TW548520B - Positive resist composition for X-rays or electron beams - Google Patents

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548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（1 ) 【技術領域】 本發明係有關一種正型電子線或X線阻體組成物，尤其 是有關對電子線或X線而言具有優異解像力之正型電子線 或X線阻體組成物。 【先前技術】 1線阻體、KrF準分子雷射阻體、ArF準分子雷射阻體等， 由於阻體在曝光波長具有吸收性，故在曝光表面與底部中 底部只有很少的曝光量、爲正型阻體時一般會形成稱爲錐 形狀之圖像外型。 然而，爲電子線阻體時由於入射的電子具有電荷、構成 阻體物質的原子核或電子受到相互影響，故於電子線必須 入射電子膜時會引起散亂情形（電子之散亂係如「 THOMPSON, WILLSON, BOWDEN, -“Introduction to Microlithograghy” ACS Symposium series 219, p 4 7 -6 3」中所記載）。因此，曝光部係阻體膜表面之曝光面積 較底部大，爲正型阻體時會有形成稱爲相反錐形形狀之圖 像外型的問題。而且，爲使微細圖像解像時即使扭轉束徑 予以曝光，會有因該散亂現象使曝光面積擴大、解像力不 佳的問題。 _ 【發明之揭示】 本發明之目的係提供一種具有高解像力之正型電子線或 X線阻體組成物，以及具有高解像力、高感度之正型電子 線或X線阻體組成物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線赢 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（2 ) 換言之，本發明發現藉由在正型電子線或X線阻體組成 物中添加藉甶電子線或X線照射產生酸之化合物、特定低 分子溶解阻止1劑，可達成本發明上述目的。 (1 ) 一種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A )藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B 1 )具有藉由酸作用分解之基、且藉由酸作用增大對鹼 像液之溶解度、分子量爲1 0 0 0〜3 0 0 0之低分子溶解阻止 化合物， 其特徵爲該低分子溶解阻止化合物除了含有藉由酸作用 分解之基亦含有2個以上三苯基甲烷構造爲非共軛鍵結的 構造。 (2 )如上述（1 )記載之正型電子線或X線阻體組成物，其中， 低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一般式（b 1 ) 所示化合物所成群的化合物。

(b1) (其中，R,(),〜R,! 8係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • --------訂---------· 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3 ) L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-A()、-R2〇〇_eQQA。、_ Ar〇B°,惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子， A()係表示-C ( R2()1 ) ( R2()2 ) ( R2。3)、- S i ( R2()1 ) ( r2()2 ) ( R2)、 -C(R2°4)(R 2 0 5 ) -OR 2 0 6， B°係表示AQ或- COOA(), 係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族烴 基，且-A r -係表不單鍵或可具多環取代基之2價芳香族烴 基， , R⑽、RW、Rm、、R2Q5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀院基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基， R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟R2()1〜 中至少有2個爲氫原子以外之基，且R2()1〜R2。3、及〜 R 2 ()6中有2個基可互相鍵結形成環） (3 ) —種正型電子線或X線阻體組成物，其係含有 (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物、 (B2)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大_ 鹼像液之溶解度、分子量爲1000〜3000之低分子溶解阻 止化合物， 其特徵爲低分子溶解阻止化合物含有3個以上下述〜般 式（b2)所示構造、該構造爲非共軛鍵結的構造。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -----------裝--------訂--------- 華 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 一 B7 五、發明說明（4 )

(其中，r119〜r126係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-A()、-R^-COOAQ、-ArOB(),惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子， A()係表示- C(R2(n)(R2°2)(R2〇3)、-Si(R2(n)(R2(32)(R2〇3)、 -C(R 2 0 4 )(R 2 0 5 ) -OR 2 0 6 , B()係表示 A()或-C00A(), R2()()係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族烴 基，且-A r -係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香族烴 基， 、R2Q2、R203、係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基， R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟R2()1〜R2°3 中至少有2個爲氫原子以外之基，且R2。1〜R2»3、及R2()4〜 R 206中有2個基可互相鍵結形成環）， (4 )如上述（3 )記載之正型電子線或X線阻體組成物，其 中，低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一般式 (b 3 )及一般式（b4 )所示化合物所成群的化合物。 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） % * ------------裝--------訂---------- 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、潑^明說明（5

C — γ (b3) (其中，R, 27〜R!32係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 院基、支鏈狀烷基、環狀烷基、稀基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、_ a。、_ r 2。。_匚〇 〇 a ()、_ ArOB°,惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子，

A()係表示-C(R2()1)(R2()2)(R

Si(R201)(R 2 0 2 )(R 2 0 . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

---I I---訂---I I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -C(R2()4)(R 2 0 5 ) -OR 2 0 6 , B()係表示 A° 或-C00A(), R2()()係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族烴 基，且-A r -係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香族烴 基， R⑽、R2Q2、R2(n、、r2()5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀院基、支鏈狀院基、環狀院基、烯基或芳基， R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟R2()1〜R2(). 中至少2個爲氫原子以外之基，且 >20 1

R 20：

、及R 2 0 4 辱- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、潑^明說明（6 ) R 2 ()ό中有2個基可互相鍵結形成環， Υ係表示氛原子或甲基）

Cb4) (其中，R! 33〜R144係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈吠烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-A〇、KC〇〇A。、_ A rOB、惟Z中50旲耳％以上不爲氫原子， A()係表示 _ C(R2()I ) (R2〇2) (R2M )、_Sl (R2(" ) (R2()2 ) ( r2()3)、 -C(R 2 0 4 )(R 2 0 5 )-OR 2 0 6 , Βϋ係表示Αϋ或-COOA0, R2()()係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族烴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -----------裝--------訂---------- ^•1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（7 ) 基，且-A r -係表不單鍵或可具多環取代基之2價芳香族烴 基， 、R2(n、r2()4、R2()5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基， R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟R2〇i〜R2(n 中至少有2個爲氫原子以外之基，且R2 () 1〜R2 () 3、及r 2 °4〜 R 2 06中有2個基可互相鍵結形成環）， (5 ) —種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B3)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大對 鹼像液之溶解度、分子量爲3000以下之低分子溶解阻止 化合物， 其特徵爲低分子溶解阻止化合物具有部分構造之聯苯基 構造或三伸苯基構造，該藉由酸作用分解之基中所含的苯 環外部分中苯環總數爲3個〜1 3個。 (6 )如上述（5 )記載之正型電子線或X線阻體組成物，其 中，低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一般式 (I h -1)〜（I h - 7 )所示化合物所成群的化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

· I I I I 華· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（8

R

-ο 6 2 R1

Z

R 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Z .20 3 4 R R1 h- ο 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---------------------訂—------線* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（9 )

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（10 )

ΖΌ OZf

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •丨丨丨—丨丨丨訂·丨丨丨！丨！ | 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (lh-7) (其中，R I Ο l ’〜R l I。’、 R I I 2 ’〜R 2 ! 3 ’係表示相同或不同的 氫原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基，

Rm’係表示氫原子、直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯基 或苯基，Rl3l ’與Rl32，可互相鍵結形成環，Y’係表示氫原子 或甲基，同一'分子中數個Z’可爲相同或不同者， -12- 張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 -------B7 五、發明說明（11 ) Z’係表示氫原子、-A『、一u⑽A。'、，Ar _〇B〇,， 惟上述式（Ih-1)〜（Ih_4)中z，之9〇莫耳％以上不爲氫原 子， —般式（Ih-5)〜（Ih-7)中Z，中5〇莫耳％以上不爲氫原子， A『係表示- ΠΚ3(η)(κ3ϋ2)(υ、-SUR3()丨）（R”)2)(R3()3)、 -C ( R 3 〇 4 ) ( R 3 ο 5 ) "0^ 3 0 6 ? B0’係表示 A◦’或-COOA0’， loo係表示單鍵、可具取代基之2價月旨肪族或芳香族基， A r係表示可具取代基之2價芳香族基 R3〇i ' 、R3Q3、R3〇4、R3Q5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基， R偏係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟R3(n〜 R3〇3中任意2個，或R3Q4〜 R3()6中任意2個可互相鍵結形 成環） (7 ) —種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B4)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大對 鹼像液之溶解度、分子量爲3000以F之低分子溶解阻止 化合物， 其特徵爲低分子溶解阻止化合物具有部分構造之莽構造 〇 (8 )如上述（7 )記載之正型電子線或X線阻體組成物，其 中，低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一般式 -13· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） ♦ - --------------I----訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、令务明說明（12 ) (I h - 8)〜（I h - 1 0 )所示化合物所成群的化合物 Z〇wC-R…V^〇Z· ^319 R31n310 313

^324 ^325 ^317 ^316 (lh-8)

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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‘362 363 (lh，)14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

548520 五、今务明說明（13) (其中，R3 ,◦〜R 3 6 5係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 、支鏈狀、環狀烷基、烯基，R川與R3]8、I”與R^()、 R 3 4 2與R 3 5 5可互相以單鍵形成環， Z’係與上述同義，同一分子中數個z，可相同或不同，分 子中Z’之90莫耳％以上不爲氫原子） (9 )如上述（1 )〜（8 )中任一項記載之正型電子線或X線阻 體組成物，其中，至少含有（C)可藉由酸作用增大鹼顯像 液之溶解度的樹脂、及（D)不溶於水、可溶於鹼顯像液之 樹脂中任一個。 (1 0 )如上述（1 )〜（8 )中任一項記載之正型電子線或X線 阻體組成物，其中，藉由電子線或X線照射產生酸之化合 物係爲至少-一種選自下述一般式（I )〜（I I I )所示化合物所 成群的化合物。 -' --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（14 )

X (I)

R R

R37 R38 R43 R42 (X 一）2 R 23 R 41 (I I)

R 51 (III) -------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中，R,〜R53係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀、 支鏈狀或環狀烷基、支鏈狀或環狀烷氧基、羥基、鹵素原 子、或-S - R 5 4， R54係表示支鏈狀或環狀烷基或芳基，而且，Ι^〜κι5、 RI6〜R43、R44〜R53中有2個以上鍵結、形成含有1種或2 種以上選自單鍵、碳原子、氧原子、硫原子、及氮原子之 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、潑^明說明（15 ) 環， X係表示可具取代基之碳數1〜1 8的鏈烷磺酸、苯磺酸 、或蒽磺酸之陰離子） (1 1 )如上述（1 0 )記載之正型電子線或X線阻體組成物， 其中，於上述一般式（I)〜（III)中X -係爲具有至少一種 選自 至少一個氟原子、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯胺基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之芳基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之芳烷基、以 及 至少一個可以氟原子取代的烷氧基羧基之苯磺酸、萘磺 酸、蒽磺酸的陰離子。 (1 2 )如上述（1 )〜（1 1 )中任一項記載之正型電子線或X線 阻體組成物，其中，含有（Ε )具有陽離子聚合性機能之化 合物。 (13)如上述（12)記載之正型電子線或X線阻體組成物， -1 7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） * i ------------------- —訂--------- 線― (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、考务明說明（16) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，具有陽離子聚合性機能之化合物係爲至少一種選自 乙烯化合物、環鏈烷化合物、乙烯化合物、環狀醚化合物 、內酯化合物、醛化合物之化合物。 (1 4 )如上述（1 2 )記載之正型電子線或X線阻體組成物， 其中，具有陽離子聚合性機能之化合物係爲一般式（A )所示 化合物。 一般式(A)

Ra \ /〇Rd ,c=c (其中，Ra、Rb、Rc係表示相同或不同的氫原子、可具 取代基之烷基或芳基，且此等之中有2個可鍵結形成飽和 或烯烴性不飽和環， R d係表示院基或取代院基） (1 5 )如上述（1 )〜（Π )中任一項記載之正型電子線或X線 阻體組成物，其中，含有（F )氟系及/或矽系界面活性劑。 (1 6 )如上述（1 )〜（Π )中任一項記載之正型電子線或X線 阻體組成物，其中，另含有有機鹼性化合物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 7 )如上述（1 )〜（1 1 )中任一項記載之正型電子線或X線 阻體組成物，其中，含有至少一種選自丙二醇單甲醚乙酸 酉旨、丙二醇單甲醚丙酸酯、丙二醇單甲醚、乳酸甲酯、乳 酸乙酯、碳數6〜9之直鏈狀酮、r - 丁內酯所成群之溶劑 〇 -1 8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、潑^明說明（17) 【發明之實施形態】 於下述中說明有關本發明之正型電子線或X線阻體組成 物。 [I ] (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物（以下稱爲 「成分（A )」） 成分（A )只要是藉由電子線或X線照射產生酸之化合物 即可，可使用任何者，惟以一般式（1)〜（I I I )所示化合物 較佳。 [I - 1 ] 一般式（I )〜（I I I )所示化合物 於一般式（I )〜（I I I )所示化合物中，r i〜r54之直鏈狀、 支鏈狀烷基例如可具取代基之甲基、乙基、丙基、正丁基 、第2 · 丁基、第3 - 丁基之碳數爲1〜4個者。環狀院基例 女口爲可具取代基之環丙基、環戊基、環己基之碳數爲3〜8 個者。 R!〜Rn之直鏈狀、支鏈狀烷氧基例如有甲氧基、乙氧基 、羥基乙氧基、丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第2 -丁氧 基、桌3 -丁氧基之碳數爲1〜4者。 環狀烷氧基例如有環戊氧基、環己氧基等。 R!〜之鹵素原子例如有氟原子、氯原子、溴原子、碘 原子。 之芳基例如有苯基、甲苯基、甲氧基苯基、萘基之 可具有取代基的碳數6〜1 4個者。 此等取代基之較佳者例如有碳數1〜4個之烷氧基、鹵 -1 9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線秦 548520 A7

五、發明說明（18 ) 素原子（氟原子、氯原子、碘原子 、碳數2〜6個之烯基、氰基、 、硝基等。而且，R!〜Rl5、Rl6〜R4 、碳數6〜1 〇個之芳基 羥基、羧基、烷氧基羰基 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 、R4 4〜R5 3中有2個以上鍵結形 成含有i種或2種以上選自單鍵、碳原子' 氧原子、硫原 子、及氮原子之環，例如有呋喃環、二氫呋喃環、吡喃環 、三氫tt喃環、_吩環、Π比略環等。 此外，以R j 6〜R 2 ()中至少2個、r 2 i〜r 2 5中至少2個、 R2。〜R29中至少2個、R3。〜R”中至少2個、R“〜中至 少2個、R39〜R43中至少2個爲氫原子較佳。 於一般式（I )〜（I I I )中X·係爲可取代之甲烷磺酸、丁烷 磺酸、苯磺酸、萘磺酸、或蒽磺酸之陰離子。較佳者爲具 有至少一種選自下述基之苯磺酸、萘磺酸、或蒽磺酸之陰 離子。藉此可使外型形狀之矩形性較爲優異。 至少一個氟原子、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯基、 可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯氧基、 至少一個 至少一個 至少一個 可以氟原子取代的支 可以氟原子取代的支 -20- 鏈狀或環狀之磺醯胺基 鏈狀或環狀之芳基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) s'. 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、号务明說明（19 ) 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之芳烷基、以及 至少一個可以氟原子取代的烷氧基羧基 上述直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基係以碳數1〜1 2個、以 1〜25個氟原子取代者較佳。具體而言例如三氟甲基、五 氟甲基、2, 2,2-三氟乙基、七氟丙基、七氟異丙基、過氟 丁基、過氟辛基、過氟十二烷基、過氟環己基等。其中， 全部以氟取代的碳數1〜4之過氟烷基較佳。 上述直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基係以碳數1〜1 2個、 以1〜25個氟原子取代者較佳。具體而言例如有三氟甲氧 基、五氟乙氧基、七氟異丙氧基、過氟丁氧基、過氟辛氧 基、過氟十二烷氧基、過氟環己氧基等。其中，全部以氟 取代的碳數1〜4之過氟烷氧基較佳。 上述醯基以碳數2〜1 2個、以1〜2 3個氟原子取代者較 佳。具體而言例如有三氟乙醯基、氟乙醯基、五氟乙醯基 、五氟苯甲醯基等。 上述醯氧基係以碳數2〜1 2個、以1〜2 3個氟原子取代 者較佳。具體而言例如有三氟乙醯氧基、氟乙醯氧基、五 氟丙醯氧基、五氟苯甲醯氧基等。 上述磺基係以碳數1〜1 2個、以1〜2 5個氟原子取代者 較佳。具體而言例如有三氟甲烷磺基、五氟乙烷磺基、過 氟丁烷磺基、過氟辛烷磺基、五氟苯磺基、4-三氟甲基苯 購基等。 上述基氧基係以碳數1〜12個、以1〜25個氟原子耳又 代者較佳。具體而言例如有三氟甲烷磺基氧基、過氟丁烷 石興基氧基、4 -二氣甲基苯擴基氧基等。 上述磺基胺基係以碳數1〜1 2個、以1〜2 5個氟原子取 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ挪公髮）' ----1 -----------------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、号务明說明（20) 代者較佳。具體而言例如有三氟甲烷磺基胺基、過氟丁烷 磺基胺基、過氟辛烷磺基胺基、五氟苯磺基胺基等。 上述芳基係以碳數6〜14個、以1〜9個氟原子取代者 較佳。具體而言例如有五氟苯基、4 -三氟甲基苯基、五氯 萘基、九氟蒽基、4 -氟苯基、2, 4 -二氟苯基等。 上述芳院基係以碳數7〜1 0個、以1〜1 5個氣原子取代 者較佳。具體而言例如有五氟苯基甲基、五氟苯基乙基、 過氟苯甲基、過氟苯乙基等。 上述烷氧基羰基係以碳數2〜1 3個、以1〜25個氣原子 取代者較佳。具體而言例如有三氟甲氧基羰基、五氯乙氧 基羰基、五氟苯氧基羰基、過氟丁氧基羰基、過氯辛氧基 羰基等。 最佳的X_係爲以氟取代的苯磺酸陰離子，其中，以五^ 氟苯磺酸陰離子特佳。 另外，上述具氟取代基之苯磺酸、萘磺酸、或；g； 5黃g爱@ 可以直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基、醯基、磺基、磺_ _ 、擴基胺基、芳基、芳院基、院氧基鎖基（此等之碳數範 圍與上述相同者）、鹵素（除氟以外）、經基、硝基等取代 〇 一般式（I )所示化合物之具體例如下所示。 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、号务明說明（21

a〇-su (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂----— s'. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 d-ι) 八P八 MeO~Y^^-S+ -O3S-'ij)~~f (1-3)

