JP6308404B2 - ソーラーセルの機能を持つイメージセンサー及びこれを用いた電子機器 - Google Patents

ソーラーセルの機能を持つイメージセンサー及びこれを用いた電子機器 Download PDF

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Description

本発明は、ソーラーセルとして動作可能なイメージセンサー及びこれを用いた電子機器に関し、さらに詳細には、一般的にはイメージセンサーとして機能し、必要に応じて特定条件へのモード転換により、ソーラーセルとして動作できる技術に関する。
光エネルギーハーべスティング(Energy Harvesting)技術とは、モノのインターネット(Internet of Things)やユビキタスセンサーネットワーク(Ubiquitous Sensor Network)、無線センサーネットワーク(Wireless Sensor Network)などに必ず必要な基盤技術であって、多様な電子装置において半永久的な電源として使用でき、既存のバッテリーに有線で電力を提供しないで、光エネルギーを電気的エネルギーに変換して充電できる技術のことである。
一方、このようなシステムは、超小型かつ集積化された形で具現することが望ましい。一部の研究で、光エネルギー変換素子を、CMOS工程のPN接合フォトダイオード(Photodiode)を用いてISC(Integrated Solar Cell)の形で製作することにより他の回路との集積化を試みる場合もあるが、このようなフォトダイオードは光電変換能力において効率が低いため、チップ内の回路が動作するに十分な電力を供給することが難しい。なお、ソーラーセルの工程と標準CMOS工程の完全な一体化には依然として限界がある。
本発明は、既に登録された特許である「Unit Pixel of Image Sensor and Photo Detector There of」(特許文献1、特許文献2、特許文献3)の技術に加えて、ピクセル化されたソーラーセルシステムオンチップを具現する方法及び概念を提示しようとするものである。まず、標準CMOS工程を介して製作されるフォトディテクターとピクセル形状のソーラーセルの構造及び動作原理について述べて、このように製作されたソーラーセルとイメージセンサーのピクセルが同一のセルを共有しながら必要に応じて各々を選択して使用できる方法を提案する。
米国特許第8569806号明細書 米国特許第8610234号明細書 米国特許第8669599号明細書
本発明は前記のような従来技術の問題点を解決するために、高効率の 光ディテクターを持つソーラーセルとイメージセンサーのピクセルが同一のセルを共有し、必要に応じて各々を選択して、イメージセンサーとして用いる、または、駆動電力を生産かつ貯蔵するソーラーセルとして使用できる方法を提供することを目的とする。
前記の本発明の目的を達成するためのイメージセンサーとソーラーセルとして動作可能なアレイエレメントは、複数個の単位ピクセルエレメントを第1方向に配置したサブエレメント、及び、前記サブエレメントを第2方向に複数個配置するために前記サブエレメント間にオン/オフ動作を行うサブエレメントスイッチを含み、前記サブエレメントは、ゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター及び、前記フォトディテクターの端子を第1及び第2ソーラセルバスと連結させる第1及び第2スイッチを含む単位ピクセルエレメントを含む。
前記本発明の目的を達成するためのイメージセンサーとソーラーセルとして動作可能な機能を備えた電子機器において、制御信号に応じてソーラーセルとして動作可能な複数の単位ピクセルから構成されたイメージセンサー部、前記イメージセンサーに対する前記制御信号を生成して、前記制御信号を前記イメージセンサー部に伝送するプロセッサーを含み、前記複数の単位ピクセルのうち各々の単位ピクセルはゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクターを含む。
本発明の実施例によれば、イメージセンサーとして機能すると同時に光エネルギーハーべスティングが可能になり、高効率の光電変換能力にて有効な電力を生成及び供給することができる。
また、本発明の望ましい実施例によれば、製造工程において、周辺回路と完全な一体型で製作することができて、イメージセンサーのみならずCMOS工程で作られるあらゆる周辺回路との集積化が非常に容易である。
本発明に係る高効率の光電変換が可能なフォトディテクターのを示す図である。 本発明に係る前記フォトディテクターの高効率の光電変換メカニズムを示す図である。 本発明に係るソーラーセルのためのフォトディテクターを示す断面図である。 本発明に係る前記フォトディテクターの電力生成メカニズムを示す図である。 本発明の第1実施例に係る前記フォトディテクターの開放回路電圧(VOC:Open circuit voltage)獲得メカニズムを示す図である。 本発明の第2実施例に係る前記フォトディテクターの開放回路電圧の獲得メカニズムを示す図である。 本発明に係るソーラーセルの単位ピクセルの構造を示す図である。 本発明の第1実施例に係るピクセルアレイにおいて、開放回路電圧の獲得メカニズムを示す図である。 本発明の第2実施例に係るピクセルアレイにおいて、開放回路電圧の獲得メカニズムを示す図である。 本発明の第1実施例に係るイメージセンサーの単位ピクセルの構造を示す図である。 本発明の第1実施例に係るソーラーセルの単位ピクセルの構造を示す図である。 本発明の第2実施例に係るイメージセンサーの第2単位ピクセルを示す図である。 本発明の第2実施例に係るソーラーセルの第2単位ピクセルの構造を示す図である。 本発明に係るイメージセンサーのアレイを示す図である。 本発明に係るイメージセンサー及びソーラーセルとして動作可能なアレイエレメントを示す図である。 本発明に係るイメージセンサーとソーラーセルとして動作可能な機能を備えた電子機器を示すブロック図である。
本発明は多様な変更を加えることができ、様々な実施例を有することができるので、特定の実施例を図面に例示して、これを詳細な説明で詳細に説明しようとする。しかしながら、これは本発明を特定の実施形態に限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変更、均等物乃至代替物を含むものと理解すべきである。
