JP2007281144A - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】固体撮像素子に太陽電池を設けることによって、レンズで光エネルギーを効率的に集め、コンパクトで低コストの発電装置を提供する。
【解決手段】被写体光を受光する感光画素24、26を有する受光セル22が、所定のピッチで複数配列されている。また、複数配列された受光セル22同士の間に、撮像レンズ14から取り込まれた光を受光する太陽電池28が設けられている。これにより、1つの素子で、撮像と発電の2つの機能を発揮することができる。また、撮像レンズ14を介して集光した光を太陽電池28が受光することにより、効率的に光エネルギーを集めることができるので、太陽電池28の表面積を小さくすることが可能である。よって、コンパクトで低コストの発電装置を構築することができる。
【選択図】図3

Description

本発明は、太陽電池を備えた固体撮像素子及び撮像装置に関する。
デジタルカメラ等の電子機器に太陽電池を設け、この電子機器に内蔵された二次電池に充電するものが提案されている。このような電子機器は、太陽電池に十分な光を照射することにより、半永久的な電源供給を可能にするものであるが、十分な大きさの太陽電池を設けることが必要であり、電子機器の小型化の妨げになってしまう。
従来技術としては、図14に示すような、カメラボディ202の背面に設けられたLCD204を覆うように、可視光を透過する透明な太陽電池206を設置したデジタルカメラ200がある(特許文献1)。
不透明な太陽電池では設置することができなかった箇所に太陽電池206を設置することによって、太陽電池206の表面積を大きく確保することができ、十分な電力を得るようにしたものである。
しかし、特許文献1は、光エネルギーを効率的に集める工夫によって、太陽電池の表面積を小さくするものではないので、ある程度の大きさを必要とするものである。よって、この太陽電池が、電子機器の更なる小型化及び軽量化の妨げになってしまう。また、太陽電池は高価であり、このような発電装置を新たに設けることで、従来のデジタルカメラに比べてコストが大幅に高くなってしまう。
特開2000−92362号公報
本発明は係る事実を考慮し、固体撮像素子に太陽電池を設けることによって、レンズで光エネルギーを効率的に集め、コンパクトで低コストの発電装置を有する固体撮像素子及び撮像装置を提供することを課題とする。
請求項1に記載の発明は、所定のピッチで複数配列され、撮像レンズから取り込まれた被写体光を受光する感光画素を有する受光セルと、前記受光セル同士の間、及び前記受光セルの少なくとも一方に設けられ、前記撮像レンズから取り込まれた光を受光する太陽電池と、を備えることを特徴としている。
請求項1に記載の発明では、固体撮像素子が、受光セルと太陽電池を備えている。受光セルは、撮像レンズから取り込まれた被写体光を受光する感光画素を有し、所定のピッチで複数配列されている。また、太陽電池は、複数配列された受光セル同士の間、及び受光セルの少なくとも一方に設けられ、撮像レンズから取り込まれた光を受光する。
これにより、固体撮像素子に感光画素と太陽電池が設けられているので、1つの素子で、撮像と発電の2つの機能を発揮することができる。よって、低コストの発電装置を構築することができる。
また、感光画素と太陽電池は、同一の撮像レンズから取り込まれた被写体光や光を受光するので、太陽電池の採光のための開口部を別途設ける必要がない。
また、撮像レンズを介して集光した光を太陽電池が受光することにより、効率的に光エネルギーを集めることができるので、太陽電池の表面積を小さくすることが可能である。よって、コンパクトで低コストの発電装置を構築することができる。
請求項2に記載の発明は、前記受光セルが、所定のピッチでハニカム状に複数配列されていることを特徴としている。
請求項2に記載の発明では、感光画素を有する受光セルがハニカム状に複数配列されているので、受光セルの面積を大きくとることができる。よって、受光セル同士の間、及び受光セルの少なくとも一方に太陽電池を配置しても、十分な感光画素の面積を確保することができ、撮像性能を低下させることなく、発電設備を構築することができる。また、受光セルに十分な大きさの太陽電池を設けることができる。
請求項3に記載の発明は、前記感光画素は、CCD感光部であることを特徴としている。
請求項3に記載の発明では、感光画素がCCD感光部であるので、従来のCCD型固体撮像素子の製造プロセスを流用することができる。よって、製造コストを安く抑えることができる。
請求項4に記載の発明は、前記感光画素は、CMOS感光部であることを特徴としている。
請求項4に記載の発明では、感光画素がCMOS感光部であるので、従来のCMOS型固体撮像素子の製造プロセスを流用することができる。よって、製造コストを安く抑えることができる。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜請求項4の何れかの固体撮像素子と、前記固体撮像素子に備えられた前記太陽電池により充電される二次電池と、前記二次電池の容量を検知する検知手段と、前記撮像レンズを覆う開閉式の撮像レンズカバーと、を有し、前記検知手段によって検知された前記二次電池の容量が、所定値以下となったときに、前記撮像レンズカバーを自動に開状態とすることを特徴としている。
請求項5に記載の発明では、固体撮像素子に備えられた太陽電池により二次電池が充電される。そして、この二次電池の容量は検知手段によって検知される。また、撮像レンズには、このレンズを覆う開閉式の撮像レンズカバーが設けられている。
また、検知手段が検知した二次電池の容量が所定値以下となったときに、撮像レンズカバーは、自動に開状態となる。
よって、長期に使用しない場合においても、二次電池が電池切れになることを防ぐことができる。
請求項6に記載の発明は、前記二次電池が放熱体で覆われ、前記固体撮像素子に近接して設けられていることを特徴としている。
請求項6に記載の発明では、放熱体で覆われた二次電池が、固体撮像素子に近接して設けられているので、二次電池が固体撮像素子のヒートシンクの役割りを果たし、固体撮像素子の省電力化や温度上昇によるノイズ低減効果を得ることができる。また、太陽電池から二次電池までの配線距離が短くなるので、搬送電流のロスを少なくすることができる。
本発明は上記構成としたので、固体撮像素子に太陽電池を設けることによって、レンズで光エネルギーを効率的に集め、コンパクトで低コストの発電装置を提供することができる。
