制閘極 常閘極GR,也可除去控制閘極cg中位於通 2075-6620-PF 38 l253l84 f的部分,也可以設置帶狀的控制閘極以覆蓋斜向設 夏:通常閘極GR,或者也可以設置帶狀的控制閘極CG以 覆现〈子型的通常閘極GR(參照國際公開W⑽號 公報)。 或者,如下面說明,有關控制閘極CG,可設置為矩形 狀,而非與通常閘極GR交叉的斜線形狀。 圖18至圖20係說明增益可變電晶體的第2構成例之 圖式。 參照圖18,將沿著矩形狀的通常問極GR的間極長的 方向與沿著閘極寬的方向分別定義為χ方向及γ方向。亦 即通常閘極⑽係具有以沿著Χ方向與γ方向正交的直 線群所包圍的平面形狀(矩形形狀卜如圖Η所示,通常問 極GR的平面形狀係被表現為閘極長l與閘極寬%以作為 “在增益可變電晶體210上,控制閘極CG也具有以沿 者X方向肖γ方向的直線群所包圍的平面形狀(矩形形
狀^在通㊉閘極GR、没極DR、源極SR及控制閘極CG 上設置有用以拉出電極的接觸孔CH。 在及極DR與源極SR間的區域中,透過通常閘極⑽ 形成通道區域2(31,並透過控制間極cg形成通道區域 202 〇通常閘極gr盘控制閘搞Γ 一 被配置,以使得通道區 或201舁通道區域2〇2具有幾何上的連續性。 =㈣間極⑶的間極長度並不一致,控制閑極Μ 者閑極寬的方向(Υ彳向)之至少-部份上閘極長
2075-6620-PF 39 ί253184 為不連績的形狀 間的區域被設置 有部分重疊。 又,控制閘極CG在汲極DR及源極SR 使得在平面上來看與通常閘極GR至少 作為-個例子,控制閑極CG具有有2種通道長的工
型平面形狀。1型形狀的控制間極CG在沒極DR及源極SR
間的區域被設置,佳思A _〇> L + ^ /V 使件在千面上來看係覆蓋矩形狀的通常 閘極GR。如圖20戶斤+,it丨日日k 厅不控制閘極CG的I型形狀係以區 域的閘極寬W1、W2、p # λα β日丄 W3及£域的閘極長[I、L2、L3(在 增益可變電晶體21〇上将τ ι — τ …^ 上係L3 - L1)的形狀麥數被表現。 其次,說明有關增益可變電晶體21〇的增益係數β的調 變。 麥妝圖2 1 ’在增益可變電晶體2丨〇上,在通常閘極gr 與沒極DR及源極^ — 位之間,控制閘極CG下的通道區域202 實質上係形成凹型。人I 士嬙 。併根據通常閘極GR的通道區域20 1 與根據控制閘極CG的通道區域 實質上係形成為I型。 202之全體通道區域220 、口由;L $閘極GR與控制閘極CG兩者存在,在全體通 、品或 上產生的電場係對應於控制閘極CG下的通道 電導而變化。亦即,卜 ^ 此尾~嚴格來說係對應於控制閘極電 ^ 訑力至通系閘極GR的電壓(以下稱為,,通常閘極電壓,, 勺比而支貝貝上係對應於控制閘極電壓而變化。 在控制閘極ΓΓτ I ^α CG下的通道電導相當高時,在全體通道 區域220上產峰的兩+日 曰 勺包#向1,如圖21上以虛線270表示, 係一致沿著X方h 々4*田 向。…果’全體通道區域220的等價通道
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I與通道長係與通常閘極GR —k幻六丨甲』徑I W相等 相對於此’在控制閘極CG πτ沾、s、# $、, 1的通逼電導相當低時, 在全體通道區域220上產生的電場&曰 电每向1,在圖21上如虛線 所不,在根據控制閘極CG的閘極長的非一致性而八割 的區域261、262及263之間變成非_致。具體而言^間 極長相對短的區域262 i,產生沿著與虛線π相同的X 方向之電場向量’另-方面’在閑極長相對長的區域261、 263上,透過電場的部分的、區域的變化,產生電場的環 繞0 因此,在區域261、263上,因為相對地閘極長變長, 在閘極長相對短的區域262上的電場比在區域261、263 大。