TW577779B - Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres - Google Patents

Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres Download PDF

Info

Publication number
TW577779B
TW577779B TW090127527A TW90127527A TW577779B TW 577779 B TW577779 B TW 577779B TW 090127527 A TW090127527 A TW 090127527A TW 90127527 A TW90127527 A TW 90127527A TW 577779 B TW577779 B TW 577779B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
spheres
liquid
patent application
scope
sphere
Prior art date
Application number
TW090127527A
Other languages
English (en)
Inventor
Colin Edie
David B Keno
Christopher L Parfeniuk
Original Assignee
Honeywell Int Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell Int Inc filed Critical Honeywell Int Inc
Application granted granted Critical
Publication of TW577779B publication Critical patent/TW577779B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
    • B01J2/02—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops
    • B01J2/04—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops in a gaseous medium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/06—Metallic powder characterised by the shape of the particles
    • B22F1/065—Spherical particles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/10—Forming beads
    • C03B19/1005—Forming solid beads
    • C03B19/1045—Forming solid beads by bringing hot glass in contact with a liquid, e.g. shattering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/10—Forming beads
    • C03B19/1005—Forming solid beads
    • C03B19/1055—Forming solid beads by extruding, e.g. dripping molten glass in a gaseous atmosphere
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • B22F2009/0836—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid with electric or magnetic field or induction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • B22F2009/0896—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid particle transport, separation: process and apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Glanulating (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Combined Means For Separation Of Solids (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Description

77779
技術的領媸 本發明係有關於複數之球體及其形成方法。 發明之昔景· 現有的複數種應用中係期望形成具有一致之直徑、球脚 形狀以及表面特性的複數球體，就示範之應用而言係包= 形成圓柱封裝材料所用之玻璃及/或陶资珠；形成射鳥所用 又鉛、鉍、鎢或鋼珠；以及形成半導體加工應用裝置所使 用之軟焊料珠（或球）。 半導體加工應用裝置所使用之軟焊料珠的形成係為特別 j困難，因為對於該等焊料珠之一致性的需求係特別地 高。例如，一種使用軟焊料珠之示範性的半導體加工應用 裝置係為所謂的球狀栅格陣列加工，其中軟焊料珠係被轉 移至一半導體元件（或是封裝）並接著被熔化相關於元件形 成電氣互連。該等軟焊料珠係藉由將其滾動橫越其中具有 複數凹口之模板，並接著搖動模板用以 珠同時留下仍保持在凹口中之軟坪料珠而丄假= 料珠並非皆為完全一致時，一些軟焊料珠於其他的軟焊料 珠相較係不同地滾動，此係導致一些凹口未被填滿及/或一 些供法從模板完全地滾動的多餘軟焊料珠。最後，在經過 搖動之後依然留在模板上之軟焊料珠係被提起（典型地藉由 一真空裝置），並被轉移至一半導體基板，在其上軟焊料珠 應可形成由位在模板中之如口的圖案所定義之一種圖案。 然而，假若在搖動之後多餘的軟焊料珠仍然留在模板上， 或是假若模板中一些凹口未被填滿時，被轉移至半導體基 •4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 五、發明説明（ 板的圖案會發生錯誤，如此會導致與半導體基板結合之半 導體元件的故障。於半導體元件之晶片級封裝期間上述球 狀栅格陣列加工法係為相關於形成電氣互連的一種重要之 加工法，例如，並係可結合覆晶之應用。此外，球狀栅格 陣列加工法係可在形成較晶片級為大之封裝時使用。 複數種已發展之方法係用於形成複數之小球體，該等方 法中球體係由材料開始受到衝壓、切割及/或滾動而製成。 然而’仍存在著對於改良形成複數之一致球體的方法之需 求。 