TWI220139B - Substrate holder - Google Patents

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1220139 五、發明說明（1·) 本發明係關於一種基板固持件，其具有至少二基板置放 件，用以在其間放置圓盤形之基板，該基板置放件具有至少 一磁鐵且相互吸合。另外，本發明亦關於一種裝置，用以置 放基板，#亥裝置具有弟一及第二基板置放件，用以在其間放 置圓盤形之基板，該基板置放件係以磁力固相互吸合，本發 明也包括一方法及裝置，用以分離基板置放件。 裝 i I I I I I 面 訂 在工程技術中係為習知，例如將塑料圓盤置放於基板固 持件内，以備後續處理之需。此類之塑料圓盤之處理包括例 如塗上一薄薄之材料層，尤其是在濺鍵裝置内塗上一金屬 層。一習知之用於置放塑料圓盤之基板固持件，具有二平坦 之基板置放件，用以在其間放置塑料圓盤。為使塑料圓盤放 置後不受應力，在一基板置放件内設有凹穴，以置放塑料圓 盤。在將塑料圓盤放入一基板置放件之凹穴後，另一基板置 放件再蓋上，並以磁力固定。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 在裝載或卸下圓盤時，為分離該二基板置放件，以往係 在基板置放件中插入一楔，以壓迫二置放件克服磁力。其間 產生之問題為：由於楔之插入，在基板置放件及楔内造成摩 擦，導致不希望之摩損，除此之外，在插入楔時，通常下方 之基板置放件被輕微提起，因為在插入模時，由於需要之容 許誤差，會在向下方之基板置放件設計一小間隙。由於楔之 插入，下方之基板置放件被推向楔之下侧，因而很容易被從 原有之置放位置舉起。在二基板置放件分離且克服磁力後， 下方之基板置放件又回復至原有置放位置。其中有各種問 題，根據起始間隙之大小及隨之變化之基板置放件下降深度 本i尺度週用甲國圉豕稞準（CNS)A4規袼(_21〇 X 297公i ) -6 ~ A7

1220139 狀。-方面’由於基板置雜之下时能有柯物，例如 上述之磨粒落入設備内，另—方面，放置凹穴内之塑料圓盤 可轉出，因而塗料上之續射能受繼害。除此之 外，當圓盤從凹穴彈出，即不可能進行塑料圓盤之自動取出。 從上狀麟航祕，轉狀歸在於，提出一種 基板固持件’―方法及—㈣以置放紐，其具有至少二基 板置放件’用以在其間放置圓盤形之基板，其中基板置放件 可輕易分離，且不產生磨粒。 娜本㈣，此紐麵—練目持件純解決，並且 輕少二有过相關周尺寸之練置放件，用以在其間放 頭_之絲’射，結—餘置放件設歧置基板之 m少在-基板置放件上具有磁鐵，以吸合基板置放 件’在第-基板置放件内至少有一缺口，可從背面抓取第二 基板置放件’在第二基板紐件内至少具有_孔，—操作裝 7G件可穿越制。藉由—減之抓取裝置可由第一 雜Ϊ放㈣之缺Π從f娜轉二絲£鱗，使基板置 放件可克服磁力姐分離。在背面抓取及分料程中不會產 經 ^磨粒’因此可防止基板或是基板置放件受到斥染。藉由在 | 帛二基板置放件内之至少一孔，一操作裝置之固定元件可穿 | 過第二基板置放件，以將第—基板置放件壓在一支承元件 I 上，並防止第一基板置放件與第二基板置放件-起運動。第 | -基板置放件可_定住，而在二絲毅件分轉放置於 * 其上之基板不會彈出。 | 最好在第一基板置放件内設置二於徑向對稱之缺口，以 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規袼（210 X 297公爱)~—--------