本発明を説明するにおいて、関連した公知の技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を無駄に乱すおそれがあると判断される場合、その詳細な説明を省略する。また、本明細書の説明過程において用いられる数字(例えば、第1、第2など)は一つの構成要素を他の構成要素と区分するための識別記号に過ぎない。
また、本明細書において、一構成要素が異なる構成要素と「連結される」または「接続される」などと言及された場合には、前記一構成要素が前記他の構成要素と直接連結されるかまたは直接接続されることもあるが、特に反対の記載がない限り、中間に他の構成要素を媒介して連結されるかまたは接続されることもあると理解すべきである。
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施例について説明する。
図1は、本発明に係る高効率の光電変換が可能なフォトディテクター(photo detector)を示した断面図である。
図1において、前記フォトディテクターに該当する単位画素の受光素子は、従来のフォトダイオ−ドの代わりにトンネル接合素子(tunnel juncion device)を用いて具現される。ここで、トンネル接合素子は、二つの導体や半導体の間に薄い絶縁層が接合された構造であり、絶縁層で発生するトンネルリング効果(tunneling effect)を用いて動作する素子のことを指す。ちなみに、トンネルリング効果とは、量子力学的現象であって、ポテンシャルを有する力の作用下で運動する粒子が、その粒子自体が有する運動エネルギーより大きい位置エネルギーを有する領域を通過する現象のことをいう。
本発明の一実施例では、このようなフォトディテクターを用いて単位画素の受光素子及びソーラーセル(solar cell)を生成することができ、本明細書及び特許請求範囲に使われる「フォトディテクター」とは、前記トンネル接合素子を用いて具現された受光素子及びソーラーセルのことを指す。前記フォトディテクターは、多様な種類の構造により具現することができ、例えば、一般的なn−MOSFETまたはp−MOSFET構造を用いて具現することもできる。また、MOSFETの他にもJFET、HEMTなどのトンネルリング効果が得られる構造の電子素子を用いて単位素子を具現することもできる。
図1において、前記フォトディテクター100は、PMOS構造で具現される。前記フォトディテクター100は、P型基板110上に形成され、一般的なNMOS電子素子において、ソースに当たるP+拡散層120とドレーンに当たるP+拡散層130を含む。以下、P+拡散層120,130を各々フォトディテクターにおける「ソース」及び「ドレーン」と称することとする。
前記ソース120とドレーン130の上部には外部ノ−ドと連結されるソース電極121及びドレーン電極131が各々形成される。
前記フォトディテクター100は、P型の基板(P−sub)110上にN型不純物を注入してNウェル115を形成する。前記形成されたNウェル115上に高濃度のP型不純物を注入して、ソース120とドレーン130を形成する。前記ソース120とドレーン130との間には薄い酸化膜140が形成され、前記酸化膜140の上部には一般的なMOSFET構造におけるゲートに該当するN型の不純物がドープされたポリシリコン(poly−silicon)が形成される。前記ポリシリコン150は、前記フォトディテクター100において光を吸収する受光部として機能する。以下、前記ポリシリコン150を「受光部」と称する。
前記受光部150は、酸化膜140により前記ソース120及びドレーン130と離隔される。前記受光部150と前記ソース120またはドレーン130との間にトンネルリング(tunneling)が発生される。この時、トンネルリング現象の発生を容易にするために、酸化膜140の厚さを10nm以下で形成することが望ましい。
一般的なMOSFET素子のゲートとは異なり、前記フォトディテクター100には、前記受光部150の上部を除いた残り領域の上部に金属性の遮光層が形成されるとよい。前記フォトディテクター100は、前記遮光層を通して光が入射される領域を受光部150に限定することにより、受光部150における光電変換を極大化させる。
前記フォトディテクター100の構造は、標準CMOS工程を介して容易に製作することができ、他の回路と同一の工程で製造できて、集積化されたシステムの一部として使用できるので、システムの集積化が容易で多様な応用範囲を有する。
図2は、本発明に係るフォトディテクター100の高効率な光電変換メカニズムを示している。前記フォトディテクター100は、受光部150の上部を通じて光を受け入れる。受光部150に入射された光により電子−正孔対(electron−hole pair・EHP)が生成され、これにより、受光部150とソース120及びドレーン130との間に一定の電界が形成される。この時、ソース電極120とドレーン電極131に一定電圧が印加されると、光により励起された受光部150の電荷が、受光部150から酸化膜140をトンネルリングしてソース120またはドレーン130へと移動する。トンネルリングにより受光部150でホールが失われて電子が流入されることにより、受光部150における電子の電荷量が相対的に増加することになり、このような電荷量の変化は前記ソース120とドレーン130間のチャンネル160のしきい電圧(threshold voltage)を下げて、前記チャンネル160に光電流が流れるようになる。このような技術は、既に本発明の発明者により米国で出願されて登録された米国登録特許 US8,569,806B2、US8,610,234B2、US8,669,599B2及び米国特許出願US14/327,549などで詳細に紹介されたことがあるので、詳細な説明を省略する。
フォトディテクター100は、光の入射領域が受光部150の上部領域のみに制限され、外部から開放された受光部150の上部を通して多様な波長帯の光が入射される。前記入射された多様な波長帯の光は、受光部150に吸収されるかまたは受光部150を透過して下部のNウェル115または基板110に到達されることとなる。例えば、受光部150の厚さが150nm以上の場合、青色系列の短波長は下部の基板110まで到達できず受光部150で大部分が吸収される。従来の一般的なフォトディテクターとは異なり、本発明のフォトディテクター100は、短波長帯の光が下部の基板に到達できずに受光部150に吸収されても、受光部150に吸収されたエネルギーにて受光部150の電荷量に変化を発生させ、これによりチャンネル160に電流を発生させるので、短波長帯の光を容易に検出することができる。また、それ以外の波長帯の光もすべて前記受光部150を透過するので、類似の現象が前記受光部150で発生して、電流チャンネルのしきい電圧の変化に影響を与えることになる。