登^明之概要說明 於一觀點中，本發明係包含一種形成複數之球體的方 去。配置一通道其之末端係為一孔口。液體流經該通道並 經由孔口排出以形成液滴。液滴接著通過一流體受到冷卻 並固化而成為複數之球體。至少一些球體受到聚集。液體 之壓力係約維持在形成冷卻成聚集之球體之液滴時之數值 的± 10%範圍内。於特定的具體實施例中，液體之壓力係 可穩定地約維持在形成冷卻成聚集之球體之液滴時之數值 的± 3%範圍内，並且，例如，在形成冷卻成聚集之球體的 液滴時係可穩定地維持在約為± %範圍内。 於另一觀點中，本發明包含至少為數百個球體之複數球 體其之直徑約小於〇.〇5吋，特徵在於至少95%之球體係約位 在球體之平均直徑的±1.2%範圍内。 圖式之簡要說明 現將相關於以下之伴隨的圖式對本發明之較佳的具體實 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱) 577779 A7 ______——B? 五、發明説明（^ )~ ' ' --- 施例加以說明。 圖1係為一種裝置的圖表、概略之部分的橫截面视圖， 該裝置係可根據本發明之方法用於形成複數之一致 體。 的球 圖2係可於圖1之裝置中使用的噴嘴的橫截面視圖，並 示形成液體之球狀液滴的動作。 ％ 圖3係顯示複數種不同型式之顆粒，其係在本發明之球 體形成作動時形成。 ' 圖4係顯示一種球體分類裝置，其係可於本發明之方法 用以從由一球體形成裝置所形成之其他的顆粒中分類所欲 之球體。 ’ 圖5係為圖4之分類裝置的底視圖。 圖6Α及6Β係為根據本發明之方法所產生之球體的一致性 之圖表（圖6Α),以及根據習知技藝之方法所產生於市場上 販售之球體的一致性（圖6Β)。 鼓佳具體實施例之詳細說明 本發明係包含形成複數一致之球體的方法。於一觀點 中，本發明包含一識別動作，倘若液滴本身係為一致的並 在固化過程中保持一致性，則可藉由液體材料之液滴固化 形成一致的球體《因此，本發明係包含用於形成一致之液 滴流的方法·，該液滴接著加以冷卻形成複數之一致的球 體。 相關於圖1說明本發明之一具體實施例，其中顯示一種 用於形成複數一致之球體的裝置10。裝置10係相關於垂直 6· 577779 A7 -B7 五、發明説明（4 ) 軸"γ ·，以及水平轴” X ”加以說明。 裝置10係包括一升高的容器12其中包含一種液體14。容 器12之侧邊係以橫截面圖顯示因此於容器12中係可見到液 體14。容器12係可包含複數種液體密合材料中之任一種， 諸如，例如金屬或是塑膠。液體14係包含熔態的材料，例 如，係可包含熔態金屬、熔態塑膠或是熔態玻璃。於一特 別的具體實施例中，裝置1〇係用於形成一種款焊料，而液 體14係包含一種熔態混合物其係包括一或更多種之錫、 鉛、銅及銀。混合物本質上係可由一或更多種之锡、錯、 銅及銀所組成’或是由一或更多種之錫、錯、銅及銀所組 成。一種示範的軟焊料包含本質上由錫及鉛所組成之混合 物’其中錫之濃度係約為63%(重量比）。另一種示範的軟焊 料之成分包含錫、銅及銀。 容器12係構形成將材料14的溫度維持在材料之溶化溫度 以上的溫度。例如，假若材料14包含錫及錯之軟焊料成分 時’其之熔化溫度約為18CTC。因此，容器12係較佳地維持 在180C以上之溫度，用以維持軟焊料處在溶化的形式，較 佳的操作溫度係約為250。(：至27(TC。為了維持溫度完全高 過材料14之熔點，係可維持材料之低黏度以改良材料之流 動特性。 容器12係沿著垂直軸"γ”升高高於地面之上，用以提供 熔態材料14之壓力水頭。容器12之示範性的升高距·離係約 為10呎至50呎，而典型地係約為30呎。容器12係由一支撐 〜構（未顯示）所支撐著。儘管所示之容器12係為矩形，但 -7-
577779 A7 ------B7； 五、發明説明（ ） 5 應可瞭解的是容器12係可包含複數種幾何的形式。然而， 令人滿意的是容器12係可維持熔態材料14之質量為具有較 大表面積之一相對的薄層。例如，容器12係可維持熔態材 料14為一約為1吋厚、表面積約為8平方呎之液體。大表面 積係容許流進或流出容器12之實質上的材料量大體上不會 造成容器12中材料14之高度的變化。容器12中材料14之高 度最終係決定流經裝置1〇之材料的壓力，並且與具有相同 夤量14但表面積較小所造成之壓力變動相較，容器12所提 供之大的表面積係可減少裝置1〇中壓力的變動。容器12中 材料14之高度的變化係維持在低於土 1〇%，或是在特定的 具體實施例中係小於± 3%。於裝置1〇之作動時，容器12中 材料I4之咼度的變化較佳地係可低於± 0.05%，於裝置1〇之 作動時，在裝置10中穩定地轉移液體14之壓力位在約為土 〇·05%的範圍内。 —係可藉由複數種方法中之任一方法將熔態材料14配置在 容器12中。一種方法係在與容器12相鄰並係在容器之上方 配置預熱谷器60，於裝置10之作動時，溶化預熱室60中 的固體材料並使熔態材料慢慢地流進容器12中。例如，假 若裝置10係用於形成軟焊料時，在預熱容器6〇中係可提供 固態焊料條並加以熔化用以提供熔態材料14。 流體通道16係自容器12向下蜂伸並且其之末端係為一孔 口或是噴嘴18。流體通道16係可包含，例如，一管（於此所 使用之$ 一闲係包含管路系統以及更多之傳統的，，管”）。 假若通道16係包含一管時，其之直徑係可約從1/4吋至 -8-
577779
吋。管係較佳地包含熱傳導性材料，諸如，例如為金屬。 再者，管係較佳地包覆絕緣物並結合一加熱器，因此於裝 置丨〇之作動時管係可維持在一固定的溫度。管16之適合的 溫度係高於材料14之熔化溫度。假若材料14係包含在約為 180 c溶化之軟焊料，則管16之合適的溫度係可，例如，約 為250 C 複數個閥件20係沿著通道16配置，並可用於控制 流經通道16之流體。 液體材料14係自喷嘴18排出成為一混亂的流動其係受到 截斷而構成液滴22(混亂的流動係於圖2中所示）。應注意的 是圖1中所示並未按比例繪示，所示之液滴22相對於裝置1〇 係不成比例地較大用以簡化圖示裝置1〇之作動。實際上， 液滴22之直徑係可小於〇·〇5吋。液滴22係可在一對充電板 24間通過用以將電荷施予至液滴22。電荷係可為一淨正電 荷或是一淨負電荷。無論如何，所有液滴22互相間係較佳 地負載相同之電荷，因此液滴相互排斥用以減輕液滴間之 碰撞。充電板24係與一電源26作電氣連接用以提供充電板 電荷。充電板24間之示範性的電荷係可約為〇-20仟伏特， 而較佳地係自0·9仟伏特至1.2仟伏特。 液滴22係被排入一室30中。室30，例如，係可包含金屬 的管道。圖中所示室30之一侧邊係以部分剖視圖的方式加 以圖示，因此可見液滴22在室中之行進的情形。 於室30内提供流體用以冷卻液滴22 ^該等流體係可包含 液體或是氣體’並係可簡單地包含’例如’空氣。可交替 地，流體係可包含一氣體32其係經由複數之入口 34被推入 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公爱) 577779 A7 ______B7 五、發明説明（7 ) 室30中。