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便能均勻地抓取第二基板置放件。另外，由於徑向對稱之缺 口，在第二基板置放件相對第一基板置放件運動離開時，有 較均勻之出力。 在-有利之發明實施形式中’在第二基板置放件内設計 有4個孔，一操作裝置之固定元件可穿越其中，以在第一基 板置放件上施加均勻之固定力。 為防止二基板置放件間相互轉動，第一及/或第二基板 置放件具輕少-定位紗，在二絲肢件分_，此缺 口與一相應之定位元件後接D 最好至少-基板置放件脑对—程序孔，&便抓取放 置於基板固持件内之基板。 本發明之街跡藉-聽放縣板之裝置加以解決，該 衣置具有至少第-及第二具有大致相關周尺寸之基板置 放件，用以在其間放置圓盤形之基板，其中，至少一基板置 放件具有至少-磁鐵，以吸合二基板置放件，及—操作裝置 用以分離基板置放件，該操作裝置具有至少—目定元件，以 固疋第-絲置放件，及至少—可相對固定元件運動之抓取 元件以抓取及運送第二基板置放件，其中，抓取元件可運 動至開啟之、對第二基板置放件開放之位置，也可至一封 閉之、在第二基板置放件飾之位置，且可在大致垂直於基 板置^件連接平面之方向運動。藉由設計—固定元件 ，用以 固足第-基板置放件，防止二基板置放件分離時，第一基板 ^放件Μ第一基板置放件一起運動。如此，防止第一基板置 万件與基制之㈣呵_於目定元件而運動之抓取 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i装 ;線

B7 五、發明說明（4·) 〇件’可從背面抓第二基板置放件，並可在大約垂直於基板 置放件連接平面之方向運動，藉此，可使第二基板置放件不 產生磨粒而與第一基板置放件分離。 在-偏好之發明實施形式中，在第二基板置放件喊有 至少-孔，操作裝置之固定元件可穿越其中，如此，固定元 件及抓取元件可從同一侧作用於基板置放件上。 、基板置放件至）具有-缺口，出力元件至少可穿越期間 而部份則運動至封閉位置内，以確實從飾抓取第二基板置 放件，即使二基板置放件有大致相同之圓周尺寸。為此，第 -基板置放件最好具有二在直徑方向姆立之缺口，使二基 板置放件分離時，兩側之抓取元件可施加均勻分佈之力。 為防止在放鬆第二基板置放件後相對第一基板置放件 轉動，第二基板置放件最好具至少—定位缺口，其與抓取元 件相互作用。為此，抓取元件最好有一定位元件，在封閉位 置時，抓取元件與第二基板置放件之定位缺口嵌接。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 為完成無摩擦嵌接，抓取元件最好可在與基板置放件之 連接平面平行之方向運動。為防止放鬆後第二基板置放件從 第一基板置放件彈出，最好在抓取元件上設計止擋塊，其在 抓取元件在封閉位置時，與第二基板置放件至少有部份重 璺’第一基板置放件最好藉一預力元件，尤其是一彈箬施壓 在抓取元件上，以防止彈出。 在一特別偏好之發明實施形式中，固定元件是以可動方 式裝在固定裝置之外殼内，並為從外殼運動出而加有預力。 以I亥固足元件之设计方式’固定裝置之外殼可與抓取元件_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1220139

五、發明說明（5·) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 起運動。因固定元件係裝在外殼内，並施有預力從中伸出， 可在抓取元件在一定大小之運動行程下仍然與第一基板置 放件維持接觸，直到第一及第二基板置放件相互分離。 固定元件最好是一具有一頭部之活塞，以防止活塞從固 足裝置之外殼運動出。在固定裝置之一特別簡單之構造中， 在外殼内設有一彈簧，將固定元件向外殼外施以預力。為使 第一基板置放件在與第二基板置放件分離時能穩定的固 足’此彈簧有足夠之預力，以克服作用在基板置放件間之磁 力。 固足元件之外设及抓取元件最好在大致垂直於基板置 放件二連接平面方向相互固定設置，以便可以單一驅動元件 加以驅動。為此，抓取元件及固定裝置最好裝在同一支架 上。為在大致垂直於基板置放件之連接平面方向可調整固定 裝置，該固定裝置最好藉長孔固定在支架上。 取好设置4個固定元件，以在第一基板置放件上有均句 分饰之固定力。 在另一發明實施形式中，設有至少一第二裝置，用以置 放基板，其中，為分離基板置放件，操作裝置係設置在同一 支未上’使操作裝置可以共同之驅動元件加以驅動。為驅動 操作衣置，支架之中間與一可在長向移動之軸相連接，且操 作裝置係置於支架之自由末端。 上述之任務也藉由一分離基板固持件之第一及第二基 板置放件之方法加以解決，該第一及第二基板置放件係以磁 力吸合’在此方法中，第一基板置放件與至少一固定元件接

