TW580557B - Method for examining surface state of curved object and device for examining substrate - Google Patents

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580557 玖、發明說明 (發明說明應敘明：發明所屬之技術領域、先前技術、內容、實施方式及圖式簡單說明） (一） 發明所屬之技術領域： 本發明有關於檢查技術，用來檢查如同形成在零件組裝 基板上之焊接部位之表面爲曲面形狀之物體（以下稱爲「曲 面體」）之表面狀態。 (二） 先前技術： 本申請人在以前開發有利用焊接部位之鏡面反射，使用 圖像處理之方法自動檢查基板上之焊接部位之裝置（參照 專利文獻1)。 專利文獻1是日本國專利案特公平6 - 1 1 7 3號公報。 第9圖表示該專利文獻1所揭示之基板檢查裝置之構造 和檢查原理。該檢查裝置利用3個光源8、9、1 0(分別具 有紅（R)、綠（G)、藍（B)之各色彩光）和攝影裝置3用來產 生檢查對象之圖像，各個光源8、9、1 0被配置成對基板1 具有互不相同之仰角方向。另外一方面，攝影裝置3被配 置成從正上方之位置對檢查對象之焊接2進行攝影。 依照上述之構造時，來自各個光源8、9、1 0之色彩光， 在各個焊接2之表面上，照射在與該光源之配置方向（仰角 之方向）對應之位置。此處之各色彩光之照射位置之焊接表 面之傾斜，均傾斜到可以將該照明光之鏡面反射光引導到 攝影裝置之方向，在此種情況時，如第1 〇圖所示，與R、 G、B之各色彩光之照射位置對應之各色彩變成產生分色之 2次元圖像。 5δϋ537 在該檢查裝置中，各個光源8、9、1 Ο之對基板面之仰角 一 依照R、G、Β之順序變大，在焊接表面上分割，依照所欲 •m 檢測之傾斜角度之範圍用來決定各個光源8、9、1 0之配置 方向。因此在各個光源8、9、1 0之照明下所獲得之圖像上 ，當抽出成爲優勢之色彩時，如第1 1圖所示，依照是從基 板面看到之仰角最小之平坦面，或是仰角最大之急傾斜面 ，或是位於該等之中間之比較和緩之傾斜面（緩傾斜面）， 可以明確的分割各色彩成分。 φ 因此，因爲依照焊接表面之傾斜角度可以使R、G、B之 各色彩產生分色之2次元圖像，所以預先登錄良好形狀之 焊接之圖像之各色彩之圖案，經由使檢查對象之圖像上之 各色彩之圖案與該登錄圖案進行比較，可以判別焊接之表 面狀態是否良好。 [發明所欲解決之問題] 然而在近年來之零件組裝基板之製造源，考慮到環境保 護上之問題，採用未含鉛之焊接（無鉛焊接）之頻度變高。 但是因爲該無鉛焊接使用成分金屬之固化溫度之差異很大 之非共晶合金，所以其表面容易形成具有細凹凸之形狀。 因此，當與以鉛和錫作爲主要成分之習知之共晶焊接比較 時，表面之擴散反射性變高。另外一方面，在該檢查裝置 中，考慮到有關人員之辨認性時，利用來自各光源之擴散 之光之混合，用來施加白色照明，因爲可以調整各個光源 之強度，所以當對如同無鉛焊接之具有擴散反射性之對象 580557 物進行攝影時，由於各色彩光之混合使圖像變成帶有白色 ，會發生各色彩圖案間之境界變成不明顯之現象。另外， 嬸 在上述之調整處理中，將白色之擴散反射板設置成使其板 面沿着水平方向之狀態，對該擴散反射面進行攝影，參照 圖像上之擴散反射面之色彩同時進行調整，所以接近該擴 散反射板之設置狀態之焊接之平坦面之紅色，成爲特別難 以辨識之狀態。 在上述之檢查裝置中，當檢查用之教學時，顯示模態之 鲁 焊接之圖像，需要進行判定基準値等之設定，用來判別由 有關人員抽出各個色彩圖案用之2進制化臨限値或被抽出 之色彩圖案是否適當。但是在檢查對象爲無鉛焊接之圖像 時，如上述之方式，由於各色彩之混合產生帶有白色之圖 像，各個色彩圖案間之境界變成不明顯，不容易以目視從 圖像中判斷最佳之2進制臨限値，會產生設定作業需要長 時間之問題。另外，上述之光學系亦可以用在目視方式之 檢查裝置，但是要確認各色彩圖案間之境界位置等之色彩 之微小不同變爲困難，要判別各檢查部位是否良好需要時 間。 另外，當使檢查對象之無鉛焊接之擴散反射性變大時， 各色成分間之色調之差變小，要使檢查精確度穩定化會有 困難爲其問題。 (三）發明內容： 本發明針對上述之問題，其目的是即使在以如同無鉛焊 580557 接之具有擴散反射性之曲面體作爲檢查對象之情況時，亦 可以穩定的進行檢查。 [解決問題之手段] 本發明之第1曲面體之表面狀態檢查方法所包含之步驟 有：從對檢查對象面之仰角不同之多個方向，分別照射不 同之色彩光，在照明之狀態下對來自該檢查對象面上之曲 面體之反射光進行攝影；在包含利用該攝影所獲得之曲面 體像之圖像區域，實行抽出處理，對每一個圖素抽出由各 色彩之混合所產生之白色成分之強度，和衰減處理，用來 使各圖素之色成分之強度分別衰減與各個圖素之被抽出之 白色成分之強度對應之値；實行各色成分之強度之變更處 理，對於該衰減處理後之各個圖素，使各個圖素之各色成 分中之強度最大之色成分比衰減處理前強，稆用來補償由 於該衰減處理在該圖素之各色成分之強度之總和所產生之 損失；和根據該各色成分之強度之變更處理後之圖像之各 色彩之分布狀態，實行與該曲面體之表面狀態之檢查有關 之處理。 ft處之「檢查對象面」是指倒觀基板之表面，另外亦以 是抱成爲「曲面體」之形成在基板上之焊接。 孝：不同之角方_照射之色彩^:最好爲£、綠、藍之三 之光，但是3:: π ，呑可以照I':三原色 之色彩光。 580557 之各色彩之色調而形成，當R、G、B以相同之比例混合時 π 出現白色。因此產生該白色成分之「各色彩」可以稱爲是 R、G、Β之各色彩。 成爲強度之衰減處理或變更處理之對象之各色成分，在 圖像上可以使其對應到從該多個方向照射之各個色彩光。 因此，當對該曲面體照射三原色R、G、Β之各色彩光之情 況時，成爲處理對象之色成分可以是R、G、Β之三色。 色成分之強度對應到射入至攝影機等之攝影裝置之反射 · 光之強度，在數位圖像中可以以每一個圖素之色調表示。 另外，在本發明中最好使色成分之強度越大時，色調之値 變成越大。 