1240502 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於光電力裝置領域，且更具體地，係關於光 學收發器。 【先前技術】 於許多應用，電線用於傳送電源至一遠端裝置，例如感 應器，並由其擷取信號。例如，於飛機應用，電線通常用 於傳送電力至遠端所在感應器，例如襟翼位置感應器，溫 度感應器，壓力感應器等，並由其擷取信號。於工業應用 ，電線通常用於傳送電力至各種遠端所在感應器，例如位 置，壓力，溫度與其他感應器，並由其擷取信號。於醫療 應用，電線用於傳送電力至感應器及/或其他裝置，並由其 擷取信號。於一些情形，感應器或其他電力裝置甚至置於 導管内，其插入人體内。 於每個這些應用及其他應用，電線之使用造成困難。例 如，於一些應用，雷擊可能使長遠電線變為危險或至少較 不可靠。其他環境電力雜訊亦可中斷或降低此類系統之可 靠度。此外，長遠電線造成顯著之電容，電感，與電阻， 其於一些應用，會使感應器信號失真及/或降低感應器信號 可擷取之速度。對於一些醫療應用，例如導管應用，通常 不希望將電線通過插入體内之導管，且尤其，當導管插入 靠近病患心臟或大腦時。通過電線之電流，於一些情形， 將對病患造成威脅。此外，且於某些醫療步驟時，電線會 受強烈電磁場或其他嚴酷環境條件影響，其可能使電線之 85904 1240502 使用變為危險或至少較不可靠。 減y 4分這些困難之一方法為使用遠端所在電池以提供 逆觸感應器電源。然而，使用電池具一些缺點。例如，電 池通常為昂貴且僅持續有限時間。即使當電池適當時，感 應器輸出信號仍須由感應器擷取，其於許多情形，可能需 要使用電線。 減少由於電線造成之一些上述困難之另一方法，為使用 光纖傳送電源至遠端感應器或其他裝置，及/或由其擷取信 號第光纖可用於傳送光電源至遠端感應器。光電源可 藉由遠端所在發光二極體或相似物轉變為電力。該電力可 接著用於提供雷射或發光二極體或相似物電源，其提供代 表感應器輸出信號之一光學信號，通過第二光纖返回。該 方法具些優點’包含增加電磁干擾免疫。然而，於許多 情形，需使用兩個個別光纖-一個用於提供電源至遠端感應 器，且一個用於由遠端感應器擷取感應器輸出信號。於一 些情形可使用單一光纖，但因用於接收光電源信號之發光 二極體，及用於提供感應器輸出信號之雷射或發光二柘蝴 ，通常彼此側面偏移（即，未沿共同光軸），亦需使用複难= 學分光器/結合器。此類光學分光器/結合器為昂貴，龐"大 且於許多情形難以維持適當光學調準位置。 【發明内容】 藉由提供可沿共同光軸偵測入射光束並傳輸輸出光束、 一光學收發器，本發明克服先前技藝之許多缺點。此。疋 許，例如，一或多個光學信號，沿單一光纖傳# 可力 、取得运土光學啦 85904 1240502 發备’或由其提供一或多個 型之光學收發器，其可幫助 具體實施例，光學收發器包 器’其中光學偵測器偵測入 器。此可，例如，消除需要 發器内。 返回信號。此亦可提供一較小 增加裝置密度與產率。於一些 含一光學偵測器及一光學發射 射光束並提供電力至光學發射 個別電源，例如電池於光學收 於-例示性具體實施例，光學收發器包含—光學偵測器 ，其接收具第-波長及/或波長範圍之一入射光束，並藉由 吸收至少-些第-波長及/或波長範圍之光線，偵測入射光 束。光學收發器亦較佳地包含_光學發射器，其與光學偵 測器沿相同光軸放置。光學發射器較佳地傳輸具第二波長 及/或波長範圍之一輸出光束。第一波長及/或波長範圍較佳 地與第二波長及/或波長範圍光線不同。於—些具體實施例 ，光學偵測器與光學發射器形成於共同基板上，但此非於 所有具體實施例均要求。 於一例示性具體實施例，光學偵測器放置於光學發射器 上。於使用時，具第一波長及/或波長範圍之入射光束至少 部分由光學偵測器所吸收。光學發射器可傳輸一輸出光束 向上通過光學偵測备，其中輸出光束包含第二波長及/或波 長範圍。於該例示性具體實施例，光學偵測器較佳地通過 至少一些第二波長及/或波長範圍之光線，以允許輸出光束 通過光學偵測器。此可以任一方法達成包含，例如，由吸 收第一波長及/或波長範圍光線，並通過第二波長及/或波長 範圍光線之材料及/或材料系統，形成光學偵測器。於例示 85904 1240502 性具體實施例 同側。 入射光束與輸出光 束皆通過光學 收發器共 於另一例示性具體實施例，光學 … 測器方向傳輸光線。gp，入射人^ "^離光學偵 戽收π叫| ^ 先束人輻出光束可不通過光 :共關如此提供時，光學偵測器不需由上述 。…二波長及/或波長範圍之材料及/或材料系統形成 。此可提供光學收發器之額外設計彈性。 於再另—例示性具體實施例’光學發射器可放置於光學 偵、測器上。此處’入射光束與輸出光束皆可通過光學收發 器共同側。於該具體實施例，光學發射器可由通過至少— 些第一波長及/或波長範圍之入射光束至光學偵測器之材 料及/或材料系統形成。光學偵測器不需由可通過第二波長 及/或波長範圍之輸出光束之材料及/或材料系統所形成。更 確切地，光學發射器可僅於遠離光學偵測器之方向傳輸輸 出光束。 於一些具體實施例，光學偵測器包含一或多個發光二極 體’其可用於將至少部分入射光束轉變為電力。該電力可 接著用於，直接或間接地，提供光學發射器及/或其他控制 邏輯或感應器電源。於一例示性具體實施例，光學偵測器 包含一些申聯之發光二極體。藉由串聯發光二極體，可總 和每個發光二極體之光謗發電壓，其產生較高之光誘發電 墨。當光學偵測器及/或其他控制邏輯需一些大於由單一發 光二極體可產生之光謗發電壓之最小電壓時，此為希望的 。於一些具體實施例，串聯之發光二極體亦與光學發射器 85904 1240502 串聯。 一電晶體可與串聯之發光二極體及/或光學發射器串聯 。電晶體可具一汲極及/或一源極，與兩個或多個發光二極 體及/或光學發射器串聯。藉由感應器信號或其他控制電路 ，可直接或間接地控制場效電晶體之閘極。場效電晶體裝 置可控制提供至光學發射器之電流及/或電壓。 本發明之光學收發器可置於遠端位置。一局部光學發射 器與一局部光學偵測器可用於與遠端光學收發器聯繫。較 佳地，局部光學發射器與局部光學偵測器具一電源。遠端 光學收發器亦可具電源，但此於一些具體實施例不要求。 局邵光源較佳地提供一入射光學信號至遠端光學收發器之 光學偵測器，且局部光學偵測器較佳地偵測由遠端光學發 射器所提供之輸出光學信號。局部光學發射器與局部光學 偵測器可經由光傳輸介質，例如真空，一或多個光纖，或 其他任何光傳輸介質，與遠端光學收發器聯繫。 於一些具體實施例，局部光學發射器可提供一光電源信 號至遠端光學偵測器。遠端光學偵測器可吸收至少一些由 局部光學發射器所提供之光電源信號，並將光電源信號轉 變為電力信號。至少一些來自電力信號之電源可用於驅動 遠端光學發射器。於該具體實施例，遠端光學收發器不需 具遠端所在電源。 遠端光學收發器亦可包含一控制器，且於一些具體實施 例，可包含一或多個感應器或相似物。控制器及/或感應器 亦可藉由遠端光學偵測器所提供之電力信號提供電源。控 85904 -10 - 1240502 制器可選擇性地啟動遠端光學發射器’以傳輸一或多個信 號返回局部光學偵測器。 万；些應用，可能希望提供控制或其他信號至遠端收發 备。於一具體實施例，局部發射器可提供一光電源信號及 或夕個控制或其他信號至遠端光學收發器。