TW546419B - Powered lift for ECP chamber - Google Patents

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546419 A7 B7 經爷部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 發明背景： 電化學沉積製程使用包含陽極的電化學製程室，而此 陽極在經一定次數的沉積循環之後便會耗盡，因而必需定 期更換或再製造製程室。不幸的是，電化學製程室相當重 (例如：約1 0 0镑），而且電化學製程室在使用後會被污染 而使其外表面具有有毒的化學物質。故電化學沉積製程的 操作員在更換製程室時會暴露於高負重和有毒的化學物 質的危險。因此非常需要一種用來幫助且便利更換製程室 的方法和裝置。 發明目的及概沭： 本發明提供一種電化學沉積系統，此系統至少包括配 合用來選擇性地抓住和放鬆電化學製程室的夾持裝置、與 夾持裝置相結合及配合用來當夾持裝置在製程室的所在 高度時自動停止放低夾持裝置的舉高/放低機構、和與夾持 裝置相結合及配合用來當夾持裝置對齊製程室的位置或 交換製程室的位置時自動停止轉動夾持裝置的轉動機 構。此配合用來選擇性地抓住和放鬆欲被舉起之物件的夹 持裝置可至少包括具有複數個爪指元件的裝載板，這些瓜 才曰元件係以可滑動的方式與裝載板結合，因而可以向外延 伸和向内退縮；和以可轉動的方式與裝載板結合的可轉動 板’此可轉動板有複數個凹槽，每一凹槽位於靠近這些爪 指元件的其中之一，且有一外端和一内端，其位置使每一 凹槽朝可轉動板轉動的方向延伸。再有複數個插梢以可滑 第5頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） 丨丨i—tii L--訂---------線.HIP. (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 546419 A7 B7 經 濟 部 智 產 局 五、發明說明（ 動的方式從上述凹槽的其中之一延伸出來且與上述爪指 元件的其中t 一結合^其他如在夾持裝置之轉動部份和夾 持部份間的凸輪/從動輪的結合元件可以類似的方式運 用。為使夾持裝置得以抓緊製程室，可轉動夾持裝置之轉 動部份以縮回夾持裝置之夹持部份而使夾持部份接近製 程室。 藉由以下關於軚佳實施例、附於文末之申請專利範圍 和相關圖式的詳細敘述，本發明的特徵和輪廓當會愈來愈 充分地顯明。 调式簡單說明： 罘1 Α圖和弟1 Β圖為本發明之電化學沉積系統的側視 系意圖，其中分別緣示製程室的夾持裝置對齊製程室的位 置且位於轉動的所在高度，和製程室的夾持裝置對齊交換 製程室的位置且位於製程室的所在高度； 第2圖為本發明之電化學沉積系、统的俯視平面示意 圖，其中繪示夾持裝置的支持 、 J又疔孑位於弟一製程罜的位置； 第3A圖和第3B圖A合另丨丨給^ . 團為刀別繪不夾持裝置的俯視透視示 意圖和仰視透視示意圖並 0具中夾持裝置的夾持部分係位於 鬆開的位置；以及 、 第3C圖為繪示第Μ圖和 口”罘圖足夾持裝置的俯視 透視π意圖和仰視透視示意盆 ，、τ又持I置的夾持部分 係位於夾閉的位置。 ---.-----.--------„----1--^---------^ ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 消 費 合 作 社 印 η 第6頁 546419 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^f 五、發明說明（） 圖號對照說明： 11夹持裝置 15高架起吊裝置 1 9 舉高/放低馬達 23 軸承 25a、25b 可縮回的吊帶 2 6浮動強制停止裝置 2 7頂板 29a 、 29b 、 29c 、 29d 微動開關 3 1 a、3 1 b、3 1 c微動開關 3 3 a第一製程室的位置 3 3 b第二製程室的位置 3 5 交換製程室的位置 311裝載板 3 1 5 a、3 1 5 b、3 1 5 c 爪指元件 3 17可轉動板 3 1 9、3 1 9 a、3 1 9 b、3 1 9 c 同心凹槽 321外端 323内端 325 、 325a、 325b、 