該白色成分之抽出處理，強度之衰減處理，和強度之變 更處理均可以對包含檢查對象之曲面體像之圖像區域內之 每一個圖素實行。 在白色成分之抽出處理時’在包含數ίιι濃淡圖像中之曲 面體像之圖像區域，抽出各色成分共同之指定量之強度。 ® 例如，可以抽出各色成分之強度中之最小値作爲白色成分 。另外，亦可以抽出該最小値之指定比例部份之強度作爲 白色成分。 在使各個色成分之強度衰減之處理時，從各個色成分之 ..1中減去分別抽出作爲該白色成分之値，利用此種處理 1.:;吏各色成分之強度各衰減指定量。利用此種衰減處理 爲可以去除由於各色彩之擴散反射光之混合所產生之 -11- 580557 白色成分，所以衰減處理後之各色成分之強度可以以良好 之精確度反映來自曲面體之表面之各色彩之鏡面反射光之 強度。 其次在變更各色成分之強度之處理時，使該衰減處理後 變成最大之色成分之強度，更大於衰減處理前之強度，和 使衰減處理在各色成分之強度之總和所產生之損失成爲接 近原來之強度總和之値，利用此種方式，對各色成分補充 指定量之強度。 籲 例如，可以求得進行該衰減處理前之各色成分之強度之 總和，與衰減處理後之各色成分之強度之總和之比率，依 照該比率使衰減處理後之各色成分之強度倍增。另外，亦 可以使作爲該白色成分之被除去之強度，依照衰減處理後 之強度之比率，分配到各色成分，然後進行加算。 另外，在該強度變更處理時，最好使各色成分之強度之 總和回復到與衰減處理前相同之値。依照此種方式時，因 $ 爲可以使曲面體像之亮度成爲與衰減處理前相同，所以在 與未進行處理之曲面體像之周圍部份之間不會有亮度不同 ，即使觀看教學或目視檢查用之顯示圖像時，亦不會產生 失調感。另外，當具有充分之亮度用來辨識各色彩之分布 狀態，假如對周圍之亮度不會產生大差異時，各色成分之 強度之總和即使成爲低於衰減處理前之値時，亦不會有問 題。 利用上述之白色成分之抽出處理和強度之衰減處理，除 -12- 580557 去各色彩光在辨識對象之曲面上擴散反射所產生之白色成 _ 分，各色彩產生以與各個鏡面反射光之強度對應之狀態分 布之圖像。另外，因爲利用強度之變更處理，可以調整由 於該衰減處理而變暗之圖像使其亮度成爲可以進行色彩之 確認，和校正成使與曲面體表面之傾斜角度對應之色成分 成爲更強，所以在最優勢之各個成分與其他之色成分之間 可以具有充分之差異。因此，對於曲面體可以穩定的進行 高精確度之檢查。 鲁 本發明之第2檢查方法所包含之步驟有：從對檢查對象 面之仰角不同之多個方向，分別照射不同之色彩光，在照 明之狀態下，對來自擴散反射面之反射光進行攝影，該擴 散反射面對該檢查對象面具有任意之傾斜角度；在該攝影 所獲得之圖像中之擴散反射面像中，決定各色成分之強度 之調整倍率，使與來自該傾斜角度對應之仰角方向之光之 對應色成分，大於其他之色成分；在與該擴散反射面之攝 0 影時之同樣照明狀態下，對來自檢查對象面之曲面體之反 射光進行攝影；在包含有利用該攝影所獲得之圖像中之曲 面體像之圖像區域，根據該調整倍率調整各色成分之強度 ;在該調整處理後之該圖像區域，實行抽出處理，對每一 個圖素抽出由於各色彩之混合所產生之白色成分之強度， 和衰減處理，用來使各圖素之色成分之強度分別衰減與該 圖素有關之被抽出白色成分之強度之對應値；實行各色成 分之強度之變更處理，對於該衰減處理後之各個圖素，使 -13- 580557 各個圖素之各色成分中之強度最大之色成分比衰減處理前 / 強’和用來補償由於該衰減處理在該圖素之各色成分之強 _ 度之總和所產生之損失；和根據該強度之變更處理後之圖 - 像中之各色彩之分布狀態，實行與該曲面體之表面狀態之 檢查有關之處理。 在該擴散反射面像中「來自與傾斜角度對應之仰角方向 之先」是指將具有該傾斜角度之面配備在可以檢測之仰角 方向之光源之光。換言之，是指在將該擴散反射面替換成 0 爲具有同樣之傾斜角度之鏡面之情況時，配備在可以將鏡 面反射光引導到攝影裝置之方向之光源之光。 例如在該第9圖之構造中，當該擴散反射面之傾斜角度 被設定成爲與焊接之平坦面對應之角度之情況時，「來自與 傾斜角度對應之仰角方向之光」變成爲紅色光。另外，當 傾斜角度被設定成爲與焊接之緩傾斜面對應之角度之情況 時’該光變成爲綠色光，同樣的，當傾斜角度被設定成爲 與焊接之急傾斜面對應之角度之情況時，該光變成爲藍色 鲁 光。 對來自該擴散反射面之反射光進行攝影之步驟，和用以 決定各色成分之強度之調整位率之步驟是在檢查之前實行 。該等之步驟最好在變更擴散反射面之傾斜角度之同時重 複進行多次。例如，將擴散反射面順序的設定在成爲各色 彩光之檢查對象之傾斜角度，同時對每一個傾斜角度，在 各色彩光之照明狀態下進行攝影，在所獲得之圖像中，對 -14- 580557 各色成分之強度調整倍率，使與該擴散反射面之傾斜角度 對應之色成分大於其他之色成分。然後，綜合每一個傾斜 角度之調整結果，用來決定最後之調整倍率。 對來自檢查對象面上之曲面體之反射光進行攝影之步驟 以後之各個步驟，在檢查時進行。亦即，在檢查時對來自 檢查對象之曲面體之反射光進行攝影，對於所獲得之圖像 中之曲面體像，首先根據該調整倍率，調整各色成分之強 度，然後實行該白色成分之抽出處理，強度之衰減處理， 強度之變更處理之各個處理，使用處理後之圖像，實行與 曲面體之表面狀態之檢查有關之處理。 依照上述之方法時，因爲對於與各個光源之配置方向對 應之傾斜面之圖像，進行調整用來強調當傾斜面爲鏡面時 之成爲優勢之色成分，所以在檢查對象之曲面體之表面之 擴散反射性變高，各色成分間不容易出現強度之差異之情 況時，與表面成爲鏡面之曲面體同樣的，可以獲得與傾斜 角度對應之色彩分布。另外，因爲在實行該調整之後，實 行白色成分之抽出處理，強度之衰減處理，強度之變更處 理之各個處理，所以可以去除由該擴散反射光造成之影響 ，可以獲得使各個色彩之分布狀態明顯化之圖像。 另外，在決定該強度之調整倍率之步驟中，並不只限於 ::馬該擴散反射板之方法，亦可以對表面形狀爲已知之模 ΐ之曲面體進行攝影，設定調整倍率使在該圖像上之與各 ι兴源對應之傾斜面之圖案成爲與各個光源對應之色彩圖 -15- 580557 案。 