TW552380B - Clean room ceiling filter unit support system - Google Patents

Clean room ceiling filter unit support system Download PDF

Info

Publication number
TW552380B
TW552380B TW090128835A TW90128835A TW552380B TW 552380 B TW552380 B TW 552380B TW 090128835 A TW090128835 A TW 090128835A TW 90128835 A TW90128835 A TW 90128835A TW 552380 B TW552380 B TW 552380B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
filter unit
buckle
clean room
support
support system
Prior art date
Application number
TW090128835A
Other languages
English (en)
Inventor
Tony Gomez
Peter Jeanseau
Original Assignee
Hepa Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hepa Corp filed Critical Hepa Corp
Application granted granted Critical
Publication of TW552380B publication Critical patent/TW552380B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D46/00Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002Casings; Housings; Frame constructions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D46/00Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2279/00Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses
    • B01D2279/50Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses for air conditioning
    • B01D2279/51Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses for air conditioning in clean rooms, e.g. production facilities for electronic devices, laboratories

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

552380 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7___五、發明説明(1 ) 發明背景 1 .發明範圍 本發明是關於淸潔室系統,特別是關於淸潔室頂板系 統。「頂板」在此不僅包含室之水平上壁與下壁或地板, 而且包含垂直側壁。術語下、上、上方、下方等與它們的 意義是關於傳統頂板設備,且當「頂板」並非在工作空間 上方時,應該了解係相對的術語。 2 .相關技藝 淸潔室頂板係習知且典型上包括一或更多由一結構支 撐的過濾器單元,該結構係獨立或與過濾器單元成爲一體 。過濾器單元-其係經常更換-的容易安裝與移除越來越 重要。對於增加方便性與降低成本而言,自過濾器系統之 室側更換係所欲者。氣密式安裝過濾器單元於它們的過濾 器支撐結構之需求已導致使用支撐件,其具有凸緣或唇部 ,過濾器單元頂住於彼而成爲密封的狀況。通過凸緣而插 入過濾器單元可能會有問題。最近以來已顯示,密封帶可 以使用在過濾器陣列的空隙,以阻礙未過濾的空氣流,在 某些系統中免除使用支撐凸緣,及緩和插入的問題。 發明槪述 本發明是關於過濾器單元,其包括一框架及密封於框 架中的過濾介質,支撐結構包括一支撐件及合作扣件,支 撐件是諸如格柵或其他陣列的支撐元件,或一或更多互相 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -4- 552380 A7 -____B7 五、發明説明(2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 連接之模組式底架之過濾器單元承接件,底架是與過濾器 單元一致且緊密配合,合作扣件包含複數彈簧負載式扣鎖 及鎖緊扣件,用於以簡單的推入、推出移動而可分離地將 過濾器單元接合於支撐結構中。 