TW544367B - Polished object holding material and its manufacturing method - Google Patents

Description

544367 五、發明說明（1) [技術領域] 本發明是關於用平面研磨裝置研磨加工半導體晶 碟用铭盤或玻璃盤、液晶顯示用玻缡基板以及^ :硬 等構成的盤狀被研磨物時，用於保持被研磨物的^ 保持材及其製造方法。 ^ μ物 [背景技術] 在使用研磨機等平面研磨裝置研磨加工半導體晶 碟用鋁盤或玻璃盤、液晶顯示用玻璃基板以及^ ^， 等構成的盤狀被研磨物時，通常使用圖η所示的被心： 保持材來保持該被研磨物。被研磨物保持材3〇且 幾十個用於保持被研磨物31的被研磨物保持孔32，=:至 在其外周上具有與平面研磨裝置的中心 ：丄 的齒33。 輪喷合 作為被研磨物保持材，目前已知的例如有由“ 金屬板構成的金屬製保持材#、在金屬材： 表面上施以樹脂塗層的保持材料（持材枓的 在碳纖維中浸滲樹脂+ 的(=::二 利特開昭58-第1 43954號公報）等。由金屬才抖（日本專 被研磨物保持材，與後來開發的金屬製 研磨耐久性具有10倍以上的壽命，S i 被研磨物保持孔處，由於 仁疋’在 ± ^ ^ ^ a 、屬與被研磨物接觸，被研磨物 上有％會產生裂紋或碎片等損傷饭岍Μ物 用合格率大幅度降低。 貝知*致研磨物的原材料利 作為防止上述被研磨物的裂紋和碎片㈣策，有人提出

U3l2\2d-c〇de\9〇-〇9\9〇n6835.ptd 第4頁 544367 五、發明說明（2) _ 了〜著被研磨物保持孔的内周形成 持材是採用下述方法形成的，即= 磨物保 度的樹脂板，將其嵌入被研磨物保持 ^屬板同樣厚 將金屬與樹脂的接觸面固定住。種、周，用黏結劑 然”皮研磨物上不會產二或； = : =材，雖 3::::脂ΐ易從黏結部分上脫落。另外，：於ίϊΐ 驟夕而複雜，生產率低，成本增大’因而目义 普及。 U而目刖遷沒有能夠 因此，本發明的目具 方法以及被研磨物保持材，在：=材之製造 上脫落。 使用站、、，° 4 4，樹脂也不會從黏結部分 [發明之揭示] 鑒於上述情況，士# 現，採用下述方法了進行了深入的研究，結果發 被研磨物保持材產率和低的生產成本製造 部分上脫落下來，即ί知或树脂疊層成形物不會從黏結 貫通孔的金屬板，/ 肴已力工出用於保持被研磨物的 施以倒角，隨m亥：；孔”邊部的-部分或全部上 上用樹脂射出成形=二=孔的貝通切入部分和貫通部分 個貫通的切槽，在由η貫通孔的内側表面上設置多 或全部上施以倒：由:亥：通的切槽形成的突出部的-部分 成凹凸狀，然後…t i在該突出部的頂端側的表面上形 在该貝通孔的貫通切槽部分和貫通部分 C:\2D-CODE\90-09\90116835.ptd 第5頁 五、發明說明（3) 上用樹脂射出成形，或去 、夺 壓壓製，在被加工的貫通孔上;::旨布疊層成形’加熱加 將其丄孔=出必要量的樹脂部， 卽，太π , Ί、 土於上述發現完成了本發明。 上，在貫通孔的貫通孔的金屬板 I … J σ|为或全部上施以倒角，用抖 曰成形物被覆該周邊部和内周部而形成的〆 是在：力τ 了被研磨物保持材，該被研磨物保持材 貫通孔二：：於保持被研磨物的貫通孔的金屬板上，在 d:: 置多個貫通的切槽，☆由該貫通的切 :形成的犬出部的一部分或全部上施以倒角，《者在 的表面上形成凹凸'大，用樹脂或樹脂疊層成 形物被覆該貫通孔的周邊部和内周部而形成的。曰成 ί 用了被研磨物保持材之製造方法，將具有 :::持被研磨物的貫通孔並且在該貫通孔的周邊部的一 全部上施以倒角的金屬板安裂到成形金屬模上，在 角部的貫通孔部分上用樹脂射出成形，然後在該 内周部上留出必要量的樹，將該貫通孔上成 升y的树知切削出去，形成被研磨物保持孔。 本發明（4)提供了被研磨物保持材之製造方法，將且有 ^於保持被研磨物的貫通孔、在該貫通孔的内表面上設置 夕個貫通的切槽、纟由該貫通的切槽形成的突出部的一部 分或全部上施以倒角、或者在該突出部的頂端側的表面上

