TW590894B - Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electrooptic device, electrooptic device, and electronic device - Google Patents

Description

590894 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 .本發明是關於對基板等的工件，藉由代表噴墨頭的功 能液滴吐出噴頭進行功能液的吐出的液滴吐出裝置、光電 裝置之製造方法、光電裝置及電子機器。 【先前技術】 在習知的噴墨式印表機（ink jet printer)(彩色印表 機）等中藉由在承載器（carriage )搭載複數個噴墨頭， 導入複數色的墨水到這些噴墨頭以進行彩色印刷，在相關 的情形搭載同一規格的噴墨頭（例如參照日本特開平9 _ 49920號公報）。 但是’在噴墨頭（功能液滴吐出噴頭）的應用技術中 考慮依照成爲功能液的吐出對象的工件（work )，吐出應 形成複數種功能膜等的黏性不同的複數種功能液。例如在 切片上的檢體塗佈染色劑，以塗佈材密封固著此檢體，省 略蓋玻璃的切片的作成技術等中，需藉由功能液滴吐出噴 頭進行檢體染色劑（功能液）的吐出與塗佈材（功能液） 的吐出。在相關情形中藉由黏性低的檢體染色劑與黏性高 的塗佈材會發生使用規格不同的功能液滴吐出噴頭的必 要，若單純地考慮的話，需使用搭載規格不同的功能液滴 吐出噴頭的兩台液滴吐出裝置或對一台液滴吐出裝置適宜 交換功能液滴吐出噴頭（包含功能液供給系）而使用。 但是據此，因朝工件的其他液滴吐出裝置的傳送或功 (2) (2)590894 能液滴吐出噴頭等的更換（交換作業）需要時間，故整體 上對各工件的液滴吐出處理變的極爲繁雜。 【發明內容】 本發明係以提供藉由可自動交換功能液滴吐出噴頭， 可有效地進行工件處理的液滴吐出裝置、光電裝置之製造 方法、光電裝置及電子機器爲課題。 本發明的液滴吐出裝置，係對工件一邊相對地使功能 液吐出噴頭移動，一邊選擇性地吐出功能液滴，其特徵包 含：複數個功能液滴吐出噴頭；搭載複數個功能液滴吐出 噴頭的承載器；儲存複數個功能液滴吐出噴頭的儲存器； 在承載器與儲存器之間移載各功能液滴吐出噴頭的噴頭移 載機構；使搭載有功能液滴吐出噴頭的承載器對工件相對 地移動的移動機構；分別供給功能液給複數個功能液滴吐 出噴頭的功能液供給手段；以及分別控制複數個功能液滴 吐出噴頭的控制手段。 如果依照此構成，藉由移動機構對工件一邊相對地使 承載器上的功能液滴吐出噴頭移動，一邊藉由功能液供給 手段供給功能液給功能液吐出噴頭，並且藉由控制手段吐 出驅動功能液滴吐出噴頭。據此，可在工件的所希望的位 置擊中多數功能液滴。此情形，適宜地儲存工件處理所需 的功能液滴吐出噴頭於儲存器，依照作業的進行狀況，藉 由以噴頭移載機構交換儲存器上的功能液滴吐出噴頭與承 載器上的功能液滴吐出噴頭，使利用新的功能液滴吐出噴 -6- (3) (3)590894 頭的功能液的吐出爲可能。即藉由功能液滴吐出噴頭的交 換，對工件可以短時間進行不同的功能液的吐出。 此情形，複數個功能液滴吐出噴頭包含塡充的功能液 及/或規格互異的複數種功能液滴吐出噴頭較佳。 而且，在承載器，複數個功能液滴吐出噴頭之中的複 數個係可交換地被搭載，控制手段係附有關連複數個功能 液滴吐出噴頭而控制較佳。 如果依照此構成，對工件因令導入的功能液及/或規 格互異的複數種功能液滴吐出噴頭爲一體進行掃描可吐出 功能液，故對工件的功能液的多彩的液滴吐出爲可能。 這些情形，各功能液滴吐出噴頭係保持於噴頭保持構 件，經由噴頭保持構件可交換地搭載於承載器的各噴頭裝 設部以及儲存器的各噴頭裝設部，且藉由噴頭移載機構移 載較佳。 如果依照此構成，在複數種功能液滴吐出噴頭的形態 (外觀形狀）不同的情形下’藉由以統一噴頭保持構件的 頭安裝部以外的部分的形態，可以同一條件裝設各功能液 滴吐出噴頭於承載器以及儲存器，且可移載。即即使是複 數種功能液滴吐出噴頭的形態不同的情形’也能令承載器 的各噴頭裝設部以及儲存器的各噴頭裝設部爲同一構造， 且噴頭移載機構的把持部也無須變更° 此情形，在噴頭保持構件配設有用以定位功能液滴吐 出噴頭於承載器以及儲存器的複數個定位部’在承載器的 各噴頭裝設部以及儲存器的各噴頭裝設部配設有對應複數 (4) (4)590894 個定位部的複數個定位接受部較佳。 如果依照此構成，對承載器的各噴頭裝設部以及儲存 器的各噴頭裝設部可定位精度佳地搭載各功能液滴吐出噴 頭。此外，由定位部以及定位接受部構成的定位位置爲相 互分離的兩個位置或三個位置較佳。 這些情形，噴頭移載機構係經由噴頭保持構件把持功 能液滴吐出噴頭於水平姿勢’在噴頭保持構件立設有藉由 噴頭移載機構把持的被把持部較佳。 如果依照此構成，噴頭移載機構藉由把持噴頭保持構 件的被把持部，可在維持功能液滴吐出噴頭於水平姿勢下 移載功能液滴吐出噴頭。此情形，被把持部因被立設於噴 頭保持構件，故噴頭移載機構可不干涉功能液滴吐出噴頭 而適當且穩定地把持被把持部。 這些情形，在承載器的各噴頭裝設部配設有檢測所搭 載的功能液滴吐出噴頭的種別的檢測部，在噴頭保持構件 配設有對應檢測部的被檢測部較佳。 如果依照此構成，若裝設功能液滴吐出噴頭於承載器 的噴頭裝設部，則藉由噴頭保持構件的被檢測部與承載器 的檢測部的合作，檢測出功能液滴吐出噴頭的種別。而 且，根據此檢測結果由控制手段的頭別數據（吐出模型數 據）選擇該當數據。此外，各功能液滴吐出噴頭的噴嘴位 置數據（基準位置數據）預先記憶於控制手段的記憶體也 可以，且令上述被檢測部爲附有記憶體（1C )，使其記憶 於此也可以。 -8- (5) (5)590894 這些情形，經由噴頭保持構件搭載於承載器的各噴頭 裝設部.、的功能液滴吐出噴頭係位於其最外端的基準吐出噴 嘴配設於副掃描方向中的同位置較佳。 如果依照此構成，因複數種的功能液滴吐出噴頭中的 控制上的基準點與副掃描方向的同位置一致，故可使控制 手段的數據構成單純化，且對承載器可精度佳地搭載各功 能液滴吐出噴頭。 這些情形，功能液供給手段對應複數種功能液滴吐出 噴頭具有複數個功能液槽，複數個功能液槽與複數種功能 液滴吐出噴頭係分別經由管子（tube )連接較佳。 如果依照此構成，因各功能液槽與各功能液滴吐出噴 頭預先藉由管子連接，故在儲存器以及承載器之間的功能 液滴吐出噴頭的交換時，無須進行管子的拆卸安裝，可迅 速地進行功能液滴吐出噴頭的交換，並且可確實地防止交 換時的功能液的洩漏等。 這些情形，控制手段對應複數種功能液滴吐出噴頭具 有複數個噴頭驅動器，複數個噴頭驅動器與複數種功能液 滴吐出噴頭係分別經由電線（cable )連接較佳。 如果依照此構成，因各噴頭驅動器與各功能液滴吐出 噴頭預先藉由電線連接，故在儲存器以及承載器之間的功 能液滴吐出噴頭的交換時，無須進行電線的拆卸安裝，可 迅速地進行功能液滴吐出噴頭的交換，並且無交換構造複 雜。 這些情形，儲存器具有附著於儲存於此儲存器的功能 -9 - (6) (6)590894 液滴吐出噴頭的噴嘴面的乾燥防止用的蓋（cap )較佳。 如果依照此構成，因所儲存的功能液滴吐出噴頭（的 噴嘴面）的乾燥被防止，故即使爲被儲存的狀態也能較佳 地維持功能液滴吐出噴頭的吐出功能。因此，可在較佳地 維持吐出功能的狀態下交換功能液滴吐出噴頭，即使是剛 交換後的功能液滴吐出噴頭，其液滴吐出也不發生障礙。 此情形，在蓋連接有經由蓋吸引功能液滴吐出噴頭的 功能液的吸引手段較佳。 如果依照此構成，例如利用蓋，在即將交換功能液滴 吐出噴頭前可進行吸引功能液滴吐出噴頭的功能液的洗淨 (cleaning )，可在更佳地維持吐出功能的狀態下交換功 能液滴吐出噴頭。 此情形，儲存器更具有淸掃儲存於此儲存器的功能液 滴吐出噴頭的噴嘴面的淸除單元（wiping)機構較佳。 如果依照此構成，例如在吸引上述功能液的洗淨後藉 由淸除單元功能液滴吐出噴頭的噴嘴面，可維持各吐出噴 嘴的彎月面（meniscus)於適當的狀態。 這些情形，儲存器更具有接受來自儲存於此儲存器的 功能液滴吐出噴頭的全吐出噴嘴的功能液滴的空吐出的空 吐出承受器’控制手段在功能液滴吐出噴頭定期地進行空 吐出較佳。 如果依照此構成，在定期地或即將交換前’藉由來自 所儲存的功能液滴吐出噴頭的全吐出噴嘴的功能液滴的空 吐出，可較佳地維持功能液滴吐出噴頭的吐出功能。因 -10- (7) (7)590894 此，可在較佳地維持吐出功能的狀態下交換功能液滴吐出 噴頭，即使是剛交換後的功能液滴吐出噴頭，其液滴吐出 也不發生障礙。此外，令上述蓋爲進退自如，兼具空吐出 承受器也可以。 這些情形，控制手段對儲存於儲存器的功能液滴吐出 噴頭的吐出噴嘴施加不伴隨功能液滴的吐出的驅動波形較 佳。 如果依照此構成，在到達功能液滴吐出噴頭的各吐出 噴嘴的墨水室內，功能液因施加的驅動波形而微動，藉由 攪拌以抑制功能液的部分的乾燥特別是構成吐出噴嘴前端 的彎月面的功能液部分的乾燥。據此，整體上可抑制因各 吐出噴嘴的乾燥造成的篩眼堵塞。因此，可較佳地維持所 儲存的功能液滴吐出噴頭的吐出功能，即使是剛交換後的 功能液滴吐出噴頭，其液滴吐出也不發生障礙。 這些情形，控制手段對不進行搭載於承載器的功能液 滴吐出噴頭的真正吐出的吐出噴嘴，以真正吐出的吐出定 時施加不伴隨功能液滴的吐出的驅動波形較佳。 如果依照此構成，與上述一樣可抑制因不進行真正吐 出的吐出噴嘴的乾燥造成的篩眼堵塞。因此，可適宜地省 略定期的噴射（flashing )(來自全吐出噴嘴的功能液滴 的空吐出）等，整體上可縮短工件的處理的生產節拍時間 (tact time ) 〇 本發明的光電裝置之製造方法，其特徵爲使用上述液 滴吐出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。 -11… (8) (8)590894 而且，本發明的光電裝置，其特徵爲使用上述液滴吐 出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。 如果依照此構成，因使用對工件功能液的多彩的吐出 爲可能的液滴吐出裝置來製造，故可有效地製造光電裝置 自身。此外，光電裝置（device )可考慮、液晶顯示裝 置、有機EL( Electro-Luminescence:電致發光）裝置、電 子放射裝置、PDP (Plasma Display Pan el:電漿顯示器面 板）裝置以及電泳動顯示裝置等。此外，電子放射裝置係 包含所謂的 FED (Field Emission Display:場放射顯示 器）或 SED ( Surface-Conduction Electron-Emitter Display··表面傳導電子射極顯示器）裝置的槪念。再者， 光電裝置可考慮包含金屬配線形成、透鏡形成、光阻 (resist)形成以及光擴散體形成等的裝置。 本發明的電子機器其特徵爲搭載上述光電裝置。 此情形，電子機器除了搭載所謂的平面面板顯示器的 行動電話、個人電腦外，各種電氣製品也相當於此電子機 器0 【實施方式】 以下參照圖面說明本發明的液滴吐出裝置、光電裝置 之製造方法、光電裝置及電子機器。 噴墨式印表機的噴墨頭（功能液滴吐出噴頭）因可精 度佳地吐出微小的墨水滴（功能液滴）成點狀，故藉由例 如功能液（吐出對象液）使用特殊的墨水或發光性或感光 -12- (9) 性的樹脂等的液狀體，使對各種零件的製造領域的應用被 期待。 本實施形態的液滴吐出裝置係一邊適宜地在裝置內交 換規格不同的複數種功能液滴吐出噴頭或導入的功能液不 同的複數種功能液滴吐出噴頭，一邊使用，在工件的基板 W吐出功能液滴，在基板上形成所希望的成膜部（詳細於 後述）。 如第1圖所示，實施形態的液滴吐出裝置1具備：機 台2，與設置於機台2上的移動機構3的X軸平台4以及 與此X軸平台4直交的Y軸平台5，與移動自如地安裝於 X軸平台4的主承載器6，與搭載於主承載器6的噴頭單 元（head unit ) 7。而且，在噴頭單元7經由次承載器 (承載器）9安裝拆卸自如地且可交換地搭載有規格不同 的三種類的功能液滴吐出噴頭1 0。而且，工件的基板W 係安裝拆卸自如地搭載於Y軸平台5。 在X軸平台4的左部附近配設有儲存（stock)功能 液滴吐出噴頭10的噴頭儲存器（儲存器：stocker ) 12，實 施形態的噴頭儲存器1 2係三種類的功能液滴吐出噴頭1 〇 可儲存地構成。在機台 2的左部立設有移載機器人 (robot) 13，藉由此移載機器人13可交換（置換）噴頭 儲存器12上的功能液滴吐出噴頭10與次承載器9上的功 能液滴吐出噴頭1 0。 在移載機器人1 3的附近於機台2上配設有功能液供 給機構（功能液供給手段）1 4，由此功能液供給機構1 4 -13- (10) 對各功能液滴吐出噴頭1 0供給功能液。同樣地在移載機 器人1 3的附近的機台2上朝下設置有使用雷射光的距離 計測裝置（計測手段）1 5。而且，在此液滴吐出裝置1組 裝有統刮控制上述移動機構3或功能液滴吐出噴頭丨〇等 的構成裝置的控制手段16(參照第9圖）。 再者在圖示上省略，於此液滴吐出裝置1除了接受搭 載於噴頭單元7的功能液滴吐出噴頭1 0的定期的噴射 (flashing )(來自全吐出噴嘴的功能液的丟棄吐出）的 噴射單元，或淸除單元功能液滴吐出噴頭1 0的噴嘴面的 淸除單元外，也組裝有進行功能液滴吐出噴頭i 〇的功能 液吸引以及保管的吸引單元等。 X軸平台4具有構成X軸方向的驅動系的馬達22驅 動的X軸滑塊21，移動自如地搭載上述主承載器6於此 X軸滑塊21而構成。同樣地Y軸平台5具有構成Y軸方 向的驅動系的馬達24驅動的Y軸滑塊23，移動自如地搭 載由吸附平台（工件台）26以及0台27等構成的安置平 台25於此Y軸平台5而構成。此情形，X軸平台4係被 支持於立設於機台2上的左右支柱29、29，另一方面，Y 軸平台5係直接被支持於機台2上。而且，在安置平台 2 5的吸附平台2 6上，基板W係在定位狀態下被安置。 在本實施形態的液滴吐出裝置1中與藉由X軸平台4 的各功能液滴吐出噴頭1 0的移動同步，各功能液滴吐出 噴頭1 〇爲驅動（功能液滴的選擇的吐出）的構成，功能 液滴吐出噴頭10的所謂的主掃描係藉由朝X軸平台4的 -14- (11) X軸方向的往復動作來進行。而且，對應於此所謂的副掃 描係藉由朝I利用Y軸平台5的基板W的Y軸方向的往復 動作來進行。而且，上述掃描中的各功能液滴吐出噴頭 1 〇的驅動係根據記憶於上述控制手段1 6的吐出模型數據 來進行。□淚 如第2圖所示，主承載器6具有：以鉛直姿勢移動自 如地安裝於上述X軸滑塊21的滑動基座（slide base) 3 1，與組裝於滑動基座3 1的Z軸移動機構（間隙調整手 段）32。在滑動基座 31的正面配設有一對導軌（guide rail) 33，在此一對導軌33，噴頭單元7係滑動自如地安 裝於上下方向。Z軸移動機構3 2係以例如配設於噴頭單 元7側的雌螺旋構件3 5，與螺合於此雌螺旋構件3 5的導 螺桿（lead screw) 36，與使導螺桿36正反旋轉的步進馬 達（stepping motor ) ( actuator:致動器）3 7 構成，藉由 步進馬達的正反旋轉使噴頭單元7上下動作，用以可微調 整噴頭單元7上的功能液滴吐出噴頭1 0與基板W之間的 工件間隙（詳細於後述）。 噴頭單元7具有：滑動自如地安裝於上述滑動基座31 的鉛直姿勢的托架41，與安裝於此托架41的水平姿勢的 次承載器9，在此次承載器9上述三種類的功能液滴吐出 噴頭10、10、10分別經由噴頭保持構件42、42、42安裝 拆卸自如地裝設。而且，雖然未圖示但在托架41與次承 載器9之間組裝有微調整次承載器9中的X軸中心以及Y 軸中心的角度的平行度微調整機構。 -15- (12) 次承載器9是以不銹鋼等的厚板構成，在其表面橫排 地形成有三個噴頭裝設部44、44、44。各噴頭裝設部44 係由：上述噴頭保持構件42在定位狀態下嵌合的淺溝槽部 4 5，與形成於淺溝槽部4 5中央的功能液滴吐出噴頭1 0的 下部（噴頭本體51)所貫通的貫通開口 46構成。在淺溝 槽部45的溝槽底形成有夾著貫通開口 46定位噴頭保持構 件（功能液滴吐出噴頭1 〇 ) 42用的一對定位孔（定位接 受部）47、47。而且，在各淺溝槽部45的溝槽緣部埋入 有檢測功能液滴吐出噴頭1 〇的種別的檢測器4 8，檢測器 48係連接於上述控制手段16。 三種類的功能液滴吐出噴頭1 〇、1 〇、1 〇係由：搭載於 次承載器9的右部的第一吐出噴頭（參照第3圖）10a， 與搭載於左右的中間部的第二吐出噴頭（參照第4圖） 1 〇b，與搭載於左部的第三吐出噴頭（參照第5圖）10c 構成，任一個都在保持於噴頭保持構件42的狀態下裝設 於次承載器9的噴頭裝設部44。而且未圖示，在定位狀 態下裝設於次承載器9的三種類的功能液滴吐出噴頭 1〇、10、10係其托架41側的最外端的吐出噴嘴（基準噴 嘴）排列在Y軸方向的同位置而被定位。 第一吐出噴頭1 0a係由各吐出噴嘴微量吐出黏性較低 的功能液的規格。即噴嘴數多且每單位噴嘴的功能液滴吐 出量少的規格。如第3圖所示，第一吐出噴頭l〇a具有： 在噴嘴面51a具有兩條噴嘴列（省略圖示）的噴頭本體 51，與固定於噴頭本體51上側的噴頭基板52。在噴頭基 -16- (13) (13)590894 板52經由一對連接器53、53連接有連接於控制手段16 的一對扁平撓性電線54、5 4，在噴頭本體5 1連接有貫通 噴頭基板 5 2連接於功能液供給機構14的一對矽管 (silcon tube) 55、55 〇 在噴頭本體5 1的兩側面分別突設有安裝轂56、56， 第一吐出噴頭10a係在插入其噴頭本體51於噴頭保持構 件42的安裝開口 61的定位狀態下，藉由此一對安裝轂 56、56螺旋固定於噴頭保持構件42。 噴頭保持構件42係以在中央部形成上述安裝開口 6 1 的方形的不銹鋼板等構成，形成與次承載器9的淺溝槽部 (噴頭裝設部44 ) 45的深度略同一的厚度。在噴頭保持 構件4 2的頂面於眼前側角落部立設有圓柱狀的把持突起 (把持部）62，在側部安裝有對應上述檢測器48的被檢 測器63。而且，在噴頭保持構件42的底面夾著安裝開口 6 1垂設有對應上述一對定位孔4 7、4 7的一對定位銷 (pin)(定位部）64、64。 搭載功能液滴吐出噴頭（第一吐出噴頭10a) 10的噴 頭保持構件42係在把持突起62的部分被把持於移載機器 人1 3，由上側被裝設於次承載器9的噴頭裝設部44。此 時’在噴頭裝設部44的一對定位孔47、47使噴頭保持構 件42的一對定位銷64、64對位且被導引而在次承載器9 裝設噴頭保持構件42。此外，與上述相反，在噴頭裝設 部44配設定位銷64，在噴頭保持構件42配設定位孔47 也可以。 -17· (14) 在噴頭保持構件42裝設於次承載器9的狀態下，噴 頭保持構件42的表面（頂面）與次承載器9的表面（頂 面）成爲面一致，且功能液滴吐出噴頭1 0的噴頭本體5 1 係由次承載器9的安裝開口 6 1稍微朝下方突出。而且， 噴頭保持構件42的被檢測器63接觸次承載器9的檢測器 4 8，以檢測功能液滴吐出噴頭1 0的種別。 再者在圖示上省略，在噴頭保持構件42的周側部卡 止突起係出沒自如地組裝於成爲點對稱的兩個位置，若移 載機器人1 3把持解除把持突起62，則此卡止突起卡止於 淺溝槽部45的周緣部，使噴頭保持構件42固定（脫離固 定）於噴頭裝設部44。