TW554410B - Photomask visual inspection system - Google Patents

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554410 五、發明說明（l) 發明所屬技術領域 本發明係有關於在半導體產品之製造使用之光罩之外 觀檢驗系統及方法。 習知技術 _ 光罩係半導體積體電路圖案之原版，在步進機等曝光 裝置使用。光罩係在厚度數龍之玻璃基板表面蒸鍍有遮光 效果之Cr氧化膜等金屬膜，對該金屬膜進行蝕刻處理，令 形成積體電路圖案的。以往，在製造光罩之廠商，對於光 罩’檢測額外殘留金屬膜之黑缺陷、反之缺少形成積體電鲁 路圖案之部分之金屬膜之白缺陷以及異物之存在後，排除 對於缺陷、異物等具有超出規格之大小、個數者。 又’為了補足在光罩廠商進行之光罩檢查，光罩使用 者之半導體製造廠商將所交貨之光罩之電路圖案轉印至晶 圓上’關於所形成之電路圖案之好壞進行晶圓檢查，令半 導體產品之良率提高。在光罩使用者進行之晶圓檢查所檢 測之缺陷部分在多個晶片發生於相同之座標位置之情況， 即在確認了共同缺陷之情況，在光罩具有缺陷等不良之可 能性高。在此情況，光罩使用者自在晶圓檢查所檢測之表 示共同缺陷之位置之座標值，分析光罩上之位置後特定不# 良之原因。此時，之前在光罩廠商所進行之檢查之光罩圖 案之方向、檢查區域之設定、座標原點、座標轴等之設定 和在晶圓檢查使用的不同。因而’需要將在光罩檢查所檢 測之表示缺陷部分之座標值等資訊轉換為在光罩檢查使用·

554410 五、發明說明（2) 的而令適合。 圖5表示在晶圓上之圖案及晶圓檢查使用之座標原點 和在光罩上之圖案及光罩檢查使用之座標原點之關係，舉 例表示將在晶圓檢查使用之座標值轉換為在光罩檢查使用 之座標值之方法例之說明圖。在圖5，a係以在晶圓檢查之 使用之座標系表示之晶圓上之圖案。a〇係由在晶圓上之圖 案a之位置顯示使用之由x/y軸構成之正交座標之座標原 點，包含於晶圓檢查資訊。b係以在光罩檢查之使用之座 標系表示之光罩上之圖案。bo係由在光罩上之圖案b之位 置顯示使用之由x/y軸構成之正交座標之座標原點，包含 籲 於光罩檢查資訊。設圖中之晶圓上之圖案a之左下方角落 部為座標原點a〇，設光罩上之圖案b之左下方角落部為座 標原點bO。又，晶圓上之圖案a和光罩上之圖案乜成為以在 y轴方向延伸之任意之軸心鏡像反轉之圖案，在此，以晶 圓上之圖案a表示將光罩上之圖案b縮小的。 —光罩之檢查•觀察自光罩基板（玻璃基板）之圖案面側 (、Cr氧化膜等金屬膜側）進行，在轉印曝光於晶圓上時，自 光罩基板之圖案面之背側（玻璃面側）照射光。因而，在晶 圓上形成將光罩之圖案面之像鏡像反轉之像（自光罩之玻 璃面看到之像）。因而，為了在光罩上觀察在晶圓檢查所 _ ::之缺陷處，將表示晶圓上之位置之座標值轉換為表示 一罩^之位置之座標值。此座標轉換將在晶圓檢查所檢測 之表示具有缺陷之位置之座標值轉換為在光罩上之座 “ 值。將照這樣所得到之光罩上之座標值用於光罩觀察Γ特、

