TW536626B - Apparatus for positioning a load, and safety lock apparatus for preventing unlocking of a balanced loaded unit in an unloaded state - Google Patents

Description

五 、發明説明（] 發明領域 本發明係關於雷+ 、 發明背景 私子測減頭足位器業界領域。 於積體電路（1C、另甘、^ 用特 1 )及其匕笔子裝置的自動測試中，已經使 A g A裝置手柄其將裝置調整至適當溫度且將待測試裝置 文^置定·位。雨γ、、日T、上L. 供， 私f測試本身係由大型昂貴的自動測試裝置提 。、：f置包括一測試頭其被要求連結至及對接於裝置手柄 此兩又2畝裝置（DUT)要求精確高速信號用以有效測試；如 兒子％路肩儘可能接近DUT。因而使得測試頭變得極重 。=試頭疋位器裝置係用來相對4裝置手柄定位測試頭 田"、彳4顽相對於裝置手柄準確定位時，稱作測試頭與裝 手柄對準。备測試頭與裝置手柄對準時，脆性測試頭與 、置手柄私力連接器可結合在一起（亦即對接），因此測試 k號可介於測試頭與裝置手柄間傳遞。於對接前，脆性測 試頭與裝置手柄電力連接器須精確對準以防脆性電力連接 器受損。 測試頭定位器裝置也稱作測試頭位定器或測試頭操縱器 。此項技術例如述於測試中手冊，測試中公司。此項技術 也述於美國專利第 5,608,3；34，5,45〇,766，5,〇3〇,869， 4,893,074及4,715,574號，全部併述於此以供參考其於測試 頭疋位器裝置領域的教示。 供此處說明目的之用，接受測試裝置（DUT)為目前正在接 受測試裝置（1C)。測試站裝置（TSA)表示晶圓探頭、裝置手 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐）

A7 B7 五、發明説明（2 ) 柄及人工測試站的合稱。 為了與先前技術的測試頭定位器裝置說明符合一致，使 用圖1舉例說明之座標系100其中： • Y =上下垂直軸102 • Χ =邊至邊或左右水平軸1〇4 • Ζ =水平内外軸1〇6 g由操縱為正面觀視時，如此形成一種卡西恩（cartesian) 座標系。 以各軸為軸的迴轉標示如下： • 0Y=以Y軸為軸的迴轉（後文稱作「擺動」）1〇8 • 0Ζ=以内外軸為軸的迴轉（後文稱作「滾動」或「扭曲 」”10 • 0 Χ=以X軸為軸的迴轉（後文稱作r翻滾」或「俯仰」 )112 測試平台200的參考模式顯示於圖2的平面圖。如所示， 含括主測試設備箱（測試器箱）202，測試站裝置204，操縱器 206，及測試頭208。 圖3顯示一矩形盒形測試頭300定向成其頂面3〇2及底雨 304係平行X-Z平面，側邊308平行Y-Z平面，及前後3〇6平 行X-Y平面。 測试 >員於一面上含括一測試介面。測試介面典型夫持一 測試介面板，測試介面板除了其它功能外也提供於探頭、 手柄或人工測武站對測試裝置的連結點。具有測試介面表 面於後文稱作「介面表面」（IS) 301。介面表面表示一平面 -5-

五、發明説明（3 ) 及一方向，孩方向係以I s平面的法線向量描述，該向量係 指向运離測試頭方向。圖3顯示於水平面具向上方向的介面 表面310。使用中，當測試頭對接不同型裝置時，測試頭方 向改變。如此，介面表面310的平面及方向也改變。 相對於介面表面指定測試頭尺寸有助益。採用圖3所示方 向（IS面向上），可使用下列定義： • τ =測試頭厚度=於上下方向312尺寸。 • w =測試頭寬度=於邊至邊方向314尺寸。 • L =測試頭長度=於内外方向316尺寸。 使用時，測試頭可如同裝置手柄向上調整接觸DUT。此種 情況下，介面表面係向上（IS up)。 另一替代例為測試頭可向下調整接觸裝置例如探頭。此 種情況下，介面表面係面向下（IS DOWN)。 第二，DU丁及介面表面係於縱面取向（IS垂直）。 第四，DUT及介面表面係於介面表面向上與介面表面向下 間的任何角度取向。 當測試頭由一裝置移動至另一裝置時，顯然測試頭必須 於IS UP、IS DOWN '及I s垂直等位置間迴轉。依據操縱器 而足，可於翻滾（俯仰）或滾動（扭曲）座標迴轉執行。 測4頭藉一粗大纜線束連結至測試箱。纜線、大小、重 量以及對彎曲及扭曲的阻力全部皆干擾且約束測試頭的動 作。測4頭運動希望以可如美國專利第5,608,334號案所述 保護纜線避免若干因素的方式執行。 多種測試頭，特別大型測試頭係使用「纜線樞轉」裝置 -6 -

附接至操縱器。於纜線樞轉模式中，纜線係由迴轉中心由 "、J減 >員拉出且平行轉軸（正交於滾動軸或扭曲軸）。例如敘 述於美國專利第5,03〇,869、5,450,766及5,608,334號案。 希望以可減少干擾測試頭運動的方式來支承纜線。也希 望保謾纜線避免應力。為了達此項目的，使用如圖4所示之 伸縮纜線支承機構4〇〇。此種機構例如描述於美國專利第 4,893,074 號案。 參照圖5 A顯示習知測試頭定位裝置5〇〇。 4 4 >員足位器裝置5〇〇例如包括主臂511及一凸起搖架總成 52〇 ’其係說明於美國專利第5,45〇,766號案。 如圖5所示，主臂511耦聯至直線導軌51〇。主臂511於任 一方向沿直線導軌51〇移動。鎖定機構（圖中未顯示）許可主 臂511位置相對於直線導軌51〇固定。定位器總成5〇1適合利 用一對重總成（圖中未顯示）而垂直跨騎於直線導軌51〇上， 對重總成係於管柱545的後段内部於任一方向垂直移動。對 重總成使測試頭可以極小力垂直移動。此外，測試頭係根 據其重心架設。纜線512由測試箱514伸出，以及伸入測試 頭502後段。 搖架總成520耦聯至主臂511。搖架總成520有一正面「C 」半形截面其係耦聯至測試頭502，因此測試頭502可以通 過其重心的軸為軸俯仰。有關搖架總成52〇的操作及細節進 一步解說於美國專利第5,450,766號案，此處不再重複。 管柱545停靠於平移台521上。平移台包括邊至邊板522， 内外板524，轉台526及底座530。管柱524耦聯至邊至邊板 本紙張尺度適财，轉:A4_2i〇 x 297公釐） 5BS5IEI 年月曰

補充 A7 B7 五、發明説明（5 522。於邊至邊板522的導件523以及内外板524的導執（圖中 未頭示）韓合邊至邊板522至内外板524。内外板524的導件 525#馬聯至轉台526的導軌527。轉台526右移承載面（圖中未 顯示）耦聯至底座530。管柱545可分別經由移動邊至邊板 522及内外板524而視需要重新沿X軸及z軸定位。管柱545也 可經由以其與底座530的耦聯件為軸迴轉轉台526，而以y軸 為軸迴轉。當然，當管柱545沿此等.軸移動時，測試頭5〇2 重新定位。 圖5B類似圖5A，但平移台521關聯各部件間的相對位置 除外。特別，轉台526係介於管柱545與邊至邊板522間。此 外，内外板524的導件525係於導軌531直接耦聯至底座53〇 。其它特徵方面’則圖5 A與5 B類似。因此圖5 B的其餘細 節在此不再重複。 其它建立在操縱器底座的水平運動組合亦屬可能。若此 種運動非建立於底座，則典型係設於臂總成。例如測試中 公司的in2操縱器首述於美國專利第4,527,942號，於其底座 未提供水平運動；關節臂總成可提供全部水平運動。進一 步，已知操縱器具有底座其僅能提供擺動迴轉運動，例如 美國專利第5,606,262號所述裝置，讓與泰拉丁（Teradyne)公 司 〇 若干操縱器於其底座提供兩種運動。泰拉丁公司製造且 述於美國專利第5,5,931，048及5,949,002號之操縱器於其底 座於底部附有擺動機構而提供擺動迴轉及邊至邊運動。此 操縱器的内外運動係於臂及搖架總成提供。另一種由利德-