図面を参照しながら、デジタルカメラに本発明を適用した例を説明する。なお、本発明はデジタルカメラに限らずに、撮像レンズ及び固体撮像素子を有するデジタルビデオカメラやカメラ付携帯電話等のさまざまな電子機器への適用が可能である。
まず、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置について説明する。図1には、第1の実施形態の撮像装置となるデジタルカメラ12のブロック図が示されている。
デジタルカメラ12は、CCD型固体撮像素子10を介して撮像した被写体の光学像をデジタル画像データに変換して記録メディア163に記録するデジタルカメラである。
デジタルカメラ12全体の動作は、カメラ内臓の中央処理装置(以下、CPUと記載)164によって統括制御される。CPU164は、所定のプログラムに従って本カメラシステムを制御する制御手段として機能すると共に、自動露出(AE)演算、自動焦点調節(AF)演算、及びオートホワイトバランス(AWB)制御など各種演算を実施する演算手段として機能する。
CPU164はバスを介してROM165及びメモリ(RAM)166と接続されている。ROM165にはCPU164が実行するプログラム及び制御に必要な各種データなどが格納されている。メモリ166はプログラムの展開領域及びCPU164の演算作業用領域として利用されると共に、画像データの一時記憶領域として利用される。画像データの一時記憶領域には主メモリ166Aと副メモリ166Bを備えている。
また、CPU164にはEEPROM167が接続されている。EEPROM167はAE、AF及びAWB等の制御に必要なデータ或いはユーザが設定したカスタマイズ情報などが格納される不揮発性の記憶手段であり、必要に応じてデータの書き換えが可能であると共に、電源オフ時においても情報内容が保持される。CPU164は必要に応じてEEPROM167のデータを参照して演算を行う。
デジタルカメラ12にはユーザが各種の指令を入力するための操作部168が設けられている。操作部168は、シャッターボタン、ズームスイッチ、モード切換スイッチなど各種操作部を含む。シャッターボタンは、撮影開始の指示を入力する操作手段であり、半押し時にオンするS1スイッチと、全押し時にオンするS2スイッチとを有する二段ストローク式のスイッチで構成されている。S1オンにより、AE及びAF処理が行われ、S2オンによって記録用の露光が行われる。ズームスイッチは、撮影倍率や再生倍率を変更するための操作手段である。モード切換スイッチは、撮影モードと再生モードとを切換えるための操作手段である。
また、操作部168には、上記の他、撮影目的に応じて最適な動作モード(連写モード、オート撮影モード、マニュアル撮影モード、人物モード、風景モード、夜景モードなど)を設定する撮影モード設定手段、液晶モニタ(表示装置)169にメニュー画面を表示させるメニューボタン、メニュー画面から所望の項目を選択する十字ボタン(カーソル移動操作手段)、選択項目の確定や処理の実行を指令するOKボタン、選択項目など所望の対象の消去や指示内容の取消し、或いは1つ前の操作状態に戻らせる指令を入力するキャンセルボタンなどの操作手段も含まれる。
なお、操作部168の中には、プッシュ式のスイッチ部材、ダイヤル部材、レバースイッチなどの構成によるものに限らず、メニュー画面から所望の項目を選択するようなユーザインターフェースによって実現されるものも含まれている。
操作部168からの信号はCPU164に入力される。CPU164は操作部168からの入力信号に基づいてデジタルカメラ12の各回路を制御し、例えば、レンズ駆動制御、撮影動作制御、画像処理制御、画像データの記録/再生制御、液晶モニタ(表示装置)169の表示制御などを行う。
液晶モニタ169は、撮影時に画角確認用の電子ファインダーとして使用できると共に、記録済み画像を再生表示する手段として利用される。また、液晶モニタ169は、ユーザインターフェース用表示画面としても利用され、必要に応じてメニュー情報や選択項目、設定内容などの情報が表示される。なお、第1の実施形態では、表示装置には液晶ディスプレイを用いたが、有機ELなど他の方式の表示装置(表示手段)を用いることも可能である。
次に、デジタルカメラ12の撮影機能について説明する。
デジタルカメラ12は撮像レンズ14と絞り兼用メカシャッター16とを含む光学系と、CCD型固体撮像素子10と、撮像レンズカバー18とを備えている。なお、CCD型固体撮像素子10に代えて、CMOS型固体撮像素子など他の方式の撮像素子を用いることも可能である。撮像レンズ14は電動式のズームレンズで構成されており、主として倍率変更(焦点距離可変)作用をもたらす変倍レンズ群170及び補正レンズ群171と、フォーカス調整に寄与するフォーカスレンズ172とを含む。
撮影者によって操作部168のズームスイッチが操作されると、そのスイッチ操作に応じてCPU164からレンズドライバー173に対して光学系制御信号が出力される。レンズドライバー173は、CPU164からの制御信号に基づいてレンズ駆動用の信号を生成し、ズームモータ(不図示)に与える。こうして、レンズドライバー173から出力されるモータ駆動電圧によってズームモータが作動し、撮像レンズ内の変倍レンズ群170及び補正レンズ群171が光軸に沿って前後移動することにより、撮像レンズ14の焦点距離(光学ズーム倍率)が変更される。
また、CPU164は絞りドライバー174を介して絞り兼用メカシャッター16の制御を行っている。
光学系を通過した光は、CCD型固体撮像素子10の受光面に入射する。CCD型固体撮像素子10の受光面には多数のフォトセンサ(受光素子)が平面的に配列され、各フォトセンサに対応して赤(R)、緑(G)、青(B)の原色カラーフィルタが所定の配列構造で配置されている。
CCD型固体撮像素子10の受光面に結像された被写体像は、各フォトセンサによって入射光量に応じた量の信号電荷に変換される。
CCD型固体撮像素子10の各フォトセンサに蓄積された信号電荷は、CCDドライバー175から与えられるパルスに基づいて信号電荷に応じた電圧信号(撮像信号)として順次読出され、CCD型固体撮像素子10から出力された画像信号はアナログ処理部(CDS/GCA)176に送られる。アナログ処理部176は、CDS(相関二重サンプリング)回路及びGCA回路(ゲイン調整回路)を含む処理部であり、このアナログ処理部176において、サンプリング処理並びにR、G、Bの各色信号に色分離処理され、各色信号の信号レベルの調整が行われる。