一 另外，倍率之調整並不只限於對數位圖像上之色成分之 強度，亦可以對類比之圖像信號設定倍率。例如將來自攝 影裝置之類比圖像取入圖像處理裝置藉以進行處理，在此 種情況時可以在圖像處理裝置側調整被輸入之圖像信號之 增益。另外，其代替方式是亦可以調整攝影裝置側之輸出 增益。 在該圖像信號之增益調整時，最好依照各色彩光之方向 鲁 順序的變更擴散面之傾斜角度，同時進行增益調整，在各 個傾斜角度使與傾斜角度對應之色成分大於其他之色成分。 但是，在調整色成分之強度之方法中，可以只調整與檢 查對象之曲面體像對應之圖像區域，與此相對的，在調整 類比之圖像信號之情況時，在曲面體以外之部位（例如基板 之表面，零件之上面等）亦同樣的被調整。但是對於任何一 個部位，因爲調整與其表面之傾斜角度對應之色成分使其 變強，所以假如依照傾斜角度可以明白產生何種色彩時， 因爲確認圖像顯示，所以不會產生嚴重之故障。 在上述之第1和第2之各個檢查方法中，在與曲面體之 表面狀態之檢查有關之處理，使包含有該強度之變更處理 後Z圖像中之該曲面體像之圖像區域之各個色彩之分布狀 與預先設定之模態資料進行比較，可以用來判別該曲 之表面狀態是否良好。該模態資料之獲得是利用與檢 .::司樣之照明條件和攝影條件，對預定之模態之曲面體 -1 6- 580557 進行攝影，對所獲得之圖像，實行白色成分之抽出處理， 強度之衰減處理，和強度之變更處理等（在採用第3方法之 情況時，在該等處理之前實行根據調整倍率調整各色成分 之強度之處理）。 另外，模態資料最好由多個色彩圖案構成，其獲得是對 各個色成分利用指定之臨限値使該曲面體像2進制化。在 此種情況，可以在檢查時，使包含有各種處理後之曲面體 像之圖像區域，同樣的利用2進制化臨限値進行2進制化 鲁 ，使所獲得之各色彩圖案之特徵量（面積，重心位置等）與 模態資料之特徵量進行比較。在該比較時，當認定兩者間 之差異在容許範圍內之情況，就判定檢查對象之曲面體之 表面形狀爲良好。 另外，用以抽出該色彩圖案之2進制化臨限値，和成爲 比較處理時之判定基準値之模態資料之特徵量最好登錄在 記憶器內。 依照上述之方法時，在自動檢查具有擴散性之曲面體之 ® 表面狀態之情況，可以穩定的進行高精確度之檢查。 另外一方面，在目視檢查該曲面體之表面狀態之情況， 與該檢查有關之處理可以包含有：顯示處理，用來顯示該 強度之變更處理後之圖像；和受理處理，對於該被顯示之 圖像中之該曲面體像，用來受理表示是否良好之判斷結果 之資料之輸入。依照此種方法時，因爲可以對檢查員提示 使與曲面體表面之傾斜狀態對應之各色彩分布狀態明瞭化 -17- 580557 之圖像，所以可以正確的進行曲面體像之表面狀態是否良 好之判斷，與自動檢查之情況同樣的，可以穩定的進行高 精確度之檢查。 其次，本發明之第1基板檢查裝置具備有：照明裝置， 將用以發出不同色彩光之多個光源配備成對檢查對象之基 板面成爲在互不相同之仰角之方向；攝影裝置，用來對來 自該基板之反射光進行攝影；圖像輸入裝置，在該照明裝 置之各個光源被點亮之狀態，取入該攝影裝置所產生之圖 · 像；白色成分衰減裝置，在包含有由該圖像輸入裝置取入 之輸入圖像中之焊接圖像之圖像區域，用來實行抽出處理 ，對每一個圖素抽出各色彩之混合所產生之白色成分之強 度，和衰減處理，用來使各圖素之色成分之強度分別衰減 與該圖素有關之被抽出白色成分之強度之對應値；強度校 正裝置，對於該衰減處理後之各個圖素，實行各色成分之 強度之變更處理，使各個圖素之各色成分中之強度最大之 色成分比衰減處理前強，和用來補償由於該衰減處理在該 圖素之各色成分之強度之總和所產生之損失；判別裝置， 在該強度之變更處理後之圖像中之該圖像區域，使各色彩 之分布狀態與預先設定之模態資料進行比較，用來判別該 焊接之表面狀態；和輸出裝置，用來輸出該判別裝置之判 別結果。 在該照明裝置中可以設置例如對每一個色彩具有不同直 徑之環狀之光源。多個光源例如可以使用3種之光源用來 -18- 580557 發出紅（R)、綠（G)、藍（B)之各色彩光，但是並不只限於此 種方式，亦可以包含有用以發出三原色以外之色彩光之光 源或白色照明用之光源。 攝影裝置可以由能夠產生各色彩之圖像信號之C C D攝 影機構成。圖像輸入裝置被組合到用以進行檢查用之圖像 處理之裝置本體內，用來產生成爲處理對象之圖像，其構 成包含有：放大電路，用來對來自該攝影裝置之圖像信號 進行放大處理；和A/D變換電路，用來產生處理用之數位 · 圖像。 另外，攝影裝置不只限於用以產生類比之圖像信號者， 亦可以使用數位攝影機。在此種情況，圖像輸入裝置被構 建成爲輸入埠口，用來個別的取入各個色彩之數位圖像資 料。 白色成分衰減裝置，強度校正裝置，判別裝置之各個裝 置成爲該裝置本體內之控制主體，最好由用以實行與各個 裝置對應之程式之CPU構成。但是，該等之裝置並不只限 於CPU，亦可以使其一部份之裝置由ASIC(特定用途之1C) 等之專利零件構成。 輸出裝置可以構建成爲介面電路，用來將該判別裝置之 判別結果輸出到外部裝置。另外，作爲輸出裝置者亦可以 具有：顯示裝置，用來顯示該判別結果；和資訊記憶裝置 ，用來將該判別結果收納在指定之記憶媒體。 白色成分衰減裝置經由實行上述之白色成分之抽出處理 -19- 580557 和強度之衰減處理，用來將被輸入之圖像，變換成爲去除 來自檢查對象之焊接表面之擴散反射光影響之圖像。強度 ~ 校正裝置經由實行上述之強度變更處理，用來補充由於強 度之衰減處理所失去之圖像之亮度，和調整該衰減處理後 之圖像，成爲更加強調最優勢之色成分。 判別裝置抽出強度變更處理後之圖像中之各色彩圖案， 使該色彩圖案與模態資料進行比較，用來判別焊接之表面 狀態是否良好。與模態資料之比較之進行，可以如上述之 · 方式，使各色彩圖案之特徵量與模態資料之特徵量進行比 較。 另外，爲著進行該判別處理，在該基板檢查裝置最好設 有記憶器，用來登錄用以抽出該色彩圖案之2進制化臨限 値，和依照模態資料之特徵量之判定基準値。（模態資料不 一定要登錄在記憶器。經由登錄2進制化臨限値，可以視 爲登錄有模態資料）。 另外，在該基板檢查裝置最好設有：顯示裝置，用來顯 示教學處理用之圖像；和滑鼠，鍵盤，控制板等之輸入裝