325c 插；^ 326持留器 327、327a、327b 同心凹槽 329a、329b起吊裝載托座 3 3 1、3 3 1 a、3 3 1 b 低凹區域 3 3 3把手 3 3 5防污板 3 3 7 向内延伸的端緣部分 第7頁 13 電化學製程室 17支持臂 2 1轉動馬達 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 546419 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 儲存的所在问度（如虛線B所示）之間延伸和縮回可縮回的 吊帶25a和25b如參考第3A圖至第3C圖所示，當夬持 裝置11位於製程室的所在高度時，夾持裝置丨丨可嚙合並 夹緊電化學製程室13，而當夹持裝置丨丨位於儲存的所在 高度時，夾持裝置1 1凹進於本發明之電化學沉積製程系 統的頂板27中而收藏於此。當失持裝置丨丨位於儲存位置 時，可安裝斷路開關以防止夾持裝置u意外移動。如參 考第1圖所示，其中夾持裝置丨丨係位於轉動的所在高度 (如虛線c所示）。當夾持裝置11位於轉動的所在高度時， 夾持裝置11剛好位於頂板27的下方，使夾持裝置11可 以自由地轉動，而且由於可縮回的吊帶25&和25b夠短， 因而可以延緩夾持裝置1 1的擺動。 於舉南/放低馬達1 9上結合一個機構，藉以當夹持裝 置1 1位於製程室的所在高度A、製程室儲存的所在高度b 和轉動的所在高度C時，停止移動夾持裝置n。此機構 可至少包括複個微動開關，當夹持裝置n到達每一所求 的高度時（如所在高度A、B和C)，這些微動開關的其中 之一會停止舉高/放低馬達1 9，其中使用適合的微動開關 係此技術所熟知。此機構可至少包括，例如，位於舉高/ 放低馬達1 9的支持軸上的突起面，當突起面經過固定的 控制桿時會提高此控制桿而切斷操作舉高/放低馬達丨9的 電子接點。因此，當夾持裝置1 1到達預設的所在高度A、 B和C其中之一時，適當地安置微動開關於舉高/放低馬達 1 9的支持軸上可停止舉高/放低馬達1 9。透過重設繼電器 第9頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 一 > an ϋ ϋ I «I n n ϋ i··! n· n · flu n i— an ϋ— I I ^ < i n n n ·1 l an n I ti (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546419 五、發明說明（） 來重新動作舉向/放低馬達i 9係為此技術所熟知。第1 A 圖和第1 B圖中的號碼2 9 a _ d係代表微動開關。 μ參照弟2圖’結合3 la-c所代表的微動開關於轉動 馬達21且經適當安排這些微動開關的位置，冑以使當夫 持裝置u對齊第一製程室的位置33a、第二製程室的位置 或交換製程室的位置35之上方時，高架起吊裝置Η 會自動停止轉動。可以理解的是，如參考第3a圖至第％ 圖所描述，當夾持裝置u對齊製程室的位置33a_b其中之 -或交換製程室的位置35《上方時，在降低至製程室的 所在高度A之後，夹持裝置n的所在位置使夹持裝置u 的夹持部分能夠抓緊製程室1 3。 第3 A圖和第3B圖為分別繪示夾持裝置丨丨的俯視透 視示意圖和仰視透視示意圖，其中夹持裝置的夾持部分係 位於鬆開的位置。本發明之夾持裝置丨丨至少包括具有複 數個爪指元件315a-c的裝載板311，這些爪指元件3l5a-c係以可滑動的方式與裝載板3丨丨結合，因而每一爪指元 件可以由裝載板311向外延伸（如第3A圖和第3B圖所示 之怒開的位置）和朝裝載板3 11向内退縮（如第3 c圖所系 之夾閉的位置）。為達成爪指元件3丨5 a-c的延伸和退縮動 作’本發明之夾持裝置11可至少包括安置有複數個同心 凹槽319的可轉動板317，每一凹槽319的位置靠近於爪 指元件315a-c的其中之一，每一同心凹槽319有最靠近装 載板311之周邊的外端321和最靠近裝載板311之中心的 内端3 2 3，而每一同心凹槽3 1 9的位置使此凹槽可以向装 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規恪（210 X 297公釐） -------.---.