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1220139 A7 發明說明（6·) 觸，以將之固定，第二基板置放件可被至少一抓取元件從背 後抓取，並在固定元件及抓取元件間產生相對運動，其中， 該相對運動大致上在與二基板置放件間之連接平面垂直之 万向。此發明之方法使第一及第二基板置放件以無摩擦方式 進行分離，因而一基板置放件在分離過程中被固定。 在一偏好之發明實施形式中，固定元件為與第一基板置 放件接觸，穿過設在第二基板置放件内之孔，以使固定元件 及抓取元件可從一侧抓取基板固持件之基板置放件。 以下藉由一偏好之發明實施例，以圖式更進一步說明本 發明。各圖所示之内容如下： 圖-根據本發明之基板固持件之賴及卸載裝置透視圖； 圖二圖一中一部份之放大透視圖； 圖二圖一之裝置之一部份之示意剖面圖； 圖四圖一之裝置之一部份之示意上視圖。 圖-顯示-裝置卜用於裝載及卸載基板固持件2，該 裝置1具有-輸送裝置，其具有一基板固持件2用之轉盤4 及一操作裝置6，用以開啟及關閉基板固持件2。 基板固持件2也稱為盤，係由第一及第二基放 (基板置放件”、9構成。在以下之說明中，基;置= 件8稱為上件’而基板置放元件9稱為下件，也可將二者上 下反置使用。 基板_件2之上件及下件8、9具有大致上相同之圓 周尺寸大小，係由磁性材料構成之圓盤組成。 上件8具有6個程序孔11，該程序孔丨丨分佈在一圓上， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) tr--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .11 1220139 A7 B7 五、發明說明（7·) 該圓與上件8之中心軸同心。 程序孔11«上簡自轉，。與—上件8之程序孔 u在與下件9相反之側具有—斜面12，上件8未圖示出之 下侧也具有同樣構造。 另外，上件8具有4個通孔操作裝置S之固定元 件可穿越其f，之後將更進—步說明。通孔14位於上件8 之邊緣棚，以魏辟請8練序孔U細之穩定性。 另外，、通孔也位在-加工裝置之工作範圍外，由基板固持件 挟持之基板在此工作範圍内處理。 在上件8之邊緣細設計有3個分佈角度不均句之定心 孔16，之後將再說日月其功能，不均勻之距離使上件在放置 時只能在一個角度進行。 在上件8之外周另外設有2個在直徑±對立之定位缺口 18 ’之後將賊明其魏。财14之位置與二個定位缺口 18連接線兩兩對稱。 下件9與上件8相同，也有6個程序孔2〇。程序孔2〇 也在-與下件9中^翻心之圓上。下件9之程序孔2〇之 大小，位置及形狀與上件8内之程序孔u相同。在程序孔 20與上件8相背之侧也設計有斜面，在圖中未顯示出。在 程序孔20之範圍内，在面向上件8之下件9之表面上設有 未進一步顯示出之凹穴，用以放置基板圓盤，尤其是用以製 造光學數據載具之塑料圓盤。該缺口之深度與欲置放之基板 圓盤相當’以便在基板固持件2之上件$及下件9間可無負 荷的置放基板圓盤。此外，缺口的深度可以只有欲置放基板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) tr--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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圓盤厚度的一半，只要上件8内也有相同之缺口即可。當 然，置放基板圓盤之缺口也可完全設在上件g内。 下件9具3個定心孔，與上件§之定心孔16相同。上 件及下件内之定心孔與截錐形之定心突出件22相互作用， 以確保上件8及下件9相互有準確之對位。另外，可在上件 8及下件9間設計未顯示出之位於内部之定心元件，以確保 有準確之對位。 下件9具有二個在直徑方向對立之缺口 24。在正常之 上件8與下件9組合狀態，缺口 24位在定位缺口 18之範圍 内。缺口 24較上件8之定位缺口 18大，因而可從背面接近 上件8之部分份區域，以下將再詳加說明。 除了定心突出件22及上件及下件内之定心孔丨8外，可 在上件及下件8、9内各設計一相應之定心缺口 26，如圖二 所不意。該定心缺口 26之特別功能為將基板固持件2定位 在加工裝置内。 下件9面向上件8之表面内裝有多個磁鐵28，在圖三 中可從剖面圖看出。磁鐵28將基板固持件2之上件8及下 件9在基板固持件2於封閉狀態時吸合。磁鐵28具有足夠 之磁力，以夹持在基板固持件上件8及下件9間之基板圓 盤，使之在受處理時被確實的固定住。當然，磁鐵28也可 設置在上件8内，也可將磁鐵設計在上件及下件8、9内。 重要的是，上件及下件8、9被磁力相互固定，不再需要其 他外部夾持元件及/或其他裝置，以將上件及下件8、9固定 輸送裝置4具有一圓形之板狀之轉盤3〇，輸送裝置4

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五、發明說明（9. 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 具有一適當用於轉盤30之驅動器，在每一運動步驟將轉盤 30轉動90度。 轉盤30具有一未詳細圖式之中央孔，其不能轉動，但 可在軸向移動之轴32巾央孔，絲之功能以後將再詳加說 明。 轉盤30另外具有8個分佈在一圓周上之孔34，與中央 孔同心，並在圓周上等距分佈。 8個孔34中4個孔在圓周上各有9〇度間距，不作其他 用途，只用來節省轉盤30之重量，另外4個孔34同樣有 90度<間距，用來放置基板固持件2用之支承單元36。干 支承單元36延伸穿過孔34，轉盤3〇可在其中以適當方式 固足。支承單元36具肴支承板4〇，其圓周尺寸大小大致與 基板固持件2之圓周尺寸大小相同。支承板4〇具有截錐形 式之定心哭出件22，與上件及下件8、9内之定心孔共同作 用。額外或是另外也可在支承板4〇上設置其他適當之定心 及校正裝置，與基板固持件2之上件及下件8、9上適當之 足〜及校正裝置共同作用，以令其相對支承板4〇定心及校 正。在支承板40上設有6個定心銷42,下件置於支承板4〇 上時，相對下件9之程序孔20在中心設置，使置放基板圓 盤於下件9上時能對心。 支承板40另外具有二個在對立於直徑方向之缺口 44， 與基板固持件2之下件9内之缺口 24對正，而且有相同之 形狀及大小。 操作裝置6係固定在軸32上，用於開啟及關閉基板固 3氏張尺度_帽驛鮮（CNS)A4x 297公爱 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

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發明說明（_〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 持件2。幸由32在轉動方向為固定，但在轴幻之 =降機構移動。操作裝置6具有一設置在轴二 也田、支木，其在中央孔範圍以適當方式與轴32相連接。在 支架50彳晴立之末鉢裝設有—操條置6之操作單元 52。由於此特殊設計，該操作裝置6也被稱為橋式操作裝置。 操作單元52各具有—設置在支架5Q上之另—衣支置架 54。在支&上另外裝有4個屢板56及二個偏移⑽度之抓 取裝置58。 、、壓板56係藉由所謂之長孔裝在支架54上，使壓板56 之安裝可絲32軸私進行減。該餘之構造在圖三 中以圖式顯示，其中支架54及壓板56在支架54上之安裝 未顯示出。壓板56具有一外殼60，具有封閉之端壁61，= 壁62及與端壁61相對而有一通孔之第二端壁63。在外殼 60内形成室65，在室内置有彈簧66及活塞68.之頭部67^ 活塞68之桿69與頭部67延伸穿出端壁63之孔，可在此孔 内在軸向移動。彈簧66壓縮活塞68向外伸出外殼6〇。活 塞68之頭部67之尺寸設計，使其不能通過外殼6〇之端壁 63内之孔，因而活塞68之運動受限在外殼60内。 儘管在圖三中，活塞68係由一彈簧66被壓向外伸出外 殼60，該預力也可以其他方式做到，例如藉在室65内之流 體。當然也可想像，藉輸入及輸出流體進入室65而控制活 塞68之預力。該預力控制也可額外或取代以彈簧66施加之 預力。 藉由彈簧66或一流體所產生之活塞68之預力已足夠將 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -n I «1 n n ·1^eJ ft— I n ·_1 n ϋ -

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下件9 %定壓在支承板4〇上，而上件8則克服作用於其間 之磁力由下件9被舉起’以後會再詳細說明。此時，活塞 68义預力在整個活塞68之運動行程均足夠防止放鬆上件8 時，下件9被從支承板4〇舉起。 抓取衣置58具有二個相對立18〇度之支承臂％，支承 臂大致平行於支承板40或相對於基板支架2延伸。支承臂 75藉由適當之作動單元大致平行於支承板4〇運動，以使 抓取裝置58開啟及關閉。 在支承臂75外部自由末端各裝設有-大致與支承臂75 垂直延伸之固定凸緣77。在與支承臂75相隔一段距離之支 架凸緣77之自由莫端莊有一抓取凸緣79，其大致與支承臂 75平行延伸。抓取凸緣79之寬度及高度，使抓取凸緣％ 可進入下件9或支承板4〇之缺口 24及44内。 另外，在支架凸緣^上裝有一定位銷g卜在圖四中可 以明顯看出，該定位銷可進入定位缺口 18内，以防止上 與下件分離時，上件8相對下件9轉動。根據圖三，在 銷81之自由末端設置有一止擋元件82，防止上件8盘 9分離時上件8過度反彈。雖然圖内並未顯示出，在止 件82上可設計-彈簧元件作用在上件8上，以防止上^ 出，並使上件8壓在抓取凸緣79上。 根據圖三’技凸緣77及抓取凸緣％及定位銷8 僅可在垂直方向，也可在平行軸向運動，如所示之^ ，。垂直勒鑛_ 32之軸向運動铜，而水平運動: 藉由未顯示出之支承臂75用之作動單元實行。 /、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4x 297公羞） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 裝 訂··-- a— n n

