588201 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於在經減壓的狀態中接合一對基底當作液 晶顯示面板的元件之方法以及裝置。更特別地，它是關於 接合可有效地被用以避免不相符的液晶顯示面板被減少之 基底之方法。 爲製造液晶面板，具有透明電極之兩玻璃基底與裝在 其上之薄膜電晶體陣列係由使用以方形，例如，在非常接 近2微米的間隔（接合後之基底被稱爲”單元”），設置 之黏劑（以下稱爲密封劑）於基底的周圍上接合在一起， 且液晶被密封於各基底與黏劑間之空間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 密封液晶之基底接合法被發表在日本專利公開案號 H e i 1 2 - 2 8 4 2 9 5的官方公報。根據此方法， 液晶被撒於以接近那裡之密封劑寫至圖樣（方形）上之基 底的其中之一以致於鑲嵌物不被設置。在真空室中其它基 底不放在第一基底之上。在真空狀態，這兩基底之空間被 減少以增加壓力，藉此上部與下部基底被接合在一起。另 一方法被發表在日本專利公開案號H e i 1 〇 -1 7 7 7 7 1 7 8其中，爲硬化接合基底在一起之黏劑（ 密封劑），塗在基底上之密封劑係由照射能量於臨時基礎 上而硬化。接著液晶被撒在基底上，藉此允許它們被接合 在一起。之後.，密封劑係由不同於上次照射的能量之照射 能量硬化。 近年來，液晶顯示面板在尺寸上已成長，且已出現具 有一邊超過1000mm，且〇 . 7mm厚度之基底。順 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） 588201 A7 ___ B7 五、發明説明（2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 便一提，由經驗與電腦分析已證實當此大基底的兩端被提 升時，大約8 0至1 〇 〇 m m偏斜將發生。所以包含彼此 接合之兩大尺寸的基底之單元也在行進期間在它本身的重 量下被偏斜，且壓縮力，例如，被應用至下部基底的經密 封表面，同時張壓被應用至上部基底的經密封表面。因此 ，由於經密封的部分被損壞且液晶被放電之結果，不當校 準發生於上部與下部基底之間。 此大尺寸的基底被設在不具有多重裂縫於其上之連續 密封圖樣，且各圖樣被塡滿液晶以致於多重液晶顯示面板 被形成。此多重圖樣法在一些例子中被使用。在此例中爲 接合兩基底在一起，壓力被應用至處於經減壓的狀態之兩 基底，如在日本專利公開案號H e i 1 2 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .284295所發表。當在真空室中恢復大氣壓時，應用 至基底之壓力被使用。然而，在上述大尺寸基底的例子中 ，當大氣壓將被恢復時，均勻的壓力不被應用。適當的空 隙不能在基底間被獲得。此問題已在先前技藝中發現。爲 解決此問題，即，確保均勻的壓力被應用，除了塡包含密 封劑之液晶之密封圖樣之外，使用提供另一假密封圖樣之 方法是可能的。點塗接近此假密封圖樣之紫外光硬化，且 自真空室外應用紫外線也是可能的，藉此允許紫外光硬化 劑被硬化以致於暫時接合被提供。 如果這些方法被使用，然而，當在真空下與單元接合 在一起之壓力被恢復回大氣壓力時，壓力差發生在假密封 的內部與外部間。不需經點塗的紫外光硬化劑被崩潰，它 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 588201 A7 _____ B7 _ 五、發明説明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的高度超過密封劑的高度。此導致接近紫外光硬化劑之基 底間之缺陷空隙，根據上述先前技藝，結果發光後之不均 勻色彩發生。 發明節要 本發明的目的是解決上述先前技藝的問題且提供確保 要求的空隙即使在接近紫外光硬化劑之位置之基底接合方 法與裝置，在單元運送期間不需任何上部與下部基底的位 移，藉此不相符的單元產品的發生可被避免。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲達成上述目的，本發明採用暫時接合機制，其中， 在放在彼此較近的間隔之兩基底在經減壓的狀態下在真空 室中經由主要加壓後，在其中之一基底之多重位置上提供 之暫時接合之硬化劑係由紫外線的應用而硬化同時壓力在 經減壓的狀態下於真空室中被應用。例如，上述暫時接合 機制係在能傳導紫外線之材料真空隔離之狀態以大量的中 空圓柱壓力桿建構之紫外光纖維元素構成的，且能夠在真 空室中以垂直方向移動加上在真空室中之經減壓的狀態保 持不變。 本發明中，上述主要加壓的步驟，臨時防護係接在由 紫外線與壓力的應用在通過主要加壓的處理之各基底由硬 化暫時接合之.黏劑的步驟之後。在此暫時接合的步驟中， 例如，預定的壓力被應用至在基底中暫時接合之黏劑被提 供之上述中空圓柱壓力桿的頂端，且經加壓的部分之基底 間之空間被決定作最後空隙。之後，紫外線被應用至夾在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210父297公釐） -6 - 588201 A7 B7 五、發明説明（4 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基底間之暫時接合之黏劑以促進硬化。這允許設置暫時接 合黏劑之部分當作無關的部分以做爲最後空隙，結果暫時 接合在此部分可被達成。本發明提供第二加壓步驟，其中 ’大氣壓力在暫時接合的處理後在真空室中被恢復，藉此 壓力被應用以接合基底在一起。 