---------1-----------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 R7 五、發明說明（） 載板3 1 1轉動的方向延伸（例如：通常是垂直於延伸和退 縮的爪指元件3 1 5a-c的方向）。 複數個插梢J 2 5 a-c以可滑動的方式從每一同心凹槽 3 19a-c中延伸出來並與最靠近之爪指元件3 15a-c結合。因 此，當可轉動板3 17轉動至如Ri所示之方向時，插梢 3 25a-c沿著同心凹槽3 19a-c由外端321朝内端323滑動。 由於插梢係與爪指元件3 1 5a、c做雙向結合（或單向結合）， 當插梢325移至同心凹槽319之内端323時，爪指元件 3 15a-c會退縮至夾閉的位置’而當插梢325伸至同心凹槽 3 1 9之外端32 1時，爪指元件3丨5a_c會延伸至鬆開的位 置。這些插梢325a-c和同心凹槽319a-c因而形成了在爪 指元件315a-c和可轉動板317間的凸輪/從動輪的結合元 件。持留器3 2 6可與每一插梢3 2 5 a-c的頂端結合，藉以使 插梢3 2 5 a - c保持在凹槽3 1 9之内。 為了避免可轉動板317因自發性的轉動而造成爪指元 件3 15a-c在不需要時放開電化學製程室13(如第ιΑ圖和 第1B圖所示），可使用選擇性地鎖住可轉動板317於—定 位的方式將可縮回的吊帶25a、25b(如第1A圖和第^圖 所示）結合於可轉動板317。特別是，可轉動板317可有— 對同心凹槽327a-b，並將同心凹槽327a-b以可滑動的方 式與一對起吊裝載托座3 29a-b結合（例如：如第3B圖所 示，從裝載托座329a-b經由同心凹槽327伸出一個螺检， 並以可滑動的方式藉螺帽結合於同心凹槽327的下面）。 同心凹槽327a-b其中之一的底面（如第3B圖所示之同心凹 第11肓 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規恪（210 X 297公釐） ----I---^----------„---t ---------^ C請先閱讀背面之淡意事項再填寫本頁) 546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 槽327b)在其兩端可有低凹區域331a_b。因此，當夾持裝 置11被可縮回的吊帶25a、25b(如第1A圖和第1B圖所 示）懸吊住且裝載托座329b(經由螺帽等）置於低凹區域 331&-1)的其中之一時，裝載托座329|3因夹持裝置11的重 量而留在低凹區域33 1 a-b之中。除非負載（例如：夾持裝 置1 1的重量）自可縮回的吊帶25b移除，否則可轉動板3 1 7 將會藉由低凹區域331a-b之中的裝載托座3 29的向上力而 被鎖住於一定位，且爪指元件3丨5a_c將因而鎖定於鬆開或 夾閉的位置。所以凹槽327b便可提供轉動控制。另外， 裝載托座329b或/和一個以上的爪指元件3i5a_c可藉由彈 簧（未繪示）來偏向夹閉的位置。 為使爪指元件3 1 5a-c自鬆開的位置移至夹閉的位置 (或反之），操作員手動拉下可縮回的吊帶25a以放掉負載 和降低裝載托座329a，使裝載托座329a不再接觸低凹區 域331a，b。然後，操作員可藉由拉動與可轉動板317結合 的把手333來旋轉可轉動板317。接著，可轉動板317便 會旋轉，而當與爪指元件3 1 5a-c結合的插梢沿同心凹槽 >>19滑動而造成爪指元件jl5a-c鬆開或夾閉（視旋轉的方 向而定）時，裝載托座329a-c會沿同心凹槽327a-b滑動。 因而製程室13(如第1A圖和第1B圖所示）可以輕易地被抓 緊或放開。 為保護操作員免於暴露到累積在電化學製程室丨3 (如 第1A圖和第1B圖所示）表面的有害化學物質，夾持裝置 1 1亦可至少包括與裝載板31 1結合的防污板3 3 5，防污板 第12頁 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --·-----!--------·1---'·--^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546419 五 經濟部智慧財產局員工肩費合作社印制拆 A7 B7 發明說明（） 3 3 5的尺寸係對應於欲被夾持裝置n舉起或放低的製程 室13之上表面。另外，為延緩微粒產生，可在夾持裝置 11上會發生滑動接觸的部分塗上一層抗微粒塗佈，例如鐵 氟龍（Teflon)。 操作時，假設高架起吊裝置15對齊交換製程室的位 置35之上方，為要從第一製程室的位置33a移除被污染 的製程室1 j，操作員按下手持控制器c (如第i A圖）的按 鈕’使轉動馬達21以逆時針方向轉至第一製程室的位置 jja之上方。當向架起吊裝置15到達對齊第一製程室的位 置3 3 a之上方的位置時，微動開關3丨a-c的其中之一會跳 脫而自動停止轉動高架起吊裝置15。然後操作員按下手持 控制器C(如第1 A圖）的按鈕，使舉高/放低馬達1 9開始降 低夾持裝置11。當夾持裝置n略高於製程室的所在高度 A之上方時’操作員可選擇張開爪指元件315a_c。於是操 作員可停止繼續按著使夾持裝置1丨下降的按鈕，而拉下 與裝載托座329b結合的可縮回的吊帶25b，藉以減輕裝載 托座）29b上的負載，於是載托座329b便可離開低凹區域 (此低凹區域331a將爪指元件315a-c鎖住於夹閉的位 置）且可沿著低凹區域3 3 1滑動。然後操作員可抓緊並以 順時針方向拉動把手3 3 3 ,藉以順時針方向轉動可轉動板 317(同時維持可縮回的吊帶25b之向下力量）。當可轉動板 3 1 7以順時針方向移動時，與爪指元件3丨5a_c相結合的插 梢：> 2 5 a - c會沿著同心凹槽3 1 9由内端3 2 3至外端3 2 1移 動’使得爪指元件3丨5a-c向外移動至鬆開的位置。然後操 第13頁 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------· I I--I I l·-----^ · I--I---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __-_____B7____ 五、發明說明（） 作員可放開一直加在可縮回的吊帶25b之向下力量，藉以 將爪指元件3 15a-c鎖定於鬆開的位置，因而使裝載托座 329進入低凹區域331a且被留住。 然後’操作員可再按下手持控制器C的按鈕，使舉高 /放低馬達1 9放低夹持裝置1 1。當夾持裝置1 1到達製程 室的所在高度A時，藉著微動開關29a-c的其中之一跳 脫，舉高/放低馬達19會自動停止放低夾持裝置丨丨。接著， 操作員可以逆時針方向轉動把手3 3 3 ,並對可縮回的吊帶 2 5 b加上向下力，藉以使插梢3 2 5沿同心凹槽3 1 9滑至内 端323且使裝載托座329沿同心凹槽327a-b滑至凹槽327b 的低凹區域331b。然後，操作員放掉加在裝載托座32外 的向下力’使裝載托座329b留置於低凹區域331b，藉以 將爪指元件3 1 5a-c鎖住於夹閉的位置。於夾閉的位置中， 每一爪指元件315 a-c之向内延伸的端緣部分337會伸出至 製程i J之向外延伸的端緣邵之下方，藉以牢固地抓緊 製程室13。並且，防污板3 3 5沿製程室13的頂面延伸， 藉以覆蓋任何累積在製程室1 3的頂面上的污染物。 然後’操作員按下手持控制器C的按鈕，使舉高/放 低馬達1 9提高夾持裝置1 1至轉動的所在高度c。當到達 轉動的所在高度c時，微動開關29a_c的其中之一會跳脫 而使舉高/放低馬達19停止提高夾持裝置丨丨。操作員此時 可再按下手持控制器c的按益，使轉動馬達21以逆時針 方向轉動至交換製程室的位置35, 一旦夾持裝置丨丨對齊 交換製程室的位置35之上方時，轉動將會自動停止（藉由 第14頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) t 訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546419 五、發明說明（） 跳脫微動開關3la-d的其中之一”接著如前所述，可降低 爽持裝置和移動爪指元件至鬆開的位置。然後被污染的製 程罜1 3可被移除，再放置新的製程室1 3於交換製程室的 位置35，使夹持裝u得以抓住新的製程室13。高架起吊 裝置1 5 T以順時針或逆時針的方向由交換製程室的位置 35轉動。如第1A圖和第1B圖所表示，浮動強制停止裝 置26(例如：此裝置允許從順時針至逆時針的轉動程度有 -變化性)與轉動以2"吉合來避免任—方向過多的轉 動，因而避免扭曲盘宾恕七“ 两”同木起吊裝置1 5結合的拉線到有危 險的程度。 則面所述僅揭露本發明的較佳實施例。對那些對此技 術具有-般技能者而言，修改上述屬於本發明之範圍的方 法和裝置是非常顯而易見的。例如，零件的構造和編號或 許會不同’卻仍提供同樣的預期功能。另外，本文用來描 述各零件的名詞並不意圖做限制，因此，如名為板，或，插 梢4勺項目並不特指任何特殊形狀。 因此’當本發明以關聯於本發明的較佳實施例揭露 時，應該要了解的是，正如以下所定義的申請專利範圍， 其他貫施例可能會落在本發明的精神與範圍之中。 第 151* ---------- 1·---r I φ · I l·---—丨訂---------線· (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 546419

   申請專利範圍 一種夹持裝置，該夾持裝置係配合用來選擇性地抓住和 放鬆一欲被舉起的物件，且該夹持裝置至少包括： 一裝載板； 複數個爪指元件，其中該些爪指元件係以可滑動的 方式與該裝載板結合，因而該些爪指元件可以向外延伸 和向内退縮； 一可轉動板，該可轉動板係以可轉動的方式與該裝 載板結合，其中該可轉動板有複數個凹槽，而每一該些 凹槽的位置係靠近於該些爪指元件之一爪指元件，且每 一該些凹槽有一外端和一内端，每一該些凹槽的位置使 每一該些凹槽可以向該可轉動板轉動的方向延伸；以及 複數個插梢，其中該些插梢係以可滑動的方式從該些凹 槽之一凹槽中延伸出來且與該些爪指元件之一爪指元 件結合。 .如申請專利範圍第1項所述之夹持裝置，其中該些爪指 元件係配合用來抓住位於该失持裝置下方之一物件，而 該可轉動板更包括一對裝載托座，該對裝載托座並配合 用來結合由一高架起吊裝置延伸出來的一對吊帶。 •如申請專利範圍第1項所述之夹持裝置，其中該可轉動 板更包括由該可轉動板之轉動方向延伸出來的一轉動 控制凹槽，而該對托座托座之一托座托座係以可滑動的 方式與該轉動控制凹槽結合。 第16頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2i〇 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂---------線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546419 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 4.如申請專利範圍$ i項所述之夫持裝置，其更包括在該 轉動控制凹槽之底部的一低凹區域，而與該轉動控制凹 槽以可滑動的方式結合的該托座托座係配合來為該低 CJ區域所留置。 5·如申請專利範圍第4項所述之夹持裝置，其更包括一抗 微粒塗佈，而該抗微粒塗佈係形成在任何會發生滑動接 觸的表面。 6. 如申請專利範圍第丨項所述之夾持裝置，其更包括一防 污板，而該防污板係與該裝載板結合，且該防污板之尺 寸係對應於該欲被舉起的物件之一上方表面。 7. —種電化學沉積系統，該電化學沉積系統至少包括： 一第一電化學製程室的位置； 一高架起吊裝置，其中該高架起吊裝置係位於該第 一電化學製程室的位置之上方，且該高架起吊裝置至少 包括如申請專利範圍第2項所述之夾持裝置； 一舉高/放低馬達，藉以配合用來舉高和放低該夹持 裝置；以及 一對可縮回的吊帶，其中該對吊帶係與該馬達和該 夾持裝置結合。 8·如申請專利範圍第7項所述之電化學沉積系統，其更包 第17頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---.---'——---------------： .1 546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 括： 一交換電化學製程室的位置； 一可轉動的支持臂，其中該對吊帶可自該可轉動的 支持臂延伸和退縮；以及 一轉動馬達，藉以配合用來轉動位於該第一電化學 製程室的位置之上方和該交換電化學製程室的位置之 上方之間的該可轉動的支持臂。 9.