アナログ処理部176から出力された画像信号はA/D変換器177によってデジタル信号に変換された後、デジタル信号処理部178を介してメモリ166に格納される。タイミングジェネレータ(TG)179は、CPU164の指令に従ってCCDドライバー175、アナログ処理部176及びA/D変換器177に対してタイミング信号を与えており、このタイミング信号によって各回路の同期がとられている。
デジタル信号処理部178は、メモリ166の読み書きを制御するメモリコントローラを兼ねたデジタル信号処理ブロックである。デジタル信号処理部178は、オフセット処理部、シェーディング補正部、欠陥画素(キズ)補正部、AE/AF/AWB処理を行うオート演算部、ホワイトバランス回路、ガンマ変換回路、同時化回路(単板CCDのカラーフィルタ配列に伴う色信号の空間的なズレを補間して各点の色を計算する処理回路)、輝度・色差信号輝度・色差信号生成回路、輪郭補正回路、コントラスト補正回路等を含む画像処理手段であり、CPU164からのコマンドに従ってメモリ166を活用しながら画像信号を処理する。
メモリ166に格納されたデータ(CCDRAWデータ)は、バスを介してデジタル信号処理部178に送られる。デジタル信号処理部178に入力された画像データは、ホワイトバランス調整処理、ガンマ変換処理、輝度信号(Y信号)及び色差信号(Cr、Cb信号)への変換処理(YC処理)など、所定の信号処理が施された後、メモリ166に格納される。
撮影画像をモニタ出力する場合、メモリ166から画像データが読出され、表示回路208に送られる。表示回路208に送られた画像データは表示用の所定方式の信号(例えば、NTSC方式のカラー複合映像信号)に変換された後、液晶モニタ169に出力される。CCD型固体撮像素子10から出力される画像信号によってメモリ166内の画像データが定期的に書換えられ、その画像データから生成される映像信号が液晶モニタ169に供給されることにより、撮像中の映像(スルー画)がリアルタイムに液晶モニタ169に表示される。撮影者は液晶モニタ169に表示される映像(いわゆるスルームービー)によって画角(構図)を確認できる。
撮影者が画角を決めてシャッターボタンを押下すると、CPU164はこれを検知し、シャッターボタンの半押し(S1オン)に応動してAE処理、AF処理及びAWB処理を行い、シャッターボタンの全押し(S2オン)に応動して記録用の画像を取込むためのCCD露光及び読出し制御を開始する。
すなわち、CPU164は、S1オンに応動して取込まれた画像データから焦点評価演算やAE演算などの各種演算を行い、その演算結果に基づいてレンズドライバー173に制御信号を送り、不図示のAFモータを制御してフォーカスレンズ172を合焦位置に移動させる。
また、AE演算部は撮影画像の1画面を複数のエリア(例えば、16×16)に分割し、分割エリアごとにRGB信号を積算する回路を含み、その積算値をCPU164に提供する。RGBの各色信号について積算値を求めてもよいし、これらのうちの一色(例えば、G信号)のみについて積算値を求めてもよい。
CPU164は、AE演算部から得た積算値に基づいて重み付け加算を行い、被写体の明るさ(被写体輝度)を検出し、撮影に適した露出値(撮影EV値)を算出する。
デジタルカメラ12のAEは、広いダイナミックレンジを精度よく測光するために、複数回の測光を行い、被写体の輝度を正しく認識する。例えば、5〜17EVの範囲を測光するのに、1回の測光で3EVの範囲を測定できるものとすると、露出条件を変えながら最大で4回の測光が行われる。
ある露出条件で測光を行い、各分割エリアの積算値を監視する。画像内に飽和しているエリアが存在していれば露出条件を変えて測光を行う。その一方、画像内に飽和しているエリアがなければ、その露出条件で正しく測光できるため、更なる露出条件の変更は行わない。
こうして、複数回に分けて測光を実行することで広いレンジ(5〜17EV)を測光し、最適な露出条件を決定する。なお、1回の測光で測定できる範囲や、測光すべき範囲については、カメラ機種ごとに適宜設計可能である。
CPU164は、上述のAE演算結果に基づいて絞りとシャッタースピードを制御し、シャッターボタンの全押し(S2オン)に応動して記録用の画像を取得する。
S2オンに応動して取込まれた画像データは、図1に示したデジタル信号処理部178においてYC処理その他の所定の信号処理を経た後、圧縮伸張回路209において所定の圧縮フォーマット(例えば、JPEG方式)に従って圧縮される。圧縮された画像データは、メディアインターフェース部(不図示)を介して記録メディア163に記録される。圧縮形式はJPEGに限定されず、MPEGその他の方式を採用してもよい。
画像データを保存する手段は、スマートメディア(登録商標)、コンパクトフラッシュ(登録商標)などに代表される半導体メモリカード、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスクなど、種々の媒体を用いることができる。また、リムーバブルメディアに限らず、デジタルカメラ12に内臓された記録媒体(内部メモリ)であってもよい。
操作部168のモード選択スイッチによって再生モードが選択されると、記録メディア163に記録されている最終の画像ファイル(最後に記録したファイル)が読出される。記録メディア163から読出された画像ファイルのデータは、圧縮伸張回路209によって伸張処理され、表示回路208を介して液晶モニタ169に出力される。
再生モードの一コマ再生時に十字ボタンを操作することにより、順方向又は逆方向にコマ送りすることができ、コマ送りされた次のファイルが記録メディア163から読出され、表示画像が更新される。
デジタルカメラ12の電源は、デジタルカメラ12に搭載された二次電池210又は後に述べるCCD型固体撮像素子10に設けられたシリコン太陽電池28から供給される。デジタルカメラ12を外部電源212に接続した場合には、外部電源212からデジタルカメラ12の電源を供給することもできる。また、CCD型固体撮像素子10に設けられたシリコン太陽電池28から二次電池210に充電することもできるようになっている。
図2には、第1の実施形態の固体撮像素子となるCCD型固体撮像素子10と、撮像装置となるデジタルカメラ12が示されている。
図2の左側に示されるように、デジタルカメラ12の撮像レンズ14から取り込まれた被写体光や光は、メカシャッター16を介してCCD型固体撮像素子10の受光面に入射する。撮像レンズ14は、自動開閉式の撮像レンズカバー18に覆われ、この撮像レンズカバー18は、デジタルカメラ12の撮影時には開状態となっている。