、發明説明（6 ) 艾西曼（Reid-Ashman)製造公司製造的操縱器，於底座提供 邊至邊及内外運動附有擺動係由臂以附接至管柱之軸為軸 迴轉提供。 辛柏格（Schulmberger)製造的操縱器於其底座提供邊至邊 運動及擺動迴轉運動，附有擺動機構於邊至邊機構頂端。 内外運動及滾動運動係於臂總成提供。此種操縱器的獨特 之處在於纜線由箱前進通過迴轉中心上方的管柱中心而止 於測試頭。此種操縱器的獨特之處也在於彈簧機構作為對 重平衡，首述於美國專利第4,943,020及4,973,〇15號，二案 皆讓與辛柏格公司。 最後，又-種操縱器也係利德·艾西曼製造公司製造，於 其底座提供全部三種運動附有擺動迴轉機構於底部。 操作時，測試頭502係使用部分前述平移台朝向對接位置 :作。當測試頭在距離其最終對接位置❸厘米至2厘米範 人以二：引：準裝置開始接合。於此點，對接引動器被接 將測試頭拉至最终對準的測試位置且接合 準裝Si!:件及7或探頭卡。當測試頭被拉至定位時，對 ===腳接合配合口可減少初步誤差至小的容 的任何組合自由運頭希望可於轴及迴轉 全部轴於對接引動L自&保取终料及平行。如此， 也=二:::構:二接:動過程被逆轉時所有# 總成裝置。-旦解除對接，離接合測試稍套/探頭 哥所為，選定軸可牢靠固定 本纸張尺度適用中 9- 536^6 年月曰

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五、發明説明（7 ) 而許可測試頭僅使用一移動軸移動遠離探頭/手柄。 半導體業的晚近發展有下列效果： 1.DUT變得愈來愈複雜；每個裝置的電晶體數目由數千個 穩定成長至數百萬個。 2 · DUT變成數位電路、類比電路以及混合信號電路的加倍 複雜的混合體。 3·每個裝置的I/O、電源供應以及信號接地參考接腳數目 由少於一百成長至數百個。 4 .DUT的時脈速率由數十mHz成長至至少1 GHz。 5·如此資料、位址及控制信號至少在1〇〇百萬位元組範圍 〇 6·每個接腳頻率的頻寬要求至少係於數1〇 GHz範圍。 結果，變成需要下列測試裝置設計變化： 1 ·測試頭有更多、更快速且更複雜的接腳-電子電路。 2 ·由於切換速率較高，故預期測試頭的每個接腳電路出 現更大功率耗散。 3 ·帶有循環水的水冷式裝置增加至測試頭，造成重量增 加而且需要軟管含括於測試頭纜線。 4 ·互連測試頭纜線需要更高電源供應以及更重的接地導 體。 5 ·私路由裝置箱移至測試頭可減少信號布線量以及關聯 的纜線延遲。 此等因素驅使測試頭的大小及重量顯著增加，而同時要 求·· , 裝 訂

1·測試頭緊密接近DUT的需求更為重要。 2 ·測試頭至測試箱的纜線須保持儘可能短，同時變更粗 更硬。 如此，測試頭及關聯纜線變成顯著更大更重。 發明概述 種裝置可用於定位一載荷例如測試頭。裝置包括一臂 支承載荷及臂係沿第一垂直軸移動。裝置也包括一迴轉單 元用以與第一垂直軸隔開的第二垂直軸為軸迴轉第一垂直 軸。裝置也包括一纜線支承件，其可沿第三垂直軸移動且 支承耦聯至載荷的纜線。 圖式之簡單說明 δ本發明連同附圖一起研讀時，由後文的說明可最了解 本發明。根據常見實務，須強調附圖的各種結構特徵並非 照比例繪製。反而各種結構特徵的尺寸任意放大或縮小以 求清晰。附圖中含括下列各圖： 圖1為測試頭操縱器座標系之說明圖； 圖2為典型測試頭操縱器裝置之測試平台布局的平面圖； 圖3為測試頭置於圖1座標系之說明圖； 圖4為習知伸縮纜線支承件之透視圖； 圖5 Α及5 Β為代表性習知測試頭操縱器之透視圖； 圖6為習知測試頭操縱器之架設之部分頂視圖； 圖7 A及7B為根據本發明之具體實施例之一測試頭操縱器 之部分透視圖； 圖8為圖7 A或7 B之測試頭操縱器之平面圖； -11-

圖9為圖7A或7B之測試頭操縱器之平面圖顯示多種自由 度； 圖10為圖7A或7B之測試頭操縱器之底座總成之透視圖； 圖11A-11C為圖10底座總成之底板細節圖； 圖12A-12C為底座總成之擺動板部之細節圖； 圖13A-13C為底座總成之内外板部之細節圖； 圖14A-14C為底座總成之邊至邊板部之細節圖； 圖15A-15C為底座總成之平面側視圖； 圖16A-16C為擺動分度鎖定總成之各幅視圖； 圖17A-17D為内外軸鎖定總成之各幅視圖； 圖18A-18C為邊至邊轴鎖定總成之各幅視圖； 圖19A-19B為邊至邊轴鎖定總成之細節圖； 圖2 0為用以以滾動軸為軸迴轉測試頭滾動馬達及關聯硬 體之前視圖； 圖2 1為用滾動馬達及關聯硬體之部分側視圖； 圖2 2為用滾動馬達及關聯硬體之後視圖； 圖2 3為用以升降測試頭之垂直馬達及關聯硬體之側视圖； 圖2 4為垂直馬達及關聯硬體之頂視圖； 圖2 5為單軸控制電路之簡化示意圖； 圖26為雙軸控制電路之簡化示意圖； 圖27A-27C為測試頭總成之鎖定裝置； 圖28A、28B及29為圖27A-27C所示鎖定裝置之各種詳細 結構特徵之說明圖；及 圖30及3 1舉例說明圖27A-27C所示鎖定裝置之故障保全 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210x 297公釐）

# 裝 訂

53ΜΜ24 修正 年月

機構。 發明之詳細說明 圖7 Α及7 Β為根據本發明組構的測試頭操縱器裝置7〇〇之 透視圖。圖7A及7B中，測試頭操縱器裝置7〇〇包括透過纜 線706互連至主測試裝置箱704的操縱器總成702。繞線706 耦聯至測試頭802。纜線706可提供控制及資料信號至/來自 箱704。纜線706也包括電源及接地。纜線706可選擇性包括 冷媒供應管。纜線706由伸縮纜線支承臂708支承。支承臂 顯不於圖4，且完整說明於美國專利第4,893,〇74號。伸縮纖 線支承臂活塞410—端連結至安裝塊716 ;伸縮支承臂機筒 420連結至欖線樞軸740，境線樞軸又連結至夾持測試頭go〕 的搖未739(更元整說明於’〇74號專利案）。由測試頭802，境 線706通過纜線樞軸740，沿伸縮纜線支承臂機筒42〇設置。 介於伸縮繞線支承臂機筒420與其進/出箱740該點間設置纜 線706的「服務迴路」705。服務迴路705提供纜線700的足 夠鬆垂，而許可測試頭802於其預定移動封全部範圍移動。 架設塊716透過支承臂718附接至柱結構712。直線導軌72〇 附接工/,主結構712上的架設板722且提供一機制，藉該機制 伸縮纜線支承臂708可於測試頭802垂直異位時於垂直方向 運動。馬達驅動線性引動器724可用於提供支承臂718沿直 線導軌720的垂直運動。結果，纜線支承臂7〇8末端可升降 。如此於操作員的控制之下，纜線7〇6於測試頭8〇2沿垂直 軸移動時可保持水平或相對於水平面保持一實質恆定角度 。藉此方式，由纜線706施加於測試頭8〇2的力之垂直分力 裝 訂