一方、前記受光部150を透過できる相対的に長い波長帯の光は、Nウェル115にも電子正孔対を発生させて、図2に示したように、電子をチャンネルの下部である前記Nウェル115に蓄積させてしきい電圧の変化に影響を及ぼすこともある。このように製造された前記フォトディテクター100は、単一フォトンも感知できる高感度の検出能力を持ち、少しの光でも非常に大きい光電流を流れさせられる能力も併せ持つことになる。このような本願発明のフォトディテクター100の特性は、イメージセンサー用のフォトディテクターだけでなく、ソーラーセルとしても使用可能である。
以下では、このようなフォトディテクターの原理に基づき、新しくソーラーセルとしての機能が追加されたシステムオンチップ(SOC:System On Chip)形態のソーラーセンサーチップを提案する。さらに、図1と図2ではPMOS型の構造に基づいて説明しているが、PMOS型の構造はもちろんNMOS型の構造及びこれと類似の他の構造によっても具現することができ、このような構造はすべて本発明の権利範囲に含まれると見なされる。
図3は、本発明に係るソーラーセルのためのフォトディテクターを示す断面図であり、図4は、前記フォトディテクター300の電力生成のメカニズムを示した図である。前記フォトディテクター300は、ソーラーセルとして動作する場合、光の吸収により光電流が生成されると共に、光起電力(Photo Voltaic)が発生する。
図3を参照すると、前記フォトディテクター300は、光が受光部350に吸収されれば、電子が前記ソース120と前記ドレーン130間のチャンネルから前記酸化膜140をトンネルリングして受光部350に移動し、これにより、前記受光部350の全体電荷量が変化される。この時、前記受光部350とドレーン130間の電圧を測定すれば、光により発生した電荷の変化量を電圧の形態で測定することができる。また、前記Nウェル115に蓄積された電荷は、前記ドレーン130と前記W−RST360間の電極131,361により電圧で測定できる。
図4を参照すれば、前記フォトディテクター300は、製造工程で初期に形成されたトランジスタ−のしきい電圧より大きい光エネルギーが入射されると、チャンネル160に光電流が流れることになる。
具体的に、ソース120とドレーン130間には、最初の製造工程からチャンネル160が形成され得るシリコン界面のポテンシャル状態がサブ−スレッショルド(sub−threshold)直前の状態のしきい電圧を持つように形成されている。この状態では受光部350に光が入射されないと、チャンネル160に光電流が流れない。
この状態で、受光部350にドープされた不純物が結合しているエネルギーより大きいエネルギーを有する光が入射されると、前記受光部350において、平衡状態で電荷の移動を遮断する酸化膜140を境にして不純物がドープされて形成された多数の電子及び正孔が自由な状態となる。この時、生成された電子−正孔対は、再結合(recombination)されるまで一定時間だけ電子と正孔の状態で各々存在し、局地的に電界が集中する所へと電荷が移動することになる。
ソース120とドレーン130間のシリコン界面のポテンシャルがサブ−スレッショルド(sub−threshold)直前の状態なので、受光部350に入射された光により増加された電荷量と電界によって、ソース120及びドレーン130と受光部350との間で電子または正孔がトンネルリングされ、これにより、前記チャンネル160のしきい電圧が下げられてチャンネル160に光の量に比例して光電流が流れることとなる。
前記光電流を発生させた電圧は、前記受光部350または前記Nウェル115を通して検出できる。その検出される電圧は、前記受光部350または前記Nウェル115を通して検出された光の量に応じて異なるが、数ナノから数マイクロアンペアの光電流が流れることがあり、これにより発生する電圧差は0.1〜1.0V程度になり得る。ちなみに、前記値は、暗電流(dark current)を除外した測定値であり、このような出力は、3um以内のピクセルサイズから得られる。したがって、複数のピクセルを直列または並列で連結してピクセルアレイを構成し、これを制御すれば、非常に大きい電力を獲得できる。
図5は、本発明の第1実施例に係る前記フォトディテクター300の開放回路電圧(Voc:open circuit voltage)の獲得メカニズムを示している。
図5を参照すれば、前記ソース120とドレーン130間に一定電圧を加えた状態で前記受光部350に光が入射されると、しきい電圧が変わって光電流が流れることになる。また、長波長帯の光は前記受光部350を通過してNウェル115に吸収されて、この時、Nウェル115でも受光部150と同じ原理で一定量の電荷が生成されて、チャンネルの境界面の周囲に蓄積されることになる。
この時、チャンネルに流れる光電流は、前記受光部350と前記Nウェル115内の電荷量が変化して生じた電圧に起因するものである。すなわち、生成された光電流により前記ドレーン130と前記受光部350間の電圧(VDrain−Gate)及び、前記ドレーン350と前記Nウェル115間の電圧(VDrain−Wrst)が発生する。したがって、前記ドレーン130に連結された端子131と前記受光部350に連結された端子351間の電圧(VDrain−Gate)または前記ドレーン350に連結された端子131と前記Nウェル115に連結された端子361間の電圧(VDrain−Wrst)のうちいずれか一つを選択して、Vocを獲得することができる。
図6は、本発明の第2実施例に係る前記フォトディテクター300の開放回路電圧の獲得メカニズムを示している。
希望するだけの大きい電力を得るために、前記フォトディテクター300から大きい光電流を獲得する方法以外に、より大きいVoc値を獲得することが必要である。図6において、受光部350に連結された端子351とNウェル115上に形成されたN+拡散層360に連結された端子361とを連結して、チャンネルのしきい電圧の変化をより大きくすると、受光部350とNウェル115が連結された端子352と、ドレーン130に連結された端子132間により大きい電圧(VDrain−(gate−wrst))が獲得できる。これは前記Nウェル115の下部に存在する電子がN+拡散層360へ移動することによって、追加的に増加した電荷量による効果である。
図7は、本発明に係るソーラーセルの単位ピクセル(unit pixel)の構造を示している。図7を参照すれば、前記ソーラーセルは、ピクセルソーラーセル(Pixelated solar cell)として構成される単位ピクセル700の構造を有する。