即藉由組裝於把持突起62的操作 部與組裝於噴頭保持構件42的卡止突起與形成於噴頭裝 設部44的卡止溝槽，構成對次承載器9的噴頭保持構件 (功能液滴吐出噴頭）4 2的鎖/開鎖機構。此外，在後述 的儲存平台71中也成爲同樣的構成。 第二吐出噴頭1 Ob係由各吐出噴嘴多量地吐出黏性較 高的功能液的規格。即噴嘴數極端地少且每單位噴嘴的功 能液滴吐出量極多的規格。如第4圖所示，第二吐出噴頭 10b具有：在噴嘴面51a具有一條噴嘴列（省略圖示）的噴 頭本體51，與固定於噴頭本體51上側的噴頭基板52。在 噴頭基板5 2經由連接器5 3連接有扁平撓性電線5 4 ’在 噴頭本體51連接有矽管55。 、 此情形也與上述一樣’第二吐出噴頭1 搭載於具備 一對定位銷6 4、6 4、把持突起6 2以及被檢測器6 3的噴 -18- (15) (15)590894 頭保持構件42，在此狀態下，安裝拆卸自如地裝設於次 承載器9的噴頭裝設部44。 第三吐出噴頭1 〇c係由各吐出噴嘴多量地吐出黏性較 高的功能液的規格。即噴嘴數較多且每單位噴嘴的功能液 滴吐出量爲中間的規格。如第5圖所示，第三吐出噴頭 l〇c具有：在噴嘴面51a具有一條噴嘴列（省略圖示）的噴 頭本體5 1，與固定於噴頭本體5 1上側的噴頭基板52。在 噴頭基板52經由連接器連接有扁平撓性電線54，在噴頭 本體51連接有矽管55。 此情形也與上述一樣，第三吐出噴頭1 〇c搭載於具備 一對定位銷64、64、把持突起62以及被檢測器63的噴 頭保持構件42，在此狀態下，安裝拆卸自如地裝設於次 承載器9的噴頭裝設部44。即三個噴頭保持構件42、 42、42僅對應各功能液滴吐出噴頭1〇 ( l〇a、l〇b、10c ) 的形狀的安裝開口 61周圍不同，其他部分具有同一形 態。 距離計測裝置1 5係測定基板W的表面的位置以及吸 附平台26的表面的位置，利用雷射光的反射精度佳地計 測上述各位置。此測定結果輸出到上述控制手段1 6，藉 由控制手段16算出基板W的厚度。而且，由此基板W的 厚度與次承載器（功能液滴吐出噴頭10) 9-吸附平台26 的位置數據算出工件間隙，根據此算出結果，進行工件間 隙的微調整以及後述的副槽1 42的高度微調整（詳細於後 述）。即藉由距離計測裝置（計測手段）1 5與控制手段 -19- (16) (算出手段）1 6構成間隙測定手段。 如第6圖以及第7圖所示，噴頭儲存器I〗係面向上 述左側的支柱2 9而配設’具有：形成安置功能液滴吐出噴 頭1 〇的噴頭裝設部7 2的儲存平台7 1，與配設於儲存平 台71下側的噴頭保全機構73，與在水平姿勢下移動儲存 平台71的水平移動機構74。此外，在第1圖以及第6圖 中，水平移動機構74在說明的方便上僅圖示一台，惟爲 了確保水平移動的精度或穩定性，在儲存平台71的左右 兩側設置水平移動機構7 4，用以水平移動當然也可以。 而且，噴頭保全機構73具備：兼備噴射單元的功能以及吸 引單元的功能的蓋子單元75，與淸除單元噴嘴面51a的 淸除單元76。 儲存平台71具有與上述次承載器9大致同一的形 態，不同的部分具備成爲延設於側方（左方）的儲存部的 三個噴頭裝設部72，各噴頭裝設部72係由淺溝槽部81 與貫通開口 8 2構成，且具有一對定位孔8 3、8 3以及檢測 器84。在平板支持部78形成有插通後述的水平移動機構 74的一對導桿92 ' 92的一對導孔86、86，與水平移動機 構74的導螺桿（滾珠螺桿：ball screw) 93所螺合的螺旋 孔87。 而且，儲存平台71配設於與上述次承載器9大致同 一的高度，裝設於儲存平台71的功能液滴吐出噴頭1〇的 噴嘴面51a與裝設於次承載器9的功能液滴吐出噴頭1〇 的噴嘴面51a係作成同一高度水平。而且’儲存平台71 -20- (17) (17)590894 在支柱29側後退端的原來位置中位於噴頭保全機構73的 蓋子單元75的正上部，藉由水平移動機構74在面臨此蓋 子單元75的位置與面臨淸除單元76的位置之間，在前後 方向（Y軸方向）往復動作。 水平移動機構74具備：在裝置框架91的前後兩端部 水平地支持的一對導桿92、92，與配設於兩導桿92、92 之間的導螺桿93，與連結於導螺桿93的一方的端的儲存 部馬達94。如上述在一對導桿92、92，儲存平台71的平 板支持部78係滑動自如地插通，且在導螺桿93螺合平板 支持部78的螺旋孔87。若儲存部馬達94正反旋轉的 話，藉由以導螺桿93與螺旋孔87構成的螺旋機構導引於 一對導桿92、92，使儲存平台71水平移動，在蓋子單元 75與淸除單元76之間往復動作。而且，在此儲存平台71 的往動時進行搭載（儲存）於儲存平台71的功能液滴吐 出噴頭10的淸除單元。即藉由淸除單元76與水平移動機 構74構成淸除單元機構。 如第7圖所示，蓋子單元75具備：對應三種類的功能 液滴吐出噴頭 10 (10a、10b、10c)的第一噴頭蓋子 101a、第二噴頭蓋子i〇ib以及第三噴頭蓋子101c，與支 持這些噴頭蓋子101的蓋基座102，與滑動自如地支持蓋 基座102於上下方向的支持框架103，與經由蓋基座 使三種類的噴頭蓋子101上下動作的上下動機構104。而 且，蓋子單元75具備在各噴頭蓋子101經由吸引管1〇6 連接的吸引邦浦（吸引手段）1 0 5。此外，在噴頭保全機 -21 - (18) 構同時載置有三個功能液滴吐出噴頭的情形因也有一個或 兩個的情形，故以蓋、蓋的進退動機構以及吸引邦浦（吸 引手段）、淸除單元分別一對一具備的構成也可以。當然 進退動機構、吸引邦浦（吸引手段）以及淸除單元以一個 兼用也可以。 噴頭蓋子1 01在凹狀的功能液積存處111塡充功能液 吸收材1 1 2，並且在功能液積存處η 1的周緣部具有密封 襯墊1 1 3，藉由使密封襯墊1 1 3附著於功能液滴吐出噴頭 1 0的噴嘴面5 1 a以密封全吐出噴嘴。而且，在此功能液 積存處1 1 1連接有中介設置開關閥（電磁閥）1 1 4的吸引 管106。對於藉由吸引邦浦105經由噴頭蓋子101進行功 能液滴吐出噴頭1 〇的功能液滴吸引的情形，僅開放必要 的開關閥1 14。 蓋基座102係形成朝下的[U]字形，在其兩側板部 102a、102a滑動自如地支持於形成朝上的[U]字形的支持 框架103的兩側框架103a、103a。另一方面，上下動機 構104係以固定於支持框架103的中央的上下動馬達 116，與連結於上下動馬達116的導螺桿117，與導螺桿 117所螺合並且固定於蓋基座102的底面的附雌螺旋的托 架118構成。藉由上下動馬達116的正反旋轉，經由導螺 桿117以及雌螺旋的托架118使蓋基座102上下動作。 此情形，對儲存中的功能液滴吐出噴頭1 〇藉由以上 下動機構1 04附著於噴頭蓋子1 〇 1，以密封功能液滴吐出 噴頭10的噴嘴面51a，防止功能液的乾燥（capping:壓 -22- (19) 蓋）。而且，對即將交換前的功能液滴吐出噴頭1 〇，藉 由吸引邦浦105吸引功能液，使全吐出噴嘴的吸引爲可 能。而且，在吸引後藉由淸除單元進行噴嘴面的淸掃（淸 除單元）。而且，由噴嘴面51a稍微分離噴頭蓋子101， 藉由進行來自全吐出噴嘴的空吐出，使所謂的噴射（空吐 出或預備吐出）爲可能。即實施形態的各噴頭蓋子1 0 1係 兼具接受功能液滴吐出噴頭1 0的空吐出的空吐出承受 器。此外，在噴射時應極力防止功能液的飛散之由噴嘴面 51a稍微使噴頭蓋子101下降，而在使儲存平台71移動 時等的蓋子單元75的待機時充分地使噴頭蓋子101下降 (具有兩階段的下降位置）較佳。 另一方面，淸除單元76係以使藉由上述功能液吸引 附著於功能液滴吐出噴頭1 0的噴嘴面5 1 a的功能液包含 於溶劑的不織布等的淸除單元薄片來擦拭。如第6圖所 示，淸除單元76具備：捲繞淸除單元薄片121的繞線車 122，與捲繞淸除單元薄片121的捲繞捲線筒123，與按 壓淸除單元薄片1 2 1於功能液滴吐出噴頭1 〇用的淸除單 元滾筒124，與配設於繞線車122以及淸除單元滾筒124 之間的第一中間滾筒125，與配設於淸除單元滾筒124以 及捲線筒123之間的第二中間滾筒126。此外，在同圖示 中，成爲驅動源的馬達或支持框架等被省略。 藉由捲線筒1 2 3的驅動旋轉與繞線車1 2 2的制動旋 轉，若在伸張狀態下淸除單元薄片1 2 1開始移動的話，與 此移動同步，水平移勸機構74使搭載功能液滴吐出噴頭 …23- (20) 10的儲存平台71往動。據此，對移動的淸除單元薄片 1 2 1，功能液滴吐出噴頭1 0的噴嘴面5 1 a由往動方向的前 端側朝後端側接觸，進行功能液的擦拭。此外，在圖示上 省略，配設有淸除單元76的全體或稍微使淸除單元滾筒 1 2 4升降的機構，在功能液滴吐出噴頭1 〇的復動時，不 使淸除單元薄片1 2 1接觸功能液滴吐出噴頭1 0。 如此，噴頭保全機構73係在使用前用以適當地使儲 存中的功能液滴吐出噴頭1 〇的全吐出噴嘴發揮功能而保 全。此外，在噴頭保全機構73中省略（省略吸引邦浦 105)淸除單元76或蓋子單元75的洗淨機構也可以。再 者，與蓋55不同另外配設專用的空吐出承受器也可以。 移載機器人13是以：立設於機台2的機器人本體 131，與配設於機器人本體131上部的機器人手臂132, 與安裝於機器人手臂132前端的機器人手（robot hand) 133構成。在機器人手133的前端部，夾入噴頭保持構件 42的把持突起62而組裝有把持的夾頭（chuck)機構134 (參照第7圖），藉由上述控制手段1 6控制利用此機器 人手1 3 3的把持動作以及利用機器人手臂1 3 2的移動動 作。 利用移載機器人13的標準的頭交換動作首先把持成 爲交換對象的次承載器9上的功能液滴吐出噴頭1 0，將 此功能液滴吐出噴頭1〇移載到儲存平台71的空的噴頭裝 設部72。