五、發明説明 A7 B7 可維持於實質上恆定值，因此使測試頭802可保持自由運動 的平衡態。 柱結構712附接至底座總成710，底座總成除了可於順時針 及逆時針二方向於樞軸點734以Y軸為軸迴轉整個操縱器總 成702外，可提供沿X軸及γ軸的運動。迴轉許可操縱器總 成702返離任何測試站裝置重新定位，故可對探頭咬測多員 進行維修。 ： 柱結構712可具有固定高度或變化（伸縮）高度。 圖7A顯示柱712移動至最接近箱704的Z軸末端，圖7B_ 示柱712移動至Z軸更遠離箱704的反端。否則，就其它方面 而言二圖相同。觀察到於圖7A服務迴路705壓密且落至接近 平台；而圖7B之服務迴路705被拉直而配合柱712與箱7〇4間 距離的加大。服務迴路705於圖7B未完全拉直；額外鬆垂許 可測試頭802作垂直運動。於圖7A進一步觀察到雖然伸縮支 承臂活塞410末端係鄰近箱704，但服務迴路705會合伸縮支 承身機同420该點實質上係南於框轴點734。可知框軸點734 與箱704間之間距係符合服務迴路705的空間需求。 底座總成710係由若干小板以堆疊方式排列組成，故各小 板係耦聯至毗鄰小板。特別底板總成板726係耦聯至擺動板 總成728，其又轉聯至内外板總成730,其又輕聯至邊至邊 板總成732，其又耦聯至柱結構712。測試板彼此耦聯細節 詳細討論如後。 測試頭802透過上臂總成737及搖架739附接至主臂736。測 試頭係作為載荷。驅動裝置（本圖未顯示）可選擇性附接至 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱) 五、發明説明（12 ) 柱結構712，及於垂直方向提供驅動力移動主臂736。預期 當主臂736沿直線導軌73 8提供的第一垂直軸而於Y軸移動時 ，由纜線支承臂708支承的各纜線係沿直線導軌720提供的 第二垂直軸藉助於線性引動器724的輔助上下移動。 參照圖8，顯示測試頭操縱器裝置700之平面圖。操作時 ，測試頭802設置於晶圓探頭804上方位置「a」，俾便測試 晶圓（圖中未顯示）上的DUT。如前文討論，為了執行測試頭 802或探頭804的維修，較佳將測試頭802擺離探頭804。發 明人藉由設置一樞軸734，以樞軸為軸，樞軸板728可相對 於底板726移動而達成此項目的。如圖8所示，樞軸點734許 可柱712及測試頭802擺盪至遠離探頭804之位置「b」。為 了防止對測試介面組件的傷害，較佳於將測試頭擺盪遠離 探頭804之前升高測試頭802遠離測試介面。總成擺盪角度 806可為約30°，或任何其它許可足夠間隙的角度。希望限 制角度806以防纜線706(圖7A及7B所示）過度扭绞而減少可 能對纜線706造成的傷害。因此，理想上樞軸點734正位於 纜線706離開箱704該點下方，如圖7A及7B所示。但於本發 明之具體實施例中，樞軸點734之位置實際上係儘可能正位 於纜線706離開箱704該點下方。依據纜線706的僵硬度而定 ，服務迴路705於測試頭移動至最接近箱704時需要二或三 倍纜線厚度距離。此種因素最終決定樞軸點7 3 4與箱704間 的可能的最靠近間距。 再度照參圖8，較佳具體例中，當柱結構712係位於X軸中 心及Z軸中心時，纜線支承件708末端係位於樞軸點734上方 -15- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） a、/主思，g底座總成71 ο沿χ軸或z軸移動時，境綠支承 件7〇8末端係相對於樞軸點734移動。總而言之，如圖8所示 ，纜線支承件708之長度於迴轉通過角度8〇6時，或當柱= 構712沿X軸或z軸移動時不會伸縮。如此可減少纜線%= 活動、磨耗及疲乏。纜線支承件7〇8於測試頭8〇2沿7軸相對 於支承臂718移動，及/或以z軸為軸俯仰時伸縮。需注意如 此比較先前技術擴大可利用的運動封，此處纜線支承臂件 末‘係附接至固定位置如測試箱。 參照圖9，顯示測試頭操縱器裝置7〇〇之另一幅平面圖， 舉例說明測試頭操縱器700之各部件之自由度。如圖9所示 ，測試頭802及纜線支承臂708可經由以對中於樞軸點乃4 = 第二垂直軸為軸於弧902移動，而接受以7軸為軸的擺動運 動。較佳具體例中，弧902可包括相對於測試頭對接裝置手 柄該位置（後文稱作「對接位置」）之一定夾角範圍。例如 若對接位置定義為0 °，則弧902包括距對接位置約_ i 〇。至約 + 3 0 °的角度。 ^ 圖9也顯示測試頭802可以z軸904為軸迴轉。具體實施例 中，以軸904為軸迴轉距介面表面（j s )垂直位置约土 9 $ 〇。 測試頭802有個重心（CG) 912。通過重心912、樞軸點734及 直線導軌738的垂直軸的組合形成三角形914。各軸構成三 角形914的各個頂點。 圖9顯示測試頭802可以X軸為軸接受俯仰運動。軸9〇6表 示測試頭802的俯仰程度。預期測試頭8〇2可以χ軸為軸依據 用途而定，由名目水平位置俯仰約土 4。。 -16 -

圖9顯示測試頭802可沿χ軸移動。軸9〇8表示測試頭操縱 器700沿X軸的運動。具體實施例中，預期χ軸的運動係於'一 端至另一端約25厘米範圍内。 圖9顯示測試頭802可沿ζ軸移動。軸91〇表示測試頭操縱 器700沿ζ軸的移動。具體實施例中，預期2軸運動係於一端 至另一端約50厘米範圍内。

裝

線 參照圖1 0，顯示底座總成71 〇之透視圖。圖1丨_丨9顯示底 座總成710之各種細節。圖1〇及丨丨中，支承腳1〇〇4附接至底 板總成724。支承腳1〇〇4提供穩定效果對抗因測試頭總成質 量施加於底座總成710的力量。均平腳（圖中未顯示）可附接 至支承腳1004末端，且可視需要調整。均平墊1〇〇〇也使用 任一種習知裝置附接至底板總成726，而補償測試區平台的 不規則以及許可測試操縱器702變均平。較佳具體例中，預 期有9個均平墊1〇〇〇，但隨情況而定可視需要使用任何數目 的均勻墊1000。鎖定踏板1014及1016附接至邊至邊板732來 抑制沿χ軸及ζ軸的運動。鎖定踏板1〇14及i〇i6細節連同其 各別的機制詳細說明如後。 參照圖11A-UC顯示底板總成726的進一步細節。圖11A中 ’支承總成1100架設於底板1120頂面。擺動板總成728(未顯 示於本圖）耦聯至支承總成11⑼，及以支承總成110為軸樞 轉。板1104，1105及滾軸1108係使用附接裝置1112(例如螺 絲）附接至底板1120頂面，且對擺動板總成7 2 8提供支承。 板1104、1105係設置成滾軸1202(示於圖12)附接至跨騎於 板Π04、1105表面的擺動板總成728底面，如弧11〇6、11〇7 -17-

所示以防底板1120磨耗。板11〇4、11〇5可由適當材料例如 硬化鋼I成，且可視需要更換。同理，滾軸11⑽於磨耗時 也可更換，較佳具體例有6根滾軸。具體實施例中，滚軸 1108係架設於支承搖架11〇9上，其又架設於底板112〇頂面 上。 為了限制擺動板總成728相對於底板總成726的迴轉運動， 橡皮緩衝器1110附接至底板112 0頂面。橡皮緩衝器111 〇藉 擺動板728邊緣面對架設於底板112〇的橡皮緩衝墊111〇而提 供擺動板總成728的正端擋止。此外，為了提供正凹陷位置 ，構件1114例如凸輪從動件可沿擺動板總成728的行進弧 1116而附接於底板1120表面。較佳具體例中，構件1114對 擺動板728提供逆時針方向約1 〇。分度，以及由上方觀視距 操作位置順時針方向約3 0。。當然可沿行進弧1116設置額外 構件1114來視需要提供更多或更少的正凹部。預期可增加 二額外構件1114，各自分隔約1〇。，藉此提供由操作位置順 時針方向約1 0 °及約2 0 °的分度。 現在參照圖11B，小腳輪1118附接至底板1120底部，俾便 許可操縱器總成702視需要定位於測試平台上。較佳具體例 使手四個小腳輪111 8，但視需要可使用更多小腳輪。 參照圖12A-12C，顯示擺動板總成728的各幅視圖。圖12A 中支承總成1200匹配支承總成1100(示於圖11A-11B)，許可 擺動板總成728以樞軸點734為軸迴轉（如圖10所示）。滾軸 1202使用附接裝置1204如螺絲附接至擺動板1216頂面，許 可於磨耗時讓滾軸1202重新定位。如前文討論，滾軸1202 • 18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 裝 訂

