JPS584349U - 両面研摩機用キヤリヤ - Google Patents

両面研摩機用キヤリヤ

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Publication number
JPS584349U
JPS584349U JP1981097308U JP9730881U JPS584349U JP S584349 U JPS584349 U JP S584349U JP 1981097308 U JP1981097308 U JP 1981097308U JP 9730881 U JP9730881 U JP 9730881U JP S584349 U JPS584349 U JP S584349U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
double
sanding machine
sided sanding
sided
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1981097308U
Other languages
English (en)
Inventor
敏夫 石井
蓮尾　誠
Original Assignee
日立金属株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日立金属株式会社 filed Critical 日立金属株式会社
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Publication of JPS584349U publication Critical patent/JPS584349U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のキャリヤを示す平面図、第２図と第３図
は本考案の１実施例を示す平面図と断面図、第４図と第
５図は本考案の１実施例を示す平面図と断面図である。 １：従来の樹脂キャリヤ、２ニウエハー挿入孔、３：ギ
ヤ、４：金属キャリヤ本体、５：樹脂によるコーティン
グ部分。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　金属性キャリヤを樹脂等の硬度の低い材料でコーテ
    ィングした事を特徴とする両面研摩機用キャリヤ。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項記載のものにおいて
    、樹脂等によりコーティングされる金属本体の一部を、
    あらかじめ薄くしておき、この薄くした部分をコーティ
    ングしたことを特徴とする両面研摩機用キャリア。 ３′実用新案登録請求の範囲第１項記載のものにおいて
    、ウェハーを挿入する孔の付近を樹脂等によりコーティ
    ングしたことを特徴とする両面研摩機用キャリヤ。
JP1981097308U 1981-06-30 1981-06-30 両面研摩機用キヤリヤ Pending JPS584349U (ja)

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JP1981097308U JPS584349U (ja) 1981-06-30 1981-06-30 両面研摩機用キヤリヤ

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Publication Number Publication Date
JPS584349U true JPS584349U (ja) 1983-01-12

Family

ID=29892119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981097308U Pending JPS584349U (ja) 1981-06-30 1981-06-30 両面研摩機用キヤリヤ

Country Status (1)

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JP (1) JPS584349U (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0776030A2 (en) 1995-11-27 1997-05-28 Shin-Etsu Handotai Company Limited Apparatus and method for double-side polishing semiconductor wafers
EP0787562A1 (en) 1996-02-01 1997-08-06 Shin-Etsu Handotai Company Limited Double side polishing machine and method of polishing opposite sides of a workpiece using the same
KR20020005980A (ko) * 2000-07-10 2002-01-18 엔다 나오또 피연마물 지지재 및 그 제조방법
JP2014128862A (ja) * 2012-12-28 2014-07-10 Shuji Iwata 円盤状キャリア
DE112005001447B4 (de) * 2004-06-23 2019-12-05 Komatsu Denshi Kinzoku K.K. Doppelseitenpolierträger und Herstellungsverfahren desselben

Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5555957U (ja) * 1978-10-09 1980-04-16

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