図2の右側には、CCD型固体撮像素子10の受光面を拡大した平面図が示されている。CCD型固体撮像素子10の受光領域20には、受光セル22が所定のピッチでハニカム状に複数配列されている。
各受光セル22には、図3に示すように、感度の異なる2つのフォトダイオード領域24、26が上下に並んで配置され、略八角形を形成している。第1のフォトダイオード領域26は、相対的に広い面積を有し、主たる感光部(以下、主感光画素と記載)を構成し、第2のフォトダイオード領域24は、相対的に狭い面積を有し、従たる感光部(以下、従感光画素と記載)を構成する。
また、縦に並んだ受光セル22同士の間、及び横に並んだ受光セル22同士の間には、BSF型シリコン太陽電池28(以下、シリコン太陽電池と記載)が設けられている。
また、受光セル22の右側及び左側に近接するように、垂直転送路30と垂直電流配線32が左右に並んで蛇行して形成されている。
例えば、図3に示した4列の受光セル22において、左から2列目の受光セル22右側の垂直転送路30は、左から2列目の受光セル22の感光画素からの電荷を読み出して転送するためのものであり、左から4列目の受光セル22左側の垂直転送路30は、左から3列目の受光セル22の感光画素からの電荷を読み出して転送するためのものである。
そして、左から2列目の受光セル22右側の垂直電流配線32は、左から3列目のシリコン太陽電池28から発生する出力電流の経路であり、左から2列目の受光セル22左側の垂直電流配線32は、左から2列目のシリコン太陽電池28から発生する出力電流の経路である。
図3のA−A断面に沿う断面図の図4に示すように、n型半導体基板34の表面にp型ウエル36が形成されている。p型ウエル36の表面領域には、2つのn型領域38、40が形成され、フォトダイオードを構成している。n型領域40のフォトダイオードが主感光画素26に相当し、n型領域38のフォトダイオードが従感光画素24に相当する。
主感光画素26の左隣、及び従感光画素24の右隣にはp型領域42が形成され、その外側にはp型ウエル36を介して、垂直転送路30を構成するn型領域44が配置されている。p型領域42は、主感光画素26、従感光画素24や垂直転送路30等の電気的な分離を行うチャンネルストップ領域である。また、n型領域38、44の間のp型ウエル36は、読み出しトランジスタを構成している。
半導体基板表面上には酸化シリコン膜等の絶縁層が形成され、その上にポリシリコンで形成された転送電極46が形成されている。転送電極46は、垂直転送路30上方を覆うように配置されている。転送電極46の上に、酸化シリコン等の絶縁層が形成され、その上に垂直転送路30等の構成要素を覆い、フォトダイオード上方に開口を有する遮光膜48がタングステン等により形成されている。
ホスホシリケートガラス等で形成された層間絶縁膜50が遮光膜48を覆うように形成され、その表面は平坦化されている。層間絶縁膜50の上には、カラーフィルタ層52が形成されている。このカラーフィルタ層52は、例えば赤色領域、緑色領域、及び青色領域等の3色以上の色領域を含み、各受光セル22について一色の色領域が割り当てられている。
カラーフィルタ層52の上に各受光セル22に対応してマイクロレンズ54がレジスト材料等により形成されている。マイクロレンズ54は、各受光セル22の上に1つ形成されており、上方より入射する被写体光を遮光膜48が画定する開口内に集光させる機能を有する。
マイクロレンズ54を介して入射した被写体光は、カラーフィルタ層52によって色分解され、主感光画素26及び従感光画素24の各フォトダイオード領域にそれぞれ入射する。各フォトダイオード領域に入射した被写体光は、その光量に応じた信号電荷に変換され、それぞれ別々に垂直転送路30に読み出される。
また、積層されたn型半導体基板34、p型ウエル36、層間絶縁膜50の両側面には、絶縁膜56が形成され、この内部に、シリコン太陽電池28から発生する出力電流の経路となる垂直電流配線32が配置されている。
図3のB−B断面に沿う断面図の図5に示すように、シリコン太陽電池28は、p電極58の上に、p+拡散層60、p型シリコン62、N+拡散層64がこの順に積層され、N+拡散層64の上面に反射防止膜66とN電極68が並んで設けられている。また、積層されたp電極58、p+拡散層60、p型シリコン62、及びN+拡散層64の両側面には、絶縁膜70が形成されている。
よって、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池28に入射すると、pn接合の光起電力効果により、光を電気に変換し、p電極58からN電極68へ電流が流れる。
こうして、受光セル22から感度の異なる2種類の画像信号を取り出し、シリコン太陽電池28から出力電流を取り出すことができる。
図2に示すように、受光領域20の右側には、転送電極46にパルス電圧を印加するVCCD駆動回路72が配置されている。また、受光領域20の下側には、垂直転送路30から移された信号電荷を水平方向に転送する水平転送路74が設けられている。
水平転送路74は、2相駆動の転送CCDで構成されており、水平転送路74の最終段は出力部76に接続されている。出力部76は出力アンプを含み、入力された信号電荷の電荷検出を行い、信号電圧として出力端子に出力される。こうして、各受光セル22で光電変換した信号が点順次の信号列として出力される。
また、受光領域20の上側には、垂直電流配線32から移された出力電流を水平方向に転送する水平電流配線78が設けられている。水平電流配線78の最終段は集合電極となる出力部80に接続され、この出力部80は昇圧回路及び定電圧制御回路を有するDC/DCコンバータ211を介してデジタルカメラ12の電源及び二次電池210に接続されている。
次に、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置の作用及び効果について説明する。
第1の実施形態では、CCD型固体撮像素子10から撮像信号の読み出しを行うときには、まず、蓄積電荷を一斉に垂直転送路30に読み出し、これらを1ラインずつシフトさせて水平転送路74に読み出す。
次に、水平転送路74の出力方向に順次シフトさせて1水平ライン分の信号が出力される。このようにして得られた撮像信号は信号処理系送られ、所定の信号処理を施された後に記録メディアに記録される。