氣體32較佳地不會與液滴22材料發生反應，並且 係可包含，例如，氮、氬、二氧化碳及/或一氧化碳。較佳 地，雙原子氧（〇2)未包含於氣體32中，雙原子氧（〇2)會擾亂 液滴22的形成。咸信雙原子氧會對自孔口 18噴出之材料的 表面張力造成影響。不論雙原子氧對液滴22的形成所造成 之影響的原因，在室30中雙原子氧的濃度係較佳地低於2〇q ppm，並且在一些狀況下係低於1〇〇 ppm。 氣體32係可在周圍溫度下流入室3〇中，或可加以冷卻用 以増強在主3 0中液滴22之冷卻效果。例如，氣體係可包含 溫度位在-52°C至25它的氮。氣體32流進室3〇中之流動速率 係可’例如，約為750標準立.方呎/時。較佳之流動速率係 可視1： 30之氣密性而加以變化。假若室3〇係建構了極佳之 氣密性，則流進室30中氮氣之流動速率係可降低。室3〇中 氣體32具有二主要之目的。一目的係提供室3〇中具有正 壓，因此空氣中的氧不致進入室30並擾亂液滴的形成，而 另一目的在於提供流經室30之冷卻劑。 氣體32通過每一入口 34之流動速率皆不相同。例如，所 期望的是接近孔口 18處之冷卻氣體流動速率係為相對低 的，用以避免在形成液滴時造成過度的冷卻效果，並且在 液滴形成之下游區域具有較高的冷卻氣體流動速率。通過 不同入口 34相對的氣體32之流每速率係可利用閥件（未顯示） 加以調整。 至30的末^係為一開啟的端部4〇，固化之液滴η係自該 處排出而成為一球體23。因為在室30中開始時所提供之材 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 五、發明説明（8 ) 料14係為液體液滴22而從室30排出係為球體23 ;因此在室 30中發生一轉換區域於該處材料14係從液體形式變換成固 體形式。較佳地，在室30中於材料處在液體形式之位置處 氧濃度係小於200 ppm，但在室30之下游位置材料14已固化 成球體23處氧濃度係可增加。 球體23係以一速度排出室30外。該速度係藉由在室30中 液滴22之初使速度、液滴22之軌道相關於水平軸” X ”的角 度、以及室30之端部40相關於地面的位置（亦即，端部40沿 著垂直軸’’ Y ”的位移）而決定。較佳地，端部40係約位在地 面上方6呎。該等距離係可容許在球體23中維持適合之能 量，致使球體可經由一或更多次之分類動作的滾動而不需 將額外的能量輸入至球體中。 球體23開始時係由位在室30之末端處的一登陸部分42所 接住，接著滾動或彈離登陸部分進入分類及/或聚集裝置 46、48、50及52。登陸部分42係較佳地包含一相對柔軟的 材料，諸如，例如，膨脹的發泡聚氨酯。登陸部分42係可 降低球體23之向下的速度，並可將球體23導向裝置46、 48、50及52。於所示之具體實施例中，登陸部分42係可為 一管或是襪子的形狀，其係定出室30之末端部。 如先前所述，球體23撞擊登陸部分42之位置處的球體23 速度係可為複數之參數的函數。在該等參數中位在噴嘴18 處之流體14的壓力係可最終決定從噴嘴18排出之流體14的 速度。該壓力係較佳地高於80 psi，例如，係約可自80 psi 至200 psi。再者，於裝置10作動時壓力係可加以控制穩定 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 577779 A7
地維持在約為± 1 〇〇/。的範圍内，較佳地係位在約為士 3%的 範圍内，而更佳地係位在約為± 〇 05〇/〇的範圍内。此外，液 滴22相對於水平軸”X”排出的角度係可影響球體23之速 度。該角度係較佳地約介於20度至50度，具示範性的角度 係約為30度。應注意的是液滴22係向上排入室3〇中。液滴 22之向上的方向係使位在端部4〇處球體23的速度受到控制 及調整。相反地，假若液滴22係向下排出，則速度係藉由 空氣阻力與重力決定係難以控制。 孔口 18距地面之高度係約從1呎至6呎，例如，係可距地 面約從2呎至5叹的高度。 應注意的是室30的形狀開始時相對於孔口 18係為狹_ 的，而在接近液滴22路徑之頂部處係為寬的❶室3〇之相對 的寬度尺寸係可藉由位在室30中液滴22與球體23之路徑的 變化而決定。特別地，於孔口 18處液滴係緊密地沿著窄的 流動路徑對齊。然而，到液滴抵達其之政度行進路徑的頂 部時’其不再沿著窄的流動路徑對齊。因此，將室3〇加寬 以容納液滴及球體所依循之較寬的路徑，因此在液滴及球 體流經室3 0時不致撞擊室3 0之侧壁。換言之，在室3 〇接近 噴射材料14之弧形行進路經之頂部使其加寬，用以包容在 弧形行進路經之頂部處液滴22及/或球體23位置中之不確定 性。 球體23係自登陸部分42排出並通過複數個分類裝置46、 48以及50，並且最終係收集在貯藏器52中。儘管圖式中裝 置46、48、50以及52彼此間相互垂直地對齊，應瞭解的是 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) 577779 A7 _____—JB7 五、發明説明ί1()~) — 一或更多之裝置相關於其他裝置係可為水平地配置。球體 23 ,例如，係可藉由輸送帶裝置在水平配置之裝置間運 送。‘ 分類裝置46、48以及50係為可任擇的，但頃發現藉由將 自室中排出之材料分類係可改良從室3〇中所得之產品的一 致性。一或更多之分類裝置46、48以及50係可包含一篩 子。於本發明之一示範的具體實施例中，分類裝置46係可 包含一分類導槽100其係將相關於圖4及5加以說明，而分類 裝置48及50係包含篩子。較佳地，篩子48及其中之一者 其之細孔尺寸係大於自室30中排出之大部分的球體23的直 徑，而另一篩子之細孔尺寸係小於自室3〇中排出之大部分 的球體23的直徑。因此，係可使用篩子將大部分之球體23 與大於大部分之球體之顆粒分離，以及與小於大部分之球 體之顆粒分離。儘管圖中所示球體23係通過二分類裝置48 及50，但應暸解的是大部分的球體23實際上係通過細孔尺 寸小於大部分之球體的篩子，因此係自篩子之一端部排出 而非通過篩子。 在裝置10中所形成之液滴22較佳地其彼此間之尺寸大體 上係為一致的，因此聚集之球體23彼此間之尺寸大體上亦 具一致性。在裝置10作動時大體上藉著固持液體材料14之 壓力、（較佳地包含）溫度保持不變，係可達到液滴22之大 體上的一致性。因此，材料14之溫度較佳地係維持在最終 固化成聚集之球體之液滴22形成時之溫度的± 5%的範圍 内，以及溶態材料14之壓力較佳地係維持在最終固化成聚 •13-