2103-5056-PF(N).ptd 第5頁 554410 五、發明說明（3) 定具有缺陷之位置，分析不良。 發明要解決之課題 因將在以往之晶圓檢查使 查使用之座標值之方法如上述 產品之密集度提高，光罩之對 格’按照在光罩廠商進行之光 付缺陷處•異物。又，為了補 查’在光罩使用者進行晶圓檢 標值和在晶圓檢查使用之座標 良之原因，需要將在晶圓檢查 換後觀察光罩。又，在光罩廠 單廠商各自在光罩上所形成之 置或令進行之方向不同，在光 在光罩使用者進行之晶圓檢查 有座標值之正負等相異等變成 相互之座標值間進行之座標轉 度之情況。關於表示光罩檢查 商之基準值或規定等不同，具 薇商進行之檢查形態之轉換方 座標值之轉換之課題。 又’因晶圓檢查由光罩使 廠商進行，因各自之檢查之座 傳’或因誤解而未正確的座標 用之座標值轉換為在光罩檢 所示進行，由於隨著半導體 於缺陷•異物之規格變得嚴 罩檢查之靈敏度難應充分應 足在光罩廠商進行之光罩檢 查’因在光罩檢查使用之座 值未直接匹配，為了分析不 所檢測之不良處之座標值轉 商進行之光罩檢查，因各光 電路圖案上令開始檢查之位 罩檢查使用之座標值資料和 得到之座標值資料相比，也 發生轉動之關係之情況，在 換也有必須反轉9 〇度或丨8 〇 之結果之資訊’因各光罩廠 有需要以適合在各自之光罩 法進行在晶圓檢查所檢測之 用者進行’光單檢查由光罩 標原點、座標軸等資訊誤 轉換，具有無法分析光罩之

554410 五、發明說明（4) 不良或分析費時之課題。 又 因座標值之轉換作業複雜而易發生計算錯誤，變 成浪費時間，結果製造晶圓之光罩之取得落後，具有因半 導體產品之交貨期延遲而帶來大幅度之損害之情況之課 題。 本發明為解決上述之課題，其目的在於得到光罩外觀 檢驗系統及方法，經由網路進行光罩使用者或光罩廠商之 檢查資訊之通訊，可高效率的分析光罩之不良。 解決課題之方式 在本發明之光罩外觀檢驗系統，使用該光罩製造晶圓 之光罩使用者包括：晶圓檢查裝置，檢查所製造之晶圓； 及檢查資料管理裝置，向該光罩廠商傳送該晶圓檢查裝置 所檢測之表示該晶圓上之圖案之不良處之位置之座標值和 在該晶圓檢查裝置使用之晶圓檢查資訊；令該光罩廠商依 照所傳送之該座標值和該晶圓檢查資訊觀察該光罩之不良 處。 义 在本發明之光罩外觀檢驗系統，製造光罩之光罩廠商 包括·光罩檢查裝置，檢查所製造之光罩；座標轉換裝 置’接收該光罩使用者在晶圓檢查所檢測之表示晶圓上之 圖案之不良處之位置之座標值和在該晶圓檢查使用之晶圓 檢查資訊後，依照在該光罩檢查裝置使用之光罩檢查資訊 和所接收之晶圓檢查資訊，將所接收之該座標值轉換為表 不该光罩上之圖案之不良處之位f之座標值；以及光罩觀

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554410 五、發明說明（5) 察裝置，依 罩。 在本發 罩檢查裝置 座標值和轉 不良處之位 裝置之比對 本發明 括：光罩檢 裝置，向該 該光罩上之 裝置使用之 該座標值和 在本發 晶圓檢查資 原點之偏置 在本發 查裝置，自 料；座標轉 座標資料求 照利用 明之光 所檢測 換為該 置之座 結果。 之光罩 查裝置 光罩使 圖案之 光罩檢 該光罩 明之光 訊所含 量後， 明之光 設計了 換裝置 偏置量 °亥座標轉換裝置轉換後之座標值觀察光 罩外觀檢驗系統，座標轉換裝 2示光罩上之圖案之不良處之位= 掩罩上之座標值之表示晶圓上之圖案之 不值後’ *罩觀察裝置顯示該座標轉換 外觀檢驗系統，製 ，檢杳所製诰夕丨 厥商包 用者傳及檢查資訊傳送 查資訊；令該光罩檢查 檢查資訊檢查該光罩。 得迭之 :夕卜，檢驗系、统，座標轉換裝置求關於 ^座標原點和光罩檢查資訊所含之座栌 σ上忒偏置量，進行座標轉換。 π 檢驗系統，包括CAD資料比對檢 罩上之圖案之CAD資料抽出座標 使用該CAD資料比對檢查襄置所柚出之 發明之實施例 以下說明本發明之實施例 實施例1 _