また、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池28に入射すると、シリコン太陽電池28から垂直電流配線32に出力電流が流され、この電流が水平電流配線78に転送された後に出力部80に集まる。そして、この出力電流は、デジタルカメラ12の電源や二次電池210の充電に用いられる。また、デジタルカメラ12を外部電源212に接続してデジタルカメラ12の電源とすることも可能である。
よって、CCD型固体撮像素子10に感光画素24、26とシリコン太陽電池28が設けられているので、1つの素子で、撮像と発電の2つの機能を発揮することができる。よって、低コストの発電装置を構築することができる。
また、感光画素24、26とシリコン太陽電池28は、同一の撮像レンズ14から取り込まれた被写体光又は光を受光するので、シリコン太陽電池28の採光のための開口部をデジタルカメラ12に別途設ける必要がない。
また、撮像レンズ14を介して集光した光をシリコン太陽電池28が受光することにより、効率的に光エネルギーを集めることができるので、シリコン太陽電池28の表面積を小さくすることが可能である。よって、コンパクトで低コストの発電装置を構築することができる。
また、受光セル22がハニカム状に複数配列されているので、受光セル22の面積を大きくとることができる。よって、受光セル22に複数の感光画素24、26を配置でき、さらには、それらの面積を大きくとることができる。このように、受光セル22同士の間にシリコン太陽電池28を配置しても、十分な感光画素24、26の面積を確保することができ、広いダイナミックレンジを持たせることができるので、撮像性能を低下させることなく、発電設備を構築することができる。
また、シリコン太陽電池28はシリコン材料で作られているので、同様のシリコン材料で作られている従来のCCD型固体撮像素子の製造プロセスを流用することができる。よって、製造コストを安く抑えることができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置について説明する。
第2の実施形態は、第1の実施形態の受光セル22同士の間に設けられていたシリコン太陽電池28を従感光画素24の位置に設けたものである。したがって、以下の説明において、第1の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。
図6には、第2の実施形態の固体撮像素子となるCCD型固体撮像素子82と、撮像装置となるデジタルカメラ84が示されている。デジタルカメラ84のブロック図は、第1の実施形態の図1と同様である。
図6の右側には、CCD型固体撮像素子82の受光面を拡大した平面図が示されている。CCD型固体撮像素子82の受光領域86には、受光セル88が所定のピッチでハニカム状に複数配列されている。
各受光セル88には、図7に示すように、BSF型シリコン太陽電池90(以下、シリコン太陽電池と記載)とフォトダイオード領域92が上下に並んで配置され、略八角形を形成している。フォトダイオード領域92は、相対的に広い面積を有し、感光部(以下、感光画素と記載)を構成し、シリコン太陽電池90は、相対的に狭い面積を有している。
また、受光セル88の右側及び左側に近接するように、垂直転送路30と垂直電流配線32が左右に並んで蛇行して形成されている。
図7に示す2つの受光セル88の右側に形成されている垂直転送路30は、これらの受光セル88の感光画素92の電荷を読み出して転送するためのものである。また、これらの受光セル88の左側に形成されている垂直転送路30は、これらの受光セル88の上側及び下側に配置される、図示されていない受光セル88の感光画素92の電荷を読み出して転送するためのものである。
そして、図7に示す2つの受光セル88の左側に形成されている垂直電流配線32は、これらの受光セル88のシリコン太陽電池90から発生する出力電流の経路である。また、これらの受光セル88の右側に形成されている垂直電流配線32は、これらの受光セル88の上側及び下側に配置される、図示されていない受光セル88のシリコン太陽電池90から発生する出力電流の経路である。
図7のC−C断面に沿う断面図の図8に示すように、受光セル88の構造は、図4に示した受光セル22とほぼ同様の構造と、図5に示したシリコン太陽電池28と同様の構造とを絶縁膜94を介して接合したものである。したがって、説明は省略する。積層されたn型半導体基板34、p型ウエル36、層間絶縁膜50の左側面には、絶縁膜56が形成され、この内部に、シリコン太陽電池90から発生する出力電流の経路となる垂直電流配線32が配置されている。
よって、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池90に入射すると、pn接合の光起電力効果により、光を電気に変換し、p電極58からN電極68へ電流が流れる。
こうして、感光画素92から画像信号を取り出し、シリコン太陽電池90から出力電流を取り出すことができる。
図6に示すように、受光領域20の周囲には、VCCD駆動回路72、水平転送路74、及び水平電流配線78が設けられている。
水平転送路74の最終段は出力部76に接続され、各受光セルで光電変換した信号が点順次の信号列として出力される。また、水平電流配線78の最終段は集合電極となる出力部80に接続され、この出力部80はDC/DCコンバータを介してデジタルカメラ84の電源及び二次電池に接続されている。
次に、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置の作用及び効果について説明する。
第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の効果を得ることができ、また、受光セル88がハニカム状に複数配列されているので、受光セル88の面積を大きくとることができる。よって、受光セル88にシリコン太陽電池90と感光画素92を配置でき、さらには、それらの面積を大きくとることができる。このように、受光セル88にシリコン太陽電池90を配置しても、十分な感光画素92の面積を確保することができるので、撮像性能を低下させることなく、発電設備を構築することができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置について説明する。