年月 發明説明 沿板1104、1105表面滾動（示於圖11A)。耐久之材料如鋼製 成的板1206附接至擺動板1216底，且提供滾軸11〇8滾動面（ 示於圖11A)。如所示，板12〇6係定位成對應於滾軸丨丨⑽的 行進位置1214。板1207可為耐久材料如鋼製成附接至擺動 板1216頂面，提供煞止墊1704表面（示於圖17)。如所示， 板1207定位成其係對應於煞止墊17〇4的行進長度。 為了提供測試頭操縱器704，其運動係沿正交於第一垂直 轴的水平軸，直線導軌1208設置於擺動板1216表面且匹配 對應於附接至内外板131〇的滑件1300(示於圖13八）。導軌 1208可卸式耦聯至擺動板1216表面，故於磨耗時可更換。 止塊1210附接至擺動板丨216頂面，而提供内外板總成73〇的 行進限度。 參照圖13A-13C，顯示内外板總成730之各幅視圖。圖13A 中’滑件1300係附接至内外板1310底面，且匹配直線導軌 1208(示於圖12A)。滑件1300及直線導軌12〇8組合許可柱結 構718沿z軸移動。滑件1300可卸式耦聯至内外板131〇，故 磨耗時可更替。緩衝塊1302附接至内外板131〇底，且與附 接於擺動板總成728的止说1210交界面（示於圖12A)以防内 外板總成730伸出超過相對於擺動板總成728的預定位置。 於緩衝塊1302末端為彈性材料如橡皮製成的緩衝件13〇3。 緩衝件1303係可卸式耦聯至緩衝塊1302以方便於磨耗時更 換。緩衝件1303於内外板總成730的行進限度面對止塊1210 為了對柱結構712提供沿正交於第一垂直轴的另一水平軸 __ -19- 本紙張尺度適用巾® ®家標準(CNS) A4規格(·〉<297公爱）

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線 53

運動，且該另一水平軸係交叉前述水平軸，直線導軌13〇6 权置於内外板1310頂面上，且匹配對應滑件14〇〇(示於圖 14A)附接至邊至邊板總成732。導軌13〇6可卸式耦聯至内外 板13 10表面，故於磨耗時可更換。煞止面1311使用附接裝 置1312如螺絲可卸式耦聯至内外板131〇側邊。煞止面1311 供煞止墊1810的匹配面（示於圖18A及19A-19B)。緩衝塊 1304附接至内外板131〇頂面而提供邊至邊板732的行進限度 。於緩衝塊1304末端具有彈性材料如橡皮形成的緩衝件 1305。緩衝件1305係可卸式耦聯至緩衝塊13〇4，故於磨耗 時可更換。緩衝件1304於邊至邊板總成732的行進限度面對 擋止塊1404(示於圖14A)。套筒1308耦聯至内外板13 10作為 内外板鎖定總成的部件，詳述如後。 參照圖14A-14C，敘述邊至邊板總成732之細節。於圖 14A ’滑件1400附至邊至邊板1402底面，且匹配直線導軌 1306(示於圖13A)。滑件1400可卸式輕聯至邊至邊板14〇2， 故於磨耗時可更換。止塊1404附接至邊至邊板1402底面， 如削文討論，與附接至内外板總成730之緩衝塊1302交界面 (示於圖13 A)以防邊至邊板總成732伸出超出相對於内外板 總成730的預定位置。 柱結構7 1 2 (未顯示於本圖）使用習知附接裝置如螺絲（圖中 未顯示）附接至邊至邊板1402頂面，如位置1408的外廓1406 以虛線表示。為了許可接近内外鎖定機構（容後詳述），近 接孔1410設置貫穿邊至邊板1402。此外埋頭孔1412設置於 邊至邊板1402底面，而許可套筒13〇8(示於圖13 A-13C)行進 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)

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修正 3補充 18 五、發明説明（ 於孔内部。近接孔1410可視需要以可卸式蓋1416覆蓋。 如圖14A所示，埋頭孔1412於一端有個半徑吻合套筒1308 形狀。踏板1016附接於邊至邊板1402 —邊，用以引動内外 鎖，容後詳述。 圖15A-15C為底座總成710之平面圖及側視圖，顯示各子 總成726、728、730及732間之交互關係。 圖16A-16C為底板總成726與擺動板總成728的組合之各幅 視圖。如圖16A所示，分度樞軸臂1 600附接至擺動板1216 底及引動器1606。分度樞軸臂1600係以樞軸點16〇2為軸迴 轉’及於引動器1606控制之下接合凸輪從動件1114與凹口 1604。於具體實施例中，引動器16〇6為氣力引動器，但也 可為電力引動器或彈簧作動引動器（舉例）。當操作員希望 移動柱結構712時，作動引動器而將分度臂16〇〇由凸輪從動 件1114脫離。柱結構712由最末位置移動。一旦凹口 16〇4脫 離先前接合的凸輪從動件1114，則操作員可釋放引動器 1606弄可刀度臂移動至鎖定位置。當然由於凹口脫離凸輪 從動件1114，故柱結構仍然可自由迴轉。隨著擺動板總成 728的趨近於次一凸輪從動件.分度臂前緣（相對於擺動板 總成72 8的迴轉方向）接合凸輪從動件，以及於凸輪從動件 的作用力下，以樞軸點⑽2為軸迴轉而回縮引動器祕臂 刪至凹口刪接合凸輪從動件為止。此時，引動器祕 《臂1608追使凹口 1604全然接合凸輪從動件，因而鎖定擺 =^7及柱結構712定位於預定位置（至少相對於樞抽 巧張尺度適用 -21 - 公釐)

Α7 Β7 五、發明説明（19 圖17A-17D為擺動板總成728及内外板總成730之組合之各 幅視圖，說明内外板總成730鎖定至擺動板總成728。如圖 17Α所示，主軸1700隸聯至鎖定機構ΠΙΟ，其附接至内外板 總成730而趨近於主軸1700—端。主軸1700之第二端附近， 附接至邊至邊板總成732底面（未顯示於附圖）的支承附件 1702耦聯至主軸。支承附件1702對主軸1 700提供支承，且 許可主軸1700以其垂直軸為軸迴轉。 當邊至邊板總成732相對於内外板總成730移動時，鎖定機 構1710係沿主軸1700移動。為了鎖定内外板總成73〇至擺動 板總成728 ’主軸1700使用鎖定踏板1〇16以其垂直軸為軸迴 轉。當主軸1700係於偏心鎖定引動器1708内部迴轉時，鎖 定引動器接合柱塞1706，其又定位煞止墊1704接觸安裝於 擺動板1216之頂面1712的板1207，如此防止内外板總成730 沿導軌1208前後移動。為了釋放煞止墊1 704，主軸1700反 向迴轉，因而許可内外板總成730沿導軌1208自由運動。 圖18A-18C為内外板總成730與邊至邊總成732的各幅視圖 ，說明邊至邊總成732鎖定至内外板總成。圖1 9為邊至邊鎖 疋總成1900的細卽圖。如圖18 A、19Α及19Β所示，脚踏板 1014於第一端經由主軸1806、棘齒輪1804及磨耗齒輪1 8 02 #禹聯至連桿1 800。腳踏板1014的轉動使連桿1800沿其垂直 軸迴轉。連桿1800第二端透過楔形件1808偶合至煞止墊 1810。安裝托架1 807及1809附接至邊至邊板1402頂面。連 桿1800的轉動使連桿1800沿其垂直軸移動，而其又壓迫楔 形件1808背向楔形件1811。楔形件1808相對於面對面楔形 -22- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