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Sf ~〇3S—^ j^"—§-C4Fe (1-12) S 十 j)一Br BuO—<1 <^W>oc ^s-〇 (1-13) (1-14) 般式（I I )所示化合物之具體例如下所示 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（22

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(II-3)

CgF-|7〇QC'-〇3S-(Q> ^

S+j 肝〇 2 -〇3S-Q^〇〇4F9 (II-4) -----------裝--------訂---------- S— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 式 般

F 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、号务明說明（23

F F

CF3 •〇ssH0^F。4:

(III-5)

NHCOCbH17 -祕 (II 卜 6)

(111-7)

MeO

-03S ο o-s-cf3 II w 〇

CF,

-〇3S

Br o S-C4F9o 般式（I )〜（I I I )所示化合物可一種或二種以上倂用 -25 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） ------------裝--------訂—--------(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520

五、發明說明（24 ) 舟又式（1 ) ( I I )之化合物例如有吋藉由使芳基鎂溴化 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 物等之芳基格利雅試藥、與經取代或未取代的苯基亞珮化 物反應、使所得的三芳基毓鹵化物與所對應的磺酸予以鹽 交換方法，經取代或未取代之苯基亞礪與所對應的芳香族 化口物使用甲ik磺酸/五氧化二磷或氯化銘等酸觸媒予以 縮合、鹽父換的方法，或二芳基碘鐵鹽與二芳基硫化物使 用醋酸銅等觸媒予以縮合、鹽交換之方法等合成。 式（π I)之化合物可藉由使用過碘酸鹽使芳香族化合物 反應予以合成。 而且，鹽父換所使用的擴酸或磺酸鹽可藉由市售的擴酸 氯化物加水分解的方法、使芳香族合物與氯磺酸反應的方 法、使芳香族化合物與胺基磺酸反應的方法等製得。 具體而言，一般式（I )〜（I I I )之具體化合物的合成方法 如下所示。 (五氟苯磺酸四甲銨之合成） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在冰冷下1 00ml甲醇中溶解於25g五氟苯磺醯基氯化物 ，於其中徐徐地加入100g之2 5%四甲銨氫氧化物水溶液。 在室溫下攪拌3小時，製得五氟苯磺酸四甲銨鹽溶液。使 該溶液使用與毓鹽、碘鏺鹽予以鹽交換。 (三苯基毓五氟苯磺酸鹽之合成：具體例（I - 1 )之合成） 使50g二苯基亞碾溶解於800ml苯，於其中加入200g 氯化鋁、回流24小時。使反應液慢慢地注入2L冰中，於 其中加入40 0ml濃鹽酸、在70°C下加熱10分鐘。使該水 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公爱） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（25 ) 溶液以500ml醋酸乙酯洗淨、過濾後加入400ml溶解有 2〇〇g碘化銨者。 使析出的粉體過濾、水洗後以醋酸乙酯洗淨、乾燥，製 得70g三苯基毓碘化物。 使30. 5g三苯基毓碘化物溶解於1 000ml甲醇中，在該 溶液中加入1 9 · 1 g氧化銀，在室溫下攪拌4小時。使溶液 過滅、且於其中加入過量的五氟苯擴酸四甲錢鹽之溶液， 使反應液濃縮、且使其溶解於500ml二氯甲烷，且使該溶 液以5%四甲銨氫氧化物水溶液、及水洗淨。使有機相以無 水硫酸鈉乾燥後、予以濃縮，製得三苯基毓五氟苯磺酸鹽 〇 (三芳基毓五氟苯磺酸鹽之合成：具體例（I - 9 )與（I I - 1 )之 混合物的合成） 將5Qg三苯基毓氯化物（FI uka製、三苯基毓氯化物50% 水溶液）溶解於500ml水中，加入過量的五氟苯磺酸四甲 銨鹽溶液後，析出油狀物質。以癸烷除去上層澄淸液，使 所得的油狀物質水洗、乾燥後，製得三芳基銃五氟苯磺酸 鹽（以具體例（I - 9 )、（ I I - 1 )爲主成分）。 (二（4-第3-醯基苯基）碘鏺五氟苯磺酸鹽之合成：具體例 (I I 1-1)之合成） 使60g第3-醯基苯、39.5g碘酸鉀、81g醋酸酐、17〇ml 二氯甲烷混合，且在冰冷下於其中慢慢地滴入66 . 8 g濃硫 酸。在冰冷下攪拌2小時後，在室溫下攪拌10小時。在 -27- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公复） -----------裝--------訂—------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（26 ) 反應液中、冰冷下加入500ml水，使其以二氯甲烷萃取、 使有機相以碳酸氫鈉、水洗淨後予以濃縮，製得二（4 -第 3 -醯基苯基）碘鏺硫酸鹽。使該硫酸鹽加入過量的五氟苯 磺酸四甲銨溶液中。在該溶液中加入5 0 0 m水，使其以二 氯甲烷萃取、使有機相以5%四甲銨氫氧化物水溶液、及水 洗淨後予以濃縮，製得二（4 -第3 -醯基苯基）碘錄五氟苯 擴酸鹽（I I I - 1 )。 其他化合物亦可以相同的方法合成。 [I - 2 ]可使用作爲成分（A )的省他酸發生劑 於本發明中，除成分（A )以外可倂用藉由能量線照射分 解產生酸之化合物。 而且，本發明中可倂用作爲成分（A )之上述一般式（I )〜 一般式（I I I )所示化合物、與下述藉由放射線照射產生酸 之化合物。 本發明中與上述一般式（I )--般式（I I I )所示化合物倂 用的光酸發生劑之使用重，以旲耳比（成分（A )/其他酸發 生齊彳）而言通常爲100/0〜20/80、較佳者爲loo/ο〜40/60 、更佳者爲1〇〇/〇〜50 / 5 0 ◦ 成分（A )之總含量對本發明正型電子線或X線阻體組成 物全部組成物的固成分而言，通常爲0 . 1〜2 0重量％、較 佳者爲0.5〜10重量％、更佳者爲1〜7重量％。 該放射線酸發生劑可使用適當地選擇光陽離子聚合之光 啓始劑、光游離基聚合之光啓始劑、色素類之消光劑、光 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

· I I I I 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（27) 變色劑、或微波爐所使用的藉由能量線照射產生酸之習知 化合物及此等之混合物。 例如 S. I .Schlesinger，Photogr.Sci .Eng·，18,387 ( 1 9 74)' T . S . Ba 1 e t a 1，Po 1 yme r，2 1，42 3 ( 1 980 )等所記載 的二偶氮鏺鹽、美國專利第4,069,0 5 5號、同4,06 9,0 5 6號 、同Re 27，9 92號、特願平3 - 1 40, 1 40號等所記載的銨鹽、 D.C.Necker etal,Macromolecules, 17,2468(1984) ' C.S.Wen eta 1,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Toky〇，0ct(1988)、美國專利第 4,069，〇55號、同 4，〇69,056 號等記載的硫鹽、J.V.Crivello etal, Macromorecules， 1 〇（6) ,1307( 1977)、Chem.&Eng.News，Νον·28，ρ31(1988) 、歐洲專利第1 04, 1 43號、美國專利第3 3 9，049號、同第 410,201號、特開平2 - 1 50,848號、特開平2,296,5 1 4號等 言己載的碘鐵鹽、J.V.Crivello etal，Polymer J.17,73 (1985)、 J.V.Crivello etal,J.Org.Chem·，43,3055(1978) 、W.R.Watt etal，J.Polymer Sci.，P〇lymer Chem.Ed.,22,1789 (1984)、 J.V.Crivello etal，Polymer Bull.,14,279(1985)、 J.V.Crivello etal, Mac r omo r e c u 1 e s , 1 4 ( 5 ) , 1 1 41 ( 1 98 1 ) ' J.V.Crivello e t a 1 , J . Po 1 yme r Sc ι . ,Po 1 yme r Chem . Ed ., 1 7,2877( 1979 )、歐洲專利第 3 70，693 號、同 3，092, 1 1 4號、 同233,567號、同297, 443號、同297, 442號、美國專利第 4,9 93,377號、同161，811號、同410,201號、同 3 3 9,049號 、同 4,760,013號、同 4,7 34,444號、同 2,8 3 3,827 號、德 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' t ------------裝--------訂--------- ^•1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（28) 國專利第2,9〇4, 626號、同3,604,580號、同3,604, 581號 所記載的毓鹽，J.V.Crivello etal，Macromorecules， 10(6),1307( 1977)、J.V.Crivello etal，J.Polymer Sd . ,Polyme:r Chem.Ed.，17，1 047 ( 1 9 79 )等所記載的硒鐵 、C.S.Wen etal， Teh，Proc.Conf.Rad. Curing ASIA， p4 7 8 Tokyo，〇ct( 1 988 )等記載的砷鹽等之鏺鹽、美國專利 第3,905, 8 1 5號、特公昭46 - 460 5號、特開昭48 _ 3 6 28 1號、 特開昭55 - 3 20 70號、特開昭60 - 2 39 7 3 6號、特開昭61 -1 6 9835號、特開昭6 1 - 1 6983 7號、特開昭62 - 5824 1號、特 開昭62-2 1 240 1號、特開昭6 3 - 70243號、特開昭63 - 2983 3 9 號等記載的有機鹵化物、K . M e i e r e t a 1 , J . R a d . C u r i n g , 13(4),26(1986) 、T.P.Gill etal,Inorg. Chem., 19，3007(1980) 、 D.Astruc，Acc.Chem.Res.,19(12),377 (1 896)、特開平2 - 1 6 1 445號等記載的有機金屬/有機鹵化 物、S.Hayase etal,J.Polymer Sci.,25,753(1987)、 E . Re i chman i s etal ,J .Polymer Sci . ,Polymer Ch e m.

Ed.，23,1(1985)、Q.Q.Zhu etal,J,Photochem.， 36,85,39,317(1987) ^B.Amit etal,Tetrahedron Lett., (24)2205 (1973) ' D.H.R.Barton etal,J.Chem Soc. ,3571 ( 1965)' P.M. Collins etal,J.Chem.Soc.,Perkin 1,1695 (1975)'M.Rudinstein etal,Tetrahedron Lett.,(17), 1 445(1975) ' J . W. Walker etal , J . Am. chem . Soc . ,110,7170 (1988) 、S.C.Busman etal,J.Imaging Techno 1. ,11(4),191(1985) -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） - « ------------^裝--------訂--------- $1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、名务明說明（29 ) "H.M.Houlihan etal,Macromolecules,21,2001(1988) N P.M.Colli n s etal，J.Chem.Soc.，Chem.Commun.,532(1972)、 S.Hayase etal,Macromolecules,18,1799(1985)' E.Reichmanis etal,J.Electrochem.Soc.,Solid State Sci.Technol. ,130(6)、F_M.Houlihan etal, Macromolecules，21,2001(1988)、歐洲專利第 0 2 9 0 , 7 5 0 號、 同 046,08 3 號、同 1 5 6,5 3 5 號、同 27 1,8 5 1 號、同 0,3 88,3 43 號、美國專利第3 , 9 0 1，7 1 0號、同4，1 8 1，5 3 1號、特開昭 6 0 - 1 985 3 8號、特開昭53 - 1 3 3022號等記載的具鄰-硝基苯甲 基型保護基之光酸發生劑、M.Tunooka etal,Polymer Preprints Japan ,35(8)、G.Berner etal ,J.R a d.

Curing，13(4)、W.J.Mijs etal，Coating Technol., 55(697),45(1983) 、 Akzo.H.Adachi etal,Polymer Prepr in ts, Jap an, 37( 3)、歐洲專利第 0 1 99, 672號、同 8 4 5 1 5號、同 1 99，672號、同 044 , 1 1 5號、同 0101，1 22 號、 美國專利第618,564號、同4, 371，605號、同4,431,774號 、特開昭64，1 8143號、特開平2 - 245 7 56號、特願平3-1 40 1 09號等記載的胺基硫酸鹽等典型的光分解產生酸之化 合物、特開昭6 1 - 1 6 6 5 4 4號等記載的二楓化合物。 此外，此等藉由能量線照射產生酸之基、或使化合物導 入聚合物之主鏈或側鏈之化合物、例如有M.E. Wood house etal,J.Am.Chem.Soc.,104,5586(1982) ' S.P.Pappas etal,J.Imaging Sci.,30(5),218(1986) Λ S.Kondo -3 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) |裝--------訂---- 線， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（30) et al ’Macromol .Chem.，Rapid Commun.，9,625(1988)、 Y.Yamada etal，Macromol.Chem.，152,153,163(1972)、 J.V.Crivello etal,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed., 1 7，3845 ( 1 9 7 9 )、美國專利第3，849，1 37號、德國專利第 3 9 1 44Q7號、特開昭6 3 - 2 66 5 3號、特開昭5 5 - 1 64824號、特 開昭62- 692 6 3號、特開昭63 - 1 46 03 8號、特開昭63 - 1 63452 號、特開昭6 2 - 1 53 8 5 3號、特開昭6 3 - 1 46029號等記載使用 的化合物。 另外，V.N.R.Pillai,Synthesis,(1),1(1980)、A.Abad etal，Tetrahedron Lett.,(47)4555(1971) 、 D.H.R.Barton etal,J_Chem.Soc.，（C)，329(1970)、美國專利第 3,779,778 號、歐洲專利第1 26 , 7 1 2號等亦記載的使用藉由光產生酸 之化合物。 於上述倂用的藉由能量線照射產生酸之化合物中，於下 述中說明特別有效者。 (1 )以三鹵化甲基取代 '以下述式（PAG 1 )所示之噁唑衍生 物或以-·般式（PAG2 )所示之S -三嗪衍生物。 120^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) >*·-i------訂i — 丨 —丨—丨·線▲ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

R N—N " \\ 1201/C、/C、 〇 C(Y)3

Rg人N C〇3C N 入 C(Y)3 (PAG” (PAG2) (其中，R 1 2 () 1係表示經取代或未取代的芳基、烯基； R12Q2係表示經取代或未取代的芳基、烯基、烷基、_C(Y) -32- 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 一 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（31 ) 。丫係表示氯原子或溴原子） 具體而言例如有下述化合物，惟不受此等所限制。 -33 - W - --------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、考务明說明（32 N—N Ο// W CH = CH-C\〇/C_CC13 (PAG1 — 1) 1^—N (PAG1—2) CH3-^y-CH = CH-Cs _C-CC13 ch3o Ο

(n)C4HgO -0, N—N // \\ CH = CH - C C 一 CBr3 (PAC1 — 3) 〇

rN \\ CH = CH-C C_CC13 、〇〆 (PAG1-4)

rN w CH = CH~C C 一 CC13 (PAG1 - 5) -¾ (PAG1 - 6) L 丄 y-CH二CH-C、〇/C-CC13 (PAG1-7) = 二 CH 一 C、〇/C 一 CC13 0PAG1 —8) -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（33 CCI3

CI3C N CC13 (PAG2-1)

Cl

(PAG2-2)

(PAG2-3)

(PAG2-4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(PAG2-5),

COCH3 (PAG2-6) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(PAG2—7)

N^N

C13C Λ N CCl3 (PAG2 — 8) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（34 ) C1

CH=CH C13C iN CC13 (PAG2 - 9)

(PAG2-10) (2 )下述一般式（pag3 )所示之碘鏺鹽、或一般式（PAG4)所 示之銃鹽。 ，

Arl

R 1203

Z R丨 ：S z

Ar2 R丨 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG3) (pAG4) (其中，式A r1、A r2係各表示獨立的經取代或未取代的 芳基。較佳的取代基例如有烷基、環烷基、芳基、烷氧基 、羧基、羥基、硫醇基。 R】2〇3、Rl2 0 4、Rj2()5係各表示獨立的經取代或未取代的芳 基。較佳者爲碳數6〜14之芳基、碳數1〜8之院基及此 等之取代衍生物。 較佳的取代基例如有對芳基而言碳數1〜8之烷氧基、 碳數1〜8之烷基、羧基、羥基，對烷基而言碳數爲1〜8 之烷氧基、羧基、烷氧基羰基。 Z係表示對陰離子，例如有bf4_、AsF6-、PF6·、SbF6_、 -36 - 表紙張尺度適用中國國家標半（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------------訂---------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（35)

SiF62_、C104_、CF3S03_等之過氟鏈烯基磺酸陰離子、五氟 苯磺酸陰離子、萘-1 -磺酸陰離子等縮合多核芳香族磺酸 陰離子、蒽磺酸陰離子、含磺酸基之染料等，惟不受此等 所限制。 而且，R12Q3、R12()4、R12。5中2個及Ar1、Ar2可各爲單鍵 或經由取代基鍵結。 具體例如下述所示之化合物，惟不受此等所限制。 0~ι+Ό bf4~ (PAG3-1) pf6~ . (PAG3 - 2) 0~ι+Ό asF6_ (PAG3-3) 0~ι+心 SbF6 - (PAG3-4) --------------------訂—------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（36 ) 0~*]

CF3S〇3 CPAG3 — 5) O~i+~〇· och3 pf6' (PAG3-6) α~]

〇CH3 SbF6 CPAG3-7)

pf6. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

N02 CP3SO3 (PAG3 — 9)

H3C O~]

CH3 AsF6' (PAG3 — 10) H3C h3c ch3

SbF6' • IM--------訂---------- ch3 (PAG3-11) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (n)C7Hi5 (

(n)C7Hi5 PF6- (PAG3-12)

Cl PF6* GPAG3 -13) -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

CF3 CF3SO3 (PAG3 —14) H3COOC COOCH3 (PAG3-15)

Cl pf6

tBu ~^^~ I ' ~^^ />—，lBu (PAG3-17)

pf6

SbF6 tBu—^ /r~i ——lBu PFg CPAG3-18)

(PAG3-19)

Cl (PAG3-20) -39- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） pf6 CF3SO3 -----------装--------訂---------- 拳 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（38

CF3SO3

〇-i+0 0CE3 (PAG3-22) 〇-

40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 〇C2H5 -----------裝--------訂---------- $1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、号务明說明（39 )

(PAG3-26) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -a «ϋ ·ϋ ϋ H ϋ ^1 I 一 0, I ϋ I— mmm— ϋ I ϋ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（40)

Of /3Of

Of •S (PAG4-1) •S +(PAG4-2) S +(PAG4-3) BF, PF,

AsF6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Ofs

SbFfi (PAG4-4)

Qfs' CF3S03 一 (PAG4-5) C8F17S03' tr—------ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG4-6)

-42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（41 ) :Ό~;

HsC_\ /~s1\ /-0^5) CF3S〇3 (PAG4—8) so,

H3CO s-

Cl

(PAG4-9) oc4h9

HO s-ch3 I ch3 (PAG4-10)

OCH, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 童

(PAG4-H)

訂-----

HO bf4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG4-12)

cf3s(V -43 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、考务明說明（42 (n)C4H^ H〇-^ 卜s0 ⑻明 (PAG4-14) PF, so H0 '3

CH3 Me〇2C C〇2Me (PAG4-15)

S^O pf6" (PAG4-16)

SO,

OH (PAG4-17) --------------------訂—------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

c8f17so3 (PAG4-18) 44- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（43) ch3ch2ch2ch2o 0 c-ch2-s—ch3 CH3 (PAG4-19)

Ο C-CH〇-S

-A (PAG4-20)

OMe ----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

COOCH2CH2CH2CH3

Ich2-s^

Cl (PAG4-22) PF, (PAG4-23) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 οσ (PAG4-24) -45 -

AsF. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7

PFV

五、發明說明（44 C ^ CH2— S ~ (n)C4H9 (n)C4Hg (PAG4-25) 〇·δ~〇·5+·

(PAG4-26) c4F9S〇3 (PAG4-27)

• S 2CF3SO3 so. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

s

CH, '3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

SO

h3cs-~〇c2h5) COOCH2CH2CH2CH3 (PAG4-31) -46 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7

五、發明說明（45 ) 〒-CH2C1 CH, (PAG4-32) (PAG4-33)

閱 讀 背 面 之 注 t

OH a-

t 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG4-34) 一般式（PAG3)、（PAG4)所示之鐵鹽係爲習知。例如可藉 由 J.W.Knapczyk etal，J.Am.Chem.Soc.,91，145(1969)、 A.L.Maycok etal，J.Org.Chem. ,35,2532,(1970)、 E.Geothas etal,Bull.Soc.Chem.Belg.,73,546(1964) ' H .M.Leices ter.J.Ame.Chem.Soc. ,51 ,3587(1929) ' J.V.Crivello etal，J.Polym.Chem·Ed.,18,2677(1980)、 美國專利第2 ,807,648號及同4,24 7,473號、特開昭53-101,3 31號等所記載的方法予以合成。 (3 )下述一般式（PAG5)所示之二碾衍生物或一般式（PAG6) 戶斤示之亞胺基磺酸酯衍生物。 >47 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

I I訂 • I I I 5他2〇 A7 B7 五、 考务明說明（46 ) 〇

Ar3— S〇2~ S02— Ata (PAG5)

FV 人 s〇2〜〜N A Y (PAG6) 〇 (其中，A r 、A r係各爲獨的經取代或未取代之芳基 ° Rim係表示經取代或未取代之烷基、芳基。A係表示經 取代或未取代之伸烷基、伸烯基、伸芳基。 具體例如下所示之化合物，惟不受此等所限制。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂—------線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公爱） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（47 ) C1

S〇2-S〇2 Ο

Cl

Cl (PAG5-1) CPAG5-2) H3CO^^^S〇2-S〇2"^^och3 (PAG5 — 3)

H3C (PAG5-4) P3C"^^S〇2-S〇2^^^CF3 (PAG5 - 5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

S〇2 -S〇2

Cl (PAG5-6) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 H5C20

(PAG5-7) S〇2一S〇2

Cl

S〇£一SOg (PAG5-8)

Cl -49- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（48 ) Ο" C1

S〇2eS〇2 Γ ch3 (PAG5-9) S〇2 - S〇2 Ο 〇ch3 (PAG5-10)

CIA /-S02-S〇2 〇CH3 0PAG5-11)

H3%〇-s〇2-s〇2O h3c

F F

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CPAG5-12) P、S〇2~S〇2—Y^rF F F F F (PAG5-13)

H

S02-S〇2

(PAG5-14) -50- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 訂——I-----線赢 548520 A7 B7 五、号务明說明（49 ) 0

〇 (PAG6 -1)

-〇-S〇2^\/^ch3〇 (PAG6-2)

〇CH3

cf3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇ΛΝ-0-S02ΥΟ(PAG6 — 5)

〇CH3 - * --------------------訂---------線# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（50 ) 〇 Λ 一 S〇2 — 〇2只5 V 0 (PAG6-7) 〇

〇 0PAG6 - 9)

(PAG6 -10)

N-0-S02-(CH2^-CH3 (FAG6 —11) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -—.^w^--------訂---------線在 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(PAG6 -12) 〇 -52- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（51 )

CH /—\ N-0-S02-CF3 0 (PAG6-13) (PAG6 — 15) 〔I I〕（ B )低分子酸分解性溶解阻止化合物（「（ B )成分」） 說明有關本發明所使用的第1低分子酸分解性溶解阻止 化合物（（Bl )、（B2))。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於本發明中，（B 1 )之化合物係爲具有藉由酸作用分解之 基、且可藉由酸作用增大對鹼像液之溶解度、分子纛爲 1 0 00〜3000之低分子溶解阻止化合物，部分構造爲2個 以上三苯基甲烷構造爲非共軛鍵結的構造° 而且，（B2)之化合物係爲具有藉由酸作用分解之基、旦 可藉由酸作用增大對鹼像液之溶解度、分子量爲1 000〜 3〇00之低分子溶解阻止化合物，部分構造爲含有3個以 -53- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、潑^明說明（52 ) 上下述一般式（b2)所示構造、該構造爲非共軛鍵結的溶解 阻止化合物。 (B1 )化合物係以至少一種選自上述一般式（b 1 )所示化合 物所成群者較佳。 (B2)化合物以至少一種選自上述一般式（b3)及（b4)所示 化合物所成群者較佳。 另外，（B 1 )或（B2 )之酸分解性溶解阻止化合物可以爲在 一個苯環上具有數個酸分解性基，較佳者爲由在一個苯環 上具有1個酸分解性基之架構所成的化合物。^ 此外，本發明之（B 1 )或（B2 )之酸分解性溶解阻止化合物 的分子量爲3 000以下、較佳者爲1 ,000〜2，7 50、更佳者 爲 1 ,000 〜2，500。 一般式（b 1 )〜（b4)中，R1()1〜R144之直鏈狀、支鏈狀烷基 以甲基、乙基、丙基、正丁基、第2 -丁基、第3 -丁基之 碳數1〜4個者較佳，環狀烷基係以環丙基、環丁基、環 己基、金剛烷基之碳數3〜1 0個者較佳。 R 1 () 1〜R14 4之嫌基係以乙稀基、丙嫌基、嫌丙基、丁稀基 之碳數2〜4個者較佳。 一般式（bl)〜（b4)中連結基L係表示可具取代基之伸 甲基，取代基以甲基較佳。 Y係表不氯原子或甲基。 另外，一般式（b 1 )〜（b 4 )中酸分解性基Z係表示相同或 不同的氫原子，酸解性基例如以或-Ar-〇BG較佳 -54- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（53 ) 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，Αϋ 係表示-CURWHRmHRm)、_Sl(R2〇1)(R2〇2) (R2(")、-C( R2()4 ) (R2()5) -O-R2' B()係表示 A。或 _c〇-〇-A()。 R2(H)係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族烴 基，且· A r -係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香族烴 基。 、R2〇2、r2〇3、r2(M、R2()5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基， R2 () 6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基。 惟〜r2〇3中至少有2個爲氫原子以外之基，且r2(h 〜R2(n、及R2()4〜R2()6中有2個基可互相鍵結形成環。 Κ2ϋ1〜R2()6之直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基或烯基 係與上述R1(}1〜R144相同。 而且，R2()1〜R2Q6之芳基係以苯基、甲苯基、甲苯醯基、 枯細基、奈基、蒼基之碳數6〜14個者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R2()()之2價脂肪族或芳香族烴基例如有-CH2-、-CH2CH2-、-ch2ch2ch2-、-CH(CH3)CH2-、-CH2CH(CH3)-、對-伸苯基 、間-伸苯基、鄰-伸苯基、1，8 -萘基、2,6 -萘基、9, 10-寬基。 A r之2價芳香族烴基係與上述R2()()相同。 R2()1〜R2()3、及R2()4〜R2()6中有2個基互相鍵結形成環， 例如有環戊烷環、環己烷環、或四氫呋喃、四氫吡喃等。 而且，取代基例如有羥基、鹵素原子（氟、氯、溴、碘） -55- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（54 ) 、硝基、氰基、上述烷基、甲氧基·乙氧基•羥基乙氧基 •丙氧基•羥基丙氧基•正了氧基•異丁氧基•第2 - 丁氧 基•第3 -丁氧基等烷氧基、甲氧基羰基•乙氧基羰基等烷 氧基羰基、苯甲基·苯乙基•枯基等芳烷基；芳烷氧基、 甲醯基•乙醯基· 丁醯基•苯甲醯基·氰醯基•戊醯基等 醯基、丁醯氧基之醯氧基、上述儀基、乙烯氧基•丙希氧 基•烯丙氧基· 丁烯氧基等之烯氧基、上述芳基、苯氧基 等之芳氧基、苯甲醯氧基等之芳氧基羰基等。 一般式（bl )〜（b4)中Z係表示氫原子、-A()、R2()()-C0〇A() 或-Ar-0B()，同一分子中至少50莫耳％、較佳者爲60莫耳％ 以上以-A。、-R2°°-COOAQ 或-Ar-〇B°〇 同一分子中數個Z可相同或不同。 於本發明中一般式（b 1 )〜（b4 )所示化合物之具體例如下 戶斤示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —.^w^--------^---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 _B7 五、發明說明（55)

OZ OZ

(Ih-1)

(Ih-2) -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7

五、号务明說明（56 ) OZ OZ

(Ih-3)

(Ih-4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝--------訂----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -58- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------------訂---------(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、名务明說明（58 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(Ih-8) -60- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------------訂—------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（59 )

Z

71 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 oz 〇z (對-oz而言0,P-鍵結） (Ih-9)

(對- OZ而言0位或P位鍵結） -6 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（60 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-62- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

• « n n a^i —i ϋ n I )0- I I n I ϋ ϋ ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（61 )

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (對-0Z而言Ο,Ρ位鍵結） (Ih- 12) -63- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（62 )

h3c^^ch3 H3C (Ih-13)

---------------------訂----------線一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、名务明說明（63 ch3 h3c、

·-I --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（64 )

士P鍵 - Ρ ο ^一目而 Ζ 〇 1對 h ------------_裝----(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 6 本紙張尺度適用中國國家標秦（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（65 )

-----------•裝 -------訂！----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（66 )

* \ I --------------------訂----------^0, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（67)

oz uz oz 8 1rh~ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

oz zo oz h \—/ 9 搴 V I ---------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 _B7 五、号务明說明（68) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

〇 7 -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（69 )

H3C H3C

H3 (Ih-21) -------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -71 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（70 ) CH,

H3C—c、—CH

H3Cx /CH3 ZO C—CH,

H3C~C-CH3 Λ 〇Z 入 02 /0—CH, h3c ch3 Γ ll h3c ch3

ch3 (Ih-22) 上述所示化合物中Z係表示氫原子或下述所示之構造。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝·---！ — 訂--I! ，CH2COOC(CH3)2Ph

• CHaCOOtBu — COOtBu 其次，說明有關本發明所使用的第2之低分f酸分解性 溶解阻止化合物（（B3 )、（ B4 ))。 於本發明中（B 3 )之化合物具有藉由酸分解之基（稱爲酸 分解性基）、且可藉由酸作用增大對鹼像液之溶解度、分 子量爲3000以下之低分子溶解阻止化合物，部分構造爲 具有部分構造之聯苯基構造或三伸苯基構造，該藉由酸作 用分解之基中所含的苯環外部分中苯環總數爲3個〜1 3個 -72- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） si. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 ___________ B7 五、發明說明（71) 之低分子溶解阻止化合物。 另外，（B4 )之化合物爲具有藉由酸作用分解之基（稱爲 酸分解性基）、且可藉由酸作用增大對鹼像液之溶解度、 分子量爲30 00以下之低分子溶解阻止化合物、部分構造 爲具有部分構造之蕗構造的低分子溶解阻止化合物。 於（B3)化合物中聯苯基構造或三伸苯基構造以在一分子 中含有I〜3個較佳、更佳者爲I個或2個。含有數個聯 苯基構造時可互相以單鍵、伸烷基或伸芳基鍵結。而且， 上述苯環之總數以3〜6個較佳。 於（B4)化合物中莽基構造以在一分子中含有I或2個較 佳、更佳者爲I個。含有數個聯苯基構造時可互相以單鍵 、伸烷基或伸芳基鍵結。 而且，可以使2個莽基構造以9位鍵結成螺環狀。 (B 3)或（B 4 )之化合物中，一分子中酸分解性基之個數通 常爲I〜I 0個、較佳者爲2〜6個。 而且，（B 3 )或（B4 )之溶解阻止化合物可以在I個苯環上 具有數個酸分解性基，惟以在1個苯環上具有I個酸分解 性基之架構所成的化合物較佳。 此外，（B3 )或（B4 )之酸分解性溶解阻止化合物的分子量 爲 3 ,000以下、較佳者爲300〜3，000、更佳者爲 5 00〜 2, 5 00。 酸分解性基例如以如下詳述之-A°’、-R2()()-COOA()’或-Ai_、OBQ’ 較佳。 -73- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂—------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 ___________ Β7 五、發明說明（72 ) 於本發明中，（B3 )化合物係以（〗h - 1 )〜（I h - 7 )所示之化 合物較佳，（B 4 )化合物係以（I ^ - 8 )〜（I h - 1 0 )所示之化合 物較佳。 式（Ih-Ι)〜（Ih-ΙΟ)中，藉由酸分解之基（氫原子外之Z’） 例如以-A°、-R3QQ-COOA°’或-Ar-OBQ’所示之基。 其中，A。’ 係表示- C(R301 ) (R3{)2) (R 3 0 3 )、-Si (R301 ) (R 3 0 2 ) (U、-C(R3O4)(R 3 0 5 )-〇R3()6，b()'係表示 A()’或- CO〇A(r。 loo係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族基， A r係表示可具取代基之2價芳香族基。 R3Q1、R3Q2、R3Q3、R3Q4、R3〇5係各表示相同或不同的氫原 子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳基。 R 3 0 6係表示直鏈狀院基、支鏈狀垸基或芳基。惟R 3。1〜 R303中任意2個，或R3Q4〜R3Q6中任意2個可互相鍵結形 成環。 此處，直鏈及支鏈烷基以甲基、乙基、丙基、正丁基、 第2 - 丁基、第3 - 丁基之碳數1〜4個者較佳，環狀烷基以 環丙基、環丁基、環己基、金剛烷基之碳數3〜1 0個者較 佳，烯基以乙烯基、丙烯基、烯丙基、丁烯基之碳數2〜 4個者較佳。 芳烷基以苯甲基、α·苯乙基、苯乙基較佳，芳基以 苯基、甲苯基、甲苯醯基、枯烯基、萘基、蒽基之碳數6 〜1 4個者。 R30Q之2價脂肪族或芳香族烴基例如有-ch2-、-ch2ch2- -74- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

p'til I 訂i丨 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、-CH2CH2CH2_、_(：Η((：Η3ΚΗ2•、-CH2CH(CH3)-、對-伸苯基

、間-伸苯基、鄰-伸苯基、丨，8 _萘基、2,6 _萘基、9，丨L 蒽基。

Ar之2價芳香族烴基與上述R3⑽相同。 R3(M〜R3Q3、及R3(m〜R3Q6中有2個基互相鍵結形成環， 例如有環戊院環、環己院環、或四氫呋喃、四氫吡喃等。 而且，取代基例如有羥基、鹵素原子（氟、氯、溴、碘） 、硝基、氰基、上述烷基、甲氧基·乙氧基•羥基乙氧基 •丙氧基•羥基丙氧基•正丁氧基•異丁氧基•第2_ 丁氧 基•第3 -丁氧基等烷氧基、曱氧基羰基•乙氧基羰基等院 氧基羰基、苯甲基·苯乙基•枯基等芳烷基、；芳烷氧基 、甲醯基•乙醯基·丁醯基•苯甲醯基•氰醯基·戊醯基 等醯基、丁醯氧基之醯氧基、上述烯基、乙烯氧基•丙烯 氧基•烯丙氧基· 丁烯氧基等之烯氧基、上述芳基、苯氧 基等之芳氧基、苯甲醯氧基等之芳氧基羰基等。 -COOA°’、-Rwg-COOA13’或-Ar-OB13’所示之基以矽烷醚基、 枯酯基、縮醛基、四氫吡喃醚基、乙醇醚基、乙醇酯基、 3級烷醚基、3級烷酯基、3級烷基碳酸酯基較佳。更佳者 爲3級烷酯基、3級烷基碳酸酯基、枯酯基、四氫吡喃醚 基較佳。 於式（Ih - 1 )〜（Ih-ΙΟ)中，R1()1，〜R213,、 R3K)’〜R355,中， 直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基以甲基、乙基、丙基、正丁 基、第2 -丁基、第3 -丁基、環丙基、環丁基、環己基、 -75- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ---------^ --------- (if先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 548520 A7 B7 ___ . —----- 五、發明說明（74 ) 金剛烷基之碳數1〜10個者較佳，烯基係以乙烯基、汽燦 基、烯丙基、丁烯基之碳數2〜4個者較佳。 R 131 ’與R 1 3 2 ’可互相鍵結形成環，例如5〜6碳環，具體 而言有環戊烷、環己烷等。 式（Ih-Ι)〜（Ih-7)中，同一分子中數個z，可相同或不同 ，Z’ 係表示氫原子、-AG’、-R3Q〇_c〇OAQ’ 或-Ar-〇B°’。式 (Ih-Ι)〜（Ih-4)係同一分子中Z’之90莫耳％以上、較佳考 爲95吴耳％以上、式（Ih-5)〜（ih-7)係同一分子中Z’之 50莫耳％以上、較佳者爲60莫耳％以上以- Αϋ’、-R3qq、 C〇〇Ag’或-Ar -〇BQ’表示。 式（Ih-8)〜（Ih-10)中，同一分子中數個z’可相同或不 同，Z’係表示氫原子、-A()’、-R3(H)-COOA°’或-Ar-OBG’。同 -一分子中Z’之90莫耳％以上、較佳者爲95莫耳％以上以、 AQ’、-R3()()-CO〇A°’或-Ar-OB°’表示。 於本發明中，一般式（I h - 1 )〜（I h - 1 0 )所示化合物之具 體例如下所述。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（75

a) 讎 h

h-b (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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\—/ d 禪 h 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（76)

-Θ) h-

-f) ----------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

9 I h 1T----------^^1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7

〇Z’ 〇Z

(丨 h-j) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-79- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

〇Z OZ’ (Ih-k)

〇Z --------------------訂----------*3^^· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（78

ΖΌ CH3 H3C OZ*

m n- --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 士口鍵 - p ο^一目而 Ζ ο I對 ο 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（79 ΖΌ OZ1

OZ (Ih-n) (對- 0Z’而言0，P-鍵結） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

--· - ·ϋ I ϋ ϋ ϋ I ·ϋ -ο» I ·ϋ ϋ ϋ ·ϋ _1 «ϋ ϋ I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -81 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（8〇 ΖΌ Ζ

ozf - h 士p 糸鍵 I P 〇 ^一一一口而 Z 〇 對 Ζ

Z 士P 鍵 - Ρ 〇 而 Ζ ο - 對 h- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

2' -q ---------------------訂---------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（81 ) ζα οζ'

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I 裝--------訂----------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（82 )

(Ih-s)

(lh-u) --------------------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

η- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（83 )

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H^C ΌΖΖΌ

(lh-x) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

i#^i------tr---------t 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、考务明說明（84

ΌΖ •ch2ch=ch2 (lh-2a)

chch3 i ch3 〇z (lh-2b) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 ___B7_ 五、發明說明（85 ) 上述所示之Z’係表示氫原子或以 Z，= —CH2COOC(CH3)C6H5 一ch2cooc4h9⑴·， —COOC4H9(t), 所示。各取代基Ζ’可以爲不同的基。 其中，式（Ih-a)〜（Ih-ι)及（Ih-s)〜（Ih-2b)中，Ζ’之 9〇莫耳％以上不爲氫，式（Ih-j)〜（Ih-r)及（Ih-2c)中，Z’ 之50莫耳％以上不爲氫。 本發明中可倂用上述溶解阻止化合物與下述之溶解阻止 化合物。此時，倂用的溶解阻止化合物對溶解阻止化合物 之總量而言以5 0重量％以下較佳、3 5重量％以下更佳。 --------------------訂----------^^1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 五、發明說明（86 ) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 _B7 五、發明說明（87 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

H-H2CH3 CICIO

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S ο — ο — 〇

R 〇 9 9 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（88 ch3 9H3

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-----------裝--------訂---------^9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520

A7 _B7_ 五、發明說明（89 )

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OR OR (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

OR(15) -91 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-92- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（91 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

〇 〇 ο οR EER

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、令务明說明（92 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、名务明說明（93 ) ORH3c. X. .CH,

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

R 〇 0) (3 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（94 )

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R 〇 o 6 9 本紙張尺度適用中國國家標拳（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（95

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7 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 秦 548520 A7 _B7 五、發明說明（96 )

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裳--------訂----- 秦. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張瓦度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（98 )

裝--------訂---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) % 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於本發明中，以含有（C)具有藉由酸分解之基且可藉由 酸作用增大鹼顯像液之溶解性的樹脂（以下稱爲「成分（c) 」）、或（D )不溶於水、可溶於鹼顯像液之樹脂（以下稱爲 「成分（D )」或「（ D )鹼可溶性樹脂」）中任一方較佳。 [I I I ] (C )具有藉由酸分解之基、且可藉由酸作用增大對鹼 顯像液之溶解性的樹脂 本發明之正型電子線或X線阻體組成物中所使用的成分 -100- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（99) (C )，係在樹脂之主鏈或側鏈、或主鏈及側鏈兩方上具有 以酸分解的基之樹脂。其中，以在側鏈上具有以酸分解的 基之樹脂較佳。 以酸分解的基以-CO〇A°、-COOA°’、-0-B°、-〇-BQ·較佳， 含有此等之基例如有-RG-COOAQ、-R3()。-COOA()’、-Ar-0-B()、 或- Ai、0-B0’所示之基。 其中，A。係表示 、-SHRO^R^HR03) 、或-C(R°4) ( R°5)-0-R°6 基。 B°係表示八(）或-(：0-0 4()基（R()' R(n〜RQ6及Ar與下述者 同義）。 酸分解性基以甲砂院醚基、枯酷基、縮醒基、四氫η比喃 醚基、乙醇醚基、乙醇酯基、3級烷醚基、3級烷酯基、3 級烷基碳酸酯基等較佳。更佳者爲3級烷酯基、3級烷基 碳酸酯基、ί占酯基、縮醛基、四氫吡喃醚基。 其次，此等以酸分解得到的基在側鏈鍵結時之母體樹脂 爲在側鏈上具有-ΟΗ或-COOH、較佳者爲-R()-COOH、-Rm)()-C〇〇H、或-Ar -〇H基之鹼可溶性樹脂。 例如有下述鹼可溶性樹脂。 此等鹼可溶性樹脂之鹼溶解速度係在〇 . 2 6 1 N四甲銨氫 氧化物（TMAH )測定（23°C )下以170A/秒以上者較佳。更佳 者爲3 3 0 A /秒以上者較佳（A爲埃）。 就該觀點而言，更佳的鹼可溶性樹脂爲◦ -、m -、p -聚（ 經基苯乙烯）及此等之共聚物、氫化聚（羥基苯乙烯）、鹵 -101 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇><297公釐） ---------I I -----I--訂---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（100 ) 素或烷基取代聚（羥基苯乙烯）、聚（羥基苯乙烯）之部分、 0 -烷基化或〇 -醯基化物、苯乙烯-羥基苯乙烯共聚物、α 一 甲基苯乙烯-羥基苯乙烯共聚物及氫化酚醛淸漆樹脂。 本發明所使用的成分（C )如歐洲專利2 5 4 8 6 3號、特開平 2 - 2 5850號、同3 - 22 3 8 60號、同4 - 25 1 259號等所揭示， 在鹼可溶性樹脂中使以酸分解的基之前驅體反應、或以酸 分解的基鍵結的鹼可溶性樹脂單聚物作爲各種單聚物共聚 合所得。 本發明所使用的成分（C )之具體例如下所述，惟不受此 等所限制。 -----------裝--------訂----1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -102- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（101 -iCH-CH2)(CH-CH2>- -iCH- 0Η2)—(ΠΗ- CH2)-

OH 〇®u OH 〇 (t1) (c-2) -iCH-CH2>--CH2 卜-iCH-CH2)—»-

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 OCHz — C — 0_tBu ιι 〇 (c-7) OH 0 - CH2 - C 0—tBu a 〇 (c-8)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、名合明說明（102

{CH2CE^— ch3 〇一05^-0—0-0 A I ° ch3

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ch3 -iC-CB.2y-C00-CH3 -(CH-CH2)--(CH- •CH)—

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0 (c-13) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —^CH - CH2)~(CH - CH2)~(CH-CH2)~

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(c-15) o-ch-o^c2h5 oh ch3 -1 0 4 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 548520 A7 五、号务明說明（103 )-iCE-CH2y

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(c-19) 0 - C一 OtBu OH l! 〇 s'. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(〇-20) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、名务明說明（104) ch3 一(CH-CH2)~(C-CEz^—1 I COO-tBu

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卜 5) 2 (0"- 6 . o 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 4 ί V--------------------訂----------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本百：) 548520 A7 B7 五、潑^明說明（105)

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-------------ΦΜ.---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·1 華 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（107 ) i-Bu-

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 i-Bu*

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OH C02Bu(t) (c-37) 109- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、潑^明說明（108) 以酸分解的基之含率係以具有以樹脂中酸分解的基之數 (B )與不以酸分解的基保護的鹼可溶性基之數（S )、B / ( B + S ) 表示。含有率以〇·〇!〜0.7較佳、更佳者爲〇.〇5〜0.5〇、 最佳者爲0 . 0 5〜0 . 40。B / (B + S)>0 . 7時因PEB後之膜收縮 、與基板之密接不良或殘渣的原因，故不爲企求。另外’ 若 B/(B+S)<〇.01時在圖像側壁殘存有顯著的固定波，故 不爲企求。 成分（C)之重量平均分子量（Mw)以2,000〜200,0 00較佳 。若小於2，0 00時藉由爲曝光部分之顯像使膜減少情形增 大，而若大於200,000時對鹼可溶性樹脂本身之鹼而言溶 解速度變慢、感度降低◦更佳者爲5, 000〜1 00,000、最佳 者爲 8,000 〜5 0 ,000。 而且，分子量分布（Mw/Μη )以1 . 0〜4 . 0較佳、更佳者爲 1 . 0〜2.0、最佳者爲1 . 0〜1 . 6，分散度愈小、耐熱性、 畫像形成性（圖像外型、變焦曝光範圍等）愈佳。 此處，重量平均分子量係以凝膠滲透色層分析法之聚苯 乙爾換算値予以定義。 此外，成分（C )可組合2種以上使用。 成分（C)之組成物中之使用量對各全部組成物之固成分 而g以40〜99重量％較佳、更佳者爲50〜90重量％。 [IV](D)不溶於水、可溶於鹼顯像液之樹脂（以下稱爲「（D) 成分」或「（ D )鹼可溶性樹脂」） 本發明之正型電子線或X線阻體組成物中，（D )成分可 -1 10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂---------^91 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 Α7 Β7 五、發明說明（109) 使用不溶於水、可溶於鹼顯像液之樹脂。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用（D )成分時，並不一定必須配合上述（C )成分之具有 藉由酸作用分解、且可增大對鹼顯像液之溶解度的基之樹 月旨。當然，亦不排除與（C )成分倂用。 本發明所使用的（D)鹼可溶性樹脂例如有酚醛淸漆樹脂 、氫化酚醛淸漆樹脂、丙酮-焦培酚樹脂、鄰-聚羥基苯乙 烯、間-聚羥基苯乙烯、對-聚羥基苯乙烯、氫化聚羥基苯 乙烯、鹵素或烷基取代聚羥基苯乙烯、羥基苯乙烯-N -取 代馬來醯亞胺共聚物、鄰/對-及間/對-羥基苯乙烯共聚物 、對聚羥基苯乙烯之羥基而言部分鄰-烷基化物（例如5〜30 旲耳鄰-甲基化物、鄰- (1-甲氧基）乙基化物、鄰-(1_ 乙氧基））乙基化物、鄰-2 -四氫吡喃化物、鄰-(第 3 - 丁氧 基羧基）甲基化物等）或鄰-醯基化物（例如5〜30莫耳％之鄰 -酿基化物、鄰-(第3 - 丁氧基）醯基化物等）、苯乙烯-馬來 酸酐共聚物、苯乙烯-羥基苯乙烯共聚物、α -甲基苯乙烯 -羥基苯乙烯共聚物、含羧基之甲基丙烯酸系樹脂及其衍 生物、聚乙二醇衍生物，惟不受此等所限制。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 更佳的（D )鹼可溶性樹脂係爲酚醛淸漆樹脂、鄰-聚羥基 苯乙烯、間-聚羥基苯乙烯、對-羥基苯乙烯及此等之共聚 物、烷基取代的聚羥基苯乙烯、部分聚羥基苯乙烯鄰-烷 基化、或α -甲基苯乙烯-羥基苯乙烯共聚物。該酚醛淸漆 樹脂係以所定單聚物爲主成分、在酸性觸媒存在下與醛類 力口成縮合所得者。 -1 1 1 - 本紙張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（110) 所定的單聚物可單獨使用或2種以上混合使用苯酚、間 -甲酚、對-甲酚、鄰-甲酚等之酚類，2，5 -二甲苯醇、 3, 5 -二甲苯醇、3,4 -二甲苯醇、2, 3 -二甲苯醇等二甲苯醇 類，間-乙基苯酚、對-乙基苯酚、鄰-乙基苯酚、對-第 3-丁基苯酚、對-辛基苯酚、2，3, 5-三甲基苯酚等烷基苯 酚類，對-甲氧基苯酚、間-甲氧基苯酚、3 , 5 -二甲氧基苯 酚、2 -甲氧基-4 -甲基苯酚、間-乙氧基苯酚、對-乙氧基 苯酚、間-丁氧基苯酚、對-丁氧基苯酚等烷氧基苯酚類， 2 -甲基-4 -異丙基苯酚等雙烷基苯酚類，間-氯化苯酚、對 -氯化苯酚、鄰-氯化苯酚、二經基聯苯、雙酸A、苯基苯 酚、間苯二酚、萘醇等羥基芳香化合物，惟不受此等所限 芾丨J。 醛類例如有甲醛、對甲醛、乙醛、丙醛、苯甲醛、苯乙 酉签、α -苯基丙醛、/3 -苯基丙醒、鄰-經基苯甲、間_經 基苯甲醛、對-羥基苯甲醛、鄰-氯化苯甲醛、間-氯化苯 甲醛、對-氯化苯甲醛、鄰-硝基苯甲醛、間-硝基苯甲醛 、對-硝基苯甲醛、鄰-甲基苯甲醛、間-甲基苯甲醒、對_ 甲基苯甲醛、對-乙基苯甲醛、對-正-丁基苯甲酸、糠醛 、氯化乙醛等，於此等之中以使用甲醛較佳。 此等之醛類可單獨使用或可2種以上使用。酸性觸媒可 使用鹽酸、硫酸、甲酸、醋酸、草酸等。 如此所得的酚醛淸漆樹脂之重量平均分子量以丨丨〇() ~ 3〇，OQQ較佳。若小於1，000時未曝光部分於顯像後膜減少 -1 12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） r*· ------------^^装---------訂--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 Α7 一 Β7 五、發明說明（111) 情形大，而若大於30 , 000時顯像速度變小。更佳者爲 2，000 〜20，0〇0。 此外，除酉分醛淸漆樹脂外之上述聚羥基苯乙烯、及其衍 生物、共聚物之重量平均分子量爲2,000以上、較佳者爲 5 0 00〜200〇〇、更佳者爲5000〜1 00000。 其中，重量平均分子量以凝膠滲透色層分析法之聚苯乙 烯換算値予以定義。 本發明之此等（D )鹼可溶性樹脂可以2種以上混合使用 〇 而且，本發明中陽離子聚合係指生長鍵爲碳鐵離子或氧 鐵離子之正離子加成聚合◦本發明中係指使該陽離子聚合 所得的單聚物具有陽離子聚合機能之化合物。例如乙烯化 合物可爲乙烯單聚物之陽離子性以游離基聚合之Q _ e値評 估。換言之，可知e値小於約-0 · 3時具有陽離子聚合性 〇 [V](E)陽離子聚合性化合物 本發明所使用的陽離子聚合性化合物可使用具有陽離子 聚合性機能之化合物即可，較佳者爲乙烯化合物、環鏈院 化合物、環狀醚化合物、內酯化合物、醛化合物等。 乙烯化合物可使用下述乙烯醚類、苯乙烯、α -甲基苯 乙烯、間-甲基苯乙烯、對-甲基苯乙烯、鄰-氯化苯乙烯 、間-氯化苯乙烯、對-氯化苯乙烯、鄰-硝基苯乙烯、間_ 硝基苯乙烯、對-溴化苯乙烯、3,4-二氯苯乙烯、2,5 -二 -1 13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------鬢. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----1 548520 Α7 Β7 五、發明說明（1 12) 氯苯乙烯、對-二甲基胺基苯乙烯等苯乙烯類、2 -異丙燦 基呋喃、2 -乙烯基苯并呋喃、2 -乙烯基二苯并呋喃等乙烯 呋喃、2 -異丙烯基噻吩、2 -乙烯基吩噻嗯等之乙烯基噻吩 類' N -乙烯基咔唑、乙烯基萘、乙烯基蒽、萘嵌戊烯等。 環鏈烷化合物可使用苯基環丙烷、螺[2 , 4 ]庚烷、螺 [2，5 ]辛烷、螺[3，4 ]辛烷、4 -甲基螺[2，5 ]辛烷、螺[2，7 ] 癸烷等。 環狀醚化合物可使用4 -苯基-1，3 -二噁烷等之二噁烷類 、3,3-雙氯甲基氧雜環丁烷等之氧雜環丁烷類、三噁烷、 1，3 -二氧雜環丁烷等之化合物。另外，烯丙基環氧丙醚、 苯基環丙氧醚等之環氧丙醚類、丙烯酸環氧丙醚、甲基丙 烯酸環氧丙醚等之環氧丙醚類、市售的商品名爲耶皮克頓 之雙酚A型環氧樹脂、四溴雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型 環氧樹脂、苯酚酚醛淸漆樹脂、甲酚酚醛淸漆樹脂型樹脂 等之化合物。 內酯化合物可使用丙內酯、丁內酯、戊內酯、己內酯、 /3-甲基- /3 -丙內酯、α,α -二甲基丙內酯、甲基 -/3 -丙內醋等之化合物。 醛化合物可使用戊醛、己醛、庚醛、辛醛、壬醛、癸醛 、環己烷胺基醛等之脂肪族飽和醛化合物、甲基丙烯醛、 丁細酵、2 -甲基-2 - 丁醒、2 - 丁醛、藏花醛等脂肪族不飽 手口醛化合物、苯甲醛、甲苯醛 '肉桂醛等之芳香族醛化合 物、三溴化乙醛、2，2，3 -三氯化丁醛、氯化苯甲醛等之鹵 -1 14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) — ----- 訂---------签 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（113) <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 素取代醛化合物、甘油醛、醛醇、水楊醛、間-羥基苯甲 醛、2，4 -二羥基苯甲醛、4 -羥基-3 -甲氧基苯甲醛、胡椒 薛等羥基及院氧基取代醛化合物、胺基苯甲醛、硝基苯甲 醛等胺基及硝基取代醛化合物、丁二醛、戊二醛、酞醛、 對酞醛等二睦化合物、苯基乙二醛、苯甲醯基乙醛等酮醛 化合物及此等之衍生物。 陽離子聚合性化合物，就彰顯本發明之效果而言以乙烯 基化合物較佳、更佳者爲乙烯醚化合物，尤其是一般式[A ] 所示之化合物較佳。 於一般式（A )中Ra、Rb、Rc爲芳基時一般具有4〜20個 碳原子、以院基、芳基、烷氧基、芳氧基、醯基、醯氧基 、烷基硫醇基、胺基醯基、胺基烷氧基、硝基、毓基、氰 基或鹵素原子取代。其中，碳數4〜20個之芳基例如有苯 基、甲苯基、二甲苯基、聯苯基、萘基、屬;基、菲基等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Ra、Rb、Rc爲烷基時，係表示碳數i〜20之飽和或不 飽和直鏈、支鏈或脂環烷基，可以鹵素原子、氰基、酯基 、氧基、烷氧基、芳氧基或芳基取代。其中，碳數.1〜2〇 個飽和或不飽和直鏈、支鏈或脂環烷基例如有甲基、乙基 、丙基、異丙基、丁基、異丁基、第3 -丁基、戊基、異戊 基、新戊基、己基、異己基、辛基、異辛基、壬基、癸基 、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基、乙烯基、 丙稀基、丁丨布基、2-丁燒基、3-丁嫌基、異丁烯基、戊烯 基、2 -戊烯基、己烯基、庚烯基、環己基、環庚基、環辛 -115- 本紙張瓦度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 ------ Β7 五、發明說明（114) 基、运戊儲基、ί哀己燃基等。 此外，Ra、Rb及Rc中任二個可鍵結形成飽和或烯烴性 不飽和環，具體例如環鏈烷或環鏈烯，通常表示3〜8、 較佳者爲5或6碳環。 於本發明中一般式（A)中較佳者Ra、Rb及RC中一個爲 甲基或乙基、其餘爲氫原子之乙醇醚基、更佳者Ra、Rb 及Rc全部爲氫之下述一般式[A-l]。 一般式[A-l] CH2 = CH-0-R(R :烷基、取代烷基） 其中，烷基係爲碳數1〜3 0個直鏈狀、支鏈狀或環狀烷 基。 取代烷基係爲碳數1〜3 0個直鏈狀、支鏈狀或環狀取代 烷基。 於上述中，碳數1〜30個直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基例 如有乙基、直鏈狀、支鏈狀或環狀丙基、丁基、戊基、己 基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十 三烷基、十四烷基、十五烷基、十六烷基、十七烷基、十 八烷基、十九烷基、二十烷基等。 於上述中，烷基之另外取代基以羥基、烷基、烷氧基、 烯基、硝基、鹵素原子、氰基、醯基、醯氧基、磺基、磺 氧基、磺基胺基、芳基、芳烷基、醯亞胺基、羥基甲基、 -〇-R 1 〇 () 1、 -C(-0)-Ri〇〇2 ' -0-C(=0)-RlOO3 -1 16- i紐^^用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 ____ B7 __. ^ 、 五、發明說明（115) -(^(二〇）_〇-尺丨〇〇4、 -S - R I () 0 5 -C (二 s ) - R 丨()()6、 -〇-C(二S)- R 丨 0 0 7、 -C(=S)-0-Rl()()8等之取代基較佳。 其中，Ruun〜Rl()。8係各表示獨立的直鏈狀、支鏈狀或壞 狀院基、院氧基、醯基、硝基、鹵素原子、氰基、醯基、 磺基、磺氧基、磺胺基、醯亞胺基、-(CH2CH2_〇)n_R 其中，η係表不1〜20之整數、R1()()9係表示氫原子或烷基） 、可具取代基之芳基或芳烷基（其中，取代基例如有直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷基、烷氧基、胺基、硝基、鹵素原子 、氰基、醯基、芳基、芳烷基）◦ 一般式（A )所示之化合物以下述所示者爲較佳的形態， 惟不受此等所限制。 I --- Γ%先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（116 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A- 1 A- 2 A-3 A— 4 A— 5 A— 6 产0, 、 A— 7 A— 8 产 〇-<^) A— 9 A —10 ，〇/ A —11 ^0- A-12 A —13 A —14 -118- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（117) A—15 A-16 A —17 A—18 A-19 A — 20 A —21 A — 22 A-23 产 〇，\/〇、^〇ΗΟΟΟ、

<^〇〆η=*4^20 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -* ·ϋ Βϋ n an ϋ n ϋ 一 0、 l_1 ·ϋ 1 n 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

華- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（118) A-24 0 A_25 产0〜sq〇j A-26

S A — 27

A — 28

产 cr^/S Ό A—29

Ο N

Ο --------------------訂—------ ^•1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A-30 -120- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（119) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述一般式[A-1]所示化合物之合成法例如有stephen. C. Lapin, Polymeis Paint Colour Journal, 179(4237), 3 2 1 ( 1 988 )中g己載的方法，即可藉由苯酚類或苯酚類與乙 炔之反應、或醇類或苯酚類與鹵化烷基乙烯醚之反應合成 。另外，亦可藉由殘酸化合物與鹵化烷基乙烯醚之反應合 成。 本發明之阻體組成物中（E )陽離子聚合性化合物（較佳者 爲上述一般式（A )所示化合物）之添加量，對組成物全部重 量而言以0 · 5〜50重量％較佳、更佳者爲3〜3〇重量％。 其中，本發明組成物之構成例如下述所例示。而且，本 發明之內容不受此等所限制。 1) 含有上述成分（A)、上述成分（B)及上述成分（C)之正型 電子線或X線用阻體組成物。 2) 含有上述成分（A)、上述成分（B)及上述成分（D)之正型 電子線或X線用阻體組成物。 3) 含有上述成分（A)、上述成分（B)、上述成分（C)及上述 成分（D )之正型電子線或X線用阻體組成物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述成分中可另外添加（E )陽離子聚合性化合物、及/或 (F )界面活性齊[J。 於上述各構成例中1)之成分（C)、2)之成分（D)及3)之 成分[(C) + (D)]之組成物中的使用量，對組成物全部重量 而言以40〜99重量％較佳、更佳者爲50〜90重量％。 上述（B)之組成物中的使用量，於上述各構成例中對全 -121 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7

五、發明說明（120 ) 部組成物之固成分而§以3〜45重量％較佳、更佳者爲5〜 3〇重量％、最佳者爲10〜2〇重量％。 另外，本發明以使用（F )氟系及/或砂系界面活性劑較佳 。氟系及/或砂系界面活性劑例如有氟系界面活性劑、砂 系界面活性劑、含有氟原子與砂原子兩者之界面活性劑。 例如有耶夫頓部（譯音）EF301、EF30 3 (新秋田化成（股） 製）、夫蘿拉頓（譯音）FC430、43 1 (住友史里耶姆（股）製） 、梅卡法克（譯音）F171、F173、F176、F189、F0 8(大日本 油墨（股）製）、撒夫龍（譯音）S-382、SCI 01、1〇2、103、 1〇4、1 0 5、1 Ο 6 (旭玻璃（股）製）、多羅龍魯（譯音）s _ 3 6 6 ( 多羅化學（股）製）等氟系界面活性劑或矽系界面活性劑。 聚矽氧烷聚合物KP - 3 4 1 (信越化學工業（股）製）亦可使用作 爲矽系界面活性劑。 此等（F )界面活性劑之配合量以本發明之組成物中固成 分爲基準，通常爲0.001重量％〜0.5重量％、較佳者爲 〇.002重量％〜0 . 3重量％。 亦可倂用氟系及/或砂系界面活性劑以外之界面活性劑 。具體例如聚環氧乙烷月桂醚、聚環氧乙烷硬脂醚、聚環 氧乙烷十六烷醚、聚環氧乙烷油醚等之聚環氧乙烷烷醚類 ，聚環氧乙烷辛基苯酚醚、聚環氧乙烷壬基苯酚醚等之聚 環氧乙烷烷基芳醚類、聚環氧乙烷•聚環氧丙醚嵌段共聚 物類，山梨糖醇單月桂酸酯、山梨糖醇單棕櫚酸酯、山梨 糖醇單硬脂酸酯、山梨糖醇單油酸酯、山梨糖醇三油酸酯 、山梨糖醇單硬脂酸酯等之山梨糖醇脂肪酸酯類、聚環氧 -122- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） ---------------%:、1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --訂---- 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（121 ) 乙烷山梨糖醇單月桂酸酯、聚環氧乙烷山梨糖醇單棕櫚酸 酯、聚環氧乙烷山梨糖醇單硬脂酸酯、聚環氧乙烷山梨糖 醇三油酸酯、聚環氧乙烷山梨糖醇三硬脂酸酯等之聚環氧 基山梨糖醇脂肪酸酯類等之非離子系界面活性劑、丙烯酸 系或甲基丙烯酸系（共）聚合聚氟隆（譯音）N〇 . 75、N〇 . 95( 共榮社油脂化學工業（股）製）等。 其他界面活性劑的配合量以本發明之組成物中全部組成 物之固成分爲基準通常爲2重量％以下、較佳者爲1重量％ 以下。 此等界面活性劑可單獨使用或2種以上組合使用。 本發明可使用的有機鹼性化合物係爲比苯酚具較強鹼性 的化合物。其中，以含氮鹼性化合物較佳。 較佳的化學環境例如有下述式（A )〜（E )所示構造。 R1251 R125i_N一R1252 …（A) (其中，R1250、R1251及R1252可爲相同或不同的氫原子、 碳數1〜6之烷基、碳數1〜6之胺基烷基、碳數1〜6之 經基或碳數 6〜2 0之經取代或未經取代之芳基，且R12 51 與R12 5 2可互相鍵結形成環） -123- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----------^^1 · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 j明説明（122 —N—C=N— …（B) 1 1 =C—N=C 〜 …（C) ~ C ~ N …（D) R1254 R1255 I I 1 R1253-c—N-C-R1256 I I …（E) R ! 2 5 3、R 1 2 5 4、R …5 及 R 1 2 5 6 可爲相 數1〜6之烷基。） 較佳的化合物爲在一分子中具有 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之氮原子的含 的含有胺基與 基之化合物。 取代或未經取 基吡啶、經取 取代的咪哗、 代的吡嗪、經 的嘌呤、經取 的吡唑啉、經 的嗎啉、經取 有胺基、胺基 氮鹼性化合物，更佳 氮原子之環構造兩方 較佳的具體例如經取 代的胺基吡啶、經取 代或未經取代的胺基 經取代或未經取代的 取代或未經取代的嘧 代或未經取代的咪唑 取代或未經取代的哌 代或未經取代的胺基 火完基、烷基胺基、胺 -1 24- 2個以上不同化 者爲經取代或未 的化合物或具有 代或未經取代的 代或未經取代的 吡咯烷、經取代 吡唑、經取代或 啶、經取代或未 啉、經取代或未 啶、經取代或未 嗎琳等。較佳之 基芳基、要# 方基胺 同的碳 學環境 經取代 烷基胺 脈、經 胺基烷 或未經 未經取 經取代 經取代 經取代 取代基 基、燒 --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 規格（210 X 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（123 ) 、氰基。 較佳的化合物例如有脈、1，1 -二甲基脈、1，1 , 3，3 -四甲 基脈、2 -胺基D比D定、3 -胺基D比陡、4 -胺基(ft D定、2 -二甲基 胺基吡啶、4 -二甲基胺基吡啶、2 -二乙基胺基吡啶、2 -( 胺基甲基）吡啶、2 -胺基-3 -甲基吡啶、2 -胺基-4 -甲基吡 D定、2 -胺基-5 -甲基吡啶、2 -胺基-6 -甲基吡啶、3 -胺基乙 基吡啶、4 -胺基乙基吡啶、3 -胺基吡咯烷、哌嗪、N - ( 2 - 胺基乙基）哌嗪、N-(2-胺基乙基）哌啶、4-胺基-2, 2,6,6- 四甲基哌啶、4 -吡喃基哌啶、2 -亞胺基哌啶、1 - ( 2 -胺基 乙基）吡咯烷、吡唑、3 -胺基-5 -甲基吡唑、5 -胺基· 3 -甲 基-1 -對-三吡唑、吡嗪、2 -(胺基甲基）-5 -甲基吡嗪、嘧 啶、2，4 -二胺基嘧啶、4，6 -二羥基嘧啶、2 -吡唑啉、3 -吡 唑啉、N -胺基嗎啉、N - ( 2 -胺基乙基）嗎啉、1 , 5 -二偶氮二 環[4,3,0]壬-5-烯、1，8-二偶氮二環[5,4,0]十一院-7-嫌 、2，4，5 -三苯基咪唑等，特佳的有1，8 -二偶氮二環 [5,4,0]十一院-7-烯、1，5-二偶氮二環[4,3,〇]壬-5-烯、 2，4,5-二苯基咪唑等。惟不受此等所限制。 此等之含氮鹼性化合物可單獨使用或2種以上組合使用 。含氮鹼性化合物之使用量以組成物之固成分爲基準，通 常爲0.001〜10重量％、較佳者爲0.01〜5重量％。若小於 〇.0 0 1重量％時無法得到上述之添加效果。另外，若大於 1〇重量％時會有感度降低或非曝光部之顯像性惡化的傾向 〇 [V I ]本發明所使用的其他成分 -125- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（124) 本發明之正型感光性組成物，視其所需另可含有染料' 顏料、可塑齊U、除上述外之界面活性劑、光增感劑、及對 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 顯像液而言促進溶解性之具有2個以上苯酚性基的化合物 等。 本發明可使用的具有2個以上苯酚性基之化合物以分子 量爲1000以下之苯酚化合物較佳。而且，必須分子中至 少具有2個苯酚性羥基。若大於1 0時會失去顯像範圍之改 良效果。而且，若苯酚性羥基與芳香環之比例小於〇 · 5時 ，膜厚相關性大且顯像範圍狹窄。該比例大於1 . 4時，該 組成物之安定性不佳且不易得到高解像力及良好的膜厚相 關性。 該苯酚化合物之較佳添加量對（D )鹼可溶性樹脂而言爲2 〜50重量％、更佳者爲5〜30重量％。若大於50重量％時， 顯像殘渣惡化、且於顯像時圖樣變形之新缺點產生故不爲 企求。 該分子量 1 0 0 0以下之苯酣化合物例如參照特開平4 -1 2 2938號、特開平2 - 285 3 1號、美國專利第49 1 62 1 0號、 歐洲專利第2 1 9294號等記載的方法，爲該業者可容易地 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 予以合成。 苯酚化合物之具體例如卩述所示，惟本發明可使用的化 合物不受此等所限制。 例如間苯二酚、氯苯酚、2，3，4 -三羥基二苯甲酮、 2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮、2,3,4,3，，4，，5、五羥基二苯 -126- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（125) 甲酮、丙酮-焦培酚縮合樹脂、氟化糖精、2，4，2，，4 ’ -聯苯 基呋喃、4 , 4 ’ -硫代雙（1 , 3 -二羥基）苯、2 , 2，，4 , 4 ’ -四羥基 二苯醚、2，2’，4,4’ -四羥基二苯基亞楓、2,2，，4,4，-四羥 基二苯基®、參（4 -羥基苯基）甲烷、ι，ΐ -雙（4 -羥基苯基） 、環己烷、4,4-(α -甲基次苯基）雙酚、α，α，，α，，-參（4-經基苯基）-1，3,5 -二異丙基苯、α ,α’，α” -參（4 -經基苯基 )-1-乙基-4-異丙苯、1,2,2-參（羥基苯基）丙烷、1，1,2 -參 (3, 5_二甲基-4-羥基苯基）丙烷、2,2,5,5 -肆（4 -羥基苯基） 己烷、1 , 2 -肆（4 -羥基苯基）乙烷、1，1 , 3 -參（4 -羥基苯基） 丁院、對[α ，α’，α、肆（4 -羥基苯基）]-二甲苯等。 本發明之組成物係使上述各成分溶解於溶劑中，塗覆於 載體上。此處所使用的溶劑係以二氯化乙烯、環己酮、環 戊酮、2-庚酮、r-丁內酯、甲基乙酮、乙二醇單甲醚、乙 二醇單乙醚、2 -甲氧基乙基乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯 、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲苯、醋酸乙酯 、乳酸甲酯、乳酸乙酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙 酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、N，N -二甲基 甲醯胺、二甲基亞碾、N -甲基吡咯烷酮、四氫呋喃、碳數 6〜9之直鏈狀酮、r - 丁內酯等較佳，此等可單獨使用或 混合使用。 於本發明中，塗覆溶劑以丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇 單甲醚丙酸酯、丙二醇單甲醚、乳酸甲酯、乳酸乙酯、碳 數6〜9之直鏈狀酮、r - 丁內酯等較佳，更佳者爲丙二醇 -127- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

--------訂· I I I I #· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、發明說明（126) 單甲醚乙酸酯，藉此可使面內均一性優異。 碳數6〜9之直鏈狀酮例如有2 -庚酮、2 -辛酮等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲追求更進步的半導體時，除本質之高解像力等性能外 、就感度、塗覆性、最小塗覆必要量、與基板之密接性、 耐熱性、組成物之保存安定性等各種觀點而言要求高性會g 之組成物。最近，爲增加晶片之取得絕對量，使用大口徑 之晶圓以作成儀器之傾向。特別是爲電子線、X線用阻體 時，由於在電子線照射裝置內之高真空下曝光，考慮排氣 時間等時會有降低供應量降低的情形、增加塗S於大口徑 晶圓上之狀況。然而，塗覆於大口徑時，由於塗覆性、尤 其是會有面內之膜厚均一性降低的情形，故要求提高對大 口徑之晶圓而言之膜後面內均一性。可確認該均一性的方 法係在晶圓內之多數點上進行膜厚測定，求取各測定値之 標準偏差，以其3倍之値確認均一性。該値愈小時，面內 均一性愈高。標準偏差之3倍値以100以下較佳、更佳者 爲50以下◦ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之阻體組成物可溶解於溶劑後予以過濾。所使用 的過濾器可選自阻體領域中所使用者，具體的過濾器材質 係使用含有聚乙烯、耐龍或聚碾者。更具體例如米里伯阿（ 譯音）公司製微卡頓（譯音）、微卡頓Plus、微卡頓米尼肯 姆（譯音）-D、微卡頓米尼肯姆-D PR、米里伯阿歐部基買 拉（譯音）、DEV/DEV-C、米里伯阿歐部基買拉1 6 / 14、伯 魯（譯首）公司製烏魯基伯阿（譯苜）N 6 6、伯基拉恩（譯音）耐 -1 28- 本紙張尺度適用中國3家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' " 一 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（127) 龍法魯孔（譯音）等。而且，有關過濾器之孔徑可藉由下述 方法予以確認。總之，在超純水中分散PSL標準粒子（聚 苯乙烯乳膠珠粒徑〇 . 1〇〇 # in)，以管狀幫浦在1次過濾 器側上連續以定流量流通，且藉由粒子計算器測定範圍濃 度，可以捕捉90%以上者作爲孔徑〇 . 1 // m過濾器。 使本發明之正型電子線或X線阻體組成物於製造精密積 體回路元件時所使用的基板（例如矽/二氧化矽被覆）上（視 其所需在設置有上述反射防止膜之基板上）藉由旋轉器、滾 筒等之適當塗覆方法予以塗覆後，通過所定的遮光罩予以 曝光，進行烘烤、藉由顯像製得良好阻體圖像。 本發明組成物之顯像液可使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳 酸鈉、矽酸鈉、甲基矽酸鈉、銨水等無機鹼類，乙胺、正 丙胺等一級胺，二乙胺、二正丙胺等二級胺，三乙胺、甲 基二乙胺等三級胺，二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類， 四甲銨氫氧化物、四乙銨氫氧化物等四級銨鹽，吡略、哌 口定等環狀胺類等之鹼性水溶液。 另外，在上述鹼性水溶液中亦可添加適量的醇類、界面 活性劑。 【實施例】 於下述中藉由實施例等更具體地說明本發明，惟本發明 不受此等所限制。 [合成例1:聚（對-羥基苯乙烯/苯乙烯）共聚物之合成] 使35· 25g( 0 · 2莫耳）以常法爲基準予以脫水、蒸餾精製 -1 29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（128) 的對-第3 - 丁氧基苯乙烯單聚物及5 · 2 1 g ( 〇 . 〇 5莫耳）苯乙 烯單聚物溶解於1 00m 1四氫呋喃中。在氮氣氣氛及攪拌下 ，於8Q°C下在2.5小時內以3次添加〇.〇3 偶氮雙異丁 腈（AIBN),且另外攪拌5小時以進行聚合反應。將反應液 投入1 2 0 0 m 1己烷中，以使白色樹脂析出。使所得的樹脂 乾燥後，溶解於150ml四氫呋喃中。 於其中添加4N鹽酸且藉由6小時加熱回流予以加水分 解後，在5 L超純水中再沉澱，使該樹脂過濾分別、水洗 、乾燥。另外，溶解2 0 0 m 1四氫呋喃中，在激烈的攪拌下 滴入5L超純水中以進行再沉澱。反覆該再沉澱操作3次 ◦使所得的數之在真空乾燥器中、1 20°C乾燥1 2小時，製 得聚（對-羥基苯乙烯/苯乙烯）共聚物。 [合成例2 ··樹脂（c - 2 1 )之合成] 使32.4g(〇.2莫耳）對-乙醯氧基苯乙烯及7.〇lg(〇.〇7 莫耳）甲基丙烯酸第3-丁酯溶解於120ml醋酸丁酯中，且 在氮氣氣氛及攪拌下，於80 °C下在2 . 5小時內以3次添 加I 0.03 3 g偶氮雙異丁腈（AIBN)，最後另外攪拌5小時以 進行聚合反應。將反應液投入1 200ml己烷中，以使白色 樹脂析出。使所得的樹脂乾燥後，溶解於200m 1甲醇中。 於其中添加7 . 7g(0 . 19莫耳）氫氧化鈉/ 5〇ml水溶液’藉 由1小時加熱回流予以加水分解。另外，溶解2 0 0 m 1水予 以稀釋，以鹽酸中和、析出白色樹脂。使該樹脂過爐分別 、水洗、乾燥。另溶解於200m 1四氫呋喃中且在激烈的攪 -1 30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（129) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 拌下滴入5 L超純水中以進行再沉潑。使該再沉殿操作重 複3次。使所得的樹脂在真空乾燥器中、i 20它乾燥1 2小 時，製得聚（對-羥基苯乙嫌/甲基丙烯酸第3 - 丁醋）共聚 物。 〔合成例3 :樹脂例（c - 3 )之合成〕 使lQg聚（對-羥基苯乙烯）（日本管違（譯音）公司製VP_ 8 ◦ 0 〇 )溶解於5 0m I吡啶中，使其在室溫攪拌下滴入3 . 6 3 g 二碳酸二-第3 - 丁酯。 在室溫下攪拌3小時後，滴入1 L離子交換水/ 2 0 g濃鹽 酸之溶液中。使析出的粉體過濾、水洗、乾燥以製得樹脂 例（c - 3)。 [合成例4 :樹脂（c - 3 3 )之合成] 使83. lg( 0 · 5莫耳）對-環己基苯酚溶解於3 00ml甲苯中 ，且加入150 g 2-氯化乙基乙烯醚、25g氫氧化鈉、5g四丁 銨溴化物、60g三乙胺在12(TC下反應5小時。使反應液 水洗且餾去多餘的氯化乙基乙烯_與甲苯，使所得的油在 減壓蒸餾下精製以製得4 -環己基苯氧基乙基乙烯醚。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使2Qg聚（對-羥基苯乙烯）（日本曹達（譯音）公司製νρ-δΟΟΟ) 、 6.5g4-環己 基苯氧基乙基乙烯醚 溶解於 SOmlTHF ， 於其中添加0 · 〇 1 g對-甲苯磺酸，在室溫下反應1 8小時。 使反應液滴入5L蒸餾水中激烈攬拌，且使析出的粉體過 濾、乾燥後，製得樹脂例（c - 3 3 )。 使用對應於樹脂例（c - 4 )、（ c - 2 8 )、（ c - 3 0 )之幹聚合物 -131- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x 297公爱） 548520 A7 B7 ---------— -----— 五、發明說明（130) 與乙烯醚，藉由相同的方法予以合成。 (溶解阻止劑化合物之合成例-1 ··化合物例1 h -1 0之合成） 使20g下述化合物（I h - 1 0 - 1· aw :本州化學工業製）溶解 於N，N-二甲基甲醯胺/醋酸乙酯混合溶劑中，且加入羥基 等莫耳之溴酸醋酸第3 - 丁酯。然後，予以攪拌、滴入與 羥基等莫耳之膽鹼水溶液（5 0重量％ ),且在室溫下攪拌4 小時◦加入與膽鹼等莫耳之醋酸予以攪拌、且加A水、以 醋酸乙酯萃取。乾燥後、製得1 9g固體（I h - η )。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ' --------訂----

Η 線

OHOH 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (溶解阻止劑化合物之合成例-2 :化合物例1 h - η之合成） 使20g下述化合物（I h - η - r aw :本州化學工業製）溶解於 N，N -二甲基甲醯胺/醋酸乙酯混合溶劑中，且加入經基等 莫耳之溴酸醏酸第3 - 丁酯◦然後，予以攪拌、滴入與經 -1 32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（131) 基等莫耳之膽鹼水溶液（5 0重量％ ),且在室溫下攪拌4小 時。加入與膽鹼等莫耳之醋酸予以攪拌、且加入水、以醋 酸乙酯萃取。乾燥後、製得1 8g固體（I h - η )。 其他之溶解阻止化合物亦同樣地予以合成。

(對-0Η而言〇，ρ_鍵結） [一般式（A )所示化合物之合成] (合成例-1)上述A-22(苯甲醯氧基乙基乙烯醚）之合成 使244g(2莫耳）苯甲酸溶解於3 000ml甲苯中，再加入 320g2_氯化乙基乙烯醚、88g氫氧化鈉、25g溴化四丁銨 、100g三乙胺，在120°C下加熱攪拌5小時。 使反應液水洗、減壓餾去以除去過多的2 -氯化乙基乙烯 醚與甲苯。自所得的油藉由減壓餾去，製得300g目的物 之苯甲醯氧基乙基乙烯醚。 -133- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公髮） ---1----------—---訂-------丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 ____B7_____ 五、發明說明（132) (合成例-2〜8)上述A-23〜A-29之合成 與上述A-22之合成相同地合成上述A-23〜A-29。 [1 ]實施例1 - 1〜1 - 3 4、比較例1 - 1 〇 1〜1 - 1 0 4 (1 )阻體塗設 使下述表1〜2所示成分溶解於8. 2g丙二醇單甲醚乙酸 酯，使其以〇.1 // m過濾器過濾調製成阻體溶液。 使各試料溶液利用旋轉塗覆器、塗覆於矽晶圓上，且在 1 2 0°C、以真空吸附型熱板乾燥90秒，製得膜厚〇 . 3 // m 之阻體膜。 (2 )阻體圖像之作成 在該組體膜上使用電子線掃描裝置（加壓電速50keV )進 行照射。於照射後各在1 1 0°C之真空吸附型熱板上進行加 熱60秒，以2. 38%四甲銨氫氧化物（TMAH)水溶液浸漬60 秒，且以水沖洗3 0秒、並予以乾燥。使所得接觸孔圖像 之截面形狀藉由掃描型電子顯微鏡觀察。 (3 )感度及解像力之評估 以接觸孔圖像之臨界解像力（孔之最小直徑）作爲解像力， -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 最 之 像 解 力 像 解 界 臨 該 使 可 度 感 爲 作 量 匕匕 厶目 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（133) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 樹脂（g) 酸發生劑 (g) 溶解阻止化 合物（g) 有機鹼性化 合物（g) 溶劑（g) 實施例1-1 PHS(1.37) 1-9(0.09) Ih-1(0.34) TPK0.009) 丙二醇單甲 醚乙酸酯 (8.5) 實施例1-2 同上 同上 Ih-2(0.34) 同上 同上 實施例1-3 同上 同上 Ih-3(0.34) 同上 同上 實施例1-4 同上 同上 Ih-4(0.34) 同上 同上 實施例卜5 同上 同上 Ih-5(0.34) 同上 同上 實施例i-6 同上 同上 Ih-6(0.34) 同上 同上 實施例1-7 同上 同上 Ih-7(0.34) 同上 同上 實施例1-8 同上 同上 Ih-8(0.34) 同上 同上 實施例1-9 同上 同上 Ih-9(0.34) 同上 同上 實施例1-10 同上 同上 Ih-10(0.34) 同上 同上 實施例1-11 同上 同上 Ih-ll(0.34) 同上 同上 實施例1-12 同上 同上 Ih-12(0.34) 同上 同上 實施例1-13 同上 同上 Ih-13(0.34) 同上 同上 實施例1-14 同上 同上 Ih-14(0.34) 同上 同上 實施例1-15 同上 同上 Ih-15(0.34) 同上 同上 實施例1-16 同上 同上 Ih-16(0.34) 同上 同上 實施例1-17 同上 同上 Ih-17(0.34) 同上 同上 實施例1-18 同上 同上 Ih-18(0.34) 同上 同上 實施例1-19 同上 同上 Ih-19(0.34) 同上 同上 實施例1-20 同上 同上 Ih-20(0.34) 同上 同上 -135- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --------------------訂—------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 B7 五、發明說明（134 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 樹脂（g) 酸發生劑(g) 溶解阻止化合物(g) 有機驗性 化合物(g) :溶劑(g) 實施例卜21 PHS(1.37) 1-9(0.09) Ih-21(0.34) TPI (0.009) 丙二醇單甲醚 乙酸酯(8.5) 實施例1-22 同上 同上 Ih-22(0.34) 同上 同上 實施例卜23 c-3(l.27) 同上 Ih-1(0.44) 同上 同上 實施例1-24 c-4(l.27) 同上 同上 同上 同上 實方拒例Π-25 c-21(l.27) 同上 同上 同上 同上 實施例1-26 c-28(l.27) 同上 同上 同上 同上 實施例1-27 c-33(l.27) 同上 同上 同上 同上 實施例1-28 PHS(1.37) 11-1(0.09) Ih-1(0.34) 同上 同上 實施例1-29 同上 111-1(0.09) 同上 同上 同上 實施例1-30 同上 1-9 與 II-1 之混合物 (0.09) 同上 同上 同上 實施例1-31 同上 PAG-K0.09) 同上 同上 同上 實施例1-32 同上 PAG-2(0.09) 同上 同上 同上 實施例1-33 同上 1-9(0.09) Ih-1/41(〇.20/〇.14) 同上 同上 實施例1-34 同上 同上 Ih-l/43(0.20/0.14) 同上 同上 比較例1-101 同上 同上 41(0.34) 同上 同上 比較例1-102 同上 同上 43(0.34) 同上 同上 比較例1-103 同上 PAG-K0.09) 41(0.34) 同上 同上 比較例1-104 同上 PAG-2(0.09) 43(0.34) 同上 同上 -136- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------—訂------—線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（135) 酸發生劑PAG - 1、PAG - 2係如下述

使用的黏合樹脂之組成、物性等如下所述。 (c-3):對-經基苯乙嫌/對-弟3 -丁氧基竣基苯乙惊共水学 (莫耳比：80/20)、重量平均分子量130 00、分？*量分布 (M w / Mn)1 .4 (c-4):對-羥基苯乙烯/對- (1-乙氧基乙氧基）苯乙丨希共聚 戊（莫耳比：70/30)、重量平均分子量12000、分子量分布 (M w / Mn)1 .3 (c - 2 1 ):對-羥基苯乙烯/第3 - 丁基甲基丙烯酸酯（莫耳比 :70/30)、重量平均分子量 1 6000、分子量分布 (M w / Μη)2.0 (c -22 ):對-羥基苯乙烯/對- (1-第3-丁氧基乙氧基）苯乙 烯共聚物（莫耳比：85/15)、重量平均分子量12000、分子 量分布（Mw/Mn)l.l (c - 28):對-羥基苯乙烯/對-(1 -苯乙氧基乙氧基）苯乙火希 共聚物（莫耳比：85/15)、重量平均分子量1 2 000、分子量 分布（Mw/Mn)1 . 2 (c-30):對-羥基苯乙烯/對_(ι_苯氧基乙氧基乙氧基）苯 -1 37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） --------------------訂---------- c請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 _B7__ 五、發明說明（136) 乙烯共聚物（莫耳比·· 85/15)、重量平均分子量13000、分 子量分布（Mw/Mn)l .2 (PHS):聚-對-羥基苯乙烯（日本曹達（股）製、商品名VP-1 5 000) (PHS/St :以合成例1所合成者）：對羥基苯乙烯/苯乙烯（ 旲耳比：80/20)、重量平均分子量26000、分子量分布 (Mw/Mn) 1 . 9 ------------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7 五、号务明說明（137) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 感度（β C/cm2) 解像力（A m) 外型 實施例1-1 9 0.06 矩形 實施例1-2 10 0.07 矩形 實施例1-3 8 0.07 矩形 實施例1-4 9 0.06 矩形 實施例1-5 9 0.05 矩形 實施例1 - 6 9 0.08 矩形 實施例1-7 9 0.07 矩形 實施例1-8 10 0.05 矩形 實施例1-9 9 0.08 矩形 實施例M0 9 0.06 矩形 實施例1 -11 8 0.06 矩形 實施例M2 8 0.06 矩形 實施例1-13 9 0.07 矩形 實施例1 -14 8 0.07 矩形 實施例1-15 9 0.07 . 矩形 實施例1-16 9 0.07 矩形 實施例1-17 9 0.07 矩形 實施例1 -1 8 9 0.05 矩形 實施例M9 10 0.07 矩形 實施例1-20 10 0.05 矩形 實施例1-21 9 0.07 矩形 實施例1-22 10 0.05 矩形 實施例1-23 9 0.05 矩形 實施例1-24 9 0.08 矩形 實施例1-25 9 0.08 矩形 實施例1-26 10 0.05 矩形 實施例1-27 10 0.07 矩形 實施例1-28 10 0.07 矩形 實施例1-29 10 0.06 矩形 -139- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（138) 感度（// C/cm2) 解像力（// m) 外型 實施例1-30 10 0.06 矩形 實施例1-31 11 0.10 大約矩形 實施例1-32 11 0.10 大約矩形 實施例1-33 10 0.10 矩形 實施例1-34 8 0.10 矩形 比較例1-101 9 0.10 大約矩形 比較例1-102 9 0.11 大約矩形 比較例卜103 12 0. 17 相反錐形 比較例卜104 12 0.13 相反錐形 由表3、4之結果可知，本發明之正型電子線阻體組成 物具有高解像力、且具矩形外型。 以與表1〜2之實施例1-1、1-1〇、丨_28、1-29、1-30 相同的構成，取代固成分爲1 0重量％陽離子聚合性化合物 A-8、A-1〇、 A-12、 A-15、 A-18、 A-22、 A-23、 A-24、 A-2 5、對-甲氧基苯乙烯、旋轉辛烷、己內酯、對駄醛之組 成物，各提局其解像力、外型形狀。 而且，與表1〜2之實施例1-1、1-10、1-28、1-29、 1-30相同的構成，加入有溶液組成物之100〜30 Oppm界 面活性劑的頓龍衣羅魯（譯音）S- 3 66 (頓龍衣（譯音）化學公 司製）、梅卡法克（譯音）F 1 7 6 (大日本油墨（股）製）、梅卡 法克R08 (大曰本油墨）、聚矽氧烷聚合物KP - 3 4 1 (信越化 學工業（股）製），各可提高解像力、外型形狀。 -mo- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^#1. 548520 A7 -------- B7 五、潑^明說明（139) 另外，與表1〜2之實施例i _丨、丨_丨〇、丨_ 28、丨_ 29、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 - 3 0相同的構成，使有機鹼性化合物改變成丨，8 _二偶氮 一環[5，4 , 〇 ]十一碳-7 -烯、1，5 -二偶氮二環[4，3，0 ]壬-5 -儲、N-環己基-Ν’-嗎啉乙基硫尿素、4_二甲基胺基吡啶之 組成物，亦具有相同的性能。 此外，以與表1〜2相同的構成，將溶劑改成丙二醇單 甲醚乙酸酯/丙二醇單甲醚=80 / 20之組成物，仍具有相同 的性能。 而且，使上述表1〜2記載的成分溶解於上述溶劑中， 且使上述實施例1 - 1〜1 _ 3 4之組成物液以0 · 1 // m聚乙烯 製過濾器過濾調製成阻體溶液。此等各阻體溶液如下述評 估面內均一性。 (面內均一性） 將各阻體溶液塗覆於8 i n c h矽晶圓上，進行上述阻體層 之塗設相同的處理，製得面內均一性測定用阻體塗覆膜。 在大日本篩網公司製LambdaA上使其沿著晶圓直徑方向、 成十字狀均等測定36個塗覆膜厚。求取各測定値之標準 偏差、其値之3倍小於50者爲〇、50以上者爲X ◦ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 結果，使用丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA)作爲阻體塗覆 溶劑者（實施例1〜3 4 )，面內均一性爲〇。 而且，以與實施例i _丨〜卜34相同的構成，將溶劑改爲 丙二醇單甲醚乙酸酯/丙二醇單甲醚=80/2〇之組成物，同 樣地具有相同的面內均一性。 -141 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 ______ B7 五、發明說明（140) (4 )藉由等倍x線曝光予以圖像化 各使用上述實施例1-丨與比較例丨_1〇1與1〇2之阻體組 成物，以與上述（1 )相同的方法製得膜厚〇 .4〇 “ m之阻體 膜。然後，除使用等倍X線曝光裝置（間隙値；2〇nm)外， 與上述（2 )相同地進行圖像化，以與上述（3 )相同的方法評 估阻體性能（感度、解像力），評估結果如表5所示。 阻體組成物 感度（mJ /cm2) 解像力i // m、 實施例1 - 1 80 0.07 比較例1 - 1 0 1 90 o.io 比較例1 - 1〇2 90 o.io 由表5可知，本發明之阻體組成物即使X線曝光下仍具 有極爲優異性能。 本發明之正型電子線或X線阻體組成物具有高解像力。 [2 ]實施例2 - 1〜2 - 4 4、比較例2 - 1 0 1〜2 - 1 ◦ 6 (1 )阻體塗設 使下述表6〜7所示成分溶解於8 . 2 g丙二醇單甲醚乙酸 醋，使其以〇 .丨V m過濾器過濾調製成阻體溶液。 使各試料溶液利用旋轉塗覆器、塗覆於矽晶圓上，且在 120°C '以真空吸附型熱板乾燥90秒，製得膜厚 〇.3// n 之阻體膜。 -142- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------------I--訂 -------11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7 _B7___—一 五、發明說明（141 ) (2 )阻體圖像之作成 在該組體膜上使用電子線掃描裝置（加壓電速5〇keV)進行 照射。於照射後各在1 1 0 °C之真空吸附型熱板上進行加熱 6〇秒，以2 . 38%四甲銨氫氧化物（TMAH)水溶液浸漬60秒， 且以水沖洗3 0秒、並予以乾燥。使所得接觸孔圖像之截 面形狀藉由掃描型電子顯微鏡觀察。 (3 )感度及解像力之評估 以接觸孔圖像之臨界解像力（孔之最小直徑）作爲解像力， 可使該臨界解像力解像之最小照射能量作爲感度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂--- 聲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 4 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、名务明說明（142 ) 樹脂(g) 酸發生劑 (g) 溶解阻止化 合物(g) 陽離子聚合 性化合物(g) 界面活性 劑⑻ 有機鹼性化 合物(g) 溶劑(g) 實施例2-1 PHS(1.23) 1-9(0.08) Ih-n(0.31) A-24(0.18) ίκ TPK0.009) 丙二醇單 甲醚乙酸 酯(8.5) 實施例2-2 同上 同上 同上 同上 TROYSOL S-366 (0.001) 同上 同上 實施例2-3 同上 同上 Ih-n(0.2〇） /43(0.11) 同上 同上 同上 同上 實施例2-4 同上 同上 Ih-n(0.20) /41(0.11) 同上 同上 同上 同上 實施例2-5 同上 同上 Ih-a(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-6 同上 同上 Ih-b(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-7 同上 同上 Ih-c(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-8 同上 同上 Ih-d(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-9 同上 同上 Ih-e(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-10 同上 同上 Ih-f(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-11 同上 同上 Ih-g(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-12 同上 同上 Ih-h(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-13 同上 同上 Ih-I(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-14 同上 同上 Ih-j(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-15 同上 同上 Ih-k(0.31) 同上 同上 同上 同上 實方麵2-16 同上 同上 Ih-l(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-17 同上 同上 lh-m(0.31) 同上 同上 同上 同上 -144- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -----------裝--------訂---------- 摹 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 548520 A7B7 五、發明說明（143) 實施例2-18 同上 同上 Ih-o(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-19 同上 同上 Ih-p(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-20 同上 同上 Ih-q(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-21 同上 同上 Ih-r(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-22 同上 同上 Ih-s(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-23 同上 同上 Ih-t(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-24 同上 同上 Ih-u(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-25 同上 同上 Ih-v(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-26 同上 '同上 Ih-w(0.31) 同上 同上 同上 同上 --------------------訂----------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -145- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548520

A B 五、發明說明（144 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 樹脂(g) 酸發生劑(g) 溶解阻止化 合物(g) 陽離子聚合 性化合物 (g) '界面活性劑 (g) 有機鹼性化 合物(g) 溶劑(g) 實施例2-27 PHS(1.23) 1-9(0.08) Ih-x(0.31) A-24(0.18) TROYSOL S-366(0.001) TPK0.009) 丙二醇單 甲醚乙酸 酯(8.5) 實施例2-28 同上 同上 Ih-y(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-29 同上 同上 lh-z(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-30 同上 同上 Ih-2a(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-31 同上 同上 Ih-2b(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-32 同上 同上 Ih-2c(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-33 同上 同上 Ih-2d(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-34 c-3(1.13) 同上 Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-35 c-4(1.13) 同上 Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-36 c-21(1.13) 同上 Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-37 〇28(1.13) 同上 Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-38 c-33(1.13) 同上 Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-39 PHS(1.23) 11-1(0.09) Ih-n(0.31) 同上 同上 同上 同上 實施例2-40 同上 111-1(0.09) 同上 同上 同上 同上 同上 實施例2-41 同上 1-9 與 IM 之混合物 (0.09) 同上 同上 同上 同上 同上 實施例2-42 PHS(1.37) 1-9(0.09) 同上 Μ / V ΝΝ 同上 同上 同上 實施例2-43 PHS(1.23) PAG-K0.09) 同上 A-24(0.18) 同上 同上 同上 實方細2-44 同上 PAG-2(0.09) 同上 同上 同上 同上 同上 比較例2-101 同上 1-9(0.08) 43(0.31) 同上 無 同上 同上 比較例2-102 同上 同上 同上 同上 TROYSOL S-366(0.001) 同上 同上 比較例2-103 同上 1-9(0.09) 同上 Μ j\ \\ 同上 同上 同上 比較例2-104 同上 同上 41(0.31) A-24(0.18) 同上 同上 同上 比較例2-105 同上 PAG-K0.09) 43(0.31) 同上 同上 同上 同上 比較例2-106 同上 PAG-2(0_09) 同上 同上 同上 同上 同上 -146- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂·11 華 本紙張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548520 A7 B7

五、潑^明說明〇45 ) Z 皆爲_CH2COOtBu TPI=2,4,5 -三苯基咪1:1坐啉 PHS =聚羥基苯乙烯（日本曹達（股）製、Vp_8〇〇〇） 酸發生劑PAG - 1、PAG - 2係如下述。

PAG -1 pAG〜2 使用的黏合樹脂之組成、物性等如下所述。 (c-3):對-經基苯乙烧/對-第3-丁氧基羧基苯乙烯共聚物 (莫耳比：80/20)、重量平均分子量13〇〇〇、分子量分布 (Mw/Mn) 1 . 4 (c - 4):對-羥基苯乙烯/對-(1 -乙氧基乙氧基）苯乙烯共聚 戊（莫耳比：70/30)、重量平均分子量12000、分子量分布 (Mw/Mn) 1 . 3 (c - 21):對-羥基苯乙烯/第3 - 丁基甲基丙烯酸酯（莫耳比 • 70/30)、重量平均分子量 16000、分子量分布 (M w / Μη ) 2 . 0 (c - 22):對-羥基苯乙烯/對_ ( 1 _第3_丁氧基乙氧基）苯乙 稀共聚物（莫耳比：85/15)、重量平均分子量1 2000、分子 量分布（Mw/Mn)l.l (c-28):對-羥基苯乙烯/對-苯乙氧基乙氧基）苯乙燃 -147- 本紙張义度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11111 線， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 _B7 五、發明說明（146 ) 共聚物（莫耳比：85 / 1 5 )、重量平均分子量1 2000、分子量 分布（Mw/Mn)1.2 (c-30):對-羥基苯乙烯/對- (1-苯氧基乙氧基乙氧基）苯 乙烯共聚物（莫耳比：85/15)、重量平均分子量13000、分 子量分布（Mw/Mn)l .2 (PHS):聚-對-羥基苯乙烯（日本曹達（股）製、商品名VP-8000) (PHS/St :以合成例1所合成者）：對羥基苯乙烯/苯乙烯（ 莫耳比：80/20)、重量平均分子量 26000、分子量分布 (Mw / Mn)1 .9 -------------------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、發明說明（147) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表7 感度（β C/cm2) 解像力（// m) 外型 實施例2-1 8 0.11 矩形 實施例2-2 5 0.09 矩形 實施例2-3 8 0.08 矩形 實施例2-4 8 0.07 矩形 實施例2-5 5 0.07 矩形 實施例2-6 6 0.06 矩形 實施例2-7 5 0.08 矩形 實施例2-8 7 0.06 矩形 實施例2-9 4 0.07 矩形 實施例2-10 5 0.06 矩形 實施例2-11 6 0.06 矩形 實施例2-12 5 0.07 矩形 實施例2-13 6 0.07 矩形 實施例2-14 4 0.06 矩形 實施例2-15 5 0.06 矩形 實施例2-16 7 0.06 矩形 實施例2-17 6 0.07 矩形 實施例2-18 5 0.07 矩形 實施例2-19 4 0.07 矩形 實施例2-20 5 0.06 矩形 實施例2-21 5 0.06 矩形 實施例2-22 5 0.07 矩形 實施例2-23 6 0.07 矩形 實施例2-24 4 0.07 矩形 實施例2-25 7 0.06 矩形 實施例2-26 5 0.06 矩形 實施例2-27 6 0.08 矩形 實施例2-28 4 0.07 矩形 實施例2-29 6 0.07 矩形 實施例2-30 7 0.07 矩形 -149- ! - I------------ΦΜ.--------訂----------^Φ1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 548520 A7 B7 五、潑^明說明（148) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 感度（β C/cm2) 力（"m) 外型 實施例2-31 5 0.08 /1 矩形 實施例2-32 5 0.06 / \y 矩形 實施例2-33 6 0.08 矩形 實施例2-34 7 0.08 / 1— /1/ 實施例2-35 7 ------- 0.08 ^ J\y 矩形 實施例2-36 8 --—.— 0.08 )\y 實施例2-37 7 0.08 實施例2-38 7 —~~~—-_ 0.06 λϊ± l\y 矩形 實施例2-39 4 0.06 J i\y 實施例2-40 5 ----^ 0.06 矩形 實施例2-41 5 0.06 矩形 實施例2-42 4 0.10 /1— )\y 大約矩形 實施例2-43 8 0.11 / X J /^{H ) 1 y 矩形 實施例2-44 7 0.11 )\y 矩形 比較例2-101 10 0.20 i\y 大約矩开今 比較例2_ 102 10 0.13 y ^ rV J /XI—1 / xy 比較例2-103 9 ---~~~-- 0.17 相反錐开今 比較例2-104 10 0.13 1 M ) \y 大約矩开今 比較例2-105 20 —---- 0.20 /、’1、J /、口 / 1/ 相反錐ίκ 比較例2-106 21 1 Μ ilifl： )\y 相反錐形 由表8〜9之結果可知，本發明之正型電子線阻體組成 物具有高感度。 以與表6〜7之實施例2 - 1〜2 _ 4相同的構成，將陽離 子聚合性化合物改爲A-8、A-10、A-12、A-15、A_ 18、A· -1 50- 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -φ-i----- —訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548520 A7 B7 五、号务明說明（149) 、A - 23、A - 2 5、對-甲氧基苯乙烯、螺辛烷、己內酯、對 酖醛之組成物，具有相同的性能。 而且，與表6〜7之實施例2-1〜2-4相同的構成，將界 面活性劑改成梅卡法克（譯音）F176(大日本油墨（股）製）、 梅卡法克R〇8(大日本油墨）、聚矽氧烷聚合物KP-341(信 越化學工業（股）製），具有相同的性能。 另外，與表6〜7之實施例2 - 1〜2 - 4相同的構成，使有 機鹼性化合物改變成1 , 8 -二偶氮二環[5，4,0 ]十一碳-7 -烯 、1,5-二偶氮二環[4,3，0]壬-5-烯、N-環己基- Ν’-嗎啉乙 基硫尿素、4 -二甲基胺基吡啶之組成物，亦具有相同的性 會g 。 此外，以與表6〜7相同的構成，將溶劑改成丙二醇單 甲醚乙酸酯/丙二醇單甲醚=80 / 20之組成物，仍具有相同 的性能。 而且，使上述表6〜7記載的成分溶解於上述溶劑中， 且使上述實施例2 - 1〜2 - 44之組成物液以0 . 1 □ m聚乙烯製 過Μ器過濾調製成阻體溶液。此等各阻體溶液如下述評估 面內均一性。 (面內均一性） 將各阻體溶液塗覆於8inch矽晶圓上，進行上述阻體層 之塗設相同的處理，製得面內均一性測定用阻體塗覆膜。 在大日本篩網公司製UmbdaA上使其沿著晶圓直徑方向、 成十字狀均等測定36個塗覆膜厚。求取各測定値之標準 -151 - 本紙張尺度適財國國家標準（CNS)A4i^10 x 297公釐） -----------------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 較 爲同 阻之m)方示 劑 改， 之 mo的所 :1 _ : 2 πϋ 548520 A7 B7 五、号务明說明（150) 偏差、其値之3倍小於50者爲〇、50以上者爲X。 結果，實施例2 - 1〜2 - 44之面內均一性爲〇。 因此，可知於本發明中以使用砂系/氯系界面活性 佳° 而且，以與實施例2 - 2〜2 - 44相同的構成，將溶齊 丙二醇單甲醚乙酸酯/丙二醇單甲醚=80 / 20之組成物 樣地具有相同的面內均一性。 (6 )藉由等倍X線曝光予以圖像化 各使用上述實施例2-20與比較例2 - 102與2 - 104 體組成物，以與上述（1 )相同的方法製得膜厚〇 . 4〇 ^ 阻體fe。然後，除使用等倍X線曝光裝置（間隙値； 外，與上述（2 )相同地進行圖像化，以與上述（3 )相同 法評估阻體性能（感度、解像力），評估結果如表！〇 表10 阻體組成物 感度（mJ /cm2) 實施例2-20 60 比較例2-102 90 比較例2-104 90 由表1 〇可知，本發明之阻體組成物於X線曝光4 有極爲優異的性能。 本發明之正型電子線或X線阻體組成物對電子線或 先而曰具有局感度。 -1 52- 本紙張足度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂—------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

具 線 仍 X 548520 A7 _B7 五、号务明說明（151 ) 【發明之效果】 本發明提供一種具有高解像力之正型電子線或X線阻體 組成物、以及一種具有高解像力、高感度之正型電子線或 X線阻體組成物。 --------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

Claims (1)

1. 548520 -------------------·= —I——^ .Kf· i/G>j---- I ’’— 一 一' —，；六、申請專利範圍 一―— ^ 第90103378號「正型電子線或X線阻體組成物」專利案 (91年12月26日修正） A申請專利範圍： 1 · 一種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B1)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大 對鹼像液之溶解度、分子量爲1 000〜3000之低分子溶 解阻止化合物， 其特徵爲該低分子溶解阻止化合物除了含有藉由酸作 用分解之基外亦含有2個以上三苯基甲烷構造爲非共軛 鍵結的構造。 2 ·如申請專利範圍第1項之正型電子線或X線阻體組成物 ，其中低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一 般式（b 1 )所示化合物所成群的化合物 Rl13 OZ

   R112 R111 Rl18 Ri17 (b1)

   Rl15 Z〇 R110 qh

   Rl16 (其中，R1Q1〜Rn8係表示相同或不同的氫原子、直鏈 狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， z係表示相同或不同的氫原子、、-R^-COOAa、 -ArOB。，惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子，

   548520 六、申請專利範圍 A0 係表示- C(R2cn)(R2°2)(R2°3)、-Si(R2i)1)(R2°2)(R 2 0 3 ) 、-C(R 2 0 4 )(R 2 0 5 )-〇R 2 0 6， B°係表示Aq或-COOA0， R2()()係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族 烴基，且-Ar-係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香 族烴基， r2(H、r2〇2、R 2 0 3、R204、R205係各表示相同或不同的氫 原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳 基，R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟 RK1〜RU3中至少有2個爲氫原子以外之基，且R2^〜 R2(n、及R2Q4〜R2()6中有2個基可互相鍵結形成環）。 3 · —種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A )藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B2)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大 對鹼像液之溶解度、分子量爲1000〜3000之低分子溶 解阻止化合物， 其特徵爲該低分子溶解阻止化合物含有3個以上下之 述一般式（b2)所示構造，該構造爲非共軛鍵結的構造，

   548520 六、申請專利範圍 (其中Rn9-；^26係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-A〇、-R2Q()_c〇〇a()、· ArOB'惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子， A〇 係表示-C(R2C)1)(R2°2)(R2G3)、 、-C(R 2 0 4 ) (R 2 0 5 ) -〇R 2 0 6， BQ係表示或-C00A°， R2QQ係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族 烴基，且- Ar -係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香 族烴基， R2(H、R202、r2Q3、r2Q4、r2〇5係各表示相同或不同的氫 原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳 基，R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟 R2(n〜R2〇3中至少2個爲氫原子以外之基，且〜R2W 、及R2C)4〜R2()6中有2個基可互相鍵結形成環）。 4 .如申請專利範圍第3項之正型電子線或X線阻體組成物， 其中低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一般 式（b3)及一般式（b4)所示化合物所成群的化合物’ 548520 六、申請專利範圍

   (其中r127〜r132係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-A〇、_dC〇〇A〇、 •ArOB°，惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子， A0 係表示- C(R2°】）（R2°2)(R2°3)、-Si(R2Q】）（R2°2)(R 2 0 3 ) 、-C(R 2 0 4 ) ( R 2 0 5 ) -〇R 2 0 6， B°係表示A°或-C00A°， R2QQ係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族 烴基，且- Ar-係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香 族烴基， R2〇l、R 2 0 2、r2〇3、r2〇4、r2〇5係各表示相同或不同的氫 原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳 基，R2()6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟 中至少有2個爲氫原子以外之基，且R2(H〜 -4- 548520 六、申請專利範圍 R2Q3、及R2Q4〜R2°6中有2個基可互相鍵結形成環， Y係表示氫原子或甲基）

   (其中R133〜R144係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， L係表示可具取代基之伸甲基， Z係表示相同或不同的氫原子、-Al -R^-COOAl -Ai:0B°，惟Z中50莫耳％以上不爲氫原子， A0 係表示-C(R2(n)(R2()2)(R2°3)、-Si(R2(]1)(R2°2)(R2°3) 、-C(R 2 0 4 ) (R 2 0 5 )-〇R 2 0 6， Βϋ係表示或-C00AQ，

   548520 六、申請專利範圍 R20Q係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族 烴基，且-A r -係表示單鍵或可具多環取代基之2價芳香 族烴基， R⑴、、r2〇3 ' r2〇4 ' R2()5係各表示相同或不同的氫 原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳 基，R2G6係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟 R2〇i〜中至少有2個爲氫原子以外之基，且yen〜 R2°3、及R2°4〜R2G6中有2個基可互相鍵結形成環）。 5 · —種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A)藉由電子線或X線照射產生酸之化合物， (B3)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大 對鹼像液之溶解度、分子量爲3000以下之低分子溶解 阻止化合物， 其特徵爲低分子溶解阻止化合物具有部分構造之聯苯 基構造或三伸苯基構造，該藉由酸作用分解之基中所含 的苯環外部分中苯環總數爲3個〜1 3個。 6 ·如申請專利範圍第5項之正型電子線或X線阻體組成物 ，其中低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一 般式（I h - 1 )〜（I h - 7 )所示化合物所成群的化合物， 548520 六、申請專利範圍 R

   102 、117 、116 R 111 、104 、103 R

   126

   548520 六、申請專利範圍

   闩158’ Rl59’ R173’ R172’ 〇z 〇z’

   (lh-5)

   548520 六、申請專利範圍

   ΖΌ OZ

   (其中R1()1’〜R11()’、R112’〜R213’係表示相同或不同的 氫原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基， Rm’係表示氫原子、直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯 基或苯基，Rm’與R132 ’可互相鍵結形成環，Y’係表示氫

   548520

   六、申請專利範圍 原子或甲基，同一分子中數個z可爲相同或不同者， Z’係表示氫原子、-A。，、-R3⑽_c⑻A。，、-Al. _〇B〇,， 惟上述式（Ih-1)〜（ih-4)中Z，之90莫耳％以上不爲氫 原子，於一般式（Ih-5)〜（Ih-7)中Z，中50莫耳％以上不 爲氫原子， A0’係表示-C(R3Q1)(R3()2)(R3()3)、_Si(R3(m)(R3q2)(R3q3) 、-C(R304)(r3〇5)-〇r3〇6，

   B0 係表示 Aq’或-COOA0’， R3〇Q係表示單鍵、可具取代基之2價脂肪族或芳香族 基， Ar係表示可具取代基之2價芳香族基 、R3〇2、R3〇3、r3()4、r3Q5係各表示相同或不同的氫 原子、直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環狀烷基、烯基或芳 基， 係表示直鏈狀烷基、支鏈狀烷基或芳基，惟r3(m 〜1〇3中任意2個，或r3()4〜 r3Q6中任意2個可互相鍵 結形成環）。 7 . —種正型電子線或X線阻體組成物，其包含 (A )藉由電子線或χ線照射產生酸之化合物、 (B4)具有藉由酸作用分解之基、且可藉由酸作用增大 對_像液之溶解度、分子量爲3000以下之低分子溶解 阻止化合物， 其特徵爲該低分子溶解阻止化合物具有部分構造之蒔 -10- 548520 六、申請專利範圍 構造。 8 .如申請專利範圍第7項之正型電子線或X線阻體組成物 ，其中低分子溶解阻止化合物係爲至少一種選自下述一 般式（I h - 8 )〜（I h - 1 0 )所示化合物所成群的化合物， ^319 Rui310 ΖΌ、丄。 313

   卩324 R：325 卩317 卩316 (lh-8) ^331 D ^326 R咖、丄尸330 R3v^Q^R327 328

   尺339 R338 R337 ^336 (lh-9)

   -11- 548520 六、申請專利範圍

   (其中R31。〜R 3 6 5係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀 、支鏈狀、環狀烷基、烯基，R311與R318、R 3 2 9與R33Q、 r 3 4 2與R 3 5 5可互相以單鍵形成環， Z’係與上述同義，同一分子中之數個Z’可相同或不同 ，分子中Z’之90莫耳％以上不爲氫原子）。 9 ·如申請專利範圍第1至8項中任一項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中至少含有（C)藉由酸作用可增大驗 顯像液之溶解度的樹脂、及（D)不溶於水、可溶於驗顯 像液之樹脂中任一個。 1 〇 .如申請專利範圍第1至8項中任一項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中藉由電子線或X線照射產生酸之化 合物係爲至少一種選自下述一般式（I )〜（111 )所示化合 物所成群的化合物， -12- 548520 六、申請專利範圍

   ^47 ^48 闩53 尺52 X (其中1^〜1?53係表示相同或不同的氫原子、直鏈狀、 支鏈狀或環狀烷基、支鏈狀或環狀烷氧基、羥基、鹵素 原子、或-S -R54， 係表示支鏈狀或環狀烷基或芳基，而且，R1〜R15 、R! 6〜R 4 3、R 4 4〜R 5 3中有2個以上鍵結、形成含有1種 或2種以上選自單鍵、碳原子、氧原子、硫原子、及氮 -1 3 - 548520 六、申請專利範圍 原子之環， Χ·係表示可具取代基之碳數1〜18之鏈烷磺酸、苯磺 酸、或蒽磺酸之陰離子）。 1 1 .如申請專利範圍第1 0項之正型電子線或X線阻體組成 物，其中於上述一般式（1)〜（111)中X·係爲具有至少 一種選自 至少一個氟原子、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之烷氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之醯氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯氧基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之磺醯胺基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之芳基、 至少一個可以氟原子取代的支鏈狀或環狀之芳烷基、 以及 至少一個可以氟原子取代的烷氧基羧基之苯磺酸、萘 磺酸、蒽磺酸之陰離子。 1 2 .如申請專利範圍第1至8項中任一項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中含有（Ε)具有陽離子聚合性機能之 化合物。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之正型電子線或X線阻體組成 -14- 548520 六、申請專利範圍 物，其中具有陽離子聚合性機能之化合物係爲至少一種 選自乙烯化合物、環鏈烷化合物、乙烯化合物、環狀醚 化合物、內酯化合物、醛化合物之化合物。 1 4 ·如申請專利範圍第12項之正型電子線或X線阻體組成 物，其中具有陽離子聚合性機能之化合物係爲一般式（A) 所示之化合物， —般式㈧ Rax 〇Rd /C==C\ Rb Rc (其中，Ra、Rb、Rc係表示相同或不同的氫原子、可 具取代基之烷基或芳基，且此等之中有2個可鍵結形成 飽和或烯烴性不飽和環， Rd係表示烷基或取代烷基）。 1 5 ·如申§靑專利範圍第1至8項中任~項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中含有（F)氟系及/或矽系界面活性劑 〇 16 ·如申請專利範圍第1至8項中任—項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中另含有有機驗性化合物。 Π.如申請專利範圍第1至8項中任—項之正型電子線或X 線阻體組成物，其中含有至少〜種選自於丙二醇單甲醚 乙酸酯、丙一醇單甲醚丙酸酯、丙二醇單甲醚、乳酸甲 酯、乳酸乙酯、碳數6〜9之直鏈狀酮、7 -丁內酯所成 群之溶劑。 -15-