第3の実施形態は、第1の実施形態の固体撮像素子となるCCD型固体撮像素子10をCMOS型固体撮像素子としたものである。したがって、以下の説明において、第1の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。図9には、第3の実施形態の固体撮像素子となるCMOS型固体撮像素子96と、撮像装置となるデジタルカメラ98が示されている。デジタルカメラ98のブロック図は、第1の実施形態の図1のCCD型固体撮像素子10をCMOS型固体撮像素子96としたものとなっている。
図9の右側には、デジタルカメラ98のCMOS型固体撮像素子96の受光面を拡大した平面図が示されている。CMOS型固体撮像素子96の受光領域100には、受光セル102が所定のピッチでハニカム状に複数配列されている。
各受光セル102には、相対的に狭い面積の従感光画素104と、相対的に広い面積の主感光画素106が上下に並んで配置され、略八角形を形成している。このCMOS型固体撮像素子96は、従感光画素104、主感光画素106で受光された被写体光を信号電荷に変換するフォトダイオード108、110上にRGBカラーフィルタやマイクロレンズが積層された構造となっている。
また、縦に並んだ受光セル102同士の間、及び横に並んだ受光セル102同士の間には、BSF型シリコン太陽電池112(以下、シリコン太陽電池と記載)が設けられている。
また、受光セル102の左側に近接するように、垂直電流配線32が蛇行して形成されている。各シリコン太陽電池112の左側の垂直電流配線32が、各シリコン太陽電池112から発生する出力電流の経路である。
CMOS型固体撮像素子96の電気的構成を示す図10において、制御回路114は、CMOS型固体撮像素子96の各部の動作を統括的に制御する。1つの受光セル102は、フォトダイオード110、108、出力用トランジスタ118、116、ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120、選択ゲート122、リセットゲート124、及び読み出し切替論理回路126から構成され、垂直走査回路128、及び水平走査回路130に接続されている。
フォトダイオード110、108は、それぞれ出力用トランジスタ118、116のゲート端子に接続されている。出力用トランジスタ118、116のドレイン端子は互いに接続され、ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120のゲート端子に接続されている。また、出力用トランジスタ118、116のソース端子は、読み出し切替論理回路126を介して互いに接続されている。
ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120は、フォトダイオード110、108の電位を増幅させるためのもので、そのソース端子は各受光セル共通の信号線Xに接続されている。信号線Xには、各受光セル列の外に配置されたアンプ/ノイズ除去回路132が接続されている。このアンプ/ノイズ除去回路132は、受光セル毎に設けられた増幅器の利得とオフセットのばらつきを補償し、リセット雑音、熱雑音、1/f雑音などのノイズを除去する。
選択ゲート122は、信号線Yを介して垂直走査回路128に接続されており、受光セル102の垂直方向の走査選択を行う。リセットゲート124は、フォトダイオード110、108の電位を初期状態に戻す。水平走査回路130は、信号電荷を読み出す受光セル列を選択する。
また、シリコン太陽電池112は、垂直電流配線32に接続されている。よって、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池112に入射すると、pn接合の光起電力効果により、光を電気に変換し、垂直電流配線32に電流が流れる。
こうして、受光セル102から感度の異なる2種類の画像信号を取り出し、シリコン太陽電池112から出力電流を取り出すことができる。
また、図9に示すように、受光領域100の上側には、垂直電流配線32から移された出力電流を水平方向に転送する水平電流配線78が設けられている。水平電流配線78の最終段は集合電極となる出力部80に接続され、この出力部80はDC/DCコンバータを介してデジタルカメラ98の電源及び二次電池に接続されている。
次に、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置の作用及び効果について説明する。
第3の実施形態では、信号電荷を読み出す受光セル102が選択されると、ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120が駆動して、フォトダイオード110、108の何れかに蓄積された信号電荷が撮像信号として出力される。通常は、主感光画素106に対応する出力用トランジスタ118が駆動して、フォトダイオード110に蓄積された信号電荷が撮像信号として出力される。
一方、ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120の駆動と同期して、制御回路114から読み出し切替論理回路126に切替パルスが出力されると、出力用トランジスタ118、116のソース端子の電位が逆転し、従感光画素104に対応する出力用トランジスタ116が駆動して、フォトダイオード108に蓄積された信号電荷が撮像信号として出力される。
主感光画素106、従感光画素104に蓄積された信号電荷は、共通の信号線X、Yを介して読み出される。このため、主感光画素106、従感光画素104の各々に信号線を接続する必要がなく、回線構成を簡略化させることができる。
フォトダイオード110、108から出力された信号電荷は、アンプ/ノイズ除去回路132を経て、出力部134でインピーダンス変換され、高感度信号Hと低感度信号Lとしてバッファメモリ136に送信される。バッファメモリ136では、この高感度信号Hと低感度信号Lとを別々の記憶領域に一時記録する。バッファメモリ136に一時記録された高感度信号Hと低感度信号Lは、画像合成処理回路138に送信される。画像合成処理回路138は、高感度信号Hと低感度信号Lとを合成し、1つの画像データとして外部に出力する。
また、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池112に入射すると、シリコン太陽電池112から垂直電流配線32に出力電流が流され、この電流が水平電流配線78に転送された後に出力部80に集まる。そして、この出力電流は、デジタルカメラ98の電源や二次電池の充電に用いられる。また、デジタルカメラ98を外部電源に接続してデジタルカメラ98の電源とすることも可能である。
