TWD179916S - 基板洗淨用滾子之部分 - Google Patents
基板洗淨用滾子之部分Info
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Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板洗淨用滾子，是對施以研磨處理後之基板(半導體晶圓等)的表面附著的研磨屑等洗淨之用。例如：使一對本物品於洗淨裝置中上下對向配置，該間隙配置基板，使本物品一邊迴轉、基板於水平面上迴轉來進行洗淨處理。;【設計說明】;後視圖與前視圖對稱、仰視圖與俯視圖對稱，均省略之。;圖式所揭露之實線部分，為本案主張設計之部分，虛線部分為本案不主張設計之部分。;圖式所揭露之一點鏈線，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPD2015-21000F JP1556808S (zh) | 2015-09-24 | 2015-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD179916S true TWD179916S (zh) | 2016-12-01 |
Family
ID=56687159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW105301321F TWD179916S (zh) | 2015-09-24 | 2016-03-15 | 基板洗淨用滾子之部分 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1556808S (zh) |
| TW (1) | TWD179916S (zh) |
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2015
- 2015-09-24 JP JPD2015-21000F patent/JP1556808S/ja active Active
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2016
- 2016-03-15 TW TW105301321F patent/TWD179916S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP1556808S (zh) | 2016-08-22 |
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