亦即,在全體通道區域220上,形成由相對的強電場 區域262及弱電場區域261、263構成的不一致的電場。在 增益可變電晶體210上,產生此等部分的、區域的電場變 化,部分地改變通道電阻,可在通道區域内產生電場強度 差。 結果,弱電場區域261、263之電導gl、g3相對地比 強電場區域262的電導g2小。通道區域202的電導,由於 係以被並列接續的區域261、262及263各自的電導gl、 g2及g3的和表示,在此情況中,全體通道區域22〇的電 導,變得比形成全體一致的電場時,也就是比控制閘極了 的通道電導相當高時小。 從而,在控制閘極CG下的通道電導相當低時,全體 通道區域220的電導,亦即增益可變電晶體2 1 0的增益係 2075-6620-PF 41 1253184 數變成最小值βχηίη。在此時,全體通道區域220的有效的 閘極長Lgc及閘極寬v/gc的比(Wgc/Lgc)變得比通常閘極 GR的閘極長及閘極寬的比(W/L)小。換言之,由於在通道 區域内產生的電場強度差,全體通道區域220的有效的閘 極長及閘極寬被調變。 另一方面,在控制閘極CG下的通道電導相當高時, 全體通道區域220變成一致的強電場區域,全體通道區域 220的電導,亦即增益可變電晶體210的增益係數變成最 大值pmax。如此,在全體通道區域22〇上,對應於通常閘 極電壓及控制閘極電壓的比,產生對應於以虛線17〇表示 的最小增益係數βπϋη之電場(最大環繞)、對應於以實線171 表不的最大增益係數pmax之電場(在乂方向一致)、或是兩 者中間狀態的電場。特別,&中間狀態的電場係對應於通 常閘極電壓及控制閘極電壓的比而類比地變化。 在η通道型增益可變電晶體21〇上,控制閑極電壓 越低,通道區域2〇2的電導越低。另一方面,在p通道型 :益可變電晶冑2U)上,控制閘極電壓化越高,通道區 域202的電導越低。 如此,即使是增益可變電晶體2丨〇, 亦可對庳於_制 閘極電壓連續地調變增益係數。 捫卜、…糸數β的調變範圍可透 過上述形狀參數W1〜W3、L1〜L3等來設定。 边 或者’由圖18所示的增益可變曰 又%日日體210¾山,土 控制閘極CG為如圖22〜圖24所示的形狀。、 在圖22所示的增益可變電晶體
υ中,控制閘極CC
2075-6620-PF 42 1253184 係在^沿| 狀,且Y方向的中央部分上具有間歇部的非連續的形 域上。十阳上來看被形成在部分與通常間極GR重疊的區 1不回控制閘極CG由於在此間歇部分其閘極長與其他部 i,;對1過與圖18所示之增益可變電晶體210相同的機 增益係數广控制間極電麼以調變增益可變電晶體250的 被开^圖23所示的增益可變電晶體260中,控制開極⑶ Λ::有T型的平面形狀,並且Τ型形狀的控制閉極 以覆^與源極SR間的區域上,平面上來看被設計 280中二:間㈣。又’在圖24所示的增益可變電晶體 間極GR重極CG係具有被形成為平面上來看在與通常 在盆他7 區域之中央部分上沿著X方向的橋狀,而 ⑶為矩V7則未被形成的平面形狀。如此,即使控制閘極 極⑽重千面上末看至少部分與通常開 : 係。°者閘極寬的方向閘極長有部分不同的 變可能的二可對應於控制閘極電壓以調變增益係數β的調 支」犯的增盃可變電晶體。 如同從上述說明所理解者…通道型的增益可” 邮體i增益絲„肩應於控制極電麼的上昇而电 亚對應於控制閑極電壓的下降而變小。另一方面,在曰 ^型的增益可變電晶體中’增益係數β係、對應於控制間極t 塵的降低而增大,並對應於控制閉極„的上昇而變
(貫施例4的像素電路的動作) 2075-6620-PF 43 1253184 再參照圖1 5,在實施例4的像素電路丨6〇中,使用上 述增益可變電晶體(η通道型)作為重置電晶體95,並且, 其控制閘極CG與節點Na接續。藉此,重置電晶體95的 增丑係數β,亦即電流驅動力,係對應於節點Na的電壓% 而變化。具體而言,重置電晶體95的電流驅動力係電壓