よって、第3の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができ、また、シリコン太陽電池112はシリコン材料で作られているので、同様のシリコン材料で作られている従来のCMOS型固体撮像素子の製造プロセスを流用することができる。よって、製造コストを安く抑えることができる。
次に、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置について説明する。
第4の実施形態は、第3の実施形態の受光セル102同士の間に設けられていたシリコン太陽電池112を従感光画素104の位置に設けたものである。したがって、以下の説明において、第3の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。図11には、第4の実施形態の固体撮像素子となるCMOS型固体撮像素子140と、撮像装置となるデジタルカメラ142が示されている。デジタルカメラ142のブロック図は、第1の実施形態の図1のCCD型固体撮像素子10をCMOS型固体撮像素子140としたものとなっている。
図11の右側には、デジタルカメラ142のCMOS型固体撮像素子140の受光面を拡大した平面図が示されている。CMOS型固体撮像素子140の受光領域144には、受光セル146が所定のピッチでハニカム状に複数配列されている。
各受光セル146には、図11に示すように、相対的に狭い面積のBSF型シリコン太陽電池148(以下、シリコン太陽電池と記載)と相対的に広い面積の感光画素150が上下に並んで配置され、略八角形を形成している。
このCMOS型固体撮像素子140は、感光画素150で受光された被写体光を信号電荷に変換するフォトダイオード152上にRGBカラーフィルタやマイクロレンズが積層された構造となっている。
また、受光セル146の左側に近接するように、垂直電流配線32が蛇行して形成されている。各シリコン太陽電池148の左側の垂直電流配線32が、各シリコン太陽電池148から発生する出力電流の経路である。
CMOS型固体撮像素子140の電気的構成を示す図12において、1つの受光セル146は、フォトダイオード152、出力用トランジスタ154、ソースフォロアアンプのドライバトランジスタ120、選択ゲート122、リセットゲート124、及び読み出し切替論理回路126から構成され、垂直走査回路128、及び水平走査回路130に接続されている。他の構成については、第3の実施形態とほぼ同様であるので説明を省略する。
また、シリコン太陽電池148は、垂直電流配線32に接続されている。よって、撮像レンズ14から取り込まれた光がシリコン太陽電池148に入射すると、pn接合の光起電力効果により、光を電気に変換し、シリコン太陽電池148から垂直電流配線32に電流が流れる。
こうして、感光画素150から画像信号を取り出し、シリコン太陽電池148から出力電流を取り出すことができる。
また、図11に示すように、受光領域144の上側には、垂直電流配線32から移された出力電流を水平方向に転送する水平電流配線78が設けられている。水平電流配線78の最終段は集合電極となる出力部80に接続され、この出力部80はDC/DCコンバータを介してデジタルカメラ142の電源及び二次電池に接続されている。
次に、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置の作用及び効果について説明する。
第4の実施形態では、第3の実施形態と同様の効果を得ることができ、また、受光セル146がハニカム状に複数配列されているので、受光セル146の面積を大きくとることができる。よって、受光セル146にシリコン太陽電池148と感光画素150を配置でき、さらには、それらの面積を大きくとることができる。このように、受光セル146にシリコン太陽電池148を配置しても、十分な感光画素150の面積を確保することができるので、撮像性能を低下させることなく、発電設備を構築することができる。
次に、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置について説明する。
第5の実施形態は、第1の実施形態のCCD型固体撮像素子10の下面に補助電源としての二次電池を設けたものである。したがって、以下の説明において、第1の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。図13には、第5の実施形態のデジタルカメラ12の固体撮像素子となるCCD型固体撮像素子10が示されている。第5の実施形態のデジタルカメラ12のブロック図は、第1の実施形態の図1のDC/DCコンバータに、後に述べるコイン形二次電池158が接続されたものとなっている。
図13に示すように、受光セル22のn型半導体基板34やシリコン太陽電池28のp電極58が形成されたCCD型固体撮像素子10下層の下面には、絶縁膜156が形成され、その内部空間に二次電池となるコイン形二酸化マンガンリチウム二次電池158(以下、コイン形二次電池と記載)が、絶縁膜156を介してCCD型固体撮像素子10の下面に近接するように設けられている。このコイン形二次電池158は、金属製の放熱体で覆われ、デジタルカメラ12の時計等を稼動させるバックアップ電池として備えられたものである。また、コイン形二次電池158の上下のほぼ全面が絶縁膜156に接触している。そして、コイン形二次電池158の正極、負極と接触した電極片160、162が、絶縁膜156の外部下方に突出し、出力部80に接続されている。
また、デジタルカメラ12には、コイン形二次電池158の容量を検知する検知手段としての、図示されていない電圧計測装置が設けられている。電圧計測装置は、電極片160、162に接続され、コイン形二次電池158の電圧を計測する。
次に、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置の作用及び効果について説明する。
第5の実施形態では、デジタルカメラ12の撮影時や待機時には、撮像レンズカバー18が開状態となり、撮像レンズ14から取り込まれた光がCCD型固体撮像素子10のシリコン太陽電池28に入射する。そして、シリコン太陽電池28から発生する出力電流によってコイン形二次電池158が充電される。
また、デジタルカメラ12の再生時や電源OFF時には、撮像レンズカバー18が閉状態となる。