前記単位ピクセル700は、前記フォトディテクター300、第1スイッチ(Ms)、第2スイッチ(Mg)、第3スイッチ(Mwr)、第4スイッチ(Mv)、第1ソーラーセルバス(SCB 1)及び第2ソーラーセルバス(SCB 2)を含む。前記フォトディテクター300は、受光部(ゲート)に受光された光(hv)により、ソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させる。前記第1スイッチ(Ms)は、前記フォトディテクター300のソース端子と第1ソーラーセルバス(SCB1)間に連結されてオン/オフ動作を行う。前記第2スイッチ(Mg)は、前記フォトディテクター300の受光部(ゲート)端子と第2ソーラーセルバス(SCB 2)間に連結されてオン/オフ動作を行う。前記第3スイッチ(Mwr)は、前記フォトディテクター300のNウェルまたは基板に連結されたリセット端子及び前記第2ソーラーセルバス間に連結されてオン/オフ動作を行う。ここで、前記リセット端子は、前記ソース及び前記ドレーンにドープされた不純物と異なる不純物でドープされる。図3ないし図6を参照すれば、前記リセット端子(Wrst)は、前記ソース及び前記ドレーンにドープされたP型不純物と異なるN型不純物でドープされ、NMOSの場合には、前記リセット端子が前記ソース及び前記ドレーンにドープされたN型不純物と異なるP型不純物でドープされることがある。ここで、VDDは、前記フォトディテクター300を駆動するために、別途の外部システムの電源と連結して固定しておく。この時、前記VDDは、第4スイッチ(Mv)を通して前記フォトディテクター300のドレーンに連結されるとよい。この時、最小の暗電流が流れるように最小のVDD電圧を印加し、ピクセルの外部に暗電流を別途に除去する回路を追加してもよい。一方、前記フォトディテクラー300は、周辺回路と同一の工程で製造されるので、周辺回路と同一の電源を用いることができる。この場合、従来のフォトディテクターとは異なり、本発明のフォトディテクター300は、別途の外部電源を必要とすることなく、周辺回路の電源をそのまま使用するように構成することができる。
前記フォトディテクター300に光が入射されると、前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)と第2ソーラーセルバス(SCB 2)間に光電流が流れて、これと同時に、前記第2スイッチ(Mg)と前記第3スイッチ(Mwr)を制御して、前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)と前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)間で光起電力Vocを獲得することができる。
前記第2スイッチ(Mg)と前記第3スイッチ(Mwr)は、スイッチオン動作により行デコーダ(Row decoder)のような外部マトリックスと選択的に連結されることがある。この時、前記第2スイッチ(Mg)と第3スイッチ(Mwr)は、別途にスイッチオンされて第2ソーラーセルバス(SCB 2)と連結されるか、または、同時にスイッチオンされて第2ソーラーセルバス(SCB 2)と連結されるかを選択することができる。前記第2スイッチ(Mg)と前記第3スイッチ(Mwr)が、同時にスイッチオンされて外部のマトリックスと連結されると、図6で示したように、前記フォトディテクター300の受光部とNウェルが第2ソーラーセルバス(SCB 2)と別途に連結された場合よりさらに大きいVocを獲得することができる。
図8は、本発明の第1実施例に係るピクセルアレイにおける開放回路電圧の獲得メカニズムを示している。前記ピクセルアレイ800は、複数個の単位ピクセルエレメント700を第1方向に配置したサブエレメント810及び、前記サブエレメント810を第2方向に複数個配置するために、前記サブエレメント810間にオン/オフ動作を行うサブエレメントスイッチ820を含む。ここで、前記サブエレメント810は、図7を参照すれば、ゲートに受光された光により、ソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター300及び、前記フォトディテクター300の端子を前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)及び第2ソーラセルバス(SCB 2)と連結させる第1スイッチ(Ms)及び第2スイッチ(Mg)を含む単位ピクセルエレメント700を含む。前記単位ピクセルエレメント700は、前記フォトディテクター300を前記第2ソーラセルバス(SCB 2)と連結させる第3スイッチ(Mwr)をさらに含むことができる。
前記サブエレメントスイッチ820は、前記第1サブエレメント810の前記第2ソーラセルバス(SCB 2)と前記第2サブエレメント830の前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)間に連結されて、オン/オフ動作を行う。
前記ピクセルアレイ800内の前記単位ピクセル700で得られるVocは、ドレーンとゲート及びドレーンとNウェル間に発生する開放回路電圧として定義されるが、アレイ形態で配列すれば、各ピクセル間の連結状態が調節できるようになり、より大きいVocを獲得することができる。各カラム間には同一のVoc(V1)が印加されるので、n個のカラム電圧を直列で連結すれば、全体出力VocはnV1になり、非常に高いVoc電圧を得ることができる。図8に示すように、各カラム間にSCBラインを共通に相互直列で連結して、前記サブエレメントスイッチ820を調節することにより、出力された各カラムの電圧を最終的に直列で出力することができる。従って、Voc電圧が必要な時に、前記サブエレメントスイッチ820をどのように選択して連結するかにより、適切なVoc電圧を選択できるので、必要に応じて要求される電力量を調節することが可能になる。
図9は、本発明の第2実施例に係るピクセルアレイにおいて、開放回路電圧の獲得メカニズムを示す図である。前記ピクセルアレイ900は、図8に示すように、前記サブエレメント810及び前記サブエレメントスイッチ820の他に第1制御部910をさらに含む。前記第1制御部910は、前記複数個の単位ピクセルエレメント内の前記第1及び第2スイッチに対する個別の制御信号を生成して、前記ピクセルアレイ900内の各々の単位ピクセルに前記個別の制御信号を伝送する。ここで、前記第1制御部910は、プロセッサーからの制御信号をデコードして、前記各々の単位ピクセルに前記制御信号を伝送するので、デコーダ及びマトリックス制御部(Decoder and Matrix Controller)と称するとよい。