在該基板檢查裝量中，對 利用白色成分衰減裝置和 浚之圖像嚴广在顯示裝* 裝置之圖像」:：之適：於2

580557 登錄處理。 另外，在檢查時因爲利用白色成分衰減裝置和強度校正 裝置之處理，根據明瞭化之色彩分布進行自動檢查，所以 可以穩定的進行高精確度之檢查。 其次，本發明之第2基板檢查裝置具備有：與該第1裝 置同樣之照明裝置，圖像輸入裝置，白色成分衰減裝置， 強度校正裝置之各裝置；顯示裝置，用來顯示該強度校正 裝置進行強度變更處理後之圖像；和輸入裝置，對於該顯 示裝置所顯示之圖像中之焊接圖像，受理用以表示是否良 好之判斷結果之資料輸入。 該顯示裝置之構成包含有：顯示器，由CRT，CLD等構 成；和D/A變換電路或介面等，用來在該顯示裝置調整處 理後之圖像。先前所述之第1基板之顯示裝置亦與此相同。 輸入裝置亦與該第1基板檢查裝置同樣的，可以由滑鼠 ，鍵盤，控制板等構成。另外，由輸入裝置輸入之資料， 可以輸出到外部之裝置等，或保存在指定之記憶媒體。 依照該第2基板檢查裝置時，對於檢查對象之焊接，因 爲使經過白色成分衰減裝置和強度校正裝置處理後之顯示 在顯示裝置，所以根據依照焊接表面之傾斜狀態被明瞭化 Z.色彩分布，可以有效的進行正確之目視，可以穩定的進 ::Γ :靑確度之檢查。 匕. ':、，在該第1和第2基板檢查裝置可以具備有強度調 ：；:；：；-：1，在包含有該圖像輸入裝置所取入之輸入圖像中之 2 580557 焊接圖像之圖像區域，根據預先設定之各色成分之強度之 調整倍率，用來調整各色成分之強度。此種情況之白色成 分衰減裝置被設定成爲以該強度調整裝置進行調整處理後 之圖像作爲處理對象。 另外，該強度調整裝置之實現可以經由在設定有該白色 成分衰減裝置或強度校正裝置之電腦，組合用以實行該裝 置之程式。另外，決定後之調整倍率亦可登錄在該電腦之 記憶器。 或是強度調整裝置亦可以構建成用來調整攝影裝置側之 輸出增益，或圖像輸入裝置所取入之放大處理時之增益。 該各色成分之強度調整所使用之調整倍率之決定是在點 亮該照明裝置之各個光源之狀態下，在利用該攝影裝置攝 影對該基板面具有任意之傾斜角度之擴散反射面時之輸入 圖像中之該擴散反射面像，以來自該傾斜角度對應之仰角 方向之光之色成分比其他之色成分大之方式，用來決定每 一個色成分之調整倍，率。 依照具備有該強度調整裝置之基板檢查裝置時，在實行 白色成分之抽出處理和強度之衰減處理之前，因爲對檢查 對象之焊接之圖像，進行調整處理用來強調與焊接表面之 傾斜角度對應之色成分，所以在以具有擴散反射性之無鉛 焊接作爲檢查對象之情況時，除了可以獲得與該焊接之表 面傾斜狀態對應之色彩分布外，可以去除擴散反射光之影 響，可以明瞭該色彩之分布狀態。 -22- 580557 (四）實施方式： [發明之實施例] 第1圖表示本發明之一實施例之基板檢查裝置之構造。 該基板檢查裝置由攝影部3，投光部4，控制處理部5， X軸載物台部6，和Y軸載物台部7構成，用來處理對檢 查對象之基板進行攝影所獲得之圖像。 另外，圖中之i T是檢查對象之基板（以下稱爲「被檢查 基板1 T」。另外，1 S是焊接狀態或零件之組裝狀態良好之 基準基板，使用在檢查前之教學時。 該Y軸載物台部7具備有用以支持基板1 S、1 T之輸送 帶2 4，利用圖中未顯示之馬達使輸送帶2 4移動，該基板 1 S、1 T沿着Y軸方向（圖中之與紙面正交之方向）移動。該 X軸載物台部6，在Y軸載物台部7之上方，用來支持攝 影部3和投光部4，使該等沿著X軸方向（圖中之左右方向） 移動。 該投光部4由具有不同直徑之3個圓環狀光源8、9、1 0 構成。該等之光源8、9、1 0分別用來發出紅色光、綠色光 、藍色光之各個彩色光，使中心對準觀測位置之正上位置 ，從該基板1 S、1 T之支持面看時，被配置成位於與不同 之仰角對應之方向。 該攝影部3是彩色圖像產生用之C C D攝影機，其光軸對 應到各個光源8、9、1 0之中心，而且被定位成沿著鉛直方 -23- 580557 向。利用此種方式，來自覯測對象之基板1 s、1 T之反射 光射入到攝影部3，被變換成爲三原色之彩色信號R、G、 ' Β，然後輸入到控制處理部5。 控制處理部5是以C P U 1 1作爲控制主體之電腦，其構 成包含有圖像輸入部1 2，記憶器1 3，攝影控制器1 4，圖 像處理部1 5，X Υ載物台控制器1 6，檢查部1 7，教學表1 8 ，輸入部1 9，C RT顯示部2 0，印刷機2 1，發訊/收訊部2 2 ，和外部記憶裝置2 3等。 φ 圖像輸入部1 2具備有放大電路用來對來自攝影部3之R 、G、Β之各個圖像信號進行放大，和A/D變換電路等用 來將該等圖像信號變換成爲數位信號。記憶器1 3設定有圖 像收納區域用來收納各個色彩之數位量之濃淡圖像資料， 和對該等之濃淡圖像進行2進制化處理所獲得之2進制圖 像等。另外，在該記憶器1 3收納有R、G、Β之各色調之 調整倍率等用以進行後面所述之強度調整處理。 攝影控制器1 4具備有介面等用來使攝影部3和投光部4 ^ 連接到C P U 1 1，根據來自C P U 1 1之命令調整投光部4之 各個光源之光量，和進行使攝影部3之各色彩色光輸出保 持互相平衡等之控制。 X Υ載物台控制器1 6包含有介面等用來使該X軸載物台 部6和Υ軸載物台部7連接到C P U 1 1，根據來自C P U 1 1 之指令，用來控制X軸載物‘台部6和Υ軸載物台部7之 移動動作。 -24- 580557 教學表1 8是用來記憶每一個基板之檢查用資料之記憶 部。在該教學表1 8收納有判定檔案，集合有：各種基板之 檢查區域之設定位置和大小；在各個檢查區域內抽出R、G 、B之各個色彩圖案所需要之2進制化臨限値（包含各色成 分之2進制化臨限値外之亮度之2進制化臨限値）；和依照 抽出之色彩圖案進行良否判定之基準値（設定在色彩圖案 之位置，大小等之每一個特徵量）等之檢查資訊。該等之判 定檔案在檢查之前，使用對該基準基板1 S進行攝影所獲得 之圖像，由有關人員告知，在檢查時利用C P U 1 1讀出將 其設定在記憶器1 3等，和供給到圖像處理部1 5和檢查部 1 7等。 圖像處理部1 5，從被收納在記憶器1 3之R、G、B之各 個圖像資料中，以圖素爲單位，抽出R、G、B之各個色調 ，和利用該等之色調之總和所表示之亮度。另外，圖像處 理部1 5使用上述之2進制化臨限値，使各個撿查區域之圖 像資料順序的進行2進制化，用來抽出R、G、B之各個色 彩圖案。 檢查部接受:教學V: 1 £之判定基準値等之供給，使 _用該圖像處理部1 5 ft出之各個色彩圖案之特徵量與判 f 3準値進行比較等，g定焊接之形成位置，大小，形狀 ^否良好：將其判定？:：3(¾出到CPU 11。