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五、發明説明（2〇 ) 件1811的相對運動延伸煞止墊1810(其係附接至楔形件1811) ’因而接觸附接至内外板總成730侧邊的煞止面1311(示於 圖13A-13C)，因此防止邊至邊板總成732沿導軌13〇6相對於 内外板總成730運動。為了由煞止面1311回縮煞止墊181〇, 腳踏板1014係於反向轉動。止回彈簧（圖中未顯示）可設置 及聯偶至主軸1804而提供彈力，將腳踏板1〇14置正常鎖定 位置’因此需要正向力作用於腳踏板iOM俾便解除邊至邊 板總成的鎖定。擋止1812可附接至踏板1014經由面對邊至 邊板1402的表面而限制迴轉行進。如此，避免由於過壓損 傷煞止總成，或避免連桿1800及磨耗齒輪1802變成由棘齒 輪1806解除結合。以類似方式’擔止1820可附接至踏板 1016。 圖20及22分別為測試頭耦聯件740之前視圖及後視圖。測 試頭耦聯件740附接至測試頭802及主臂736提供裝置，藉此 測試頭802可以Z軸為軸迴轉（滾動）。於圖20，測試頭韓聯 件包括滾動馬達總成2006、同步皮帶2010及配接器環2〇〇〇 。配接器環2000於滑車2016使用同步皮帶2010輕聯至滾動 馬達總成2006，及於驅動馬達2008(示於圖21)控制下相對 於滾動馬達總成2006轉動。圖20之具體實施例中，同步皮 帶2010使用夾子2011附接至配接器環2000，以減少配接器 環2000與同步皮帶2010間的滑動。預期夾子2011可置於同 步皮帶2010表面上，及使用附接裝置2013如螺絲夾置同步 皮帶2010於夾子2011與配接器環2000間。雖然圖20顯示二 夾子2011，但若有所需，夾子2011的數目可為任何數目包

本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X——一， 评變正 五、發明説明（21 ) 括單一夾子。此外於具體實施例中，預期同步皮帶2010非 與同步皮帶2010附接夾子2011的末端連續（亦即分裂帶）。如 此，鑑於纜線樞軸單元的構造有助於架設同步皮帶2010。 當然，若有所需且就機械限制而言為可行，則同步皮帶也 可為連續帶。 圖2 1為滾動馬達總成及關聯硬體的部分測試圖。如圖2 1 所示，滾動馬達總成2006包括纜線樞轉殼體2002，機架總 成2004，驅動馬達/齒輪箱2008，機架安裝托架2012，離合 器2014，離合器迴轉限制部件2015，滑車2016及調整器2018 。蓋2020可蓋於驅動馬達/齒輪箱2008、離合器2014、限制 器2015及機架座2012上以防塵防水等。 其次，再度參照圖2 1說明樞轉總成2006之細節及配接器 環2000相對於樞轉總成2006的迴轉。當外加電能時，驅動 馬達/齒輪箱2008被致能，且離合器2014被接合。由馬達/齒 輪箱2008產生的轉動及扭矩透過離合器2014耦聯使滑車 2016轉動。滑車2016耦聯至同步皮帶2010，滑車轉動至使 配接器環2000以其軸為軸轉動，該軸於具體實施例為z軸。 滑車2016施加於同步皮帶的張力可以調整器2018調整。於 具體實施例中，調整器2018為螺絲，但可為任何其它可藉 滑車2016施加張力於同步皮帶2010的裝置如彈簧總成。於 順時針方向（舉例）轉動調整器2018可拉上機架總成2004。機 架總成2004又以機架座2012(作為樞軸點）迴轉，沿一弧移動 滑車2016，其又拉扯同步皮帶2010因而提高同步皮帶2010 的張力。 -24- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

:瘦»修正I * s s補充I g 五、發明説明（22 ) 離合器2014耦聯於齒輪箱2010與滑車2016間。具體實施例 中，離合器2014係電力控制且於施加電能時接合至離合器 。當電能由離合器2014移開時，開始解除接合同時防止馬 達/齒輪箱2008由另一驅動滑車2016迴轉。離合器2014解除 接合時，測試頭容易且通常係手動，或以對接引動器以z軸 為軸迴轉。 圖2 3及2 4分別為垂直馬達及關聯硬體（驅動裝置2400)的 側視圖及頂視圖，垂直馬達用以升降測試頭，沿直線導軌 73 8移動測試頭802(顯示於圖7A及7 B )界定測試頭802的垂直 軸（y軸）。如圖23及24所示，驅動裝置2400的主要組件包括 滑車2406、纜線2410、電力馬達/齒輪箱2416、離合器2426 、小滑車2412、同步皮帶2420及大滑車2421。纜線2410於第 一端2411附接至主臂736(示於圖7A及7B)，第二端附接於 對重2413。主臂736耦聯至直線導軌738及沿直線導軌738於 纜線2410控制之下移動。具體實施例顯示二纜線2410及二 滑車2406，但可視需要使用更多或較少滑車及纜線。 滑車2406旋轉式附接於柱2402，如形成柱結構712(示於圖 7A及7B)的側構件，軸2408於具體實施例為二滑車2406共用 的單軸。馬達驅動總成包括電力馬達/齒輪箱2416及離合器 2426附接至機架總成2422，其又透過安裝托架2414附接至 安裝桿2418。安裝桿241 8於其後部附接至二柱2402間且位 於滑車2406後方。 小滑車2412透過同步皮帶2420耦聯至大滑車2421。大滑車 2421使用附接裝置2407如螺絲附接至滑車2606之一。外加 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) _5626修正丨 年月曰、士令 五、發明説明（23 ) 電能至馬達/齒輪箱2416可對電動離合器2426提供轉動力， 而其又驅動小滑車2412。當小滑車2412轉動時，同步皮帶 2420驅動滑車2606經由其耦聯件至大滑車2421。 離合器2426功能類似離合器2014功能，而不再重複說明。 為了藉小滑車2412維持同步皮帶2420的適當張力，設置調 整器2428，例如可為固定螺絲。較佳具體例中，使用二調 整器2428，各自位在機架2422兩端。使用二調整器2428輔 助防止機架總成2422任何可能的扭力偏轉而可能影響同步 皮帶2420的張力。具體實施例中，調整器2428於預定方向 轉動時係穿過安裝桿2418，且向下加壓給機架總成2422後 部。此種向下壓力造成機架總成2422以樞軸2430為軸的迴 轉，其又提高小滑車2412外加至表面同步皮帶2420的張力 。當然，需了解反向的迴轉調整器2428將降低小滑車2412 外加至同步皮帶2420的張力。一旦調整後，調整器2428可 使用螺帽2432(舉例）牢固固定或鎖定定位，螺帽當背向安 裝桿2418的底部旋緊時可防止調整器2428改變位置。具體 實施例中，耦聯機架總成2422—端部至安裝托架2414的螺 絲可提供樞軸2430。具體實施例中，安裝托架2414以螺絲 2436附接至安裝桿2418，螺絲2436係凹陷於安裝桿2414的表 面下方。 本發明之具體實施例中，軸線係設置成沿任何軸或以任 何軸為軸的運動可實質上未受妨礙地進行，於沿該軸或環 繞該軸之實質可利用的整體運動範圍具有合理低且合理恆 定力。特別希望獲得下列效果： -26- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 發明説明（24 a )於上下垂直軸，測試頭係於實質上無重狀態而容易以 手操縱作準確的對接及解除對接。 b) 於擺動、内外及邊至邊水平軸，可使用低摩擦軸承及 、、且件，因此測試頭可以手操縱。無論水平運動係來自底部 或活節臂總成或二者的組合皆為真。 c) 於俯仰滾動軸，測試頭希望沿通過其重心的軸架設而 使測試頭可藉手操縱。使用纜線樞軸及纜線支承件有助於 境線維持此項效果。 d ) k動轉軸及纜線支承件垂直運動所在位置於實質上整 個運動封可達成貫質上無妨礙的運動利用性品質。 如此，於本發明之具體實施例中，供電運動模式增加至 早-可利用運動或任何選定的可利用運動組合，無論以一 軸為軸迴轉或沿—軸平移。換言之，對欲供電的各種可利 用運動馬達或引動器係連同其適當控制電路及操作員介 面~加丄其排列万式可於未使用時由定位器運動解除輕聯 因此實質上未受妨礙的運動仍維持不受影響。若全部可 2用的運動僅要求小量相對㈣力，則可使用低耗電引動 益。如此適用以下各點·· a) 引動器為電力馬達。 b) 齒輪:視需要用於馬達或？1動器的輸出。 )I動器/馬達核聯與解轉聯至運動轴的裝置可為離合器 ):屬適且，可使用滑脫離合器或機構來限制外加力。 e動器外加力可藉控制電路調節，故外加足夠力而弓丨