ここで、前記第1サブエレメント810と前記第2サブエレメント830の他に追加的に第3ないし第4サブエレメント940,950をさらに備えた場合、第2制御部920は、前記第2方向の前記第1及び第3サブエレメント810,940及び前記第2及び第4サブエレメント830,950間に前記第1及び第2ソーラセルバス(SCB 1、SCB 2)を共有するように制御信号を生成して、前記制御信号を各々のサブエレメントに伝送することができる。すなわち、前記第1及び第2サブエレメント810,830を前記第1サブアレイスイッチ820及び内部バス(SCB)と連結し、前記第3及び第4サブエレメント940,950を第2サブアレイスイッチ960及び内部バス(SCB)と連結することができる。従って、2個のカラムに該当する前記第1及び第2サブエレメント810,830を内部バス(SCB)を用いて連結することにより、2倍のVocを得ることができる。この時、光により発生する光電流とVocは、前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)と第2ソーラセルバス(SCB 2)を介して検出される。
同様に、2個のカラムに該当する前記第3及び第4サブエレメント940,950を内部バス(SCB)により連結して2倍のVocを得ることができ、この時に生成された電流と電圧Vocは、前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)と第2ソーラセルバス(SCB 2)を介して検出されて、前記単位ピクセルエレメント700を構成するチップ内部のキャパシタまたは外部のバッテリーなどに蓄積させることができる。
また、前記第1制御部910により、光電変換に寄与するピクセルエレメントを選択的に指定することができ、キャパシタやバッテリーに充分な電力が蓄積された時は、自動で電力の生成を中止するように制御することもできる。また、前記第1制御部910及び第2制御部920は、一つの物理的な制御部により具現することができ、電子機器内のプロセッサーにより具現されることが出来るのは勿論である。
図10は、本発明の第1実施例に係るイメージセンサーの単位ピクセル構造を示す図である。前記単位ピクセル1000は、前記フォトディテクター300と連結された選択素子(SEL)を備え、前記単位ピクセル1000は、電流電圧変換回路であるIVC回路1010から構成されたイメージセンサーとカラムバス(Column bus)により連結されるとよい。ここで、前記選択素子(SEL)は、多様な素子により具現することができ、例えば、MOSFET構造を用いて形成されてもよい。この場合、前記フォトディテクター300と前記選択素子(SEL)をMOSFET製造工程を用いて同時に具現できるので、簡単かつ低コストで製造することができる。
前記単位ピクセル1000の前記フォトディテクター300で光電変換された光電流が、前記SELのスイッチオンにより、前記IVC回路1010のキャパシタ1015に充電される。前記キャパシタ1015に充電された光電流は、IVC_OUT値を持つ電圧として出力されて、CDS(Co−Double Sampling)などの回路に信号が伝送される。前記SELがオン状態で、BUS_RSTをオンさせれば、前記IVC回路1010の前記キャパシタ1015及び前記カラムバス(CB)と前記フォトディテクター300とがGNDを介して直接連結されるので、充電された電荷が除去されて、信号のリセットが行われる。前記動作により、イメージセンサーに必要な蓄積時間(Integration Time)を定義することができ、ローリングシャッタ(Rolling Shutter)方式を活用すれば、連続的な画像を獲得することができる。
図11は、本発明の第1実施例に係るソーラーセルの単位ピクセルの構造を示している。前記単位ピクセル1100は、図10に示された1Tタイプのイメージセンサーの単位ピクセル1000をソーラーセルとして具現したのである。このために、前記単位ピクセル1100は、第1及び第2ソーラーセルバス(SCB 1,SCB 2)とS1、S2スイッチを追加することにより、図10におけるイメージセンサーをソーラーセルとしても使用することができる。
具体的に、前記単位ピクセル1100は、ゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させる前記フォトディテクター300、前記フォトディテクター300のゲート端子と前記第1ソーラーセルバス(SCB1)間に連結されてオン/オフ動作を行う第1スイッチ(S1)及び、前記フォトディテクター300のソース端子及び前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)間に連結されて前記光電流を画素出力端1010に出力させる選択素子(SEL)を含む。ここで、前記画素出力端1010は、図10及び図11における前記IVC回路1010に該当する。また、前記単位ピクセル1100は、前記選択素子(SEL)及び前記画素出力端1010間に連結されてオン/オフ動作を行う第2スイッチ(S2)をさらに含むことができる。前記第1スイッチ(S1)を介して前記第1ソーラーセルバス(SCB1)と前記フォトディテクター300のゲートを連結し、前記第2スイッチ(S2)を介して図10における前記カラムバス(CB)を前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)として用いれば、前記第1及び第2ソーラーセルバス(SCB 1,SCB 2)間に光電流とVocを獲得して、電力を生成することができる。このように、前記第1及び第2スイッチ(S1,S2)を用いて、前記イメージセンサーと前記ソーラーセルを選択的に具現することができる。すなわち、前記第1スイッチ(S1)がオンであり前記選択素子(SEL)または第2スイッチ(S2)がオフであれば、前記単位ピクセル1100はソーラーセルとして動作し、前記S1スイッチ(S1)がオフであり前記第2スイッチ(S2)がオンであれば、前記単位ピクセル1100はイメージセンサーとして動作する。