554410 五、發明說明（6) 圖1係表示實施例1之光罩外 圖1，1係半導體廠商等光罩使用C 2驗上統，構造圖/在 廢商，3是係網際網路等通訊網 路^光罩之光罩 置，由光罩使用者卜斤包括，：=，。4係晶圓檢查裝 後，輸出表示其位置之座標值和1/曰圓上杳\圖案之不良處 查裝置4使用之晶圓檢查資訊曰：-貝：。在晶圓檢 案配置、日曰曰圓之檢查區曰/^查時所記錄之圖 點等資料構成。 w —使用之座標軸及座標原 星蚀5田#^查=貝料官理用電腦（檢查資料管理裝置），由光 括’管理自晶圓檢查裝置4輸【：表示不良 處之位/置之座私值或晶圓檢查資訊。 6係座標轉換用電腦（座# 括，將自曰HI Α本壯 ‘轉換裝置），由光罩廠商2包 产 日日w—裝置4輸出之表示晶圓上之圖案之不良 Ϊ Ϊ ί ΐ之7座/值轉換為在後述之光罩觀察工具8可使用 商2包括，和座ί =工具(光罩檢查裝置）’由光罩廠 或異物後，輸^ Λ 連接，檢測光罩上之缺陷處 和光罩檢查資訊置之座標值或影像等之資料 由光罩之檢杳方6 查工具7使用之光罩檢查資訊 4® „ ώ- 4® JS 〇 光罩檢查區域、在光罩檢查使用之座 ‘軸及座標原點等資料構成。 用 < 厓 腦6連接，使用二示光罩觀察裝置）’和座標轉換用電 腦6轉換之晶圓上之=$查裝置4檢測後用座標轉換用電 工具7輸出之光軍之位置之座標值或自光罩檢查 工 < 圖案之不良處之位置之座標值觀察 2103-5056-PF(N).ptd 第9頁 554410 五、發明說明（7) 該光罩之Scanning Electron Microscope (以下記為SEM) 等。又’光罩使用者1之檢查資料管理用電腦5和光罩廠商 2之座標轉換用電腦6在構造上經由網路連接後可進行資料 通訊。 其次說明動作。 光罩廠商2製造由光罩使用者i委託之光罩，利用光罩 檢查工具7檢查該光罩，在該檢查檢測到不良處之情況， 修理該不良處，又將該修理處記憶於既定之記憶裝置（省 略圖示）後，將藉著修理等滿足了既定之規格之光罩交貨 給光罩使用者1。收到該光罩之光罩使用者丨，實際上使用 該光罩製造半導體晶圓，為了確認在該晶圓上所形成之電 路圖案是否發生缺陷或異物，使用晶圓檢查裝置4檢查。 表示該檢查結果之資料和晶圓檢查資訊一起輸入檢查資料 管理用電腦5 ’進行該晶圓檢查資訊之記憶 送等管理。 在晶圓檢查檢測到在 對於光罩進行詳細之 在晶圓上所形成之多個各晶片， 同一位置被認定缺陷之共同缺陷時， 觀察。 在晶圓檢查裝置4之檢查結果，認定晶圓上有缺陷或 、物之情況’檢查資料管理用電腦5經由網路3將被認定不 =座標值和晶圓檢查資訊一起傳給光罩廠商2之座標轉 腦6。座標轉換用電腦6包括轉換座標值之座標轉換 用軟體，該軟體進行依照晶圓 讯之對應關係之轉換處理在晶圓檢 之

554410 五、發明說明（8) ------- 晶圓上之圖案之不良處之位置之座標值轉換為在 工具8或光罩檢查工具7可使用之表示光罩上之位 觀察 值。 罝之座標 向光罩檢查工具7或SEM等光罩觀察工具8傳 標轉換用電腦6轉換後之晶圓上之圖案之不良處之不座 座標值後進行檢查、觀察。在光罩觀察工具8之立置之 該座標值特定光罩之觀察場所後，進行詳細之θ致兄，自 廠商2自該觀察結果分析不良之原因後進行適告規察。光罩 又，令將表示座標轉換用電腦6轉換 :=置。 案之不良“位置之座標值和在光罩交圖 查結果（表示在光罩檢查所檢測到之光 光罩檢 =之座標值、光罩檢查資訊等）比較、對2 =處之位 【前進：之缺陷等不良處之修正 當等二進:在交 =之光罩檢查或光軍修正之問題點之；二”前 轉換用電腦6 ’將光罩檢查所 二析，，在座樑 上之座標值後，將該光罩上之不良處轉換為光罩 (省略圖示)儲存之表；；在既定之記憶裂置 良處之位置之座；Ρ 、父刖光罩檢查所檢测到< 觀察工具8觀察該光罩，進 f、致之座標值使用光罩 貨前進行之光罩檢杳纟士 A々外之分析。在表示在交 m表示在g檢查匕：修f處之位置 不適當，二二光罩之不良處A 是，可分析在晶圓上“測生不良。於

