TW563125B - Method and device for assembling substrates - Google Patents

Description

563125 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明說明（1·) 本發明係關於一種用以將至少二基板黏結以形成一數 據載具之方法及裝置。 數據載具例如是CD、DVD、DVR、FMD等，係由至 少二相互黏合之基板組成。 在一習知之用於製造該類數據載具之裝置中，例如在同 一申請人之專利案DE-A-100 29 400中，基板以一具雙面黏 性之黏著薄膜相互黏合。在覆層站中，具雙面黏性之黏著薄 膜被置放於基板之第一面上，隨後已覆層之基板被放於一具 有足心销及固定銷之存放單元上H板也同樣被置於存 放單元上’二基板藉一定心銷及固定銷相互維持一段距離而 固足。隨後，存放單元運動至一具頂蓋之黏結站内，該頂蓋 與存放單元接觸，並與存放單元一同運動，_二者間形成 一封閉室。在該位置，該室藉由-未詳細圖示示出之裝置抽 至低壓，以防止隨後基板於黏結時在基板間進入空氣。當室 内德壓達到程度，_可在室内運動之壓印頭被驅動， 以壓合基板。 在孩万法中，在基板黏結前需要將該堂抽至所需之低 壓，因而基板黏結之週期時間相對而言較長。 從技術現況峰’本發明之任務在於，提出用以黏結至 少二基板以形成光學數據载具之方法及裝置，該方法及裝置 可降低基板黏結之週期時間。 、根據本發明，此任務於—具有至少—開口，用以輸入及 /或輸出基板之低壓室内’黏結至少二基板，以形成數據載 具之方法中以下述方法步驟加以解決··將開口相對於環境 本紙張尺度適用中國國家標專（CNS)A4規‘(2i〇T^^y (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -HI— J— I ·11111111 . -6- 563125 A7 五、發明說明（2·) 密封；低壓室抽至低壓；在設置於低壓室内之第一操作裝置 及設置於低壓室外設置之第二操作裝置間藉由各自密封低 壓室之開口形成轉送室，轉送室之體積較低壓室小；在轉送 室内基板從第二操作裝置傳送至第一操作裝置；基板與第一 操作裝置一同被運送至低壓室内之黏結站，此時低壓室由第 二操作裝置密封；基板在黏結站内黏結。 在本發明之方法中，低壓室首先被抽至一所需之低壓， 該低壓在隨後各黏結程序中基本上皆維持不變。因而在各黏 結程序中，不必再將各黏結站抽至低壓，因而大幅降低循環 時間。在低壓室内之低壓可維持不變，係因為在第一操作裝 置及第二操作裝置間之轉送室之體積較低壓室之體積小的 多，因而當轉送室與低壓室開啟時，只會出3^極小之壓力變 化。，另外，在任何時候開啟低壓室時，藉由第一操作裝置二 /或第二操作裝置與環境密封，使壓力變化完全由 開啟產生。 根據-較搞狀㈣f麵式，轉駿在概基板前 及/或轉送基板時先餘至低壓，以更進—步降低低壓室内 之^力變化。此時並*需要將轉送室内之壓 之只需要將轉送室内之壓力抽至介壯氣壓力與』 員 意 3=壓爾間最好限制在基板在各操 ^置間傳赠需《_範_，以達職環時間之最佳 為能同時將基板轉送至開口，並 板，第一接祚卫在黏結站内黏結其他基 板弟知作裝置取好具有至少二存放件，並以此控制存放 本紙張尺Μ财關家標 563125 A7 五、發明說明（3·) 件’以使在黏結時’-存放件承載基板，而另—存放件 閉低壓室之開口。 / ' 為形成黏結室，第-操作裝置最好與黏結站接觸，黏結 室最好被抽至低壓，該壓力較低壓室内之壓力小。如此，^ 壓室不必被抽至黏結程細需之低壓，在大部份情況下，室 内之壓力介於大氣壓力及黏結程序戶斤需之壓力間即可。因為 低壓室已經被抽至-健，黏結室抽至低壓所需之時間相對 於技術現況基本上可大幅降低，在技術現況中，黏結室係從 大氣壓力抽至黏結程序所需之低壓。 根據本發明，此任務也可藉由—黏結至少二基板以形成 數據載具之裝置加以解決，練置具—健室，其具有至少 -用以輸人及/或輸出基板之開口；及—用於將低壓室抽至 低壓之裝置，一在低壓室内之黏結站；一第一操作裝置，用 以在低壓室内支承及運輸基板，該操作裝置可從内運動至將 開口密封之位2，及—第二操作裝置，用以在低壓室外支承 及運輸基板，該操作裝置可從外運動至一將開口密封之位 置。如此可麟上述之伽，亦即用以輸人及/或輸出基板 <開口可時時被第一或第二操作裝置密封，使室内之壓力基 本上可維持不變。 ^操作裝置在其密封位置最好形成一基本上封閉之轉送 至，其體積較低壓室之體積小，使得轉送室對低壓室開啟 時〃、出現極小之壓力變化。為更進一步降低壓力變化，而 設有一用以將轉送室抽至低壓之裝置。 為同時進行基板之黏結及將其他基板輸入一室内及從 -----------% (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -----：--^--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 :297公釐） 563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（4·) 室内輸出，第-操作裝置具有至少二基板存放件。該基板存 放件最好具有一有U形截面之外殼，以便較易與第二操作 裝置形成一室。為易於形成室，第二操作裝置最好也具有一 有u形截面之外殼，及一可運動之基板支架。 為防止一基板不慎接觸在一起，第一及第二操作裝置在 基板黏結之前以一間距支承二基板。 、為形成黏結室，第一操作裝置最好可與黏結站接觸並一 起運動。另外，該裝置最好具有一將黏結室抽至低壓之裝置。 在另一發明實施形式中，該裝置具有至少一额外之開 口以輸入及/或輸出基板，其中，第一操作裝置可運動至 封閉該額外開口之位置；且該第一操作裝置具有至少3個基 板存放件，而且具有至少-第三操作裝置，_在低壓室夕土卜 支承及輸送基板，該第三操作裝置可運動至密封該額外開口 之位置。藉由該第二開口，基板可同時被輸入及輸出低壓 室’因而更降低週期時間。 以下將藉由一些偏好之實施例以圖式更加詳細說明本 發明’各圖所示之内容如下： 圖 A至C用以黏結基板以形成數據載具之裝置之示音 圖，及基板黏結之程序週期； 圖二藉由第一操作裝置及第二操作裝置所形成之轉送室之 示意剖面圖； 圖三黏結站之示意剖面圖。 圖-A至C顯示根據本發明之裝置！，用以黏結基板 3、4 ’在圖二内可見到該基板。 ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） • : 丨·------------------—訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 563125 五、發明說明（ 、农置1具一外殼6，其内部形成一低壓室8。在外殼6 上壁内有—穿透開口 11 ’在圖二内可明顯看出。在上壁 1〇上另外財—黏結站12，以下將關三更進-步說明。 在外殼6底部設有抽吸管13，其與一抽吸裝置14，例 如真空泵減接，崎鶴室8驗健至—預設值。 在低壓室8内設有一旋轉台形式之第-操作裝置. 從轉台16具有-基本上在水平方向延仲之板，及一與此 Ϊ垂直延伸之轉軸18。板17延倾外殼上壁Η)平行，可 猎軸18向上壁運動’或是從上壁離開。另外，板17可對轴 18之轉軸轉動。 在板17上設有二面向外殼6之上们〇之基板存放件 20，—存放件有相同構造，以下將以圖二詳細說明。 在外威上壁1〇之上設有一第二操作裝置^，用以 輸入基板及輸出基板。操作裝置％具適#之運絲，以運 輸基板，並可從外向外殼6之上壁1G運動，哺外殼6之 上壁10内之開口 i!相對環境密封，以下將以圖二詳加說明。 現在藉圖二詳細說明基板存放件2〇之構造及二 裝置24。 一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在圖二中可看到操作裝置16之基板存放件2〇，存放件 係設置在旋轉台之板17上。基板存放件2〇具基本上有u 形截面之外殼26，其以適當方式置於板17上。當然，外殼 也了與板17 —體没計而成。外殼26具有一底面π及環 繞其之側壁29。 在底面28内裝有一定心銷及固定銷32,可將基板3、4 本紙張尺度刺令研i縣「CNS)A4規袼（210 X 297公 -10 - 563125 A7

个 · 頁I 一 I 訂 a 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項

563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（7·) 有緊密之密封接觸。當然也可在側壁29之正面之上或之内 設計相應之密封元件，以與外殼6之上壁有良好之密封。 操作衣置24同樣有υ形橫截面之外殼46，包括上壁 48及壤繞其之侧i 49。基板支架51可獨立支承或置放二基 板，並維持有一定間距，該支架延伸穿過在上壁48内之開 口 52。基板支架51具例如由内孔爪手幻及外爪手％組合 形成之低壓爪手形式，例如在同一申請人之專利案 DE各198 18 479中有加以說明。内孔爪手53及外爪手54 藉由適當之未圖示之運動機構，可沿著與上外殼壁48垂直 延伸之運動軸相互運動，也可相對外殼46運動。 為將外殼46之上壁48内之開口 52密封，在外爪手54 背侧及上壁48内侧間，延伸有一密封裝置56，例如皮囊。 在上壁48内另外設有一抽吸開口 58，其與抽吸裝置 60，例如真空泵相連接。 外殼46之側壁49可從外部向外殼6之上壁1〇運動， 以將開口 11對環境密封。為改進密封狀況，在外殼6之上 壁10内設有一密封環62，例如0形環。當然，也可在側壁 49正面之上或之内設計適當之密封元件，以使外殼46及外 设6之上壁10間密封。 β 當第一操作裝置及第二操作裝置16、24或其外殼26 或46如圖二所示，與上壁10接觸後，在二操作裝置間形成 密封之轉送室64。該轉送室可藉由抽吸開口 58及真空泵60 抽至低壓。轉送室64之體積基本上較低壓室8之體積小的 多，因而當轉送室64對低壓室8開啟時，在低壓室内只會 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- I.-----------^-----;—訂---------線^^^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印t A7 -- — B7 五、發明說明（8·) 出現極小之壓力變化，此變化可由真空泵14快速平衡掉。 在轉送室64對低壓室8開啟之前，藉由真空泵6〇，轉送室 内之壓力被抽至介於大氣壓力與在低壓室8内之壓力間，如 此壓力平衡更為快速，以下將詳加說明。 圖三顯示目前偏好之黏結站12，其被置於外殼6之上 壁10上。在黏結站12範圍，外殼6之上壁具有一開口 66。黏結站12具-下部，由圖二所說明之基板存放件2〇 所構成基板存放件20在黏結過程中，如圖三所示，從内 向上壁10運動。在上壁10内，一在徑向包圍開口 66，並 面向低壓室之密封元件68，例如〇形環，確保外殼26 壁崎良好之密封。在上壁10之外侧形成黏= 上邵。該上部具-外殼7〇，該外殼具有U職面。外殼7〇 具上壁72及環繞其之側壁73，該側壁73在徑向包圍外殼6 之壁10内之開口 66。側壁73以密封方式與外殼6之上壁 10相連接。 在外殼70内設有-彈性膜片74，其擴張於外殼7〇整 個内部範圍’因而在彈性膜片74與低壓室S相背之例形成 一封閉之氣室75。 氣室75經抽吸裝置78及在外殼7〇之上壁72内相應之 管路79施加低壓。 祕片74上，面向低壓室8，以適當方式裝有板82， 因而板82可與彈性膜片74 一同運動。 在氣1： 75内設有止擋件84，以限制膜片％及置於其 上之板82向上運動，亦即進入氣室75内。 本紙張尺度適ffi +目國家標準(CNS)A4規格(21〇 X 297公釐)' ——-____ -13- I.----------------Ί--訂-------丨線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 563125 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9·) 經延伸於上壁72及膜片74間之彈簧86，膜片74相對 止擒件84施有預力。彈簧86之力係如以下方式設計，亦即 使膜片在兩侧壓力相同時，膜片稍微被拉向止擋件84，使 膜片維持在圖三所示之位置。當然，也可設計其他預力裝 置，使膜片74及置於其上之板82維持在圖三所示之位置。 在膜片74下之範圍與基板存放件20共同形成黏結室 90。黏結室90可經抽吸裝置92，例如一真空泵，及在外殼 70侧壁73内相應之管路93施加低壓，使黏結室9〇内之壓 力較低壓室8内之壓力更為低。 現在簡單以圖三說明黏結站12之功能。首先，基板存 放件20運動至圖三内所示之位置，以便與位於外部之外殼 70形成黏結室90。在此時刻，在黏結室9〇内之壓力與低壓 室8内之壓力相同。在氣室75内之壓力也與低壓室内之壓 力相同或稍低，以保證膜片74及板82位於圖三所示之位 置。現在藉由抽吸裝置92進一步降低黏結室9〇内之壓力。 在氣室75内之壓力也依需要同樣被降低，以保證黏結室9〇 内之壓力不小於氣室75内之壓力，如此膜片74係維持於圖 三所示之位置。 當黏結室90内到達所希望之低壓，該低壓可避免基板 間介入空氣在氣室75内之壓力即在控制下升至大氣壓力。 藉由此時產生之在室90、75間之壓力差，及在黏結室90 内之較低之壓力，膜片74與置於其上之板82被控制向下偏 移，因此板首先與上基板3接觸，然後該上基板再壓到位於 其下之基板4上。因為板82係浮動支承在膜片74上，所以 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS)A4規-- -14- 1·----------------r--訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、發明説明（10·) 板82可由基板下之支承件，亦 使基板整個表面上有均勻之壓合力〈下壁28配合， 隨後’室75内之壓力再被隆俏， 碰升缝壓室8之壓力，使膜片74與==力 回到圖三所示升高之位置。科，觀:板 外，也可將所描述之膜片站設置在基板存放仙束使 、子動支承，在黏結時才被壓向靜止之板。 土 作j下細—Α至C更進—步說明裝S 1餘基板之操 作過程。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先，操作裝置i6向上運動，如箭頭1〇〇戶斤示。二基 板存放件20因而從内向上外殼壁1〇運動，並在徑向包圍開 口 Η及66，且由内將之密封。現在，與環境密封之低壓室 8經抽吸裝置Η被抽至_所需之低壓，並在此之後維持此 低壓。基板存放件20向外殼壁之運動，也可藉由板17及基 板存放件2〇社相對運動取代。操作裝置Μ從外向外殼6 之上壁10運動至圖二所示之位置，如箭頭1〇2所示，因而 開口 11被從外部與環境隔離。在基板存放件2〇之外殼26 與操作裝置24之外殼46間形成一轉送室64，藉由抽吸裝 置60可將轉送室之壓力抽至介於大氣壓力與低壓室8壓力 間。一欲黏結之基板由操作裝置24之基板支架51傳送至基 板存放件20上，而且基板在傳送前，傳送時，及傳送後均 相互維持一間距。 當基板由基板存放件20接收後，操作裝置16即降下， 如圖一 Β箭頭104所示。因操作裝置24從外將外殼6之上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐〉 -15- 563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 低壓壓力，因外殼6之上壁1〇 作裝置及/或第二操作裝置封閉 雖然以上藉偏好之實施織明本發明，但本發明並不偈 限於該具體所示之實施例。尤其是該操作裝置24不需要是 A7 B7 發明説明（11·) 壁10之開口 11密封，以阻止在低壓室内之壓力升高。只需 平衡微小之壓力差，該微小之壓力差來自於下述原因：轉送 室64對低壓室8開啟。由於轉送室64之體積較低壓室8 之體積小的多，而且轉送室64至少部份被抽至低壓，在低 壓室内之壓力基本上可維持不變。在下降之位置，板17與 基板存放件20對轉軸18轉動180度，如圖一 β之箭頭1〇6 所示。 如此，剛上料之基板存放件2〇被定位在黏結站12之 下，而先前定位在黏結站12下之基板存放件2〇則被定位在 開口 11下。操作裝置被提升，如圖一 C；内之箭頭1〇8 所示。基板存放件20及以一定間距固定之基板運動至圖三 所示之位置，基板隨即被黏結，如圖三所示。 同時，另一基板存放件20從内密封開口 u，如圖二所 示。只要在此基板存放件内有一由二基板黏結之光學數據載 具，該載具由操作裝置24接收，並被送走。因開口 u從内 與環境密封，當操作裝置24從開口 11離開時，在低壓室8 内並不會產生降壓。至此，新的絲可上縣基板存放件 20，如圖一 A所示。 由上述說明可明顯看到，低壓室8只有一次需將壓力從 大氣壓力抽至預定之低壓壓力，然後基本上可維持在預定之 口 U —直藉由第一操 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

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A7 發明說明（l2·) 内孔爪手及外爪手之組合。很多情況下可使用任何基板支 架’其可以一段間距支持要黏結之基板，並將之轉送至基板 存放件20之上。另外，基板存放件20之定心銷及固定銷 32足形狀也可與所示之形狀相異，其重點為，基板在黏結 前須以一定間距固定。此外，黏結站12之形狀也可與所示 者相異。除了浮動支承之板82外，也可例如使用不是浮動 支承之壓印頭’以壓合基板。基板也可藉由基板存放件在黏 結站方向之升降運動而加以黏結。此時，可省去黏結室，而 黏結站只需要有適當之基板存放制之支架。本發明之裝置 特別適用於製造傳統之光學數據載具，例如CD、DVD及 DVR。該裝置也適用於新的儲存媒體，例如fm〇，其包括 多個由發出螢光之物質組成之薄膜層。另外，操作裝置不必 具U形截面之外殼，很多情形下操作裝置可具有平面式之 蓋板，其中所需之轉送室係由上壁之厚度及/或固定於$ 之凸耳構成。 、/' 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

563125 A7 B7 五、發明說明（I3·) 元件符號說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 裝置 3、4 基板 6 外殼 8 低壓室 10 上壁 11 穿透開口 12 黏結站 13 抽吸管 14 抽吸裝置 16 旋轉台 17 板 18 轉軸 20 基板存放件 24 操作裝置 26 外殼 28 底面 29 侧壁 32 固定銷 34 中央銷部位 36 凸耳 38 黏著薄膜 40 密封環 46 外殼 48 上壁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18- 563125 A7 B7 五、發明說明（14.) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 49 侧壁 51 基板支架 52 開口 53 内孔爪手 54 外爪手 56 密封裝置 58 抽吸開口 60 真空泵 62 密封環 64 轉送室 66 開口 68 密封元件 70 外殼 72 上壁 73 侧壁 74 彈性膜片 75 氣室 78 抽吸裝置 79 管路 82 板 84 止擋件 86 彈簧 90 黏結室 92 抽吸袭置 93 管路 100 箭頭 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19- 563125 A7 五、發明說明（15.) 102 箭頭 104 箭頭 106 箭頭 108 箭頭 (諝先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20-

Claims (1)

1. 563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 第90132870號專利案申請專利範圍修正本 1· 一種黏結至少二基板以形成一數據載具之方法，該黏結 在一具有至少一用以輸入及/或輸出基板之開口之低壓室 内進行，其有下列方法步驟： -開口相對於環境密封； -低壓室被抽至低壓； -在設置於低壓室内之第一操作裝置，及設置於低壓室外 之第二操作裝置間，藉由各自密封低壓室之開口形成轉 送室，該轉送室之體積較低壓室小； -在轉送室内之基板從第二操作裝置轉送至第一操作裝 置； -基板與第一操作裝置一同被輸送至在低壓室内之黏結 站，而且此時低壓室由第二操作裝置密封； -在黏結站内黏結基^。 2·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，轉送 室在轉送基板前及/或轉送基板時被抽至低壓，其壓力較 低堡室南。 3·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，第一 操作裝置具有至少二基板存放件，一基板存放件在黏結 時支承基板，而另一基板存放件從内將低壓室之開口相 對於環境密封。 4·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，第一 操作裝置為構成黏結室，被驅動與黏結站接觸。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

   -21 - 563125 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 5·根據申請專利範圍第4項所述之方法，其特徵為，黏結 室被抽至低壓，其壓力較低壓室低。 6· —種黏結至少二基板（3、4)以形成數據載具之裝置（1)， 該裝置具有一低壓室（8)，其具有至少一開口（11)用 以輸入及/或輸出基板，具有一裝置，用以將低壓室（8) 抽至低壓，具有一在低壓室（8)内之黏結站（14)，一 第一操作裝置（16)，用以在低壓室（8)内支承及運輸 基板（3、4) ’該操作裝置可運動至一將開口（u)密封 之位置；及具有一第二操作裝置（24)，用以在低壓室（8) 外支承及運輸基板（3、4)，該操作裝置可運動至一將開 口（ 11)密封之位置。 7·根據申請專利範圍第6項所述之裝置（1)，其特徵為， 操作裝置（16、24)在其密封位置形成一基本上封閉之 轉送室（64)，該轉送室之體積較低壓室（8)之體積小。 8·根據申請專利範圍第6項所述之裝置（1)，其特徵為， 其具有一用以將轉送室抽至低壓之裝置。 9·根據申凊專利範圍第6項所述之裝置（1 )，其特徵為， 第一操作裝置（16)具有至少二基板存放件（20)。 10.根據申凊專利範圍第9項所述之裝置（1 )，其特徵為， 各基板存放件具有U形截面之外殼（26)。 11·根據申請專利範圍第6項所述之裝置（1)，其特徵為， 第二操作裝置（24)具U形截面之外殼（46)。 12·根據申請專利範圍第η項所述之裝置，其特徵為，具有 可在外殼内運動之基板支架（51)。 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁)

   - 22- 563125 申請專利範圍 13·根據申請專利範圍第6項所述之裝置（1)，其特徵為， 第一操作裝置及第二操作裝置（16、24)在基板（3、4) 黏結之前以一定之間距支承。 H·根據申請專利範圍第6項所述之裝置〇)，其特徵為， 第-操作裝置（16)為形成黏結室，可運動而與黏結站 (14)接觸。 15·根據申請專利範圍第14項所述之裝置，其特徵為，其具 有將黏結室抽至低壓之裝置。 16·根據申請專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為，其至 少具有一開口，用以輸入及/或輸出基板，第一操作裝置 可運動至一將開口密封之位置，且具有至少3個基板存 放件；且至少具另一操作裝置’用以在低壓室外支承及 運輸基板，該操作裝置可運動至將開口密封之位置。 本紙張妓適财關家辦（CNs ) A4絲（2⑴公釐） -23-