CPU 11綜合 :::;撿查區域之判定結果，用來判定被檢查基板1 T是否 。將其f ^ 产輸出到CRT顯示部20或印 580557 刷機2 1，或發訊/收訊部2 2。 該輸入部1 9由鍵盤或滑鼠等構成，用來輸入檢查用之各 種條件和檢查資訊。CRT顯示部20(以下簡稱爲「顯示部」） 接受來自C P U 1 1之圖像資料，檢查結果，來自該輸入部 1 9之輸入資料等之供給，將其顯示在顯示畫面上。另外， 印刷機2 1接受來自C P U 1 1之檢查結果等之供給，以預定 之形式將其印出。 發訊/收訊部22用來進行與零件組裝機，焊接裝置等其 他裝置之間之資料授受，例如對於判定爲不良之被檢查基 板1 T，經由將其識別資訊和不良內容發訊到後段之修正裝 置，可以快速的修正不良地方。外部記憶裝置2 3是用來將 資料讀寫到軟碟，光碟等之記錄媒體之裝置，用來保存該 檢查結果和用來從外部取入檢查所需要之程式和設定資料。 另外，在上述之構造中，圖像處理部1 5和檢查部1 7由 組合有用以實行上述之各個處理之程式之專用處理機構成 。但是，並不一定要設置專用之處理機，亦可以使進行主 控制之C P U 11，具有圖像處理部1 5和檢查部1 7之功能。 在本實施例之基板檢查裝置中，從基板面看到之仰角爲 5〜15°之範圍之平坦面，15〜22.5°之範圍之緩傾斜面，22.5 〜3 5°之範圍之急傾斜面用來決定各個光源8、9、10之 」、方向，分別以R、G、B檢測。 厂，在本實施例中，利用來自各個光源8、9、1 0之光 d ，施加白色照明，代替基板者，使用白色之擴散反 -26- 580557 射板，用來調整各個光源8、9、1 0之光量。該調整之進行 是將該擴散反射板設置成使其板面沿著水平方向，以此狀 ^ 態進行攝影，調整各個光源8、9、1 0之光量，使圖像上之 擴散反射面之色彩成爲與實物相同之白色。 第2圖表示在利用完成光量調整之光源8、9、1 0進行照 明，在對擴散反射板攝影時所獲得之R、G、B之各個色調 與擴散反射板之傾斜角度（圖中以基板面之仰角表示）之關 係。 · 該光量調整因爲通常是在將擴散反射板設置在水平方向 之狀態進行，所以與該平坦面對應之傾斜角度是使與該傾 斜角度對應之R之強度與其他之G、B之強度成爲大致相 同之値，其結果是在圖像不出現紅色之圖案，而是出現白 色之色彩圖案。另外，在緩傾斜面或急傾斜面，與該等面 之傾斜角度對應之色彩成爲稍微之優勢，其結果是G、B 之各個色彩圖案出現白色狀態。 利用此種設定之光學系觀測無鉛焊接時，不會產生如該 擴散板之顯示之狀態，依照焊接表面之擴散反射性，對於 任何一個傾斜面，均可以使R、G、B之各色成分間之色調 差變小。該差之情況依照焊接表面之凹凸狀態成爲各式各 樣，特別是在擴散反射性很高之情況時，圖像上之白色成 分變大，全體產生帶有白色之圖像。在此種裝置當教學時 ，設定2進制化臨限値用來指定被顯示在圖像上之具有與 各色彩圖案對應之色之圖像區域，但是當此種圖像變成帶 -27- 580557 有白色時，要看淸適於2進制化臨限値之圖像區域變爲困 難，會產生使教學效率降低之問題。另外，當各色成分間 之色調之差變小時，要使檢查精確度穩定會有困難爲其問 題丨。 在本實施例中，當以無鉛焊接作爲檢查對象之情況時， 施加處理（以下稱該處理爲「強度調整處理」），利用與傾 斜角度對應之調整値用來調整各色成分之強度，或施加處 理（以下稱該處理爲「脫白處理」），用來去除由於各色成 分之混合所產生之白色成分。然後在教學時，顯示利用該 等之調整處理後之圖像，接受2進制化臨限値和判定基準 値之設定操作，用來產生檢查資訊。因此，在檢查時，對 檢查對象之圖像施加同樣之調整，使該2進制化臨限値和 判定基準値適用在該調整後之圖像，用來判定焊接部位是 否良好。 下面將說明強度調整處理和脫白處理之詳細內容。 在強度處理時，在每一個圖素使R、G、B之各個色調分 別乘以指定之倍率，用來調整圖像。此處所使用之倍率如 第3圖所示，使該擴散反射板3 0順序的設定成爲與各個光 源8、9、1 0之配置方向對應之傾斜角度，同時進行攝影， 經由調整各個傾斜角度所獲得之圖像之色調，可以來用決 定倍率。另外，亦可以取入形狀爲已知之焊接部位之圖像 ，調整該圖像上之各個色彩圖案使其與該焊接之形狀對應 ，以此方式決定倍率。 -28- 580557 在本實施例之基板檢查裝置中，以使用前者之擴散反射 板3 0之方法，在與平坦面，緩傾斜面，急傾斜面之各面對 應之傾斜角度範圍（5〜1 5 °，1 5〜2 2 · 5 °，2 2 · 5〜3 7 . 5 °之各 個範圍），以在該角度範圍之成爲優勢之色成分之色調大於 其他色成分之色調之方式，用來設定各色成分之調整倍率 ，所獲得之各個倍率是對R色調爲1 . 〇 7，對G色調爲1 . 0 3 ，對B色調爲1 . 0 0。第4圖表示進行該強度調整後，有關 於該擴散反射板所獲得之色調之特性，出現比其他色彩優 勢之色彩在與平坦面對應之角度範圍爲R，在與緩傾斜面 對應之角度範圍爲G，在與急傾斜面對應之範圍爲B。 上述之倍率是用來維持各個光源8、9、1 0之配置方向和 各個色彩之檢測範圍之關係所必要之設定値，所以光源8 、9、1 0之配置關係最好維持不變。 例如只使R色調之倍率變大時，該第4圖之R色調之特 性曲線會移動到上方，其結果R成爲優勢之角度範圍變大 ，在緩傾斜面側之一部份亦出現R之色彩圖案，各個光源 之配置方向和檢查範圍之關係會產生混亂。 以此方式設定之調整倍率被保存在記憶器1 3等，然後， 在處理包含無鉛焊接之檢查區域之圖像之情況，或依照有 關人員之指定，使用該被登錄之倍率，對輸入之圖像資料 實行強度調整處理。 其次在脫白處理，與該強度調整處理同樣的，以圖素爲 單位調整構成處理對象之圖像之R、G、B之各個色調。在 -29- 580557 本實施例中是連續的實行：白色成分除去處理，用來除各 色成分中之分別由3色之成分混合產生之白色成分；和強 ^ 度校正處理，對於由於白色成分除去而降低之圖像之亮度 ，使其回復白色成分除去前之亮度，用來維持各色成分間 之強度之優劣關係。 第5圖表示白色成分除去處理之原理。 該白色成分除去處理之前提是該強度調整處理後之R、G 、B之各色成分在與本來之鏡面反射光對應之色成分，附 · 加由於各色彩光之擴散反射所產生之白色成分者。 亦即，當白色成分除去處理前之各色調爲（Rin、Gin、Bin) ，白色成分除去處理後之各色調爲（R m、G m、B m )，根據本 來之鏡面反射光之色調爲（Rs、Gs、Bs)，各色成分所含之 白色成分之強度爲C(以下簡稱爲「白色成分C」）時，如下 列之（1)式所示，白色除去處理後之各色成分成爲等於本來 之色成分。 (R m G m ' B m ) 二（R;n-C、G丨 „-C、Bm-C)