一或多個控 制或其他信號，例如，可於光電源信號頂點調制，或可以 稍U不同波長提供。於任一情形，遠端光學偵測器可依需 要谓測光電源信號及—或多個控制或其他信號。 於-些應用’遠端光學收發器可具自身電源。遠端光學 4 ^扣可接著由局部發射器接收一或多個信號，且可提供 一或多個信號返回至局部偵測器。於該具體實施例，可較 有率也提供遠端光學收發器，因遠端光學收發器之光學 偵測器與光學發射器沿-共同光軸放置。 , 乂本么明之一些具體實施例包含一遠端感應器以 心應5或夕個％境特性。然而，並非提供個別遠端感應器 处光卞^射备本身可作為一感應器，或可幫助提供感應功 能。例如，且认_ , 、歹[示性具體貫施例，光學發射器之選擇 性能參數可隨一戋多 Α叩、 汊夕個裱境特性而變化。藉由監測光學發 射器之輸出發射，、 、 了決足一或多個環境特性之程度。 於另一具體舍、Α 、-男'她例，可於遠端光學發射器與局部 測器間提供—濾 。 |尤卞偵 〜°。。濾光咨特性可隨一或多個環境特性 ‘交化。因此，葬丄 了沒 曰由‘測通過漉光器之光學發射器輸出 二:：或多個環境特性之程度。於-些具體實施二 /慮光夺可為一光纖。 85904 l24〇5〇2 助提供感應功能時’光學發射器，例如，可發射一 汄I光卞彳口唬及一感應斋光學信號。感應器光學信號可用 :感應-或多個環境特性，@返回光學信號可傳遞一或多 每境特性程度至局部偵測器。於_例示性具體實施例， :應器光學信號於與光學發射器間隔-距離之反射面導向 、光學發射器與反射面間之分隔距離取決於―或多個環境 ^特性，例如壓力。分隔距離亦影響反射光束之相位。於操 ^反射光束反射返回光學發射器，且影響返回光學信 唬<一或多個特性，例如返回光學信號之信號或雜訊位準 、藉由監測返回光學信號，可決定一或多個環境特性之程 度。吸收及/或螢光亦可用於提供光學發射器内與周圍之一 或多個環境特性程度。 【實施方式】 圖1為根據本發明之一例示性通訊系統之概要圖式。該例 不性通訊系統可相當有利地用於各種應用，例如，包含飛 機，汽車，工業，電信，與醫療應用，僅列舉數項。 該例示性系統通常以10表示，且包含一局部收發器12及 —遠端收發器14。遠端收發器包含一遠端光學發射器22及 运端光學偵測器2 4。如下之進一步詳述，遠端光學發射 器22及遠端光學偵測器24，較佳地設計為使遠端光學偵測 器24可偵測入射光束26，且遠端光學發射器可沿一共同光 軸傳輸輸出光束2 8。該組態可幫助提供較小型之光學收發 益1 4。該組態亦可允許一或多個光學信號沿單一光纖傳送 土光學收發為1 4 ’且由其提供一或多個返回信號，而不需 85904 -12 - 1240502 複雜光學分光器/結合器或其他光學導？丨機制。 局部收發器12較佳地包含一局部光學發射器及—局部光 學偵測器，皆以18顯示。於一些具體實施例，局部光學發 射器與局部光學偵測器可設計為使局部光學偵測器可_ 入射光束，且局部光學發射器可沿共同光軸傳輸輸出光束 ，但此非必要。於例示性具體實施例，局部收發器I]包含 局：電源20，而遠端光學收發器14不包含電源。於一些： ta貫施例，遠端光學收發器丨4亦可具電源，如1 5所示。 局部光源18較佳地提供入射光束26至遠端光學偵測㈣ :且局部光學偵測器較佳地偵測由遠端光學發射器22提供 I輸出光學信號28。局部光學發射器較佳地於第一波長及/ 或波長範圍傳輸，且遠端光學偵測器24較佳地偵測第—波 長及/或波長範圍。相對地，遠端光學發射器22較佳地於第 二波長及/或波長範圍傳輸，且局部光學偵測器較佳地偵測 第一波長及/或波長範圍。局部光學收發器可經由光傳輸介 質16:例如真空，-或多個光纖’或任何其他光傳輸二: ，與遠端光學收發器1 4聯繫。 於-些具體實施例’局部光學發射器提供光電源信號％ 至遠端光學偵測器24。遠端光學偵測器24可吸收至少一些 由局部光學發射器提供之光電源信號26，絲光電源信號 26轉變為電力信號。至少一些來自電力信號之電源可用於 驅動遠端光學發射器22。於該具體實施例，遠端光學收發 器1 4可不需獨立電源。 Λ 於一些具體實施例，遠端光學收發器14可包含控制器Μ 85904 -13 - 1240502 及/或一或多個感應器或相似物。於一些具體實施例，控制 器30可由遠端光學偵測器24提供之電力信號提供電源。控 制為3 0可用於，例如，選擇性地啟動遠端光學發射器^ 9， 以傳輸一或多個信號28返回局部光學偵測器1 8。 於一些具體實施例，希望提供控制信號或其他信號至遠 端收發器14。於一具體實施例，局部發射器1 8可提供一光 兒源信號及一或多個控制信號或其他信號，共同以2 6顯示 ’至遠端光學收發器14。一或多個控制信號或其他信號， 例如’可於光電源信號頂點調制，或可於不同波長提供， 右需要。於任一情形，遠端光學偵測器24可依需要偵測光 電源信號及一或多個控制信號或其他信號。控制器3〇可幫 助解碼或接收由局部光學發射器提供之控制信號或其他信 竣。局部控制器32亦可幫助解碼或接收由遠端光學發射器 2 2提供之信號。 於一些應用，遠端光學收發器14可具自身電源15。於這 =具體實施例，局部光學發射器18可不提供光電源信號至 =端光學收發器14。然而，遠端光學收發器14仍可由局部 發射器18接收-或多個信號26，且可提供—或多個信號^ L回至局部偵測器1 8。該具體實施例較常見光學收發器有 政率，因遠端光學偵測器24及遠端光學發射器22可沿共同 光軸放置。 圖1所示之例示性光學通訊系統可相當有利地用於各種 應用。例㈤’於飛機與工業應用，該光學通訊系統可”力 減少或消除長遠電線之需求，其可幫助增加可靠度，速度 幻9〇4 -14 - 1240502 ’並減少通訊系統整體重量。 於醫療應用，此類光學通訊系統可幫助減少成消除電線 通過選擇之醫療裝置，例如導管之需求，炎矸幫助減少或 消除遠端電源之需求。此可幫助減少通訊系統之大小，並 可減少與電線及遠端電源有關之潛在危險。 具體地關於導管，可提供一光纖通過導管之内腔。該内 腔例如，可由導管骨幹近側端延伸至近側端末端點。於另 一具體實施例，該内腔可依需要由導管骨幹近側痛末端位 置延伸。該光纖較佳地由導管骨幹近侧端延伸至導管骨幹 近側端末端位置，且於一些情形，通過導管骨幹内腔。於 其他情形’該光纖可依需要為於導管骨幹内壁或其他部分 内製造’或由其所製造之光導。 局邵收發器1 2較佳地與光纖近側端相鄰放置（體外），且遠 ^收發器14較佳地與光纖遠侧端相鄰放置（體内）。電源可經 由如上述之光電源信號傳送至遠端收發器1 4。一或多個感 應器可與遠端收發器14連接，其可提供一或多個感應器信 號。表一或多個感應器信號可接著經由遠端光學發射器2 2 傳如返回局邵光學收發器12。就此點而言，控制器3 〇可藉 由接收一或多個感應器輸出信號，並因此控制遠端光學發 射咨22而幫助。該一或多個感應器可為任何類型感應器， 例如，包含無線電線圈，化學感應器，溫度感應器，壓力 感應备’或適合希望應用之任何其他適當感應器。 圖2為根據本發明之例示性光學收發器之截面側面圖式 。該例示性光學收發器通常以4〇顯示，且包含位於光學發 85904 -15 - 1240502 射器44上之光學偵測器42，兩者皆沿共同光軸46排列。光 學偵測器42較佳地吸收第一波長及/或波長範圍，同時通過 第二波長及/或波長範圍。