TWI248925B - Method for producing glass-like carbon pipe, and glass-like carbon pipe produced by such method - Google Patents

Description

1248925 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 玻璃狀碳管的使用正在被考慮用於CVD裝置的氣體 注入噴嘴與反應氣體輸送管。本發明關於製造玻璃狀碳管 的方法及以此種方法製造的玻璃狀碳管。 【先前技術】 玻璃狀碳管是碳材料，其典型上藉由使熱設定樹脂-諸如酚樹脂或呋喃樹脂-在高溫碳化而製造。玻璃狀的碳 在惰性的氛圍展現2000 °C或更高的熱阻，它對於氟化氫與 氟也具有優良的抗腐蝕性。因此，玻璃狀碳管的使用被考 慮用於管路中的氣體注入噴嘴與管，用於供應反應氣體至 CVD裝置’藉由彼’ 一薄膜沈積在諸如矽晶圓的基材上 〇 當需要直線形（其長度相當大）或彎曲形（諸如” L”形） 的玻璃狀碳管時，可以考慮若干製造途徑。一途徑是利用 黏劑連結玻璃狀碳管區段，各區段構建成爲此管的一分割 區段。然而，在連結處展現令人滿意的機械強度與氣密性 的產品從未由此方法製造，原因在於玻璃狀碳材料的化學 惰性。 另一方法是使樹脂前驅物碳化，以用於此形狀的玻璃 狀碳管。然而’此方法也難以完成，原因在於熱設定樹脂 的不良的可形成性。 鑑於此狀況，日本先行公開專利申請案200 1 -151574 (2) 1248925 號建議一種方法，其中首先製造直線形或彎曲形玻璃狀碳 管的樹脂前驅物的區段，且將這些區段黏合然後碳化。 在此先前技術的方法中，自熱設定樹脂·例如，藉由 模鑄·製造板形硬化物品，然後使用NC機器，藉由機製 ，在板形熱設定樹脂中形成對應於成品的流動路徑與裝配 部分的凹部，因此產生一對與熱設定樹脂硬化物品對應的 半管，其在平行於管的縱向軸線的方向切開。然後，使用 熱設定樹脂當作黏劑及藉由塗佈此黏劑於裝配部分上，黏 合半管形的硬化的熱設定樹脂物品。然後，如此黏合的熱 設定樹脂硬化物品碳化，以製造玻璃狀碳管。 然而，玻璃狀碳管之此先前技術的製造方法具有的一 缺點是延長的工作時間以用於機製，因此增加製造成本， 因爲此方法涉及使用NC機器或類似者機製脆性板形熱設 定樹脂硬化產品成爲所需要的形狀的步驟，且脆性物品的 機製關聯於不良的加工能力的問題。 此外，熱設定樹脂硬化物品通常有黏性減小的經歷， 原因在於當物品硬化至允許機製的程度時，熱設定樹脂的 反應性減小。此減小的黏合能力導致難以製造在連結處具 有令人滿意的機械強度與氣密性之產品的缺點。 【發明內容】 鑒於上述狀況，已完成本發明，且本發明之一目的是 提供一種製造玻璃狀碳管之方法，其能夠製造具有優良的 機械強度與氣密性之直線或彎曲管，且此方法能夠以低成 -6 - 1248925 (3) 本製造管，因爲不需要機製以提供螺紋或裝配部分。本發 明之另一目的是提供一種玻璃狀碳管，其由上述方法製造 本發明之此目的由如下述的本發明構成。 本發明關於製造玻璃狀碳管的方法，包含的步驟是： 藉由離心模製，製造複數具有螺紋部分的管形熱設定樹脂 模製物品；藉由連結螺紋部分，整合複數管形熱設定樹脂 模製物品；熱處理整合的熱設定樹脂模製物品，使物品完 全硬化；及碳化完全硬化的模製物品，以製造玻璃狀碳管 〇 本發明也關於製造玻璃狀碳管的方法，包含的步驟是 :藉由離心模製，製造複數具有裝配部分的管形熱設定樹 脂模製物品；藉由互相裝配，整合複數管形熱設定樹脂模 製物品；熱處理整合的熱設定樹脂模製物品，使物品完全 硬化；及碳化完全硬化的模製物品，以製造玻璃狀碳管。 