第11頁 554410 五、發明說明（9) ==±所不，若依據本實施形 表不在晶圓檢杳奘s d μ， 口，、工田’路d進仃 圓切宜裝置4所檢測之晶圓上 位置之座標值之通句 之圖案之不良處之 之位置之座標值轉換為 之圖案之不良處 於自晶圓所檢測之^ ;、f t察可使用之座標值’可對 n只』< 不良即時的進行来 期的改善光罩、確保半導 刀，/、有可早 事業之效果。 千泠體產。〇之乂^期以及可防止影響 實施例2 圖2係表示本發日月 香^ 造圖。對於和施例2之光罩外觀檢驗系統之構 相同之符號，省略詳細說飞相田之#刀使用 之晶圓檢查資訊及光罩檢查 ^ =施例2之說明使用 圓檢查資訊及光罩檢杳次r °和在實施例1所說明之晶 2，10# 乂广Λ 貧訊一樣’省略詳細說明。在圖 罩廠rn'm?用電腦(檢查資訊傳送裝置），由光 ΐϊϊ/Λ’ΛΙ之座標轉換用電腦11傳送表示在交 t 0 t ^ 所進行之光罩檢查所檢測到之光罩上 之圖案之不良處之位置庙 干 之光罩檢查資tfl。 之座心值或在光罩檢查工具7使用 Η係座標轉換用電腦（座標轉換裝置），由光罩使用者 1所匕括’依照所輸入之各光星 訊’將表示在^檢81檢查資 H九 定之座標值。12係檢查資料管理用電 Μ檢查資料管理裝置），由光罩使用者i所包么理自 554410 五 '發明說明（ίο) 裝置4輸出之表示晶圓上之圓案之不良處之位置 之絲值和晶圓檢查資訊。13係光軍檢查工呈， 用者1所包括，檢測所交貨之光罩八 使 光罩廠商2包括之光罩檢罩使之用不//上 系，輸出表示光罩上之圖d;之f;系不同之座標 =係光罩觀察工具(光罩觀察裝置）， ：广 iii不光罩廠商2包括之光罩檢查工具7使用之 座標糸，觀察所交貨之光罩，係晶 光罩使用者1所包括，使用自晶圓檢查裝置4輸出 ΐΐ不上之圖案之不良處之位置之座標值和晶圓檢查 使用去】λ上之圖案之不良。又’在連接成可在光罩 、英田带/光罩廠商2之間通訊之網路3 ’連接檢查資訊傳 送用電腦1 〇和座標轉換用電腦丨i。 其次說明動作。 光罩廠商2使用光罩檢查工具7檢查所製造之光罩， ;用：使用者1父貨。又’自光罩檢查工具7向檢查資訊傳 J用電腦10輸入此時所進行之光罩檢查之檢查 J專 =]光罩上之圖案之不良之位置之座標值、《罩檢杳丁資 ;2)，例如，將該光罩交給光罩使用者i日夺，自檢查；吒 難由網路3向光罩使用者1包括之座標轉換用 、&曰^光罩廠商2收到光罩之光罩使用者丨，使用該光罩 & 0曰圓。用晶圓檢查裝置4檢查該晶圓後，將表示所檢測 之不良處之位置之座標值和晶圓檢查資訊輸入檢查資料管 554410 五、發明說明（ii) 理用電腦1 2後令管理。麸德，认太次— 的將表示所管理之晶圓工之爰圖;m4;理用電_適當 和晶圓檢查資訊輸入座標轉以=處之位置之座標值 在座標轉換用電腦Ilit行之轉 二斤說明之座標轉換用電腦6之處理動，？:施例1 括之座標轉換用軟體，依昭便用自己包 晶圓上之圖案之不良處:位、查二所檢測之 之晶圓檢查資訊、表示自於左欢π值在阳圓檢查使用 3傳送之表示光罩檢杳工具$ ^二5fl傳达用電腦〗0經由網路 處之位置之座標值以及在光罩 =案之不良 行，將自晶圓檢查裝置4輸出之表一示Y之先罩檢查資訊進 處之位置之座標值轉換為在 之圖案之不良 之座標值。 為在先罩檢查工具7使用之座標系 座標轉換用電腦“將該所轉換之座 具7所檢測之不良處，即在 ' τ 0光罩檢查工 〇 ^ , ^ :進行之不良處之修正不適當，因而，二得知在交貨 電路圖案發生不良。照這樣做，光罩 上所形成之 上所檢測之不良之原因為何，向光 】分析在晶圓 良處、分析結果等，對光罩 U :2傳送光罩之不 在以上之說明，將晶圓檢：以所:對策。 7上之之光圖罩案二不/處之位置之座標值轉換為二之罩表示晶® 先罩檢一資訊對應之座標值，但 罩檢查工具 11 ’使得將光罩檢查工具7所檢測之表^ 3轉換用電腦 "九罩上之圖案之 2103-5056-PF(N).ptd 第14頁 554410 五、發明說明（12) 值轉換為和晶圓檢查裝置4之晶圓檢 和晶圓檢查裝置4所檢測之表示 圃茶之不良處之位置之座標值比對也可。