577779 A7 ----------B^_ _ 五、發明説明) — -— 集之球體之液滴22形成時之壓力的〇 〇5%的範圍内。應注意 的是材料14之壓力係沿著通道16變化，因此在裝置1〇作動 時係存在著複數種壓力值。然而，在裝置1〇作動以及聚集 一致之球體23時所欲的是接近孔口 18之特定的壓力值維持 在土 0.05%的範圍内。 除了接近孔口 18之材料14的溫度及壓力外，另一會影響 液滴形成之一致性的因素係為在室3〇中溫度控制的穩定 性。氣體32之流動速率在形成聚集之球體時係較佳地維持 不變’使在該等形成聚集之球體時室3〇内之溫度維持穩 定。 " 所有圖1中所示之構造係可藉由不同之支架以及其他的 支撐構件加以支撐，圖1中並未顯示但熟知此技藝之人士係 可立即建構而得。 球體23之直徑係可藉由喷嘴18之開口的寬度而決定。於 一示範的應用裝置中，裝置1〇係用於形成軟焊料球其之直 徑即使約為0.03吋，而喷嘴18之環形開口的直徑約為 0.01775 叫·。 相關於圖2加以說明一種本發明之方法可使用的示範性 噴嘴係作為一種噴嘴裝置70。該裝置係包含一管72延伸進 入一插塞74之中。管72係為通道16之一延伸部分，並係可 包含，例如，1/2吋金屬管（諸如，例如為1/2吋不銹鋼管 路）。插塞74係包含接近管72之一端部的一第一部分76，以 及嚙合於第一部分76内的第二部分78。插塞74，例如，係 可包含一型砧鎖型式的塞子連同第二部分78以旋上螺紋的 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 12577779 A7 B7 五 發明説明（ 万式嚙合於第一部分％内。第二部分78係包含孔口 18於其 中延件。孔口 18係可以硬質材料（未顯示）作内襯。 喷嘴總成70同時包含一壓電的材料80環繞著管72 ,以及 —具電氣傳導性的材料82環繞著壓電的材料8〇。傳導性的 材料82與管72係與電源84作電氣地連接。在作動中，電源 84模擬壓電的材料80致使管16内材料14振動，最終當材料 經由孔口 18排出時致使於材料14内形成液滴。 應 >王意的是圖中所顯示之喷嘴總成係為一示範性的總 成其他的噴嘴總成亦係可於本發明之方法中使用。同時 應注意的是圖中所顯示之總成可能僅在管16以及材料14之 溫度維持在350。(：以下的狀況時係為有用的。具體地，·因為 壓電的材料80與管16接觸，材料會暴露至管72的溫度下。 大部分之壓電的材料在溫度為35(TC或更高時會失去作用。 然而’假若希望材料14及/或管72係處在溫度超過35〇。(：， 噴嘴裝置70係可重新設計因此壓電的材料8〇係藉由一絕熱 的間隔物與管72隔開。壓電的材料係藉由絕緣材料與一管 隔開的噴嘴總成之示範性的設計，係於美國專利第 5,810,988 號及 5,560,543 號中提及。 操作時，材料14係經由管72自孔口 18排出。同時地，壓 電的材料80係作電氣地模擬致使一波形疊加在材料14上， 因此影響到在噴射之材料14中緣滴的形成。圖2係圖示一液 滴形成之示範的機構，並明確地顯示材料在從孔口 18排 出之後開始形成球狀區域90的狀況。該等球狀區域90最後 分開成不同的液滴91及93，液滴91大體上係小於液滴93， -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 577779 A7 一 _:·^_____ 五、發明説明（13 ) 並且每一液滴93係與一液滴91成對。最終地，成對之液滴 91及93係合併成圖1之液滴22。 圖2中顯示與材料14流相鄰之充電板24係約位在液滴從材 料流截斷之位置。充電板24因而係可在液滴形成之處理過 程的較早階段將液滴充電。於所示之具體實施例中，充電 板24所配置在相關於材料流14的位置，於該處球形區域9〇 係仍與主要的材料流連接，並因而係位在分離的液滴形成 I前。應瞭解的是充電板24同時係可配置在所示位置之下 游’而特別地係可配置在已形成分離之液滴的位置。為了 方便圖不起見圖2中所示之充電板24與圖1中之充電板相較 係相對較小，圖2或圖1皆未按比例繪製。 圖2係顯π —透鏡96係與配備有一電子閃光燈的一種高速 攝影機結合，用以監視液滴形成的過程。該等監控係可使 操作人員調整與裝置…（圖丨）相關之不同的參數，諸如，例 如，頻率、孔口尺寸及/或溫度；用以最有效地將形成之液 滴一致化。 典型地係需花費一些時間使喷嘴裝置70與裝置10(圖丨）之 游部刀平衡。因此，在聚集一致之球體之前裝置1〇係較 佳地運轉一段時間，例如，1少約15分鐘。在平衡的過程 中所產生I任何球體係可加以熔化，並再供應至裝置中 作為熔態材料14。 即使圖1之裝置10在形成球體23之前已完全平衡，但仍有 :些有缺陷的顆粒存在於從裝置之室辦排出的球體流 中。圖3係_示排出裝置1〇外之不同類型的的顆粒。特別 I ____ -16- 577779 A7 ------_ 五、發明S (14—)—^ ~ -：-- 地，圖3係圖示所欲尺寸之完美的球狀顆粒23。同時所顯示 係為具有一酒窩狀的顆粒19〇、包含一成對構造的顆粒 192尺寸大於所欲之尺寸的顆粒194、尺寸小於所欲之尺 寸的顆粒196以及具有弄平之形狀的顆粒198。顆粒19〇、 192、194、196及198在圖1之處理過程中係可經由不同之機 構而形成。例如，假若顆粒23係落在太過堅硬的登陸部分 42上或是落下的速度太快時係會形成顆粒190 ;假若二緊密 <硬化的液滴22在完全固化之前互相接觸即會產生成對構 迨的顆粒192 ,假若二或更多的液體液滴22係互相結合同時 仍處在完全之液態時係會產生較大的顆粒194 ;假若圖2過 程之小液體液滴91在固化之前並未與一較大的液體液滴結 合係會產生較小的顆粒196 ;假若液體液滴22在固化之前撞 擊到室30之一侧邊時係會產生顆粒198。 於圖1所說明之處理過程形成之顆粒極少有缺陷，藉由 以下將說明之圖6A之圖表加以證明。然而，所期望的是進 一步地使顆粒淨化將已形成之少數的有缺陷顆粒去除。因 此’圖式中不同的分類裝置46、48及5〇係構形用以將自圖1 過程之室30中排出的顆粒分類。分類裝置係可包含傳統的 筛子分類器’或是可交替地至少一分類裝置係可為圖4及5 中所圖示類型之一種新穎的分類裝置，分類導槽1〇〇。 導槽100係為一管其係與水平_軸，，X，，成一角度α。角度α 係可大於0度小於90度，而較佳地係約從5度至30度。管100 在分類顆粒時係如箭頭102所示地轉動。較佳地，該轉動速 率係低於或約為每分鐘11 〇轉（rpm)，例如，係可約從丨〇 rpm -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(2ι〇χ 297公釐) 577779 五、發明説明（15 至約低於U〇 rPm;典型的範圍係約從50 rpm至80 rpm。管 100之内徑，例如，係約從10吋至12吋。 於所示之作動中，顆粒23係自登陸部分42(相對於圖1其 係為片段的視圖4 )落入分類導槽10〇之上端部1〇4，並接著 經由導槽_從下端部106排出。_導槽_之轉動致使顆 粒23在從端部104至端部1〇6前進時，係沿著管一侧壁板在 芎曲的路彳k上有效地行進。特別地，侧壁板係不變地轉 動f且球體23係沿著管的底部而維持於該處。因此，為了 沿著管的底部而維持於該處球體以相對於轉動之侧壁板行 進一段彎曲的路徑。頃發現完美的球形顆粒23在第一速率 下沿著彎曲的路徑前進，致.使維持顆粒沿著管的底部行 進，而非球形的顆粒（諸如，例如，圖3之19〇、192及198)係 在-不同的速率下沿著管之一侧邊行進，而非沿著底部行 進。該等狀況係圖示於圖5中，其中自管排出之大量的顆粒 係顯示位在管的底部並構成球形之顆粒，而一些非球形的 顆粒係顯示位在管之一侧邊。