TW591642B - Optical scanning device - Google Patents

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Petrus Theodorus Jutte
Den Eerenbeemd Jacobus Mar Van
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Koninkl Philips Electronics Nv
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v 591642 A7 B7 五、發明説明（1 本發明提供用來掃描之一種光學掃描裝置，在一第一操 作杈式中，一第一記錄載體模式含有一第一資訊層與一第 一知描層之第一透明層，在第二操作模式中，一第二記錄 載體模式含有一第二資訊層與一相異於第一層之第二層之 第一透明層；該裝置包含有一二波長二極體雷射，用來在 省第模式中產生一第一HD放射波束，以及在該第二模
式中產生一第二L D放射波束，一物鏡系統用來操作一第 一共軛組，以便於該第一模式中，將該H D波束對焦於該 第一資訊層，以及操作一第二共軛組，於該第二模式中， 將4 L D波束對焦於該第二資訊層：並有一第一繞射元件 位於該二波長二極體雷射與該物鏡系統之間之玫射路俨 中。 此類之光學掃描裝置已揭示於jp_A 1 U85282之英語版 訂
線 摘要中。此處之HD波束與LD波束分別為用來掃描具=較 高資訊密度之資訊層與具有較低資訊密度之資訊層之掃描 波束。 一般來說，光學記錄載體中之透明層係用來保護資訊 層，避免周圍影響、隔離灰塵粒子與刮傷等等，並與資1 層保有足夠的距離，為資訊層提供機械支援。換句話說°， 透明層係作用為資訊層的底層。透明層的厚度係為终予^己 錄載體想要的硬度以及連接透明層中掃# 丁譯兩波束數字孔徑 (ΝΑ)的折衷數字。 記錄載體旁物鏡系統的Ν Α係決定於掃炉壯$ | 1田衣1以給定密 度讀取或寫入資訊層的解析度。掃描裝置的解析度係為裝 O:\74\74014-921212.d〇c * 4 -
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置所形成最小掃描點大小比例的相反，比例為ΝΑ/λ，其中 λ係為掃描波束之波長。欲以較大之資訊密度掃描記錄載 體，像疋DVD (數位影音光碟）時，掃描波束（以下簡稱為 H D (南Φ度）掃描波束）應該比掃描波束（以下簡稱為 L D (低密度）掃描波束）以較大之資訊密度掃描記錄載體， 像是CD(雷射唱盤）使用較高的να與較小的1。為了讓記 錄載體有較大的資訊密度，因此需要一個較高的NA ,通 常還需要降低資訊層的厚度，以減少記錄載體的傾斜對於 掃描裝置的光學座標在對焦品質或掃描點上的影響。利用 本發明的記錄載體含有較大的資訊密度，不同類型記錄載 體含有不同厚度透明層即將問世。相容的掃描裝置必須要 能夠掃描不同型態的記錄載體，不論透明層的厚度為何。 兩種類型記錄載體的相容掃描裝置的物鏡系統應該要有第 一組用來掃描第一類型的記錄載體，並有第二组用來掃描 第一類型的記錄載體。這裡所謂物鏡系統的這兩組係分別 代表物件面與物鏡系統的第一面的距離，也就是放射來源 的發射面，以及物鏡系統的第二面與影像面的距離，也就 是資訊層的那一面。這裡所謂的掃描記錄載體係代表移動 掃描波束所形成的掃描點，以及用來讀取、寫入與/或刪 除資訊相關的資訊層。 為了在一個相容掃描裝置中以一個物鏡系統獲得兩個含 有不同N A的掃描波束，便有了一個兩向色性環狀裝置， 舉例來說，會有一濾光器位於物鏡系統前的放射路徑上， 或是在該物鏡系統的第一面上。該兩向色性濾光器會傳送 O:\74\74014-921212.doc " ° * 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)
裝 訂
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HD掃描波束與遮斷物，或將LD掃描波束的邊緣轉向，如 此一來只有LD波束的中央部分會被物鏡系統傳送到ld資 訊層中。LD掃描波束會在LD資訊層上形成一個掃描點， 該點比H D掃描波束在η D資訊層上所形成的掃描點要來得 寬。特別是對相容的掃描裝置來說，L D掃描波束不只用 來讀取，還用來記錄資訊層；而來自放射來源的絕大部分 應戎會到達資訊層，另外最好在物鏡系統前的放射路徑中 另外放置一透鏡。該透鏡可稱為預先瞄準透鏡，它會改變 來源的波束’以使得L D波束只會填滿物鏡系統的中央部 分；在通過物鏡系統後，該波束便具有所需的影像測 N A。預先瞄準透鏡應該只要放在l D掃描波束的路徑上即 〇 HD與LD掃描波束具有不同的波長，可能係由兩個不同 的放射來源所產生，例如雷射二極體，便會發射不同的波 長。這些掃描波束可以在進入物鏡系統前被兩向色性波束 分割元件合併，也就是共輛化，例如分光鏡或半透明鏡， 它會傳送一波束的一部份並向相同的方向反射其他波束的 一部份。 為了減少相容掃描裝置的大小與重量，可以使用一二波 長雷射模組與波束合併元件的結合物，例如，如JP-A 1 1-85282中英文摘要所示。該二波長模組係一單雷射晶 片，包含有兩個發光元件，可發射不同的波長。該波束合 併元件係一繞射栅，位於雷射晶片旁，只繞射一波束，使 得這個波束的主要光線或波束軸變成共軛軸。在該掃描裝 -6- O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 591642