544367 五、發明說明（4) 2 屬板安裝到成形金屬模上，在包含該貫通 孔的内周部上留出必要量的樹脂部 ：貝通 脂切削除去，形成被研磨物保持孔。、1成形的树 本發明（5)提供了被研磨物保持材之 工了用於保持被研磨物的貫通孔 σ ，部的一部分或全部上施以貫 ;:貝的熱固性樹脂預成形料，然後加熱加壓壓 i，ί:;:ί孔的整個表面上形成樹脂疊層成形物，隨 ::將該樹脂疊層成形物切削除去，形成被研磨；:持 本發明（6 )提供了被研磨物保持材之製造方， =於保持被研磨物的貫通孔的金屬板。上/在 加 的内表面上設置多個貫通的切槽，在由搞，1 的突出部的一部分或全部上施以倒角，^去^、刀a形成 頂端側的表面上形成凹凸狀，在該貫通；中= 形狀的熱固性樹脂預成形料，然後加熱加 了：3 通孔的整個表面上形成樹脂疊層成形物，隨後；：：貝 孔的内周部上留出必要量的樹脂疊層成形物，將該二^ 層成形物切削除去，形成被研磨物保持孔。、 曰且 [較佳實施例之詳細說明] 了面，參考圖1至圖6說明本發明的以實施形能 磨物保持材。被研磨物保持材10，具有幾個至幾十個被研 C:\2D-CODE\90-09\90116835.ptd 第7頁 )44367 五、發明說明（5) 輪和内齒輪喃合的驅外動周用上齒t有叫 的周邊部42 ί ^UJ^結1是’在金屬板4上形成的貫通孔 雙點劃線部）所内//41被2(圖2中的斜線部和圖3中的 面所述形成的，即,与^構的被研磨物保持孔〗是按下 保持孔的最終内护d J ’在金屬板4上形成比被研磨物 通孔的數目π右^ 1 的内徑屯的圓形貫通孔。貫 幾個至幾十：：的限制，彳以根據被研磨物的種類在 ==面r適當選擇。隨後，在該内徑屯的圓形 辛%槽:)6:固定槽6在第1實施形態例中是任選Ϊ Ϊ Λ固地形成一體化。最好是設置固定槽6。固定槽6 : 〔又、，目、切槽形狀和切槽深度等沒有特別的限制，可 適虽璉擇。在圖2中，固定槽6的設置數目是1 8，切槽形狀 是梯形，切槽深度是（d3-d2)/2。 / 然後’在貫通孔（内徑d2)的圓周上的上方稜角部或下方 稜角部即在由多個貫通的切槽形成的突出部8的上方部或 下方部上形成倒角部3、3。這種倒角處理是為了防止隨後 射出成形的樹脂部2在上、下方向上脫落。該倒角部可以 在f通孔（内徑4 )的圓周的上方稜角部或下方稜角部中的 任一方上形成，也可以在兩方上形成，在只有一方形成倒 角（一面）的場合，彼此鄰接的突出部8、8的倒角面最好是