配置_真空裝置ιι〇用以自管 的一侧邊抽吸非球形的顆粒。應注意的是即使所顯示之非 球形的顆粒係僅位在管的一側邊’但顆粒同時係可位在管 的另-侧邊。再者，應注意的是管轉動係較佳地選定在一 速率下進行能夠將球形顆粒與非球形顆粒分離。假若管轉 動太快速時，时的顆粒係可沿著管之侧壁板旋轉並無法 有效率地分離。同肖，假若管轉動太慢時，所有的顆粒係 會停留在管之底部並無法有效率地分離。 圖4及5之分類導槽100對於將成對之構造192(圖3)自球形 18- 1紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規‘(210X297公复） 16577779 五、 發明説明（ <構造中分離係特別地有利。假若僅使用篩子加以分離則 成對之構造192的作動係與球狀構造23相似❶因此，利用傳 統方法將成對之構造192自球狀構造23中分離係極為困難。 …：而，本發明之分類導槽係提供一種將成對之構造I%自球 狀構造23中有效分離的方法。 裝 訂 本發明之加工法與習知技藝方法相較係可用於形成更多 <一致的複數球禮。特別地，本發明之加工法係可用於形 成至少數百個的複數球體並且甚至是至少數百萬或更多之 球體，球體之平均直徑約為0.03叶且其之特徵在於至少95% ，球體(亦即，2σ的範圍’其中σ係代表球體之標準差)係 位在平均直徑之約± 0 0004吋的範圍内（亦即，約位在平均 直徑之±1.3%的範圍所示之具體實施例中至少95%之 球體係位在平均直徑之約請㈣相範圍内（亦即，約位 在平均直徑之±L2%的範圍内）。此外，本發明之加工法係 可用於形成平均直徑約為〇.叫之複數球體，且其之特徵 j於至少99.73%之球禮（亦即’ 3 σ的範圍，其中σ係代表 球體之標準差）係位在平均直徑之約±〇._6叶的範圍内（亦 I7 ’”勺位在平均直徑《± 2%的41圍内）；於所示之具體實 施例中至少99.73%之㈣係位在平均直徑之約土 〇 _3叶 的範圍内（亦~，約位在平均直徑之士 18%的範圍 圖6Α係根據本發明之方法所產生之球體的統計分類。於 圖6Α中加以錢之球體係與根據本發明之方法料成之1〇 組不同結合批次之球fM目對應，於m子所需之球體 群组係定義為-批次’而於—不同日子所需之球禮群組互 -19·
577779 A7 — —__"-B7_____ 五、發明説明（17 ) 相間係定義為不同之批次。因此圖6 A之圖表係證實本發明 之方法的長期穩定性，並且進一步地證明在任何特定批次 能夠達成緊密尺寸之分布。 應注意的是於圖6A中分類之球體係直接地自室30中排 出，並未藉由任何分類裝置加以後續處理。因此，結合本 發明之分類方法以及球體形成方法係可得到較圖6A中所圖 示為佳之球體分布。 一組習知技藝的球體係於圖6B中加以統計地分類，其中 係’發現與根據本發明之方法所生產之球體相較包含更寬 廣之球體尺寸分布。圖6B之複數球體特徵在於至少95〇/〇之 球體係位在約為0.03吋之平均直徑之約± 〇 00049对的範圍 内（亦即，約位在平均直徑之± 1 62%的範圍内）；至少 99.73%之球體係位在平均直徑之約士 〇 〇〇〇74忖的範圍内（亦 即’約位在平均直徑之土 2.45%的範圍p圖6B之球體係可 被認為包含藉由習知技藝方法所產生球體之極佳的尺寸分 布。然而，由圖6A及6B之比較顯示了本發明之方法所得之 球體分布係優於習知技藝的方法。 對於在，例如，包括利用軟焊料球體的半導體加工應用 裝置的複數種裝置中球體之緊密的尺寸分布性係令人滿意 的。例如，假若軟焊料球體係形成較緊密的尺寸分布參數 時，係可使在較緊密之參數範圍内執行球狀栅格技術，如 此係使在半導體元件製造上更具一致性，因而可減少元件 因在球狀柵格總成中因為錯誤而造成的不良率。 儘管圖6A中顯示所產生之球體直徑係約為〇〇3吋，應暸 •20-
577779 A7 ——B7 五、發明説明（18 ) 解的是本發明係可用於形成複數種直徑之球體。於特定之 具體實施例中，球體直徑係可約小於或等於0.05吋。根據 圖6A之圖表，該等球體特徵在於至少95%之球體係約位在 複數球體之平均直徑的土1.3%的範圍内；或是在特定之具 體實施例中，係約位在平均直徑的土 1.2%的範圍内，該複 數之球體係可包含數百或甚至是數百萬之球體。再者，至 少99.73%之球體係約位在複數球體之平均直徑的±2%的範 圍内；或是在特定之具體實施例中，係約位在平均直徑的 土 1.8 %的範圍内。 -21- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 577779 A7 JB7_ 五、發明説明（19 ) 元件標號對照表 10 :裝置 76 ： 第一部分 12 :升高的容器 78 ： 第二部分 14 :液體 80 ： 壓電的材料 16 :流體通道 82 ： 具電氣傳導性的材料 18 :噴嘴 84 ： 電源 20 :閥件 90 ： 球形區域 22 :液滴 91 ·· 液滴 23 :球體 93 ： 液滴 24 :充電板 96 ： 透鏡 26 :電源 100 :導槽 30 :室 102 :箭頭 32 :氣體 104 :上端部 34 :入口 106 :下端部 40 :開啟的端部 110 :真空裝置 42 :登陸部分 190 :顆粒 46 :分類裝置 192 :顆粒 48 :分類裝置 194 :顆粒 50 :分類裝置 196 :顆粒 52 :分類裝置 198 :顆粒 60 :預熱容器 70 :噴嘴裝置 72 :管 74 :插塞 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

Claims (1)

  1. 577779
    第090127527號專利申請案 ^文申請專利範圍替換本(92年4月） 申請專利範圍 1· 一種形成複數之球體的方法，包含： 配置一通道，其末端為一孔口； 將一液體流經該通道並經由孔口排出，排出之液體形 成液滴，其中該孔口係向上引導，並且其中排出之液體 係包含將液體自孔口向上地排出； t 將液滴通過一流體用以冷卻液滴並將液滴固化而成為 $ 複數之球體； 聚集至少一些球體；及 \ 將液體之壓力維持在形成冷卻成聚集之球體之液滴時 ^ 之數值的約± 10%範圍内。 | 2.如申請專利範圍第丨項之方法，其中該液體之壓力係穩 I 定地維持在形成冷卻成聚集之球體之液滴時之數值的^ 是 ±3%範圍内。 δ | 3.如申請專利範圍第1項之方法，其中該液體之壓力係穩 « 定地維持在形成冷卻成聚集之球體之液滴時之數值的約 | ± 0.05%範圍内。 § 4·如申請專利範圍第丨項之方法，進一步包含穩定地維持 該液體之壓力在形成冷卻成聚集之球體之液滴時之數值 的約± 5%範圍内。 5·如申請專利範圍第丨項之方法，其中該液體係包含一熔 態金屬。 6·如申請專利範圍第丨項之方法，其中該液體係包含一種 溶態混合物，其本質上係由錫、鉛、銅及銀之一或多者 所組成。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公董) 577779