Va越低(接地電壓Vss侧)越小,電壓%越高(電源電壓vdd 側)越大。 精此在重置脈衝RST的活性化時序中,節點Na在 透過對數電晶體80產生對應於光電流1〇的電壓%的狀態 中 透過重置電晶體95被驅動至重置電壓 VRL(VRL Vss)。從而,節點Na的電壓%是否被驅動至 重置電壓VRL係透過對數電晶體8〇與重置電晶體%何者 的電流驅動力相對地比較大來決定。目此,是否回應重置 脈衝RST以實行重置動作係對應於節點❿的電壓:定。 圖25係繪示像素電路16〇之動作的波型圖。 在圖25中係繪示在高照度, 每〇 也就疋在像素電路 160的入射光強度高的場合之節 Ν的私麼Va的時間變 化(虛線),與在低照度的場合, 也尤疋在像素電路1 60的 入射先強度低的場合之電壓Va 你下於、,一 丁间欠化(貝線)。重置脈 衝RST係以一定的週期(在圖25中係時刻t〇、 定為一定期間的活性狀態(H位 °
Va係被重置為重置電壓VRL。句。在初期狀態中,電厂堅 在電虔va比邊界電麼Va0高的 的電流驅動力變得比對數電晶體δ〇的電流驅動力大在1
2075-6620-PF 44 1253184 場合中,若回應於重置脈衝RST的活性化,重置電晶體% 導通,則電壓Va會被重置至重置電壓vrl。 另一方面,在電壓Va比邊界電壓VaO低的場合,重置 電晶體95的電流驅動力變得比對數電晶體8〇的電流驅動 力小。在此場合中,即使回應於重置脈衝RST的活性化, 重置電晶體95導通,電壓Va也不會被重置至重置電壓 VRL 〇 ,〜敢私日日菔⑽的電晶體大小 與增益可變電晶體的形狀參數,可抓
双 又疋為在重置電壓VRL 與電源電壓Vdd之間的既定電壓。 高照度的場合(虛線波型),雖妒 、 土)雖然因為在光二極體20上 — Va快速地上昇,不過當進入 對數電晶體80的對數動作區域 ,,電壓VP的上昇速度(傾 向)變小。對像素電路16〇的輸 ^ ^ j御出電壓的讀出係在下一個重 置呀序之前,亦即時刻tl之前進行。 經由對應於電壓Va的電沪 , + 电% 11、12的產生之輸出電壓 、產生,亦即有關於從電壓Va 人紀 1 王叛出电壓Vout的變換動 :明由於與實施例3的像素電一同,不再"詳細 在項出輸出電壓後,時刻 、真1日τ’由於電壓Va變、焊比 邊界電壓VaO高,且重置電a 包凌Va炎付比 至夏电阳體95的增器栘
應於重置脈衝RST的活性广數U 動力導诵,中颅V 、+士 重置包日日體95以高電流驅 切刀%逋,電壓Va被重置 度位準相重置電壓VRL。在入射光的照 /又很+相同的情況下, "刻u〜t2中進行與時刻t〇〜U相
2075-6620-PF 1253184 同的動作。 相對於此,低照度的場人 L ^ 口 v貝線波型),在光二極體20 上流動比較小的光電流1〇,雷 、, 兒S Va緩慢地上昇。因為不進 入對數電晶體8 0的對數動作 作^域,電壓Va的以大約一定 的傾向上昇。 在時刻11之前進行之私山 輪出电壓的讀出之後,在時刻tl 吟,由於電壓Va比邊界電壓 、,、, & Va0低,且重置電晶體95的 增益係數β低,即使回應於重 里置脈衝RST的活性化,重置 電晶體95導通,電壓ya > τ a、丄 电土 Va也不會被重置至重置電壓VRb 私壓Va更是以一定的傾向緩慢地上昇。 在相當於下一個重詈日车皮ώΑ α 士 Τ序的%刻t2之前再度進行輸出 電壓㈣時’由於電壓VaM比邊界電壓