圖形的簡要說明 圖1是顯示基底接合裝置的架構之槪要側圖當作本發 明的第一實施例； 圖2是表示根據本實施例之暫時接合機制的架構之橫 截面圖； 圖3是根據本實施例舉例以紫外光硬化劑塗基底的位 置，即，關於基底之暫時接合機制的位置之上視圖； 圖4是表示根據本實施例之主要加壓後之一對基底的 狀態的範例之側圖； 圖5是表示根據本實施例之暫時接合的時機一對基底 的狀態的範例之側圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖6是表示本發明的基底接合裝置的第二實施例，及 舉例根據本實施例之暫時接合機制的佈局位置之側圖； 圖7是舉例靜電拋攤的架構的實施例之圖形； 圖8是舉例靜電拋擲的架構的另一實施例之圖形；以 及 圖9是舉例靜電拋攤的架構的還有另一實施例之圖形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 588201 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（5) 元件對照表 3 3 :基底 3 4 :基底 9 :檯 1 :框 2 :第一框 3 :第二框 4 a : X階台 4 b : Y階台 4 c : (9階台 5 :驅動馬達 6 :驅動馬達 7 :旋轉軸承 8 :驅動馬達 1 0 :支撐圓柱 1 1 ··臂 1 3 :驅動馬達 1 4 :真空封劑 1 2 :真空風箱 1 5 :真空接合室 1 6 :加壓板 3 7 :黏劑 3 9 :液晶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Τ〇Ζ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
588201 A7 B7 五、發明説明（6) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 3 :紫外光硬化劑 5 4 :假封劑 1 5 a :第一開口 1 7 :閘閥 2 0 a :排氣管 2 0 b :排氣管 3 5 :多重高度管腳 3 6 :圓柱體 2 1 :導管 2 2 :閥 2 3 :大氣解除閥 1 5 b :圓形的第二開口 2 4 :圓柱體 2 6 :識別照相機 2 3 A :雙極電極 2 4 A :雙極電極 1 6 A :加壓板 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 6 B :加壓板 2 3 B :雙極靜電電極 2 4 B :雙極靜電電極 3 4 A :基底 1 6 D :加壓板 2 3 D 1 :電極 2 3 D 2 :電極 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 - 588201 A7 B7 五、發明説明（7) 2 3 D 1 :電極 2 4 D 2 :電極 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 4 D :基底 9 a :吸孔 1 6 a :多重吸孔 3 4 :基底固定制轉桿 1 8 :導管 1 9 :導管 2 9 :行進基座 2 7 :支撐圓柱 2 8 :真空風箱 4 2 :玻璃架 4 4 :玻璃 60:中空圓柱體壓力桿 4 5 :紫外光纖維 5 0 :凸緣 46:真空切除◦環 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 9 :圓柱體 5 2 :圓柱體固定配件 4 8 :連接配件 5 1 :軸承 5 5 :固定配件 4 1 : ◦環 4 3 : ◦環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1〇 - 588201 A7 ------B7 五、發明説明（8 ) 4 6 : ◦環 4 7 : ◦環 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 a :垂直欄杆 3 0 :線性導引 3 4 :電子馬達 3 2 :電子馬達 31:球狀螺釘 3 7 :液晶密封化合物 4 4 :真空堵塞玻璃 4 0 :真空空間 發明的說明 下列說明根據本發明參考圖形之基底接合裝置的第一 實施例： 〔基底接合裝置的架構〕 當廣泛地分類如圖1所示時，前述基底接合裝置包含 9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 X ’ γ與0階台s 1作爲定位當作接合的物體之兩基 底3 3與3 4 (其中安裝且固定在稍後說明之檯9上之基 底3 3被稱爲下部基底3 3 ” ，同時安裝在加壓板1 6 上之基底34被稱爲”上部基底34” ）； 基底接合單元S 2作爲接合合基底3 3與3 4 ;以及 Z軸行進階台S 3作爲稍後說明之基底3 3與3 4的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 588201 A7 _B7 ____ 五、發明説明（9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 主要加壓。這些部分SI ，S2與S3隨後被建構在框1 上。X，Y與0階台S1被安裝且固定在框1上，基底接 合單元S 2係由設有，例如，裝在框1上之四圓柱之第一 框2支撐。Z軸行進階台S 3係由設有，例如，裝在框1 上之四圓柱之第二框3支撐。下列說明上述SI ，S2與 S 3的細節： 〔X，Y與0階台S 1〕 X，Y與0階台S 1包含建構在框1上之X階台4 a ，建構在此X階台4 a上之Y階台4 b，與建構在此Y階 台4 b上之Θ階台4 c。本實施例之X階台4 a被設計以 藉由驅動馬達5橫向（圖1之X軸方向）移動Y階台4b .與Θ階台4 c 。Y階台4 b被架構以藉由驅動馬達6縱向 (圖1之Y軸方向）移動0階台。進一步，0階台4 c被 架構以關於Y階台4 b透過旋轉軸承7藉由驅動馬達8如 圖1所示之Θ方向旋轉。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此例中，支撐下部基底3 3之檯9透過支撐圓柱1 〇 被固定在Θ階台4 c。進一步，密封支撐圓柱1 〇的下側 之臂1 1透過旋轉軸承1 3與真空封劑1 4以臂1 1不由 支撐圓柱1 0的旋轉而轉動之方式被安裝在Y階台4 b上 。而且，具有一端固定在臂1 1上與另一端在真空接合室 1 5的下部部分且由覆蓋支撐圓柱1 〇之伸縮自如的彈性 體構成之真空風箱1 2係位於稍後說明之基底接合單元 S 2的真空接合室1 5與此臂1 1間。這作爲在真空接合 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 - ' 588201 A7 B7 五、發明説明（10) 室1 5中維持經減壓的狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本實施例中，一支撐圓柱1 0被裝在接近檯9的中心 ’但本發明不限於此。即，任何數量的支撐圓柱1 〇可被 安裝只要提供足夠補償產生，例如，Θ檯之檯9的預定値 (稍後說明之定位記號的位移量）之旋轉是可能的。 〔基底接合單元〕 基底接合單元S 2包含在經減壓的狀態接合於兩基底 33與34間之真空接合室15 (真空室15)，建構在 真空接合室1 5中之檯9 ;以及建構在真空接合室1 5相 對於檯9之上之加壓板1 6，如圖1所示。此例中，檯9 設有含稍後說明之假封劑5 4之下部基底3 3，紫外光硬 化劑5 3，黏劑3 7以及液晶3 9。加壓板1 6支持上部 基底以接合下部基底3 3。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 基底3 3與3 4的插入與移除之第一開口 1 5 a被形 成於上述真空接合室1 5的側面。堵住此第一開口 1 5 a 之閘閥1 7也被設在其上。在此閘閥1 7被設計成可由圓 柱1 7以垂直方向（圖1之Z軸方向）自由地移動。 進一步，真空接合室1 5內真空排氣之第一與第二排 氣管被裝在真空接合室1 5的下部部分。這些排氣管 2 0 a與2 0. b係透過切換閥（未示例）連接至真空唧筒 。在此第一排氣管2 0 a小於第二排氣管2 0 b。例如， 假設兩管有幾乎圓形。此例中，如果第一排氣管2 〇 a的 直徑是1 ，第二排氣管20b的直徑大約是10至1〇〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13 - '一"" 588201 A7 B7 五、發明説明（11) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 倍。在此第一排氣管1 0 a的直徑被決定以用基底3 3與 3 4的脫離產生氣流之方式設定速度，當真空接合室1 5 係自第一排氣管2 0 a排空如將稍後說明時，下部基底 3 3上之液晶的分散或由於減壓之水分子的涑結不發生。 例如，當直徑被設定時，經安裝之第一排氣管有根據由使 用不同的直徑的導管導出之經驗的結果決定之直徑。在此 本實施例之接合的步驟之真空接合室1 5之壓力大約是 0 . 6 7 P a (5x10— 3Torr)。 本實施例中，第一與第二，排氣管2 0 a與2 0 b係 由切換閥切換以改變排氣路線，藉此排氣速度被控制。然 而，本發明不限於此方法。例如建構僅一排氣管不需設置 兩排氣管20 a與20b是可能的，如本實施例所示，且 .爲連接此排氣管至真空唧筒，其被控制以調節排氣速度。 此例中，排氣管最好有較大的導管的直徑（本實施例中爲 第二排氣管2 0 b的直徑）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 真空接合室1 5之檯9設有用以自轉移單元（未示例 )接收下部基底3 3或移除單元之多重高度管腳3 5。圓 柱體3 6被安裝在這些高度管腳3 5的一端以允許透過檯 9形成之孔以垂直方向移動。 進一步，真空接合室1 5的頂端設有自經減壓的狀況 在真空接合室1 5中恢復大氣壓力之導管2 1及位於導入 氣體（空氣）進入真空接合室1 5或關掉它之閥2 2。在 此該導管2 1係連接至壓力源如啷筒（未示例），其控制 氣體進入真空接合室1 5的速度。應要注意的是壓力源永 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董1 =14 _ 588201 A7 ____B7_ 五、發明説明（12) 遠不需被提供。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 真空接合室1 5的側面（相對於上述閘閥1 7被安裝 的地方）設有包含堵住在真空接合室15中形成之幾乎圓 形的第二開口 1 5 b之板形成體之大氣解除閥2 3 ，及允 許此大氣解除閥2 3自第二開口 1 5 b分離之圓柱體2 4 。如上述，真空接合室1 5之壓力可由允許大氣解除閥 2 3自第二開口 1 5 b分離迅速地被帶回至大氣壓力。如 果上述導管2 1有幾乎圓形的橫截面，當導管的直徑被假 設作1時，第二開口 1 5 b的直徑最好是5或超過。 進一步，真空接合室1 5裝有透過於加壓板1 6上形 成之記號識別孔（未示例）觀察定位上部與下部基底3 3 與3 4之記號之多重視窗。圖1所示之識別照相機2 6被 用以觀察上述記號。此照相機2 6測量定位基底3 3與 3 4之記號的不當校準。 檯9裝有由靜電或吸力吸取下部基底3 3之靜電拋擲 電極（未示例）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進一步，加壓板1 6設有分成許多靜電吸力之區域之 多重靜電拋擲。自此靜電拋擲的正與負高度之引線被定路 線於真空接合室1 5外以允許各靜電拋擲之控制。 靜電拋擲機制是包含二或多對電極之雙極靜電拋擲， 其確保基底被固定於真空下即使被接合之基底的大小或被 產生之圖樣的數目有改變。下列說明裝在加壓板上之靜電 拋擲機制。相同的說明應用至裝在檯上之靜電拋攤機制。 圖7與8顯示雙極靜電拋擲的一般佈局。爲便於說明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15 - 588201 A7 ___ B7_ 五、發明説明（13) ，假設圖形之白化刻字之電極是正電極且劃影線的字是負 電極。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖7 ( a )之雙極靜電拋擲分別包含嵌在幾乎矩形的 兩凹處之幾乎矩形的平雙極電極2 3 A與2 4 A。這些雙 極電極2 3 A與2 4 A的表面（加壓板1 6 A的底側上之 表面）被覆與電介質其中加壓板16A的底面之主表面被 注滿。此例中，雙極靜電拋擲應用正電壓至電極2 3 A且 負電壓至電極2 4A，藉此允許基底3 4 A由庫侖力或 Johnson Rahbek力被靜電地拋擲於加壓板1 6 A上。 圖（b )所示之雙極靜電拋擲有一對被嵌在加壓板 1 6 B之梳齒狀的雙極靜電電極2 3 B與2 4 B且有電介 質嵌於其內。甚至在此例中，此雙極靜電拋擲應用正電壓 至電極2 3 B與負電壓至電極2 3 B，藉此允許基底 3 4 A由庫侖力被靜電地拋擲於加壓板1 6 B。 在此圖7 ( a )所示之一對雙極靜電電極2 3A與 24A及圖7 (b)所示之雙極靜電電極23B與24B 的整個直徑被設計有點小於基底3 4 A的直徑。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 反之，圖8 ( a )與8 ( b )顯示基底的直徑小於一 對整個電極的直徑之例子。 換句話說，當圖8 ( a )與（b )所示之小基底 34B係由裝有圖7 (a)與（b)所示之雙極靜電拋擲 之加壓板1 6 A與1 6 B靜電地拋擲時，某部分的電極 2 3 A，2 3 B，2 4 A與2 4 B係位於另一側的基底 3 4 B。這是因爲加壓板1 6 A與1 6 B被設計以致於大 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Γΐ6- 588201 A7 B7 五、發明説明（14) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基底可被加壓。如果電壓（+ - 1 〇 〇至+ - 5 0 0 0伏 特或在那附近）被應用至部分地曝露於真空狀態（預定經 減經的大氣）之電極（電介質）23A，23B，24A 與2 4 B，電子放電自經曝露的部分發生，結果基底 3 4 B與靜電拋擲也許被損壞。 如上述，由減少電極與電介質的面積而處理較小的基 底以確保該電介質將不會曝露於真空狀態是可能的。然而 ，甚至當較小的電極被用以固定較小的基底時，產生固定 大基底所需之靜電拋攧力是不可能的，所以固定不失效。 因此，確保有效的拋攤且基底的固定需要整個電極直徑是 小於基底的直徑。 近年來，已出現形成多重液晶基底於大機板（主機板 .)，且由基底的接合後之切除獲得要求尺寸的多重液晶基 底的生產法。此生產法中，多種主機板的基底切除在某些 例子中被饋至相同的生產線。在這些例子中，一致地劃分 電極成基底的尺寸且確保電壓所用的電極（電介質）不曝 露於真空狀態且電子放電不會發生是必需的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，本實施例之靜電拋擲機制使用兩或多對電極 。爲更具體指定，靜電拋擲機制係以多重電極對各包含形 成以允許拋擲且固定具有最小面積之基底之兩電極被設在 加壓板上之方.式而設計。它是能夠由一致地切換成正與負 電壓被應用之電極之基底的尺寸而固定大與小基底之雙極 靜電拋擲。雙極靜電拋擲裝有應用電壓至要求的電極對之 電壓應用機構。例如，上述電壓應用機構也許係以操作員 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -17 - 588201 A7 _ B7 五、發明説明（15) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一致地切換電壓應用之電極至如需要被接合在一起之基底 之方式而設計。另外，它也許係以要求的電極由初步地鍵 入各種被載入該系統之基底的直徑之資訊而被選作爲各經 載入的基底之方式而架構。圖9顯示裝有各包含兩電極之 兩電極對之加壓板1 6。爲方便說明，假設圖形之白化刻 字之電極是正電極且劃影線的字是負電極。 如圖9 ( a )與（b )所示，根據本實施例之雙極靜 電拋擲被架構以致於幾乎矩形2 3 D 1，2 4 D 1， 2 3 D 2與2 4 D 2的平電極被嵌在接近形成於加壓板 1 6D的下部表面之矩形的四凹處，且幾乎矩形2 3D 1 ，24D1 ，23D2與24D2的電極的表面（加壓板 1 6 D的底面上之表面）被覆與電介質其中加壓板1 6 A 的底面之主表面被注滿。此例中，雙極靜電拋挪應用正電 壓至電極2 3 D 1與2 3 D 2以使它們爲正，及負電壓至 電極2 4 D 1與2 4 D 2以使它們爲負，藉此基底係由加 壓板1 6靜電地拋擲且被固定在適當的位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在大上部基底3 4 D的例子中，大拋擲力係由電壓的 應用至所有電極23D1，24D1，23D2與 2 4D 2而產生，且上部基底3 4D被拋擲且固定在適當 的位置，如圖9 ( a )所示。進一步，在小上部基底 3 4 E的例子.中，必要且充分的拋擲力係由電壓的應用至 僅相鄰的正與負極（一對建構在根據本實施例之加壓板 1 6D的中心的附近之電極2 3D2與24D 1 )而獲得 ’如圖9 (b)所示，且上部基底34D被拋擲且固定在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 588201 A7 B7 五、發明説明（16) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 適當的位置。此例中，沒有電壓被應用至剩下的電極 23D1與24D2，且此避免電子放電發生，如先前技 藝的方法。 如上述，當基底的大小已改變，數種基底的基底可在 真空下被穩固地拋擲且由增加電極對的數目至3，4，5 或其類似一致於基底的大小而固定在適當的位置。換句話 說，因爲多對一致於具有最小面積之基底的形狀之靜電拋 擲之電極被安裝於加壓板上（稍後說明之檯），基底可由 大拋擲力被拋擲且固定在適當的位置，與基底的大小無關 。在本實施例中，以橫向設置之電極的列被顯示作範例。 然而，本發明不限於此。例如，多列的電極可以縱向被設 置，而且多雙極梳狀電極可被提供。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，靜電拋擲電極在本實施例中是幾乎矩形的平 面電極。電極各被安裝在幾乎矩形的多重凹處。進一步， 靜電拋擲電極的表面（檯的上表面）被覆與電介質，且電 介質的主表面被注滿檯9的上表面。裝在檯上之靜電拋擲 電極透過適當的正/負開關被連接至正/負D.C.電源 。因此，如果正或負電壓被應用至各靜電拋擲電極，下部 基底3 3係由檯9靜電地拋擲。在此應用至各靜電拋擲電 極之電壓也許是單極或具不同極性之雙極。 當大氣壓力是在真空接合室1 5中時，最好藉由吸孔 9 a而使用上述拋擲法。這是因爲，當靜電拋擲被使用時 ，如果有一層下部基底3 3與檯9間之空氣，電子放電將 由於靜電放電而發生。例如，當下部基底3 3首先被接觸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 588201 A7 B7 五、發明説明（17) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 檯9且被固定在適當位置時，真空吸力被執行以減少真空 室之壓力因爲它係以大氣壓力環繞。壓力已被減少至電子 放電不會發生後，最好開始靜電拋擲。 各吸孔9 a係連接至設在真空接合室1 5外之吸閥（ 未示例）且透過此吸閥被連接至真空啷筒（未示例）。此 例中，旁通閥被設在透過釋放閥真空吸力或導入壓力氣體 釋放至大氣之導管1 8之某中點。真空吸力的狀態係由透 過真空吸力釋放閥或導入壓力氣體釋放至大氣而強制地釋 放。以此方式架構之檯9係透過支撐圓柱10而固定在0 階台4 c，如上述。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 類似於檯9，加壓板1 6裝有拋擲上部基底3 4之靜 電拋擲電極與多重吸孔1 6 a。於稍後將說明，如果真空 .接合室1 5之壓力係由加壓板1 6拋擲之上部基底3 4而 減少，拋擲力將被減少且上部基底3 4也許被下降。爲避 免此，接收在稍微在加壓板1 6下之位置之上部基底3 4 之基底固定制轉桿被設在真空接合室1 5。此基底固定制 轉桿被建構，例如，爲使上部基底3 4的對角位置之兩角 度相符。它係由自真空接合室1 5的頂端向下延伸之軸舉 起且固定。 爲更具體指定，軸係透過真空接合室1 5的上部部分 上形成之穿透.孔（未示例）插入。此軸被設計以繞它的軸 旋轉且以垂直方向移動。此例中，該軸被覆與真空封劑以 致於真空漏失在真空接合室1 5不會發生。該軸的上述旋 轉係由連接至軸的末端之旋轉式制動器（未示例）產生， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - — ~ 588201 A7 __B7_ 五、發明説明（18) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 且垂直方向之移動係由連接至軸的末端之高度制動器（未 示例）產生。如上述，基底3 3與3 4係由軸的旋轉或垂 直移動接合在一起。該基底固定制轉桿可被縮回以致於當 掉在下部基底3 3上之液晶劑在各基底3 3與3 4的主表 面的延伸方向被展開時沒有成參考。 上述吸孔1 6 a係透過導管1 9連接至裝在真空接合 室1 5外之吸閥（未示例），且係透過此吸閥連接至真空 啷筒（未示例）。在此例中，透過吸力釋放閥而釋放至大 氣之旁通管被設在此導管1 9的中點，類似於檯9。真空 吸力的狀態係由透過此真空吸力釋放閥或導入壓力氣體釋 放至大氣而強制地釋放。以此方式架構之加壓板1 6係透 過多重支撐圓柱2 7自Z軸行進台階S 3的行進基座2 9 (稍後說明）懸掛，且被固定在適當位置。 具有一端固定在真空接合室15且另一端固定在行進 底2 9且由覆蓋支撐圓柱2 7之可伸縮的彈性體構成之真 空風箱2 8係位於真空接合室1 5與行進基座2 9之間。 此作用爲在真空接合室1 5中維持經減壓的狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進一步，如圖1所示，此真空接合室1 5的頂端設有 硬化暫時接合由壓力與紫外線的應用預先放在下部基底 3 3之紫外光硬化劑5 3之暫時接合機制S 4，以加壓板 1 6在經提升的狀態，隨稍後說明之主加壓後（隨由經減 壓的狀態之壓力接合基底3 3與3 4在一起之後）。下列 參考圖2說明暫時接合機制S 4。 暫時接合機制S 4包含； 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 588201 A7 _B7___ 五、發明説明（19) 自頂端部分（位在真空接合室1 5中）由固定玻璃 4 4內側之圓柱體構成之玻璃架4 2 ; (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 由螺釘用此玻璃架4 2固定之中空圓柱體壓力桿6 0 落於此中空圓柱體壓力桿6 0內側與在玻璃附近之紫 外光照射之紫外光纖維4 5 ; 透過真空切除〇環4 6固定於真空接合室1 5的頂表 面上且包含圓柱體，透過圓柱體中空圓柱體壓力桿6 〇被 插入，之凸緣5 0 ;以及 以垂直方向行進中空圓柱體壓力桿6 0之機構。 本實施例的行進機構包含； 驅動中空圓柱體壓力桿6 0的垂直行進之圓柱體4 9 j 固定建構在凸緣5 0的外圍之圓柱體4 9之圓柱體固 定配件5 2 ;以及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 建構在中空圓柱體壓力桿6 0的一端（圖2之頂端） 且固定在圓柱體4 9的操作區（行進軸）之連接配件4 8 。軸承5 1被安裝在凸緣5 0以確保中空圓柱體壓力桿 6 0在垂直方向順利地移動。