TW594440B - Apparatus and method for developing an LCD - Google Patents

Description

594440 五、發明說明（1) 本申請主張對於在2 0 0 2年4月22日於韓國智慧財產局 提出之編號為2 0 0 2 - 2 1 9 4 8之韓國專利申請之優先權，其 内容將完整揭露於此以作為參考。 發明所屬之技術領域 本發明係關於一種液晶顯示器，且特別是有關於一 種使用於顯影、清洗、剝離以及蝕刻製程以製造液晶顯 示器之顯影裝置與方法。 先前技術 半導體基底及液晶顯示器（LCD)基底之光影蝕刻製程 (photolithographic process)通常以下歹川頁序進4亍：以 一光阻層塗佈（c 〇 a t i n g ) —基底之塗佈製程、以放射光線 在上述基底上形成一圖像之曝光（exposure)製程、以及 顯影上述已曝光基底之顯影製程。 第1圖至第5圖為如先前技藝所述之一種用以顯影液 晶顯示器（LCD)之裝置與方法之示意圖。 第1圖及第2圖為用以說明塗佈顯影劑製程之平面 圖，而第3圖則是第2圖之斷面圖。詳細來說，以光阻層 30塗佈作為液晶顯示器（LCD)之基底1 (例如玻璃）並且將 其曝光以完成圖樣2 0。上述合成結構將安裝在一顯影裝 置之旋轉卡盤5 0上，然後將顯影劑喷嘴1 0移向已經曝光 之基底1。此後，當顯影劑喷嘴1 0沿著第2圖及第3圖之箭 頭所指方向移動時將喷塗顯影劑，由此形成顯影劑攪拌 層（d e v e 1 〇 p e r p u d d 1 e ) 4 0。上述用以形成顯影劑攪拌層 4 0之合成結構藉由自然對流電流來顯影並懸吊一預定期

10973pif.ptd 第6頁 594440 五、發明說明（2) 間。 第4圖為用以說明清除顯影裝置之顯影劑之製程之斷 面圖，而第5圖則為一個完全顯影之基底之斷面圖。詳細 來說，完全地顯影已經塗佈光阻層3 0之基底1。藉由旋轉 卡盤5 0之旋轉能夠從基底1清除上述顯影劑。此後，由清 洗溶液供應喷嘴（未顯示）排放清洗溶液，由此清洗所喷 塗之顯影劑。其次，在殘留的顯影劑及清洗溶液經由旋 轉卡盤5 0之旋轉而完全清除之後，上述系列之製程將結 束。參考數字52與54分別表示一軸與一旋轉馬達。 然而，上述方法適用於較小的液晶顯示器（LCD)。當 液晶顯示器（LCD)之尺寸增加至大約1 0 0 0毫米（mm) X 1000 毫米（mm)時，安裝一液晶顯示器（LCD)在一旋轉卡盤上以 及藉由旋轉上述旋轉卡盤而從上述液晶顯示器（LCD)清除 顯影劑是相當困難的。雖然可能使用大型顯影裝置，但 是將伴隨安裝大型顯影裝置之限制以及組裝大型顯影裝 置之機械限制。 發明内容 因此，本發明提供一種利用一新方法取代一現存方 法以顯影大尺寸液晶顯示器（LCD)之顯影裝置。 - 本發明也提供一種利用上述顯影裝置來顯影液晶顯 示器（LCD)之方法。 根據本發明之一觀點，在此提供一種用以顯影液晶 顯示器之裝置。上述裝置包括一條形顯影劑喷嘴以及一 條形顯影劑吸嘴。上述條形顯影劑喷嘴被安裝在離一基