VaO—南’且重置電晶體95的增益係數陵高,回應於重置 脈衝RS丁的活性化,重詈φ曰 ^ 置包日日體95以向電流驅動力導通, 笔壓Va被重置至重置電壓vrl。 士上s重置脈衝RST被活性化的各重置時序中 應於節點Na的電壓Va,亦即對應於對像素電路⑽本身 的入射光之照纟’控制重置動作的實行。從而,在實施例 4的像素電路16〇巾,除了實施例3的像素電路wo所達 成的效果外,可增長在低照度時的重置週期,卩等 低框架速率。 ' 在一般的半導體攝影元件中,由於全部的像素電路的 框架速率被設定為相同的值,即使在某個框架速率(例如% 框架/秒)’在被拍攝物體的低照度區域及高照度區域兩者
2075-6620-PF 46 1253184 均得到良好的影像,在框架速率上昇時攝影照度的界限低 下,低照度區域的影像變暗。換句話說,即使使用寬動態 範圍的半導體攝影元件可確保可攝影的照度之帶寬,也無 法確保攝影照度的界限。這不僅是在高速照相機等的特定 應用中產生的問題,隨著近年來像素數目增大的傾向,也 成為在所有半導體攝影元件的應用中產生的問題。 因此,在實施例4的像素電路丨6〇中,在入射光強度 低時,透過等價地降低框架速率’即使在低照度區域,亦 可得到確保充分的光量,降低攝影照度的界限之新效果。 實施例4的變形例 參照圖26,實施例4的第!變形例之像素電路165的 架構係在圖12所示的像素電路155中,將由通常的η通道 助s電晶體構成的重置電晶體9〇,置換成由n通道型的增 应可變電晶體構成的重置電晶體%。 曰 如此,即使在將複數個# t ^ ^ 二與像素電…同,透過“通道型的增二;;冓 日日構成重置電晶體,可對應於入射光強度變化 路:框架速率。結果,在圖㈣示的像素電路心: 155達成的效果外,由於即使在低照度區域也 充/刀的光量’可降低攝影照度的界限。 參照圖27,警始;加 竭列4的變形例2的像素電路咖 構係在圖1 3所示的作主 J、 々丁的t素電路150#中,將由通常 MOS電晶體構成 P通道 ㈣菫置電晶體90#,置換成由口通道型的
2075-6620-PF 47 1253184 曰旦可文兒晶體構成的重置電晶體95# 〇 JL- ^ $京电路150#、160#的光二極體20的接續例中, 由於節點Na的電M %係在電源電壓㈣附近的重置電壓 ^ 置動作後的電壓Va,若入射光的照度高則 =低(接低電壓Vss侧),若入射光的照度低則變高(電源電 壓Vdd側)。因此,透過將構成重置電晶體95#的p通道型 增证可變電晶體的控制閘極CG與節點Na接續,重置電晶 =,5#的兒*驅動力,若電壓Va高(亦即低照度)則變小, 右私壓Va低(亦即高照度)則變大。 桅而即使在像素電路160#的架構中,與像素電路16〇 相同透過對應於入射光的照度,控制重置動作的實行, 在:照度的像素電路中,可增長重置週期,以等價地減低 框架速率。藉此,在圖27所示的像素電路16〇#中,除了 像=電路160達成的效果外,即使在低照度區域也可得到 充分的光量,可降低攝影照度的界限。 苓知、圖28,實施例4的變形例3的像素電路丨65#的架 構係在圖14所示的像素電路155#中,將由通常的p通道 M〇S電晶體構成的重置電晶體9⑽,置換成由p通道型的 增益可變電晶體構成的重置電晶體95#。 如此,即使在將複數個對數電晶體串聯接續的架構 中,與像素電路160相同,透過以p通道型的增益可變電 晶體構成重置電晶體,可對應於入射光強度變化各像素= 路的框架速率。結果,在圖28所示的像素電路165#中电 除了像素電路155#達成的效果外,由於即使在低照度區域 2075-6620-PF 48 1253184 也可传到充分的光量,可降低攝影照度的界限。 有關實施例3以 155#,16〇. ]6,, 冬京电輅丄〜、i55、15〇#、 1 60#、1 65#,可在輪出姓工 加圖5所示的輸出選"々 “子15的後段附 ^擇电路60,以得到對瘅 選擇,可讀出輸出電虔vout的架構。例如遠擇及列 辛雷敗_ Μ I 例如,將透過這些像 素私路與輸出選擇電路 行列肤,n· m 旳,,且D所構成的各像素配置成 成與圖4所示者相同的半導體攝影元件。 