K. ^ (j ^ ΰ 成分c :從 580557 R、G、B之各色調中減去最小之色調C。 在此處當根據代表性之色相算出定義之Η I S變換，求得 表示處理後之色成分（Rm、Gm、Bm)之色相Hm時，如（2)式 所示之方式，該色相Hm變成爲與白色成分除去處理前之 色成分（R i n、G i n、B i n)所示之色相H i n相同之値。

Hm·

Gm— Β η

Rm — Gm — 2Br (Gin — C) — (Bin— C) (Rin -CJ + (Gin -Q- 2(Bin - C)

Gin — Bin

Rin^Gin— 2B i .(2) 其次在強度之校正處理時，以利用R、G、B之各色調之 總用來表示亮度之方面來看，使用進行該白色成分除去處 理之前之亮度Lin和處理後之亮度Lm，如下列之（3)式所示 ，甩來使處理後之各個色成分（Rm、Gm、Bm)倍增，將其結 果決定作爲最後之調整處理圖像之色成分（R〇ut、Gwt、Β。^)。

R〇u-zRm X

Rin+Gin + B in

Gm X

zBm X

Rm+Gm + Bm Rin+Gin + Bfn 、Rm+Gm+Bm Rin+Gin + Bin Rm^Gni+Bnj (3) ，依照上述之處理所求得之最後之色成分（R。u t、G )時，如（4 )式所示，調整處理後之圖像之亮度L。u -3 1 - 580557 變成與白色成分除去處理前之圖像之亮度Lin相等。 L〇l(tz==R〇ui+ Gouf + Bour

Rm^Gjn + Bin =(Rm+GMx Rm+Gm^ 二 Rh' + Gin+Bin , =Lin · · · (4) 依照此種方式，因爲利用2個階段之處理，在維持處理 前之圖像之色相和亮度之狀態，可以除去由於擴散之各色 成分之混合所產生之白色成分，所以在與該平坦面，緩傾 鲁 斜面，急傾斜面之各面對應之角度範圍，可以分別對R、G 、B之色成分顯示明顯之圖像。 另外，在該強度之校正處理時是根據處理前之亮度和處 理後之亮度之比率，以均等之比例使各色成分倍增，但是 其代替者，亦可以利用第6圖之方法進行校正。 在第6圖之實例中，對於該白色除去處理後之各色成分 中之最大成分（圖中所示之實例爲R)，加上指定之値2a， 對於次大之成分（圖中所示之實例爲G)，加上該R之加算 値之一半之値a。 假如使加算値之成爲1個單位之a，成爲該白色成分除 去處理時之被除去之白色成分C之値時，以下列之（5 )式所 示之方式，使白色成分除去處理時被除去之3 C部份之亮 度復活，與先前之使各色成分倍增之方法同樣的，可以維 持處理前之圖像之亮度。 -32- 580557 - out — Rout + Gout + Bout - —(R m + 2 a ) + ( G m + a ) + Bm = Rm'(*Gm+Bm+3 a