10973pif. ptd 第7頁 594440 五、發明說明（3) 底一預定距離之處並且喷塗一顯影劑在上述基底之上。 上述條形顯影劑吸嘴與上述顯影劑噴嘴之一側保持一預 定距離，並以真空狀態來收集由上述顯影劑喷嘴所喷塗 之顯影劑，且清除所喷塗之顯影劑。 較佳狀況為上述條形顯影劑喷嘴之上述預定距離是 在0 · 5 - 5毫米（mm )的範圍内並且上述條形顯影劑吸嘴之上 述預定距離是在5-50毫米（mm)的範圍内。 上述裝置除了上述條形顯影劑吸嘴之外，可能又包 括一顯影劑喷嘴以及一顯影劑吸嘴。 根據本發明之另一觀點，在此也提供一種用以顯影 液晶顯示器之方法。將完全曝光之一基底安裝在一液晶 顯示器顯影裝置之卡盤上。利用一個安裝於離上述基底 一預定距離之顯影劑喷嘴來喷塗一顯影劑在上述基底之 上。利用一個與上述顯影劑喷嘴之一側保持一預定距離 之顯影劑吸嘴以真空狀態來收集所喷塗之顯影劑，並且 清除所收集之顯影劑。 當上述液晶顯示器顯影裝置之卡盤以一預定方向移 動時或當上述顯影劑噴嘴及上述顯影劑吸嘴以一預定方 向移動時執行喷塗及收集上述顯影劑。 利用一個或多個顯影劑喷嘴以及一個或多個顯影劑 吸嘴能夠有效地執行喷塗及收集上述顯影劑。 如本發明所述，能夠平穩且有效地執行顯影大尺寸 液晶顯示器（L C D )之製程。並且，利用一個或多個顯影劑 喷嘴以及一個或多個顯影劑吸嘴，可更加增進上述顯影

10973pif. ptd 第8頁 594440 五、發明說明（4) 製程之效率並且可減少上述顯影製程所需之時間。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂，下文特舉其較佳實施例，並配合所附圖式， 作詳細說明如下： 實施方式 以下，本發明之較佳實施例將參照所附圖式予以詳 細地說明。 第6圖及第7圖為如本發明之一實施例所述之一種用 以顯影液晶顯示器（LCD)之裝置與方法之示意圖。 第6圖為用以說明如本發明所述之一種用以顯影液晶 顯示器（LCD)之裝置之斷面圖。參照第6圖，上述裝置包 括一顯影劑噴嘴1 0 0以及一顯影劑吸嘴1 0 2。顯影劑喷嘴 1 0 0為條形，並被安裝在距離完全曝光之基底2 0 4大約 0 . 5 - 5毫米（mm )之處且噴塗一顯影劑在基底2 0 4之上。顯 影劑吸嘴1 0 2為條形，與顯影劑喷嘴1 0 0之一側保持5 - 5 0 毫米（mm )之距離，並以真空狀態來收集由顯影劑喷嘴1 0 0 所喷塗之顯影劑，且清除上述顯影劑。於第6圖中，箭頭 路徑代表噴塗及收集顯影劑之行進方向。完全曝光之基 底204，經參考上述合成結構，其中以完全曝光之光阻層 2 0 2塗佈玻璃層2 0 0。因此，利用如本發明所述之顯影方 法比起現存方法（亦即旋轉基底之方法）能更有效地塗佈 大尺寸液晶顯示器（LCD)。 第7圖為用以說明一種利用如本發明所述之液晶顯示 器（LCD)顯影裝置來顯影液晶顯示器（LCD)之方法之平面

l〇973pif. ptd 第9頁 594440 五、發明說明（5) 圖。詳細來說，完全曝光之基底2 0 4被安裝在一顯影裝置 之一卡盤（未顯示）上。其次，安裝在距離基底204 —預定 距離之顯影劑喷嘴1 0 0由左向右移動（亦即以大箭頭方向） 來喷塗一顯影劑。因此，如第7圖之箭頭A所示上述顯影 劑由顯影劑喷嘴1 0 0散佈至外面。如第7圖之箭頭B所示， 安裝在距離顯影劑喷嘴1 0 0有5 - 5 0毫米（mm )之顯影劑吸嘴 1 0 2以真空狀態來收集所喷塗之顯影劑，並且由基底2 0 4 清除所噴塗之顯影劑。 喷塗及收集顯影劑之製程可能在顯影裝置之卡盤沿 著第7圖之大箭頭所表示之方向移動而且顯影劑喷嘴1 0 0 及顯影劑吸嘴1 0 2固定時執行。或者，喷塗及收集顯影劑 之製程可能在顯影劑喷嘴1 0 0及顯影劑吸嘴1 0 2沿著相同 的方向移動而且顯影裝置之卡盤固定時執行。 第8圖及第9圖為如本發明之另一實施例所述之一種 用以顯影液晶顯示器（L C D )之裝置與方法之示意圖。參照 第8圖及第9圖，於本實施例中更包括顯影劑喷嘴3 0 0及顯 影劑吸嘴3 0 2。如此，顯影劑喷嘴1 0 0與3 0 0成為一組而顯 影劑吸嘴1 0 2與3 0 2成為另一組。因此，顯影製程可以更 有效地實施並且可以減少顯影製程所需之時間。 因此，如本發明所述，能夠更有效地執行用以顯 影、清洗、剝離以及餘刻大尺寸液晶顯示器（L C D )基底之 製程。並且，因為可以安裝一個或多個顯影劑喷嘴以及 一個或多個顯影劑吸嘴，所以可更加增進顯影製程之效 率並且可減少顯影製程所需之時間。