光學發射器44較佳地傳輸第二波 長及/或波長範圍，其通過光學偵測器42，並由光學收發哭 40頂部離開。於該例示性具體實施例，入射光束與輸出光 束皆通過光學收發器40之頂侧。 雖然可使用由任何一些半導體材料製造之任何適當光學 發射器44，圖2所示之光學發射器44為一平面，電流導引^ 坤化鎵/坤化鋁鎵（GaAs/A1GaAs)頂部發射垂直腔面射型雷 射（VCSEL)。該例示性垂直腔面射型雷射44形成於n摻雜坤 化鎵（GaAs)基板上，其具n接觸層5〇提供於底部表面。打型 鏡面疊層52形成於基板48上。η型鏡面疊層52較佳地為分散 式布拉格反射器（cUstnbuted Bragg reflect〇r，dBR)，其包 含摻雜砷化銘鎵（A1GaAs)與交替較高與較低铭比例之週期 層。 一作用區域54顯示於n型鏡面疊層52上。作用區域可包含 -底部侷限層及一頂部侷限層，若需要。一 p型鏡面疊層6〇 棱仪於作用區域54頂邯以芫成|直腔面射型雷射結構。p型 鏡面疊層60較佳地為分散式布拉格反射器（dbr)，其包含捧 雜绅化銘鎵㈤GaAs)與交替較高及較低銘比例之週期層。n 型鏡面疊層52’作用區域54與p型鏡面疊層_佳地設計為 產生具第二波長及/或波長範圍之輸出光束。 -光學偵測器42提供於垂直腔面射型雷射44頂部。該例 示性光學偵測器42包含三個串聯之發光二極體，其亦與垂 85904 -16 - 1240502 直腔面射型雷射44串聯。一深度口摻雜緩衝層64可提供於頂 部鏡面60頂部，如圖所示。 么為形成第一發光二極體，一 p摻雜層66提供於深度p摻雜 緩衝層64上，隨後為11摻雜層68。p摻雜層“及^摻雜層“皆 可為坤化鋁鎵（AlGaAs)。鋁（A1)比例較佳地調整至與層之能 =^一致，以達到希望之吸收截止波長，其於該例示性具 體實施例，低於垂直腔面射型雷射44之發射波長。 —反向偏壓穿隧介面70提供於第一發光二極體上。穿隧 介面7〇包含兩個高度但相反摻雜之相鄰層，以造成產生狹 笮消耗之一急遽介面，即使於相當低之反向偏壓，允許大 I穿隧電流。於該例示性具體實施例，穿隧介面7〇之底部 層為η型且頂邯層為p型。〇型底部層與第一發光二極體之^ 摻雜層68產生良好電力接觸，且ρ型頂部層與第二發光二極 體之ρ接雜層72產生良好電力接觸。 旦形成穿隧介面70，提供ρ摻雜層72，隨後為η摻雜層 Μ以形成第二發光二極體。穿隧介面7〇與第一發光二極體 及罘二發光二極體串聯。如同第一發光二極體，ρ摻雜層72 及η摻雜層74皆可為坤化鋁鎵（A1GaAs)。鋁比例較佳地調整 為與層之能帶差一致，以達到與第一發光二極體相同之截 止波長，但此並非於所有具體實施例均需要。接著再形成 另牙遂；丨面％，卩过後為p摻雜層78及η換雜層80，以形成 第三發光二極體。 於使用時，具第一波長及/或波長範圍之入射光束84，提 供至光學收發器40頂部.每個第一，第二與第三發光二極 85904 -17 - 1240502 體較佳地調整為吸收至少部公筮 刀弟一波長及/或波長範圍之 入射光束8 4。垂直腔面射型雷私 町土田射又P型鏡面疊層6〇較佳地至 少反射部分弟一波長及/或油·ir m r-^, 久及疚長乾圍。因此，至少部分不為 弟一 ’弟一與弟二發光二極體所哄丨ir、,, 所吸收之光線，將反射通過 發光二極體，如8 6所示。第—，笛— 々 ^ 昂一與罘三發光二極體之 厚度，較佳地調整為使每個發光- 叉尤—極體，由入射光束84與 8 6約吸收相同能量。於一且體音— ” 男、她例，對於808微米之吸收 波長，第一，第二與第三發光-打蝴、陪、、 尤一極岐足厚度分別約為〇 30 ，0.27及0.23微米。可提供_上層接觸層82，以與第三發光 二極體之η型層產生電力接觸m供—或多層四分之一 波長氧化物或氮化物層(未顯示)於結構4〇頂部，以減少反射 並幫助保護光學收發器40。 或多個溝渠96a-96d暴露於氧化環境時，層9Q於側向選擇性 地氧化，以形成垂直腔面射型雷射44之電流孔徑92。藉由 控制層90於氧化環境i暴露時間，可控制側面氧化程度。 由圖可見，暴露時間較佳地控制為保留希望之電流孔徑Μ 且桌助定義垂直腔面射型雷射 於一例示性具體實施例 44之電流孔徑，可蝕刻一或^ 二與第三發光二極體，且於_ 面射型雷射44之頂部鏡面 (Reactive Ion Etch，RIE)達成 法。為促進選擇性側面氧化 部分散式布拉格反射器鏡面： 其他週期層具較高鋁濃度。-個溝渠96a-96d穿過第一，第 些具體實施例，進入垂直腔 。此可藉由反應離子蝕刻 但可使用任何適當圖案化方 才疋供垂直腔面射型雷射44頂 •一或多層週期層，其相對於 此力賓層9 0不於圖2。當經由一 85904 -18 - 1240502 。於〜具體實施例 徑約10微米。 垂直腔面射型雷射44之電流孔徑92直 万；孩例示性具體實施例，第 之側面大小，較垂直於…一……極體 、、、 &面射型雷射44之光學腔92側面大小 。於孩例示性具體實施 减X目丨^ 例罘一，罘二與第三發光二極 :\间大小約可為1〇。，。微米程度，而垂直腔面射型雷 射4〈光學腔側面大小約可為5丨4 ^ M J」為5 -10械米程度。當例如，具 :⑽一微米直徑之光纖置於光學收發器40上時，第一，第二與 弟二發光二極體之侧面大小將足夠寬，以吸收大部分入射 士束”而不需透鏡或其他光線聚集元件。此外，光纖與第 :’第二及第三發光二極體之調準不為困難或緊要的。同 松地，且因垂直腔面射型雷射44之光學腔％，與光纖直徑 相比：當地小，由垂直腔面射型雷射44產生之大部分輸出 光束將由光纖捕獲，而不需透鏡或其他光線聚集元件。因 此’可提供一有效率且划算之光學收發器4〇。 於一些具體實施例，溝渠96心96d之深度可僅約為U微米 至屬層可接著沉積於結構40頂部，以填滿至少一歧溝 渠，例如溝渠96a與96d，以與垂直腔面射型雷射料之頂部 鏡面60產生電力連接。如下進一步所逑，當希望提供由事 聯第一’第二與第三發光二極體產生之整個電位至其他裝 置或結構時，該電力連接為有用。 圖3為圖2之例示性光學收發器頂部圖式。圖3顯示光奧偵 測器42頂部，包含溝渠96a-96d，及垂直腔面射型雷射料之 層90側面氧化之側面寬度。亦顯示用於與光學偵測哭^頂 85904 1240502 部產生電力接觸之金屬接點。 例不性光學偵測器42之外部邊界由外部溝渠界定，其共 同地不於96a與96d。外部溝渠幫助將光學偵測器42與形成 万、相同基板之其他光學偵測器或裝置電源絕緣。外部溝渠 亦為助使價剛器之總電容維持低。該例示性外部溝渠為圓 形但可使用其他形狀。内部溝渠，共同地示於96b與96c ’亦為圓形’且由外部溝渠向内間隔。内部溝渠可以氧化 物或其他電介質填滿，若需要。 於圖3足例示性具體實施例，内部溝渠96b與96c包含一或 多個橋揉，例如橋樑ll〇a-l〇〇d。橋樑u〇a-110d提供位於内 P 4木内之光學偵測器部分，與位於内部溝渠及外部溝渠 間心光學偵測器部分間之電力連接。當如此提供時，金屬 接點104可僅於内部溝渠與外部溝渠間之光學偵測器部分 上延伸並產生電力連接。若未提供橋樑110a-11 〇d，可提供 7金屬圖形通過内部溝渠，以與内部溝渠内之光學偵測器 部分產生電力連接，若需要。由圖可知，光學偵測器44可 較垂直腔面射型雷射44之光學腔92,覆蓋相對較大區域。 