有關像素電路的輸出電麼ν_的讀 的陣列排列以構成丰逡舻锯旦/ —从 '、,工由4素 構成+V體攝影-件的技術,並不限定於上 迷木構,可適用任意架構。 又’關於透過電源節點13及接的節點14供給的電源 電壓vdd舆接地電麼Vss 7的“' 仕忍包^。特別,在可 極體逆向偏壓的範圍中,也可將接地節點14置換成 供給接地電壓VSS以外的既定電壓之電源節點。置換成 :上,本發明之半導體攝影元件,作為具有高視覺檢 知…攝影元件,可在各種狀況下使用,可利用在包括
屋外的監視用照相機或車載用照相機等之上。又,由於可 縮小像素電路的尺寸,故適於多像素化,㈣ Z 於攜帶式機器上。 载 、雖然已詳細說明本發明,但這僅係用於例示,並非用 於限疋本發明之精神及範圍很清楚地被理解係被限定於 附加之申請專利範圍。 、 圖式簡單說明
2075-6620-PF 49 1253184 圖1係繪示構成本發明之實 的妓二像素電路的各個架構的電路圖'1的半導體攝影元件 圖2係緣示圖1所示的電阻成分的 圖3係纷示在實施例】的像素構成例之圖式。 壓之關係的概念圖。 中文光量與輪出電 圖4係繪示實施例丨的半導體 圖式。 攝办凡件的全體架構之 圖5係說明圖4所示之像素電路的 圖6係1會示本發明之實施例2的像辛 圖。 路圖。 冢素电路之架構的電 圖7係說明本發明之實施例2的像敗 念圖。 素包路的動作之概 圖8係繪示本發明之半導體攝 圖式。 1干的弟1攝影例之 之 圖式 圖9係繪示本發明之半導體攝影元件的第2攝影例 路圖 圖10係繪示本發明之實施例3的像素電路之架構 的電 圖11係繪示對數電 圖式。 圖1 2係繪不本發明 例之圖式。 圖1 3係|會不本發明 架構的電路圖。 晶體之Vds-Ids特性的模擬結果的 之實施例3的像素電路的其他構成 之實施例3的變形例之像素電路之
2075-6620-PF 50 1253184 圖14係繪示實施例3的變形例之像素電路的其他構成 例之圖式。 圖1 5係繪示實施例4的像素電路之架構的電路圖。 圖1 6A及圖1 6B係說明增益可變電晶體的第1構成例 之圖式。 圖17A及圖17B係繪示圖16A及圖16B所示之增益可 變電晶體的β調變的原理之圖式。 圖1 8係說明增益可變電晶體的第2構成例之圖式。 圖1 9係說明圖1 8中的通常閘極的形狀參數之圖式 圖20係說明圖1 8中的通常閘極的形狀參數之圖式 圖2 1係繪示圖1 8所示之增益可變電晶體的β調變的原 理之圖式。 圖22係說明增益可變電晶體的第3構成例之圖式。 圖23係說明增益可變電晶體的第4構成例之圖式。 圖24係說明增益可變電晶體的第5構成例之圖式。 圖25係繪示實施例4的像素電路之動作的波型圖。 圖26係繪示實施例4的第1變形例之像素電路之架構 的電路圖。 圖27係繪示實施例4的第2變形例之像素電路之架構 的電路圖。 圖28係繪示實施例4的第3變形例之像素電路之架構 的電路圖。 圖29係繪示習知的半導體攝影元件的第1攝影例之圖 式。 2075-6620-PF 51 !253184 圖30係繪示習知的半導體攝影元件的第2攝影例之圖 圖31係繪示使用習知的對數放大器之半導體攝影元 件的攝影例之圖式。 【主要元件符號說明】 10、10a、10b、10#、11、12、150、155、150#、155#、 16〇、165、160#、165# 像素電路; 1 3電源節點; 14接地節點; 1 5輸出端子; 1 6行選擇端子; 1 7列選擇端子; 18、18#、73重置電壓節點; 2 0光二極體(受光檢知元件); 2 1入射光; 3 0a、3 0b、3 0b#電流鏡電路(電流產生電路); 30c、30c#電流產生電路; 31〜35、61〜63 MOS電晶體; 40電阻成分; 41場效電晶體; 