10973pif.ptd 第10頁 594440 五、發明說明（6) 本發明在不脫離其精神和範圍的情況下，可以根據 其他不同的方法來實施。例如，於上述實施例中，顯影 裝置是一種使用顯影劑喷嘴以及顯影劑吸嘴之裝置。然 而，上述裝置可能是清洗裝置、剝離裝置或蝕刻裝置。 並且，液晶顯示器（LCD)之基底可能以使用於製造半導體 元件之晶圓來取代。因此，雖然本發明已以其較佳實施 例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技 藝者，在不脫離本發明之精神和範圍内，當可作些許之 更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專 利範圍所界定者為準。

10973pif. ptd 第11頁 594440 圖式簡單說明 第1圖至第5圖為如先前技藝所述之一種用以顯影液晶顯 示器（LCD)之裝置與方法之示意圖。 第6圖及第7圖為如本發明之一實施例所述之一種用以顯 影液晶顯示器（LCD)之裝置與方法之示意圖。 第8圖及第9圖為如本發明之另一實施例所述之一種用以 顯影液晶顯示器（LCD)之裝置與方法之示意圖。 圖式標記說明 1基底 1 0顯影劑喷嘴 20圖樣 3 0光阻層 4 0顯影劑攪拌層 5 0旋轉卡盤 52軸 5 4旋轉馬達 1 0 0顯影劑喷嘴 1 0 2顯影劑吸嘴 2 0 0玻璃層 2 0 2光阻層 2 0 4基底 3 0 0顯影劑喷嘴 3 0 2顯影劑吸嘴

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Claims (1)

1. 594440 六、申請專利範圍 1. 一種用以顯影一液晶顯示器之裝置，該裝置包括： 一條形顯影劑喷嘴，該喷嘴被安裝在離一基底一預定 距離之處並且喷塗一顯影劑在該基底之上；以及 一條形顯影劑吸嘴，該吸嘴與該顯影劑噴嘴之一側保 持一預定距離，並以一真空狀態來收集由該顯影劑喷嘴 所喷塗之該顯影劑，且清除所喷塗之該顯影劑。 2. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，其中該條形顯 影劑喷嘴之該預定距離是在〇 · 5 - 5毫米（m m )的範圍内。 3. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，其中該條形顯 影劑吸嘴之該預定距離是在5 _ 5 0毫米（mm )的範圍内。 4. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，該裝置除了該 條形顯影劑吸嘴之外更包括一顯影劑喷嘴以及一顯影劑 吸嘴。 5. —種用以顯影一液晶顯示器之方法，該方法包括： (a) 將完全曝光之一基底安裝在一液晶顯示器顯影裝 置之一卡盤上； (b) 利用一個安裝於離該基底一預定距離之顯影劑喷 嘴來喷塗一顯影劑在該基底之上；以及 (c )利用一個與該顯影劑喷嘴之一側保持一預定距離 之;顯影劑吸嘴以一真空狀態來收集所喷塗之該顯影劑， 並且清除所收集之該顯影劑。 6. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中當該液晶 顯示器顯影裝置之該卡盤以一預定方向移動時執行步驟 (b )及（c ) 〇

   10973pif. ptd 第13頁 594440 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中當該顯影 劑喷嘴及該顯影劑吸嘴以一預定方向移動時執行步驟（b ) 及（c ) 〇 8. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中利用一個 或多個顯影劑噴嘴以及一個或多個顯影劑吸嘴能夠有效 地執行步驟（b)及（c)。

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