ここで、シリコン太陽電池28の電圧は、電圧計測装置によって計測されており、この値が所定値以下となったときに、閉状態の撮像レンズカバー18は自動に開状態となる。
よって、長期にデジタルカメラ12を使用しない場合においても、コイン形二次電池158が電池切れになることを防ぐことができる。
また、放熱体で覆われたコイン形二次電池158が、CCD型固体撮像素子10に近接して設けられているので、コイン形二次電池158がCCD型固体撮像素子10のヒートシンクの役割りを果たし、CCD型固体撮像素子10の省電力化や温度上昇によるノイズ低減効果を得ることができる。
また、シリコン太陽電池28からコイン形二次電池158までの配線距離が短くなるので、搬送電流のロスを少なくすることができる。
第5の実施形態では、二次電池をコイン形二酸化マンガンリチウム二次電池158とした例を示したが、放熱体で覆われた充電式電池であればよく、電気二重層コンデンサ等を用いることができる。小型、軽量のものが望ましい。
また、検知手段として、電圧計測装置の例を示したが、二次電池の容量を検知できるものであればよく、電流を計測する装置を用いてもよい。
また、デジタルカメラ12に、撮像レンズカバー18の開閉を強制的に行うことができるスイッチを設け、撮像レンズカバー18を常に開状態としておくことができるようにしてもよい。
また、第1の実施形態のCCD型固体撮像素子10の裏面に、コイン形二酸化マンガンリチウム二次電池158を設けた例を示したが、第2〜4の実施形態のCCD型固体撮像素子82及びCMOS型固体撮像素子96、140の裏面に設けてもよく、それぞれ第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、第1〜5の実施形態の太陽電池をBSF型シリコン太陽電池としたが、光を電気に変換できるものであればよく、CONV.型、BSR型、BSFR型、TEXTURE型等のシリコン太陽電池を用いることができる。
また、第1〜4の実施形態では、デジタルカメラ12、84、98、142の主電源となる二次電池の例を示し、第5の実施形態では、補助電源となるコイン形二次電池の例を示したが、第1〜第5の実施形態のデジタルカメラにおいて、主電源、補助電源のどちらの用途の二次電池であってもよい。二次電池を補助電源とする場合には、デジタルカメラの時計等を稼動させるバックアップ電源として用いることが好ましい。
また、第1の実施形態と第2の実施形態、又は第3の実施形態と第4の実施形態を組み合わせて、太陽電池を受光セル同士の間と、受光セルとの両方に設けるようにしてもよい。
また、シリコン太陽電池90、148の面積を感光画素92、150より小さくした例を示したが、必要な撮像及び発電性能に応じて適宜決めればよい。
このように、固体撮像素子に太陽電池を設けることによって、コンパクトで低コストの発電装置となるので、これを用いたデジタルビデオカメラやカメラ付携帯電話等のさまざまな電子機器の更なる小型化、軽量化、及び低コスト化が可能になる。
本発明の第1の実施形態に係る撮像装置のブロック図である。 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置を示す説明図である。 図2の拡大図である。 図3の断面図である。 図3の断面図である。 本発明の第2の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置を示す説明図である。 図6の拡大図である。 図7の断面図である。 本発明の第3の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置を示す説明図である。 本発明の第3の実施形態に係る固体撮像素子を示す説明図である。 本発明の第4の実施形態に係る固体撮像素子及び撮像装置を示す説明図である。 本発明の第4の実施形態に係る固体撮像素子を示す説明図である。 本発明の第5の実施形態に係る固体撮像素子を示す側断面図である。 従来の太陽電池付き携帯機器を示す概略図である。
符号の説明
10 CCD型固体撮像素子(固体撮像素子)
12 デジタルカメラ(撮像装置)
14 撮像レンズ
18 撮像レンズカバー
22 受光セル
28 BSF型シリコン太陽電池(太陽電池)
82 CCD型固体撮像素子(固体撮像素子)
84 デジタルカメラ(撮像装置)
88 受光セル
90 BSF型シリコン太陽電池(太陽電池)
96 CMOS型固体撮像素子(固体撮像素子)
98 デジタルカメラ(撮像装置)
102 受光セル
104 従感光画素(感光画素)
106 主感光画素(感光画素)
112 BSF型シリコン太陽電池(太陽電池)
140 CMOS型固体撮像素子(固体撮像素子)
142 デジタルカメラ(撮像装置)
146 受光セル
148 BSF型シリコン太陽電池(太陽電池)
150 感光画素
158 コイン形二酸化マンガンリチウム二次電池(二次電池)
210 二次電池

Claims (6)

  1. 所定のピッチで複数配列され、撮像レンズから取り込まれた被写体光を受光する感光画素を有する受光セルと、
    前記受光セル同士の間、及び前記受光セルの少なくとも一方に設けられ、前記撮像レンズから取り込まれた光を受光する太陽電池と、
    を備えることを特徴とする固体撮像素子。
  2. 前記受光セルが、所定のピッチでハニカム状に複数配列されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
  3. 前記感光画素は、CCD感光部であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の固体撮像素子。
  4. 前記感光画素は、CMOS感光部であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の固体撮像素子。
  5. 請求項1〜請求項4の何れかの固体撮像素子と、
    前記固体撮像素子に備えられた前記太陽電池により充電される二次電池と、
    前記二次電池の容量を検知する検知手段と、
    前記撮像レンズを覆う開閉式の撮像レンズカバーと、
    を有し、
    前記検知手段によって検知された前記二次電池の容量が、所定値以下となったときに、前記撮像レンズカバーを自動に開状態とすることを特徴とする撮像装置。
  6. 前記二次電池が放熱体で覆われ、前記固体撮像素子に近接して設けられていることを特徴とする請求項5に記載の撮像装置。
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