60輸出選擇電路; 70電容器(積分電路); 72、90、90# MOS電晶體(重置電路); 2075-6620-PF 52 1253184 74、74#重置端子; 80、82、80#、82# MOS電晶體(對數電晶體); 95、95#增益可變電晶體(重置電路); 100半導體攝影元件; 11 0垂直移位暫存器; 11 5行選擇線; 120水平移位暫存器; 125 列選擇線; CG控制閘極(增益可變電晶體); CS列選擇信號; GR通常閘極(增益可變電晶體); IO光電流; II、12、13、14 電流(透過電流產生電路); 1〇輸出電流;
Na節點(第1節點);
Nb節點(第2節點);
No輸出節點; RS行選擇信號; RST、/RST重置脈衝;
VaO邊界電壓(重置動作);
Vdd電源電壓;
Vout輸出電壓;
Vp、VRH、VRL 重置電壓; V s s接地電壓。 2075-6620-PF 53

Claims (1)

1253184 十、申請專利範圍: 丄.—種半導體攝影元件,包括複數像素電路; 各像素電路係包括: 電流^光k知^件’在f 1節點上產生對應於受光量的光 第1黾泰產生電路,被接續至該斤 出節點,以產生f + Λ P 即點與輪 1 ^ 產生對應U料第1節點的前 2電ϋ與第2電☆,同時將前述…流及前“:: 刀=概至前述第2節點及前述輸出節點;及 包 點第2電流產生電路’被接續至前述第2及前述 產生對應於作為前述第2節點之通過 : I:::電流,同時將前述第2電流及前述第4二: L差机至丽述輸出節點; W ^ 前述半導體攝影元件更包括像素 轉象素電路的前述第2節點電氣地與鄰接的前=各 路的至少1個中的前述第2節點接續。 、素電 =申請專利範圍第(項的半導體攝 刖返像素間接續部包括被接續至不同路:, 前述第2節點間的電阻成分。 ‘素%路中的 如申請專利範圍帛"員的半導體攝影元件,其中, 刚述第1電流產生電路姑畔古+ 前述光電流大。被相“述第1及第2電流比 4.如中睛專利範㈣i項的半導體攝影元件,, j述像素電路更包括:積分電路,用以得到前述輸出節 2075-6620-PF 54 1253184 ^重置前述積分 點之通過電流的積分值;及重置電路,用 乂〜如申請專利範圍第1項的半導體攝影元杜 爾1電流產生電路係具有: 、-件,其中, +、第J兒晶體’被電氣地接續至供給第一、 1電源節點與前述第i節點之間; 疋電壓的第 第2毛晶體,被電氣地接續至前述第i 述第2節點之間;及 包源節點與前 電源節點與 、、第3電曰曰曰體,被電氣地接續至前述第1 述輸出節點之間; 韵述第2電流產生電路具有: 第4電晶體,被電氣地接續至供給與前 2節點 壓不同的第2既定電壓的第2電源節點與二1既定電 間;及 、刚攻第 點與前述第 第5電晶體,被電氣地接續至前述輪出扩 電源節點之間; P 前述第1至第 第1節點接續; 電晶體的各控制電極被電氣地與 前述 第“續4及第5電晶體的各控制電極被電氣地與爾 6·如申請專利範圍第5項 各前述像素電路更包括: +導體攝景…牛’其中’ =容器,被電氣地與前述輪出節點接續;及 6電晶體,被電氣地接續 — 、^、、、、&既疋的重置電屢的 2075-6620-Pp 55 Ϊ253184 節點與前述輸出節點之間,且在重置時開啟。 7. 如申請專利範圍第1項的半導體攝影元件,其中, 前述受光檢知元件係以被電氣地接續於供給第1既定電壓 的第1電源節點與前述第1節點之間以被逆向偏壓的光二 極體構成; 前述第1電流產生電路係包括: 第1電晶體,被電氣地接續至供給與前述第1既定電 壓不同的第2既定電壓之第2電源節點及前述第1節點之 間,以在前述第1節點上產生對應於前述光電流的電壓; 第2電晶體,被電氣地接續至前述第1電源節點與前 述第2節點之間,且其控制電極被電氣地與前述第1節點 接續;及 第3電晶體,被電氣地接續至前述第1電源節點與前 述輸出節點之間,且其控制電極被電氣地與前述第1節點 接續; 前述第2電流產生電路係包括: 第4電晶體,被電氣地接續至前述第2電源節點與前 述第2節點之間,且其控制電極被電氣地與前述第2節點 接續;及 第5電晶體,被電氣地接續至前述第2電源節點與前 述輸出節點之間,且其控制電極被電氣地與前述第2節點 接續。 