また、前記画素出力端1010は、前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)及び接地(GND)間に連結されて前記光電流による充電を行うキャパシタ1015と、前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)及び前記接地(GND)間に連結され、前記キャパシタ1015と並列で連結されたリセット素子(BUS_RST)とを含む。
図12は、本発明の第2実施例に係るイメージセンサーの第2単位ピクセルを示している。前記第2単位ピクセル1200は、図10に示すように、前記フォトディテクター300及び前記選択素子(SEL)の他に、前記フォトディテクター300のウェル(well)に連結されたリセット素子(RST)をさらに含む。前記第2単位ピクセル1200のような単位ピクセルの各カラムに前記IVC回路1010が連結されることにより、イメージセンサーを具現することができる。前記選択素子(SEL)がオンである場合、前記フォトディテクター300で光電変換された光電流は、前記IVC回路1010の前記キャパシタ1015に光電荷を充電させる。前記キャパシタ1015に充電された光電荷は、IVC_OUT値を持つ電圧として出力され、CDSなどの回路にその信号が伝送される。
前記選択素子(SEL)がオンの状態で、BUS_STをオンさせると、前記IVC回路1010の前記キャパシタ1015及びカラムバス(CB)と前記フォトディテクター300がGNDを介して直接連結されるので、充電された電荷が除去されて、信号のリセットが行われる。
一方、前記リセット素子(RST)は、前記フォトディテクター300による信号のリセットが円滑に行われなかったり、または電流チャンネルのしきい電圧を手動で調節するために使用されてよく、高速フレ−ムの動作時において、映像遅延現象等が無い特殊撮影の時に使用されてよい。
図13は、本発明の第2実施例に係るソーラーセルの第2単位ピクセル構造を示している。前記第2単位ピクセル1300は、図12に示された2Tタイプのイメージセンサーの単位ピクセル1200をソーラーセルとして具現したものである。前記第2単位ピクセル1300は、ゲートに受光された光により、ソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター300と、前記フォトディテクター300のゲート端子及び第1ソーラーセルバス(SCB1)間に連結されてオン/オフ動作を行う第1スイッチ(S1)と、前記フォトディテクター300のリセット端子及び前記第1ソーラーセルバス(SCB1)間に連結されてオン/オフ動作を行う第2スイッチ(S2)と、前記フォトディテクター300のソース端子及び第2ソーラーセルバス(SCB 2)間に連結されて前記光電流を前記画素出力端1010に出力させる選択素子(SEL)の他に、前記フォトディテクター300のウェル(well)に連結されたリセット素子(RST)とをさらに含む。ここで、前記リセット端子(RST)は、前記ソース及び前記ドレーンにドープされた不純物と異なる不純物でドープされる。
また、前記第2単位ピクセル1300は、前記選択素子(SEL)及び前記画素出力端1010間に連結されてオン/オフ動作を行う第3スイッチ(S3)をさらに含むことができる。ここで、前記第1スイッチ(S1)または前記第2スイッチ(S2)がオンであり、前記第3スイッチ(S3)がオフである場合、前記単位ピクセルはソーラーセルとして動作し、前記第1スイッチ(S1)及び前記第2スイッチ(S2)がオフであり、前記第3スイッチ(S3)がオンである場合、前記単位ピクセルはイメージセンサーとして動作する。ここで、より大きいVocを得るために、前記第1スイッチ(S1)及び第2スイッチ(S2)を同時にオンさせてもよい。
前記画素出力端1010は、前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)及び接地(GND)間に連結されて前記光電流による充電を行うキャパシタ1015と、前記第2ソーラーセルバス(SCB 2)及び前記接地(GND)間に連結され、前記キャパシタ1015と並列で連結されたリセット素子(BUS_RST)とを含む。かかる構成により、前記第1及び第2ソーラーセルバス(SCB 1,SCB 2)ライン間に光電流とVocを獲得して電力を生成することができる。
図14は、本発明に係るイメージセンサーアレイを示している。前記イメージセンサーアレイ1400は、行デコーダー及びマトリックス制御器1410と列デコーダー及びマトリックス制御器1420を用いて、各列の前記単位ピクセル1000,1200で光電変換された光電流を各列のIVC回路が列方向に配列されたIVC回路アレイ1430に伝送し、電圧信号に変換してからCDSなどに伝送すれば、高感度なイメージセンサーとして動作する。この時、かかる構成により、高感度/高速のイメージセンサーを具現することが可能である。また、前記単位画素は、PPS方式を用いて具現することができるが、この場合、画素内部における受光素子の出力電流に比べて、寄生キャパシター(parasitic capacitor)の成分が極微量または存在しないため、列デコーダー(Row decoder)によってピクセルが選択される前までインテグレーションが作用しない。これは、従来のAPS方式のCIS単位ピクセルとの大きな違いの一つである。従って、変形されたローリングシャッター(rolling shutter)方式で多重に信号を処理すれば、高速フレームのイメージセンサーの具現が可能になり、光信号をローリングシャッター方式で伝送することも可能になる。また、列並列(Column parallel)方式を介して光信号を伝送できることは勿論のことである。
一方、単位画素の構造が非常に簡単で小さいため、一般グローバルシャッター(global shutter)方式のように、単位ピクセルの内部にキャパシターを形成させて、アナログメモリーに一時にデータを格納しておき、高速でデータを読出させると、500〜10,000fpsの映像を具現することができる。
前記複数の実施例により、イメージセンサーの単位ピクセル及びこれをマトリックスとして具現したイメージセンサーが説明された。本実施例で説明された単位ピクセルは、2次元配列で配列され、配列方法を640*480、1280*720、1920*1080のように既存のVGA、HD、Full HD形式に配置したり、3840*2160または4096*2160のような4K UHDまたは7680*4320のような8K UHD形式に配置して一つのフレームを形成するとよい。