C:\2D_CODE\90-G9\9G116835.ptd 第8頁 544367 五、發明說明（6) — 上 、下交錯設置，這樣玎以使樹脂不容易從黏結面上脫 倒角處理可以在整個圓周上進行，也可以在圓周的一邻 分上不連續地進行。倒角部3、3的形狀，例如開倒。 部分的斷面形狀可以是梯形（圖3)、矩形（圖6)以及由:二 曲線圍成的不定形狀（圖中未示出）等各種形狀，其一次 形加工比較容易，因而優先選用。倒角部3、3的形:= 形時，倒角的深度（匕）最好是金屬板厚 ^ 以下。板厚在〇.2mm以不時’最好是只在二上、1/2 、> 你 曲上施以倒 ，廷種情況下，坡口深度在金屬板厚的丨/3以上、 以下為宜。倒角部的半徑方向上的長度沒 最好是〇.1-到板厚的2倍左右。另外，倒角H = ’ 面，對於精度沒有嚴格的要求，不過， 虑2 加堅固。此外，倒角的加工方法也沒；；別=曰黏結更 輪磨削的方法最簡便而日# 士 ^ 铜将別的限制，用砂 ^ ^ 取間便而且成本低，因而優先選用。 下面’參考圖7至圖9說明本發明的 磨物保持材。圖7县舢山丄 弟只^形怨的被研 岡”：山射出成形前的貫通孔的局部示咅m ΓΛ:前的另-貫通孔的局部示意二;是射出 成形刖的又一貫诵：f丨D M si y疋射出 3相同的構成部分用同？ 口；不 '圖。在圖7至圖9中，與圖 明不同之處。即，在圖7 :唬f不，略去說明，這裡只說 周邊部上盖倒角彳，；、、圖3不同之處是’貫通孔的 側的表面^上形成了縱^，在貫通形成的突出部8的頂端 部81，在鄰接的另一：頃广的溝：81。該縱向傾斜的溝 大出部8的頂端侧的表面9上，形成傾

544367

五、發明說明（7)

斜方向與之相反的縱向傾斜的溝部81。通過反覆的交錯傾 斜，、=得樹脂不容易從貫通孔的黏接部分上沿上、下方向 上脫落。該突出部8的頂端側的表面9上形成的凹凸，不限 於上述縱向傾斜的溝部81，例如還可以舉出凹坑狀的凹凸 物（圖8)、橫向設置的突起物83a和溝部83b的凹凸物（圖9) 等。在第2實施方式中，貫通的切槽（固定槽6)是必不可少 的構成部分，在由該切槽所形成的突出部例如如圖7至圖9 所不，在突出部8的頂端侧的表面9上形成凹凸狀，用樹脂 被覆該貫通孔的内周部41。另外，樹脂不僅可以在貫通孔 的内周部4 1上形成，也可以在與内周部4丨連接的金屬板上 部表面或下部表面的周邊部42上形成極薄的被膜。此外， 在該突出部8上，還可以在突出部的一部或全部上施以倒 角（圖中未示出）。在進行這種倒角處理時，上述突出部8 的頂端側的表面9上也可以省略凹凸狀。

、本發明的被研磨物保持材，是用樹脂或樹脂疊層成形物 被覆貝通孔的周邊部和内周部而形成的。所述的貫通孔的 内周部，是指貫通孔的内側端面，所述的貫通孔的周邊 部，疋指與内周部連接的金屬板的上部表面或下部表面的 附近。上述樹脂沒有特別的限制，在採用射出成形製造的 %合，由於熱塑性樹脂具有良好的射出成形性，因而優先 加以選用。具體地說，全芳香族液晶聚酯（LCp)、聚對苯 二曱酸丁二醇酯（PBT)、聚曱醛（p〇M)、聚碳酸酯（pc)等的 強度、对磨性、耐化學藥品性和成形時的流動性較好，因 而優先選用。樹脂可以使用純樹脂（不含增強材料）或用玻

MW·副 0·_ 狐 _ 544367 五、發明說明（8) -

璃短纖維增強的增強樹脂中的任一種。純樹脂是在需要 止產生玻璃粉末的場合使用。另外，聚丙烯（pp)雖然從= 度角度考慮其使用的範圍有〆定的限制，但它是最常^ 樹脂，而且具有良好的成形性、耐化學藥品性和耐磨損、 性，因而也可以使用。此外，還可以使用聚苯硫醚貝 (PPS)。另外，在本發明中，所述的樹脂疊層成形物 作為基材的織布或不紡布浸滲基料熱固性樹脂，對更 的預浸樹脂布的疊層成形物加熱加壓壓製 J 可以舉出環氧樹脂、㈣樹脂和鄰2 ;固 細丙基❹’浸滲熱固性樹脂的基材可以舉 J晶性芳香族聚醋，纖維等聚I纖 ：，准： 棉以及纖維素纖維等。在其紝由、f Μ 、艰I胺纖維、木 到的預浸樹脂布中的樹脂；量沒；ς別、？生樹脂基料而得 成形後所要求的樹脂疊声成;二：的限制，可以根據 滲量在30〜m為宜。層成形物的厚度適當調整，通常浸 下面’參考圖1 〇說明掣 磨物保持材10的第i種方I。Bsl() θ的第j實施形態的被研 形用金屬模的-部分的前視圖。被V磨：二表示射出成 徑4的貫通孔的周邊部的_ α磨物保持材10是在内 4，將其安裝到射出成形用^二^施，角的金屬板 3、3的貫通孔部分上用樹脂射屬出松2〇/制在包含該倒角部 用的金屬模20是3平板型，由 < 衣成。射出成形 模23構成。例如，注料口 2 口疋\21/型芯盒22和可動 盒22上加工流出道25和注入杓1二：::21的中央’在型芯 入树脂的 >主料口（圖中未示出）。