如申請專利範圍第7項所述之電化學沉積系統，其更包 括： 複數個開關，其中該些開關係結合於該舉高/放低馬 達，且配合用來當該夾持裝置到達該第一電化學製程室 的位置之一所在高度時自動停止該夾持裝置，和當該夹 持裝置位於一被升高的轉動位置且該對可縮回的吊帶 剛剛收縮時停止該夾持裝置。 1 0.如申請專利範圍第8項所述之電化學沉積系統，其更包 括： 複數個開關，其中該些開關係結合於該轉動馬達， 且配合用來當該夹持裝置到達該第一電化學製程室的 位置之上方，和當該夹持裝置到達該交換電化學製程室 的位置之上方時自動停止該夾持裝置。 1 1.如申請專利範圍第1 0項所述之電化學沉積系統，其更 第18頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） n HI He I— (n flu Hi n —>i n Hi He · —1 n m n I— n fit « ϋ_ι n an i im t—w /9 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546419 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 包括· 複數個開關，其中該些開關係結合於該舉高/放低馬 達，且配合用來當該夾持裝置到達該第一電化學製程室 的位置之一所在高度時自動停止該夾持裝置，和當該夾 持裝置位於一被升高的轉動位置且該對可縮回的吊帶 剛剛收縮時停止該夾持裝置。 1 2.如申請專利範圍第8項所述之電化學沉積系統，其更包 括一鎖定機構，藉以確定同一時間只有該舉高/放低馬 達和該轉動馬達二者之一在運作。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項所述之電化學沉積系統，其更 包括一鎖定機構，藉以確定同一時間只有該舉高/放低 馬達和該轉動馬達二者之一在運作。 1 4.如申請專利範圍第8項所述之電化學沉積系統，其更包 括一第二電化學製程室的位置，且配合用來轉動該可轉 動的支持臂的該轉動馬達，更配合用來轉動該可轉動的 支持臂至該第二電化學製程室的位置之上方。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所述之電化學沉積系統，其更 包括： 複數個開關，其中該些開關係結合於該轉動馬達， 且配合用來當該夾持裝置到達該第一電化學製程室的 第19頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） : - 二 「*1 r i n n n n ϋ n · ϋ n n (n n n n ^ ^ e n n n n i_i n I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546419 A8 B8 C8 D8 六 1 6. 、申請專利範圍 位置之上方、該第二電化學製程室的位置之上方或該交 換電化學製程室的位置時自動停止該夾持裝置。 如_請專利範圍第14項所述之電化學沉積系統，其更 包括一機構，藉β配合用來防止多餘的轉動。 i 7./種電化學沉積系統，該電化學沉積系統至少包括： —夹持裝置，藉以配合用來選擇性地抓住和放鬆一 電化學製程室； 一舉咼/放低機構’其中該舉高/放低機構係與該夾持 装置結合，且配合用來當該夾持裝置在一製程室的所在 高度時自動停止放低該夾持裝置；以及 轉動機構’其中遠轉動機構係與該夾持裝置妹 合’且配合用來當該夾持裝置與一製程室的位置對齊戈 與一又換製程室的位置對齊時，自動停止轉動該夾持裝 置。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項所述之電化學沉積系統，其中 該舉咼/放低機構係配合用來當該夹持裝置在— 得動的 所在高度時，自動停止舉高該夾持裝置。 1 9 ·如申請專利範圍第1 7項所述之電化學沉積系統，其 該夾持裝置至少包括一抓持機構，而該抓持機、 <啊你配合 用來選擇性地抓住和放鬆一製程室，且配合 川木鎖定於 第20頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ’ li n In n n n n n n --1 n 11 - .1 1 - n n I— ..... 一 , n n tel n n m I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546419 A8 B8 C8 D8

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 一抓持位置。 2 0 .如申請專利範圍第1 7項所述之電化學、v拉 予/儿積系統，其更 包括一手持控制器，而該手持控制器係八m + | 丁'配合用來使一操 作員可以遙控該舉高/放低機構和該轉動嫵姐^ ^初碼構的操作。 21，一種裝卸電化學製程室的方法，該裝卸電化學製程室的 方法至少包括： 轉動一夾持裝置至對齊一製程室的上方； 放低該夾持裝置至一製程室的所在高度； 使用該夾持裝置來抓緊一製程室； 鎖住該夾持裝置於該製程室；以及 舉南遠夹持裝置和與咸爽持裝置一起鎖住的該製程 室； 其中#亥轉動、該放低和1 2 3亥舉南知經由遙控而產生。 22·如申請專利範圍第2 1項所述之方法，其更包括在放低 和舉高該夹持裝置時，防止該夾持裝置發生轉動。 iilr-it — I---訂------- ;.線# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 3 .如申請專利範圍第2 1項所述之方法，其更包括當該夹 持裝置在該製程室的所在高度時，自動停止放低該夹持 裝置。 2 24·如申請專利範圍第23項所述之方法，其更包括當該夾 第21頁 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱〉 546419 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 持裝置在一轉動的所在高度時，自動停止舉高該夾持裝 置’而用來放低該夾持裝置的機構則大幅度地縮回。 25.如申請專利範圍第21項所述之方法，其更包括： 經由遙控轉動被舉高的該夹持裝置至一交換製程室 的位置。 26·如中請專利範圍第25項所述之方法，其更包括當該夾 持裝置對齊該交換製程室的位置之上時，自動停止轉動 被舉高的該夾持裝置。 27.如申請專利範圍第21項所述之方法，其更包括當該夹 持裝置對齊該製程室的位置之上方時，自動停止轉動被 舉高的該夾持裝置。 2 8.如申請專利範圍第26項所述之方法，其更包括當該夹 持裝置對齊該交換製程室的位置之上方時，自動停止轉 動該夾持裝置。 29.如申請專利範圍第21項所述之方法，其中該使用該夹 持裝置來抓緊該製程室的步驟至少包括轉動該夾持装 置之一部份，藉以縮回該夾持裝置之一夹持部份。 3 0·如申請專利範圍第29項所述之方法，其中該轉動該夹 第22頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） rtf先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} Γ n I— n an n fl n Γ ^ 4 m 11 n —1 n t 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546419 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 持装置之一部份的步驟啟動在該轉動部份和該夾持部 份間的一凸輪/從動輪的結合元件，藉以縮回該夾持部 份。 3 1 ·如申請專利範圍第3 〇項所述之方法，其中該夾持裝置 的舉咼和放低係藉由與該夾持裝置之該轉動邵份結合 的複數個吊帶，而該轉動該夾持裝置之一部份的步驟更 至少包括在轉動該夾持裝置之該部份之前，減少該些吊 帶之一吊帶所受到的一負重。 3 2 ·如申請專利範圍第3 1項所述之方法，其中該減少該些 吊帶之一吊帶所受到的該負重包栝向下拉該吊帶’藉以 使另一吊帶承載該夹持裝置之一較大部分的重量’而該 鎖住該夾持裝置於該製程室的步驟至少包括在該吊帶 被移至一置留區之後，放鬆加在該吊帶之向下力。 I__1 — lllrllr— ___ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第23頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）