n «I I 1220139 A7 五、發明說明（l2·) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若不使用止擋元件82，或與止擋元件一起，也可在固 定元件56之外殼60及基板固持件2之上件8間，設置適當之元件例如彈f，防止上件8與下件9在分離時，上件8 彈出。 以下藉由圖-、圖三及圖四更進一步說明裝置i之操作 〇 在說明裝置工作方式時，首先假設該裝置i在圖一 中所示之位置。在裝置1之触3〇上共有4娜板固持件 2，其中2個被操作裝置6開啟（見位置A及c)，而另外 二個則為關閉（見位置B及D)。 在位置A上’基板圓盤，例如用於製造光學數據載體， 尤其是數據播放碟片’ CD，DVD等之歸K盤，被置入下 基板置放件9之凹穴内，以待後續之處理。 在放置基板圓盤後，操作裝置6藉由軸η於垂直方向 下降，以將基板固持件2之上件8置於下件9之上。在下降 時’首先固^元件56之活塞68與下件9接觸，並克服外殼 60内之彈簧66之預力向上運動。藉由各個定心裝置，例如 在支承板40上截錐形之突出件22，上件及下件8、9在貼 合時即相互糾，即使—般而言此二元件不需要相互對心， Q為上件及下件8、9在分離及結合時只是在垂直方向運動。 、在上件8被胁下件9上後，爪手58徑向向外運動， 、釋放上件8 ’隨後操作裝置再藉由轴32向上提升。㈣f仏置Α内之基板固持件2現在正被封閉及裝載，然 i i 3〇在逆時針方向轉自90度。被封閉及裝載之基板固 方式 x 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------i訂--- %, 發明說明（13β) 持件2現在位於位置B内。練_件2可由此位置取出， 以將基板例如在—濺鍍裝肋進行塗層。在塗祕，基板固 持件2再被放回位置b，隨後轉盤3〇又再轉動％度，使得 基板固持件2及正在塗層之基板到達位置〔。 在位置c内，基板固持件2首先被操作裝置6開啟， 在此，操作裝置6藉由軸32下降。在下降過程中，固定元 件56之活塞68穿過相應之在上件8内之通孔m，並與下 件9接觸。操作裝置6繼續下降，活塞μ克服外殼砧内之 彈簧66之預力而運動。 、當操作裝置6下降夠深’抓取凸緣π之高度位於上件 8之下，爪手58於徑向向内運動，使抓取凸緣79延伸進入 下件9或支承板40之缺口内，並從後抓取上件8之部份範 圍。該從後抓取之上件8部份細在圖三及_四中係以標號 90顯示。

Ik後，整個操作裝置6藉由軸32被舉升。在舉升時， 探取凸、·!： 79與彳（後抓取上件8之部份範圍9()接觸。繼續舉 升操作裝置6，上件8被從下件9分開。為防止自由置於支 承板40上之下件9與上件8 一起被舉升，下件9之活塞砧 壓在支承板40上，此時，外殼6〇内活塞邰之提升行程要 選的夠大，以在下件9上施力，直到上件8及下件9有足夠 之間距，在二者間之磁吸力不足以將下件9吸上。除此之 外，彈簧66之如此選定，使其在活塞68之運動過程有足夠 大之力克服在上件及下件間之磁力。 在完全克服上件及下件8、9間之磁力後，在抓取凸 1220139 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（14·) 79上之上件8可能會彈起。上件8過度之彈起可藉由止擋 件82及/或另-元件加以防止，此元件將上件8壓在抓取凸 緣79上，且例如係設置在固定元件％之外殼6〇與上件8 之間。當爪手58到達封閉位置，定位銷81位在上件8之定 位缺口 18 &，以[I方止放鬆上件8時相對下件9發生轉動。 當基板固持件2開啟後，此已塗層之塑料圓盤即藉由一 未顯示之操作裝置取出。隨後，基板固持件2以相反順序為 下一開啟程序而關閉。 上轉盤30又再轉90度，使得已卸載之基板固持件2回到 位置D。在位置D内，基板固持件2可以被取出，並將之 例如达至清潔裝置。在清潔後，基板畴件2再度被置於支 承板40上，轉盤3〇繼續轉動9〇度。 玄且清潔過之基板固持件2現在在位置A，在此，以前 述之方式被操作裝置6開啟，現在基板固持件2再回到裝載 位置。 基板固持件2之開啟及封閉在位置a及c同時發生， 藉由操作裝置6之構造設計成橋賴作可以簡單方式完成 該動作。 以上藉-偏好之實施織明本發明，但本發明並不侷限於此 二把之只施例。例如，基板固持件2可具有與所圖示不同之 程序孔數’在單侧操作抓取之基板時，也可只在上件或是下 件上汉计私序孔。也可有不同數量之爪手％，但爪手應均 勻分伟在練固持件2周圍，以施加儘可能均勻之力。^定 元件56之數量也是如此。例如可以只設計單個固定元件 _張尺MiTii緖準格⑽；；297公^ 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂------ I aw麗 1220139 A7 — --—-—：--------Έ._____^ 五、發明說明“15》 ' -- 56,其穿過上件8内之中央孔而延伸出，另夕卜可只以單一抓 取元件進行抓取及提升上件8。該爪手可以例如穿過I件^ 内之中央孔而延伸出，然後擴張以從背後抓取上件8。此 時，當然在下件9内要設有相應之中央缺口。除此之外，本 發明也不限於置放薄塑料圓盤用之基板固持件並對之進行 塗層處理。