8. 如申請專利範圍第7項的半導體攝影元件,其中, 前述第1既定電壓比前述第2既定電壓高; 2075-6620-PF 56 1253184 :,弟1電晶體係由閘極與及極被相互接續 械與前述第!節點接續的p通道型場效電晶體所構成; 碑,二極體的陰極係被電氣地與第1電源節點接 々5 ¥,、陽極被電氣地與前述第1節點接續。 一二:如申请專利範圍第7項的半導體攝影元件,其中, 珂述第1既定電壓比前述第2既定電壓低,· /、 :述第1電晶體係由閘極與汲極被相互接 電氣地與前述第1銘 々被 _ 即2接績的11通道型場效電晶體所構成; ±耵述光二極體的陰極係被電氣地與前述第丨節點拯 續’同時其陽極被電氣地與前述第丨電源節點接續。 10·如申請專利範圍第8或9項的半導體攝影元件,发 電晶體係複數個串聯被接續至前述第2電源 即”沾及則述弟1節點之間。 11 ·如申4專利範圍第7項的半導體攝影元件,其 各前述像素電路更包括重置電路,被設置在供給既;舌 置電壓的電壓節點及前述第1節點之間,以既定的週期: 作並將别述第1節點電氣地與前述電壓節點接續;' 月)述重置電壓係被決定以使得前述重置電壓與,〃 2既疋電壓的電壓差成為在對應於前述第1電晶體的^第 轉區域之閘極·源極間電壓的範圍内的電壓。 、弱反 一 12·如申請專利範圍第7項的半導體攝影元件,其 各前述像素電路更包括重置電路,被設置在供給既::’ 置電壓的電壓節點及前述第】節點之間,以既 、重 作; '巧週期動 2075-6620-PF 57 1253184 —刖述重置電路在各動作時回應於在該時點之 郎點的雷壓盥铪、+、车 引返弟 1 逑重置電壓的電壓差,決定將前述第卜 行。壓设疋為前述重置電壓的重置動作的執行或不= 二13_如申請專利範圍第12項的半導體攝影元件, 河述f 1既定電墨比前述第2既定電壓高; 、中, W述光二極體的陰極被電氣地接續至 點,同眭便塔k 1 弟1電源節 门守其%極被電氣地接續至前述第1節點; 述重置笔路係包括n通道增益可變電晶, 至前述重置電壓節點叙乂 # ?接續 閘極的電位r: 1節點之間’且對應於控制 幵’其增益係數類比地增大; —則述η通道增益可變電晶體的通常閘極係根 定週期’接收被活性化為固定期間的邏輯高位準的 旒亚且e亥則述控制閘極被電氣地接續至前述第1 ^ L —二·如申睛專利範圍帛12項的半導體攝影元件,, Μ述第1既定電壓比前述第2既定電壓低; ^ 、’述光才查體的陰極被電氣地接續至前述第 同時:陽極被電氣地接續至前述第i電源節點;即〆, 鈿述重置電路係包括 至前述重晉雷茂# 、曰皿」欠^日日體,被接續 1即點與前述第1節點之間,且 閘極:電位下降,其增益係數類比地增大;I二, 刚述P通道增益可變電晶體的通常間極 定週期,技队斗、f ^ ί嚴則述既 /妾收被活性化為固定期間的邏輯低 號,並且該前述控制 早的重置知 制閘極被電氣地接續至前述第丨節點。 2075-6620-PF 58 *1253184 15.如申請專利範圍第12、13或14項的半導體攝影元 件,其中,前述重置電壓係被決定以使得前述重置電壓與 前述第2既定電壓的電壓差成為在對應於前述第1電晶體 的弱反轉區域之閘極·源極間電壓的範圍内的電壓。 2075-6620-PF 59
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