かかる構成により、本発明の単位ピクセルに従来のフォトダイオードに比べて相対的に多くの光電流を流れさせることができる。これは、静電容量に蓄積された電荷量だけで明暗を区別する従来のフォトダイオード方式とは異なり、本発明は、光の入射による受光部における電荷量の変化が電界効果として作用して、ソース−ドレーンチャンネルにおける電流の流れを制御する一方で、ドレーンを介して電荷が供給され、自体的に増幅される構成となっているためである。
図15は本発明に係るイメージセンサー及びソーラーセルとして動作可能なアレイエレメントを示している。前記アレイエレメント1500は、複数個の単位ピクセルエレメントを第1方向に配置したサブエレメント1501と、前記サブエレメントを第2方向に複数個配置するために、前記サブエレメント間にオン/オフ動作を行うサブエレメントスイッチ1502とを含み、前記サブエレメント1501は、図11及び13を参照すれば、ゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター300と、前記フォトディテクターの端子を第1及び第2ソーラセルバスと連結させる複数のスイッチ(S1〜S3及びSEL)及び、前記第2ソーラセルバスと連結されて前記光電流を電圧で充電する画素出力端1010を含む単位ピクセルエレメント1100,1300を含む。
前記サブエレメントスイッチ1502は、第1サブエレメント1501の前記第2ソーラセルバス(SCB 2)と第2サブエレメント1503の 前記第2ソーラセルバス(SCB 2)間に連結されてオン/オフ動作を行うか、または、図8及び図9に示すように、前記第1サブエレメント1501の前記第2ソーラセルバス(SCB 2)と前記第2サブエレメント1503の前記第2ソーラセルバス(SCB 2)間に連結されてオン/オフ動作を行うことができる。
前記アレイエレメント1500は、前記複数個の単位ピクセルエレメント1100内の複数のスイッチ(S1〜S3及びSEL)に対する個別の制御信号を生成する第1制御部1510をさらに含むことができ、ここで図13を参照すれば、前記第1スイッチ(S1)は、前記フォトディテクター300のゲート端子及び第1ソーラーセルバス(SCB 1)間に連結されてオン/オフ動作を行い、前記選択素子(SEL)は、前記フォトディテクター300のソース端子及び前記第2ソーラセルバス(SCB 2)間に連結されて、前記光電流を前記画素出力端1530に出力する。また、前記フォトディテクター300は、前記フォトディテクター300のリセット端子及び前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)間に連結されてオン/オフ動作を行う第2スイッチ(S2)及び/または前記選択素子(SEL)及び前記画素出力端1010間に連結されてオン/オフ動作を行う第3スイッチ(S3)をさらに含むことができる。ここで、前記リセット端子は、前記ソース及び前記ドレーンにドープされた不純物と異なる不純物でドープされる。
また、前記第2方向の前記第1及び第2サブエレメント1501,1502間に前記第1ソーラーセルバス(SCB 1)及び第2ソーラセルバス(SCB 2)を共有して、所望の光起電力を生成することができる。従って、前記アレイエレメント1500は、第1ソーラーセルバス(SCB 1)、第2ソーラセルバス(SCB 2)及び、図11または図13に示された複数のスイッチを備えて、前記イメージセンサーアレイ1400のイメージセンサーをソーラーセルに転換して用いることができる。すなわち、同一のフォトディテクターをイメージセンサーとソーラーセルとして兼用できる構造になるので、必要に応じて電力生成とイメージ獲得を交互に行える。これは、本発明に係るピクセルによるCMOSソーラーセルに使用されたフォトディテクターを標準CMOS工程で製作できるから具現されることで、さらに周辺回路とも同一チップに容易に集積化できることを意味する。
図16は、本発明に係るイメージセンサーとソーラーセルとして動作可能な機能を備えた電子機器を示すブロック図である。前記電子機器1600は、デジタルカメラ、CCTVなどの映像撮影装置のみならず、映像撮影機能を備えたスマートフォン、タブレットPC、テレビなどの各種電子機器を含む。前記電子機器1600は、制御信号に応じてソーラーセルとして動作可能な複数の単位ピクセルから構成されたイメージセンサー部1610と、前記イメージセンサー部1610に対する前記制御信号を生成して、前記制御信号を前記イメージセンサー部に伝送するプロセッサー1620と、前記イメージセンサー部1610から充電した電力が供給されるバッテリー1630と、前記イメージセンサー部1610で充電した電力が前記イメージセンサー部1610からまたは前記バッテリー1630から電力が供給される電力IC1640とを含む。ここで、前記複数の単位ピクセルのうち各々の単位ピクセルは、ゲートに受光された光により、ソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクターを含む。
前記プロセッサー1620は、前記イメージセンサー部1610がイメージセンサーとして動作するなどのイベントが存在しない場合、前記制御信号を前記イメージセンサー部1610に伝送して、前記イメージセンサー部1610をソーラーセルとして動作するように制御するとよい。
また、前記電子機器1600は、周辺光を収集して、前記周辺光の強度(intensity)が一定値以上であれば、前記プロセッサー1620が前記制御信号を生成するように、その収集された周辺光の情報を提供する周辺光センサー1650をさらに含むとよい。
なお、前記各々の単位ピクセルは、図7を参照すれば、前記フォトディテクター300のソース端子及び第1ソーラーセルバス間に連結されてオン/オフ動作を行う第1スイッチ(S1)及び、前記フォトディテクター300のゲート端子及び第2ソーラセルバス間に連結されてオン/オフ動作を行う第2スイッチ(S2)をさらに含むとよい。
さらに、前記各々の単位ピクセルは、図11を参照すれば、前記フォトディテクター300のゲート端子及び第1ソーラーセルバス間に連結されてオン/オフ動作を行う第1スイッチ(S1)及び、前記フォトディテクター300のソース端子及び第2ソーラセルバス間に連結されて前記光電流を画素出力端1010に出力させる選択素子(SEL)をさらに含むとよい。
ここで、前記イメージセンサー部1610がピクセル基盤CMOSソーラーセル(Pixelated CMOS solar cell・PCSC)として動作可能であれば、前記イメージセンサー部1610はイメージセンサーと一緒に標準CMOS工程を用いて同一チップ上に製造できるので、小型化かつ低電力化を同時に具現することができる。また、前記イメージセンサー部1610における電力生成により、2次電池のような前記バッテリー1630には必要に応じて電力を充電させることができ、外部電源を使った別途の充電が無くても、前記電力IC1640に電力を提供することができる。