• ί } I .41 K (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i裝 訂-------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -ΟΠ - 1220139 A7 B7 五、發明説明（17.) 54 支架 56 壓板 58 抓取裝置 60 外殼 61 端壁 62 侧壁 63 端壁 65 室 66 彈簧 67 頭部 68 活塞 69 桿 75 支承臂 77 固定凸緣 79 抓取凸緣 81 定位銷 82 止檔元件 90 部份範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐

Claims (1)

1220139 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C3 ------D8 、申請 ^ ' 一第091122479號專利案申請專利範園修正本 L 一種基板固持件，其具有至少二基板置放件（8、9)，有 大致相同之圓周尺寸，用以在其間置放圓盤形之基板， 其中，至少一基板置放件（9)具有一凹穴，用以置放基 板，在至少一基板置放件（9)上設置有至少一磁鐵（28)， 用以吸合基板置放件（8、9)，在第一基板置放件（9) 内至少具有一缺口（24)，而可從背後抓取第二基板置放 件（8)’而在第二基板置放件（8)内至少具有一孔（μ)， 一操作裝置（6)之固定元件（68)可穿越其中^ 2·根據申請專利範圍第丨項所述之基板固持件（2)，其特 徵為’在第-基板置放件⑼内具有二在纽方向相對 立之缺口（24)。 3·根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件（2)，其特 徵為，在第二基板置放件（8)内具有4個孔（14)。 4·根據申請專利範圍第2項所述之基板固持件（2)，其特 徵為，孔（14)係以成對方式與缺口間之連接線對稱。 5·根據申請專利範圍第i項所述之基板固持件（2)，其特 徵為，第一及/或第二基板置放件（8、9)具有至少一定 位缺口（18、26)。 &根據申請專利範圍第丨項所述之所述之基板固持件 (2) ’其特徵為，至少一基板置放件（8、9)具有至少 一程序孔（11、20)，使放置於基板固持件（2)内之基 板可被抓取。 本紙張尺度適用 ( CNS ) 210^297^ ) -23- -Ϊ-- i — f請先閱讀背¾之注意事項再填寫本耳〕 1--·· —1 I -...... · —i n In n · - 1220139 8 888 ABCD 、申請專利範圍 t : (請先聞讀背面之注意事¾再填寫本頁) 種置放基板之裝置，其具有至少第一及第二基板置放 件（8、9)，該置放件具有大致相同之圓周尺寸，用以在 其中置放圓盤形之基板，其中，至少一基板置放件具有 至少一磁鐵（28)，用以吸合基板置放件（8、9)，及一 操作裝置（6)，用以分離基板置放件（8、9)，操作裝置 具有至少一固定元件（68)用以固定第一基板置放件 (9) ’及至少一可相對固定元件（68)運動之抓取元件 (58 )，用以抓取及運送第二基板置放件（8)，該抓取元 件（58)可運動至一開啟之、釋放第二基板置放件（8) 之位置，及一封閉之、從背後抓取第二基板置放件（8) 之位置，且可在一大致垂直於基板置放件、9)連接 平面之方向運動。 8·根據申請專利範圍第7項所述之裝置，其特徵為，在第 二基板置放件（8)内具有至少一孔，操作裝置之固定元 件（68)可運動穿越其中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9·根據申請專利範圍第7項所述之裝置，其特徵為，第一 基板置放件（9)具有一缺口（24)，抓取元件（58)運 動進入封閉位置而至少可部份進入該缺口。 1〇·根據申請專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，第一 基板置放件（9)具有二在直徑方向相對立之缺口（24)。 11·根據申請專利範圍第10項所述之裝置，其特徵為，第二 基板置放件（8)具有至少一定位缺口（18)，其與抓取 元件（58)共同作用。 12.根據申請專利範圍第u項所述之裝置，其特徵為，抓取 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -94 . 1220139 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

申請專利範圍 AS B8 C8 D8 兀件（58)具有一定位元件（81>，該定位元件在抓取元 件（58)位於封閉位置時，與第二基板置放件（8)之定 位缺口（18)嵌接。 3·根據U利細第u爾述之裝置，其特徵為，抓取 凡件（58) ’大致平行於基板置放件（8、9)之連接平面 運動。 H.根據申請專利範圍第u項所述之裝置，其特徵為，在抓 取凡件（58)上設有一止擒塊⑽，在抓取元件（58) 位於封閉位置時，該止擒塊至少部份與第二基板置放件 (8)重疊。 I5.根據申請專利範圍第M項所述之裝置，其特徵為，有一 預力元件，尤其是彈簧，在第三基板置放件⑻及抓取 元件（58)間施加預力。 16·根據申請專利範圍第15項所述之裝置，其特徵為，固定 兀件（68)以可動方式置放於固定裝置（兄）之外殼（6〇) 内，並施有預力以從外殼（6〇)内運動出。 17·根據申請專利範圍第16項所述之裝置，其特徵為，固定 元件（68)係一具有頭部（67)之活塞（69)，該頭部防 止活塞（69)從外殼（60)運動出去。 18·根據申請專利範圍第17項所述之裝置，其特徵為，在外 殼（60)内之彈簧（66)，對固定元件（68)施加預力而 將之從外殼（60)推出。 19·根據申請專利範圍第18項所述之裝置，其特徵為，彈菁 (66)具有足夠大之預力，足以克服基板置放件（8、9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝· I I -- I- -I • I, I II 1220139 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 間作用之磁力。 20·根據申請專利範圍第19項所述之裝置，固定元件（68) 之外殼（60)及抓取元件（58)係在大致垂直於基板置 放件連接平面之方向相互固定加以設置。 21·根據申請專利範圍第20項所述之裝置，其特徵為，抓取 元件（58)及固定裝置（56)係裝設在一共同之支架（54) 上。 22·根據申請專利範圍第21項所述之裝置，其特徵為，固定 裝置（56)係藉由長孔而裝設在支架（54)上。 23·根據申請專利範圍第22項所述之裝置，其特徵為，設有 4個固定元件（68)。 24·根據申請專利範圍第23項所述之裝置，其特徵為，有一 用以置放基板之第二裝置，為分離基板置放件，各操作 裝置係置於共同之支架（50)上。 25·根據申請專利範圍第24項所述之裝置，其特徵為，支架 (50)之中央與一在長向可移動之軸（32)相連接，且 各操作裝置（6)係置於支架（5〇)之自由末端。 經;#.部智慧財產局員工消費合作社印製 26· —種分離基板固持件之第一及第二基板置放件之方法， 基板置放件係藉由磁力吸合，有以下之程序步驟·· 第一基板置放件與至少一固定元件接觸，以將基板 件固定； 藉由至少一抓取元件從後抓取第二基板置放件； 在固定元件及抓取元件間造成相對運動，該相對運動大 致上垂直於基板置放件間之連接平面。 χ^υΐ39 AS Β8 C8 ---- - D8_ 申請專利範圍 27·根據申請專利範圍第26項所述之方法，其特徵為，固定 元件為與第一基板置放件接觸，穿過一在第二基板置放 件内之孔。 28·根據申請專利範圍第27項所述之方法，其特徵為，至少 取元件在㈣後抓取第二基板置放件時，運動進入 在第一基板置放件内之缺口。 29·根據申請專利範圍第μ項所述之方法，其特徵為，第二 基板置放件與抓取元件間具有預力。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1·裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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