TWI246109B - Apparatus for rotating and positioning a substrate-carrying cassette - Google Patents

Description

1246109 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種卡匣翻轉定位裝置，尤指一種適用 於裝載大型基板之卡匣之卡匣翻轉定位裝置。 【先前技術】 目前一般的顯示面板或晶圓製造廠内，皆使用卡匣 (cassette)來暫時存放基板。一般在生產線上最常看到的 疋’例如基板先成批存放於卡匣中，且卡匣開口朝上，以 10 15 防止基板掉出。當此批基板將進行某 人員便將此卡匣放入翻轉裝置’由翻轉裝置翻轉卡匣，使 其原本朝上的開口轉為在側面，以方便機台的傳輸元件， 例如機械手臂抓取卡匿内的基板進入製程腔室，進行此製 程步驟。進行完此製程步驟之後，機台的傳輸元件再依序 將基板取出並置人卡£中。因此，將基板取出或置入卡匿 在生產線上是非常頻繁的動作。，然而，隨著基板尺寸命來 愈大以及單-卡_基板堆疊片數提高，造成基板之間距 離縮小’此翻轉動作所需之對位精準度愈來愈高，亦即卡 H #輸7C件間之對位必須非常精準 :會!撞到基板’或傳輸元件所承載的基板將會與二;: ^^ ^ 积蚊而卡匣與機台傳輸元件間的對 在貫作上乃是使卡匣盘傳 n /、得輸凡件各自先定位好。一般夾 洗，機台的傳輸元件會隨 不 輸兀件係固定於機台内 +上1寻 故其疋位較容易，但卡匣則不然。 20 1246109 =卡E是用以方便搬運基板的卫具，且隨著基板的製程 机私，卡匣必須將基板運送至不同機台進行每一製程牛 驟，以完成整個製程流程，故卡匡每經翻轉裝置翻轉後， 义須經過精確定位，方可使傳輸元件安全的進入基板盘義 5板間的狹小空間（約“咖）中取出基板，或將基板安= 置人卡1£内。 ，目前習用的翻轉裝置如目i所示，當伺服馬達組1〇〇 翻轉卡E 200之後，定位播塊3〇〇會往卡g 2〇〇的方向移 動，以夾住並於水平方向定位卡匣2〇〇。然而，由於卡匣 〇〇重數么斤，其慣量大再加上旋轉力的重力加速度，伺 服=達組100即使具備迴路控制，將卡_轉後仍需較長 的日守間方能使卡ϋ到達定位。另外，請參照2，為了緩 衝翻轉的衝擊力，於基準平台4〇〇上設置緩衝器41〇 以提供阻尼效果，而緩衝伺服馬達組100翻轉卡匣200後 15貼近基準平台之衝擊力，經—段時間的使用後，緩衝 器發生老化或者回彈力量釋放不良時，緩衝器41〇無法使 翻轉後之卡匣200確實到達定位，使得卡匣2〇〇往往在尚 未轉至定位時，定位擋塊300便將卡匣200卡住，造成卡 匣200無法到達定位，即卡匣2〇〇之支撐底座12無法確實 20貼合到位元件42，而二者之間具有間隙χ，若於此時便將 基板取出或置入卡匣2〇〇,便會產生非常嚴重的破片問 題。此外’習用的卡匣翻轉定位裝置由於僅具水平方向的 定位效果’故其亦常因卡匣邊緣的微粒或不平坦的邊緣損 傷’導致卡g產生垂直方向的定位誤差，雖然此誤差對於 1246109 小尺寸面板影響不大，然而在目前大型面板須高密度堆疊 於卡匣之要求下，其已漸不可行。 【發明内容】 5 10 15 本發明之主要目的係在提供一種卡匿翻轉定位裝 置，俾能使翻轉後之切獲得良好定位，避免造成 片。 為達成上述目的，本發明一種卡匣翻轉定位裝置，係 用以，轉一卡匡，並使翻轉後之該卡e就定位，包括：一 翻轉早兀，位於該卡g之一側，用以翻轉該卡匿；以及至 夕具有-基座、一定位元件與一滾動元件之移動式定位 單元，位於翻轉後之該切之一側，該定位元件與該 元件固定於該基座上，且該滾動元件突出於該定位元件盘 该卡E之間，用以提供翻轉後之該卡匿垂直方向之定位， 而該定位元件提供翻轉後之該卡£水平方向之m发 中，當該翻轉單元翻轉該卡£時，該移動式定 : 往該卡匣之方向移動。 【實施方式】 本發明之切翻轉定位裝置中，該定位 有之定位擋塊。本發明之卡匿翻轉定位裝置中，該2原 件可為任何傳統使用之滾動元件，較佳為滾 密滾珠軸承或針狀軸承。 .、' ^ 佳為精 該翻轉單元之驅動方切t 卡E翻轉定位裝置中， 動方式可為任何傳統習用之驅動方式，較 20 1246109 佳為、/又缸驅動或伺服馬達 , ”、、動。本叙明之卡匣翻轉定位裝 於：二滾動元件接觸之面較佳為-斜面，以利 叙滾動疋件對該卡£施以向下之壓制力，同時防止該滾 動元件耗損。本發明之+ 鲈祛η 卡匿翻轉定位裝置中，該滾動元件 10 ==由—彈性元件與該定位元件連接，以緩衝作用於 =動：件上之墨制力，同時延長該滾動元件之壽命。該 ^兀件可為任何習用之彈性體，較佳為彈菁。本發明之 Ε翻轉疋位裝置中’該滾動元件之滾動半徑較佳為介於2 至15 mm之間’以增大該滾動元件對該卡匿之導引範圍。 為能讓貴審查委員能更瞭解本發明之技術内容，特 舉卡E翻轉定位裝置較佳具體實施例說明如下。 實施例1 請參照圖3，圖3為本發明一較佳實施例之卡匣翻轉定 位裝置立體圖。本發明之卡E翻轉定位裝置包括翻轉單元 15 10以及移動式定位單元2〇。於本較佳實施例中，翻轉單元 1〇位於㈣轉卡S之底側，_單元_由餘馬達驅動 之連軸器11以及L型之支撐底座12所構成，連軸器11可帶 動支撐底座12，使支撐底座12原本平行基準平台4〇之面轉 為與基準平台40垂直，原本垂直基準平台40之面轉為與基 20準平台40平行。支撐底座12並可夾持卡g，防止翻轉中之 卡匣30掉落。移動式定位單元20位於翻轉後之卡匣3〇之兩 側邊，其具有基座23、定位元件21與滾動元件22，其中滾 動兀件22與定位元件21固定於基座23上，且滾動元件。突 出於定位元件21與卡匣30之間。當翻轉單元1〇翻轉卡匣⑽ 1246109 時，移動式定位單元2〇會同時往卡匣3〇的方向移動，如圖 4a所示’此時卡㈣係向下移動，當滾動元件22碰觸到卡 ®30時’滾動元件22可對卡㈣產生垂直方向壓制力，如 圖=所示，而將卡Ε30之垂直方向導引至定位，移動式定 5位單7G20繼續移動使定位元件21將卡匣3〇之水平方向引導 至定位，而完成卡Ε30之定位。於本較佳實施例中，定位 70件21為定位擋塊，而滾動元件22為滾動半徑介於2至15 mm之間之精密軸承（如滾珠軸承或滾柱軸承）或滾輪。 外，於本較佳實施例中，於翻轉後之卡㈣下方可預先設 川置-緩衝器41，以緩衝卡㈣翻轉後施加於基準平台仙之 撞擊力’或是一到位元件42 ’以預設卡匿翻轉後之位置。 本較佳實施例尚可包含一個感測器（未顯示於圖中），以 偵測翻轉後之卡㈣是否已達定位。此外，此感測器可進 一步與翻轉單元1G、移動式定位單元20以及辅較位單元 15 50 (，如圖3所不）連接，當卡g3〇已達定位時，此感測器可 發送訊號至翻轉單元10、移動式定位單元20以及輔助定位 單元50,以使翻轉單元1〇與移動式定位單元2〇停止動作， 並使輔助疋位單元5G往卡g 30移動而輔助固定卡g3〇e 實施例2 20 纟實施例之架構與作動方式大致同實施例卜其包括 翻轉單元以及移動式定位單元，翻轉單元位於待翻轉卡E 之底側，翻轉單元係由伺服馬達驅動之連軸器以及L型之 支撐底座所構成，連軸器可帶動支撑底座，使支撑底座原 本平行基準平台之面轉為與基準平台垂直，原本垂直基準