前述した本発明の説明は例示のためのものであり、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明の技術的思想や必須的な特徴を変更せずに他の具体的な形態に容易に変形が可能であるということを理解できるだろう。
よって、上述した実施例はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないことを理解しなければならない。例えば、単一型として説明されている各構成要素は分散して実施してもよく、これと同様に、分散したものと説明されている各構成要素も結合して実施してもよい。
本発明の範囲は前記詳細な説明よりは後述する特許請求範囲により示され、特許請求範囲の意味及び範囲、そしてその均等概念から導出されるすべての変更または変形された形態が本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。

Claims (16)

  1. イメージセンサーとソーラーセルとして動作可能なアレイエレメントにおいて、
    複数個の単位ピクセルエレメントを第1方向に配置したサブエレメント、及び、
    前記サブエレメントを第2方向に複数個配置するために、前記サブエレメント間にオン/オフ動作を行うサブエレメントスイッチを含み、
    前記サブエレメントは、ゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター及び、前記フォトディテクターの端子を第1及び第2ソーラーセルバスと連結させる第1及び第2スイッチを含む単位ピクセルエレメントを含み、
    前記第1スイッチは、前記フォトディテクターのゲート端子と第1ソーラーセルバスとの間に連結されてオン/オフ動作を行ない、前記第2スイッチは、前記フォトディテクターのソース端子と第2ソーラーセルバスとの間に連結されてオン/オフ動作を行ない、
    イメージセンサーとして動作する場合は前記第1スイッチはオフとなり、ソーラーセルとして動作する場合は前記第1スイッチはオンとなることを特徴とするアレイエレメント。
  2. 前記サブエレメントスイッチは、第1サブエレメントの前記第2ソーラーセルバスと第2サブエレメントの前記第1ソーラーセルバス間に連結される、請求項1に記載のアレイエレメント。
  3. 前記複数個の単位ピクセルエレメント内の前記第1及び第2スイッチに対する個別の制御信号を生成する制御部をさらに含む、請求項1に記載のアレイエレメント。
  4. 前記第2方向の前記サブエレメント間に前記第1及び第2ソーラーセルバスを共有する、請求項1に記載のアレイエレメント。
  5. イメージセンサーとソーラーセルとして動作可能なアレイエレメントにおいて、
    複数個の単位ピクセルエレメントを第1方向に配置したサブエレメント、及び、
    前記サブエレメントを第2方向に複数個配置するために、前記サブエレメント間にオン/オフ動作を行うサブエレメントスイッチを含み、
    前記サブエレメントは、ゲートに受光された光によりソースとドレーン間のチャンネルに光電流を発生させるフォトディテクター、前記フォトディテクターの端子を第1及び第2ソーラーセルバスと連結させる第1及び第2スイッチを含む単位ピクセルエレメント、及び、前記第2ソーラーセルバスに連結されて、前記光電流で前記第2ソーラーセルバスを充電して電圧を発生させる画素出力端を含み、
    前記第1スイッチは、前記フォトディテクターのゲート端子と第1ソーラーセルバスとの間に連結されてオン/オフ動作を行ない、前記第2スイッチは、前記フォトディテクターのソース端子と第2ソーラーセルバスとの間に連結されてオン/オフ動作を行ない、
    イメージセンサーとして動作する場合は前記第1スイッチはオフとなり、ソーラーセルとして動作する場合は前記第1スイッチはオンとなることを特徴とするアレイエレメント。
  6. 前記サブエレメントスイッチは、第1サブエレメントの前記第2ソーラーセルバスと第2サブエレメントの前記第1ソーラーセルバス間に連結される、請求項5に記載のアレイエレメント。
  7. 前記複数個の単位ピクセルエレメント内の前記第1及び第2スイッチに対する個別の制御信号を生成する制御部をさらに含む、請求項5に記載のアレイエレメント。
  8. 前記第2方向の前記サブエレメント間に前記第1及び第2ソーラーセルバスを共有する、請求項5に記載のアレイエレメント。
  9. 前記フォトディテクターは、前記第2スイッチ及び前記画素出力端間に連結されてオン/オフ動作を行う第3スイッチをさらに含む、請求項5に記載のアレイエレメント。
  10. 前記フォトディテクターは、前記フォトディテクターのリセット端子及び前記第1ソーラーセルバス間に連結されてオン/オフ動作を行う第4スイッチをさらに含む、請求項5に記載のアレイエレメント。
  11. 前記リセット端子は、前記ソース及び前記ドレーンにドープされた不純物と異なる不純物でドープされた、請求項10に記載のアレイエレメント。
  12. イメージセンサーとソーラーセルとして動作可能な機能を備えた電子機器において、
    制御信号に応じてソーラーセルとして動作可能な、請求項1〜11のいずれか1項に記載のアレイエレメントから構成されたイメージセンサー部、および、
    前記イメージセンサーに対する前記制御信号を生成して、前記制御信号を前記イメージセンサー部に伝送するプロセッサーを含む、電子機器。
  13. 前記プロセッサーは、前記イメージセンサー部がイメージセンサーとして動作するとのイベントが存在しない場合に、前記制御信号を前記イメージセンサー部に伝送する、請求項12に記載の電子機器。
  14. 前記イメージセンサー部から充電された電力が供給されるバッテリーをさらに含む、請求項12に記載の電子機器。
  15. 前記イメージセンサー部から充電された電力が前記イメージセンサー部からまたは前記バッテリーから電力が供給される電力ICをさらに含む、請求項14に記載の電子機器。
  16. 周辺光を収集して、前記周辺光の強度(intensity)が一定値以上であれば、前記プロセッサーが前記制御信号を生成するように、前記収集された周辺光に関する情報を前記プロセッサーに提供する周辺光センサーをさらに含む、請求項12に記載の電子機器。
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