直接、容易且無傾斜地將過濾器單元安裝於它們的支 撐結構中係所欲者,且現在能夠以一過濾器單元安裝系 統-其對於過濾器的存在產生反應—而達成。較佳地,此 系統也允許過濾器單元容易地自支撐件及自室側分離。 圖式簡單說明 將配合附圖,進一步說明本發明,附圖中: 圖1是本發明之淸潔室頂板的斜視圖,而使過濾器分 離以顯示扣件; 圖2是本發明之過濾器單元與承接單元支撐結構的爆 炸視圖; 圖3 A是過濾器單元側的分解詳圖,而接合的樞動扣 鎖係銷嚙合; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖3 B是如同圖3 A的視圖,而接合的樞動扣鎖樞動 離開銷; 圖3 C是過濾器單元與支撐結構的分解詳圖,每一側 的扣鎖是與一共用的繫鏈栓在一起; 圖4是典型上自工作空間觀看在組合狀況之過濾器單 元與支撐件的底平視圖; 圖5 A是具有一阻尼器與阻尼器調整特性之過濾器單 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29?公釐) -5- 552380 A7 B7五、發明説明(3 ) 元的側視圖,部分爲剖面; 圖5 B是過濾器單元阻尼器與阻尼器調整特性之分解 、詳圖;而 圖6是用於將測試材料引入空氣流中之過濾器單元的 側視圖,部分爲剖面。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 主要元件對照表 10 淸潔室頂板系統 12 頂板 14 過濾器單元支撐件 15 下端 16 吊掛件 17 上端 18 真實頂板 2 2 空間室 24 空氣供應源 2 6 導管 28 過濾器單元 3 0 過濾器單元支撐結構 3 2 框架 34 過濾介質 3 4a 過濾介質封包 3 4b 過濾介質封包 36 外殼或承接件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29?公釐) 552380 A7 B7 五、發明説明(4 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 8 貯 藏 器 4 2 鎖 緊 扣件 4 4 對 件 4 6 對 件 4 8 對 件 5 2 對 件 5 4 扣 鎖 5 6 銷 5 8 扣 鎖 導 肩 6 2 樞 動 件軌 跡 6 4 合作 鎖 緊 件 6 6 張 力 彈 簧 6 8 扣 鎖 部 分 7 4 尾 肩 結 構 7 6 面 向 外 的 側 部 7 8 面 向 外 的 側 部 8 2 面 向 外 的 側 部 8 4 面 向 外 的 側 部 8 6 面 向 內 的 側 部 8 8 面 向 內 的 側 部 9 2 面 向 內 的 側 部 9 4 面 向 內 的 側 部 9 6 扣 鎖 本 體 9 8 臂 部 分 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 552380 A7 B7 五、發明説明(5 1 0 4 1〇6 1 0 8 110 112 114 2 2 2 2 4 5 2 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 2 4 4 4 6 4 8 5 2 5 4 7 槽 槽口 前面 凸緣 繫鏈 分割器 托架 外U形凸緣 間隙 內部凸緣 外U形凸緣 刀緣 上蓋 中央開口 環圏 空氣入口 出口 導管 導管開口 阻尼器 穿孔板 管 桿 〇形環 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) - 8- 552380 A7 B7 五、發明説明(6 ) 15 8 襯套 16 4 測試材料 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 166 供應源 127 流體或固體密封劑 5 4 1 第一組樞動扣鎖 542 第二組樞動扣鎖 1121 第一繫鏈 1122 第二繫鏈 W 工作空間 較佳實施例說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 現在詳細參考圖,在圖1與5 A中,本發明的第一繪 示性實施例具有發明性的淸潔室頂板系統,其整體標示於 1 0。系統1 0包括一水平配置的下垂式頂板1 2及側向 與縱向延伸的過濾器單元支撐件1 4,其包含承載於垂直 配置之吊掛件1 6下端1 5的支撐結構3 0,吊掛件1 6 的對立上端1 7接合至室的真實頂板1 8。可以使用任何 其他適當形式的垂直或水平支撐件。過濾器單元支撐結構 3 ◦配置成爲在關閉的空間室2 2及其中的工作空間w上 方。頂板系統1 0的功能是將Η E P A或u P L A標準空 氣或其他尚度過灑的空氣引至工作空間冒,空氣血型上被 接受,以濾除由撓性導管2 6指示的空氣供應源2 4 (圖 5 )。 