Claims (1)

1246109 拾、申請專利範圍： 1 · 一種卡匣翻轉定位裝置，係用以翻轉一卡匣，並使 翻轉後之該卡匣就定位，包括： 一翻轉單元，位於該卡匣之一側，用以翻轉該卡匣； 5 以及 至少一具有一基座、一定位元件與一滾動元件之移動 式定位單元，位於翻轉後之該卡匣之一側，該定位元件與 該滾動元件固定於該基座上，且該滾動元件突出於該定位 元件與該卡匣之間，用以提供翻轉後之該卡匣垂直方向之 _ 10定位，而該定位元件提供翻轉後之該卡匣水平方向之定位。 2·如申請專利範圍第1項所述之卡匣翻轉定位裝置， 其中該定位元件為定位擋塊。 3 ·如申凊專利範圍第1項所述之卡匣翻轉定位裝置， 其中該滾動元件為軸承或滾輪。 15 4.如申明專利範圍第3項所述之卡匣翻轉定位裝置， 其中該軸承為滾珠軸承或滾柱軸承。 5 ·如申明專利範圍第j項所述之卡匣翻轉定位裝置， 籲 其中.亥翻轉單元之驅動方式為汽紅驅動或飼服馬達驅動。 6.如申巧專利範圍第i項所述之卡匣翻轉定位裝置， 20其更包含-感測器’用以谓測翻轉後之該卡g是否已達定 位。 7· 士申明專利範圍第6項所述之卡匣翻轉定位裴置， 其中該感測器與該翻轉單元及該移動式定位單元連接，當 13