當外部溝渠與内部溝渠暴露於氧化環境，垂直腔面射型 :射44之層90(見圖2)於侧面方向選擇性地氧化，以形成電 成或光學孔徑92。侧面氧化寬度由虛線1〇2與108顯示。於 :斤順實施例，垂直腔面射型雷射44之層9。由外部溝渠 ^外乳化至虛線1〇2,且由外部溝渠向内氧化朝向内部溝渠 化Γ地:垂直腔面射型雷射44之層90由内部溝渠向外氧 朝向外α卩溝渠，且由内部溝 再木向内虱化至虛線108。虛線 85904 -20 - 1240502 108界定垂直腔面射型雷射料之電流孔徑92。於一具體實施 例’電流孔徑92直徑約為5 _ 1 〇微米，其產生較低功率之垂 直腔面射型雷射發射器。 於一些具體貫施例，内部與外部溝渠可以氧化物或其他 絶緣材料填滿。於其他具體實施例，一金屬層（未示於圖3) 可沉積進入至少部分一些溝渠，例如内部及/或外部溝渠， 以與垂直腔面射型雷射44之頂部鏡面6〇產生電力連接。如 下進一步所述，當希望串聯之第一，第二與第三發光二極 體所產生之整個電位可為其他裝置或結構使用時，該電力 連接為有用的。以相似方法，且於一些具體實施例，可提 供適當溝渠與金屬接點，使得所有三個電力接點分別可於 頂部表面使用’使得例如正反晶片（fH卜chip)結合至不透光 或透光基板。 圖4為圖表，頭不圖2所示之例示性光學收發器，並模 擬吸收比與波長關係。如上所述，光學偵測器較佳地設計 為吸收/、帛波長及/或波長範圍之光線。於圖4所示之圖 表了一月之第/皮長約對應於8〇8奈米，以直線顯示。 由圖可知’光學收發器之吸收比由約750奈米至815奈米相 *问’峰值約79)奈米。於一最佳設計，峰值可恰位於預期 之第一波長，但可能希望偏移以補償溫度變動。吸收比具 急遽截止於約8 2 0车夹。益山、m μ '、 猎由凋整用於光學偵測器44各層之 鋁比例，可控制截止波長， i上述。不具光學偵測器之垂 直腔面射型雷射44吸收比由曲線 東2 2 員tf。由圖可知，光學 偵測器實質地增加約由775车夫二 、土 8 1 5奈米範圍之吸收比， 85904 -21 - 1240502 其包含約808奈米之預期第一波長。 圖5為一圖表，顯示圖2所示之例示性光學收發器’其模 概反射比與波長關係。由圖5可知，光學收發器之反射比由 約750奈未至815奈米相當低，於約795奈米具一波谷。反射 比於：820奈米具一急遽增加.。如上述，藉由調整用於光學 ::測益44各層之鋁比例，可控制截止波長。不具光學偵測 K垂直腔面射型雷射44反射比以曲線126顯示。由圖可知 光學偵測器實質地降低約775奈米至川奈米範圍之反射 j G。约808奈米之預期第_波長。此外，光學伯測哭 實質地未影響波長约高於δ2。奈米之光學收發器反射比 1垂直月工面射空雷射（共振波長對應於反射比曲線之凸起 lj〇。由圖一可知’垂直腔面射型雷射44之發射波長約為83〇 奈米’其高於光學偵測器吸收之急遽截止。垂直腔面射型 雷射之發射波長因此位於不同波長（例如，第二）或波長範圍 ’如上所討論。 口圖6為一圖表’顯示圖3所示之例示性光學收發器，其模 擬反射比及吸收比盥沽县關仡 、波長關係。由圖可知，於有關波長範 圍’反射比完全地以吸你六抬 ^ 及收人梃，其產生一有效率之光學收 發态裝置。此外，圖6顧7^眘所·以&丄 口 ，肩不/目、貝地所有入射光於有關波長範 圍不是反射即吸收。因此僅與旦 _ 僅被里或典光線於該結構深處傳 輸及損耗。 ^ 圖7為根據本發明之另一 ,._ j炙另例不性光學收發器140截面例面 m㈣化㈣實施例，光學發射器142於遠離光塔 偵測器144方向發射—光束叫例如，通過基板）。即，入i 85904 -22 - 1240502 光束148與輸出光束146不通過光學收發器14〇共同側。於該 八把貝施例，光學發射器】4 2之發射波長較佳地可通過基板 。當如此提供時，光學偵測器144不需由可通過第二波 長及/或波長範圍之材料及/或材料系統形成，如上述。而是 ，相對於藉由光學發射器142發射之第二波長及/或波長範 圍，欲由光學偵測器144偵測之第一波長及/或波長範圍， 可獨立地控制。 圖8為根據本發明之再另一例示性光學收發器160之截面 :面圖式。於該例示性具體實施例，光學發射器162置於光 卞1、d α。1 64上。於該具體實施例，光學發射器^ 可由通 過至少一些第一波長及/或波長範圍之入射光束丨6 6至光學 七、’彳σσ 164之材料及/或材料系統形成。然而，光學偵測器 4不而由可迥過具第二波長及/或波長範圍之輸出光束 168之材料及/或材料系統所形成。而是，光學發射器162可 接傳知例出光束向上且遠離光學偵測器1 。當入射光束 一藉由问功率雷射’例如高功率98〇奈米雷射提供時，該 ^不性具體實施例尤其有用。980奈米光束可通過光學發射 - 由光本偵測态1 64所吸收。於一些具體實施例， 可提供980奈米鏡面於光學偵測器164下，以反射至少—些 不為光學偵測器164吸收且通過之光、線。 - 、Θ亦…丁界定垂直腔面射型雷射丨電流孔徑之另—方 ^於該具體實施例’使用深度氫離子（Η+)埋入以產生絕 ^品或 其限制電流通過垂直腔面射型雷射1 62作用區 域之範圍，雖然於圖8之例示性具體實施例使用深度氫離子 85904 -23 - 1240502 (H + )埋入’可使用任何類型之電流及/或場限制於此處所述 之各種具體實施例，包含例如，增益導引，氧化物限制， 台限制，或任何其他裝置。 圖9為一概要圖式，顯示根據本發明之例示性光學收發器 與感應器。該例示性光學收發器包含第一發光二極體2〇〇， 第一發光二極體202，第三發光二極體204，及光學發射器 2 06。第一發光二極體2〇〇，第二發光二極體2〇2，及第三發 光二極體204乃串聯，如圖所示。光學發射器2〇6亦與第三 發光二極體204串聯。 於該例示性具體實施例，電晶體2〇8與光學發射器2〇6串 聯。該電晶體，其可為增強或損耗模式場效電晶體（FET) ，可具汲極210，源極212與閘極214。於該例示性具體實施 例’場效電晶體208之閘極由感應器2 1 6控制。感應器2 1 6， 例如，可為無線電線圈，化學感應器，溫度感應器，壓力 感應器或適合希望應用之任何其他適當感應器。 於使用時，具第一波長及/或波長範圍之入射光束可至少 部分由第一發光二極體200，第二發光二極體202，與第三 發光二極體2 0 4所吸收。此可於節點2 2 〇與2 2 2間產生一電壓 。該電壓可提供通過光學發射器206與場效電晶體208。當 場效電晶體208關閉時，由第一發光二極體2〇〇，第二發光 一極202，與弟二發光二極體204產生之大部分或所有電 壓，將通過場效電晶體208，且不通過光學發射器206下降 。換言之’場效電晶體2 0 8可防止由第一發光二極體2 〇 〇， 第一發光一極體2 0 2，與第三發光二極體2 〇 4產生之光電流 85904 -24 - 1240502 通過光學發射器206。 :而备感應器216將場效電晶體208開啟時，至少部分 由弟-發光二極體200 ’第二發光二極體2〇2，與第三發光 二極體204產生之電壓’將提供通過光學發射器鳩。換言 之，當場效電晶體208開啟時，場效電晶體2〇8將允許至少 :些由第一發光二極體200，第二發光二極體202,與第三 發光二極體204產生之光電流，通過光學發射器2〇6。當以 此^生時，光學發射器鳩可提供—輸出光束，且較佳地為 具第二波長及/或波長範圍之輸出光束。 :圖可見，第一發光二極體2〇〇,第二發光二極體2〇2, 與第三發光二極體204可用於將至少_些入射光束之光電 源轉變為電力’且至少-些電力可由光學發射器裏所使用 。:以傳輸輸出光束。於所示之例示性具體實施例，該感應 态可不需使用由第一發光二極體2〇〇，第二發光二極體2〇2 ，與第三發光二極體204產生之任何電力。雖然顯示三個串 聯發光二極體，可使用任何適當數目之發光二極體。 圖10為一概要圖式，顯示根據本發明另一具體實施例之 例示性光學收發器’控制器，與一或多個感應器。該例示 性光學收發器包含第一發光二極體230，第二發光二極體 232,第三發光二極體234,及光學發射器236。第一發光二 極體230，第二發光二極體232，與第三發光二極體234乃串 聯’如圖所示。光學發射器236亦與第三發光二極體234串 聯。 如同圖9所不之具體實施例，電晶體23 8可與光學發射器 85904 -25 - 1240502 236串聯。電晶體可具汲極240，源極242與閘極244。於該 例示性具體實施例，場效電晶體23 8之閘極由感應器/控制 區塊2 4 6所控制。感應器/控制區塊2 4 6可包含控制電路及一 或多個感應器。該例示性感應器包含，例如，無線電線圈 ，化學感應器，溫度感應器，壓力感應器，或適合希望應 用之任何其他適當感應器。 於使用時，具第一波長及/或波長範圍之入射光束，可至 少部分由第一發光二極體230，第二發光二極體232，與第 三發光二極體234所吸收。此可於節點250與252間產生一電 壓。該電壓提供通過光學發射器236與場效電晶體238。當 場效電晶體238關閉時，由第一發光二極體230，第二發光 二極體232，與第三發光二極體234產生之電壓，將通過場 效電晶體238，且不通過光學發射器236下降，其不具電壓 下降，除非電流流通。換言之，場效電晶體23 8傾向防止由 第一發光二極體230，第二發光二極體232，與第三發光二 極體234產生之光電流，通過光學發射器236。然而，當感 應器/控制區塊246將場效電晶體238開啟時，至少部分由第 一發光二極體230，第二發光二極體232，與第三發光二極 體234產生之電壓，將提供通過光學發射器236。換言之， 當場效電晶體23 8開啟時，場效電晶體23 8將允許至少一些 由第一發光二極體230，第二發光二極體232，與第三發光 二極體234產生之光電流，通過光學發射器236。當以此發 生時，光學發射器236可提供一輸出光束，且較佳地為具第 二波長及/或波長範圍之輸出光束。 85904 -26 - 1240502 感應器/控制區塊246可連接至節點250與252，如虛線所 示。感應器/控制區塊246可因此接收節點250與252間之電 壓差，且可使用該電壓提供感應器/控制區塊246電源。使 用提供至感應器/控制區塊246之電源，感應器/控制區塊246 可包含可選擇性控制場效電晶體238閘極244之電路或其他 邏輯。 圖11為一概要圖式，顯示根據本發明之再另一例示性光 學收發器，控制器，與一或多個感應器。該例示性光學收 發器包含第一發光二極體260，第二發光二極體262，第三 發光二極體264，及光學發射器266。第一發光二極體260， 第二發光二極體262，與第三發光二極體264乃串聯，如圖 所示。光學發射器266與第三發光二極體264串聯。 如同圖9-10所示之具體實施例，電晶體268與光學發射器 266串聯。電晶體可具汲極270，源極272與閘極274。於該 例示性具體實施例，場效電晶體268之閘極274由感應器/控 制區塊276所控制。感應器/控制區塊276可包含控制電路及 一或多個感應器。該例示性感應器包含，例如，無線電線 圈，化學感應器，溫度感應器，壓力感應器，或適合希望 應用之任何其他適當感應器。 於使用時，具第一波長及/或波長範圍之入射光束，可至 少部分由第一發光二極體260，第二發光二極體262，與第 三發光二極體264所吸收。此可於節點280與282間產生一電 壓。該電壓提供通過光學發射器266與場效電晶體268。當 場效電晶體268關閉時，由第一發光二極體260，第二發光 85904 -27 - 1240502 二極體262，與第三發光二極體264產生之大部分或所有電 壓，將通過場效電晶體268且不通過光學發射器266下降。 換言之，場效電晶體268將傾向防止由第一發光二極體260 ，第二發光二極體262，與第三發光二極體264產生之光電 流，通過光學發射器266。然而，當感應器/控制區塊276將 場效電晶體268開啟時，至少部分由第一發光二極體260， 第二發光二極體262，與第三發光二極體264產生之電壓， 將提供通過光學發射器266。換言之，當場效電晶體268開 啟時，場效電晶體268將允許至少一些由第一發光二極體 260，第二發光二極體262，與第三發光二極體264產生之光 電流，通過光學發射器266。當以此發生時，光學發射器266 可提供一輸出光束，且較佳地為具第二波長及/或波長範圍 之輸出光束。 於該具體實施例，感應器/控制區塊276連接至節點280與 284。當希望由串聯之第一，第二與第三發光二極體產生之 整個電位可為感應器/控制區塊276所使用時，該電力連接 為有用地。感應器/控制區塊276可使用該電壓提供感應器/ 控制區塊276電源。使用提供至感應器/控制區塊276之電源 ，感應器/控制區塊276可包含可選擇性控制場效電晶體268 閘極274之電路或其他邏輯。 於一些具體實施例，感應器/控制區塊276可包含一能量 儲存裝置，例如電容290。感應器/控制區塊276可導引至少 一些由第一發光二極體260，第二發光二極體262，與第三 發光二極體264產生之光電流至電容290，其增加通過電容 85904 -28 - 1240502 290之電壓。當感應器/控制區塊276決定開啟光學發射器 266之時間後，感應器/控制區塊276可連接電容29〇至場效 電晶體268之閘極274。儲存於電容29〇之能量可用於驅動場 效電晶體268，當需要。較其他可取得方式，其亦可用於提 供較高峰值電源至感應器。 方；1應用希^'楗供控制或其他信號至感應器/控制區 塊276。於一具體實施例，一或多個控制或其他信號可提供 於入射光束。該一或多個控制或其他信號，例如，可於光 電源信號頂點調制，或可以稍微不同波長提供。於任一情 形，第一發光一極體260，第二發光二極體262，與第三發 光一極體264可偵測光電源信號及一或多個控制或其他信 號，若希望。感應器/控制區塊276可具可由入射光束擷取 一或多個控制或其他信號之電路，若希望。 圖12為一概要圖式，顯示根據本發明之例示性光學收發 器與控制器。該例示性光學收發器包含第一發光二極體2 9 〇 第一發光一極體292，第三發光二極體294，及光學發射 器296。第一發光二極體29〇，第二發光二極體292，與第三 發光二極體294乃辛聯，如圖所示。 於該具體實施例，控制區塊298連接至節點3〇〇與3〇2。控 制區塊298可具或不具自身電源。當控制區塊⑽不具自身 電源時’自串聯之第一 ’第二與第三發光二極體產生之電 位’可用於提供控制區塊298電源。於任—情形，控制區^ -98可具由入射光束擷取一或多個控制或其他信號之電路 。該一或多個控制或其他信號，可經由線路3〇4提供至一或 85904 -29 - 1240502 多個感應器或一些其他終點。 