TWD207741S - 晶圓移載機用校正器 - Google Patents
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Abstract
【物品用途】;本案物品係與晶圓移載機一同被設置而用於確認晶圓移載機之手部之間隔的校正器，該晶圓移載機係在處理晶圓的基板處理裝置內進行晶圓之搬送、或移動替換。;【設計說明】;本創作係有關於一種晶圓移載機用校正器之新穎設計。;本創作之晶圓移載機用校正器如附圖所示，其整體外形設計新穎美觀，為根據使用機能所作之最佳與最合理之設計，於申請前未見於刊物亦未公開使用，符合設計專利要件。;在以支柱所支撐的兩側，設置有雷射之傳送接收信號部，在該空間之間，手部被插入且於上下被移動，藉由雷射光之遮斷對手部之間隔進行確認。
Description
本案物品係與晶圓移載機一同被設置而用於確認晶圓移載機之手部之間隔的校正器，該晶圓移載機係在處理晶圓的基板處理裝置內進行晶圓之搬送、或移動替換。
本創作係有關於一種晶圓移載機用校正器之新穎設計。
本創作之晶圓移載機用校正器如附圖所示，其整體外形設計新穎美觀，為根據使用機能所作之最佳與最合理之設計，於申請前未見於刊物亦未公開使用，符合設計專利要件。
在以支柱所支撐的兩側，設置有雷射之傳送接收信號部，在該空間之間，手部被插入且於上下被移動，藉由雷射光之遮斷對手部之間隔進行確認。
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