接著，把持成爲交換對象的儲存平台71上的功 能液滴吐出噴頭1 〇，將此功能液滴吐出噴頭1 0移載到次 -24- (21) 承載器9的空的噴頭裝設部44。此外，在此實施形態中 雖然搭載三個（三種類）功能液滴吐出噴頭1 0於兩個次 承載器9以及一個於儲存平台7 1，但功能液滴吐出噴頭 1 〇的全個數或搭載於次承載器9以及儲存平台71的個數 並非限定於實施形態，可依照需要適宜地變更。 如第8圖所示，功能液供給機構1 4具備分別具有功 能液槽的副槽1 42的三組槽單元1 4 1、1 4 1、1 4 1，並且具 備連接於各副槽142的三種類的主槽151以及由各主槽 1 5 1分別送出功能液給對應的副槽1 42的壓力送液裝置 152。即藉由主槽151以及壓力送液裝置152構成補給功 能液給副槽 M2的功能液補給手段。藉由壓力送液裝置 152由各主槽壓送的功能液係貯存於副槽142。 各槽單元1 4 1是以：副槽1 42，與升降自如地支持於副 槽142的槽支持器143，與使副槽142升降的升降機構 (水頭調整機構）144構成。升降機構144是以.·在其下板 部143a升降自如地支持於「]」字形剖面的槽支持器143 的一對升降導承 146、146，與組裝一對升降導承 (guide) 146、146的支持導承構件147，與固定在支持 導承構件147的底面的升降馬達（致動器）148，與連結 於升降馬達148，螺合於槽支持器143的下板部143a的 導螺桿149構成。 藉由升降馬達148的正反旋轉，經由槽支持器143使 副槽142升降。即藉由升降機構144使副槽142升降，可 微調整副槽1 4 2與功能液滴吐出噴頭1 0之間的水頭Η -25- (22) (詳細於後述）。此外，上述壓力送液裝置152也藉由上 述控制手段1 6控制。即在各副槽14 2配設有液位（水 位）感測器1 5 0，使副槽1 42的液位一定而控制壓力送液 裝置152的送液。 可是，對於功能液的消耗量少的情形也能省略上述主 槽1 5 1。在相關情形，升降機構1 44根據液位感測器1 5 0 的檢測結果使副槽1 42的液位一定而被控制，且根據上述 距離計測裝置1 5的計測結果使上述水頭Η成爲預定的値 而控制。 另一方面，各副槽1 42與各噴頭單元（各功能液滴吐 出噴頭10) 7係以上述矽管55連接，可藉由上述移動機 構3或移載機器人1 3追蹤移動的噴頭單元7，由上側懸 掛其中間部（省略圖示）。同樣地後述的各噴頭驅動器 188與各噴頭單元7也藉由上述扁平撓性電線54 —直連 接。即在本實施形態的功能液滴吐出噴頭1 〇中，在其交 換（移載）時不進行矽管55以及扁平撓性電線54的斷 續。可是，使用單接觸的管接頭或連接器，作成斷續的構 成也可以。 控制手段1 6如第9圖所示具備控制液滴吐出裝置1 的各種動作的控制部1 8 1。控制部1 8 1具備進行各種控制 的CPU182、ROM183、RAM184以及介面 185，這些構件 係互相經由匯流排 186連接。ROM 183具有記憶以 CPU182處理的控制程式或控制數據的區域。RAM1 84係 當作控制處理用的各種作業區域使用。在介面1 85組裝有 -26- (23) 590894 補充CPU182的功能並且處理與周邊電路的介面訊 邏輯電路。 在介面1 8 5連接有上述移動機構3、功能液滴吐 頭（噴頭驅動器1 8 8 ) 1 0、Z軸移動機構3 2、移載機 1 3、噴頭儲存器1 2以及功能液供給機構1 4。再者， 面1 8 5檢測部1 8 7係連接有距離計測裝置1 5、次承輋 的各檢測器48以及儲存平台71的各檢測器84。而 CPU182依照ROM183內的控制程式經由介面185輸 種檢測訊號、各種指令、各種數據（data )， RAM 184內的各種數據（吐出模型數據）等，經由 1 8 5輸出各種控制訊號。 艮卩CPU 1 82經由噴頭驅動器1 88分別控制複數種 液滴吐出噴頭1 0的吐出驅動，並且經由各種驅動器 移動機構3的X軸平台4以及Y軸平台5的移動動 而且，C P U 1 8 2伴隨著功能液滴吐出噴頭1 〇的交換控 載機器人13，並且控制噴頭保全機構73的蓋子單） 以及淸除單元7 6等。再者，C P U 1 8 2根據距離計測 1 5的計測結果，經由z軸移動機構32微調整工件間 及功能液供給機構1 4的副槽1 42-功能液滴吐出噴层 間的水頭Η。 在根據吐出模型數據的液滴吐出裝置1的基本 中’藉由X軸平台4 一邊使功能液滴吐出噴頭1〇朝 方向往復動作（主掃描），一邊驅動功能液滴吐出 1 〇選擇性地吐出功能液滴，且藉由γ軸平台5朝基

用的 出噴 器人 在介 €器9 且， 入各 控制 介面 功能 控制 作。 制移 C 75 裝置 隙以 Μ 1〇 動作 X軸 噴頭 板W -27- (24) (24)590894 的Y軸方向往復動作進行副掃描。而且，對於交換功能 液滴吐出噴SR 1 〇的情形，預先移動噴頭單元7於原來位 置，藉由移載機器人13首先將次承載器9上的功能液滴 吐出噴頭1 0移載到儲存平台7 1，接著將儲存平台7 1上 的功能液滴吐出噴頭1 0移載到次承載器9。 另一方面’搭載於次承載器9的功能液滴吐出噴頭 1 0藉由配設於其噴頭裝設部44的檢測器48認識其裝設 與頭種別，並且認識噴嘴位置，此認識結果被加在吐出模 型數據。同樣地，即使在儲存平台7 1中藉由配設於其噴 頭裝設部7 2的檢測器4 8認識所儲存的功能液滴吐出噴頭 1 〇的裝設與頭種別等，據此控制噴射或功能液吸引等。 此外，由被檢測器63與檢測器48、84構成的檢測手段爲 使用機械的開關或感測器者也可以，且在被檢測器63側 組裝1C晶片者也可以。 而且，關於儲存於噴頭儲存器1 2的功能液滴吐出噴 頭1 0，除了上述的壓蓋的保全動作外，用以施加應抑制 吐出噴嘴中的功能液的增黏的不伴隨著液滴吐出的驅動波 形。如第1 〇A、1 0Β圖所示在本實施形態中，驅動脈衝係 準備伴隨著液滴吐出的吐出波形（第1 〇 A圖），並且不 伴隨著液滴吐出的微振動波形（第1 0B圖），適宜地施加 微振動波形給噴頭儲存器1 2上的功能液滴吐出噴頭1 0。 此情形在吐出波形中，對功能液滴吐出噴頭1 〇的壓電元 件施加由對中間電壓Vm，h 1高的最大電位與h2低的最 低電位構成的波形，在微振動波形中對壓電元件施加僅由 -28- (25) 對中間電壓V m，h 1高的最大電位構成的波形。 此外’對不進行搭載於次承載器9的功能液滴吐出噴 頭10的真正吐出的吐出噴嘴，以真正吐出的吐出定時施 加微振動波形P 2也可以。例如如第1 1圖所示在吐出定時 (驅動脈衝）之中當不進行真正吐出時施加微振動波形 P2，使在驅動脈衝P之中混合存在吐出波形P 1與微振動 波形P2。 而且’因包含增黏防止需保全儲存中的功能液滴吐出 噴頭10的吐出噴嘴，故如上述在移載於噴頭儲存器12的 功能液滴吐出噴頭1 0使用噴頭保全機構73以及水平移動 機構74進行壓蓋外，也適宜地進行吸引、噴射以及淸除 單元。 另一方面，在基板W的交換時藉由距離計測裝置15 計測基板W的表面位置以及吸附平台2 6的表面位置，根 據此計測數據藉由控制部1 8 1計算確定基板W的厚度， 並且驅動Z軸移動機構32使工件間隙成爲適當的尺寸。 即在基板W的交換時應維持預定的工件間隙的Z軸移動 機構3 2驅動，經由噴頭單元7上下方向微小移動功能液 滴吐出噴頭1 0。此外，此情形以微小移動吸附平台26側 的構成也可以。 但是，若功能液滴吐出噴頭1 0藉由工件間隙的調整 而移動的話，由副槽142到功能液滴吐出噴頭1 0的水頭 Η會變化。因此，藉由槽單元141的升降機構144使副槽 1 42在上下方向微小移動而在上述間隙調整使功能液滴吐 -29- (26) (26)590894 出噴頭1 〇上下動作的部分即副槽1 4 2 -功能液滴吐出噴頭 10間的水頭H ( 25mm±0.5mm)可適當地維持。 如此，因適當地維持工件間隙，故可有效地防止功能 液滴的擊中位置的失常或擊中直徑的誤差。而且同時，因 適當地維持副槽1 4 2 -功能液滴吐出噴頭1 〇間的水頭Η， 故各吐出噴嘴中的功能液滴量不產生誤差（對設計値的誤 差）。因此，可極精度佳地進行對基板W的功能液滴的 選擇的吐出。 但是，在本實施形態的液滴吐出裝置1中有拆卸自如 地搭載規格不同的三種類（複數種）的功能液滴吐出噴頭 1 0 ( 1 0 a、1 0 b、1 〇 c )的情形，與拆卸自如地搭載功能液 不同的三個（複數個）功能液滴吐出噴頭1 〇的情形。而 且，也有上述兩者的中間的情形。這些複數個功能液滴吐 出噴頭1 〇的分別使用係依照接受功能液的吐出對象物與 此吐出對象物所使用的功能液。 因此，以下吐出對象物係以彩色濾光片（color filter)、液晶顯示裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子 放射裝置（FED裝置、SED裝置）等爲例，針對這些裝置 的構造與使用本實施形態的液滴吐出裝置（功能液滴吐出 噴頭10) 1的這些裝置的製造方法來說明。 首先，針對組裝於液晶顯示裝置或有機EL裝置等的 彩色德光片的製造方法來說明。第12圖是顯不彩色濾光 片的製程的流程圖，第13A_13E圖是製程順序所顯示的本 實施形態的彩色濾光片500 (濾光片基體500A )的模式 -30- (27)590894 剖面圖。 首先，在黑矩陣（black matrix)形成製 如第13A圖所示，在基板（w) 501上形成黑 黑矩陣5 02係藉由金屬鉻、金屬鉻與氧化鉻的 脂黑等形成。對於形成由金屬薄膜構成的黑矩 用機鑛（sputter)法或蒸鑛（evap〇rati〇n)法 於形成由樹脂薄膜構成的黑矩陣5 02的情形可 版（photogravure )印刷法、光阻法、熱轉移沒 接著，在觸排（bank )形成製程（S2 )中 黑矩陣5 02上的狀態下形成觸排5 03。即首先 所示，形成由負型的透明感光性樹脂構成的光 以覆蓋基板501以及黑矩陣5 02。而且，在以 案形狀的罩幕薄膜（mask film) 5 05被覆其頂 進行曝光處理。 然後如第1 3 C圖所示，藉由蝕刻處理光阻 曝光部分以形成光阻層504的圖案，形成觸 外，藉由樹脂黑形成黑矩陣的情形可兼用黑矩 此觸排5 03與其下的黑矩陣5 02成爲劃分 5 07a的劃分壁部5 07b，在之後的著色層形成 藉由功能液滴吐出噴頭1 〇形成著色層（成膜 508G、508B時規定功能液滴的擊中區域。 藉由經過以上的黑矩陣形成製程以及觸排 得到上述濾光片基體500A ° 此外，在本實施形態中觸排5 0 3的材料係 程（S 1 )中 矩陣502 。 疊層體或樹 陣5 0 2可使 。而且，對 使用照相凹 :等。 ，在重疊於 如第1 3 B圖 阻層 5 0 4， 形成矩陣圖 面的狀態下 層5 04的未 排 503 。此 陣與觸排。 各像素區域 製程中，在 部）5 0 8R、 形成製程可 使用塗膜表 -31 - (28) 面成爲疏液（疏水）性的樹脂材料。而且，因基板（玻璃 基板）5 0 1的表面爲親液（親水）性，故在後述的著色層 形成製程中，朝被觸排503 (劃分壁部507b)包圍的各像 素區域5 0 7 a內的液滴的擊中位置精度提高。 其次’在著色層形成製程（S3)中如第13D圖所 示’藉由功能液滴吐出噴頭1 〇吐出功能液滴，擊中被劃 分壁部507b包圍的各像素區域507a內。在此著色層形成 製程中於上述液滴吐出裝置1搭載同一規格的三個功能液 滴吐出噴頭1 0，分別導入R ' G、B的三色功能液（濾光 片材料）給迨二個功能液滴吐出噴頭1 〇，進行功能液滴 的吐出。此情形功能液滴吐出噴頭1 〇使用具有各像素區 域5 0 7 a的間距（p i t c h )，即與像素間距一致的噴嘴間距 的較佳。而且，用以對基板501的全區域依R、G、B的 順序進行描繪（液滴吐出）也可以，且每一主掃描依R、 G、B的順序進行描繪（液滴吐出）也可以。此外，R、 G、B的三色的排列圖案有條紋排列、馬賽克排列以及三 角排列等。 然後，經過乾燥處理（加熱等的處理）使功能液固 定，形成三色的著色層508R、508G、508B。若形成著色 層 5 08R、5 08 G、5 0 8B的話，移到保護膜形成製程 (S4)，如第13E圖所示形成保護膜509以覆蓋基板 501、劃分壁部507b以及著色層508R、508G、508B的頂 面。 即在形成有基板501的著色層508R、508G、508B的 -32- (29) (29)590894 面全體吐出有保護膜用塗佈液後，經由乾燥處理形成有保 護膜509 〇 而且，形成保護膜5 09後藉由切斷基板501成每一各 個有效像素區域，得到彩色濾光片5 00 ° 第1 4圖係顯示作爲使用上述彩色濾光片5 0 0的液晶 顯示裝置的一例的被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）的槪 略構成的主要部位剖面圖。在此液晶裝置5 02藉由裝設液 晶驅動用1C、背光、支持體等的附帶要素，得到當作最 終製品的透過型液晶顯示裝置。此外，彩色濾光片5 00因 與第1 3圖所示的同一，故在對應的部位附加同一符號省 略其說明。 此液晶裝置5 02是藉由：彩色濾光片5 00、由玻璃基板 等構成的對向基板52 1以及挾持於這些構件之間的STN (Super Twisted Nematic:超扭轉向列）液晶組成物構成 的液晶層5 2 2槪略構成，配置彩色濾光片5 0 0於圖中上側 (觀測者側）。 此外未圖示，在對向基板521以及彩色濾光片5 00的 外面（與液晶層5 2 2側相反側的面）分別配設有偏光板， 而且，在位於對向基板52 1側的偏光板的外側配設有背 光。 在濾光片5 00的保護膜5 09上（液晶層側）在第14 圖中於左右方向，長的薄長方形狀的第一電極523以預定 的間隔形成有複數個，形成有第一配向膜524以覆蓋與此 第一電極523的彩色濾光片500側相反側的面。 -33- (30) 另一方面，在與對向基板521中的彩色濾光片500面 對的面於與彩色濾光片500的第一 電極5 23直交的方向， 長的薄長方形狀的第二電極526以預定的間隔形成有複數 個，形成有第二配向膜5 27以覆蓋此第二電極5 2 6的液晶 層522側的面。這些第一電極523以及第二電極526係藉 由ITO ( Indium Tin Oxide:銦錫氧化物）等的透明導電材 料形成。 配設於液晶層5 22內的間隔物（spacer) 52 8係用以 保持液晶層5 2 2的厚度（胞間隙）於一定的構件。而且， 密封材5 2 9係用以防止液晶層5 2 2內的液晶組成物漏出到 外部的構件。此外，第一電極5 2 3的一端部係作爲拉引配 線5 2 3 a延伸到密封材5 2 9的外側。 而且，第一電極523與第二電極526其交叉的部分爲 像素，使彩色濾光片500的著色層508R、508G、508B位 於成爲此像素的部分而構成。 在通常的製程中，在彩色濾光片500進行第一電極 523的圖案形成（patterning)以及第一配向膜524的塗 佈，作成彩色濾光片5 00側的部分，並且與此不同另外於 對向基板521進行第二電極526的圖案形成以及第二配向 膜5 27的塗佈，作成對向基板521側的部分。然後，在對 向基板5 2 1側的部分作入間隔物5 2 8以及密封材5 2 9，在 此狀態下貼合彩色濾光片5 00側的部分。其次，由密封材 529的注入口注入構成液晶層522的液晶，關閉注入口。 然後疊層兩偏光板以及背光。 …34· (31) 實施形態的液滴吐出裝置1係在塗佈例如構成上述胞 間隙的間隔物材料（功能液）’並且在對向基板5 2 1側的 部分貼合彩色濾光片5 00側的部分前，在以密封材5 29包 圍的區域均勻地塗佈液晶（功能液）。具體上間隔物材料 的塗佈係使用例如噴嘴數少且每一吐出單位噴嘴的功能液 滴吐出量多的規格的第二吐出噴頭1〇b，且對此導入紫外 線硬化樹脂作爲功能液（間隔物材料）。而且，液晶的塗 佈雖然也依照液晶的種別但若爲低黏度的話則使用第一吐 出噴頭l〇a (高黏度的話爲第三吐出噴頭i〇c)。 對於此情形，預先裝設第二吐出噴頭i 〇 b於次承載器 9’裝設第一吐出噴頭10a於噴頭儲存器12。首先，安置 印刷密封材5 2 9成環狀的對向基板5 2 1側的部分於吸附平 台，在此對向基板52 1側的部分之上藉由第一功能液滴吐 出噴頭1 0 a以粗的間隔吐出間隔物材料，進行紫外線照射 使間隔物材料凝固。而且，在此紫外線照射之間，置換第 二吐出噴頭10於噴頭儲存器12，且第一吐出噴頭10a於 次承載器9。其次，藉由第一吐出噴頭10a在對向基板 5 2 1側的部分的密封材5 2 9的內側，僅均勻地吐出預定量 的液晶。而且，然後導入另外準備的彩色濾光片5 0 0側的 部分與塗佈預定量液晶的對向基板5 2 1側的部分於真空中 而貼合。 如此，在貼合彩色濾光片5 00側的部分與對向基板 5 2 1側的部分前，因用以均勻地塗佈（塡充）液晶於胞之 中，故可解除液晶（·液晶層522 )不能遍及胞（cell )的 -35- (32) (32)590894 角落等細部等的情況不佳。 而且，藉由以功能液滴吐出噴頭1 〇進行上述密封材 5 29的印刷也可以。對於此情形，使用進行密封材529的 印刷（塗佈）的較高黏度規格的第三吐出噴頭1 〇c，且對 此導入紫外線硬化樹脂或熱硬化樹脂作爲功能液（密封材 用材料）。對於此情形，上述第二吐出噴頭1 〇 b以及第三 吐出噴頭1 〇c都預先搭載於次承載器9。而且，若可能同 時進行驅動第二吐出噴頭l〇b以及第三吐出噴頭10c，同 時進行密封材529的吐出以及間隔物材料的吐出。 再者，也能以功能液滴吐出噴頭1 0進行第一 /第二兩 配向膜 524、5 27的塗佈。對於此情形，塗佈配向膜 524、52 7的第四功能液滴吐出噴頭l〇d係以多噴嘴且低 黏度規格者（例如第一吐出噴頭10a)，且對此導入聚醯 亞胺樹脂作爲功能液（配向膜材料）。而且，最初導入第 四功能液滴吐出噴頭1 〇 d於次承載器9，按照製程依次交 換其他的功能液滴吐出噴頭l〇a、l〇b、10c。 如此，在實施形態的液滴吐出裝置1中因在次承載器 9與噴頭儲存器1 2的相互間可交換地搭載吐出複數種功 能液的複數種功能液滴吐出噴頭1 0，故可依照基板處理 的形態自如地吐出複數種功能液。因此，在液晶裝置5 2 0 的製造等中可有效地進行其基板處理。 第15圖是顯示使用在本實施形態中製造的彩色濾光 片5 0 0的液晶裝置的第二例的槪略構成的主要部位剖面 圖。 •36- (33) (33)590894 此液晶裝置5 3 0與上述液晶裝置5 2 0大不同的點爲配 置彩色濾光片5 0 0於圖中下側（與觀測者側相反側）之 點。 此液晶裝置5 3 0係在彩色濾光片5 0 0與由玻璃基板等 構成的對向基板531之間挾持有由STN液晶構成的液晶 層5 3 2而槪略地構成。此外未圖示，在對向基板5 3 1以及 彩色爐光片5 0 0的外面分別配設有偏光板等。 在彩色濾光片5 00的保護膜5 09上（液晶層5 3 2側） 於深度方向，長的薄長方形狀的第一電極533以預定的間 隔形成有複數個，形成有第一配向膜5 3 4以覆蓋此第一電 極5 3 3的液晶層5 3 2側的面。 在與對向基板531的彩色濾光片500面對的面上以預 定的間隔形成有延伸於與彩色濾光片5 0 0的第一電極5 3 3 直交的方向的複數個長的薄長方形狀的第二電極536 ’形 成有第二配向膜537以覆蓋此第二電極536的液晶層532 側的面。 在液晶層5 3 2配設有保持此液晶層5 3 2的厚度於一定 用的間隔物5 3 8，與防止液晶層5 3 2內的液晶組成物漏出 到外部用的密封材5 3 9。 而且，與上述液晶裝置520 —樣，第一電極533與第 二電極536的交叉的部分爲像素，使彩色濾光片500的著 色層5 08R、5 08 G、5 08B位於成爲此像素的部位而構成。 第16圖是顯示使用適用本發明的彩色濾光片500構 成液晶裝置的第三例的圖，顯示透過型的TFT ( Thin Film -37- (34) (34)590894