=(R i π - C ) + ( G i n - C ) + ( B i n - C ) + 3 C = Rin + Gin + Bin =L j n · · · ( 5 ) 第7圖表示該基板檢查裝置之教學時之步驟。另外，在 該第7圖和以下之說明中，各個處理之步驟以「S T」表示。 鲁 在教學時，首先有關人員操作輸入部1 9，在登錄作爲教 學對象之基板名稱和基板之大小等之後，將該基準基板1 S 設定在Y軸載物台部7上，在該投光部4之照明下開始攝 影（S T 1 )。利用該處理將R、G、B之各個圖像信號取入到 圖像輸入部1 2之後，施加數位變換處理，將處理對象之彩 色濃淡圖像資料輸入到該記憶器1 3內。然後，將該被輸入 之彩色圖像顯示在該顯示部2 0。 有關人員將攝影部3和投光部4定位在指定之被檢查部 位進行攝影，對所獲得之被檢查部位，使用滑鼠等用來指 定檢查區域。接受該指定操作之C P U 1 1前進到S T 2，取 入該檢查區域之設定位置和大小，將其暫時的保存在記憶 器1 3內（S T 2 )。然後在下一個之S T 3，對該檢查區域內之 各個圖素，分別抽出R、G、B之各個色調。 另外一方面，在該檢查區域包含有焊接部位之情況時， 有關人員輸入用以表示該信息之識別資訊，繼續該檢查區 -33- 580557 域之設定操作。利用該識別資訊之輸入，在S Τ 4變成爲 「Y E S」，對於該檢查區域內之各個圖素，順序的實行上述 之強度調整處理，白色成分除去處理，和強度校正處理（S Τ 5 〜7 ) 〇 另外，圖中未顯示者，當進行該ST5〜7之處理時，在 該顯示部2 0，將與檢查區域對應之顯示變換成爲該最後調 整處理後之色調（R〇ut、GQUt、BQut)之圖像。其次當有關人 員參照該圖像，同時爲著抽出表示焊接部位之各個色彩圖 案而輸入最佳之2進制化臨|^艮値時，C P U 1 1就取入該設定 値，以與該檢查區域之設定資料（位置或大小）具有對應關 係之方式將其保存在該記憶器1 3 ( S T 8 )。另外，在S T 9從 依照該等2進制化臨限値抽出之各個色彩圖案中，焊接之 面積、形狀、位置等，根據該等之計測値，用來設定該判 定處理用之基準値。 以下同樣的，對基板上之被檢查部位順序的攝影，在進 行檢查區域之設定後，實行2進制化臨限値和判定基準値 之設定用之一連貫之處理。另外，對於焊接部位以外之被 檢查部位，因爲不進行該識別資訊之輸入，所以S T 4變成 爲「Ν Ο」，跨越S T 5〜7之處理，直接使用被輸入之圖像 用來進行設定處理。 依照此種方式，當完成所有之被檢查部位之設定時，S T 1 〇變成爲「Y E S」，在S Τ 1 1，對於各個被檢查部位，利用 被暫時保存在記憶器1 3之檢查資訊用來製成判定資料檔 案，將其保存在教學表1 8。另外，在該判定資料檔案，在 被指定作爲該焊接部位之檢查區域之檢查區域，設定有識 別用之旗標。 第8圖表示基板檢查裝置之自動檢查之步驟。另外在該 -34- 580557 圖中其步驟以S Τ 2 1以後之符號表示。另外，該第8圖之 步驟是對1片之基板進行者，通常需要重複與被檢查基板 之數目對應之次數。 在該檢查之前，有關人員依照基板名稱等用來指定被檢 查基板1 Τ之種類。C P U 1 1依照該指定從教學表1 8中讀出 與該被檢查基板1 Τ對應之判定資料檔案，將其設定在記 憶器1 3內。在此種狀態下，當開始操作時，在最初之S Τ 2 1 ，將被檢查基板1 Τ搬入到Υ軸載物台部7，然後開始攝影。 其次C P U 1 1根據該判定資料檔案內之檢查區域之設定 資料，將攝影部3和投光部4定位在最初之被檢查部位， 用來產生該被檢查部位之圖像，在該圖像上設定檢查區域 。當在該檢查區域設定有上述之識別用之旗標時，S Τ 2 3 變成爲「Y E S」，然後順序的進行強度調整處理，白色成分 除去處理，強度校正處理，用來調整該檢查區域內之圖像 資料-(ST 24 〜26)。 然後，、在s Τ 2 7根據該2進制化臨限値，用來使檢查區 笈內之濃淡圖像2進制化，藉以抽出R、G、Β之各色彩圖 案。然後在下一個之ST28，使用被抽出之各個色彩圖案 ，計測焊接之面積、形狀、位置等，使該計測結果和該判 定Ρ準値進行比較，用來判定焊接部位是否良好。 以下，同樣的根據判定資料檔案內之設定資料，在設定 1被檢查部位被順序攝影之檢查區域後，根據該區域內 一像資料，判定被檢查部位是否良好。另外，對於焊接 :::以外之檢查區域，該ST23之判定成爲「NO」，跨越 .24〜26之處理，直接使用輸入圖像，用來進行2進制 處理和判定處理。 -3 5-

X X580557 當對所有之被檢查部位完成判定處理時，S Τ 2 9變成爲 「Y E S」，以下在S Τ 3 0〜3 2，根據對各個被檢查部位之判 一 定結果，對於被檢查基板1 Τ，進行良品或不良品之判定處 ~ 理。然後，在S Τ 2 3，輸出該判定結果，結束對該被檢查 基板1 Τ之檢查。 依照上述之方式，在本實施例之基板檢查裝置中，在以 裝載有無鉛焊接之基板作爲檢查對象之情況時，利用強度 校正處理調整圖像上之平坦面，緩傾斜面，急傾斜面，分 別使與其面對應之色成分大於其他之色成分，和利用脫白 φ 處理除去各色成分之帶有白色，所以利用R、G、Β之各色 彩可以明瞭的表示焊接之各個斜面。因此在教學時，因爲 利用該調整處理後之圖像設定2進制化臨限値，所以可以 不會迷惑的讀取適當之部份，可以有效的進行2進制化臨 限値和判定基準値之設定。另外在檢查時，亦可以使該2 進制化臨限値和判定基準値適用在進行同樣之調整處理後 之圖像，可以進行穩定之檢查。 [發明之效果] 在本發明中，照明系將用以發出不同色彩光之多個光源 肇 配置在互不相同之仰角之方向，當使用該照明系對如同無 鉛焊接之具有擴散反射性之曲面體之表面狀態進行檢查時 ，以包含圖像中之曲面體像之圖像區域之色彩之分布狀態 [:爲明瞭之方式進行處理，另外，實行與檢查有關之處理 • 3以可以穩定的進行高精確度之檢查。 ::::圖式簡單說明： 第1圖是方塊圖，用來表示本發明之一實施例之基板檢 i /置之構造。 第2圖之圖形用來表示光源之光量調整後對擴散反射板 -36- 580557 之圖像所獲之色調之特性。 第3圖是說明圖，用來說明使用在強度調整處理之調整 倍率之決定方法。 第4圖之圖形用來表示強度調整處理後對擴散反射板之 圖像所獲得之色調之特性。 第5圖是說明圖，用來表示白色成分除去處理之一方法。 第6圖是說明圖，用來表示強度校正處理之一方法。 第7圖是流程圖，用來表示教學時之步驟。 第8圖是流程圖，用來表示檢查時之步驟。 第9圖是說明圖，用來表示基板檢查裝置之光學系之構 造和辨識處理之原理。 第10圖是說明圖，用來表示第9圖之光學系之辨識處理 之原理。 第1 1圖之圖形用來表示第1 〇圖之光學系所獲得之焊接 圖 像 上 之 色 調 之 特 性 〇 要 部 分 之 代 表 符 號 說 明 1 S ,1 T 基 板 2 焊 接 3 攝 影 部 4 投 光 部 5 控 處 理 部 8, 9, 1 0 光 源 11 CI 12 圖 像 輸 入 部 13 記 憶 PP 益 15 圖 像 處 理 部 2 0 CRT 顯 示 部 -3 7-

Claims (1)