置中，不可旎只在L D波束的路徑上放置一預先瞄準透 鏡。 因此本發明之主要目的係提供一種前述之光學掃描裝 置，該裝置只在L D波束中提供一透鏡裝置。該掃描裝置 之特色在於有一第二繞射元件位於該二波長二極體雷射與 該物鏡系統間之放射路徑上，該元件含有一透鏡功能，僅 供L D波束或H D波束使用。 一透鏡之兩折射面可以被一平面繞射元件所取代是眾所 熟知的，與折射透鏡相同的方法繞射一波束之光線。該繞 射元件具有繞射栅的形式，具有彎曲的柵條。該柵條係由 元件表面的溝槽所形成。本發明根據該繞射元件的參數， 例如溝槽的深度，使得該元件作為透鏡使用。對具有不同 波長的放射波束來說，該元件僅只是透明面而已。在波束 與二波長二極體雷射間之放射路徑上，放置一繞射L 〇波 束專用之繞射元件，會有L D波束遇到透鏡而H D波束則否 的效果，雖然該繞射元件位於兩波束的路徑上。在物鏡系 統的表面上，該繞射元件會變更L D波束，使得該波束小 於HD波束，並僅覆蓋該表面的中央部分。也可以放置一 僅繞射H D波束之繞射元件在波束與二波長雷射間之放射 路徑上。該繞射元件應該會放大H D波束，使得該波束會 填滿整個物鏡系統，同時L D波束不會改變，同樣只填滿 中央部分。 該光學掃描裝置之較佳特性還有該第一與第二繞射元件 係分別由一第一與第二繞射結構位於一透明體之入口面與 O:\74\740U-921212.doc - 7 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210Χ 297公釐） 591642 A7 ------ B7 五、發明説明（5 ) 出口面所形成。 藉由整合兩繞射元件為一元件，元件數便能減少，使得 ▼私裝置變得較為簡單’且其製造成本亦能降低。合併 的繞射元件可由習知的按壓或複製技術工具製造。同時使 用對應於苐一繞射結構之具有内面之第一模型，以及對應 於第一繞射結構之具有内面之第二模型，該合併之繞射元 件可以在一個步驟中製成。 該光學掃描裝置之進一步特性還有該第一與第二繞射元 件至少其中之一具有正透鏡功能。 具有正透鏡功能之繞射元件可以將發散L D來源波束之 一部分轉換為集中L D波束，而另一個繞射元件接著便提 供該波束之更佳適應物，使它能填滿物鏡系統的中央部 分。 另一方面，該掃描裝置的特色還有該第一與第二繞射元 件至少其中之一具有負透鏡功能。 具有負透鏡功能之繞射元件可以將H D來源波束之至少 一部分轉換為更發散的波束，而另一個繞射元件接著便提 供該波束之更佳適應物，使它能填滿物鏡系統。 合併繞射元件的繞射結構也可以提供兩正透鏡功能或兩 負透鏡功能’而非上述提及的一正透鏡功能與一副透鏡功 能。如此的掃描裝置設計會決定那個繞射結構應該要提供 一透鏡功能，以及應該是那種透鏡功能：正或負。 在該掃描裝置的實施例中，該第二繞射元件僅具有一透 鏡功能’變更一波束的傾斜度’該元件的繞射結構相對的 -8- O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210Χ 297公釐) 1642
該第二繞射元件接著將對應的來源波束不對 為所需的傾斜波束時，該傾斜波束會顯示出不 對私的強度，這在-般狀況中是可被接受的。 該傾斜波束在依掃描裝置中具有一對稱強度分佈，特色 在於该第二繞射元件係設計用來對該傾斜被採用之波束， 從該二波長雷射選擇對應波束的對稱部分。 該第二繞射元件不只要有一类
丁卜/、女负透鏡功能，還要能夠將乙D 波束的主光線轉向，它的繞射結構便會較為複雜。 該光學掃描裝置之較佳特性還有該第一與第二燒射元件 位於该一波長二極體雷射旁。 该繞射70件可以很小，因為它們位於L D與H D波束仍然 很小的地方。 該掃描裝置的實施例之較佳特性還有該二極體雷射與該 繞射元件間的距離介於1公釐至4公爱之間。 對於該距離來說，該繞射結構可以很容易製造。 同樣的，該實施例之較佳特性還有該該第一與第二繞射 元件間的距離介於2公釐至8公釐之間。 對於該距離來說，該繞射結構可以很容易製造。 該掃描裝置之進一步特性還有一波束造型器位於該二波 長二極體雷射前，該波束造型器含有一波束變更入口面以 及一折射出口面。 利用該波束造型器，該具有一橢圓形之二極體雷射波 束’可以轉換成一具有圓形之波束，而不會損失任何放射 部分。一有效且小型的波束造型器，以透鏡方式存在，可 -9- O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 591642 A7 B7 以放在二極體雷射旁，這已於美國專利5,467,335號中揭 不。在相容掃描裝置中提供一波束造型器，該H D波束的 強度也會增加，因此該裝置也適宜用來寫入高密度資訊 層。 該掃描裝置之較佳特性還有該波束造型器之入口面以及 出口面係分別由一第三與第四繞射結構所構成。 該波束造型器可稱為一全像波束造型器，可用來僅變更 H D波束的形狀，且對l D波束視而不見。當該波束造型器 只對按波長雷射的其中一元件作用波束時，它僅需要與該 元件排列在一起。 一掃描裝置其中更有一整合，其特色在於該第一與第三 繞射結構合併為一第一混和繞射結構，而該第二與第四繞 射結構則合併為一第二混和繞射結構，該第一與第二混和 繞射結構分別位於一透明體的入口面與出口面。 另一種掃描裝置，其中更有一整合，該波束造型器係一 具有圓柱狀入口面與一還狀出口面之透鏡元件，其特色在 於該第一繞射結構位於該圓柱狀入口面，而該第二繞射結 構則位於該環狀出口面。 利用邊波束造型器，H D波束與L D波束都能被塑型。該 一波長雷射之兩個發射元件應該要正確的放在該波束造型 器的相對位置上。在第一元件放置好後，將該二波長雷射 的殼體加以旋轉’放置第二元件。 本發明的這些及其他特徵將藉由參照下文所描述的具體 實施例以不例性方式闡述與附圖之圖說而更加顯著。 O:\74\74014-921212.doc - 10 - 張尺度適用中國國家標公茇)~- A7
圖式簡述： ―圖1顯示一相容掃描裝置之LD波束路徑上，包含有兩個 一極體雷射與一預先瞄準透鏡； 圖2顯示一相容掃描裝置具有一二波長二極 一 繞射元件，用來結合1113與1^波束； 圖3圖4與圖5分別顯示混和繞射元件的第一、第二與 第三實施例，以及它對於LE^HD波束的影響，及 圖6顯示混和繞射元件的實施例中，兩繞射結構的 度； 圖7顯示這些繞射結構的頻率； 圖8與圖9為混和繞射元件的第一與第二繞射結構實施例 的平面圖； 圖10顯示HD波束與LD波束在繞射結構凹槽深度中的位 移狀態； 圖1 1顯示本發明掃描裝置的實施例，及 圖1 2顯示掃描裝置中所使用的波束造型器實施例，該造 型器可與混和繞射元件整合在一起。 發明詳細說明 在這些圖形中，相同的元件以相同的符號標示。 圖1顯示一掃描裝置，具有一第一光學路徑，用來以一 短波長讀取與寫入記錄載體的第一型態，以及一第二光學 路徑，用來以一長波長讀取與寫入記錄載體的第二型態。 該第一型記錄載體可能是數位影音光碟（DVD )，假設第一 波長是650 nm ;而該第二型記錄載體可能是可寫式雷射唱 O:\74\74014-921212.doc - 1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)
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線 591642 A7 _— __ B7 五、發明説明（9 ) 片（CDW)，假設第一波長是78〇 nm。該第一光學路徑包含 有一放射來源1 ’例如一半導體或二極體雷射，它會以第 一波常發射一分離的放射波束2，也就是H D波束。一半透 明鏡4會對著一二色性波束分解器6反射一部份的波束2。 當需要時，一繞射柵3會至於該二極體雷射丨與該鏡4之 間’形成兩繞射波束與一非繞射波束。該繞射波束係用來 追蹤用。為了清楚起見，途中只顯示了非繞射波束。這三 筆放射波束’簡稱為放射波束，係由該半透明鏡3對著二 色性波束分解器6反射而來，具有一高傳送之第一波長， 並以較弱之方式傳送波束2。一反射器8會對著一瞄準透鏡 1 〇反射波束2，將發散的波束2轉變成校準的波束1 2。該 波束會穿過一物鏡透鏡系統1 4，將校準的波束1 2變更為 聚合波束1 6，以掃描一記錄載體1 §。該物鏡透鏡系統可 由單一光學元件組成，但也可包含兩個或多個光學元件， 例如圖中所示。該記錄載體系為一第一高密度類型，並包 含有一透明層19，厚度為〇·6公釐，以及一資訊層2〇，對 焦於聚合波束1 6或掃描點2 1。由資訊層2 〇反射而來的放 射光會沿著波束1 6與1 2的光學路徑回來，並由瞄準透鏡 1 〇聚合。該反射波束會穿過二色性波束分解器6與波束分 解器4，並在一偵測系統23上游一偵測點24聚合。該系統 會將該波束轉成一電子偵測信號。一代表資訊的資訊信號 儲存在資訊層2 0中，而用來定焦2 i的控制信號則一般面 向資訊層2 0 (焦點控制），以及追蹤方向（追蹤控制），可 由偵測信號中取得。 O:\74\740U-921212.doc - 12 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 591642 A7
焦點控制信號可以由所謂的散光方法的工具產生。當波 束刀解為4位於與反射且聚合波束的光線形成銳角時，該 波束分解器便會發散該波束。該偵測系統包含有一扇型偵 測器，藉著這個形f該㈣系、統的表面便能被㈣此形 狀係由相對於資訊層20該焦點21之位置決定。一透鏡25 可破置於該波束分解器4及該偵測系統中間。該透鏡可含 有一球型凹面25位於偵測系統旁，並可做為一負伺服透定 波束之焦點。只要沿著光學軸提升該透鏡便可達成。位於 波束分解器旁的透鏡25的表面27可塑造為圓柱型，使得 該透鏡也有一圓柱透鏡功能。如果傾斜波束分解器4的像 散太小，則可使用該功能。透鏡2 5也可以僅是一負透鏡或 一圓柱透鏡。如果需要，可替代為波束分解器4外用來修 正的元件或是類似的透鏡。 掃描第二類行記錄載體的光學路徑包含有一放射源3 1， 例如一半導體雷射，它會發射分散放射波束3 2 ,即第二波 長780 nm的LD波束。一栅33可位於其光學路徑中，以形 成與柵3相類似的三波束。二色性波束分解器6會反射大部 分的L D波束放射線，假設有90% ,並將剩餘的波束放射 線傳送至另一偵測器7。該偵測器稱為一反饋感應器，提 供一成比例的輸出信號給來自二極體雷射3 1的波束強度， 並可用來控制該波束的強度。二色性波束分解器6反射的 L D波束會隨著與η D波束相同的路徑，到達第二類型的記 錄載體38。該記錄載體包含有一透明層39，厚度為ι·2公 爱，以及一資訊層4 〇。 O:\74\74014-921212.doc - 13 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 χ 297公釐) 裝 訂
線 591642 五、發明説明（11 一：中的°己錄載體18與38為具有-半透明資訊層20的單 ;層°己錄載體’但也可以分成具有不同厚度透明層的單 層έ己錄載體。 裝 。亥L D波束應該會被帶至一資訊層4 〇上之焦點或掃描點 =處。物鏡透鏡系統14用來在第一模式中，於一第一組 共軛中操作’而來自來源1的HD波束則對焦於資訊層 2〇 :並以第二模式，位於-第二組共軛，來自來源31的 LD波束則對焦於資訊層4〇。反射來自資訊層的放射線 會沿#LD波束的路徑回到記錄載體38。另一波束分解器 (未”肩示）可位於一色性波束分解器6與該繞射栅之間，以 對另一偵測系統（未顯示）反射放射線。該L D波束的偵測 系統含有與H D波束的偵測系統2 3相同的功能。更好的 是，穿過二色性波束分解器6的反射乙1)波束放射線，假設 為反射波束總放射線的1〇%，會接觸到偵測系統2 3，用來 讀取或控制掃描點4 1在資訊層4 〇上的位置。依此方式， 便不再需要一第二偵測系統，且掃描裝置也會被簡化。如 有必要’ L D波束碰到偵測系統的強度可藉由增加二色性 波束分解|§ 6的感應度，並在該波束分解器與物鏡系統之 間的L D波束路徑中放置一四分之一波屏丨5來加強，如果 能放在該瞄準透鏡與物鏡系統之間會更好。在記錄載體3 8 的途中，L D波束會通過該屏兩次，如此一來其一偏極化 方向會旋轉90。，相對於來自二極體雷射31的1^1)波束的偏 極化方向。由於該偏極化的轉向，有大部分被記錄載體38 反射的LD波束會穿過二色性波束分解器6，而1^1)波束碰 O:\74\74014-921212.doc - 14 - 玉紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐Γ 591642 A7 ------B7 _ 五、發明説明（Ώ~) ' -- 到資訊層4 Ο的強度不會減弱。 物鏡系統1 4係用在第一模式中，將通過透明層1 $的猫 準後的第一波長HD波束12聚合，對焦21於資訊層2〇。在 穿過透明層1 9時聚合波束1 6所碰到的球型像差會在物鏡 系統1 4中加以補償。該物鏡系統會編輯正弦的情況。如果 透明層1 9不存在於實施例中，該物鏡系統便無法補償球型 像差。在第二模式中，LD波束會穿過具有與透明層19不 同戶度的透明層3 9。該物鏡系統無法為透明層3 9的厚度 所導致的球型像差做補償。然而，該球型像差主要是由物 鏡系統的外環區域所導致形成的，通過L 〇波束的邊緣。 在焦點4 1的小區域中，聚合L D波束的波前在物鏡孔的中 央刀會顯不錯亂^。掃描點4 1包含有一小中央區域，具有 由物鏡孔的中央部分與中央區域周圍較大環形區域的放射 線所形成的較大強度，以及由物鏡孔外部區域的放射線所 形成的較小強度。掃描點中央部分的性質足以掃描資訊層 4 0 ’且只使用物鏡孔中央部分的放射線可以得到一良好的 掃描點’以形成該點。一二色性吸收或偏向環可置於物鏡 系統前或物鏡系統上，該環會吸收或偏向L D波束的放射 線’必傳送H D波束的放射線。接著物鏡系統會傳送整個 H D波束與中央部分的l D波束。如此一來，L D波束強度 的相當部分便會流失，而掃描點4 1剩餘的部分太小，無法 藉由該點記錄資訊。 還有一個更好的選擇，特別是用在可在地按資訊層4 0中 記錄資訊的相容掃描裝置中，只將一正透鏡3 4放在L D波 0:\74\74014-921212.d〇C . 15 _ ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公董Ϊ 591642 A7 _____B7 五、發明説明（13 ) 束的路徑上，如圖1中所示。該透鏡會將來自來源31的發 散波束3 2轉換成較不發散的波束3 5，可稱為預先瞄準透 鏡。LD波束35被瞄準透鏡10轉成Ld波束36，只填滿物 鏡系統的中央孔部分。 圖1中具有兩分離按集體雷射1與31以及二色性波束分 解器6的知描裝置是相當大且複雜的。如果使用雙波長二 極體雷射5 1，如圖2中所示，可得到一較簡單且較簡化的 系統。一雙波長二極體雷射是一混和半導體裝置，含有兩 個元件5 1、52 ,發射不同波長的放射波束54、55。雖然 放射元件之間的距離最好愈小愈好，放射波束的主射線仍 然不一致。為了將兩波束共軛化，一特殊的繞射元件57放 置在波束的路徑中。該元件含有一選擇凹槽與平面的相位 結構。該凹槽的深度選擇使得該元件可作為其中一波束的 栅，例如LD波束32，然而它是另一波束的透明元件。栅 結構是用來繞射L D波束，使得主射線與H D波束的主射線 一致。具有雙波長雷射5 0的掃描裝置與特殊的繞射元件 52已揭示於jp_A η-1 85282的英文版摘要中。 在圖2的裝置中，沒有HD波束與lD波束所需的分離偵 測系統。反射的H D波束與反射的L D波束會在相同的偵測 乐統2 3上遇到。這些波束會在偵測系統上分別形成偵測點 24與24 。圖2的裝置適合用來讀取高密度記錄載體與低 密度記錄載體。然而，當二發射元件51、52在本裝置中 非常Λ近時’則不可能只在l D波束的路徑中放置正透鏡 或預先猫準透鏡，因此本裝置較不適宜用來將資訊寫入資
591642 五、發明説明（14 訊層4 0中。 Z根據本發明’這個問題可以經由放置—第二繞射元件在 來自—波長雷射裝置50的波束放射路徑中加以解決。該第 二繞射元件也有選擇凹槽與平面的相位結構，也可選^凹 槽深度，使該元件可僅作為…皮束的繞射元件，而該元 件僅為H D波束的透明元件。 該第二繞射元件可為一分離元件，含有一透明底層，一 側由該繞射結構所提供。最好該第一與第二繞射元件整合 為-混和繞射元件，含有特定厚度之一透明底I，一側： :第一繞射結構所提供的，而另一側則由一第二繞射結構 提供。裝置中的元件術語製造本裝置的成本接著便能降 低。如果使用的是兩個模型，藉由一個步驟的澆鑄或複製 技術，該混和繞射元件相對得製造較為容易，分別含有與 第一與第二繞射結構相對的一内面結構。 圖3顯示混和繞射元件6〇的實施例與來自放射元件$ 1與 52的HD波束54與LD波束55，分別為圖2中波束分解器4 的二波長雷射，並穿過繞射元件6〇。圖3中所示放射路徑 部分的光學軸與HD波束54的主光線57結合。該混和繞射 元件包含有一底層61，對波束51與波束52這兩個波長來 說是透明#。在發射元件5 i、52旁，提供一繞射結構W 給該底層，例如一佛瑞奈透鏡（Fresnel lens)結構具有實際 的循環凹槽與平面，作為L D波束5 5的正透鏡。該繞射結 構會將發散波束55轉為聚合波束65。、在傳遞完底層6ι 後，LD波束65便小於HD波束54。在發射元件51、52的 裝 訂 線 O:\74\74014-921212.d〇c - 17 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 591642 A7 B7 五、發明説明（15 ) 遠端’有一第二繞射結構6 4提供給底層6 1，將聚合波束 6 5轉為發散波束6 6，邊緣會平行於η D波束5 4的邊緣。繞 射結構6 4作為l D波束的負透鏡，也可以是佛瑞奈透鏡類 型結構。繞射結構6 3與6 4的凹槽深度可以加以選擇，使 得這些結構對H D波束5 4沒有影響，即它們不會變更該波 束的方向或斜度。 繞射結構6 3與6 4可以由立體照相形成。這些立體照相 的原始結構最好是由電腦產生，即藉由繞射元件6 0的製 造’該結構用來形成模型。 在圖3的實施例中，瞄準結構的數字孔很小。這有利於 檢視角度依附的需求。在此實施例中，形成波束6 6的放射 線開始於來源波束的不對趁部分5 5。以虛線5 8指明，表 不波束55中之最大強度。由於波束55中的不對稱，同時 波束6 6可能會在強度上顯示出不對稱性，這對於該波束在 讀取或寫入低密度資訊層時是可被接受的。
然而’如圖4中所示，這類強度中的不對稱是可以避免 的。在本圖的實施例中，離開混和繞射元件的波束6 6的放 射線會從一波束65產生，這是來自放射元件52的波束的 不對稱部分。最大強度的線條6 8與光學軸5 7平行。圖4的 貫施例需要不對稱的繞射結構7 3與7 4，即不只會變更L D 波束的斜度，還會使得與該光學軸相關的波束的一部份偏 向。 圖5顯不另一實施例，其中繞射元件8 〇變更了 η d波束而 非L D波束。第一繞射結構8 3為η 〇波束7 8形成一負透 18- 〇:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公警Γ 591642
鏡，並將此發散波束轉成一更發散波束76。在第二繞射結 構84旁，HD波束76的外型大於乙!）波束75的外型。該第 一繞射結構將H D波束7 6轉成一較不發散波束7 7 ,其射線 邊緣基本上平行於對應的L D波束7 5射線邊緣。對L· D波束 來說，應該要有足以撰寫的強度，圖5的實施例具有該波 束不會受到繞射損失的優點，如果使用繞射結構的話。這 種繞射損失可能只會減少H D波束的強度，也就是用來讀 取的部分。 在圖5的實施例中，一簡易繞射結構8 3僅有一透鏡功 能’並為形成波束7 7選取來自來源5 1的不對稱部分7 8， 如果此波束的強度分佈不對稱是可被接受的，便可用與圖 3實施例中相同的方法。如果波束7 7有對稱強度分佈，選 擇來源波束對稱部分7 8的一較複雜的繞射結構8 3，應該 要與圖4實施例相同的方法使用。 立體照相中給定位置之該間距或柵的距離決定於該位置 放射線的角度，意思表示間距都不一樣。藉由Snell定律的 折射，掃描裝置之栅的等式與幾何需求可以由圖4中栅的 間隔P取得，如第一圖中的角度函數sine(p)所示： pi(p) = __t-λ__ s.n· + (g.n + d )· ρ· (1 一 NAo / Nai) p2(p) = _4·λ___ s.n + g.n.p. (1 - Nao / Nai) -19- O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210x 297公釐) 591642 A7 _____ B7 , 五、發明説明（7 ) 在這些等式中： t為底層71的厚度； λ為LD波束的波長； η為底層7 1的折射指數； s為雷射元件5 1與5 2之間的距離； g為雷射元件與第一立體照相7 3之間的距離
Nao為LD波束遇上瞄準透鏡所需的數值孔徑，以及
Nai為來自雷射元件52的]11)波束的子波束部分的數值孔 徑， 其中子波束部分應該藉由Nao轉成波束。 藉由為不同參數值§與〖計算P1(p)與P2(p)值，兩個立體 照相建立了： 如果距離g增加，則節距也會增加； 如果底層厚度t增加，則節距也會增加，以及 給定值為p時，節距為零，其中兩個立體照相的給定值不 同。 若要這裡討論的立體照相在製作上沒有問題，節距便不 能夠太小。這意思是說距離g應該要愈小愈好，且厚度t要 愈大愈好，而掃描裝置的其他設計參數也要一併考慮到。 對於這裡討論的掃描裝置來說，適合的g與t值為： 1公釐公釐 2公釐公釐。 對於掃描裝置的實施例來說，g = 2公釐的距離與t == 3公 釐的厚度是最佳值。對於這些值與n = 1.5與3 = 0.1公釐來 O:\74\74014-921212.d〇C - 20 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 591642 A7
說’節距值P(+Nai)與P(-Nai)位於邊緣射線碰到的地方， 而節距值P(〇)則位於L D波束的主射線處，由第一立體辟 相取出，且如下所示。 Ρ2 (+Nai) = -7.136 μιη Ρ2 (0) = -15.7 μπι Ρ2 (-Nai) = 78.5 μιη
Pi (+Nai) = 4.618 μπι Ρι(0) =15.7 μπι
Pi (-Nai) =-11.241 μιη 其他ρ值的節距與因此而形成的位置角度可由圖6中看出。 裝 Ρ函數影響的Pi與1>2變化分別由本圖的波形9〇與91表 示。柵頻率相對應的變化，以及每個長度單位（μιη)的柵 凹槽數目h = l/Pi與Q2 = / Ρ2皆分別顯示於圖7的波形9 3 與94中。 訂
線 具有上述參數值的第一立體照相73與第二立體照相74 分別顯示於圖8與圖9中。立體照相73與74的柵凹槽分別 以9 5與9 7表示，且栅之間的表面則分別由9 6與9 8表示。 這些圖很清楚的顯示了柵節距的變化。 溫度行為的計算顯示一較小的g與一較大的t分散溫度的 功能。如已經談到的，立體照相凹槽的深度4應該要使凹 槽產生其中一波束的相位提升Ν·2π，在圖4的111)波束中， 與另一個LD波束差了（2Ν+1)π相位。立體照相對ld波束 有最大的影響，但卻對HDi無影響。相位提升“由具有 波長λ的波束的立體照相柵產生： O:\74\74014-921212.doc -21 - 591642
△Φ = 2π.(1··(η-ΐ)/ 人。 · 人圖ίο顯示HD波束的凹槽深度d的函數的相位提升，具有 ,655 nm (波形！ 〇〇)，以& LD波束具有入=785打爪（波 1〇1)。相位提升Δφ的單位為2；1；。可由圖1〇取得， 立3.9 Pm為第一深度，HD波束的相位提升為兀的偶數 、而L D波束則為π的奇數倍。l D波束的相位提升亦為π 的奇數倍，稱為3 π , d = 2·3 μιη。HD波束的相位提升皆 來不會正好疋π的偶數倍，但是在這種情況下的d便無法 使用利用凹槽深度2.3 μιη來製造全面柵，比以凹槽深度 3·9 μιη要為容易。在圖5的實施例中，HD波束的相位提升 應該為π的奇數倍，而LD波束的相位提升則應該為兀的偶 數倍。這種情況下的第一凹槽深度為d = 4·7 μιη。對於 d == 3·3 μιη來說，HD波束的相位提升也是兀的奇數倍，而 LD波束的相位提升則接近兀的偶數倍，因此這個深度也不 能用。 又 全面柵最好被第一繞射順序影響。這代表凹槽的牆面為 傾斜的，因此放射的最大值以第一順序繞射，而最小值則 依照其他順序。第一繞射順序所影響的角度$為：
Sill (Θ blaze ) ~ _λ Ρ.(η~1) 當節距Ρ變得超過立體照相時，同時節距也都變得超過立 體照相。在圖4的實施例中，第一立體照相的影響角度範 圍由19.9°經由0°至-8,1。。
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-23- 圖1 1顯不一相容的掃据获署甘士 >丄々 ㈠平抱裒置，其中依本發明實施。該裝 置與圖2 $同處為單 '繞射元件5 7被混和繞射元件6〇或7〇 或80取代，％先前所提到的，因此透鏡能有效的僅位於 LD波束或HD波束的路徑上。藉由此透鏡，能確保⑷皮 =66或67或75，比位於物鏡系統14孔徑中的111)波束來 得小，而L D波束含有足夠的能量將資訊寫入資訊層4 〇 中。繞射元件最好置於波束仍然很小處，因此會接近兩波 長二極體雷射。在此裝置中，一偵測系統23用在反射的 H D波束與反射的L D波束上，這兩波束分連自偵測點2 4與 2 ^。這些點應該要準確的結合在偵測系統上。這可由以 X、Υ或Ζ方向調整混和繞射元件6 〇或7 〇或8 〇達成。 在掃描裝置中，其中一二極體雷射作為一放射來源，一 所謂的波束造型器可置於二極體雷射旁，以增加掃描波束 邊緣的強度。一二極體雷射會發射一波束，其平行於其啟 動層平面上的角度孔徑，一般所知為後平面，小於垂直於 啟動層平面上的角度孔徑，一般所知為橫斷面。在離二極 體雷射一段距離處，在所謂的二極體雷射遠端欄位中，該 二極體雷射的波束具有橢圓形。在用來掃描一資訊層的掃 描裝置中，最好使用受繞射限制的小圓掃描點。最後，藉 由形成掃描點的物鏡系統必須以具有圓形的放射波束填 滿。如果物鏡系統以具有橢圓形的二極體雷射波束照明， 則物鏡系統的入口孔徑範圍應該要以橢圓形較窄的方向填 滿，而在橢圓形較寬的方向中，放射量會落在孔徑外。這 類的放射量流失可藉由放置波束造型器來避免，將二極體 O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐）
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雷射與物鏡系統之間的橢圓波束轉為圓形波束。一具吸引 力的波束造型器揭露於美國專利5,467,335中。圖1 2顯示 此波束造型器110，為具有一圓柱入口面112與環形出口 面113的透鏡元件，並能置於二極體雷射12〇旁。此雷射 包含有複數個不同摻雜曾，只顯示出條狀啟動層1 2 2。此 條文限於兩部分透明鏡面丨2 3與1 2 4，使得來自電流源 1 2 9的電流流經雷射時產生的雷射放射線能留下啟動條 2。座標X Y Z的三軸系統的X γ平面中，啟動條1 2 2與前平 面4中的形狀為長方形。由於這個形狀，二極體雷射所發 射的波束並不相稱，但是在平行於啟動條丨2 2的X z平 面’即後平面中有一孔徑角度β 1，該孔徑角度小於γ Z平 面’即橫斷面中的孔徑角度β 2。後平面中雷射波束的邊緣 射線由符號1 2 5與1 2 6表示，而橫斷面中的則由符號丨2 7 與128表示。入口面112具有一部份的圓柱體外型，其圓 柱軸平行於Y-軸。對於γΖ平面中的射線來說，入口面為 空氣與具有折射指數η的透鏡媒體之間的平面介面，使得 這些射線對著Ζ -軸歪斜，程度則由η決定。換句話說，一 角度倍率1/η ’為一種縮減，發生在入口面112的γζ平面 中。在ΧΖ平面中，入口面112含有一曲率R，而該平面會 產生一角度倍率η。波束造型器11〇的出口面113在橫斷面 中含有這樣的曲率半徑R1，並置於雷射平面124中，與平 面1 1 2形成的影像影像結合的曲率中心的ζ位置。平面 1 1 3在橫斷面中，以不折射的方式傳送射線，且該平面中 的角度倍率基本上會等於一。在後平面中，出口面含有這 O:\74\74014-921212.doc ^ ^張尺度適财@hM(CNS)域格(⑽χ29巧 591642 A7 一_____B7 五、發明説明（22 ) 樣的曲率半徑R2 ’其雷射平面1 2 4中心的曲率中心與平面 1 1 2形成的虛擬影像結合，使得該平面中的角度倍率約為 一。由於入口面1 1 2所形成的兩個虛擬影像沿著z _軸位於 不同的位置，出口面1 1 3應該要有近似環形的形狀，以便 將這些影像結合為一個影像。環形的意思事後平面中平面 的曲率半徑與橫斷面中的不同。藉由出口面的非共面外圍 曲線，顯示在圖1 2中。若需要圖i 2的波束造型器的細節 與實施例，請參照美國專利5,467,335。 本發明的掃描裝置，包含有一二波長雷射二極體，可由 波束造型器&供。如果使用的是如美國專利5，* 6 7，3 3 5所 述的波束造型器’則H D波束與L D波束都會被造型。如果 H D波束應该要有足夠的強度來寫入資訊，則最好使用一 繞射波束造型器，只替H D波束造型。繞射波束造型器係 由繞射結構於其入口面與出口面提供。這些繞射結構會執 行透鏡波束造型器的透鏡功能。波束造型繞射元件可與一 混和繞射元件，像是前面所提過的元件6 〇整合在一起。這 類整合的繞射元件的入口面的混和繞射元件位於繞射結構 63的上方，且波束造型時需要用到繞射結構，而出口面的 混和繞射結構則位於繞射結構6 4的上方，且波束造型時也 需要用到繞射結構。與波束造型繞射結構如此的整合也可 以用在前面所提過的其他混和繞射結構7 〇與8 〇上。繞射 結構6 0、7 0或8 0的兩繞射結構也可以與分別與圖i 2中所 示的透鏡波束造型器的入口面1丨2與出口面113整合在一 起。每個平面接著會被提供一全面繞射結構，例如圖8與 O:\74\74014-921212.d〇c _ 25
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線 A7 B7 五、發明説明（23 ) 圖9中所示的修正結構。 二波長二極體雷射的二發射元件 應該準確的與整合透鏡波束造型器放置在一起。在其中的 第一 元件放置好後，便能旋轉二 波長雷射的殼體，放置第 二元件。繞射元件60或70或80或其修正也可不與圖12中 所示的整合，而與不同形式的波束造型器整合。 元件符號說明 1 放射來源 23 偵測系統 2 放射波束 24 、24’ 偵測點 3 繞射栅 25 透鏡 4 半透明鏡 27 透鏡的表面 6 二色性波束分解器 31 放射源 7 另一偵測器 32 放射波束 8 反射器 33 柵 10 瞄準透鏡 34 正透鏡 12 校準的波束 35 較不發散的(LD)波束 14 物鏡透鏡系統 36 LD波束 15 四分之一波屏 38 記錄載體 16 聚合波束 39 透明層 18 記錄載體 40 資訊層 19 透明層 41 焦點 20 資訊層 50 雙波長雷射 21 焦點 51 發射元件 O:\74\74014-921212.doc -26- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐） 591642 A7 B7
五、發明説明（24 ) 52 發射元件 78 HD波束 54 放射波束 80 繞射元件 55 放射波束 83 第一繞射結構 57 特殊的繞射元件 84 第二繞射結構 58 表示最大強度之虛線 95 柵凹槽 60 繞射元件 96 表面 61 底層 97 柵凹槽 63 繞射結構 98 表面 64 第二繞射結構 110 波束造型器 65 聚合波束 112 圓柱入口面 66 發散波束 113 環形出口面 67 LD波束 120 二極體雷射 70 繞射元件 122 條狀啟動層 71 底層 123 部分透明鏡面 73、74 不對稱的繞射結構 124 部分透明鏡面 75 LD波束 125、125, 橫斷面中的邊緣射線 76 更發散(HD)波束 126 、 126丨 後平面中的邊緣射線 77 較不發散的波束 129 電流源 O:\74\74014-921212.doc - 27 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

  1. 591642 A8 B8
    DVI04Z 六、申請專利範圍 5.如申請專利範圍第丨 在於該第二繞射元 '或第2項之光學掃描裝置，其特徵 選取一相稱之部分件係作為根據該二波長雷射之波束， 6·如申凊專利範圍第 在於該第一與第-达$第2項之光學掃描裝置，其特徵 旁。 ’、—繞射元件位於該二波長二極體雷射 7. 如申請專利範圍 在於遠二極體雷 公釐之間。 第1項或第2項之光學掃描裝置，其特徵 射與該繞射元件間之距離介於丨公釐至4 8. 如申請專利範圍 在於該第一與第 之間。 第1項或第2項之光學掃描裝置，其特徵 一繞射元件間之距離介於2公釐至8公釐 9.如申請專利範圍第 在於-波束造形号位1 或第2項之光學掃描裝置，其特徵 束造形器含有-波二波長二極體雷射前方；該波 1。·如申請專利範圍第t: 面與一折射出口面。 波束造形器之入口面二先學掃描裝置，其特徵在於該 射結構所構成。與出σ面係分別由—第三與第四繞 利範圍第10項之光學掃描裝置，其特徵在於該 第三繞射結構合併為混合繞射結構，而該 第f與第四繞射結構則合併唯ϋ合繞射結構，其 中該第一與第二混和繞射結構分別位於一透明體之入口 面與出口面。 •如申請專利範圍第9項之光學掃描裝置，其特徵在於該
    591642 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 波束造形器係一透鏡元件，含有一圓柱入口面與一環狀 出口面；其中該第一繞射結構位於該圓柱入口面，而該 第二繞射結構則位於該環狀出口面。 _Q:\74\74014-921212.doc__ 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 申請曰期 1 〇、1 乂 案 號 090123597 類 另il ejm 以上各欄由本局填註） Α4 C4 591642 中文說明書替換本(92年12月） 專利説明書 中 文 光學掃描裝置 英 文 OPTICAL SCANNING DEVICE’ 姓 名 國 籍 發明 1. 佩楚斯帝歐朵勒斯尤特 PETRUS THEODORUS JUTTE 2. 傑克布斯瑪利亞安東尼奥斯凡登伊蘭比 JACOBUS MARIA ANTONIUS VAN DEN EERENBEEMD 均荷蘭 住、居所 1 -2.均荷蘭愛因和文市普羅何斯蘭路6號 姓 名 (名稱） 國 籍 荷蘭商皇家飛利浦電子股份有限公司 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. 荷蘭 申請人 住、居所 (事務所) 代表人 姓 名 荷蘭愛因和文市格羅尼渥街1號 J.L.凡德渥 J.L. VAN DER VEER O:\74\74014-921212.doc 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格（210 X 297公釐）
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