控制區塊298亦可經由線路306接收 ,^ 饮叹一或多個外部信號。 該外邵信號可藉由一或多個感應器，— ^ 些其他信號源例 如電腦，一件電信設備等提供。藉由祐 成 ⑻她加一通當電流/電壓 至光學發射器2 9 6，控制區塊2 9 8可將—弋夕y 上μ ^ 或多個外部信號轉 變為輸出光束。較佳地，第一發光二極體29〇，第二發光二 極體292，與第三發光二極體294，沿斑氺與政ή ,、4 Θ先學發射器296之共 同光轴放置，如上述。 圖13為一時間安排圖式，顯示操作根據本發明之光學收 發斋之一例示性方法。於該例示性方法，具第一光束強度 之入射光束’藉由局部收發器經由光學介質提供至遠端收 發器。該入射光束較佳地具第一波長及/或波長範圍。該遠 ‘光學收發為接收入射光束，並使用至少一些來自入射光 束之電源，傳輸具第二光束強度之輸出光束返回至局部收 ^ p亥輸出光束較佳地具第二波長及/或波長範圍。 為維持遠端光學發射器位於或接近臨界值，局部收發器 可增加入射光束之光束強度，直到所偵測之輸出光束強度 達到預先決定位準。一旦達到，該輸出光束可藉由遠端收 發器調制，以於輸出光束提供一光學信號。 具體地參照圖1 3，局部收發器可藉由增加入射光束強度 開始’如3 3 0所示。遠端光學偵測器偵測入射光束，且最後 提供足夠電壓/電流，以使遠端光學發射器位於或接近臨界 値，例如臨界值332。局部收發器接著偵測輸出光束強度， 以决走遠端發射器何時位於或接近臨界值。當遠端發射器 859()4 -30 - 1240502 ，二々次娱近臨界僅， 334所示 入射光束強度可相當固定 調學發射器位於或接近臨界值，遠端收發器可 ⑽ f线，如 336,338 ，數位調 、了使用，例如，頻率調制，振幅調制 σ 3布望之任何其他類型調制。 圖14為一時間委拼 於哭、 — ㈤式，顯示操作根據本發明之光學收 知裔 < 另一例示性太、、土 、Α、、 件且柄、 万法。於孩例示性方法，局部發射器提 1、具相當固疋光+強 遠 又入射光束，其較佳地足以提供 二山古庠w X ^ k 5虎运回至局部收發器時，遠 场先子收發器接著僅提供電 學收發器可心先學發射器。遠端光 〜…輸出先束，以於輸出光束提供-或多個光 卞仏唬，如352，354與3 56所示。如上诚 上述，孩輸出光束可使 用’例如，頻率調制，据杇 7甘 振m數位調制，或希望之任 何其他類型調制。 圖15為一時間安排圖式， 、 知作根據本發明之光學收 舍再另一例示性方法。該方法 、 口 1 4所不之相似。即 ，局邯僉射器於具相當固定光束強 ,_ , 5度入射光束，提供一 光黾源信號’其較佳地足以提供袁 扠仏还崎先孥收發器電源。然 而，局邵發射器亦於光電源信號頂 周制一或多個控制信 唬，如360，362與364所示。遠端氺與仏a 〇 I崎先子收發器可偵測光電源 k號及一或多個控制信號，並擷取_ 访、、、土 ^ 2夕個控制信號，若 布王。该逆私光學收發器亦可調制輸 尤朿，以於輸出光 束提供一或多個光學信號，如37〇 72與374所示。該入射 85904 -31 - 1240502 光束與輸出光束可使用，例如，頻率調制，振幅調制，數 位調制，或希望之任何其他類型調制。 圖1 6為一概要圖式，顯示另一例示性光學收發器，其使 用光學收發器及/或光學傳輸介質（例如光纖）選擇之參數或 特性，作為一感應元件。該遠端光學收發器通常示於400。 於該例示性具體實施例，遠端光學收發器400包含一光學偵 測器及一光學發射器，共同示於402。可提供光纖404或其 他光傳輸介質，以由局邵光學收發器（未顯示），傳送一光電 源信號至遠端光學收發器400。光纖404亦可接收由遠端光 學收發器400提供之光學返回信號412，如上述。 於該例示性具體實施例，於光纖404與遠端光學收發器 402間，提供濾光器406或相似物。濾光器406較佳地設計為 以一或多個環境特性，改變光纖404與遠端光學收發器402 間之光學搞合。例如，濾光器4 0 6可因溫度，壓力，震動， 應力或一些其他環境特性，變為較不具光學效率。例如， 濾光器406可為光纖長度，或任何其他適當材料，當遭遇改 變之環境特性時，其產生光學效率改變。對於壓力感應器 ，濾光器406可為一隔膜或相似物，其設計為當暴露於改變 壓力時，改變光纖404與遠端光學收發器402間之距離，調 準，角度或其他參數。距離，調準及/或角度之改變，可於 光纖404與遠端光學收發器402間之光學耦合，產生一改變。 於使用時，局部光學收發器可提供光電源信號408至遠端 光學收發器402之光學偵測器。光電源信號408於一些具體 實施例可為第一波長。如上述，光學偵測器可偵測並將光 85904 -32 - 1240502 電源信號40 8轉變為電力信號，其可提供至遠端光學收發器 402之光學發射器。光學發射器接著可提供光學返回信號 410返回至局部光學收發器。光學返回信號41〇可為第二波 長。 當一或多個環境特性改變時，濾光器406可改變光纖404 與遠端光學收發器402間之光學耦合。例如，因溫度，壓力 或些其他環境特性改變，漉光器4 0 6可變為較不具光學效 率。因此，例如，當溫度，壓力或其他環境特性改變時， 邵分光學返回信號410將由濾光器406阻擋或否則過濾。光 學返回仏號剩餘邵分4 1 2可允許經由光纖404通過局部光學 收發器，該數量乃取決於希望環境特性之值。由圖可知， 且於該例示性具體實施例，希望環境特性之程度，可藉由 松知光學返回信號4 1 2決定。或者，或此外，濾光器4〇6可 隨溫度，壓力，震動，或—些其他環境特性，產生光學返 回信號410之波長及/或相位改變。例如，希望環境特性之 程度可藉由檢驗光學返回信號412之波長及/或相位決定。 於另一例示性具體實施例，未提供濾光器4〇6。而是，遠 端光學收發器402及/或光纖404之選擇性能參數改變，可用 於提供希望環境特性之程度。例如，學發射器，例如 垂直腔面射型雷射可具一些性能參數，例如開啟臨界值， 發射波長，發射效率及/或其他參數，其隨溫度改變。例如 ’且於該範例，可藉由監測光學發射器之一或多個性能參 數，決定遠端光學發射器内與周圍之溫度程度。 ， 於一例示性具體實施例 此可藉由提供光電源信號4〇8 85904 -33 - 1240502 至遠端光學收發器402之光學偵測器而達成。該光學偵測器 可偵測並將光電源信號408轉變為電力信號，其可接著提供 至遠端光學收發器402之光學發射器。該光學發射器可接著 提供光學返回信號410返回至局部光學收發器。遠端光學收 發器402可包含控制電路，其接收由光學偵測器提供之電力 信號，並提供一固定電流至光學發射器。該控制電路可包 含，例如，一固定電流源。該固定電流源可於固定位準驅 動光學發射器。例如由於溫度改變，所造成之遠端光學發 射器發射效率改變，將使得光學返回信號4 1 0之輸出功率改 變。藉由監測光學返回信號410之輸出功率，可決定遠端光 學發射器内與周圍之溫度。於另一具體實施例，遠端光學 發射器之波長可隨溫度改變。於該具體實施例，可監測光 學返回信號410之波長，以決定遠端光學發射器内與周圍之 溫度。 於另一例示性具體實施例，該遠端光學發射器之開啟臨 界值可隨溫度或一些其他環境特性而變化。於該具體實施 例，該局部光學收發器可變化光電源信號40 8之功率，以確 認遠端光學發射器之開啟臨界值。