在上述本發明的各種特點中，藉由熱設定樹脂模製物 品的熱處理完全硬化的步驟·即，所謂「硬化」步驟-可以 當作碳化步驟的初始級而執行。另言之，熱設定樹脂模製 物品的完全硬化可以在溫度自室溫漸漸升高至碳化溫度的 初始級中完成。 在上述製造玻璃狀碳管之方法中，一液體熱設定樹脂 可以當作黏劑，用於藉由在螺紋或裝配部分連結，整合複 數熱設定樹脂模製物品。 在上述製造玻璃狀碳管之方法中，複數熱設定樹脂模 1248925 (4) 製物品藉由螺紋裝配的連結較佳爲在樹脂半硬化時執行。 然而，連結不僅可以在樹脂半硬化時而且可以在完全硬化 以後進行。 本發明的製造玻璃狀碳管之方法能夠製造直線或彎曲 形（諸如” L”形）的玻璃狀碳管，其在連結處展現優良的機 械強度與氣密性，且此方法也能夠以低成本製造管，因爲 不需要機製以提供螺紋部分。而且，本發明的製造玻璃狀 碳管的方法能夠製造直線或彎曲形（諸如” L”形）的管，其 在連結處展現優良的機械強度與氣密性，且此方法也能夠 以低成本製造管，因爲不需要機製以提供裝配部分。 由如上述製造玻璃狀碳管之方法製造的直線與” L”形 及其他彎曲的玻璃狀碳管也在本發明的範疇內。 【實施方式】 在依據本發明的製造玻璃狀碳管之方法中，熱設定樹 脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀，且各 具有螺紋部分-首先藉由離心模製製造。離心模製是一方 法，其中一熔融或液體熱設定樹脂澆入圓柱形鑄模的內部 ，且含有樹脂的鑄模轉動，以致於樹脂由於離心力而降伏 。然後，鑄模加熱，使樹脂硬化。利用此離心模製，熱設 定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀， 且各具有螺紋部分-可以使用用於形成管的主要部分的一 鑄模區段及用於形成螺紋部分的眾鑄模區段而製造，不需 要任何機製。例如，製造二件熱設定樹脂模製物品，其各 -8- 1248925 (5) 包含一直管主要部分’主要部分的一端具有一公螺紋部分 ，而另一端具有一母螺紋部分。 其次，一熱設定樹脂模製物品的公螺紋部分螺合進入 另一熱設定樹脂模製物品的母螺紋部分，且如此連結的熱 設定樹脂模製物品加熱至高於模製物品的模製溫度之溫度 ，以便完全硬化。在此狀況，一液體熱設定樹脂可以當作 黏劑，且熱設定樹脂塗佈在螺紋部分上及硬化，以堅固連 結熱設定樹脂模製物品。 φ 藉由碳化如上述已經利用螺合連結的熱設定樹脂模製 物品，易於獲得一長度的直線形玻璃狀碳管。”L”形管與 其他彎曲的管也可以由類似的程序獲得。 . 或者，在依據本發明的製造玻璃狀碳管之方法中，熱 設定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀 ，且各具有裝配部分-首先藉由離心模製而製造。利用離 心模製，熱設定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管 的剖面形狀，且各具有裝配部分-可以使用用於形成管的 拳 主要部分的一鑄模區段及用於形成裝配部分的眾鑄模區段 而製造，不需要任何機製。例如，製造二件熱設定樹脂模 製物品，其各包含一直線形管主要部分，主要部分的一端 具有一推拔形公裝配部分，另一端具有一推拔形母裝配部 分。 其次’ 一熱設定樹脂模製物品的推拔形公a裝配部分裝 配於另一熱設定樹脂模製物品的推拔形母裝配部分，且如 此連結的熱設定樹脂模製物品加熱至高於模製物品的模製 -9 - (6) 1248925 溫度之溫度，以便完全硬化。在此狀況，一液體熱設定樹 脂可以當作黏劑，且熱設定樹脂塗佈在裝配部分上及硬化 ，以堅固連結熱設定樹脂模製物品。 藉由碳化如上述已經利用裝配而連結的熱設定樹脂模 製物品，易於獲得一長度的直線形玻璃狀碳管。”L”形管 與其他彎曲的管也可以由類似的程序獲得。 如上述當作黏劑的液體熱設定樹脂較佳爲與使用於模 製管的熱設定樹脂相同，因爲所使用的黏劑也將轉換成爲 玻璃狀碳管，其與整個模製物品相同。在此狀況，碳化時 的收縮也將是與模製管相同的値，且尺寸差造成的應力在 碳化以後將不施加至連結處。然而，黏劑可以包含一型式 與模製物品不同的熱設定樹脂，因爲碳化時的收縮將不會 顯著不同，且所得的碳的品質將不會那麼不同。 在本發明的製造方法中，重要的是避免熱設定樹脂模 製物品的尺寸精密度減小，而且，在上述離心模製以後， 在冷卻及自鑄模釋放時避免熱設定樹脂模製物品中產生崩 首先，關於熱設定樹脂，鑑於離心模製的方便性，所 使用的熱設定樹脂較佳爲液體，特別地，較佳爲在硬化時 展現減小的收縮度。示範性的此類較佳樹脂包括酚樹脂、 呋喃樹脂與硫亞氨樹脂。在模製圓筒的狀況，硬化時的收 縮由以下公式界定：[(鑄模的內徑）·（模製物品的外徑）/( 鑄模的內徑）](%)，且此收縮較佳爲1.5%或較小。爲了實 現此範圍的收縮，使用具有5%重量或較小的濕氣含量而 -10· (7) 1248925 較佳爲3 %重量或較小的液體熱設定樹脂，諸如酚樹脂。 濕氣含量是由Karl Fischer的方法測量者。使用此液體熱 設定樹脂能夠減小硬化時的收縮，且避免在離心模製與隨 後的冷卻時損失尺寸精密度及產生崩解。 - 其次，說明在離心模製時移除心部的時機。熱設定樹 脂模製物品的韌度不良，且在一心部或眾心部使用於模製 時，最可能在熱設定樹脂模製物品中造成崩解。在本發明 的製造方法中，心部當作·例如-螺紋部分的鑄模區段。鑑 馨 於此狀況，本發明發現，在離心模製期間鑄模冷卻時，如 果在熱設定樹脂模製物品的溫度到達它的玻璃過渡溫度 (Tg)以前，自鑄模移除熱設定樹脂模製物品，則可以移除 . 心部，不會在熱設定樹脂模製物品中造成崩解，因爲熱設 定樹脂模製物品在此溫度可以忍受相當大的扭曲，不會破 裂。冷卻時，在熱設定樹脂模製物品的收縮過程中，如果 此收縮發生在心部移除以後，則無應力施加至熱設定樹脂 模製物品，因此避免熱設定樹脂模製物品中產生崩解。 <1 另言之，可製造無扭曲與崩解的熱設定樹脂模製物品 ，係藉由在熱設定樹脂模製物品的溫度到達離心模製以後 的冷卻時的玻璃過渡溫度以前，自鑄模釋放模製物品’或 至少藉由分離心部與模製物品。注意，藉由適當選擇離心 模製的狀況，則模製以後的熱設定樹脂模製物品的玻璃過 ' 渡溫度可以調整爲低於室溫或在室溫附近，且在此狀況’ 在鑄模冷卻至室溫以後，藉由拆卸鑄模區段與心部’可以 從鑄模移除熱設定樹脂模製物品，不會造成崩解。 -11 - (8) 1248925 其次，參考圖式，說明本發明的例子。 例1 例1中，各具有螺紋部分的熱設定樹脂模製物品藉由 離心模製而製造。這些熱設定樹脂模製物品的形狀對應於 在縱向分割的管的一半。其次’模製物品藉由在螺紋連結 而整合，以在管的縱向連接這些物品’且碳化如此連結的 管，以製造直線形玻璃碳管。 馨 圖1是剖視圖，示意顯示例1中用於離心模製的鑄模’ 而圖2是剖視圖，用於解釋例1的玻璃狀碳管的製造方法。 如圖1所示，用於離心模製的鑄模1 0包含一鑄模區段 · l〇a、一鑄模區段10b及一鑄模區段l〇c，鑄模區段l〇a用 於形成管的主要部分，鑄模區段l〇b用於在管的主要部分 的一端上形成一推拔形公螺紋部分Η a(見圖2)，鑄模區段 l〇c用於在管的主要部分的另一端上形成一推拔形母螺紋 部分lib(見圖2)。推拔形母螺紋部分lib可以螺合在推拔 Φ 形公螺紋部分1 1 a上。 用於模製主要部分的鑄模區段l〇a是圓柱形，且肩部 設在它的內對立端中，以承接用於模製螺紋部分的鑄模區 段l〇b與鑄模區段10c。用於形成公螺紋部分-固定至用於 模製主要部分的鑄模區段l〇a的一端-的鑄模區段l〇b具有 一推拔形螺紋形成區域，其朝用於模製主要部分的鑄模區 段1 〇a的縱向中心擴大。用於模製母螺紋部分-固定至用於 模製主要部分的鑄模區段l〇a的另一端-的鑄模區段l〇c具 -12- (9) 1248925 有一推拔形螺紋形成區域，其朝用於模製主要部分的鑄模 區段l〇a的縱向中心擴大。用於模製主要部分的鑄模區段 l〇a可以分離成爲兩半，以便容易移除熱設定樹脂模製物 品。在離心模製時，用於初始材料的熱設定樹脂澆入鑄模 10的內部，且鑄模加熱至高於促進熱設定樹脂硬化反應的 溫度之溫度，且轉動鑄模10。熱設定樹脂的加熱由環繞鑄 模10的電熱器引動。 首先，Gunei化學工業有限公司製造的PL4804-其是 可購得的酚樹脂·在1〇〇 °C熱處理1小時，以調整濕氣含量 。濕氣含量爲5%重量或較少的樹脂當作玻璃狀碳的初始 材料。 其次，此初始材料澆入鑄模1 〇，且藉由以預定速率轉 動鑄模10達1〇小時且保持鑄模1〇的溫度於75 °C而進行離心 模製。當鑄模10冷卻至70 °c (即，當熱設定樹脂模製物品 冷卻至70 °C )，移除用於螺紋部分的鑄模區段l〇b與10c ’ 且允許模製物品冷卻至室溫。此離心模製過程重複二次’ 以製造二件如圖2所示的熱設定樹脂模製物品1 1，各物品 11包含一直線形管主要部分’主要部分的一端具有一推拔 形公螺紋部分lla，另一端具有一推拔形母螺紋部分llb° 在上述狀況獲得的樹脂的玻璃過渡溫度（Tg)由差動掃描熱 量計（DSC)測量係58 °C。當鑄模1〇可以冷卻至室溫而不移 除用於螺紋部分的鑄模區段10b與10c時’在推拔形螺紋 部分11a與lib中造成崩解。因此，不能製造性能良好的 熱設定樹脂模製物品。 -13- (10) 1248925 其次，一黏劑施加在推拔形母螺紋部分lib及自一熱 設定樹脂模製物品Π上的此母螺紋部分lib延伸的環形頂 靠表面上。黏劑也施加在推拔形公螺紋部分11a及自另一 熱設定樹脂模製物品1 1上的此公螺紋部分1 1 a延伸的環形 頂靠表面上。所使用的黏劑是液體酚樹脂，其相同於當作 玻璃狀碳的初始材料者。螺合進入一熱設定樹脂模製物品 11的母螺紋部分lib中的是另一熱設定樹脂模製物品11的 推拔形公螺紋部分11a，以便黏合，且模製物品保持在80 °C達24小時，以整合二熱設定樹脂模製物品11。整合的物 品又在空氣中加熱至25 0°C達4 8小時，以便完全硬化。 其次，已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品11在氮氛圍中於1 00 0 °C熱處理，以便碳化，製造厚度1 公厘、外徑10公厘、長度900公厘的玻璃狀碳管。此直線 形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機械強度與氣密性。 例2 Φ 例2中，具有一用於承接側管的螺紋部分的直線管形 式的熱設定樹脂模製物品藉由離心模製而製造。此熱設定 樹脂模製物品的一端具有一螺紋部分，且螺紋部分用於承 接另一封閉端附近的側管。其次，直線管形式之此模製物 品藉由螺合而連結於一端具有一螺紋部分的直線管形式之 另一模製物品，以形成”L”形管。如此連結的管碳化，以 製造”L”形玻璃狀碳管。 圖3是剖視圖，示意顯示例2中用於離心模製的鑄模， -14- (11) 1248925 圖4是剖視圖，用於解釋例2玻璃狀碳管的製造方法。 如圖3所示，鑄模20包含一用於形成管的主要部分的 鑄模區段2 0a、一用於在管的主要部分的一端上形成推拔 形公螺紋部分21a的鑄模區段20b(見圖4)、一用於在管的 主要部分的另一端附近形成用於承接側管的推拔形母螺紋 部分21b的鑄模區段20c(見圖4)、一用於封閉管主要部分 的另一端的鑄模區段20d。 在離心模製時，一由板形熱設定樹脂形成的樹脂板23 安置在鑄模20中，如圖3所示。此樹脂板23是已硬化至允 許加工-諸如切削-的程度的板，且此樹脂板將是”L”形玻 璃狀碳管的一部分。 離心模製係藉由與例1所使用者相同的初始材料及模 製狀況而進行，以製造圖4顯示的熱設定樹脂模製物品2 1 ，其包含直線延伸的管主要部分，主要部分具有一在一端 的推拔形公螺紋部分21a及一在另一封閉端附近的用於承 接側管的推拔形母螺紋部分2 1 b。同時，離心模製也藉由 與例1所使用者相同的初始材料及模製狀況而進行，係使 用一鑄模（未顯示），以製造當作側管的熱設定樹脂模製物 品22。此熱設定樹脂模製物品22具有一直線延伸的管主要 部分，其一端形成一推拔形公螺紋部分22a，公螺紋部分 2 2a可螺合在用於承接側管的推拔形母螺紋部分21b中。 螺合進入用於承接側管的推拔形母螺紋部分21b的是 用於黏合的推拔形公螺紋部分22a，且物品保持在80 °C達 24小時，以連結熱設定樹脂模製物品2 1與側管熱設定樹脂 (12) 1248925 模製物品2 2。連結的物品又在空氣中加熱至2 5 0 °C達4 8小 時，以便完全硬化。所使用的黏劑是液體酚樹脂，且與例 1中使用者相同。 其次，已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品21在氮氛圍中於1 000 °C熱處理，以便碳化，製造”L”形 玻璃狀碳管。此”L”形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機 械強度與氣密性。 例3 例3中，各具有裝配部分的熱設定樹脂模製物品藉由 離心模製而製造。此熱設定樹脂模製物品的形狀對應於在 縱向分割的管的一半。其次，模製物品藉由裝配而連結， 因此連接這些物品於管的縱向，且如此連結的管碳化，以 製造直線形玻璃狀碳管。 圖5是剖視圖，示意顯示例3中用於離心模製的鑄模， 圖6是剖視圖，用於解釋例3的玻璃狀碳管的製造方法。 如圖5所示，用於離心模製的鑄模3 0包含一用於形成 管的主要部分的鑄模區段3〇a、一用於在管的主要部分的 一端上形成推拔形公裝配部分31a的鑄模區段30b(見圖6) 、一用於在管的主要部分的另一端上形成推拔形母裝配部 分31b的鑄模區段30c(見圖6)。推拔形母裝配部分31b可 以裝配在推拔形公裝配部分31a上。用於模製主要部分的 鑄模區段30a是圓柱形，且肩部設在它的內對立端’以承 接鑄模區段30b與30c，以便模製裝配部分。用於形成公 (13) 1248925 裝配部分的鑄模區段30b·固定至用於模製主要部分的鑄模 區段30a的一端-具有一推拔形裝配形成區域，其朝鑄模區 段3 0a的縱向中心擴大，以模製主要部分。用於形成母裝 配部分的鑄模區段3 0c-固定至用於模製主要部分的鑄模區 段3 0a的另一端-具有一推拔形裝配形成區域，其朝鑄模區 段3 0a的縱向中心擴大，以模製主要部分。 離心模製係藉由與例1所使用者相同的初始材料及模 製狀況而進行，以製造圖6顯示的熱設定樹脂模製物品3 1 ，其包含直線形延伸的管主要部分，主要部分具有一在一 端上的推拔形公裝配部分31a及一在另一端上的推拔形母 裝配部分31b。 裝配進入推拔形母裝配部分31b的是用於黏合的推拔 形公裝配部分31a，且物品保持在80 °C達24小時，以連結 二熱設定樹脂模製物品3 1。連結的物品又在空氣中加熱至 25 0 °C達48小時，以便完全硬化。所使用的黏劑是液體酚 樹脂，其與例1中使用者相同。黏劑施加在推拔形母裝配 部分31b及自此母裝配部分31b延伸於一熱設定樹脂模製 物品3 1上的環形頂靠表面上。黏劑也施加在推拔形公裝配 部分31a及自此公裝配部分31a延伸於另一熱設定樹脂模 製物品3 1上的環形頂靠表面上。 其次，已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品3 1在氮氛圍中於1 000 °C熱處理，以便碳化，藉以製造厚 度1公厘、外徑10公厘及長度900公厘的玻璃狀碳管。此直 線形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機械強度與氣密性。 -17- 1248925 (14) 注意，展現連結處之優良的機械強度與氣密性的” L， 形玻璃狀碳管的製造可以藉由在圖4的熱設定樹脂模製物 品21中形成一推拔形公裝配部分，以取代推拔形公螺紋部 分2 1 a ; —推拔形母裝配部分，以取代推拔形母螺紋部分 2 1 b ;及在側管熱設定樹脂模製物品2 2中形成一推拔形公 裝配部分，以取代推拔形公螺紋部分22a。 比較例1 一不具有螺紋部分的簡單圓柱形熱設定樹脂模製物品 利用與例1所使用者相同的初始材料製造。一嘗試係藉由 在熱設定樹脂模製物品中機製以形成一推拔形公螺紋部分 與一推拔形母螺紋部分。然而，熱設定樹脂模製物品是脆 性且幾乎不可機製，及變成破裂。 比較例2 二不具有螺紋部分的簡單圓柱形熱設定樹脂模製物品 利用與例1所使用者相同的初始材料製造。二熱設定樹脂 模製物品藉由施加一液體酌樹脂於模製物品的頂靠表面上 而連結在一起’且在與例1所使用者相同的狀況下硬化及 碳化。所得的玻璃狀碳管在碳化期間變形’且連結強度不 足。 比較例3 離心模製與碳化在與例1所使用者相同的狀況下進行 -18- 1248925 (15) ，以製造長度爲所得的管之一半的二玻璃狀碳管，其各具 有一管主要部分，主要部分的一端上具有一推拔形公螺紋 部分，另一端上具有一推拔形母螺紋部分。二玻璃狀碳管 使用液體酚樹脂當作黏劑，藉由螺合而連結，且所連結的 管在與例1相同的狀況下碳化。由於玻璃狀碳管的化學非 活性，所得的直線形玻璃狀碳管在連結處展現不足的氣密 性，且此玻璃狀碳管的使用不切實際。 【圖式簡單說明】 圖1是剖視圖，示意顯示本發明的例1中用於離心模製 的鑄模。 圖2是剖視圖，用於解釋依據例1的玻璃狀碳管的製造 . 方法。 圖3是剖視圖，示意顯示本發明的例2中用於離心模製 的鑄模。 圖4是剖視圖，用於解釋依據例2的玻璃狀碳管的製造 β 方法。 圖5是剖視圖，示意顯示本發明的例3中用於離心模製 的鑄模。 圖6是剖視圖，用於解釋依據例3的玻璃狀碳管的製造 方法。 【主要元件符號說明】 10 鑄模 -19- (16)1248925 10a 鑄 模 區 段 10b 鑄 模 區 段 10c 鑄 模 段 11 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 11a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 lib 推 拔 形 母 螺 紋 部 分 20 鑄 模 20a 鑄 模 區 段 20b 鑄 模 區 段 20c 鑄 模 段 20d 鑄 模 段 2 1 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 2 1a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 2 1b 推 拔 形 母 螺 紋 部 分 22 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 22a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 23 樹 脂 板 30 鑄 模 30a 鑄 模 段 30b 禱 模 段 30c 鑄 模 區 段 3 1 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 3 1a 推 拔 形 公 裝 配 部 分 3 1b 推 拔 形 母 裝 配 部 分

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Claims (1)

1248925 r < l ' - :: v 拾、申請專利範圍 l.一種製造玻璃狀碳管的方法，包含的步驟是·· 藉由離心模製，製造複數具有螺紋部分的管形熱設定 樹脂模製物品； 藉由連結螺紋部分’整合複數管形熱設定樹脂模製物 品； 熱處理整合的熱設定樹脂模製物品，使物品完全硬化 :及 · 碳化完全硬化的模製物品，以製造玻璃狀碳管。 2·如申請專利範圍第1項之製造玻璃狀碳管的方法， 其中一液體熱設定樹脂當作黏劑，用於藉由在螺紋部分連 - 結，整合該複數熱設定樹脂模製物品。 . 3·—種製造玻璃狀碳管的方法，包含的步驟是·· 藉由離心模製，製造複數具有裝配部分的管形熱設定 樹脂模製物品； 藉由互相裝配，整合複數管形熱設定樹脂模製物品； _ 熱處理整合的熱設定樹脂模製物品，使物品完全硬化 ;及 碳化完全硬化的模製物品，以製造玻璃狀碳管。 4 ·如申請專利範圍第3項之製造玻璃狀碳管的方法’ 其中一液體熱設定樹脂當作黏劑，用於藉由互相裝配，整 合該複數熱設定樹脂模製物品。 5.—種玻璃狀碳管，由如申請專利範圍第1項之製造 玻璃狀碳管的方法製造’其中該玻璃狀碳管產品是直線管 -21 - (2) 1248925 6.—種玻璃狀碳管，由如申請專利範圍第1項之製造 玻璃狀碳管的方法製造，其中該玻璃狀碳管產品是具有一 彎曲的彎曲管。 7·—種玻璃狀碳管，由如申請專利範圍第3項之製造 玻璃狀碳管的方法製造，其中該玻璃狀碳管產品是直線管 〇 8·—種玻璃狀碳管，由如申請專利範圍第3項之製造 玻璃狀碳管的方法製造’其中該玻璃狀碳管產品是具有一 彎曲的彎曲管。

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