A7 B7 五、發明説明（25 ) 發運動，但若對實質上會受妨礙的運動發生阻礙時限於使 引動器熄火的程度。 f)若引動器為直流動電馬達，則藉由限制供給馬達電流可 達成力量調節，其又限制馬達的扭矩輸出。 如此對接於供電軸可達成實質上未受妨礙的運動。此項 運動需要的力可保持合理恆定，無需於對接被引動時隨位 置或異位改變。如此需要複雜的控制方案及明智的機構。 如此，便利大致整個運動封可獲得實質上未受妨礙的運動 供人類定位。 前文說明係含括於有關垂直平移及滾動轉動的特定細節 說明。所有其它軸皆屬可能，且皆遵循相同原理。 圖2 5為單軸控制電路的簡化示意圖。圖2 5經由開關2902 及過載保護裝置2904例如熔絲或斷路器供應電源（圖中未顯 示）至電源供應器2906。電源供應器2906的輸出隨被驅動電 路要求需定，例如可為預定固定電壓。電源供應器2906的 輸出耦聯至恆定電流驅動器2924及方向選擇器2910。恆定 電流驅動器2924的輸出也耦聯至方向選擇器2910。預期恆 定電流驅動器2924的輸出電流2925可視需要為固定或可調 整式。於具體實施例中，電源供應器2906的輸出電壓為約 直流24伏，及輸出電流2925可調整至約2.5安。於具體實施 例中，方向選擇器2910為三位置瞬時動作開關，中心位置 為正常位置。選擇器2910之輸出端子之集合連結至選擇性 的極限開關2920及2922，其又連結至抑制電路2912及馬達 2914。選擇器2910第一集合輸出端子提供輸出電流2925至 -28- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）

A7 B7 五、發明説明（26 ) 馬達2 914如直流齒輪馬達。 第二輸出端子2926集合提供來自電源供應器2906的輸出電 壓給抑制電路291 8及離合器線圈2916。當選擇器2910位於 中央位置時，未供電至馬達2914、離合器2916或其關聯組 件。選擇器2910之輸出端子彼此交叉連結，故於第一非中 心位置，選擇2910提供第一極性的恆定電流驅動器2924輸 出給抑制電路2912及馬達2914，許可馬達以預定方向旋轉 。由於前述交叉連結故，移動選擇器2910至第二非中心位 置可以第一極性的相反極性提供恆定電流驅動器2924輸出 給抑制電路2912及馬達2914。當第一極性電壓外加至馬達 2914時，馬達2914又於該方向的反向迴轉。當選擇器2910 係位於非中心位置時，離合器線圈2916被致能且接合離合 器。 馬達2914發展扭矩係於恆定電流驅動器2924經由選擇器 2910供應的電流成比例。此種扭矩經由離合器2928移轉至 機械載荷（圖中未顯示）。如前文討論，當選擇器2910位於 中心位置時，馬達2914未被致能，未出現扭矩且離合器 2918未接合。因此，機械載荷為浮動（亦即無論致能與否， 皆可自由運動，無需要反向驅動馬達及齒輪箱等加諸的約 束）。它方面，當選擇器2910係於非中心位置時，馬達2914 被致能及離合器2918被接合。由於供給馬達2914的電流為 恆定，故結果由馬達2914輸出的扭矩也同樣為恆定。但如 前文討論，恆定電流驅動器2924的電流輸出為可調整。如 此，馬達2914輸出的扭矩也同樣可調整，且可視需要調整 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 3縣26£i|正 A7 B7 年月曰穴——一 補允 五、發明説明（27 ) 而匹配位於馬達2914意圖驅動的特殊軸運動的機械載荷。 需要調整扭矩，俾便提升安全度且獲得最佳性能。於範例 具體例中，也許可機械載荷為浮動，其為對接時（舉例）所 需，或可於控制下以任一方向使用恆定扭矩驅動。 當到達行進限度時，例如上/下、順時針/逆時針、内/外 及邊至邊，選擇性極限開關2920及2922中斷供給馬達2914 的電流。藉極限開關2920及/或2922切斷電流可防止於限制 方向的進一步運動，而不影響限制方向反向運動。例如若 馬達2914遭遇順時針限制，馬達2914的逆時針運動不會被 抑制。相同原理對所有其它運動軸皆為真。若未架設極限 開關，則當選擇器2910位在非中心位置時電流由選擇器 2910直接供應馬達2914。 圖26為雙軸控制電路之簡化示意圖。圖26中，恆定電流 驅動器2924、選擇器2910、馬達2914、離合器2916、選擇性 極限開關（示於圖26之3004、3006、3008、3010)及抑制電 路2912、2918皆重複。圖26之具體實施例中，第一驅動電 路3000提供迴轉驅動及第二驅動電路3002提供垂直驅動， 分別就圖2 0及2 3討論。 具體實施例中，為方便與準確定位，測試頭維持於大致 無重條件。可設置安全鎖藉由固定主臂於垂直導軌7 3 8而維 持測試頭於指定垂直位置。鑑於測試頭重量及/或對重重量 ，希望當於垂直鎖定條件下若裝置變不平衡時，若操作員 試圖解除鎖定主臂將保持鎖定。

現在參照圖27A-3 1，顯示鎖定裝置3100範例。圖27A-27C -30- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）

中，鎖足裝置3100之各幅視圖顯示其於主臂736及垂直導軌 738間之交互關係。鎖定裝置31⑼以附接裝置3128如螺絲附 接至王臂736後表面。滑件3112也附接至主臂736後表面來 许可主臂736沿垂直導軌738移動。 鎖足裝置3100包括鎖定手柄31〇2附接至主轴3116 一端，安 全塊3110有一鏜孔貫穿其中，主軸3116可通過該鏜孔，軸 承3113連結至卡規3122，對主軸3112提供軸承面而沿垂直 軸迴轉。鎖定塊3104有一鏜孔3105貫穿其中，主軸3116通 過該鏜孔，及一螺紋機筒312〇螺栓至主軸3116的另一端。 主軸3116的螺紋3117部分沿軸3116長度伸展。螺紋機筒3120 匹配鏜孔3105内部，當軸3116藉手柄312〇沿其垂直軸方向 迴轉時，依據軸3116的迴轉方向而定，安全塊311〇與鎖定 塊3 104間距可增可減。例如當軸3丨丨6係順時針方向轉動時 ’ 士全塊3110與鎖定塊31〇4移動更為靠近而使鎖定塊3 1〇4 提高施加於垂直導軌738側邊的壓力，容後詳述。相反地， 當軸3116係於逆時針方向轉動時，安全塊3丨丨〇及鎖定塊 3104將進一步移動遠離，而解除由鎖定塊31〇4加諸直線導 軌7 3 8側邊的壓力。 於具體實施例中’軸3116係位於正交於直線導軌738軸及 鎖定手柄3120齒弧正交軸，故可以極小力以單手快速鎖定 及解除鎖定。 現在參照圖28A、28B及29，顯示鎖定裝置3100細節。圖 28A中’鎖定塊3104包括卡規3122附接於樞轴點3124。各卡 規3122係位於直線導軌73 8的兩相對邊，各自有個間隙鐘孔 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 修正 A7 B7 年月士 五、發明説明（29 ，主軸3116通過此孔。當軸3116鎖緊於鎖定塊3104時，毗 鄰安全塊3 110的卡規3 12 2係於順時針方向（由上方觀視）以樞 軸點3124為軸樞轉，且接觸垂直導軌738。同理，毗鄰端塊 3104的卡規3122係於逆時針方向（由上方觀視）以樞軸點3124 為軸樞轉及接觸垂直導軌73 8。夾住垂直導執738的二卡規 3m組合鎖定主臂736於垂直導軌738。 現在參照圖3 0及3 1說明安全塊3 100之故障保全機構。圖 3 〇中’棘爪裝置3130含括於安全塊311〇。如圖3 1以細節顯 示’棘爪機構3118包括一齒輪3130附接至軸3116，及棘爪 3132架設於安全塊311〇位於齒輪313〇上方及下方。開槽3136 例如細長埋頭孔形成於安全塊311〇連同螺絲3134一起供安 全塊3110附接至鎖定塊31〇4。於具體實施例中，開槽3136 為細長埋頭孔，而螺絲3134為肩螺絲。又附接於安全塊 3110者為偏位彈簧3124，其許可安全塊311〇相對於鎖定塊 3104沿開槽3136垂直運動。 ’ 於正常條件下，換言之當測試頭附接至測試頭座，而對 重（圖中未顯示）附接至纜線241〇時，測試頭的重量與對重 彼此互補，故螺絲3134約略對中於開槽3136，棘爪MM皆 =接= 3130，因此許可操作員任意鎖定及解除主臂乃6的鎖 ^若於測4頭藉鎖定裝置3100鎖定定位後移動測試頭， f試解除主臂73 6的鎖定將造成主臂736猛烈向上移動可能 傷到操作員及/或損害設備。為了防止此種情況發生，當移 nw時’偏位彈簧3126迫使安全塊垂直轴向下 移動，故上棘爪3132接合齒輪⑽，因而避免操作員以手

柄3102轉動軸3116來解除主臂736的鎖定。操 ^ 執頭已經移開時，重新架設測試頭許可安全塊移 f ’再度許可主臂736由垂直導軌738解除鎖定。相反地位 若對重（圖中未顯不）由纜線241 〇移開或纜線241 位彈簧3126將追使安全塊3110沿垂直軸向上移動，故= 爪3132接合齒輪313〇，因而防止操作員以手柄31〇2轉動軸 3116而解除主臂736的鎖定，再度避開可能對操作員造成的 傷害或彳貝傷測試頭。 雖然已經於此處顯示及說明本發明之較佳具體例，但須 了解此等具體例僅供舉例說明之用。業界人士可未悖離本 發明之精髓作出無數變化、變更及取代。如此，意圖隨附 之申請專利範圍涵蓋所有此等落入本發明之精髓及範圍内 的變異。 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X297公爱）- 修正 4 Θ 0補充_ 五、發明説明（31 ) 元件符號對照表 410 伸縮式纜線支撐臂活塞 420 伸縮式支撐臂汽缸 700 測試頭操縱器裝置 702 操縱器總成 704 主測試裝置箱 705 服務迴路 706 纜線 708 纜線支撐 710 基座總成 712 柱結構 716 安裝塊 718 支撐臂 722 安裝板 726 底板總成 728 擺動板總成 730 内外板總成 732 邊至邊板 734 樞軸點 736 主臂 -34- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 五、發明説明（32 738 線性導執 739 搖架 740 纜線樞軸 802 測試頭 902 弧 906 轴 912 重心 914 三角 1000 均平髮* 1004 支撐腳 1014,1016 鎖定踏板 1104,1105 板 1106,1107 弧 1108 滾 1109 支撐搖架 1100 軸承總成 1110 橡膠緩衝器 1112 附接裝置 1114 凸輪 1118 小腳輪 -35- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 53W626 年月曰 補充 A7 B7 五、發明説明（ 33 1120 1202 1206,1207 1208 1210 1214 1216 1300 1302 1303 1304 1305 1306 1308 1310 1311 1312 1400 1402 1404 底板上表面 滾子 板 線性導軌 停止塊 行進位置 擺動板 滑件 緩衝塊 緩衝件 緩衝塊 緩衝件 線性導軌 襯套 内-外板 剎車板 附接裝置 滑件 邊至邊板 擋止塊 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 24 年月曰

補无 A7 B7 五、發明説明（34 1406 輪廓 1408 位置 1410 存取孔 1416 可卸式蓋 1600 分度臂 1602 樞軸點 1604 凹口 1606 引動器 1608 臂 1700 軸 1702 軸承附件 1704 剎車鳌 1710 鎖機構 1712 上表面 1208 導軌 1800 連桿 1802 蜗齒輪 1804 正齒輪 1806 轴 1807, 1809 安裝支架 -37- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 五、發明説明（35 1808 楔形構件 1810 剎車墊 1812 停止 1900 邊至邊鎖總成 2000 配接器環 2002 、纜線樞軸外殼 2006 滾子馬達總成 2008 驅動馬達/齒輪箱 2010 同步皮帶 2011 夾 2012 框架安裝支架 2014 離合器 2015 離合器旋轉限制部分 2016 滑輪 2018 調整器 2400 驅動系統 2402 列 2406 滑輪 2407 附接裝置 2410 纜線 -38- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 五、發明説明（36 Α7 Β7 2411 第一端 2412 小滑輪 2416 馬達/齒輪箱 2413 平衡 2414 安裝支架 2418 安裝桿 2420 同步皮帶 2421 大滑輪 2422 框架總成 2428 調整器 2430 樞軸 2432 螺帽 2436 螺絲 2902 開關 2904 過載保護裝置 2906 電源 2910 方向選擇器 2912 抑制電路 2914 馬達 2916 離合器線圈. -39- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) A7 B7 補充 五、發明説明（37 ) 2918 抑制電路 2920, 2922 限制開關 2924 常態電流驅動器 2925 輸出電流 2928 離合器 3000 第一驅動電路 3002 第二驅動電路 3004, 3006, 3008, 3010 限制開關 3100 鎖裝置 3102 鎖把手 3104 鎖塊 3105 鏜孔 3110 安全塊 3112 滑件 3113 轴承 3116 轴 3117 螺紋 3120 手柄 3122 卡規 3124 樞軸點 -40-本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 53 碰24修正 A7 B7 年月目4 > 補允 五、發明説明（38 ) -41 - 3126 偏壓彈簧 3130 齒輪 3132 螺絲 3134 螺絲 3136 槽 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 5p®MI 修 年Λ曰满斧 Τ itj 7u 申請專利範圍 1. 一種疋位一載荷之裝置，該載荷耦聯至一纜線，該裝置 包含： 一柱’其界定一第一垂直轴； 身單元，其支持該載荷並沿第一垂直軸移動； 一迴轉單元，用以與第一垂直軸隔開之一第二垂直軸 為軸來迴轉第一垂直軸； 該柱可定位而使其比較第二垂直軸之相對於載荷更為 接近載荷； 該載荷可由臂單元定位，因此纜線交叉第二垂直軸， 及纖線係座落於柱之一側邊。 2.如申請專利範圍第1項之定位一載荷之裝置，其中該載 荷有一重心，及其中該重心、第一軸及第二軸係位於一 三角形的各個頂點。 3·如申請專利範圍第1項之定位一載荷之裝置，其中該柱 係推動第二垂直軸朝向載荷且至第二垂直軸側邊。 4·如申請專利範圍第1項之定位一載荷之裝置，進一步包 含一纜線支持件，其可支持一耦聯至載荷之纜線。 5·如申請專利範圍第4項之定位一載荷之裝置，贫中該纜 線支持件可沿一第三垂直軸移動。 6·如申請專利範圍第1項之定位一載荷之裝置，其中該迴 轉單凡包括一底板，及一擺動板其係耦聯至該臂單元， 及其係以第二垂直軸為軸相對於底板迴轉，俾使載荷以 第二軸為軸迴轉。 7·如申請專利範圍第1項之定位一載荷之裝置，其中該迴 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公董) δ. 9. 10 11 12 一種足位一載荷之裝置，該載荷係耦聯至 置包含： 一柱，其界定一第一垂直軸； 一纜線支持件，其係沿一第三垂直軸移動，及其 一隸聯至載荷之境線；以及 ' 一臂單几，其係沿第一垂直軸移動並支持該載荷； 該柱可定位成比較第三垂直軸之相對於載荷更為接近 該載荷； 該載荷可藉臂單元定位成纜線交叉第二垂直軸，及 線係位於柱之一側邊。 ' 轉單元包括一邊至邊板，复在 、 -水德m ΓΓ 交於第—垂直軸之第 水千軸於水平万向移動载荷。 ::請專利範圍第1項之定位-載荷之裝置，其中該迴 轉單元包括一内外板，並可、、儿望 ，該第二水平軸係交又第：:：：水平軸水平移動載荷 。你人又々水平轴且正交於第-垂直轴 如申請專利範圍第4項之定位—載荷之裝置 、、泉於由境線支持件接承支持之前離開測試箱，及其核 載荷為電子測試頭。 、^ •如申請專利範圍第6項之定位—載荷之裝置，其中 轉單元包括複數分度件，其用以以第二垂^為轴=度 擺動板的迴轉。 .如申請專利範圍第4項之定位—載荷之裝置 ，燈 線支持件可伸縮。 Μ 境線，該 -2 -