1. 580557 拾、申請專利範圍 t 1 . 一種曲面體之表面狀態檢查方法，其包含步驟： - 從對檢查對象面之仰角不同之多個方向，分別照射不 # 同之色彩光，在照明之狀態下對來自該檢查對象面上之 曲面體之反射光進行攝影； 在包含利用該攝影所獲得之曲面體像之圖像區域，實 行抽出處理，對每一個圖素抽出由各色彩之混合所產生 之白色成分之強度，和衰減處理，用來使各圖素之色成 分之強度分別衰減與各個圖素之被抽出之白色成分之強 φ 度對應之値； 實行各色成分之強度之變更處理，對於該衰減處理後 之各個圖素，使各個圖素之各色成分中之強度最大之色 成分比衰減處理前強，和用來補償由於該衰減處理在該 圖素之各色成分之強度之總和所產生之損失；和 根據該各色成分之強度之變更處理後之圖像之各色彩 之分布狀態，實行與該曲面體之表面狀態之檢查有關之 處理。 2 . —種曲面體之表面狀態檢查方法，其包含步驟： φ 從對檢查對象面之仰角不同之多個方向，分別照射不 同之色彩光，在照明之狀態下，對來自擴散反射面之反 射光進行攝影，該擴散反射面對該檢查對象面具有任意 之傾斜角度； 在該攝影所獲得之圖像中之擴散反射面像中，決定各 色成分之強度之調整倍率，使與來自該傾斜角度對應之 仰角方向之光之對應色成分，大於其他之色成分； 在與該擴散反射面之攝影時之同樣照明狀態下，對來 自檢查對象面之曲面體之反射光進行攝影； -3 8- 580557 在包含有利用該攝影所獲得之圖像中之曲面體像之圖 像區域，根據該調整倍率調整各色成分之強度； 在該調整處理後之該圖像區域，實行抽出處理，對每 一個圖素抽出由於各色彩之混合所產生之白色成分之強 度，和衰減處理，用來使各圖素之色成分之強度分別衰 減與該圖素有關之被抽出白色成分之強度之對應値； 實行各色成分之強度之變更處理，對於該衰減處理後 之各個圖素，使各個圖素之各色成分中之強度最大之色 成分比衰減處理前強，和用來補償由於該衰減處理在該 圖素之各色成分之強度之總和所產生之損失；和 根據該強度之變更處理後之圖像中之各色彩之分布狀 態，實行與該曲面體之表面狀態之檢查有關之處理。 3 .如申請專利範圍第1或2項之曲面體之表面狀態檢查方 法，其中該曲面體之表面狀態之檢查之有關處理包含有 判別處理，使包含該強度變更處理後之圖像中之該曲面 體像之圖像區域之各個色彩之分布狀態，與預先設定之 形態資料進行比較，用來判別該曲面體之表面狀態是否 良好。 4 .如申請專利範圍第1或2項之曲面體之表面狀態檢查方 法，其中該曲面體之表面狀態之檢查之有關處理更包含 之處理有：顯示處理，用來顯示該強度之變更處理後之 圖像；和受理處理，對於該被顯示之圖像中之該曲面體 像，受理用以表示是否良好之判斷結果之資料之輸入。 5 . —種基板檢查裝置，其具備有： 照明裝置，將用以發出不同色彩光之多個光源配置成 對檢查對象之基板面成爲在互不相同之仰角之方向； 攝影裝置，用來對來自該基板之反射光進行攝影； 圖像輸入裝置，在該照明裝置之各個光源被點亮之狀 -3 9- 580557 態，取入該攝影裝置所產生之圖像； 白色成分衰減裝置，在包含有由該圖像輸入裝置取入 之輸入圖像中之焊接圖像之圖像區域’用來貫彳了抽出處 理，對每一個圖素抽出各色彩之混合所產生之白色成分 之強度，和衰減處理，用來使各圖素之色成分之強度分 別衰減與該圖素有關之被抽出白色成分之強度之對應値； 強度校正裝置，對於該衰減處理後之各個圖素，實行 各色成分之強度之變更處理，使各個圖素之各色成分中 之強度最大之色成分比衰減處理前強，和用來補償由於 該衰減處理在該圖素之各色成分之強度之總和所產生之 損失； 判別裝置，在該強度之變更衰減處理後之圖像中之該 圖像區域，使各色彩之分布狀態與預先設定之模態資料 進行比較，用來判別該焊接之表面狀態；和 輸出裝置，用來輸出該判別裝置之判別結果。 6.如申請專利範圍第5項之基板檢查裝置，其中 更具備有強度調整裝置，在包含有由該圖像輸入裝置 取入之輸入圖像中之焊接圖像之圖像區域，根據預先設 定之各色成分之強度之調整倍率，用來調整各色成分之 強度；和 該白色成分衰減裝置中以該強度調整裝置調整處理後 之圖像作爲處理對象。 ：一種基板檢查裝置，其具備有： 照明裝置，將用以發出不同色彩光之多個光源配置成 :〃：檢查對象之基板面成爲在互不相同之仰角之方向； 攝影裝置，用來對來自該基板之反射光進行攝影； 圖像輸入裝置，在該照明裝置之各個光源1被點亮之狀 態：取入該攝影裝置所產生之圖像； -40- 580557 白色成分衰減裝置，在包含有由該圖像輸入裝置取入 之輸入圖像中之焊接圖像之圖像區域，用來實行抽出處 理，對每一個圖素抽出各色彩之混合所產生之白色成分 之強度，和衰減處理，用來使各圖素之色成分之強度分 別衰減與該圖素有關之被抽出白色成分之強度之對應値； 強度校正裝置，對於該衰減處理後之各個圖素，實行 各色成分之強度之變更處理，使各個圖素之各色成分中 之強度最大之色成分比衰減處理前強，和用來補償由於 該衰減處理在該圖素之各色成分之強度之總和所產生之 損失； 顯示裝置，用來顯示該強度之變更處理後之圖像；和 輸入裝置，對於該顯示裝置所顯示之圖像中之焊接之圖 像，用來接受表示是否良好之判斷結果之資料之輸入。 8 .如申請專利範圍第7項之基板檢查裝置，其中 更具備有強度調整裝置，在包含有由該圖像輸入裝置 取入之輸入圖像中之焊接圖像之圖像區域，根據預先設 定之各色成分之強度之調整倍率，用來調整各色成分之 強度；和 該白色成分衰減裝置中以該強度調整裝置調整處理後 之圖像作爲處理對象。 9.妇申請專利範圍第6或8項之基板檢查裝置，其中 該各色成分之強度調整所使用之調整倍率是在該照明 置之各個光源被點亮之狀態下，使對該基板面具有任 之傾斜角度之擴散反射面，在利用該攝影裝置攝影時 k輸入圖像中之該擴散反射面像，使來自與該傾斜角度 應之仰角方向之光之對應色成分，大於其他之色成分 /乂此方式決定每一個色成分之倍率。 -4 1 -