該遠端光學發射器之臨 界值可藉由，例如，當遠端光學發射器開始提供光學返回 信號410時，紀錄光電源信號40 8之功率位準而決定。藉由 監測遠端光學發射器之臨界值，可決定遠端光學發射器内 與周圍之溫度或其他環境特性。 於另一例示性具體實施例，該遠端光學偵測器可設計為 提供，例如，隨希望環境特性，例如溫度，改變之吸收截 85904 1240502 止波長。當如此提供時，溫度改變將使遠端光學偵測器偵 測到較少由局部光學收發器提供之光電源信號4〇8。此接著 ，使得較少電力傳送至遠端光學發射器，其可能減少光學 返回信號41 0之功率位準。因此，藉由監測光學返回信號41〇 之功率位準，可決定遠端光學偵測器内與周圍之溫度程度。 於另一例示性具體實施例，光纖4〇4之傳輸特性可用於偵 測某些環境特性。於許多情形，光纖之傳輸特性隨溫度， 壓力，應力，彎曲等改變。於一些具體實施例，光學發射 器於固定位準驅動，及/或使得光學發射器之輸出發射相當 固定。接著，於光學返回信號412之任何改變，可藉由光纖 404傳輸特性之變化產生。於一些具體實施例，光纖4〇4可 盤繞或否則安裝於欲感應之位置，以增加測量靈敏度。接 著，藉由監測光學返回信號412，可決定感應環境特性之程 度。这些僅為數個例示性範例，顯示遠端光學收發器4〇2及 /或光纖404之選擇性能參數改變，如何用於提供遠端光學 收發器402内與周圍之希望環境特性程度。 圖Π為一例示性圖式，顯示另一例示性光學收發器’其 使用螢光材料420作為感應元件。於—具體實施例，氣體或 液體之流動418導引通過螢光材料42〇。螢光材料42〇可設計 為當一或多個成分出現於流動，且當螢光材料42〇以預先決 定波長光線照射時發螢光。該遠端光學發射器可以預先決 足波長4光線422照射螢光材料42〇。螢光材料42〇接著可於 取決於欲感應環境特性之位準發螢光，且因此提供光學返 回信號424返回局部光學收發器。光學返回信號424之強度 85904 -35 - 1240502 ，例如，可提供流動4 1 8内一或多個成分濃度之指示。由遠 端光學發射器提供之光線422預先決定波長，與光學返回信 號424可為不同波長。當測量成分濃度時，例如，可於遠端 光學收發器内與周圍實施化學試驗及/或其他化學分析。 圖1 8為一概要圖式，顯示另一例示性光學收發器，其使 用光學收發器之光學發射，以感應一或多個環境參數。於 該例示性具體實施例，該遠端光學收發器包含於兩個或多 個方向提供光線之一光學發射器。於一方向，光線426提供 為感應遠端光學收發器430内與周圍之一或多個環境特性 。於另一方向，光線4 2 8提供作為光學返回信號，經由光纖 432至局部光學收發器。 於使用時，且如上述，一局部光學收發器可提供光電源 信號434至遠端光學收發器。遠端光學收發器430之遠端光 學偵測器，可偵測並將光電源信號434轉變為電力信號，其 可提供至遠端光學收發器430之遠端光學發射器。該遠端光 學發射器可接著於兩方向提供光線，如上述。 於該例示性具體實施例，遠端光學收發器430之遠端光學 發射器為一垂直腔面射型雷射。一垂直腔面射型雷射典型 地具兩相對鏡面，其形成法布里-派洛（Fabry-Perot)腔。於 該具體實施例，兩相對鏡面之反射比可設計為經由一相對 鏡面發射第一光束，且經由另一相對鏡面發射第二光束。 第一與第二光束之一，例如光束426,導引朝向反射面436 ，有時經由透鏡43 8。可使用任何適當透鏡或透鏡系統，或 完全無透鏡，取決於應用。光束426由反射面436反射，且 85904 -36 - 1240502 提供返回至垂直腔面射型雷射。-些反射光線可進入垂直 腔面射型雷射’且取決於反射光線之相對相位，於垂直腔 面射型雷射内產生-雜訊位準（例如干擾）。垂直腔面射型雷 射内之雜訊位準’可於光學返回信號428中傳輸返回局部光 學收發器。反射光線之相對相位，與垂直腔面射型雷射及 反射面436間之距離” d" 44〇相關。藉由監測光學返回信號 428内之雜訊位準，可決定距離，，d" 44〇之程度。 於一例示性具體實施例，反射面436可固定於壓力感應隔 月吴，其中該隔膜根據隔膜内與周圍之壓力，移動朝向或遠 離垂直腔面射型雷射。當隔膜内與周圍之壓力改變，距離 ndn 440，且因此反射光線之相對相位亦改變。如上述，此 改又了使垂直腔面射型雷射内之雜訊位準改變，其於光學 返回信號428中提供。藉由監測光學返回信號428内之雜訊 位準，可決定距離，，d” 440之程度，且因此可決定隔膜内與 周圍之壓力。 圖19為一概要圖式，顯示再另一例示性光學收發器，其 使用光學收發器之光學發射以感應一或多個參數。該具體 實施例與圖18所示與描述之具體實施例相似，但使用流動 450内之一或多個成分之光學吸收，以衰減或否則改變反射 光線448之強度。於該具體實施例，反射面452可移動或不 移動。如上述，一些反射光線448進入遠端光學收發器454 之垂直腔面射型雷射。該垂直腔面射型雷射與反射面4 5 2間 之距離，為使得反射光線448至少部分與垂直腔面射型雷射 所發射之光線不同相位，且因此可於垂直腔面射型雷射内 85904 -37- 1240502 產生一雜訊位準（例如干擾）。該雜訊位準接著經由光學返回 信號4 5 6傳輸返回局部光學收發器。 若流動450包含高濃度之一或多個成分，較多反射光線 44 8可由4動所吸收，且進入垂直腔面射型雷射之反射光線 448強度將減少。此接著，可減少垂直腔面射型雷射内之雜 Λ U -r於些彳目形’咼濃度之一或多個成分可使得較少 反射光線448被吸收，且進入垂直腔面射型雷射之反射光線 448強度可增加。此接著，可增加垂直腔面射型雷射内之雜 訊位準。於任一情形，雜訊位準之改變，且因此一或多個 成分濃度之改變，可藉由監測光學返回信號456内之雜訊位 準而彳貞測。 並非使用垂直腔面射型雷射本身以偵測反射光線之改變 ，可提供一個別遠端偵測器。該個別遠端偵測器可偵測反 射光線448強度，相位或一些其他特性之改變。偵測之改變 可接著於光學返回信號456内傳輸返回至局部光學收發器 忒個別运端偵測益可與，例如，圖1 8與1 9所示與描述之 具體實施例，及其他具體實施例結合使用。 圖20為一概要圖式，顯示另_例示性光學收發器，其使 用光學收發器之光學發射與螢光材料，以感應一或多個環 境特性。該具體貫施例與圖1 8 -1 9所示之具體實施例相似， 但包含螢光材料460，而非，或增加一反射面。於一具體實 施例，氣體或液體之流動462導？丨通過螢光材料46〇。螢光 材料460可設計為當一或多個成分出現於流動462，且當螢 光材料460以預先決定波長光線照射時發螢光。遠端光學發 85904 -38 - 1240502 射咨（例如垂直腔面射型雷射）可以預先決定波長之光線464 知射螢光材料460，之後螢光材料460可發螢光並提供一勞 光光學信號至遠端光學收發器466。該螢光光學信號之強度 可才疋供作為流動4 6 2内一或多個成分濃度之指示。於該例 示性具體實施例，預先決定波長之光線464由垂直腔面射型 雷射提供，且該螢光光學信號為不同波長，但非必要。 當預先決定波長之光線464與螢光光學信號為相同波長 時’垂直腔面射型雷射本身可作為一偵測器，如上述。當 預先決足波長之光線464與螢光光學信號為不同波長時，可 使用個別遠端偵測器468以偵測螢光光學信號。