在此如果中空圓柱體壓力桿 6 0以垂直方向移動，紫外光纖維4 5也以垂直方向移動 。爲了避免自中空圓柱體壓力桿6 0的一端延伸之紫外光 纖維4 5的損壞，經延伸的部分係由固定配件5 5而固定 至連接配件4 8。固定以此方式在垂直行進的時機減少應 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 22 - 588201 A7 ______B7_ 五、發明説明（2〇) 用至紫外光纖維4 5之壓力，結果可能的破裂可被避免， 例如。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 玻璃架4 2的頂端設有與玻璃4 4的下表面接觸之圓 柱體限制區。所以將稍後說明，即使限制區逆著基底被壓 ，沒有壓力同時被用至相鄰的紫外光硬化劑5 3 ，因爲經 壓的表面小。進一步，限制區作用爲紫外線的照射之ί阜， 所以透過玻璃4 4之紫外線不被直接應用至基底。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 真空關掉之◦環4 1被建構在玻璃架4 2與中空圓柱 體壓力桿6 0間之接端，且真空關掉之〇環4 3被裝在玻 璃架4 2與玻璃4 4之間。真空關掉之◦環4 6被裝在真 空接合室1 5的頂表面與凸緣5 0的底表面之間，且真空 關掉之◦環4 7被裝在凸緣5 0的內圍與中空圓柱體壓力 桿6 0的外圍之間。此建構在真空接合室1 5中維持經減 壓的狀態。換句話說，中空圓柱體壓力桿6 0之壓力達到 大氣壓力。此部分被利用以結構地放置最靠近基底（例如 ’玻璃4 4的附近）之紫外光纖維4 5。因爲紫外光纖維 4 5被裝在此部分，有非常少的衰減在應用至基底之紫外 線中。不需安裝大直徑的聚焦透鏡。爲此原故，特徵在於 最佳紫外線傳送之材料，例如，石英玻璃，是最適合作玻 璃4 4。 以此方式架構之多重暫時接合機制S 4可由硏究有效 的接合位置而安裝，自設計的觀點如果行得通的話。如圖 3所示’最好建構它們在基底的各側之二或更多位置（圖 3之紫外線硬化劑5 3之上）。進一步，如果真空接合室 本紙張尺度適财關家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐)「23 - — 588201 A7 ^_B7 五、發明説明（21) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 5之經減經的狀態可被維持，暫時接合機制S 4可設有 允許在基底上水平行進之行進機制，且一暫時接合機制 S 4可被設在基底的各側。 〔Z軸行進階台〕 Z軸行進階台包含； 吊加壓板1 6且固定它之行進基座2 9 ; 建構在其兩端上之線性導引； 嚙合此線性導引3 0且設在框3上之垂直欄杆3 a ( 圖1所示之Z軸方向）； 在Z軸方向裝有輸出軸之電子馬達3 4 ;以及 一端與行進基座2 9的側面嚙合且另一端與電子馬達 .3 2的輸出軸側嚙合之球狀螺釘3 1。以此方式架構之Z 軸行進台階S 3允許馬達基座2 9沿欄杆由電子馬達3 2 以垂直方向饋送，且允許加壓板1 6以垂直方向饋送。 〔基底接合裝置的操作〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 下列說明根據本實施例之基底接合裝置的操作。在此 參考將由液晶面板之基底被用作被接合之基底之例子構成 〇 如圖3所示，連續框被預先設在被給合在一起之兩基 底的其中之一，使用液晶密封化合物（黏劑）3 7以當基 底被接合在一起時，限制且密封液晶在預定框中。類似地 ，連續框5 4 (之後稱爲”假封劑”）係自黏劑3 7分別 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 588201 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22) 地設置以便密封上述框。紫外光硬化劑5 3以點狀或線性 形式（具有一些長度）被設在假封劑5 4的基底端的附近 。液晶3 9的預定量被撒入包含黏劑3 7之液晶密封框。 本實施例中，具有撒在其上之此液晶3 9之基底被使用作 下部基底3 3。在一些例子中，假封劑5 4不被提供。此 例子中’紫外光硬化劑5 3被設在幾乎對等的位置。 具有膜表面面向下之上部基底3 4的周圍部分係自底 部吸收’使用安裝在真空接合室1 5之轉移單元（未示例 )的指針。接著在真空接合室1 5的第一開口 1 5 a的閘 閥1 7被打開，且轉移單元的指針自第一開口 1 5 a被插 入真空接合室1 5。由電子馬達3 2的操作降低之加壓板 1 6係對著上部基底3 4壓下。之後，指針的吸力被釋放 且真空唧筒被操作以允許上部基底3 4透過吸力孔1 6 a 由加壓板1 6吸收。根據上部基底3 4的吸力的完成，該 指針被縮回真空接合室1 5外。 各高度管腳3 5係由圓柱體3 6的操作以其頂端將自 檯9的頂表面突出之方式而升高。具有液晶撒於下表面的 表面面向上之下部基底3 3的周圍部分係由轉移單元的指 針自下吸收，且該指針被插入真空接合室1 5以致於下部 基底3 3被轉移於各高度管腳3 5之上。根據下部基底 3 3的轉移的完成，該指針被縮回真空接合室1 5之外， 且閘閥1 7被關閉。之後’各高度管腳3 5被降低且下部 基底3 3被放在檯9上。真空啣筒被操作以允許下部基底 3 3透過吸力孔9 a由檯9被吸收。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 25 _ .--„----$-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
588201 A7 ___________B7_ 五、發明説明（23) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據由檯9與加壓板1 6正被吸收之基底3 3與3 4 的終止，第一排氣管2 0 a的側面上之閥被打開以自真空 接合室1 5逐漸地放出氣體。爲更具體指明，在本實施例 中，裝置的初始狀態係以第一與第二排氣管2 0 a與 2 0 b係由切換閥雙雙關閉之方式呈現。根據正被吸收之 基底3 3與3 4的終止，切換閥被改變以致於第一排氣管 2 0 a的側面被打開且第二排氣管2 〇 b的側面被關閉， 且氣體係自真空接合室1 5逐漸地放出。此例中，氣體由 使用設成上述値之直徑之第一排氣管2 0 a以源自氣流之 基底3 3與3 4的脫離之方式被低速放出，由於減壓下部 基底3 3上之液晶的分散或水含量的涑結不會發生。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第一排氣管2 0 a的閥當真空接合室1 5之壓力已由 於氣體透過排氣管2 0 a的排出到達預定程度時而被關閉 ，爲更具體指明，當由壓力計（未示例）測量之真空接合 室1 5之壓力已達到基底的脫離之程度，液晶的分散與濕 氣含量的涑結不會發生即使排出速度被提升（例如，當壓 力已被減少至由吸力吸收之上部基底3 4不被打開之程度 )° 接著第二排氣管2 0 b的閥被打開且真空接合室χ 5 之壓力被快速地減少至基底3 3與3 4所需之程度（本實 施例中大約是.0 . 6 7 P a )。在此真空接合室1 5之壓 力在目前壓力水準下較上部基底3 4的吸力低，以致於上 部基底3 4係自加壓板1 6分開。然而，加壓板1 6的下 表面裝有上述基底固定制轉桿，且基底固定制轉桿係由上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -26 - 588201 A7 _B7 五、發明説明（24) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 述旋轉制動器與起卸機制動器驅動以致於在適當位置之上 部基底3 4被固定在適當位置。此保持上部基底3 4在特 定位置沒有被分開。 如上述，根據真空接合室1 5之減壓的終止，電壓被 應用至靜電拋擲電極以確保基底3 3與3 4可由檯9與加 壓板1 6吸收甚至在真空中；因此，基底3 3與3 4被靜 電地拋擲。之後，電子馬達3 2被驅動以降低行進基座 2 9以致於上部基底3 4被帶較靠近下部基底3 3。識別 照相機2 6被用以觀察位於基底3 3與3 4之位置調整記 號及測量基底3 3與3 4間之位移。根據此測量，X階台 4 a ，Y階台4 b與0階台4 c的操作被控制，且檯9係 以垂直方向移動，藉此確保下部基底3 3與上部基底3 4 間之高準確定位。 根據上述定位的終止，行進基座2 9被進一步降低且 紫外光硬化劑5 3，假封劑5 4與黏劑3 7係由上部基底 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 4壓碎。由黏劑3 7形成之框被塡滿液晶。接著主要加 壓終止。主要加壓之後，應用至加壓板1 6的靜電拋擲電 極之電壓被切除，且電子馬達3 2被驅動以提升加壓板 16° 圖4顯示主要加壓後之基底3 3與3 4的狀態。此例 之基底3 3與3 4間之間隔大約1 5微米，不需到達要求 的間隔。所以黏劑3 7的經壓壞量是不足的，且基底3 3 與3 4與黏劑3 7的接觸面積也不足（接觸部分的長度不 足）。結果，接合的狀態不被完成。進一步，黏劑3 7的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27 - 588201 A7 __B7 五、發明説明（25) 框之液晶3 9展開失敗，結果大真空空間4 0在液晶3 g 被創造。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 如真空接合室1 5之壓力係自經減壓的狀態改變至大 氣壓力，高外壓幾乎被一致地應用至基底3 3與3 4因爲 基底3 3與3 4間之空間（上述真空空間4 0 )是在經減 壓的狀態。例如，當基底3 3與3 4有1 ，2 0 0 m m x 1， 000mm的大小時，大氣壓力被應用如果基底33 與3 4間之空間是在經減壓的狀態中。接著1 2 1 . 6 k N的力可被應用。所以在本實施例中，次要加壓被執行 如稍後將被說明，且5微米或更少，最好是，4微米或更 少適當的基底空間被獲得。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，如果真空接合室1 5之經減壓的狀態隨主要 加壓後被改變成大氣壓力，幾乎一致的壓力可被應用至各 基底3 3與3 4。然而，如果壓力突然地被重設成大氣壓 力，黏劑3 7不被充分地壓壞，如上述。所以導入真空接 合室1 5之氣體打破假封劑5 4與黏劑3 7以進入真空空 間4 0，使液晶機板不相符。另外，在回至大氣壓力後饋 出的中間，壓縮力被應用至基底的其中之一的經密封的表 面且張力強度被應用至另一基底的經密封表面，如上述技 藝範例的例子，結果不當校準在上部與下部基底3 3與 3 4間產生。此將導致經密封的部分（黏劑3 7與假封劑 5 4 )被崩潰且液晶3 9溢出。因此，不符合的液晶機板 將被創造。 爲解決本實施例之此問題，自黏劑3 7與假封劑5 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28 - 588201 A7 ____ B7 _ 五、發明説明（26) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 分開設置之紫外光硬化劑5 3被局部地加壓直到達到最終 空隙（適當的，即，要求的基底空間），隨主要加壓之後 與次要加壓之前。之後，紫外光硬化劑5 3經由紫外光照 射，藉此確保暫時接合。下列參考圖5說明暫時接合： 在第一步驟中，圖2指定之圓柱體4 9被驅動以自基 底3 3之紫外光硬化劑5 3之上降低中空圓柱體壓力桿 6 0。玻璃架4 2的經限制部分的頂端被用以應用預定値 至各基底3 3與3 4以致於基底間之空間將達到最終空隙 。在此條件下，紫外線透過真空堵塞玻璃4 4被應用至紫 外光硬化劑5 3，紫外光硬化劑5 3被硬化以提供暫時接 合。當玻璃架4 2對著基底被下壓時，該壓力最好是 0 · 1至0 . 5Mpa ，雖然它隨紫外光硬化劑53改變 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在已做了如上述之暫時接合後，圓柱體2 4被操作且 大氣釋放閥2 3被打開以在真空接合室1 5中恢復大氣， 且壓力被應用至基底3 3與34 (次要加壓）。如上述， 此步驟允許壓力被應用至基底3 3與3 4，藉此基底3 3 與3 4經由後置接合。 如上述，經減壓的狀態之主要加壓後，壓力被應用至 設在除了經密封的部分（黏劑3 7，假封劑5 4 )外之暫 時接合之紫外光硬化劑5 3至要求的程度直到硬化劑被硬 化。接著真空接合室1 5之大氣壓力被恢復且該基底彼此 被後置接合，根據本實施例的架構。所以即使真空接合室 1 5之壓力被突然地返回至大氣壓力，避免源自半接合狀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29 - 588201 A 7 B7 五、發明説明（2乃 態之經密封的部分的崩潰之液晶3 9的漏失或基底間之不 當校準是可能的。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上述，當接合的步驟已被完成且真空接合室1 5之 壓力已達到大氣壓力時，閘閥1 7打開。接著中空圓柱體 壓力桿6 0被升高以切除應用至檯9的靜電拋擲電極之電 壓且透過吸力孔9 a釋放吸力。之後，各高度管腳3 5被 升高以自檯9的頂端向上推該單元。之後，轉移單元的指 針被插於單元的底部（單元與檯9之間）。該單元被轉移 於指針上，且饋出真空接合室1 5外。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 暫時接合後，隨後的步驟也許被採取不需突然地在真 空接合室1 5中恢復大氣壓力：在第一地點中，細導管 2 1的閥2 2隨暫時接合後被打開，且經加壓的氣體自連 接至導管2 1之壓力源被導入真空接合室1 5 ，藉此大氣 壓力被逐漸地恢復。如果大氣壓力如上述被逐漸地恢復， 壓力逐漸地被應用至基底3 3與3 4，且經密封的部分（ 黏劑3 7與假封劑5 4 )被逐漸地崩潰，結果，經密封的 部分及各基底3 3與3 4間之接觸面積被逐漸地增加。此 方法提供真空空間4 0的內部壓力與真空接合室1 5的壓 力間之壓力差之逐漸增加，藉此確保經導入的氣體進入真 空空間4 0的有效預防。 例如，基底3 3與3 4間之空間大約是1 〇微米。如 上述，如果氣體被導入真空接合室1 5，黏劑3 7被壓壞 ，藉此流動發生且速率由於觸變性而減少。當該速率被降 低時，大氣釋放閥2 3被突然地打開以在真空接合室1 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3〇 - 588201 A7 _ B7 五、發明説明（28) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中恢復大氣壓力。壓力進一步被加至基底3 3與3 4。爲 更具體指明，裝在真空接合室1 5內側之壓力計已被偵測 以具有超過的預定程度，閥2 2被關閉且圓柱體2 4被制 動以打開大氣釋放閥2 3，藉此壓力被應用至基底3 3與 34。接著接合步驟現在被完成。例如，爲決定預定壓力 ，經驗事先被導入以測量經導入的氣體停止破壞黏劑3 7 以進入真空空間4 0之壓力。此壓力値被設定。 透過上述步驟真空接合室1 5之大氣壓力的突然恢復 允許黏劑3 7的接觸面積被關於基底3 3與3 4而展開， 且改進密封的性質。此確保基底3 3與3 4間之氣體的進 入的有效避免。進一步，黏劑3 7因爲它的速率被減少而 被快速地壓壞，且液晶3 9也係由壓力而壓壞且展開，結 果基底3 3與3 4的接合可在短時間內被達成。 透過上述導管2 1與閥2 2導入氣體也是可能的，隨 主要加壓後，且隨上述預定壓力已被達到後執行上述暫時 接合。此例中，真空接合室1 5之大氣壓力在暫時接合後 被突然地恢復，且後置接合被實現。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔第二實施例〕 下列參考圖6說明根據本發明之基底接合裝置的第二 實施例： 此基底接合裝置在以下點不同於上述第一實施例的。 否則，它以相同的架構被設計。爲更具體指明’特徵在於 如第一實施例的暫時接合機制S 4相同架構之暫時接合機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 588201 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（29) 制S 4被建構在真空接合室1 5的下部部分。此暫時接合 機制S 4有與第一實施例的高度管腳3 5相同的功能。結 果，本實施例允許基底的提升與由紫外線之暫時接合-與 第一實施例同功能-不需使用任何高度管腳3 5。此意味 工作時間之減少。 如上述，本實施例架構之此暫時接合機制S 4避免當 真空接合室1 5之大氣壓力必需突然地被恢復時由於經密 封的部分的崩潰之液晶的漏失與基底的不當校準。即，此 架構提供與第一實施例相同的優點。不僅如此，此架構避 免構成裝置之元件數之大量的增加。 根據本發明的基底接合方法與裝置，暫時接合被提供 之黏劑之部分之基底間之距離可在經減壓的狀態中被調整 成要求的空隙。同時，暫時接合在此位置是可能的，結果 基底間要求的距離可在最終空隙中被維持。進一步，甚至 在構成兩大尺寸基底如先前技藝範例之單元的例子中，基 底間要求的距離可在最後階段中被維持。因此，避免傳輸 期間上部與下部基底的位移是可能的。這些特性避免不符 合的產品被產生。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -32 - J -i----I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 言