    7.如申請專利範圍第1項之方法，其中該液體係包厶一熔 態破璃。 l σ 洛 8·如申請專利範圍第丨項之方法，其中該液體係包各一溶 態塑膠。 " 9.如申請專利範圍第】項之方法，其中該流體係_氣體。 1〇·如申請專利範圍第1項之方法，其中該流體係―氣體且 不包含氧氣，且其中之液體係暴露在本質上係由該流體 所組成又一周圍環境中，係從液體排出時至液滴固化成 球體為止。 η·如申請專利範圍第1項之方法，進一步包含： 、，配置一分類導槽，其包含一轉動管，該管係相對於水 平面成大於0度至小於90度的角度； 將至少一些球體通過進入導槽；及 其中之聚集係包含聚集自分類導槽排出之球體。 12·如申請專利範圍第11項之方法，其進一步包含至少一此 球體在球體自分類導槽中排出之後通過至少一篩予。 13·如申請專利範圍第丨丨項之方法，其進一步包含將至少一 些球體在球體自分類導槽中排出之後通過一第—筛子， 並在球體自分類導槽中排出之後通過一第二篩子；第一 及第二筛子其中之一者的細孔尺寸係大於至少一些球體 的直徑’而另一篩子之細孔尺寸係小於該至少—些球_ 的直徑。 一月足 14·如申請專利範圍第丨丨項之方法，其中該管的角度相對於 水平軸係約為5度至3 〇度。 ' 本紙張尺度適用t S 81豕標準(CNS) A4規格(21Q X 297公爱） ~ " """" 1 -—— — 577779 A8 B8 C8 ----- -D8 六、申請柄範^ " ---— 15.:广”利範圍第"項之方法，其中該管係在約小於或 疋等於母分鐘Π0轉的速率下轉動。 16·如申請專利範圍第Μ之方法，其中該管係在從約為每 分鐘10轉至小於或是等於約每分鐘110轉的速率下轉 動。 17.::請專利範圍第U項之方法，其中該管係在從約為每 分鐘50轉至小於或是等於約每分鐘80轉的速率下轉動。 18·如申請專利範圍第11項之方法，其中非球形塊在至少一 二球m之中使顆粒不純淨，其中至少一些球體自管的底 部排出；其中非球形塊當至少一些球體自管的底部排出 時係沿著位在管之底部的上方之管的邊緣；並進一步包 含·· 配置一真芝裝置，引導沿著管之邊緣的非球形塊；及 利用真空裝置將非球形塊自管之邊緣去除。 19·如申請專利範圍第1項之方法，其中至少一些球體在固 化之後係具有一速度，並進一步包含： 配置一分類導槽，其包含一轉動管； 藉由撞擊至少一些球體而降低速度到一登陸部分上； 將至少一些球體從登陸部分滾動進入分類導槽中；及 其中之聚集係包含聚集自分類導槽排出之球體。 20.如申請專利範圍第1項之方法，其中該至少一些球體包 含至少數百個具有平均直徑約為0·03吋之球體，且其特 徵在於至少95%之球體係位在平均直徑之約± 〇 〇〇〇4吁 的範圍内。 •3- 577779 六、申請專利範圍 21·如申請專利範圍第1項之方法，· ^ ^ ^ R 其中該至少一些球體包 。至/數百個具有平均直徑約為〇 〇3吋之球體，且 徵在於至少99.73%之球體係位在平 、 对的範圍内。 仏在千均直…±〇._ 22. 如申請專利範圍第！項之方法，其中該至少求邮勺 含至少數百個具有直徑低於約〇.〇5吁之球體，且其：： 在^至少95%之球體係位在球體之平均直徑之約土 的範圍内。 ° 23. 如申請專利範圍第之方法，其中該至少一些球㉒包 含至少數百個具有直徑低於約〇.〇5吋之球體，且其 在於至少99.73%之球體係位在球體之平均直徑之約土 2% 的範圍内。 ° 24· —種形成複數之球體的方法，包含·· 配置一通道，其開端係為一升高的池而其末端係為一 向上引導的孔口； 將一液體從該池流出，向下流經該通道並向上通過孔 口，排出之液體形成液滴；液體係為一熔態形式的材 料，其在室溫下係為固體；通道係被加熱至高於材料之 溶化溫度以維持材料處在液體的形態； 在液體從池中流動時將池中液體之液面穩定地維持在 約為± 10%的範圍内； 液滴通過一流體用以冷卻液滴並將液滴固化而成為複 數之球體；及 聚集至少一些球體。 •4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 577779 A8 B8 C8
    25. 如申請專利範圍第24項之方 φ^ .. 去其中在液體從池中流動 時將池中液體《液面穩定地維持在约±3%的範園内。 26. 如申凊專利範圍第24項之方法，並士、 ^ ^ 万忐其中在液體從池中流動 時將池中液體之液面穩定地％ 。心也、，隹待在約± 0.05%的範圍 内0 其中該材料係包含一或 其中該材料係由一或更 27.如申凊專利範圍第24項之方法 更多種金屬。 28.如申請專利範圍第24項之方法 多種金屬組成。 29.如申請專利㈣第24項之方法，其中該材料本質上僅係 由一或更多種金屬組成。 30·如申請專利範圍第24項之方法，其中該材料本質上僅係 由錫、鉛、銅及銀之一或多者所組成。 3L如申請專利範圍第24項之方法，其中該材料係包含玻 璃0 32·如申請專利範圍第24項之方法，進一步包含在一半導體 加工裝置中利用球體作為軟焊料球。 33·如申請專利範圍第24項之方法，其中該材料本質上僅係 由錫、鉛、銅及銀之一或多者所組成，並進一步包含在 一半導體加工裝置中利用球體作為軟焊料球。 34·如申請專利範圍第24項之方法，其中該材料本質上僅係 由錫、鉛、銅及銀之一或多者所組成，並進一步包含在 球狀柵格陣列中利用球體作為軟焊料球。 35.如申凊專利範圍第24項之方法，其中該至少一些球體包 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公董) 577779 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 含數百個具有平均直徑約為0.03吋之球體，且其特徵在 於至少95%之球體係位在平均直徑之約± 0.0004吋的範 圍内。 36. 如申請專利範圍第24項之方法，其中該至少一些球體包 含數百個具有平均直徑約為〇. 0 3忖之球體，且其特徵在 於至少99.73%之球體係位在平均直徑之約± 0.0006吋的 範圍内。 37. 如申請專利範圍第24項之方法，其中該至少一些球體包 含數百個具有直徑約低於0: 〇 5忖之球體，且其特徵在於 至少95%之球體係位在球體之平均直徑之約± 1.3%的範 圍内。 38. 如申請專利範圍第24項之方法，其中該至少一些球體包 含數百個具有直徑約低於0.05吋之球體，且其特徵在於 至少99.73%之球體係位在球體之平均直徑之約±2%的範 圍内。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)
TW090127527A 2000-11-09 2001-11-06 Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres TW577779B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/710,030 US6579479B1 (en) 2000-11-09 2000-11-09 Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW577779B true TW577779B (en) 2004-03-01

Family

ID=24852325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW090127527A TW577779B (en) 2000-11-09 2001-11-06 Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6579479B1 (zh)
EP (1) EP1331989A2 (zh)
JP (1) JP2004513764A (zh)
KR (1) KR20030048132A (zh)
CN (1) CN1486215A (zh)
AU (1) AU2002237690A1 (zh)
TW (1) TW577779B (zh)
WO (1) WO2002040145A2 (zh)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001254103A (ja) * 2000-03-13 2001-09-18 Sanei Kasei Kk ナノコンポジット構造を有する金属粒子及び自己組織化によるその製造方法
US7790074B2 (en) * 2003-07-30 2010-09-07 Houston-Packard Development Company, L.P. Stereolithographic method for forming three-dimensional structure
US7638076B2 (en) * 2007-10-26 2009-12-29 Martin Resource Management Corporation Method and system for pelletizing sulfur
GB201016433D0 (en) * 2010-09-30 2010-11-17 Q Chip Ltd Apparatus and method for making solid beads
US8329072B2 (en) 2010-11-24 2012-12-11 Brimrock International Inc. Method and system for generating sulfur seeds and granules
JP5768956B2 (ja) * 2010-12-24 2015-08-26 芝浦メカトロニクス株式会社 固体粒子の製造装置及び固体粒子の製造方法
WO2018035599A1 (en) 2016-08-24 2018-03-01 5N Plus Inc. Low melting point metal or alloy powders atomization manufacturing processes
WO2018158337A1 (en) * 2017-02-28 2018-09-07 Koninklijke Philips N.V. Systems and method for generating dry particles from a liquid solution
CN107584132A (zh) * 2017-09-08 2018-01-16 张家港创博金属科技有限公司 一种球形微粒子的制备方法
JP2021514028A (ja) 2018-02-15 2021-06-03 ５エヌ プラス インコーポレイテッド 高融点金属または合金粉末アトマイズ製造プロセス
US11173461B2 (en) * 2018-03-22 2021-11-16 Lawrence Livermore National Security, Llc Fabricating structured particles through rapid hardening and tailored collection methods
JP7566376B2 (ja) * 2021-01-25 2024-10-15 筆 鐘 超微粉末粒子の凝集冷却タンク型構造と超微粉粒子成形方法
JP7566375B2 (ja) * 2021-01-25 2024-10-15 筆 鐘 超微粉末粒子の凝集冷却用管状構造と超微粉粒子成形方法
CN114082966B (zh) * 2021-11-18 2024-02-13 郑州海普电子材料研究院有限公司 一种可控bga锡球直径大小的加工方法及设备
CN116813185B (zh) * 2022-11-14 2025-08-05 张奎铁 一种玻璃粒子的制造系统

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1065273A (fr) 1951-06-20 1954-05-21 Noranda Mines Procédé et dispositif pour trier en groupes de différentes dimensions des corps de forme sensiblement sphérique
FR1128599A (fr) 1954-04-26 1957-01-08 Chemical Construction Corp Perfectionnements à la granulation des engrais
US2774660A (en) * 1954-04-26 1956-12-18 Chemical Construction Corp Granulation of fertilizers
US2811748A (en) * 1955-01-25 1957-11-05 Philip A Smith Manufacture of shot
US3294511A (en) 1959-04-06 1966-12-27 Selas Corp Of America Apparatus for forming glass beads
US3843340A (en) * 1973-05-03 1974-10-22 Ppg Industries Inc Method and apparatus for producing glass beads
US4035116A (en) 1976-09-10 1977-07-12 Arthur D. Little, Inc. Process and apparatus for forming essentially spherical pellets directly from a melt
US4133854A (en) 1977-06-16 1979-01-09 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for producing small hollow spheres