? β之广ί ϋ換用電腦11將晶圓檢查裝置4所檢測之不 良處之座標值轉換為在光罩觀察工具14或光罩檢查工二 使用之座標值。本轉換處理係，依照用 組2取得，晶圓檢查資訊和自光罩檢查工；以；：：| =具1曰4 =侍之光罩檢查資訊，將晶圓檢查裝置4所檢測之、 f =曰曰圓上之圖案之不良處之位置之座標值轉換為在光罩 工具“或光罩檢查工具13使用之座標值的。使用= 、後之座標值’光罩檢查工具! 3或光罩觀察工具“按照需 ^使^ g進打該光罩之檢查或觀察，分析不良處。照這樣 a =罩使用者1分析在晶圓檢查所檢測之不良之原因是 否是光罩具有之不良後，備齊所需之資訊後，和光罩廠商 2委託光罩之不良處之修正。

又，座標轉換用電腦11也可將自檢查資訊傳送用電腦 1 〇傳送之在光罩檢查工具7所檢測之不良處之座、標值轉換 為在光罩觀察工具14、光罩檢查工具13、晶圓檢查裝置4 或光罩觀察工具30可使用之座標值。照這樣做，光罩使用 者1可自行檢查或觀察在交貨前在光罩廠商2所進行之光罩 檢查所檢測之不良處，可確認所交貨之光罩現貨。又，將 藉著比對上述說明之晶圓檢查裝置4所檢測之不良處和光 罩檢查工具7所檢測之不良處後將表示一致之處之座標值 再轉換為在光罩檢查工具13或光罩觀察工具14可使用之座

554410 五、發明說明（13) 標值’使用光罩檢查工且 析，也可分析不声之或光罩觀察工具14也檢查或分 軍檢查工具7使用之光原因此外’在光罩廠商2包括之光 光罩檢查工具13或朵 W 一貧矾和在光罩使用者1包括之 同之情況，即使用相^ H察工具14使用之光罩檢查資訊相 行利用該座標轉換用理座標值之情況’不進 檢查工具ΤΛΛΖΛΙ之不/處之座標值，用光罩 如以上所示，可缺察、檢查該光罩。 杳裝置4所檢測之矣據本貫施形態2，因使得將晶圓檢 測之表示光罩上之圖不在Λ貨前進行之光罩檢查所檢 晶圓檢查所檢測之不良=== 月J進仃之先罩之缺陷修正處之效果。 又，因使得在光罩使用者丨之晶圓檢查裝置4 檢一，用座標轉換用電腦丨丨將所檢測之不 = 杳：工具14觀察或用光罩檢查工具13檢 - 在先罩使用者1觀察光罩之不良處，可分叔丁白 目 有可容易迅速的推測判斷光罩之不良之要因之效果'，/、 、、 又，因使得光罩廠商2在將光罩交貨時自产杏次 送用電腦1 0向座標轉換用電腦丨丨傳送光罩檢杳I一貝I 測之表示光罩之不良處之座標值，具有可令；η 在晶圓檢查檢測到不良之情況之處理效率提高之1文ζ 第16頁 2103-5056-PF(N).ptd 554410 五、發明說明（14) 實施例3 圖3係表示在實施例丨所說明之座標轉換用 實施例2所說明之座標轉換用電腦丨丨使用之座 = 體之構造，即座標轉換用電腦6、丨丨之控制内= ' 人 圖。本控制内容大致分類如下。 〃 ① 令晶圓上之座標鏡像反轉。 ② 依照在下面之i)舉例表示之内容，又

Hi)舉例表示之内容，求關於在晶圓檢查使用之y)、 ==光罩檢查或觀察使用之座標之原點之位置關係發: 之位置丨。）對於晶圓上之座標之原點位置’求在光罩上對應 率、倍=取得光罩圖案形成時之轉寫曝光的旋轉、縮小 i i i )取得光罩圖案的收縮率。 走& 〜iU)所示之内容的處理順序號碼並不限於此 處所述的順序號碼。 ^I+限於此 ③ 將在光罩檢查所檢測之表示 座標原點之偏置後，轉換為在#^ #处之座払值，加上 對應之座標值。為在先罩檢查所使用之座標系之 ④ 比對在晶圓檢杳檢測祛尤◎ 檢查時所檢測之表示不- = : =換之座標值和在光罩 ⑤ 對於在光罩檢查所檢測矣 上座標原點之偏置後，轉換為之座標值’加 符換馮在先罩檢查裝置、光罩觀察 2103-5056-PF(N).ptd _ 第17頁 554410 五、發明說明（15) --- 工具使用之座扭< &铋糸之對應之座標值 .^ 4a& , 係輸入圖3所示之輸入資訊1之「晶圓檢杏 处里r曰m^和座標原點）」和輸入資訊2之晶圓檢杏 、，，。果(S曰圓松查之檢測結果），對於這些進行鏡像反 ~ 理二二處理係輸入圖3所示之輸入資訊3之「光罩：父 訊（座心轴方向、座標原點）」和輸入資訊5之「 貝 (旋轉、倍率、收綠i、你 ^ δίι 點之偏置。⑺率」後，求在先罩檢查使用之座標原 「曰③之處理係考慮座標原點之偏置，對於輸入資 訊2「之曰/曰檢查結果」進行座標轉換後，輸出輸出資 之aa圓檢查之檢測座標值之光罩上之對應座標值」。在 ④之處理’藉著比對圖3所示之輸入資訊4之「光罩檢查結 果^檢測座標值、缺陷型式、缺陷修正狀況）和在③之處^ 所付到之座標值，判定這些座標值是否相同後，作為圖3 所不之$出資訊2之「光罩檢查檢測處和晶圓檢查檢測處 =比對結果」輸出。又，在⑤之處理，考慮在①之處理所 ，到之座標原點之偏置後，對於圖3所示之輸入資訊4之 「光罩檢查結果」進行座標轉換，得到輸出資訊3之「光 罩檢查之檢測座標轉換值之晶圓上對應座標值」。 次如以上所示，若依據實施形態3，因使得依照晶圓檢 查> sfl、光罩檢查資訊以及曝光資訊將在晶圓檢查所檢測 之晶圓上之圖案之不良處之位置之座標值轉換為在光罩檢 查或光罩觀察使用之光罩上之座標值，可正確、高效率的 將在晶圓檢查所檢測之晶圓上之不良處轉換為光罩上之座 標值，具有可迅速的弄清楚、解決光罩之不良而改善半導

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:t品之良率之效果。x，因使得依照光罩檢查資訊及眼 =將，罩檢查所檢測之表示光罩上之圖案 之座標值轉換為在晶圓檢查或晶圓觀察使用之曰 =座標可迅速分析光罩上之圖案之不良所 回上之不良。 17丨愁之日日 實施例4 對於ΓΛ4*本實施例4之光罩外觀檢驗m構造圖。 之符；Ϊ施例1所說明之圖1相同或相當之部分使用相同 具說明。在圖4(A)，2G係㈤f料比對檢查工 ί設計:t查裝置）’由檢查光罩使用者1包括’比 ^ °罩之圖案之CAD裝置（省略圖示）之資料。又，在 置)由’】1 罩係 =2資勺料比對檢查工具⑽資料比對檢查裝 裝置(省略比對檢查設計光罩之圖案之㈤ 其次說明動作。 样韓、⑻所示之光罩外觀檢驗系統，除了利用座 標轉換以外，因也進r,上 貝枓求偏置量後進行座 驗系统-樣之=: 施例1所說明之光罩外觀檢 尔為樣之動作，省略說明。 圖4 ( A )所不之光罩外觀檢驗^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 1包括CAD資料比對檢杳卫 八“ f 先罩使用者 資料比對檢杳工且20 ^ ：Λ令其和網路3連接的。CAD 私础 * ~ 八20裝載抽出構成CAD資料之座俨眘枓夕 軟體。使用本CAD資料比對檢杳工且2。=座帖貝枓之 子双置工具20，自光罩之CAD資料 554410 五、發明說明（17) 例如抽出在設計光罩之CAD資料時使用之 資料。使用表示該座標原點之資料，按昭既定之·上% J J 3 ^ ^ 4 f „ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 查資訊所含之座標原點之偏置量。 卓才双 座標轉換用電腦6計算CAD資料所含 檢查資訊所含之座標原點之差值後，以力？和晶圓 之座標原點和光罩檢查資訊所含;十：：貝料所含 之值，咖資料所含之2二Λ基準使用 晶圓檢查資訊所含之座標原點和光罩檢查 Γ 差值。計算該絕對量後，作為偏置 ®進盯既疋之資料處理，進行座標轉換處理。 圖4(B)所示之光罩外觀檢驗系統 = :?，b對檢查工具21自光單圖= 光罩之cad資料時使用之座標原點的，得 =和圖4(A)所示之CAD資料比對檢查工具2〇 一樣之作用效 夕e ί ®求用座標轉換用電腦6計算之晶圓檢查資訊所含 it ΐ ^二點和光罩檢查資訊所含之座標原點之偏置之計算 ^ 一 f。在圖4(B)，CAD資料比對檢查工具21和網路3 π但^是為了得到一樣之作用效果，在構造上不經由網 以專用線和座標轉換用電腦6連接也可。 粗+ ^二上所示，若依據本實施形態4，因使得使用CAD資 零，」:，工具20、21所抽出之CAD資料所含之座標原 2 ’计ΐ晶圓檢查資訊所含之座標原點和光罩檢查資訊所 3之座&原點之偏置量，得到藉著令座標轉換用電腦6執 554410 五、發明說明（18) 行既定之計算自動求偏置量之效果 發明之效果 、， 如以上所示，若依據本發明，使用該光罩製造晶圓之 光罩使用者包括：晶圓檢查裝置，檢查所製造之晶圓；及 =查資料管理裝置，向該光罩廠商傳送該晶圓檢查裝置所 表示該晶圓上之圖案之不良處之位置之座標值和在 5 : 3檢查f置使用之晶圓檢查資訊；因令該光罩廠商依 Γ ，之该座標值和該晶圓檢查資訊觀察該光罩之不良 ΐ期良之原因後迅速檢討對策，具有可 查裝：依Ξί:;造：U光^光罩廠商包括：光罩檢 使用者在晶圓檢查所檢測之表3換裝置’接收該光罩 位置之座標值和在該晶圓檢查使:圓上之圖案之不良處之 照在該光罩檢查裝置使用之光:之晶圓檢查資訊後，依 檢查資訊，將所接收之該座標值t查資訊和所接收之晶圓 案之不良處之位置之座標值；以轉換為表示該光罩上之圖 用該座標轉換裝置轉換後之座=及光罩觀察裝置，依照利 發生不良之原因後迅速檢討對=值觀察光罩；可推測光罩 之效果。 ，具有可早期的改善光罩 若依據本發明，因使得 置所檢測之表示光罩上之圖案Z轉換裝置比對光罩檢查裝 轉換為該光罩上之座標值之表〜不良處之位置之座標值和 __ 不晶圓上之圖案之不良處之 554410 五、發明說明（19) — 位置之座標值後’光罩觀察裝 ^结果，可推測光罩發生不良之原因後之比 有可早期的改善光罩之效果。 疋揿#對朿，具 若依據本發明，製造光罩之光罩廠 裝置’檢查所製造之光罩；及檢查資訊傳晋先罩檢查 罩使用者傳送該光罩檢查裝置所檢 ^ ，向该光 罩檢查資^因使；===查裝置使用之光 值和該光罩檢查資訊檢查；送之該座標 若依據本發明，因使；：：：：：善光罩之效果。 資訊所含之座標原點和光罩檢:次、、置求關於晶圓檢查 置量後，加上該偏置量， ^^所含之座標原點之偏

查所檢測之表示晶圓上之有可將晶圓檢 確的轉換為光罩上之座標值^效果處之位置之座標值正 若依據本發明，包括CAD 了光罩上之圖案之CAD資+ =對檢查裝置，自設計 換裝置使用該CAD資料比對檢j ^資料；因使得座標轉 偏置量，具有可自動計算偏VV之^斤抽出之座標資料求 2103-5056-PF(N).ptd 第22頁 55441ο 圏式簡單說明 造圖 圓1係表不本發明之實施例〗之光罩外觀檢驗系統之構 造圖 圖2係表示本發明之實施例2之光罩外觀檢驗系統 之構 之柃ΓΛ係丄表π在纟發明之實施例3之座標#換用電腦使用 〈控制内容之說明圖。 包回從用 系统Γ二(Β。)係表示本發明之實施例4之光罩外觀檢驗 光罩=5杳係#表田不將以在之晶圓檢查使用之座標值轉換為在 阜檢查使用之座標值之方法之說明圖。 任 符號說明 1光罩使用者、 2光罩廠商、 3 網路、 曰曰圓檢查裝置、 5 8 10 11 12 13 檢查資料管理用電腦（檢查資料管理裝置 座標轉換用電腦（座標轉換裝置）、▼置 光罩檢查工具（光罩檢查裝置）、 光罩觀察工具（光罩觀察裝置）、 ，查資訊傳送用電腦（檢查資訊傳送裝】 座橾轉換用電腦（座標轉換裝置）、 ^查資料管理用電腦（檢查^ 光罩檢查工具、 、卞e 衣」

2103-5056-PF(N).ptd 第23頁 554410 圖式簡單說明 14 光罩觀察工具（光罩觀察裝置）、 20、21 CAD資料比對檢查工具（CAD資料比對檢查裝 置）

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Claims (1)

1. 554410 -----^ 六、申請專利範圍 1 · 一種光罩外觀檢驗系# 之間，經由網路進行資$通I ，在和製造光罩之光罩廠商 其特徵在於 通讯’檢驗該光罩， :，4光罩製造晶圓之光罩使 :圓檢查裝置，檢查所製造 =. 檢查資料管理裝置，向該光日嫂 置所檢測之表示該晶圓上之圖送該晶圓檢查裝 和在:亥晶圓檢查裝置使用之晶圓檢：=之位置之座標值 訊觀= 所傳送之該座標值和該晶圓檢查資 *罩使用者和使用光罩製造晶圓之 其特徵在於.·進订資訊通訊’檢驗該光罩， 製造光罩之光罩廠商包括·· 光罩檢查裝置，檢查所製造之光罩； 座標轉換裝置，接收該光罩传用去 之表示晶圓上之圖案之；良則 檢查使用之晶圓檢查資訊後，依照在該光罩檢查裝=== 之光罩檢查資訊和所接收之晶圓檢查資訊，將^ ^收之1 j標=換為表示該光罩上之圖案之不良處之位置之座;票 光罩觀察裝置，依照利用該座標轉換裝置 標值觀察光罩。 付伏伙< /主 3·如申請專利範圍第2項之光罩外觀檢驗系統，其 ΕΜ 2103-5056-PF(N).ptd 第25頁 554410 六、申請專利範圍 令’座標轉換裝置比對光 之圖案之不良處之位置之座伊值裝f 測之表示光罩上 值之表示晶圓上之圖案之不該光罩上之座標 觀察裝f顯示該座標轉換裝置之比座標值後，光罩 光罩4使’在“用光罩製造晶圓之 其Ξ;:::經由網路進行資訊通訊，檢 製造光罩之光罩廠商包括： 光罩檢查裝置，檢查所製造之光罩· 裝置罩傳送該光罩檢查 值和之座標 • 7該先罩使用者使用所傳送之該 資訊檢查該光罩。 π值和該光罩檢查 5 ·如申請專利範圍第2項之光罩外觀私 中，座標轉換裝置求關於晶圓檢查^驗系統，其 光罩檢查資訊所含之座標原點之偏置1 3之座標原點和 量，進行座標轉換。 里彳，加上該偏置 6.如申請專利範圍第5項之光罩 中，包括CAD資料比對檢查裝置， 秋驗系統，其 之CAD資料抽出座標資料； 了光罩上之圖案 β ^標轉換裝置使用該CAD資料比對檢杳 座標資料求偏置量。 一裝置所抽出之 2103-5056-PF(N).ptd 第26頁