Transistor:薄膜電晶體）型液晶裝置的槪略構成的分解斜 視圖。 此液晶裝置5 5 0係配置彩色濾光片5 0 0於圖中上側 (觀測者側）。 此液晶裝置5 5 0係藉由：彩色濾光片5 00 ’與面對此彩 色濾光片5 00而配置的對向基板5 5 1，與挾持於這些構件 之間的未圖示的液晶層，與配置於彩色濾光片5 00的頂面 側（觀測者側）的偏光板5 5 5，與配設於對向基板5 5 1的 底面側的偏光板（未圖示）槪略地構成。 在彩色濾光片5 00的保護膜509的表面（對向基板 5 5 1側的面）形成有液晶驅動用的電極5 5 6。此電極5 5 6 是由IT0等的透明導電材料構成。成爲覆蓋形成有後述的 像素電極5 60的區域全體的全面電極。而且，在覆蓋與此 電極5 5 6的像素電極5 60相反側的面的狀態下配設有配向 膜 5 5 7 〇 在與對向基板551的彩色濾光片5 00面對的面形成有 絕緣層5 5 8，在此絕緣層5 5 8上，掃描線5 6 1以及訊號線 5 62係在互相直交的狀態下形成。而且，在被這些掃描線 561與訊號線5 62包圍的區域內形成有像素電極5 60。此 外，在實際的液晶裝置中在像素電極5 60上配設有配向 膜，惟省略圖示。 而且，在被像素電極560的缺口部與掃描線561與訊 號線 5 62 包圍的部分組裝有具備源電極（source electrode)、汲電極（drain electrode)、半導體以及閘 -38- (35) (35)590894 電極（gate electrode)的薄膜電晶體563而構成。而且， 藉由對掃描線561與訊號線5 62的訊號的施加，以接通/ 斷開（οη/off)薄膜電晶體5 6 3可進行對像素電極5 60的 通電控制而構成。 此外，上述的各例的液晶裝置5 2 0、5 3 0、5 5 0雖然以 透過型的構成，但也能配設反射層或半透過反射層，以反 射型的液晶裝置或半透過反射型的液晶裝置。 其次，針對本發明的第二實施形態來說明。第1 7圖 是本發明中的顯示器的一種的有機EL裝置的顯示區域 (以下僅稱爲顯示裝置600 )的主要部位剖面圖。 此顯示裝置600係在基板（W) 601上疊層有電路元 件部602、發光元件部603以及陰極604的狀態下槪略地 構成。 在此顯示裝置600中由發光元件部603發射到基板 601側的光，透過電路元件部602以及基板601射出到觀 測者側，並且由發光元件部603發射到基板60 1的相反側 的光藉由陰極604反射後透過電路元件部602以及基板 601射出到觀測者側。 在電路元件部602與基板601之間形成有由氧化矽膜 構成的底層保護膜606，在該底層保護膜606上（發光元 件部603側）形成有由多晶矽構成的島狀的半導體膜 607。在此半導體膜607的左右的區域，源極區域607a以 及汲極區域607b係藉由高濃度陽離子植入分別形成。而 且，未植入有陽離子的中央部成爲通道（channel )區域 -39- (36) (36)590894 6 0 7c ° 而且’在電路元件部602形成有覆蓋底層保護膜606 * 以及半導體膜607的透明的閘絕緣膜608，在對應此閘絕 緣膜608上的半導體膜607的通道區域607 c的位置形成 有由例如 Al、Mo、Ta、Ti、W等構成的閘電極 609。在 此閘電極6 0 9以及閘絕緣膜6 0 8上形成有透明的第一層間 絕緣膜（interlayer dielectric film ) 6 1 1 a 與第二層間絕緣 膜 611b。而且，貫通第一、第二層間絕緣膜611a 、 611b，在半導體膜607的源極區域607a、汲極區域607b 分別形成有連通的接觸孔（contact hole) 612a、612b。 而且，在第二層間絕緣膜61 lb上由ITO等構成的透 明的像素電極6 1 3係形成預定的形狀圖案而形成，此像素 電極613係透過接觸孔612a連接於源極區域607a。 而且，在第一層間絕緣膜6 1 1 a上配設有電源線 6 1 4，此電源線6 1 4係透過接觸孔6 1 2b連接於汲極區域 607b 〇 如此，在電路元件部602分別形成有連接於各像素電 極613的驅動用的薄膜電晶體615。 上述發光元件部603係藉由：疊層於複數個像素電極 613上的每一個的功能層617，與劃分在各像素電極613 以及功能層6 1 7之間所具備的各功能層6 1 7的觸排部6 1 8 槪略地構成。 ， 藉由這些像素電極6 1 3、功能層6 1 7以及配設於功能 層617上的陰極6 04構成發光元件。此外，像素電極613 -40· (37) (37)590894 係形成俯視略矩形狀的圖案而形成，在各像素電極6 1 3之 間形成有觸排部飞1 8。 ‘ 觸排部618係藉由：例如由SiO、Si02、Ti02等的無 機材料形成的無機物觸排層6 1 8a (第一觸排層），與疊 層於此無機物觸排層618a上，由丙烯樹脂、聚醯亞胺樹 脂等的耐熱性、耐溶媒性優良的光阻形成的剖面梯形狀的 有機物觸排層618b (第二觸排層）構成。此觸排部618 的一部分係在放在像素電極6 1 3的周緣部上的狀態下形 成。 而且，在各觸排部6 1 8之間形成有對像素電極6 1 3朝 上方逐漸擴開的開口部6 1 9。 上述功能層617係由：在開口部619內於像素電極613 上在疊層狀態下形成的電洞植入/輸送層6 17a，與形成於 此電洞植入/輸送層617a上的發光層617b構成。此外， 更形成接鄰於此發光層6 1 7b具有其他功能的其他功能層 也可以。例如也能形成電子輸送層。 電洞植入/輸送層617a具有由像素電極613側輸送電 洞植入發光層617b的功能。此電洞植入/輸送層617a係 藉由吐出包含電洞植入/輸送層形成材料的第一組成物 (功能液）而形成。電洞植入/輸送層形成材料例如使用 聚乙烯二羥基噻吩等的聚噻吩衍生物與磺化聚苯乙燒等的 混合物。 發光層617b係發出紅色（R)、綠色（〇)或藍色 (B)的任一色，藉由吐出包含發光層形成材料彳發光材 -41 - (38) 料）的第二組成物（功能液）而形成。 而且，第二組成物的溶媒（非極性溶媒）以對電洞植 入/輸送層120a不溶者較佳，例如可使用環己基苯、二氫 化苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。藉由使用這種非極 性溶媒於發光層6 1 7b的第二組成物，可不再溶解電洞植 入/輸送層617a而形成發光層617b。 而且，在發光層617b中使由電洞植入/輸送層617a 植入的電洞與由陰極604植入的電子在發光層再結合而發 光而構成。 陰極604係在覆蓋發光元件部603的全面的狀態下形 成，與像素電極6 1 3成對扮演在功能層6 1 7流過電流的角 色。此外，在此陰極604的上部配置有未圖示的密封構 件。 其次，參照第18〜26圖說明上述顯示裝置600的製 程。 此顯示裝置600係如第1 8圖所示，經由觸排部形成 製程（S21)、表面處理製程（S22)、電洞植入/輸送層 形成製程（S23 )、發光層形成製程（S24 )以及對向電極 形成製程（S25 )而製造。此外，製程並非限定於舉例說 明者，依照需要也有去除其他製程的情形而且追加的情 形。 首先，在觸排部形成製程（S2 1 )中如第1 9圖所示， 在第二層間絕緣膜6 1 1 b上形成無機物觸排層6 1 8a。此無 機物觸排層618a係在形成位置形成無機物膜後，藉由微 -42· (39) (39)590894 影（photolithography)技術等形成此無機物膜的圖案而 形成。此時，無機物觸排層6 1 8 a的一部分係與像素電極 613的周緣部重疊而形成。 若形成無機物觸排層618a則如第20圖所示在無機物 觸排層6 1 8 a上形成有機物觸排層6 1 8 b。此有機物觸排層 618b也與無機物觸排層618a —樣藉由微影技術等形成圖 案而形成。 如此，形成有觸排部6 1 8。而且，伴隨於此在各觸排 部 6 1 8間形成有對像素電極 6 1 3於上方開口的開口部 6 1 9。此開口部6 1 9係規定像素區域。 在表面處理製程（S22 )中進行親液化處理以及斥液 化處理。實施親液化處理的區域係無機物觸排層6 1 8 a的 第一疊層部618 aa以及像素電極613的電極面613a，這 些區域例如藉由以氧爲處理氣體的電漿處理以表面處理成 親液性。此電漿處理也兼具像素電極613的IT0的洗淨 而且，斥液化處理係在有機物觸排層618b的壁面 618s以及有機物觸排層618b的頂面618t實施，例如藉由 以四氟化甲烷作爲處理氣體的電漿處理使表面被氟化處理 (處理成斥液性）。 藉由進行此表面處理製程，使用功能液滴吐出噴頭 1 〇形成功能層6 1 7時，可使功能液滴更確實地擊中像素 區域。而且，可防止擊中像素區域的功能液滴由開口部 6 1 9溢出。 -43 - (40) 而且，藉由經過以上的製程得到顯示裝置基體 600A。·此顯示裝置基體600A被載置於如第1圖所示的液 滴吐出裝置1的安置平台25，進行以下的電洞植入/輸送 層形成製程（S23 )以及發光層形成製程（S24 )。 如第21圖所示在電洞植入/輸送層形成製程（S23) 中，由功能液滴吐出噴頭1 0將包含電洞植入/輸送層形成 材料的第一組成物吐出到像素區域的各開口部6 1 9內。然 後如第22圖所示進行乾燥以及熱處理，使包含於第一組 成物的極性溶媒蒸發，在像素電極（電極面613a) 613上 形成電洞植入/輸送層617a。 其次，針對發光層形成製程（S24 )來說明。此發光 層形成製程係如上述，爲了防止電洞植入/輸送層617a的 再溶解，在發光層形成時使用的第二組成物的溶媒係使用 對電洞植入/輸送層6 1 7 a不溶的非極性溶媒。 但是另一方面，電洞植入/輸送層617a因對非極性溶 媒的親和性低，故即使將包含非極性溶媒的第二組成物吐 出到電洞植入/輸送層6 1 7 a上，也有無法使電洞植入/輸 送層617a與發光層617b附著，或無法均勻地塗佈發光層 617b之虞。 因此，爲了提高對非極性溶媒以及發光層形成材料的 電洞植入/輸送層617a的表面的親和性，在發光層形成之 前進行表面處理（表面改質處理）較佳。此表面處理係藉 由將與在發光層形成時所使用的第二組成物的非極性溶媒 同一溶媒或與此類似的溶媒的表面改質材塗佈於電洞植入 -44- (41)590894 /輸送層6 1 7 a上，使其乾燥而進行。 藉由實施這種處理，使電洞植入/輸送層617 a 容易親近非極性溶媒，在之後的製程中，可均勻地 含發光層形成材料的第二組成物於電洞植入/ 6 1 7a 〇 而且其次如第23圖所示，令含有對應各色之 一色（在第23圖的例子中爲藍色（B))的發光層 料的第二組成物爲功能液滴，植入預定量於像素區 口部6 1 9 )內。植入像素區域內的第二組成物係擴 洞植入/輸送層6 1 7 a上，充滿於開口部6 1 9內。此 一爲第二組成物由像素區域脫落擊中觸排部6 1 8 6 1 81上的情形，其頂面6 1 81因如上述被實施斥液 故第二組成物容易滾入開口部6 1 9內。 在此發光層形成製程中於上述液滴吐出裝置1 一規格的三個功能液滴吐出噴頭1 0，在這三個功 吐出噴頭1 〇分別導入R、G、B的三色功能液（第 物），進行功能液滴的吐出。此情形，功能液滴吐 1 0使用具有與各開口部6 1 9的間距即像素間距一 嘴間距者較佳。而且，對基板6 0 1的全域以R、G 順序進行描繪（液滴吐出）也可以，且每一主掃描 G、B的順序進行描繪（液滴吐出）也可以。此刊 G、B的三色的排列圖案有條紋排列、馬賽克排列 角排列等。 如第24圖以及第25圖所示，形成對應藍色< 的表面 塗佈包 輸送層 中的任 形成材 域（開 張於電 外，萬 的頂面 處理5 搭載同 能液滴 二組成 出噴頭 致的噴 、B的 以R、 、，R、 以及三 ：B )、 45- (42) (42)590894 紅色（R )以及綠色（G )的發光層61 7b後，接著進行乾 燥製程等。據此，乾燥處理吐出後的第二組成物，使包含 於第二組成物的非極性溶媒蒸發，在電洞植入/輸送層 6 1 7a上形成有發光層6 1 7b。此外，發光層6 1 7b的形成順 序不限於舉例說明的順序，以任何順序形成均可。例如也 能依照發光層形成材料決定形成的順序。 如以上，在像素電極6 1 3上形成有功能層6 1 7即電洞 植入/輸送層617a以及發光層617b。然後，移到對向電極 形成製程（S25 )。 在對向電極形成製程（S25 )中，如第26圖所示在發 光層617b以及有機物觸排層618b的全面例如藉由蒸鍍 法、濺鑛法、CVD法等形成陰極604 (對向電極）。此陰 極6 04在本實施形態中例如疊層有鈣層與鋁層而構成。 在此陰極604的上部適宜配設有作爲電極的A1膜、 Ag膜或在其上防止氧化用的Si02、SiN等的保護層。 據此，形成陰極6 04後藉由實施以密封構件密封此陰 極6 04的上部的密封處理或配線處理等的其他處理等，得 到顯示裝置600。 其次，針對本發明的第三實施形態來說明。第27圖 係本發明中的顯示器的一種之電漿型顯示裝置（PDP裝置： 以下僅稱爲顯示裝置700 )的主要部位分解斜視圖。此 外，在同圖中在欠缺其一部分的狀態下顯示顯示裝置 700 ° 此顯示裝置700係包含互相對向而配置的第一基板 -46 - (43) 701、第二基板702以及形成於這些基板之間的放電顯示 部703而槪略地構成。放電顯示部703係藉由複數個放電 室 705構成。這些複數個放電室 705之中紅色放電室 705 R、綠色放電室70 5 G、藍色放電室705 B的三個放電 室705係成組而構成一個像素而配置。 在第一基板70 1的頂面以預定的間隔形成位址電極 706成條紋狀，形成有電介質（dielectric )層70 7以覆蓋 此位址電極706與第一基板701的頂面。在電介質層707 上位於各位址電極706之間，且沿著各位址電極706立設 有隔壁708。此隔壁708如圖示包含延伸於位址電極706 的寬度方向兩側者，以及延伸設於與位址電極706直交的 方向之未圖示者。 而且，藉由此隔壁708間隔的區域成爲放電室70 5。 在放電室705內配置有螢光體7 09。螢光體709係發 出紅（R)、綠（G)、藍（B)的任一色的螢光，在紅色 放電室705 R的底部、綠色放電室705 G的底部、藍色放 電室705 B的底部分別配置有紅色螢光體70 9R、綠色螢光 體709G、藍色螢光體709B。 在第二基板702的圖中下側的面於與上述位址電極 706直交的方向複數個顯示電極71 1係以預定的間隔形成 條紋狀。而且，用以覆蓋這些顯示電極711而形成有電介 質層712以及由MgO等構成的保護膜713。 第一基板701與第二基板702係在位址電極706與顯 示電極7 1 1互相直交的狀態下面對面貼合。此外，上述位 -47 - (44) 址電極706與顯示電極71 1係連接於未圖示的交流電源。 而且，藉由各電極706、711通電在放電顯示部7〇3 中螢光體709被激發發光，使彩色顯示爲可能。 在本實施形態中，可使用第1圖所示的液滴吐出裝置 1形成上述位址電極 706、顯示電極 711以及螢光體 7 0 9。以下舉例說明第一基板7 0 1中的位址電極7 0 6的形 成製程。 此情形在載置第一基板1 2 6於液滴吐出裝置1的安置 平台2 5的狀態下進行以下的製程。 首先，藉由功能液滴吐出噴頭1 0以含有導電膜配線 形成用材料的液體材料（功能液）作爲功能液滴擊中位址 電極形成區域。此液體材料係導電膜配線形成用材料將金 屬等的導線性微粒子分散於分散媒。此導線性微粒子係使 用含有金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微粒子或導電性聚合 物等。 關於成爲補充對象的所有的位址電極形成區域，若液 體材料的補充終了的話，藉由乾燥處理吐出後的液體材 料，使包含於液體材料的分散媒蒸發形成有位址電極 7 0 6 ° 但是，在上述中雖然舉例說明位址電極706的形成， 惟針對上述顯示電極71 1以及螢光體709也能藉由經由上 述各製程而形成。 顯示電極711的形成情形與位址電極706的情形一 樣，以含有導電膜配線形成用材料的液體材料（功能液） -48- (45) 作爲功能液滴擊中顯示電極形成區域。 而且，對於螢光體709的形成情形，由三個功能液滴 吐出噴頭10當作液滴吐出包含對應各色（R、G、B)的 螢光材料的液體材料（本發明的液材的一種），擊中對應 的色的放電室705內。 其次，針對本發明的第四實施形態來說明。第2 8圖 係本發明中的顯示器的一種之電子放射裝置（FED裝置： 以下僅稱爲顯示裝置800 )的主要部位剖面圖。此外，在 同圖中令其一部分爲剖面顯示顯示裝置8 00。 此顯示裝置800係包含互相對向而配置的第一基板 801、第二基板8 02以及形成於這些基板之間的電場發射 顯示部8 0 3而槪略地構成。電場發射顯示部8 03係藉由配 置成矩陣狀的複數個電子放射部8 05構成。 在第一基板801的頂面，構成陰極電極806的第一元 件電極806a以及第二元件電極8 06b係相互直交而形成。 而且，在被第一元件電極8 06a以及第二元件電極806b間 隔的部分形成有形成間隙808的元件膜807。即藉由第一 元件電極806a、第二元件電極806b以及元件膜807構成 複數個電子放射部 805。元件膜 807例如以氧化鈀 (PdO )等構成，而且間隙8 0 8係在形成元件膜8 07後以 成形法（forming)等形成。 在第二基板802的底面形成有與陰極電極806對峙的 陽極電極809。在陽極電極809的底面形成有格子狀的觸 排部 8 1 1，在被此觸排部 8 1 1包圍的朝下的各開口部 -49 - (46) 8 12，用以對應電子放射部805而配置有螢光體813。 螢光體8 13係發出紅（R )、綠（G )、藍（B )的任 一色的螢光，在各開口部812以預定的圖案配置有紅色螢 光體813R、綠色螢光體813G以及藍色螢光體813B。 而且，如此構成的第一基板801與第二基板802係存 在微小的間隙而貼合。在此顯示裝置8 00中經由元件膜 (間隙808) 807由陰極的第一元件電極806a或第二元件 電極8 06b飛出的電子碰撞形成陽極的陽極電極8 09的螢 光體813而被激發發光，使彩色顯示爲可能。 此情形也與其他實施形態一樣，可使用液滴吐出裝置 1形成第一元件電極806a、第二元件電極806b以及陽極 電極8 09，並且可使用液滴吐出裝置1形成各色的螢光體 813R、 813G、 813B。 但是，如此構成的液滴吐出裝置1除了搭載於行動電 話或個人電腦等的上述彩色濾光片、各種液晶顯示裝置、 有機EL裝置、FED裝置、PDP裝置外也能適用於電泳動 顯示裝置等的製造。而且，其他的光電裝置可考慮除了上 述金屬配線形成外，透鏡形成、光阻形成以及光擴散體形 成等之外，也包含上述切片形成的裝置。 如果依照本發明的液滴吐出裝置，因可依照需要藉由 噴頭移載機構交換儲存器上的功能液滴吐出噴頭與承載器 上的功能液滴吐出噴頭，故對工件可以短時間進行不同的 功能液的吐出，可有效地進行工件處理。 如果依照本發明的光電裝置、其製造方法以及電子機 -50- (47) (47)590894 器，因藉由對工件功能液的多彩的吐出爲可能的液滴吐出 裝置製造，故可提供良質低成本的光電裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖是與本發明的一實施形態有關的液滴吐出裝置 的全體斜視圖。 第2圖是液滴吐出裝置的噴頭單元周圍的擴大斜視 圖。 第3圖是第一吐出噴頭（功能液滴吐出噴頭）周圍的 擴大斜視圖。 第4圖是第二吐出噴頭（功能液滴吐出噴頭）的擴大 斜視圖。 第5圖是第三吐出噴頭（功能液滴吐出噴頭）的擴大 斜視圖。 第6圖是液滴吐出裝置的噴頭儲存器周圍的斜視圖。 第7圖是噴頭儲存器的儲存平台以及蓋子單元周圍的 擴大斜視圖。 第8圖是液滴吐出裝置的功能液供給機構的前視圖。 第9圖是表示液滴吐出裝置的控制手段的方塊圖。 第1 〇 A圖、第1 〇 B圖是顯示施加於功能液滴吐出噴 頭的吐出波形（10A )以及微振動波形（10B )的波形 圖。 第11圖是顯示驅動功能液滴吐出噴頭用的驅動脈衝 的例子圖。 -51 - (48) (48)590894 第1 2圖是說明彩色濾光片製程的流程圖° 第1 3 A圖-第1 3 E圖是製程順序所顯示的彩色濾光片 的模式剖面圖。 第1 4圖是顯示使用適用本發明的彩色濾光片的液晶 裝置的槪略構成的主要部位剖面圖。 第15圖是顯示使用適用本發明的彩色濾光片的第二 例的液晶裝置的槪略構成的主要部位剖面圖° 第16圖是顯示使用適用本發明的彩色濾光片的第三 例的液晶裝置的槪略構成的主要部位剖面圖。 第1 7圖是第二實施形態中的顯示裝置的主要部位剖 面圖。 第1 8圖是說明第二實施形態中的顯示裝置的製程的 流程圖。 第19圖是說明無機物觸排層的形成的製程圖。 第20圖是說明有機物觸排層的形成的製程圖。 第21圖是說明形成電洞植入/輸送層的過程的製程 圖。 第22圖是說明形成有電洞植入/輸送層的狀態的製程 圖。 第23圖是說明形成藍色的發光層的過程的製程圖。 第24圖是說明形成有藍色的發光層的狀態的製程 圖。 第25圖是說明形成有各色的發光層的狀態的製程 圖。 -52- (49) (49)590894 第26圖是說明陰極的形成的製程圖。 第27圖是第三實施形態中的顯示裝置的主要部位分 解斜視圖。 第2 8圖是第四實施形態中的顯示裝置的主要部位剖 面圖。 【符號說明】 1 :液滴吐出裝置 3:移動機構 4: X軸平台 5 : Y軸平台 6:主承載器 7 :噴頭單元 9 :次承載器 1 〇 :功能液滴吐出噴頭 12:噴頭儲存器 13:移載機器人 1 4 :功能液供給機構 15:距離計測裝置 1 6 :控制手段 22 > 24:馬達 26:吸附平台 2 9 :支柱 32: Z軸移動機構 -53· v (50) v (50)590894 42:噴頭保持構件 44:噴頭裝設部 47:定位孔 48:檢測器 51:噴頭本體 51a:噴嘴面 54:扁平撓性電線 55 :矽管 62:把持突起 6 3 :被檢測部 64:定位銷 7 1 :儲存平台 73:噴頭保全機構 74:水平移動機構 75:蓋子單元 76:淸除單元 101:噴頭蓋子 104:上下動機構 105:吸引邦浦 1 2 1 :淸除薄片 131:機器人本體 132:機器人手臂 133:機器人手 1 3 4 :夾頭機構 -54- (51) (51)590894 141 :槽單元 142:副槽 144:升降機構 1 5 0 :液位感測器 1 5 1 :主槽 1 5 2 :壓力送液裝置 1 8 1 :控制部 182: CPU 183: ROM 1 84: RAM 1 8 8 :噴頭驅動器 5 00:彩色濾光片 5 2 0 :液晶裝置 5 3 0 :液晶裝置 5 5 0 :液晶裝置 600:顯示裝置 700:顯示裝置 8 0 0 :顯示裝置 W:基板 -55 -·

Claims (1)

1. (1) (1)590894 拾、申請專利範圍 1、 一種液滴吐出裝置，係對工件一邊相對地使功能 液吐出噴頭移動，一邊選擇性地吐出功能液滴，其特徵包 含： 複數個功能液滴吐出噴頭； 搭載該複數個功能液滴吐出噴頭的承載器； 儲存該複數個功能液滴吐出噴頭的儲存器； 在該承載器與該儲存器之間移動該各功能液滴吐出噴 頭的噴頭移載機構； 使搭載有該功能液滴吐出噴頭的該承載器，對該工件 相對地移動的移動機構； 分別供給該功能液給該複數個功能液滴吐出噴頭的功 能液供給手段；以及 分別控制該複數個功能液滴吐出噴頭的控制手段。 2、 如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該複數個功能液滴吐出噴頭包含塡充的功能液及/或規 格互不相同的複數種功能液滴吐出噴頭。 3、 如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中在該承載器，該複數個功能液滴吐出噴頭之中的複數個 係可交換地被搭載， 該控制手段係附有關連該複數個功能液滴吐出噴頭而 控制。 4、 如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該各功能液滴吐出噴頭’係保持於噴頭保持構件，經由該 -56· 590894 (2) 的 器 載 承 該， 於 β 戈 咅 荅設 ^ 0 換頭 交噴 可各 件的 構器 持存 保儲 頭該 噴及 該 由 藉 且 以移 部構 設機 裝載 頭移 噴頭 各噴 其 置 裝 出 吐 滴 液 之 述 所 項 4 第 圍 範 利 專 請 串 如 頭 噴 出 吐 滴 液 匕匕 ▲目 ， 功部 該位 位定 定個 以數 用複 有的 設器 配存 件儲 構該 持及 保以 頭器 噴載 該承 在該 中於 裝 頭 。 噴部 各受 的接 器位 存定 儲個 該數 及複 以的 部部 設位 裝定 頭個 噴數 各複 的該 器應 載對 承有 該設 在配 部 設 專 請 甲 如 4 第 圍 其滴 ’ 液 置能 裝功 出該 吐持 滴把 液件 之構 述持 所保 項頭 噴 該 由 丨經 Jfl係 可構 機 載 移 頭 噴 該 中 的 持 把 構 機 移 頭 噴 該 由 藉 有 設 立 ， 件 勢構 姿持 平保 水頭 於噴 頭該 噴在 出 吐 部 持 把 被 裝 出 吐 滴 液 之 述 所 項 4 第 圍 範 利 專 請 串 如 其 裝檢配 頭的件 噴別構 各種持 的的保 器頭頭 載噴噴 承出該 該吐在 在滴 中液 測 檢 有 設 配 部 設 測 檢 該 應 ， 對 部有 測設 功 部 該 測 的 檢 載 被 搭 的 所 部 匕匕 會 8、 如申請專利範圍第4項所述之液滴吐出裝置，其 中經由該噴頭保持構件搭載於該承載器的各噴頭裝設部的 該功能液滴吐出噴頭係位於其最外端的基準吐出噴嘴配設 於副掃描方向中的同位置。 9、 如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該功能液供給手段對應該複數種功能液滴吐出噴頭具有 複數個功能液槽， -57- (3) (3)590894 該複數個功能液槽與該複數種功能液滴吐出噴頭係分 別經由管子連接。 1 0、如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置’其 中該控制手段對應該複數種功能液滴吐出噴頭具有複數個 噴頭驅動器， 該複數個噴頭驅動器與該複數種功能液滴吐出噴頭係 分別經由電線連接。 η、如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該儲存器具有附著於儲存於此儲存器的該功能液滴吐出 噴頭的噴嘴面的乾燥防止用的蓋。 1 2、如申請專利範圍第1 1項所述之液滴吐出裝置， 其中在該蓋連接有經由該當蓋吸引該功能液滴吐出噴頭的 功能液的吸引手段。 1 3、如申請專利範圍第1 2項所述之液滴吐出裝置， 其中該儲存器更具有淸除儲存於此儲存器的該功能液滴吐 出噴頭的噴嘴面的淸除單元機構。 1 4、如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該儲存器更具有接受來自儲存於此儲存器的該功能液滴 吐出噴頭的全吐出噴嘴的功能液滴的空吐出的空吐出承受 器， 該控制手段在該功能液滴吐出噴頭定期地進行空吐 出。 1 5、如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該控制手段對儲存於該儲存器的該功能液滴吐出噴頭的 -58- (4) (4) 590894 吐出噴嘴施.加不伴隨功能液滴的吐出的驅動波形。 1 6、如申請專利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，其 中該控制手段對不進行搭載於該承載器的該功能液滴吐出 噴頭的真正吐出的吐出噴嘴，以真正吐出的吐出定時施加 不伴隨功能液滴的吐出的驅動波形。 17、一種光電裝置之製造方法，其特徵爲使用申請專 利範圍第1項所述之液滴吐出裝置，在該工件上形成藉由 該功能液滴形成的成膜部。 1 8、一種光電裝置，其特徵爲使用申請專利範圍第1 項所述之液滴吐出裝置，在該工件上形成藉由該功能液滴 形成的成膜部。 1 9、一種電子機器，係搭載申請專利範圍第1 8項所述 之光電裝置。 -59-