   =請專，範圍第"項之定位—載荷之裝置，進一步包 :广轉早疋’其用以與第-垂直軸隔開的第二垂直軸 為中心來迴轉第一垂直軸。 專利範圍第"項之定位一載荷之裝置，其中該欖 古支持件係沿於其-端之第三垂直轴移動，纜線由該端 朝向載荷伸展。 15·如申請專利範圍第13項之定位一載荷之裝置，進一步包 含.-展座’臂單元係耦聯至該底座，該底座包括一底 板；及-擺動板，其係耦聯至該臂單元，及其係以第一 垂直軸為軸相對於底板迴轉，俾便以第一垂直軸為中心 來迴轉該測試頭。 16.如申請專利範圍第13項之定位一載荷之裝置，其中該底 座包括一邊至邊板，其係於水平方向沿與第一垂直軸正 交之第一水平軸移動測試頭。 17·如申請專利範圍第13項之定位一載荷之裝置，其中該底 座包括一内外板，其係沿一第二水平軸於水平方向移動 測試頭，該第二水平軸係交又第一水平軸及正交於第一 垂直軸。 18·如申請專利範圍第n項之定位一載荷之裝置，其中該等 纜線係於由支承單元接納用以支承之前送出一測試箱 ’及其中該載荷為一電子測試頭。 19·如申請專利範圍第15項之定位一載荷之裝置，其中該底 座包括複數分度件’其用以分度擺動板以第一垂直軸為 中心來迴轉。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐)

   .如申凊專利範圍第1 i項之定位一載荷之裝置，其中該纜 線支持件可伸縮。 21· —種定位一載荷之裝置，包含： 臂單元’其支持該載荷並沿一垂直柱移動，該垂直 柱界定一第一垂直軸， 一迴轉件，用以與第一垂直隔開的第二垂直軸為中心 來迴轉第一垂直軸； 一纜線支持件，其係沿一第三垂直軸移動並支持一纜 線耦聯至該載荷；以及 另一旋轉構件，其提供該負載繞著一水平軸旋轉，其 中當孩負載繞著該水平軸旋轉時，該纜線的垂直移動可 被阻止。 22.如申印專利範圍第21項之定位一載荷之裝置，其中該臂 單元係沿該柱向上及向下移動。 23·如申請專利範圍第21項之定位一載荷之裝置，其中該纜 線支持件係沿第三垂直軸於其_端移動，及該境線伸展 遠離該一端朝向該載荷。 24·如申請專利範圍第21項之定位一載荷之裝置，其中該迴 轉單元包括：一底板：錢一擺動板，其係輕聯至該臂 單=，及其以第二垂直軸為中心相對於底板迴轉，俾便 以弟一垂直軸為中心來迴轉該載荷。 25.如:請專利範圍第21項之定位一載荷之裝置，其中該迴 轉單元包括一邊至邊板，其係於水平方向沿正交於第一 垂直軸之一第一水平軸移動該載荷。 -4- 六、申請專利範圍 仏如^請專利範圍第則之定位—载荷之裝置，其中該迴 轉單元包括一内外杈其係沿一第— 八 動該載荷，該第二水平轴係交d:於水平方向移 —垂直軸。…-水平轴且正交於第 27·如申請專利範圍第23項之定 心u 戰何 < 裝置，其中該纜 、，泉係於由纜線支持件接納用於支持二 一 狩 < 則離開一測試箱， 及其中該載荷為電子測試頭。 π如申請專利範圍第25項之定位一载荷之裝置，其中該迴 ^單元包括複數分度件用以分度旋轉該轉動板以第二垂 直轴為中心來迴轉。 29.如申請專利範圍第21項之定 疋红載何足裝置，其中該纜 線支持件可伸縮。 30· —種定位器，用以移動一 夕助別畝颌進入與一裝置手柄對接 位置，該定位器包含： 身單疋# ’用以沿或以至少—轴為轴移動測試頭； 以及 馬達驅動器’其具有一驅動部用以選擇性驅動該臂 單元部’故測試頭可沿或以至少―拓為中心移動，該驅 動部於實體上可運動而與驅動部解除接合，故驅動部的 迴轉不影響臂單元部沿或以至少—者為中心的移動。 31. —種定位一載荷之裝置，包含·· 一臂早兀’用以沿或以至少-者為中心來移動載荷； 二馬達驅動器，具有一驅動部，俾用以選擇性驅動該 臂單元部，故載荷係沿或以至少—者為中心移動，該驅 -5- 32 32 33. 34. 35. 36. 37. 38. 39. 40. 置’其中該自 實體解除接合，因此當馬達驅動器未使用時，裁 何口或以該轴為中心自由運動。 達：二專利範圍弟31項之定位一載荷之裝置，其中該馬 達驅動备可於移動載荷時提供恆定扭矩。 1(1圍第32項之定位一載荷之裝置，其中該恆 疋扭矩係控制成足夠移動該載荷之值。 :::專利範圍第31項之定位一載荷之裝置，其中該馬 動：包含一電動馬達、一減速齒輪列、及一電磁離 =态，，、透過一滑車及皮帶耦聯至装置活動部。 如申請專利範圍第34項之裝置，其中該 限制滑脫離合器。 祖矩 如申％專御請第33項之裝置，其巾該馬達為直流馬達 ，及該恒定扭矩係由控制供給直流馬達㈣流控制。 如申請專利範圍第31項之定位一載荷之裝置，其 動器包含一電動馬達、-減速齒輪列、及-電：離 口為，其透過一滑車及皮帶耦聯至裝置活動部。 如申請專利範圍第3 1項之定位一載荷之奘 由運動係沿至少一垂直轴。裳置，其中該自 如申請專利範圍第3 1項之定位一載荷之裝 由運動係沿至少一水平軸。 -種安全鎖定裝置’用以防止-抗衡載荷單元於載荷單 疋變成平衡時解除鎖定，該單元包括—契μ 木彡又於且鎖定於 一垂直導執之載荷，該安全鎖裝置包含： 複數卡規，位於導執的兩相對邊用以同眭 Ν呼她壓於軌的 補充 、申請專利範圍 相對兩邊； ~鎖定埃，用以I馬聯截冉 執移動載荷； &载何土至少-卡規’俾用以沿導 手：：迴轉t柄，利用—軸耦聯至卡規，俾用以增加當 Μ於-万向_時由導軌卡規 鎖定塊對抗㈣之垂直料 Ώ U俾便鎖疋 結土… ^直移動’以及用以當手柄於反向迴 轉時精導軌卡規減少來自導軌的壓力；以及 女全鎖，其耦聯至載荷單元，且連同載荷單元一起 移動以防止當載荷單元相對於鎖定塊作預先選定之移動 時手柄迴轉。 其中一第一軸 4 1 ·如申凊專利範圍第4 0項之安全鎖定裝置 由該導軌伸出至載荷；及 違軸係正交於第一軸及導軌。 其中該卡背向 42·如申請專利範圍第4〇項之安全鎖定裝置 執施加壓力而未完全包圍該執。 43. —種足位一載荷之裝置，該載荷耦聯至一纜線，該裝置 包含： -柱，其界定一第一垂直軸； 一臂單元’其支持該載荷及其沿第一垂直軸移動； 一迴轉單元’其用以與第一垂直軸隔開之一第二垂直 軸為中心來迴轉第一垂直軸； 該第二垂直軸係位於遠離測試箱不超過三倍纜線寬度 該載荷可由臂單元定位，因此纜線交叉第二垂直軸 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公爱) 3 5 年 正充修補 A B c D 六、申請專利範圍 及纜線係座落於柱之一側邊。 44. 一種定位一載荷之裝置，該載荷耦聯至一纜線，該裝置 包含： 一柱，其界定一第一垂直軸； 一臂單元，其支持該載荷及其沿第一垂直軸移動； 一迴轉單元，其用以與第一垂直軸隔開之一第二垂直 軸為中心來迴轉第一垂直軸； 該纜線係沿一交叉載荷重心之軸設置； 該載荷可由臂單元定位，因此纜線交叉第二垂直軸， 及境線係座落於柱之一側邊。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐)