TWI248925B - Method for producing glass-like carbon pipe, and glass-like carbon pipe produced by such method - Google Patents
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Description
1248925 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 玻璃狀碳管的使用正在被考慮用於CVD裝置的氣體 注入噴嘴與反應氣體輸送管。本發明關於製造玻璃狀碳管 的方法及以此種方法製造的玻璃狀碳管。 【先前技術】 玻璃狀碳管是碳材料,其典型上藉由使熱設定樹脂-諸如酚樹脂或呋喃樹脂-在高溫碳化而製造。玻璃狀的碳 在惰性的氛圍展現2000 °C或更高的熱阻,它對於氟化氫與 氟也具有優良的抗腐蝕性。因此,玻璃狀碳管的使用被考 慮用於管路中的氣體注入噴嘴與管,用於供應反應氣體至 CVD裝置’藉由彼’ 一薄膜沈積在諸如矽晶圓的基材上 〇 當需要直線形(其長度相當大)或彎曲形(諸如” L”形) 的玻璃狀碳管時,可以考慮若干製造途徑。一途徑是利用 黏劑連結玻璃狀碳管區段,各區段構建成爲此管的一分割 區段。然而,在連結處展現令人滿意的機械強度與氣密性 的產品從未由此方法製造,原因在於玻璃狀碳材料的化學 惰性。 另一方法是使樹脂前驅物碳化,以用於此形狀的玻璃 狀碳管。然而’此方法也難以完成,原因在於熱設定樹脂 的不良的可形成性。 鑑於此狀況,日本先行公開專利申請案200 1 -151574 (2) 1248925 號建議一種方法,其中首先製造直線形或彎曲形玻璃狀碳 管的樹脂前驅物的區段,且將這些區段黏合然後碳化。 在此先前技術的方法中,自熱設定樹脂·例如,藉由 模鑄·製造板形硬化物品,然後使用NC機器,藉由機製 ,在板形熱設定樹脂中形成對應於成品的流動路徑與裝配 部分的凹部,因此產生一對與熱設定樹脂硬化物品對應的 半管,其在平行於管的縱向軸線的方向切開。然後,使用 熱設定樹脂當作黏劑及藉由塗佈此黏劑於裝配部分上,黏 合半管形的硬化的熱設定樹脂物品。然後,如此黏合的熱 設定樹脂硬化物品碳化,以製造玻璃狀碳管。 然而,玻璃狀碳管之此先前技術的製造方法具有的一 缺點是延長的工作時間以用於機製,因此增加製造成本, 因爲此方法涉及使用NC機器或類似者機製脆性板形熱設 定樹脂硬化產品成爲所需要的形狀的步驟,且脆性物品的 機製關聯於不良的加工能力的問題。 此外,熱設定樹脂硬化物品通常有黏性減小的經歷, 原因在於當物品硬化至允許機製的程度時,熱設定樹脂的 反應性減小。此減小的黏合能力導致難以製造在連結處具 有令人滿意的機械強度與氣密性之產品的缺點。 【發明內容】 鑒於上述狀況,已完成本發明,且本發明之一目的是 提供一種製造玻璃狀碳管之方法,其能夠製造具有優良的 機械強度與氣密性之直線或彎曲管,且此方法能夠以低成 -6 - 1248925 (3) 本製造管,因爲不需要機製以提供螺紋或裝配部分。本發 明之另一目的是提供一種玻璃狀碳管,其由上述方法製造 本發明之此目的由如下述的本發明構成。 本發明關於製造玻璃狀碳管的方法,包含的步驟是: 藉由離心模製,製造複數具有螺紋部分的管形熱設定樹脂 模製物品;藉由連結螺紋部分,整合複數管形熱設定樹脂 模製物品;熱處理整合的熱設定樹脂模製物品,使物品完 全硬化;及碳化完全硬化的模製物品,以製造玻璃狀碳管 〇 本發明也關於製造玻璃狀碳管的方法,包含的步驟是 :藉由離心模製,製造複數具有裝配部分的管形熱設定樹 脂模製物品;藉由互相裝配,整合複數管形熱設定樹脂模 製物品;熱處理整合的熱設定樹脂模製物品,使物品完全 硬化;及碳化完全硬化的模製物品,以製造玻璃狀碳管。 在上述本發明的各種特點中,藉由熱設定樹脂模製物 品的熱處理完全硬化的步驟·即,所謂「硬化」步驟-可以 當作碳化步驟的初始級而執行。另言之,熱設定樹脂模製 物品的完全硬化可以在溫度自室溫漸漸升高至碳化溫度的 初始級中完成。 在上述製造玻璃狀碳管之方法中,一液體熱設定樹脂 可以當作黏劑,用於藉由在螺紋或裝配部分連結,整合複 數熱設定樹脂模製物品。 在上述製造玻璃狀碳管之方法中,複數熱設定樹脂模 1248925 (4) 製物品藉由螺紋裝配的連結較佳爲在樹脂半硬化時執行。 然而,連結不僅可以在樹脂半硬化時而且可以在完全硬化 以後進行。 本發明的製造玻璃狀碳管之方法能夠製造直線或彎曲 形(諸如” L”形)的玻璃狀碳管,其在連結處展現優良的機 械強度與氣密性,且此方法也能夠以低成本製造管,因爲 不需要機製以提供螺紋部分。而且,本發明的製造玻璃狀 碳管的方法能夠製造直線或彎曲形(諸如” L”形)的管,其 在連結處展現優良的機械強度與氣密性,且此方法也能夠 以低成本製造管,因爲不需要機製以提供裝配部分。 由如上述製造玻璃狀碳管之方法製造的直線與” L”形 及其他彎曲的玻璃狀碳管也在本發明的範疇內。 【實施方式】 在依據本發明的製造玻璃狀碳管之方法中,熱設定樹 脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀,且各 具有螺紋部分-首先藉由離心模製製造。離心模製是一方 法,其中一熔融或液體熱設定樹脂澆入圓柱形鑄模的內部 ,且含有樹脂的鑄模轉動,以致於樹脂由於離心力而降伏 。然後,鑄模加熱,使樹脂硬化。利用此離心模製,熱設 定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀, 且各具有螺紋部分-可以使用用於形成管的主要部分的一 鑄模區段及用於形成螺紋部分的眾鑄模區段而製造,不需 要任何機製。例如,製造二件熱設定樹脂模製物品,其各 -8- 1248925 (5) 包含一直管主要部分’主要部分的一端具有一公螺紋部分 ,而另一端具有一母螺紋部分。 其次,一熱設定樹脂模製物品的公螺紋部分螺合進入 另一熱設定樹脂模製物品的母螺紋部分,且如此連結的熱 設定樹脂模製物品加熱至高於模製物品的模製溫度之溫度 ,以便完全硬化。在此狀況,一液體熱設定樹脂可以當作 黏劑,且熱設定樹脂塗佈在螺紋部分上及硬化,以堅固連 結熱設定樹脂模製物品。 φ 藉由碳化如上述已經利用螺合連結的熱設定樹脂模製 物品,易於獲得一長度的直線形玻璃狀碳管。”L”形管與 其他彎曲的管也可以由類似的程序獲得。 . 或者,在依據本發明的製造玻璃狀碳管之方法中,熱 設定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管的剖面形狀 ,且各具有裝配部分-首先藉由離心模製而製造。利用離 心模製,熱設定樹脂模製物品-其各具有在縱向分割的管 的剖面形狀,且各具有裝配部分-可以使用用於形成管的 拳 主要部分的一鑄模區段及用於形成裝配部分的眾鑄模區段 而製造,不需要任何機製。例如,製造二件熱設定樹脂模 製物品,其各包含一直線形管主要部分,主要部分的一端 具有一推拔形公裝配部分,另一端具有一推拔形母裝配部 分。 其次’ 一熱設定樹脂模製物品的推拔形公a裝配部分裝 配於另一熱設定樹脂模製物品的推拔形母裝配部分,且如 此連結的熱設定樹脂模製物品加熱至高於模製物品的模製 -9 - (6) 1248925 溫度之溫度,以便完全硬化。在此狀況,一液體熱設定樹 脂可以當作黏劑,且熱設定樹脂塗佈在裝配部分上及硬化 ,以堅固連結熱設定樹脂模製物品。 藉由碳化如上述已經利用裝配而連結的熱設定樹脂模 製物品,易於獲得一長度的直線形玻璃狀碳管。”L”形管 與其他彎曲的管也可以由類似的程序獲得。 如上述當作黏劑的液體熱設定樹脂較佳爲與使用於模 製管的熱設定樹脂相同,因爲所使用的黏劑也將轉換成爲 玻璃狀碳管,其與整個模製物品相同。在此狀況,碳化時 的收縮也將是與模製管相同的値,且尺寸差造成的應力在 碳化以後將不施加至連結處。然而,黏劑可以包含一型式 與模製物品不同的熱設定樹脂,因爲碳化時的收縮將不會 顯著不同,且所得的碳的品質將不會那麼不同。 在本發明的製造方法中,重要的是避免熱設定樹脂模 製物品的尺寸精密度減小,而且,在上述離心模製以後, 在冷卻及自鑄模釋放時避免熱設定樹脂模製物品中產生崩 首先,關於熱設定樹脂,鑑於離心模製的方便性,所 使用的熱設定樹脂較佳爲液體,特別地,較佳爲在硬化時 展現減小的收縮度。示範性的此類較佳樹脂包括酚樹脂、 呋喃樹脂與硫亞氨樹脂。在模製圓筒的狀況,硬化時的收 縮由以下公式界定:[(鑄模的內徑)·(模製物品的外徑)/( 鑄模的內徑)](%),且此收縮較佳爲1.5%或較小。爲了實 現此範圍的收縮,使用具有5%重量或較小的濕氣含量而 -10· (7) 1248925 較佳爲3 %重量或較小的液體熱設定樹脂,諸如酚樹脂。 濕氣含量是由Karl Fischer的方法測量者。使用此液體熱 設定樹脂能夠減小硬化時的收縮,且避免在離心模製與隨 後的冷卻時損失尺寸精密度及產生崩解。 - 其次,說明在離心模製時移除心部的時機。熱設定樹 脂模製物品的韌度不良,且在一心部或眾心部使用於模製 時,最可能在熱設定樹脂模製物品中造成崩解。在本發明 的製造方法中,心部當作·例如-螺紋部分的鑄模區段。鑑 馨 於此狀況,本發明發現,在離心模製期間鑄模冷卻時,如 果在熱設定樹脂模製物品的溫度到達它的玻璃過渡溫度 (Tg)以前,自鑄模移除熱設定樹脂模製物品,則可以移除 . 心部,不會在熱設定樹脂模製物品中造成崩解,因爲熱設 定樹脂模製物品在此溫度可以忍受相當大的扭曲,不會破 裂。冷卻時,在熱設定樹脂模製物品的收縮過程中,如果 此收縮發生在心部移除以後,則無應力施加至熱設定樹脂 模製物品,因此避免熱設定樹脂模製物品中產生崩解。 <1 另言之,可製造無扭曲與崩解的熱設定樹脂模製物品 ,係藉由在熱設定樹脂模製物品的溫度到達離心模製以後 的冷卻時的玻璃過渡溫度以前,自鑄模釋放模製物品’或 至少藉由分離心部與模製物品。注意,藉由適當選擇離心 模製的狀況,則模製以後的熱設定樹脂模製物品的玻璃過 ' 渡溫度可以調整爲低於室溫或在室溫附近,且在此狀況’ 在鑄模冷卻至室溫以後,藉由拆卸鑄模區段與心部’可以 從鑄模移除熱設定樹脂模製物品,不會造成崩解。 -11 - (8) 1248925 其次,參考圖式,說明本發明的例子。 例1 例1中,各具有螺紋部分的熱設定樹脂模製物品藉由 離心模製而製造。這些熱設定樹脂模製物品的形狀對應於 在縱向分割的管的一半。其次’模製物品藉由在螺紋連結 而整合,以在管的縱向連接這些物品’且碳化如此連結的 管,以製造直線形玻璃碳管。 馨 圖1是剖視圖,示意顯示例1中用於離心模製的鑄模’ 而圖2是剖視圖,用於解釋例1的玻璃狀碳管的製造方法。 如圖1所示,用於離心模製的鑄模1 0包含一鑄模區段 · l〇a、一鑄模區段10b及一鑄模區段l〇c,鑄模區段l〇a用 於形成管的主要部分,鑄模區段l〇b用於在管的主要部分 的一端上形成一推拔形公螺紋部分Η a(見圖2),鑄模區段 l〇c用於在管的主要部分的另一端上形成一推拔形母螺紋 部分lib(見圖2)。推拔形母螺紋部分lib可以螺合在推拔 Φ 形公螺紋部分1 1 a上。 用於模製主要部分的鑄模區段l〇a是圓柱形,且肩部 設在它的內對立端中,以承接用於模製螺紋部分的鑄模區 段l〇b與鑄模區段10c。用於形成公螺紋部分-固定至用於 模製主要部分的鑄模區段l〇a的一端-的鑄模區段l〇b具有 一推拔形螺紋形成區域,其朝用於模製主要部分的鑄模區 段1 〇a的縱向中心擴大。用於模製母螺紋部分-固定至用於 模製主要部分的鑄模區段l〇a的另一端-的鑄模區段l〇c具 -12- (9) 1248925 有一推拔形螺紋形成區域,其朝用於模製主要部分的鑄模 區段l〇a的縱向中心擴大。用於模製主要部分的鑄模區段 l〇a可以分離成爲兩半,以便容易移除熱設定樹脂模製物 品。在離心模製時,用於初始材料的熱設定樹脂澆入鑄模 10的內部,且鑄模加熱至高於促進熱設定樹脂硬化反應的 溫度之溫度,且轉動鑄模10。熱設定樹脂的加熱由環繞鑄 模10的電熱器引動。 首先,Gunei化學工業有限公司製造的PL4804-其是 可購得的酚樹脂·在1〇〇 °C熱處理1小時,以調整濕氣含量 。濕氣含量爲5%重量或較少的樹脂當作玻璃狀碳的初始 材料。 其次,此初始材料澆入鑄模1 〇,且藉由以預定速率轉 動鑄模10達1〇小時且保持鑄模1〇的溫度於75 °C而進行離心 模製。當鑄模10冷卻至70 °c (即,當熱設定樹脂模製物品 冷卻至70 °C ),移除用於螺紋部分的鑄模區段l〇b與10c ’ 且允許模製物品冷卻至室溫。此離心模製過程重複二次’ 以製造二件如圖2所示的熱設定樹脂模製物品1 1,各物品 11包含一直線形管主要部分’主要部分的一端具有一推拔 形公螺紋部分lla,另一端具有一推拔形母螺紋部分llb° 在上述狀況獲得的樹脂的玻璃過渡溫度(Tg)由差動掃描熱 量計(DSC)測量係58 °C。當鑄模1〇可以冷卻至室溫而不移 除用於螺紋部分的鑄模區段10b與10c時’在推拔形螺紋 部分11a與lib中造成崩解。因此,不能製造性能良好的 熱設定樹脂模製物品。 -13- (10) 1248925 其次,一黏劑施加在推拔形母螺紋部分lib及自一熱 設定樹脂模製物品Π上的此母螺紋部分lib延伸的環形頂 靠表面上。黏劑也施加在推拔形公螺紋部分11a及自另一 熱設定樹脂模製物品1 1上的此公螺紋部分1 1 a延伸的環形 頂靠表面上。所使用的黏劑是液體酚樹脂,其相同於當作 玻璃狀碳的初始材料者。螺合進入一熱設定樹脂模製物品 11的母螺紋部分lib中的是另一熱設定樹脂模製物品11的 推拔形公螺紋部分11a,以便黏合,且模製物品保持在80 °C達24小時,以整合二熱設定樹脂模製物品11。整合的物 品又在空氣中加熱至25 0°C達4 8小時,以便完全硬化。 其次,已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品11在氮氛圍中於1 00 0 °C熱處理,以便碳化,製造厚度1 公厘、外徑10公厘、長度900公厘的玻璃狀碳管。此直線 形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機械強度與氣密性。 例2 Φ 例2中,具有一用於承接側管的螺紋部分的直線管形 式的熱設定樹脂模製物品藉由離心模製而製造。此熱設定 樹脂模製物品的一端具有一螺紋部分,且螺紋部分用於承 接另一封閉端附近的側管。其次,直線管形式之此模製物 品藉由螺合而連結於一端具有一螺紋部分的直線管形式之 另一模製物品,以形成”L”形管。如此連結的管碳化,以 製造”L”形玻璃狀碳管。 圖3是剖視圖,示意顯示例2中用於離心模製的鑄模, -14- (11) 1248925 圖4是剖視圖,用於解釋例2玻璃狀碳管的製造方法。 如圖3所示,鑄模20包含一用於形成管的主要部分的 鑄模區段2 0a、一用於在管的主要部分的一端上形成推拔 形公螺紋部分21a的鑄模區段20b(見圖4)、一用於在管的 主要部分的另一端附近形成用於承接側管的推拔形母螺紋 部分21b的鑄模區段20c(見圖4)、一用於封閉管主要部分 的另一端的鑄模區段20d。 在離心模製時,一由板形熱設定樹脂形成的樹脂板23 安置在鑄模20中,如圖3所示。此樹脂板23是已硬化至允 許加工-諸如切削-的程度的板,且此樹脂板將是”L”形玻 璃狀碳管的一部分。 離心模製係藉由與例1所使用者相同的初始材料及模 製狀況而進行,以製造圖4顯示的熱設定樹脂模製物品2 1 ,其包含直線延伸的管主要部分,主要部分具有一在一端 的推拔形公螺紋部分21a及一在另一封閉端附近的用於承 接側管的推拔形母螺紋部分2 1 b。同時,離心模製也藉由 與例1所使用者相同的初始材料及模製狀況而進行,係使 用一鑄模(未顯示),以製造當作側管的熱設定樹脂模製物 品22。此熱設定樹脂模製物品22具有一直線延伸的管主要 部分,其一端形成一推拔形公螺紋部分22a,公螺紋部分 2 2a可螺合在用於承接側管的推拔形母螺紋部分21b中。 螺合進入用於承接側管的推拔形母螺紋部分21b的是 用於黏合的推拔形公螺紋部分22a,且物品保持在80 °C達 24小時,以連結熱設定樹脂模製物品2 1與側管熱設定樹脂 (12) 1248925 模製物品2 2。連結的物品又在空氣中加熱至2 5 0 °C達4 8小 時,以便完全硬化。所使用的黏劑是液體酚樹脂,且與例 1中使用者相同。 其次,已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品21在氮氛圍中於1 000 °C熱處理,以便碳化,製造”L”形 玻璃狀碳管。此”L”形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機 械強度與氣密性。 例3 例3中,各具有裝配部分的熱設定樹脂模製物品藉由 離心模製而製造。此熱設定樹脂模製物品的形狀對應於在 縱向分割的管的一半。其次,模製物品藉由裝配而連結, 因此連接這些物品於管的縱向,且如此連結的管碳化,以 製造直線形玻璃狀碳管。 圖5是剖視圖,示意顯示例3中用於離心模製的鑄模, 圖6是剖視圖,用於解釋例3的玻璃狀碳管的製造方法。 如圖5所示,用於離心模製的鑄模3 0包含一用於形成 管的主要部分的鑄模區段3〇a、一用於在管的主要部分的 一端上形成推拔形公裝配部分31a的鑄模區段30b(見圖6) 、一用於在管的主要部分的另一端上形成推拔形母裝配部 分31b的鑄模區段30c(見圖6)。推拔形母裝配部分31b可 以裝配在推拔形公裝配部分31a上。用於模製主要部分的 鑄模區段30a是圓柱形,且肩部設在它的內對立端’以承 接鑄模區段30b與30c,以便模製裝配部分。用於形成公 (13) 1248925 裝配部分的鑄模區段30b·固定至用於模製主要部分的鑄模 區段30a的一端-具有一推拔形裝配形成區域,其朝鑄模區 段3 0a的縱向中心擴大,以模製主要部分。用於形成母裝 配部分的鑄模區段3 0c-固定至用於模製主要部分的鑄模區 段3 0a的另一端-具有一推拔形裝配形成區域,其朝鑄模區 段3 0a的縱向中心擴大,以模製主要部分。 離心模製係藉由與例1所使用者相同的初始材料及模 製狀況而進行,以製造圖6顯示的熱設定樹脂模製物品3 1 ,其包含直線形延伸的管主要部分,主要部分具有一在一 端上的推拔形公裝配部分31a及一在另一端上的推拔形母 裝配部分31b。 裝配進入推拔形母裝配部分31b的是用於黏合的推拔 形公裝配部分31a,且物品保持在80 °C達24小時,以連結 二熱設定樹脂模製物品3 1。連結的物品又在空氣中加熱至 25 0 °C達48小時,以便完全硬化。所使用的黏劑是液體酚 樹脂,其與例1中使用者相同。黏劑施加在推拔形母裝配 部分31b及自此母裝配部分31b延伸於一熱設定樹脂模製 物品3 1上的環形頂靠表面上。黏劑也施加在推拔形公裝配 部分31a及自此公裝配部分31a延伸於另一熱設定樹脂模 製物品3 1上的環形頂靠表面上。 其次,已連結成爲一件式單元的二熱設定樹脂模製物 品3 1在氮氛圍中於1 000 °C熱處理,以便碳化,藉以製造厚 度1公厘、外徑10公厘及長度900公厘的玻璃狀碳管。此直 線形玻璃狀碳管展現連結處之優良的機械強度與氣密性。 -17- 1248925 (14) 注意,展現連結處之優良的機械強度與氣密性的” L, 形玻璃狀碳管的製造可以藉由在圖4的熱設定樹脂模製物 品21中形成一推拔形公裝配部分,以取代推拔形公螺紋部 分2 1 a ; —推拔形母裝配部分,以取代推拔形母螺紋部分 2 1 b ;及在側管熱設定樹脂模製物品2 2中形成一推拔形公 裝配部分,以取代推拔形公螺紋部分22a。 比較例1 一不具有螺紋部分的簡單圓柱形熱設定樹脂模製物品 利用與例1所使用者相同的初始材料製造。一嘗試係藉由 在熱設定樹脂模製物品中機製以形成一推拔形公螺紋部分 與一推拔形母螺紋部分。然而,熱設定樹脂模製物品是脆 性且幾乎不可機製,及變成破裂。 比較例2 二不具有螺紋部分的簡單圓柱形熱設定樹脂模製物品 利用與例1所使用者相同的初始材料製造。二熱設定樹脂 模製物品藉由施加一液體酌樹脂於模製物品的頂靠表面上 而連結在一起’且在與例1所使用者相同的狀況下硬化及 碳化。所得的玻璃狀碳管在碳化期間變形’且連結強度不 足。 比較例3 離心模製與碳化在與例1所使用者相同的狀況下進行 -18- 1248925 (15) ,以製造長度爲所得的管之一半的二玻璃狀碳管,其各具 有一管主要部分,主要部分的一端上具有一推拔形公螺紋 部分,另一端上具有一推拔形母螺紋部分。二玻璃狀碳管 使用液體酚樹脂當作黏劑,藉由螺合而連結,且所連結的 管在與例1相同的狀況下碳化。由於玻璃狀碳管的化學非 活性,所得的直線形玻璃狀碳管在連結處展現不足的氣密 性,且此玻璃狀碳管的使用不切實際。 【圖式簡單說明】 圖1是剖視圖,示意顯示本發明的例1中用於離心模製 的鑄模。 圖2是剖視圖,用於解釋依據例1的玻璃狀碳管的製造 . 方法。 圖3是剖視圖,示意顯示本發明的例2中用於離心模製 的鑄模。 圖4是剖視圖,用於解釋依據例2的玻璃狀碳管的製造 β 方法。 圖5是剖視圖,示意顯示本發明的例3中用於離心模製 的鑄模。 圖6是剖視圖,用於解釋依據例3的玻璃狀碳管的製造 方法。 【主要元件符號說明】 10 鑄模 -19- (16)1248925 10a 鑄 模 區 段 10b 鑄 模 區 段 10c 鑄 模 段 11 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 11a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 lib 推 拔 形 母 螺 紋 部 分 20 鑄 模 20a 鑄 模 區 段 20b 鑄 模 區 段 20c 鑄 模 段 20d 鑄 模 段 2 1 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 2 1a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 2 1b 推 拔 形 母 螺 紋 部 分 22 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 22a 推 拔 形 公 螺 紋 部 分 23 樹 脂 板 30 鑄 模 30a 鑄 模 段 30b 禱 模 段 30c 鑄 模 區 段 3 1 熱 設 定 樹 脂 模 製 物 品 3 1a 推 拔 形 公 裝 配 部 分 3 1b 推 拔 形 母 裝 配 部 分
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Claims (1)
1248925 r < l ' - :: v 拾、申請專利範圍 l.一種製造玻璃狀碳管的方法,包含的步驟是·· 藉由離心模製,製造複數具有螺紋部分的管形熱設定 樹脂模製物品; 藉由連結螺紋部分’整合複數管形熱設定樹脂模製物 品; 熱處理整合的熱設定樹脂模製物品,使物品完全硬化 :及 · 碳化完全硬化的模製物品,以製造玻璃狀碳管。 2·如申請專利範圍第1項之製造玻璃狀碳管的方法, 其中一液體熱設定樹脂當作黏劑,用於藉由在螺紋部分連 - 結,整合該複數熱設定樹脂模製物品。 . 3·—種製造玻璃狀碳管的方法,包含的步驟是·· 藉由離心模製,製造複數具有裝配部分的管形熱設定 樹脂模製物品; 藉由互相裝配,整合複數管形熱設定樹脂模製物品; _ 熱處理整合的熱設定樹脂模製物品,使物品完全硬化 ;及 碳化完全硬化的模製物品,以製造玻璃狀碳管。 4 ·如申請專利範圍第3項之製造玻璃狀碳管的方法’ 其中一液體熱設定樹脂當作黏劑,用於藉由互相裝配,整 合該複數熱設定樹脂模製物品。 5.—種玻璃狀碳管,由如申請專利範圍第1項之製造 玻璃狀碳管的方法製造’其中該玻璃狀碳管產品是直線管 -21 - (2) 1248925 6.—種玻璃狀碳管,由如申請專利範圍第1項之製造 玻璃狀碳管的方法製造,其中該玻璃狀碳管產品是具有一 彎曲的彎曲管。 7·—種玻璃狀碳管,由如申請專利範圍第3項之製造 玻璃狀碳管的方法製造,其中該玻璃狀碳管產品是直線管 〇 8·—種玻璃狀碳管,由如申請專利範圍第3項之製造 玻璃狀碳管的方法製造’其中該玻璃狀碳管產品是具有一 彎曲的彎曲管。
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