淸潔室頂板系統1 0又包含一或複數過灑器單元2 8 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ' -9- 552380 A7 B7 五'瞽明説明(7 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’其係預定的形狀,此處顯示爲矩形,且包括一框架3 2 胃赏'封於框架中的過濾介質3 4。過濾器單元支撐結構 3 Q與相鄰的過濾器單元框架3 2 —致且緊密配合,以支 擦適濾器單元2 8至工作空間W之一側。 在本發明的一特點中提供一種快速作用、安全及容易 反向、形式優越之過濾器單元2 8至過濾器單元支撐件 1 4的安裝接合件。特別如圖1 - 4所示,過濾器單元支 撐件1 4包含個別或配置成柵格的支撐結構3 〇,支撐結 構3 0典型上包括一外殼或承接件3 6,其界定一貯藏器 或〜系列貯藏器3 8,用於承接與安裝個別的過濾器單元 2 8、複數組成對的合作扣鎖與鎖緊扣件4 2 (其由過濾 器單元框架3 2承載)及過濾器單元支撐承接件3 6。扣 件4 2包括對立(且是可對準的關係)的對件4 4、4 6 、4 8、5 2,以充當一扣鎖5 4與一銷5 6的組件。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印¾ 參考圖3 A、3 B與3 C,每一扣鎖5 4 (圖3 C顯 示成爲封閉)具有一導肩5 8,扣鎖藉由彼而與樞動件 6 2成爲可撓曲的關係。樞動是由顯示成爲銷5 6之形式 的合作鎖緊件6 4所造成。於鎖緊銷5 6與扣鎖導肩5 8 嚙合時,扣鎖樞動,以通過鎖緊銷(見圖2、3 A與3 c )。張力彈簧6 6偏壓於每一扣鎖5 4,以抗拒鎖緊銷 5 6導致的撓曲。張力彈簧6 6耦合於扣鎖部分6 8與過 濾器單元框架3 2之間,以鄰近於且偏置於樞動軌跡6 2 。如此安裝的彈簧6 6傾向於使扣鎖保持嚙合於合作的鎖 緊銷5 6。每一扣鎖5 4藉由它的安裝與彈簧負載(如所 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐 -10- 552380 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(8 ) 述)而可返回未撓曲的位置(圖2、3A),其是與鎖緊 銷5 6成爲嚙合的關係,以在扣鎖通過鎖緊銷以後,阻礙 過濾器單元2 8與過濾器單元支撐承接件3 6的分離。 扣鎖5 4又具有一標示於7 4的尾肩結構,扣鎖藉由 彼而反向撓曲,以脫離鎖緊銷5 6 °較佳地,反向撓曲是 自過濾器單元支擦承接件3 6的外邰引發,如後述。扣鎖 5 4的反向撓曲-較佳爲自工作空間w之內—使過濾器單 元2 8自過濾器單元支撐承接件3 6釋放,且允許過濾器 單元2 8從支撐承接件3 6下降。 在圖1 - 4所示實施例中,過濾器單元框架3 2界定 四面向外的側部7 6、7 8、8 2與8 4 °較佳爲二,但 多至四的側部7 6 - 8 4承載一或更多扣鎖5 4 (或鎖緊 銷5 6 ),其各與一由過濾器單元支撐承接件3 6個別承 載的匹配鎖緊件(或扣鎖)成爲閂鎖的關係。一過濾器單 元支撐承接件3 6配置於每一過濾器單元框架3 2的周圍 。每一承接件3 6具有四面向內的側部8 6、8 8、9 2 、9 4,其對應於過濾器單元2 8的四面向外的側部7 δ - 8 4,面向內的側部設置成爲對立於每一個別的過濾器 單元之面向外(由扣鎖5 4或鎖緊銷5 6承載)的側部。 於是,至少二但多至四之過濾器單元支撐承接件的面向內 的側部8 6 - 9 4承載一或更多鎖緊銷3 6 (或扣鎖5 4 ),其與一扣鎖(或鎖緊件)成爲閂鎖的關係’扣鎖由過 濾器單元2 8的面向外的側部7 6 - 8 4以可問鎖對準的 關係承載。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2!〇Χ297公釐) -11 - 552380 A7 B7 五、發明説明(9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 較佳地,過濾器單元框架3 2之面相對、較長的側部 7 6、7 8各承載一對或一組彈簧負載式扣鎖5 4。鎖緊 胃5 6突起進入承接件內部3 7,且垂直於承接件之面向 內的側部8 6、8 8而延伸,以對立於扣鎖肩部5 8。每 〜扣鎖5 4 (在樞動件6 2 )安裝至它的個別面向外的側 部,以在一平行於承載扣鎖的過濾器單元側部(7 6、 7 8 )之平面中樞動。扣鎖導肩5 8在肩5 8上的一點-其將使肩偏離銷5 6 -接觸於對立的鎖緊銷5 6,且促使 扣鎖樞動。 每一扣鎖5 4較佳爲鉤形,具有一在樞動件6 2樞動 的本體部份9 6、一自本體部份延伸的臂部分9 8。臂部 分9 8界定扣鎖導肩5 8。臂部分9 8與扣鎖本體部份 9 6隔離小的距離,以界定一鎖緊銷5 6承接槽1 〇 4, 其在扣鎖5 4轉動撓曲時拱形行進。在撓曲定向或狀況的 臂部分98設置成爲具有適當尺寸以通過鎖緊銷56,且 於扣鎖5 4與它的臂部分在未撓曲的定向或狀況,藉由將 銷承接於槽1 0 4中而嚙合於鎖緊銷5 6,如圖3 A所示 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 0 臂導肩5 8是凸輪形,如所示,而它的轉動軸線偏置 樞動件6 2,或是任何形狀,其在肩嚙合於鎖緊銷、5 g日寺 ,將轉動式驅動扣鎖5 4於它的樞動軌跡。導肩5 8的曲 率是俾使導肩與鎖緊銷5 6的接觸輕觸於扣鎖,其方式是 安置槽口 1 0 6,以使鎖緊銷5 6進入槽1 〇 4。 每一過濾器單冗側部7 6 - 8 4具有一前面1〇8 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇χ297公釐) -12 - 552380 A7 B7 五、發明説明(10 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其垂直於側部而延伸且面對工作空間w。每一扣鎖5 4較 佳爲-在所不的貫施例中-具有一凸緣1 1 〇,其與扣鎖 本體部分9 6的尾肩7 4成直角而延伸。凸緣1 1 〇可分 離地嚙合於側則面1 〇 8,且用於阻礙扣鎖5 4在彈簧 6 6的偏壓力下過度轉動,以及提供一指握部,用於自工 作空間W內轉動扣鎖。 爲了便利於每一扣鎖5 4 —起反向轉動以使扣鎖脫離 鎖緊銷5 6,扣鎖較佳爲連接於一連桿或纜線,其顯示成 爲繋鏈1 1 2。繫鏈1 1 2適當固定至扣鎖部分68,且 其長度與設置適於使一組二或更多的扣鎖5 4從它們的銷 嚙合同時樞動。耢由可自工作空間W中進接之扣鎖5 4的 凸緣1 1 0,繫鏈1 1 2由於耦合的扣鎖5 4之一的轉動 而被引動,以致於過濾器單元2 8閂鎖的反向可藉由拉動 扣鎖之一的空間暴露(room-exposed)的凸緣1 1〇而容易 地引發,藉以將繋鏈1 1 2耦合的其他扣鎖或諸扣鎖自銷 5 6嚙合同時轉移至一扣鎖。 在所示的設置中,每一過濾器單元框架側部—例如 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 6、7 8 -上之每一組或一對扣鎖5 4 1 、5 4 2中的 獨立扣鎖由一共用的繋鏈1 1 2連接在一起。替代地,在 用於過濾器單元2 8或承接件3 6之一給定的扣鎖組中的 全部扣鎖能夠由單一繋鏈1 1 2連接。在每一設置中,所 欲者爲,錯由繫鍵1 1 2而足夠问時地引動扣鎖 ί卑使過 爐益早兀2 8平順且可預測地脫離它的承接件2 g。若干 扣鎖5 4與一共用的繋鏈1 1 2之耦合使得單—工作者在 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -13- 552380 A7 B7 五、發明説明(n) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 使過濾器單元2 8自承接件3 6移除時能夠釋放及控制過 濾器單元2 8,於是比起需要二或更多工作者處理過濾器 單元的移除之系統,可提供更經濟的配置。 總之,本實施例的過濾器單元框架3 2是矩形,且具 有第一與第二對面向外的側部7 6、7 8,其上有第一與 第二組樞動扣鎖5 4 1、5 4 2沿著側部的長軸線,個別 安裝成爲縱向分佈的關係。過濾器單元支撐件1 4包含第 一與第二組鎖緊銷5 6 1 、5 6 2,其也縱向分佈而安裝 成爲和第一與第二組樞動扣鎖5 4 1、5 4 2合作的關係 。第一與第二繫鏈1丨2 1、1 1 2 2分別連接第一與第 二組樞動扣鎖5 4 1、5 4 2,以個別用於使扣鎖5 4 1 或5 4 2在每一組中一起樞動成爲銷5 6分離的關係。 過濾器單元支撐結構側部8 6、8 8、9 2與9 4各 具有一外U形凸緣1 1 6,其包括一殘壁1 1 8,殘壁 1 1 8平行於結構側部而延伸且與彼相隔一狹窄的間隙 1 2 2。支撐結構也可以包含一內部凸緣1 2 3,其具有 一刀緣1 2 5 (圖3 C ),用於密封的目的,如下述。鎖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 緊銷5 6由結構側部-例如,8 6 -支撐於定位,也可以 由殘壁1 1 8支撐成爲橫過間隙1 2 2的關係。 過濾器單元側部7 6、7 8、8 2與8 4也具有一外 U形凸緣1 2 4,其周緣具有適當尺寸,以裝入過濾器單 兀支撐承接件3 6中,且是如所不的形狀,以承接支撐,結 構內部凸緣1 2 3。凸緣1 2 4含有流體或固體密封劑 1 2 7,其本身是習知的,諸如尼奧普林或其他密封塾片 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -14- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 552380 A7 ___B7 _ 五、發明説明(12 ) 或密封凝膠的材料,用於將過濾器單元2 8密封於承接件 3 6,如同凸緣刀緣1 2 5密封於密封劑一般。或者,這 些零件的密封可以藉由在它們的頂靠軌跡之密封聯珠或帶 。請見_例如-授給J e a n s e a u與B1· a m a η的美國專利 5, 8 7 1, 5 5 6號,其揭示以引用的方式倂入本文中 〇 過濾器單元凸緣1 2 4也藉由支撐樞動銷6 2 -扣鎖 本體9 6在其上轉動-而支撐扣鎖組5 4 1、5 4 2。於 是,本發明提供一種唯一的過濾器單元2 8,用於淸潔室 頂板系統,包括一過濾器單元2 8,用於安裝在由支撐表 面1 8支撐的支撐件·3 0中。過濾器單元具有一框架3 2 與過濾介質3 4,框架3 2具有面向外的側壁7 6 - 8 4 ,過濾介質3 4係永久或可更換地密封於框架中。過濾器 單元側壁7 6、7 8支撐合作扣件,包括扣鎖5 4與鎖緊 銷56,其可支撐在支撐件30的過濾器單元28且與支 撐表面1 8隔離。 在此特點中,本發明的方法包含使過濾器單元2 8與 過濾器單元支撐結構3 0和淸潔室2 2中的工作空間W維 持空氣過濾的關係,利用合作的扣鎖5 4與鎖緊銷5 6, 藉由扣鎖接觸於鎖緊件時的撓曲而通過鎖緊件,將過濾器 單元耦合至支撐結構,一旦鎖緊件在支撐結構上成爲過濾 器單元支撐的關係,扣鎖可閂鎖於鎖緊件上,且藉由引動 凸緣1 1 0及使共用繋鏈1 1 2之相鄰與耦合的扣鎖同時 撓曲,而將扣鎖5 4反向撓曲,使過濾器單元脫離支撐結 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ' ' -15- --·--1---------IT-----·線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 552380 A7 B7 五、發明説明(13 ) 構。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 現在參考圖5 A、5 B與6,本發明也提供一種設備 及方法,用於測試安裝在淸潔室中之過濾器單元的高效率 顆粒空氣過濾介質,包含在介質的下游側之桿入口引入一 測試材料至桿中,及使測試材料釋放於在桿出口之介質的 上游側,且使空氣通過上游側,到達介質的下游側。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此實施例中,參考圖5 A與5 B,過濾器單元2 8 與支撐件3 0和前述者很像,而修改如下:過濾器單元 2 8是典型上分離的單元,但可在一陣列中,在該處,承 接件3 6是一栅格型態的若干者之一,如圖1所示。過濾 器單元28具有複數過濾介質封包34a、34b,其由 一分割器1 1 4分離且密封至框架3 2中。一托架1 1 5 在分割器1 1 4上方,且承載一襯套1 5 8。過濾器單元 2 8又包含一上蓋1 3 2,其固定至框架側部7 6 - 8 4 。上蓋132具有一中央開口 134,其由一環圏136 環繞。過濾器單元2 8的加壓空氣供應源2 4連通於撓性 導管1 4 6的出口 1 44所形成的空氣入口 1 42。導管 開口 1 4 8對準入口環圏1 3 6,且與彼固定成爲流體緊 密的關係。 一包括穿孔板1 5 4的阻尼器1 5 2控制空氣之從導 管1 4 6流入。一垂直或軸向可移動的桿1 5 6在一管 155中延伸,其固定於分割器114中。〇形環157 將管1 5 5中的桿1 5 6密封。桿1 5 6由固定至托架 1 1 5的襯套1 5 8軸撐及支撐。桿1 5 6承載阻尼器板 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -16- 552380 A7 B7 五、發明説明(14 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 5 4,且在分割器1 1 4中的管1 5 5內自工作空間W 延伸至空氣入口 1 4 2。適當地,桿1 5 6係螺合而螺旋 前進通過支撐於過濾介質34a、34b之平面157上 方的螺紋襯套1 5 8,以藉由作用在桿之暴露工作空間W 的下端1 6 2上之螺絲起子或其他工具轉動,相對於固定 的襯套而垂直調整。 阻尼器1 5 2於是藉由襯套1 5 8中之桿1 5 6的調 整而或多或少移動至環圏1 3 6,以增加或減少空氣流動 至過濾器單元2 8,此是平衡跨越過濾器單元或在一陣列 中的複數過濾器單元之間的空氣流所需者。自工作空間內 調整阻尼器1 5 2設定的能力是本發明之此實施例的顯著 優點。另一特性是將阻尼器1 5 2與桿1 5 6整合於過濾 器單元2 8中,以致於每次更換過濾器單元可爲整個組件 帶來方便性及更低的成本。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在又一實施例中,特別顯示於圖6,桿1 5 6是管狀 。測試材料1 6 4 -諸如用於測試Η E P A或U L P A過 濾器效率之適當尺寸的粒子之氣溶膠霧(aerosol challenge mist)-自供應源166注入,或者,自過濾介質34a、 3 4 b下方擠入桿1 5 6,以自工作空間W內送入過濾器 單元2 8中之過濾介質上游及頂部的預過濾介質空氣流。 測量通過介質3 4的材料1 6 4,以測試過濾器單元2 8 。此種進行測試而不需要使操作者爬到過濾器單元上方之 能力是本發明之此實施例的重要優點。 本纸浪尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) -17 -

Claims (1)

  1. 552380 A8 B8 C8 D8 ___ 穴、申請專利乾圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 . 一種用於過濾器單元之淸潔室頂板過濾器單元支 撐系統,包括一框架及密封於該框架中的過濾介質’以及 一過濾器單元支撐件,支撐件鄰近於該框架,用於支撐鄰 近於該工作空間的過濾器單元,該過濾器單元支撐系統包 括合作扣件,該合作扣件由該過濾器單元框架與該過滤器 單元支撐件承載,一合作扣件可撓曲而與它的該合作扣件 成爲樞動關係,且被偏壓而抗拒該撓曲,以在撓曲以後返 回一未撓曲的位置,俾支撐該過濾器單元於該過濾器單元 支撐件中。 2 .如申請專利範圍第1項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中該一合作扣件是彈簧負載且女^成爲用於 樞動。 3 ·如申請專利範圍第1項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中該一合作扣件可自該過濾器單元支撐系統· 外部反向撓曲,以脫離該支撐系統。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 _如申請專利範圍第1項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中該過濾器單元具有複數面向外的側部,至 少二該側部承載一合作扣件。 5 ·如申請專利範圍第4項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中至少二該過濾器單元框架之面向外的側部 承載該一*合作扣件,該一^合作扣件包括一^弾黃負載式扣鎖 ,該扣鎖包含一扣鎖肩,該扣鎖在一平行於承載該扣鎖之 過濾器單元側部的平面中樞動,該面向內的支撐側部各承 載一對立的第二合作扣件,每一該扣鎖包括一鎖緊件,其 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公董1 " -18- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 552380 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 具有一銷,該銷垂直於該過濾器單元支撐件而突起且設置 成爲與該扣鎖肩嚙合成爲撓曲的關係,該扣鎖是鉤形,以 在該扣鎖肩通過該銷以後,捕捉該銷而在該銷上成爲過濾 器單元支撐的關係。 6 .如申請專利範圍第5項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中承載該扣鎖之過爐益早兀側部具有一*垂直 於該側部的前面,每一該扣鎖具有一第二尾肩,該尾肩具 有一凸緣,其設置成爲在該過濾器單元閂鎖於該過濾器單 元支撐件的狀況,可分離地嚙合於該側前面。 7 .如申請專利範圍第6項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中也包含一繫鏈,其固定至每一該扣鎖,用 於藉由該繫鏈在一該扣鎖上樞動,而使複數該扣鎖自銷嚙 合而同時樞動,該繫鏈係可從一淸潔室內近接。 8 .如申請專利範圍第7項之淸潔室頂板過濾器單元· 支撐系統,其中該扣鎖結構組由一共用的繫鏈拴住,用於 藉由該繫鏈,自銷嚙合而同時樞動。 9 ·如申請專利範圍第8項之淸潔室頂板過濾器單元 支撐系統,其中該過濾器單元框架是矩形,且具有第一與 第二對面向外的側部,在該第一與第二對側部上個別安裝 有第一與第二組樞動扣鎖而成爲縱向分佈的關係,在該過 濾器單元支撐件上安裝有第一與第二組銷,而和該第一與 第二組扣鎖成爲合作的關係,第一與第二繫鏈分別連接該 第一與第二組扣鎖的構件,用以響應於扣鎖組中之一扣鎖 的樞動,使每一組中的每一扣鎖一起樞動而成爲銷分離的 本紙張尺度適用中國國家棵準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -- -19 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
    552380 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 關係。 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 0 ·如申請專利範圍第8項之淸潔室頂板過濾器單 元支撐系統,其中該過濾器單元支撐結構側部具有一外U 形凸緣,其包括一殘壁,該殘壁平行於該結構側部而延伸 且與彼相隔一間隙,該銷由該結構側部支撐於定位,以突 起進入δ亥支撐結構的內部。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之淸潔室頂板過濾器 單元支撐系統,其中該過濾器單元支撐的扣鎖包括一扣鎖 構件,其樞動於該過瀘器單元側部上,該扣鎖構件包括一 葉片,該葉片的一端界定一扣鎖導肩,而另一端,一凸緣 界定一扣鎖尾肩,且在該端之間界定一樞動軌跡,該扣鎖 構件葉片在該支撐結構內部嚙合於該銷。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項之淸潔室頂板過濾器 單元支撐系統,其中該過濾器單元側部具有一對立於該支· 撐結構內部的U形凸緣,該過濾器單元側部凸緣承載該扣 鎖而成爲銷對準的關係。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 3 ·如申請專利範圍第1 1項之淸潔室頂板過濾器 單元支撐系統,其中也包含一繫鏈,其連接於相鄰的扣鎖 ,用於使該扣鎖一起自銷嚙合而樞動,扣鎖組拴住於一共 用的繫鏈,用於在該組的任何構件樞動時,自一組扣鎖的 每一構件之銷嚙合同時樞動。 1 4 . 一種淸潔室過濾器,其特徵爲包括一過濾器單 元,用於安裝在一由支撐表面支撐的支撐件中,該過濾器 單元具有面向外的側壁與密封於該框架的過濾器介質,該 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) -20- 552380 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 側壁與支撐件界定自撓曲的合作扣件,其可支撐在該支撐 件的過濾器單元且與該支撐表面隔離。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之淸潔室過濾器,其 中該合作扣件是大體上鉤形的扣鎖,其可與一鎖緊件合作 ,鎖緊件包括一垂直於該過濾器單元而突起的銷,該扣鎖 的構造與設置是俾使它的導肩嚙合於該銷而成爲撓曲的關 係,且在該扣鎖導肩通過該銷以後,捕捉該銷而在該銷上 成爲過濾器單元支撐的關係。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m 1111 ιϋ>1 m I ml 一"Jmu m· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -21 -
TW090128835A 2000-12-07 2001-11-21 Clean room ceiling filter unit support system TW552380B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US25433200P 2000-12-07 2000-12-07
PCT/US2000/033332 WO2002045818A1 (en) 2000-12-07 2000-12-08 Clean room ceiling filter unit support system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW552380B true TW552380B (en) 2003-09-11

Family

ID=22963870

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW090102073A TW508413B (en) 2000-12-07 2001-02-01 High filter efficiency, low energy consumption, and low noise fan filter unit
TW090128835A TW552380B (en) 2000-12-07 2001-11-21 Clean room ceiling filter unit support system

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW090102073A TW508413B (en) 2000-12-07 2001-02-01 High filter efficiency, low energy consumption, and low noise fan filter unit

Country Status (9)

Country Link
EP (1) EP1409110B1 (zh)
JP (1) JP4088153B2 (zh)
AT (1) ATE410214T1 (zh)
AU (1) AU2001219554A1 (zh)
DE (1) DE60040491D1 (zh)
MY (1) MY127229A (zh)
SG (1) SG120862A1 (zh)
TW (2) TW508413B (zh)
WO (1) WO2002045818A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4857076B2 (ja) * 2006-10-31 2012-01-18 三菱電機システムサービス株式会社 ウェザーカバー
CN111102219B (zh) * 2019-12-13 2020-11-10 深圳市美日净化科技有限公司 一种下拆式风机过滤系统及高效过滤器更换方法
CN113083382A (zh) * 2021-01-20 2021-07-09 中科美菱低温科技股份有限公司 一种生物安全柜及其拆装方法
CN116753581B (zh) * 2023-08-15 2023-11-03 赣州核虔建设工程有限公司 一种用于建筑施工用的通风装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3782082A (en) * 1971-11-08 1974-01-01 American Air Filter Co Ceiling filter system for clean room
US4217122A (en) * 1978-11-01 1980-08-12 American Air Filter Company, Inc. Filter retaining latch
JPS63138635A (ja) * 1986-11-28 1988-06-10 Nec Corp 蛍光表示管
JPH062728Y2 (ja) * 1988-04-19 1994-01-26 日本無機株式会社 エアフィルタ取付装置
JP2551923Y2 (ja) * 1990-05-07 1997-10-27 清水建設株式会社 クリーンルーム
US5613759A (en) * 1991-06-24 1997-03-25 Brod & Mcclung-Pace Co. Light and filter support structure
DE9110734U1 (de) * 1991-08-30 1991-11-14 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Füllrohr zum Füllen von schlauchförmigen Hüllen
US5733348A (en) * 1995-10-27 1998-03-31 Skarsten; Darrell L. Air filtering apparatus
US5865674A (en) * 1995-12-22 1999-02-02 Envirco Corporation Flush lighting system for cleanroom
DE19641127A1 (de) * 1996-10-05 1998-04-09 Meissner & Wurst Reinraumdecke, vorzugsweise Rasterdecke
US5871556A (en) * 1997-05-02 1999-02-16 Hepa Corporation Clean room air filter system with self-supporting filter units
US6190431B1 (en) * 1997-05-02 2001-02-20 Peter Jeanseau Individually pin-supported filter units for a clean room system
KR100271760B1 (ko) * 1997-07-25 2001-01-15 윤종용 크린룸의필터교체용보조장치
US5944602A (en) * 1997-09-09 1999-08-31 Tumi Manufacturing, Inc. Portable cleanroom cabinet assembly
US5946875A (en) * 1997-09-09 1999-09-07 Hepa Corporation Bracket and fastener assembly for easily installed clean room ceiling with self-supporting filter units
JP2000329385A (ja) * 1999-05-18 2000-11-30 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 塵埃発生装置及びクリーンルーム装置

Also Published As

Publication number Publication date
ATE410214T1 (de) 2008-10-15
DE60040491D1 (de) 2008-11-20
WO2002045818A1 (en) 2002-06-13
TW508413B (en) 2002-11-01
EP1409110A1 (en) 2004-04-21
EP1409110B1 (en) 2008-10-08
AU2001219554A1 (en) 2002-06-18
SG120862A1 (en) 2006-04-26
JP2004515735A (ja) 2004-05-27
MY127229A (en) 2006-11-30
EP1409110A4 (en) 2004-11-17
JP4088153B2 (ja) 2008-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6267793B1 (en) Snap-in, snap-out clean room ceiling system
TWI661860B (zh) 空氣過濾器外殼、使用空氣過濾器外殼及將面板類型空氣過濾器安裝在空氣過濾器外殼中之方法
US3468334A (en) Outlet receptacle for centralized vacuum cleaning system
TW552380B (en) Clean room ceiling filter unit support system
JP4834000B2 (ja) 酸素マスクを展開するための装置
US20210077934A1 (en) Air filter systems, filter bag assemblies, filter bags and methods
CZ257396A3 (en) Oral pharmaceutical carrier preparation adhering to mucous membranes
US3747305A (en) Tubular gas filter apparatus
US20070199289A1 (en) Filter Holding Frame with Clamping Mechanism
CA2209795A1 (en) Air cleaner
CA2433050A1 (en) Filter apparatus and methods
EP1885472A4 (en) DEVICE FOR CLEANING A FILTER ELEMENT
JPS6051370B2 (ja) フイルタ・ユニツト
JP2711209B2 (ja) 膜体フィルタ除去ツール
US4756728A (en) Air filtering device
US3280540A (en) Supporting and sealing means for filters
EP0034197B1 (de) Befestigungseinrichtung für Filterschläuche in Staubgasfiltern
CA2360843C (en) Clean room ceiling filter unit support system
US2668532A (en) Respirator with interchangeable filters
KR200301988Y1 (ko) 크린룸용 청정공기 공급장치의 헤파필터 어셈블리
EP4308271A1 (en) Enlarged opening filter bags, support assemblies, and filter bag assemblies
KR100359540B1 (ko) 필터취부장치와 이러한 장치가 결합된 인큐베이터
JP2004325046A (ja) フィルターユニット
JPS5916520A (ja) エアフイルタ−装置
JP3757014B2 (ja) 濾過式集塵装置のリテーナ・濾布組み立て体とその取り付け方法

Legal Events

Date Code Title Description
GD4A Issue of patent certificate for granted invention patent
MK4A Expiration of patent term of an invention patent