544367

模腔J由型”2、可動模23和兩者所央的金 孔形成。母個貝通孔（即模腔）上設有3點的針眼 貝通 26，以改善樹脂的注入性。圖中，p 八 "口 板4安裝到分型線P2的部分上 Μ , 疋刀生線，金屬 丨刀上。射出成形的樹脂沒右胜w 用。具體地說’可以舉出與上述熱塑性樹、 採用射出成形在金屬板的貫通孔的内周部或者二及 其口：上將樹脂成形’在貫通孔的内周部 在該貫通孔的内周上留出適當寬度的樹脂部A，將2 分切削除纟，形成被研磨物保持孔。此時，為了使在被ς 磨物的研磨過程中旋轉運動能平穩地進行，將内徑# Τ 比被研磨物的外徑大一些。這樣，在研磨過程中 與被研磨物不直接接觸，可以大大減少損傷的產生。另反 外，使用過的金屬板，在除去樹脂後可以重新利用，因 可以降低生產成本。 製造第2實施方式的被研磨物保持材的方法，是將圖7至 圖9所示的金屬板安裝到成形金屬模上，在包含該貫通的 切槽部的貫通孔部分上將樹脂射出成形，具體的方法可以 與上面所述同樣進行。另外，通過射出成形在金屬板的貫 通孔的整個表面上將樹脂成形後，同樣也是在該貫通孔的 内周上留出適當厚度的樹脂部，將其餘部分切除，形成被〇 研磨物保持孔。 下面說明製造本發明的被研磨物保持材的第2種方法。 首先’在金屬板上加工出用於保持被研磨物的貫通孔，在

544367 五、發明說明（10) 該貫通孔的周邊部的一部或全部上施以倒肖，例如形 3所示的施以倒角的貫通孔，p徭 y成圖 脂預浸樹脂布疊層，加工成 孔中，貼二孔的形狀，嵌入該貫通 上下·脫拉膜，然後加熱加壓壓製，在該貫通孔 =正個表面十形成樹脂疊層成形物。在該狀態下，貫通孔 兀全被樹脂豐層成形物塞滿，並且貫通孔的周邊部的倒角 部分上也被覆了樹脂疊層成形物。然後，在貫通孔的内周 :i留出必要量的樹脂疊層成形4勿，將塞滿貫通孔的樹脂 1 s成形物切削除去，形成内徑di的被研磨物保持孔。另 夕，對於圖7至圖9所示的加工出貫通的切槽的貫通孔，也 可以採用與上述同樣的方法在該貫通孔上形成樹脂疊層成 形物，經過同樣的切削步驟，在金屬板上形成内徑〜的被 研磨物保持孔。採用這第2種製造方法，雖然製造步驟數 目有一些增加，但不需要使用黏結劑，採用簡便的方法就 可以製造樹脂疊層成形物不容易從黏結部分上脫落 品。 (實施例） 下面通過Μ ^例更具體地說明本發明，但實施例只是例 示’不是對本發明的限制。 實施例1 在厚0· 5mm的不銹鋼板上加工出2 0 0片圓板，這些圓板已 加工出齒形，圓板的外徑為427mm、齒根直徑為417mm，每 個圓板内加工了18個貫通孔，貫通孔的大小是φ7〇ιηιηα2) ，其周圍設置18個固定槽（圖}和圖2)。用研磨砂輪在該貫

544367

=ΐ上方棱角部和下方棱角部（不包括固定槽部分）進行 二处理。倒角處理後的斷面形狀如圓3至圖5所示 的深度(h2)約為〇.2關。然後將上 ^。向金屬模上安裝，如圖8所示，是將金屬；= ==盒與可動模之間來進行。㈣使用全芳香族液晶聚 ;力 w_)LC"7008”，住友化學 機使用東芝機械IS45GF，成形條件為度 屬板溫度8 0。〇，成形時間3 0秒/ 1循環。 實施例2 代替全^'香族液晶聚酯（"s u m i c a s u p e r (只$力只—八一） LCP-Ey〇08"，住友化學製造），使用聚碳酸酯（，，yupir〇n (二-匕° 口 > )S-3 0 0 0 n ，三菱工程塑膠工y夕二了 y y 7只千7夕製造），除此之外與實施例1的方法同樣操作， 付到被研磨物保持材2。成形條件為··缸筒溫度2 $ 〇，金 屬模溫度6 5 °C，成形時間3 0秒/ 1循環。 實施例3 代替全芳香族液晶聚醋（"s u m i c a s u p e r (只$力只—〆一） LCP - Ε7008π ’住友化學製造），使用聚對苯二甲酸丁二醇 醋（”planack( 7。5十7夕）BT- 1 0 0 0，，，大日本油墨化學公 司製造），除此之外與實施例1的方法同樣操作，得到被研 磨物保持材3。成形條件為：缸筒溫度230 °C，金屬模溫度 6 5 °C，成形時間3 0秒/ 1循環。 實施例4

\\312\2d-code\90-09\90116835.ptd 第14頁 544367 五、發明說明（12) 代矛王^香族液晶聚酯（丨,sumica super(只$力只-八-y LCP E70、08。，住友化學製造），使用聚苯硫醚⑽〆 夕< 口二7 )FZ 1 130·’ ’大日本油墨化學公司製造），除此 之外與實施例1的方法同樣操作，得到被研磨物保持材4。 成形條件為··缸筒溫度32〇 t，金屬模溫度13〇它，成形時 間3 0秒/ 1循環。 實施例5 代^王^香族液晶聚酯（”sumica $力只―八一） LCP-E7 0 0 8n ’住友化學製造），使用聚曱醛（·，Jurac〇n(夕 二^口>)^!-450-44”，聚塑膠製造），除此之外與實施例1 的方法同樣操作，得到被研磨物保持材5。成形條件為··缸 筒溫度2 0 0 °c，金屬模溫度75它，成形時間3〇秒/丨循環。 實施例6 代替全^'香族液晶聚酯（” s u m i c a s u p e r (只S力只—八一） LCP-E70 08” ，住友化學製造），使用聚丙烯^⑼^以^一 7 k > )AX5 68” ，住友化學製造），除此之外與實施例1的 方法同樣操作，得到被研磨物保持材6。成形條件為··缸筒 溫度180 °C，金屬模溫度50 °C，成形時間30秒/1循環。 實施例7 使用雙酚系環氧樹脂（” AER8011"，旭千葉（ASAHZ CH I BA )公司製造）作為基料樹脂，使之浸滲玻璃纖維基材 (’’ K S1 2 2 0 π，鐘紡公司製造），乾燥後製成成形後的厚度為 0 · 1 mm的預浸樹脂布。將其衝切成金屬板的貫通孔形狀，5 片重疊在一起，嵌入已形成與實施例1同樣形狀倒角的貫

\\312\2d-code\90-09\90116835.ptd

544367 五、發明說明（13) ，孔中。賴’在其上下黏貼脫模膜，將其夾在兩片娜 j之間，插入成形壓力機中，加熱加壓，在貫通孔的整個 表面上形成樹脂豐層成形物。塞滿貫通孔的樹 物’在貫通孔的周圍留出適當厚度的樹脂疊層成形物，將 其餘部分切削除去，形成被研磨物保拉 、 保持材。 汉％ Μ物保持孔，得到被研磨物 實施例8 本公司製造） BC-500E"，野 以S分駿樹脂（莫耳比1.2、使用氨催化劑 作為基料樹脂，將其浸滲到木棉織布基材（—μ Μ 村工業公司製造）中’進行乾燥’得到成形後的厚 O.lmm的預浸樹脂布，按照與實施例7同樣的方法形 磨物保持孔，得到被研磨物保持材。 研 實施例9 以鄰苯二甲酸二烯丙酯樹脂^丁-^^"， 製造）作為基料樹脂，將其浸滲到聚酯織布基材^ :，帝々公司製造）中’進行乾燥’得到成形後的 0. 1mm的預浸樹脂布，按照與實施例7同樣的方法 ^ 磨物保持孔，得到被研磨物保持材。 ^成破研 比較例1 使用在貫通孔的周圍沒有形成倒角的金屬板， 聚甲酸（”㈣⑶n( 9 n m45G_44,,，聚塑吏用 造與實施則的方法同樣操作，得到被研磨 “ 7。成形條件為：缸筒溫度2〇(^，金屬模溫度75t：材 時間3 0秒/ 1循環。 成形

C:\2D-mDE\90-09\90116835. ptd 第16頁 544367

544367 五、發明說明（15) 實施例8 實施例9 比較例1 ◎ © 無變4匕 無變化 -— --— __ 121批出現脫 p . Α驗中） 6個孔在上、下方向上 r ^ 移動 φ ^置

材’是在金屬板上加工山 tt| 用^Λν 該貫通孔的周邊部的—部：％保 [產業上的利用] 本發明的被研 持被研磨物的貫 上施以倒角，用 周部，或者在該 該固定槽形成的 或樹脂疊層成形 在研磨被研磨物 成形物也不會脫 用，只要除去樹 節省資源。 元件編號之說曰！ 1 被研磨物保 2 樹脂 3 倒角部 4 金屬板 磨物保持 通孔，在 樹脂或樹 貫通孔的 突出部的 物被覆該 時，不會 落。此外 脂部還可 持孔 脂疊層成形物被覆該周邊^全部 内表面上設置多個固定槽°，和内 一部或全部上形成倒角，，由 用樹脂 貝通孔的周邊部和内周部， ' 因而 損傷被研磨物’樹脂或樹脂疊層 ，即使由於樹脂部磨損而不能^ 以重新利用，因而成本降低而且

U <1 5 驅動用齒 6 固定槽 8 突出部

\\312\2d-code\90-09\90116835.ptd 第18頁 544367 五、發明說明（16) 9 頂 端 側 的 表 面 10 被 研 磨 物 保 持 材 20 金 屬 模 21 固 定 模 22 型 芯 盒 23 可 動 模 24 注 料 V 25 流 出 道 26 針 眼 式 注 料 π 30 被 研 磨 物 保 持 材 31 被 研 磨 物 32 被 研 磨 物 保 持 孔 33 齒 41 内 周 部 42 周 邊 部 81 溝 部 83a 突 起 部 83b 溝 部 di 内 徑 d2 内 徑 hi 深 度 h2 深 度 P 間 隔 pl 分 型 線

k 1

\\312\2d-code\90-09\90116835.ptd 第19頁 544367 五、發明說明（17) P 2 分型線 ( 111111 \\312\2d-code\90-09\90116835.ptd 第20頁 544367 圖式簡單說明 圖1疋第1貫施形態例的被研磨物保持、 圖2是圖1的一個保持孔的放大的剖面目，、中視圖， 圖3是第1實施形態例中射出成形前的貫通孔的 圖， 今部示音 圖4是圖2中沿A-A線的剖面圖， 圖5是圖2中沿B-B線的剖面圖， 圖6是表示圖4的倒角部的另一實施例的示意圖， 圖 圖7是第2實施形態例中的貫通孔射出成形前的放大立體 圖8是第2實施形態例中的又一貫通 大立體圖， 胃通孔的射出成形前的放 圖9是第2實施形態例中的又一貫通孔的射出成的放 大立體圖， 圖 圖10是用斷面表示射出成形用金屬模的一部分的前視 圖11是先前的被研磨物保持材的示意圖。

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 · 一種被研磨物保持材， 是在金屬板上加工出用於特徵為，該被研磨物保持材 通孔的周邊部的一部或全部持被研磨物的貫通孔，在該貫 樹脂疊層成形物被覆嗲月上轭以倒角，然後，用樹脂或 2· -種被研磨物保；材邊：:口内周部形成的。 是在金屬板上加工出用於仅二特徵為，該被研磨物保持材 通孔的内表面上設置多個二被研磨物的貫通孔，在該貫 形成的突出部的一部分或二I的切槽，在由該貫通的切槽 部的頂端側的表面上形部上施以倒角，或者在該突出 物被覆該貫通孔的周邊部凸狀，用樹脂或樹脂疊層成形 3.如申請專利範周部而形成的。 上述樹脂為熱塑性樹脂。或2項之被研磨物保持材，其中， 4·如申請專利範圍篦彳十 上述樹脂為全芳香族液Λ2項，之被研磨物保持材，其中， 醇酯（PBT)、聚曱醛ΓΡηλη j κ對本—甲酸丁二 ，上士队Τ ^(Ρ0Μ)、或聚碳酸酯（PC)等。 5.如申請專利範圍第丨或2 上述樹脂是用玻璃短孅給^W物保持材，其中， 脂。 用玻离短纖維增強的增強樹脂或無增強的純樹 6; 申叫專利·&圍第1或2項之被研磨物保持材贫* 上述樹脂疊層成形物是將作 2材，其中， 料熱固性樹脂，並對所基材？、，我：或不紡布浸滲基 熱加壓壓製而成 于到的預浸樹脂布的叠層成形物加 7. —種被研磨物保持材之製造方法，其特徵 用於保持被研磨物的貫通孔並且在該貫通孔的^將具有 〜周邊部的一 I 第22頁 \\312\2d-code\90-09\90li6835.ptd 544367 六、申請專利範圍 "~' ' ' — 部分或全部上施以倒角的金屬板安裝到成形金屬模上，在 包括。玄倒角部的貝通孔部分上用樹脂射出成形，然後在該 貝通孔的内周部上留出必要量的樹脂部，將該貫通孔上成 形的樹脂切削出去，形成被研磨物保持孔。 8 · —種被研磨物保持材之製造方法，其特徵為，將具有 用於=持被研磨物的貫通孔、在該貫通孔的内表面上設置 夕们貝通的切；^曰、在由該貫通的切槽形成的突出部的一部 分或全部上施以倒角、或者在該突出部的頂端側的表面上 形成凹凸狀的金屬板安裝到成形金屬模上，在包含該貫通 的切槽部的貫通孔部分上用針 、 上用树月曰射出成形，然後在該貫通 孔的内周上留出必要量的樹 ^ ^w j 女里的树月曰口Ρ，將貝通孔上成形的樹 月曰切削除去，形成被研磨物保持孔。 9:::睛專利範圍第7或8項之被研磨物保持材之製造方 法，，、中，上述樹脂為熱塑性樹脂。 =如申^專利範圍第7或8項之被研磨 :法2中，上述樹脂為全芳香族液晶 1之= 苯二甲酸丁二醇酯（ΡΒΤ)、取 v 小對 等。 來甲醛（P0M)、或聚碳酸酯（PC) 11 ·如申請專利範圍第7或8 方法，其巾，上述樹脂是用上之被研磨物保持材之製造 無增強的純樹脂。 坡螭短纖維增強的增強樹脂或 力=出一用種Λ研/ μ持材之製造方法，其特徵為，在已 加工出用於保持被研磨物的I 彳又马在已 孔的周邊部的一部分或全卹貝通孔的金屬板上，在該貫通 σ上施以倒角，在該貫通孔中嵌

   \\312\2d-code\90-09\90l16835. ptd

   苐23 頁 544367 六、申請專利範圍 入該貫通孔形狀的熱固性” 製，在該貫通孔的整個二9 1成形料，然後加熱加壓壓 ，在該貫通孔的内周部^ r上形成樹脂疊層成形物，隨後 將該樹脂疊層成形物切=出必要量的樹脂疊層成形物， 13· —種被研磨物保拄f去，形成被研磨物保持孔。 加工了用於保持被研磨物之^製造方法，其特徵為，在已 孔的内表面上設置多個I、g貝通孔的金屬板上，在該貫通 成的突出部的一部分或入 〇刀才曰在由该貫通的切槽形 的頂端側的表面上形成 ^轭以倒角，或者在該突出部 孔形狀的熱固性樹脂預料f f貝通孔中嵌入該貫通 通孔的内周部上留出 曰；； 疊層成形物切削除去，形成被研磨；物^ <1 第24頁 \\312\2d-code\90-09\90116835.ptd