於任一情形 ，螢光光學信號之程度可經由光學返回信號47〇，提供至局 邯光學收發器。該具體實施例可用於實施，例如，遠端光 學收發器内與周圍之化學試驗或其他化學分析。 圖2 1為一概要圖式，顯示一例示性光學收發器，其使用 一光學發射器，以由入射光束產生光電源，並提供一光學 返回信號。於該例示性具體實施例，遠端光學發射器498為 垂直腔面#型雷#，但可使用任何其料當光學發射器。 當垂直腔面射型雷射接收到低於開啟垂直腔面射型雷射 498所需光學功率之光線時，垂直腔面射型雷射_可供 給-少量電流。該光線於垂直腔面射型雷射㈣之作用區吸 收，其產生少量電流。控制區塊5〇6可由垂直腔面射型雷射 4雜收少量電流，且充電遠端電源5〇2。遠端電源5〇2可包 含，例如，電、池或電容5〇4。遠端電源奶可以少量光線連 續地充電，或可以大量光線脈衝快速充電。遠端電請可 85904 -39 - l24〇5〇2 儲存收集之電荷，且稍後可使用該電荷驅動垂直腔面射型 雷射498，以提供光學返回信號5 1 4。 於一些具體實施例，可提供遠端感應器5 1 〇，以感應遠端 感應器5 1 〇内與周圍之一或多個環境特性。遠端電源5〇2可 提供電源至遠端感應器5 1 〇，若希望。於一些具體實施例， 控制區塊506，垂直腔面射型雷射498及/或遠端感應器51〇 ，可能需要多於遠端電源502所提供之電壓。於這些情形， 控制區塊506可包含電荷抽取電路或其他電路或裝置，以形 成較高操作電壓。於一些具體實施例，來自遠端感應器51〇 之信號5 1 2，可使用相似電荷抽取電路傳送至垂直腔面射型 雷射49 8及/或控制區塊506，以形成足夠操作電壓。 並非挺供运〃而感應咨5 1 〇，且如上述，可使用垂直腔面射 型雷射498及/或光纖516之選擇性能參數改變，以提供希望 環境特性之程度。於一例示性具體實施例，垂直腔面射型 雷射498偵測並將光電源信號5〇〇轉變為電流，其接著儲存 於遠端電源502。當遠端電源5〇2充分充電後，遠端電源可 供給垂直腔面射型雷射498足夠電流，以提供光學返回信號 514返回一局部光學收發器。 如上述，由於垂直腔面射型雷射498内與周圍之溫度改變 或其他裱境特性，所產生之垂直腔面射型雷射498發射效率 改凌，可使光學返回信號5丨4之輸出功率改變。藉由監測光 學返回信號514之輸出功率，可決定垂直腔面射型雷射498 内與周圍之溫度或其他環境特性。同樣地，垂直腔面射型 雷射498之波長，臨界值及/或其他性能特性，可用於決定 85904 -40 - 1240502 垂直腔面射型雷射498内與周圍之一或多個環境特性。 經由本發明所述之較佳具體實施例，熟知此項技藝之人 士將可JL即瞭解，此處之解說可適用於此處所附申請專利 範圍範疇内之其他具體實施例。 【圖式簡單說明】 藉由苓考上列詳細說明，並考慮相關伴隨圖式，將容易 察知並更加瞭解本發明之其他目的與本發明之許多伴隨= 點，其中於所有圖式中，相同參考數字表示相同部分，且 其中： 圖1為根據本發明之一例示性通訊系統概要圖式； 例示性光學收發器之截面側面圖 圖2為根據本發明之 式； 圖3為根據本發明之 圖4為一圖表，顯示圖 吸收比與波長關係； 乃 < —例示性光學收發器之俯視圖式； 顯不圖2所示之例示性光學收發器之模擬
頭不圖2所示之例示性光學收發器之模擬 反射比與波長關係； 區1 A>固 士
圖9為一概要圖式， 良、員示根據本發明之一例示性光學收發 85904 -41 - 1240502 器與感應器； 圖1 0為一概要圖式，顯示根據本發明之—例示性光學收 發器，控制器，及—或多個感應器； 卞 圖11為一概要圖式，顯示根據本發明之另一例示性光學 收發斋，控制詻，及一或多個感應器； 圖12為一概要圖式，顯示根據本發明之一例示性光學收 發器及控制器； f 鮮貝7Γ操作根據本發明之光學收 圖1 3為一時間安排圖式 發器之一例示性方法； 顯示操作根據本發明之光學收 顯示操作根據本發明之光學收 圖14為一時間安排圖式 發器之另一例示性方法； 圖1 5為一時間安排圖式 發咨之再另一例示性方法 圖16為-概要圖式，顯示另—例示性光學收發器，其使 Μ學收發H及/或光學傳輸介質之選料性，作 件； ' 圖17為一概要圖式，顯示另 用螢光材料作為感應元件； 一例示性光學收發器 其使 圖1 8為一概要圖式，顯示另一例示性光學收發器，其使 用光學收發器之光學發射以感應一或多個參數，· 圖1 9為一概要圖式，顯示再另一例示性光學收發器，其 使用光學收發器之光學發射以感應一或多個參數； 圖20為一概要圖式，顯示另一例示性光學收發器，其使 用光學收發器之光學發射與螢光材料以感應—或多個參數； 85904 -42 - 1240502 圖2 1為一概要圖式，顯示一 一光學發射器以由入射光束產 信號。 【圖式代表符號說明】 10 12 14 16 18 20, 15 22 24, 468 26, 84,86, 148, 166 28, 146, 168 30 32 40, 140, 160 42, 144, 164 44, 142, 1 62, 206, 236, 284, 296, 498 46 48, 150 50 52 例示性光學收發器，其使用 生光電源並提供一光學返回 例示性通訊系統 局部收發器 遠端收發器 光傳輸介質 發射器/偵測器 電源 發射器 偵測器 入射光束 輸出光束 感應器/控制器 控制器 光學收發器 光學偵測器 光學發射器 共同光軸 基板 η接觸層 η型鏡面疊層 85904 -43 - 1240502 54 作用區域 60 頂部鏡面 64 P掺雜缓衝層 66, 72, 78 P摻雜層 68, 74, 80 η捧雜層 70, 76 穿隧介面 82 上層接觸層 90 層 92 電流孔徑 96a-96d 溝渠 102, 108 虛線 104 金屬接點 llOa-llOd 橋樑 120, 126 曲線 130 凸起 170 絕緣區域 220，222, 250, 252, 282, 284, 300, 302 280，節點 200, 230 ,260 ,290 第一發光二極體 202, 232, 262, 292 第二發光二極體 204, 234, 264, 294 第三發光二極體 208, 238, 268 電晶體 210, 240, 270 汲極 212, 242, 272 源極 214, 244, 274 閘極 85904 -44 - 1240502 216, 510 246, 276 290, 504 298, 506 304, 306 330,334,350 332 336，338, 340，352, 354: 356, 370, 372, 374 360, 362, 364 402, 430, 454, 466 404, 432, 516 406 408, 434, 500 410,412, 424, 456, 470, 514 418, 450, 464 420, 460 422, 464 426 436, 452 438 440 448 5 12 感應器 感應器/控制區塊 控制區塊 線路 入射光束強度 臨界值 光學信號 控制信號 垂直腔面射型雷射/偵測器 光纖 漉光器 光電源信號 光學返回信號 流動 螢光材料 預先決定波長之光線 光束 反射面 透鏡 距離nd” 反射光線 信號 遠端電源 502 85904 -45 -