DE3637631C1 (de) 1986-11-05 1987-08-20 Philips Patentverwaltung Verfahren zum Aufbringen kleiner schmelzfluessiger,tropfenfoermiger Lotmengen aus einer Duese auf zu benetzende Flaechen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
US4935173A (en) * 1987-01-20 1990-06-19 The Dow Chemical Company Process for producing prills
KR930001513B1 (ko) 1988-01-14 1993-03-02 니혼 일렉트로 플레이팅 엔지니어스 가부시끼 가이샤 금속파우더 및 그 페이스트와, 금속파우더의 제조장치
DE4022648C2 (de) 1990-07-17 1994-01-27 Nukem Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von kugelförmigen Teilchen aus flüssiger Phase
US5560543A (en) 1994-09-19 1996-10-01 Board Of Regents, The University Of Texas System Heat-resistant broad-bandwidth liquid droplet generators
GB9508087D0 (en) * 1995-04-20 1995-06-07 Sherritt Inc Manufacturing uniformly sized copper spheres
JPH0910986A (ja) 1995-06-23 1997-01-14 Senju Metal Ind Co Ltd 電子部品の通電用金属球
US5846657A (en) * 1996-07-25 1998-12-08 Rohm And Haas Company Liquid crystal displays containing spacers and methods for producing the spacer
US5891212A (en) 1997-07-14 1999-04-06 Aeroquip Corporation Apparatus and method for making uniformly
DE19751542A1 (de) * 1997-11-20 1999-07-29 Siemens Ag Kunststoffmassen zur Umhüllung eines Metall- oder Halbleiterkörpers
US6268275B1 (en) * 1998-10-08 2001-07-31 Micron Technology, Inc. Method of locating conductive spheres utilizing screen and hopper of solder balls
US6365976B1 (en) * 1999-02-25 2002-04-02 Texas Instruments Incorporated Integrated circuit device with depressions for receiving solder balls and method of fabrication
WO2001045246A2 (en) 1999-12-08 2001-06-21 Comair Rotron, Inc. Motor synchronization apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004513764A (ja) 2004-05-13
CN1486215A (zh) 2004-03-31
US6579479B1 (en) 2003-06-17
WO2002040145A2 (en) 2002-05-23
AU2002237690A1 (en) 2002-05-27
WO2002040145A3 (en) 2002-09-06
KR20030048132A (ko) 2003-06-18
EP1331989A2 (en) 2003-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6579479B1 (en) Methods of forming a plurality of spheres; and pluralities of spheres
JP5840870B2 (ja) 水添石油樹脂ペレットの搬送装置、および、水添石油樹脂ペレットの製造プラント
KR100866294B1 (ko) 구형 볼을 제조하기 위한 장치
US7955566B2 (en) Fluid bed granulator
CN1091664C (zh) 用于制备大小和形状均匀的小球的设备和方法
WO2000054876A1 (fr) Dispositif et procede de production de granules
JP2009035476A (ja) 球状のデバイスのためのジェットシステム
JP2005503767A (ja) ポップコーン形冷凍製品の製造方法とその装置
JP5144513B2 (ja) 医薬物質の粒子の製造法、医薬物質の粒子及びその使用
CN107213845A (zh) 复合肥造粒系统及复合肥造粒系统的造粒方法
CN1050485A (zh) 团聚工艺及其装置
TW200911713A (en) A nozzle for outflowing meltage
JP5709647B2 (ja) 粉粒物の搬送装置、粉粒物の製造プラント、および、粉粒物の搬送方法
WO2010148983A1 (zh) 一种硝酸钠球形细颗粒的造粒方法
JPH02501921A (ja) 粒状ビスフェノールの製造
CN206104893U (zh) 一种进料装置以及等离子组合离心雾化制粉装置
WO2012165534A1 (ja) 粒状物の貯蔵装置
JP5496430B2 (ja) 粉粒体冷却装置
JP2010084216A (ja) 金属粉末製造方法および装置
JPH06147705A (ja) 氷粒製造装置
US3390647A (en) Production of pharmaceutical dosage units
JP2001247907A (ja) 球形金属粒製造方法及び製造装置
JP2001181748A (ja) 溶融金属供給方法および装置
JP2004175595A (ja) 粒状シリコンの製造装置
KR100469019B1 (ko) 가스플레임애터마이징법에 의한 마이크로 금속볼 제조방법및 그 제조장치

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees