KR102653657B1 - 반도체소자 테스트용 핸들러 - Google Patents

반도체소자 테스트용 핸들러 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 반도체소자의 테스트를 지원하는 지원부; 및 상기 지원부의 하방에 상기 테스터가 위치된 상태로 결합될 수 있도록 결합공간을 확보하고 있으며, 상기 지원부를 바닥에서 이격되게 지지하는 지지부; 를 포함하고, 상기 지지부는, 상기 테스터의 전후 이동 또는 원호 방향으로 회전 이동에 의해 상기 테스터가 상기 결합공간으로 출입하는 것이 가능하도록 하는 위치들에서 상기 지원부를 지지하는 복수의 지지다리; 및 상기 테스터의 원호 방향으로의 회전 이동에 의해 상기 결합공간으로 상기 테스터가 출입하는 것을 불허하거나 허락할 수 있는 특정 위치에서 상기 지원부를 지지하며, 상기 테스터의 출입을 불허하거나 허락할 수 있도록 상기 특정 위치를 개폐할 수 있도록 마련되는 특정한 지지다리; 를 포함한다.
본 발명에 따르면 핸들러의 원활한 이동성이 보장되면서 부품 교환이나 고장의 수리 시간을 절감할 수 있어서 궁극적으로 핸들러의 가동률을 상승시키는 효과가 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 발명은 반도체소자의 테스트 시에 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.
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핸들러는 테스터가 하방에서 결합되는 종류와 테스터가 측방에서 결합되는 종류로 나뉘며, 본 발명은 테스터가 하방에서 결합되는 종류에 관한 것이다.
테스터가 하방에서 결합되는 종류의 경우, 도 1의 개략적인 사시도에서와 같이 핸들러(100)에는 하방에서 결합된 테스터가 수용될 수 있는 결합공간(DS)을 가져야 한다. 그런데, 그러한 결합공간(DS)은 지지다리(SL)들에 의해 핸들러(100)의 전체적인 부분이 바닥에 균형 있게 지지되는 것을 방해한다. 또한, 크고 무거운 핸들러(100)의 이동 시에 결합공간(DS)의 전방 우측의 모서리 부위가 지지되지 못하기 때문에 대단히 곤혹스럽고 힘든 이동 작업을 수행해야만 한다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 도 2의 개념적인 평면도에서와 같이 모서리 부위에 지지다리(SL')를 구비하는 것이 바람직하다.
일반적으로 테스터는 매니플레이트라는 장치에 의해 운반되고, 매니플레이트에 의해 지지된 상태에서 핸들러에 결합된다. 즉, 도 3에서와 같이 매니플레이트(MP)의 전후 방향으로의 이동에 의해 매니플레이트(MP)에 결합된 테스터(TESTER)가 후방으로 이동하면서 결합공간(DS)에 진입되거나 결합공간(DS)으로부터 진출될 수 있다.
한편, 핸들러(100)에 의해 공급되는 반도체소자가 테스터(TESTER)의 테스트소켓(TS)에 전기적으로 정확하게 연결되기 위해서는 핸들러(100)와 테스터(TESTER)의 결합이 정교하게 이루어져야만 한다. 따라서 초기 테스터(TESTER)와 핸들러(100)의 결합 작업이 매우 까다롭고, 그에 따른 시간도 많이 소요된다.
그런데, 종종 테스트되어야 할 반도체소자의 종류가 바뀌는 경우에는 테스터(TERSTER) 측의 테스트소켓(TS)을 교환할 필요성이 있고, 기타 부품 교환이나 고장을 수리할 필요성도 있다. 이로 인해 테스터(TESTER)를 결합공간(DS)으로부터 진출시켜야만 할 경우가 발생한다. 이러한 경우 앞서 설명한 바와 같이 매니플레이트(MP)를 전후 방향으로 이동시킴으로써 테스터(TESTER)를 결합공간(DS)으로부터 진출시키면, 차후 테스터(TESTER)를 핸들러(100)에 결합시키는 작업이 온전히 발생하게 된다.
물론, 부품 교환 등을 위해 테스터(TESTER)는 고정된 상태로 두고 핸들러(100)를 이동시킬 수도 있으나, 이 때에도 핸들러의 고정을 해제하기 위한 번거로움 작업이 요구되고, 핸들러(100)를 다시 테스터와 결합시키는 작업이 또한 온전히 발생한다. 예를 들어 핸들러의 지지다리들 중에는 이동성을 위한 구름부재를 가지고 있는 것과 핸들러의 고정을 위해 상하 높이가 조절되는 고정부재를 가지고 있는 것이 있다. 즉, 핸들러가 일정 장소에 위치하면 고정부재의 높이를 조절하여 핸들러를 고정시킨다. 그런데, 핸들러를 이동시키고자 할 경우에는, 일일이 고정부재의 높이를 올려야하는 번거로운 작업이 있어야 하며, 차후 핸들러와 테스터를 재결합시킬 시에 상호 간의 위치설정을 새로이 해줘야만 할뿐더러 다수의 고정부재들에 대한 핸들러의 고정 작업도 다시 이루어져야만 한다.
위와 같이 테스터(TESTER)나 핸들러(100) 중 어느 하나를 전체적으로 이동시킬 경우, 이동하는 대상의 고정 상태를 해제시키는 작업과 재결합시의 결합 작업이 온전히 발생한다는 점에서 번거로울 뿐만 아니라 장비의 가동률을 크게 떨어트리게 된다. 그리고 테스터(TESTER)나 핸들러(100) 중 어느 하나를 전체적으로 이동시킬 경우 작업 공간의 확보가 어렵기 때문에, 작업 공간 확보를 위해 테스터(TESTER) 및 핸들러(100) 시스템이 차지해야 할 공간을 넓게 확보해야만 한다. 이에 따라 부품 교환 또는 고장 수리 작업이 까다롭고, 그만큼 시간도 많이 소요되기 때문에 핸들러(100)의 가동률이 떨어지고, 공간적인 손실도 발생된다.
따라서 매니플레이트(MP) 자체는 위치를 고정시키고, 도 4에서와 같이 테스터(TESTER)가 결합된 매니플레이트(MP)의 핸드(HD)만을 회전시킴으로써 테스터(TESTER)를 원호 방향(CD)으로 회전 이동시키는 방식으로 테스터(TESTER)를 결합공간(DS)으로부터 진출시키는 방안이 제안되었다. 그런데, 이 때에는 결합공간(DS)의 전방 우측의 모서리 부위에 있는 지지다리(SL')가 모서리 부위를 폐쇄시키고 있기 때문에 지지다리(SL')를 핸들러(100)로부터 분리해야만 한다. 이에 따라 핸들러(100)와 테스터(TESTER)를 재결합시키는 시간은 다소 줄어들게 되었지만, 수개의 볼트로 견고히 고정된 지지다리(SL')를 일일이 볼트를 풀어 분해하고 보관해야 하는 또 다른 문제점이 발생하였다. 그리고 그 만큼의 작업 및 시간의 소요가 필요하다. 그리고 차후 핸들러(100)를 이동시킬 때에는 균형 있는 지지를 위해 분리된 지지다리(SL')를 재결합시켜야 하는 번거로움도 따른다.
JP 2009-503854 B2 JP 2002-534283 A
본 발명은 특정 지지다리가 결합공간을 개방하거나 폐쇄할 수 있도록 하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 테스트되어야 할 반도체소자를 하방에 위치한 테스터에 전기적으로 연결함으로써 반도체소자의 테스트를 지원하는 지원부; 및 상기 지원부의 하방에 상기 테스터가 위치된 상태로 결합될 수 있도록 결합공간을 확보하고 있으며, 상기 지원부를 바닥에서 이격되게 지지하는 지지부; 를 포함하고, 상기 지원부는, 테스트되어야 할 반도체소자를 상기 테스터의 테스트소켓에 전기적으로 연결시키는 연결부분; 고객트레이에 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 상기 연결부분으로 공급하는 공급부분; 및 상기 연결부분의 작동에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 결과에 따라 분류하면서 회수하는 회수부분; 을 포함하며, 상기 지지부는, 상기 테스터의 전후 이동 또는 원호 방향으로 회전 이동에 의해 상기 테스터가 상기 결합공간으로 출입하는 것을 간섭하지 않는 위치들에서 상기 지원부를 지지하는 복수의 지지다리; 및 상기 테스터의 원호 방향으로의 회전 이동에 의해 상기 결합공간으로 상기 테스터가 출입하는 것을 불허하거나 허락할 수 있는 특정 위치에서 상기 지원부를 지지하며, 상기 결합공간에 대한 상기 테스터의 출입을 불허하거나 허락할 수 있도록 상기 특정 위치를 개폐할 수 있도록 마련되는 특정한 지지다리; 를 포함한다.
상기 결합공간은 후방과 일 측방으로는 상기 테스터의 출입이 불가능하게 폐쇄되어 있고, 상기 특정 위치는 상기 결합공간의 개방된 전방과 타 측방이 만나는 모서리부위에 있으며, 상기 테스터가 전후 방향으로 이동하면서 상기 결합공간을 출입하거나, 상기 특정 위치가 개방되었을 시에 상기 테스터가 원호 방향으로 회전 이동함으로써 상기 모서리부위를 통해 상기 결합공간을 출입한다. 상기 특정한 지지다리는, 상기한 후방의 폐쇄된 부위에 힌지 결합되어서 회전을 통해 상기한 후방 측으로 접히거나 펼쳐질 수 있는 지지대; 및 상기 지지대에 결합되어서 상기 지지대가 펼쳐졌을 때 상기 특정 위치에 위치하면서 상기 지지대의 전단부위를 바닥으로부터 지지하고, 장비의 원활한 이동을 위해 회전 가능하게 구비되는 구름부재; 를 포함하며, 상기 특정한 지지다리가 펼쳐졌을 때 상기 특정한 지지다리의 회전을 금지시키기 위한 잠금장치; 를 더 포함한다.
상기 특정한 지지다리는, 전후 이동에 의해 후방으로 후퇴하거나 전방으로 전진할 수 있는 지지대; 및 상기 지지대에 결합되어서 상기 지지대가 전진하였을 때 상기 특정 위치에 위치하면서 상기 지지대의 전단부위를 바닥으로부터 지지하고, 장비의 원활한 이동을 위해 회전 가능하게 구비되는 구름부재; 를 포함하며, 상기 특정한 지지다리가 펼쳐졌을 때 상기 특정한 지지다리의 전후 이동을 금지시키기 위한 잠금장치; 를 더 포함하고, 상기한 후방의 폐쇄된 부위에는 상기 지지대가 후퇴되었을 시에 상기 지지대의 적어도 일부를 수용할 수 있는 수용공간이 마련된다.
본 발명에 따르면 특정 지지다리가 핸들러에 결합된 상태에서 결합공간을 개방하거나 폐쇄시킬 수 있기 때문에 부품 교환이나 고장 수리에 드는 시간과 이동 작업에 필요한 시간을 최소화시켜 궁극적으로 가동률을 상승시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 핸들러와 매니플레이트는 고정된 상태를 유지하면서 테스터만 원호 방향으로 일정 각도 회전시킨 후 재결합시 회전된 각도만큼 역회전시키기 때문에 작업이 매우 수월하다.
도 1 내지 4는 종래 기술을 설명하기 위한 참조도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 사시도이다.
도 6은 도 5의 핸들러에 있는 지원부에 대한 개략적인 구조도이다.
도 7은 도 5의 핸들러에 적용된 특정한 지지다리에 대한 개략적인 사시도이다.
도 8은 도 7의 특정한 지지다리의 변화 상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도 9는 테스터를 결합공간으로 진입시키는 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도 10은 테스터를 결합공에서 진출 또는 진입시키는 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도 11은 도 7의 특정한 지지다리에 대한 변형예를 설명하기 위한 참조도이다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하되, 설명의 간결함을 위해 공지되었거나 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러(500, 이하 '핸들러'라 약칭함)에 대한 개략적인 사시도이다.
도 5에서와 같이 본 발명에 따른 핸들러(500)는 상방의 지원부(510)와 하방의 지지부(520)를 가진다.
지원부(510)는 테스트되어야 할 반도체소자를 하방에 위치한 테스터에 전기적으로 연결함으로써 반도체소자의 테스트를 지원한다. 이를 위해 지원부(510)는 도 6의 개념적인 평면도에서와 같이 연결부분(511), 공급부분(512), 회수부분(513)을 포함한다.
연결부분(511)은 테스트되어야 할 반도체소자를 테스터의 테스트소켓(TS)에 전기적으로 연결시킨다. 물론, 반도체소자는 테스트소켓(TS)에 전기적으로 연결된 상태에서 테스터에 의해 테스트된다.
공급부분(512)은 고객트레이에 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 연결부분(511)으로 공급하기 위해 마련된다.
회수부분(513)은 연결부분(511)의 작동에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 테스터 결과에 따라 분류하면서 회수한다.
지지부(520)는 지원부(510)를 바닥에서 이격되게 지지한다. 이러한 지지부(520)는 지원부(510)의 하방에 테스터가 위치된 상태로 결합될 수 있도록 결합공간(DS)을 확보하고 있다. 여기서 결합공간(DS)은 좌측방과 후방이 폐쇄되어 있고 우측방과 전방이 개방되어 있다.
한편, 지지부(520)는 복수의 지지다리(SL1, SL2) 및 특정 지지다리(SL3)를 가진다.
복수의 지지다리(SL1, SL2)는 테스터의 전후 이동 또는 원호 방향으로 회전 이동에 의해 테스터가 결합공간(DS)으로 출입하는 것을 간섭하지 않는 위치들에서 지원부(510)를 지지한다. 즉, 복수의 지지다리(SL1, SL2)는 결합공간(DS)의 개방된 전방이나 우측방을 통해 테스트가 결합공간(DS)으로 진입하거나 결합공간(DS)으로부터 진출하는 것을 방해하지 않도록 결합공간(DS)이 폐쇄된 좌방 및 후방에 구비된다. 이러한 복수의 지지다리(SL1, SL2) 중 일부의 지지다리(SL2)는 구름부재(RE)를 통해 바닥면과 접함으로써 핸들러(500)의 이동성을 확보할 수 있게 되어 있으며, 다른 일부의 지지다리(SL1)는 나사돌림에 의해 승강할 수 있는 지지부재(SE)를 가짐으로써 고정성을 확보할 수 있게 되어 있다.
특정한 지지다리(SL3)는 테스터가 원호 방향으로 회전 이동하면서 결합공간(DS)으로 진입하거나 결합공간(DS)으로부터 진출하는 영역을 지지할 수 있도록 위치한다. 즉, 특정한 지지다리(SL3)는 결합공간(DS)의 전방과 우측방이 만나는 모서리 부위의 특정 위치(SP)를 지지함으로써 장비가 전체적으로 안정되게 지지될 수 있도록 한다. 따라서 복수의 지지다리(SL1, SL2)들에 의한 지지들에 더하여 특정한 지지다리(SL3)에 의한 특정 위치(SP)의 지지가 이루어지기 때문에 핸들러(500)의 지지 균형이 보강되고, 이로 인해 핸들러(500)의 이동 안정성이 확보된다. 이러한 특정한 지지다리(SL3)는 특정 위치(SP)를 지지하거나 지지를 해제함으로써 테스터가 원호 방향으로 이동함으로써 결합공간(DS)을 출입하는 것을 불허하거나 허락할 수 있게 구비된다. 이를 위해 특정한 지지다리(SL3)는 도 7에서와 같이 지지대(SR), 구름부재(RE') 및 잠금장치(RD)를 포함한다. 참고로, 특정 위치(SP)는 테스터가 전후방 이동을 통해 결합공간(DS)으로 출입하는 것을 간섭하지 않는 위치인 것이 바람직하다.
지지대(SR)는 결합공간(DS)을 폐쇄하고 있는 후방 부위(RP)에 힌지(H) 결합되어 있어서 바닥면에 수평한 회전 이동을 통해 후방 측으로 접히거나 펼쳐질 수 있다. 따라서 지지대(SR)가 후방 측으로 접혀진 경우에는 도 8의 (a)에서와 같이 지지대(SR)의 전단(fe)이 후단(re)의 좌측방으로 이동하게 되며, 지지대(SR)가 펼쳐진 경우에는 도 8의 (b)에서와 같이 지지대(SR)의 전단(fe)이 결합공간(DS)의 모서리 부위(CP)에 위치하게 된다.
구름부재(RE')는 지지대(SR)의 전단(fe) 부근에 결합되어 있으며, 지지대(SR)가 펼쳐졌을 때 특정 위치(SP)에 위치하면서 지지대(SR)의 전단(fe) 부근을 바닥으로부터 지지한다. 이러한 구름부재(RE')는 핸들러(500)의 원활한 이동성을 확보하기 위해 회전 구름이 가능하게 구비된다.
잠금장치(RD)는 지지대(SR)가 펼쳐졌을 때 지지대(SR)가 힌지 회전하는 것을 금지시키기 위해 마련되는 것으로, 본 실시에에서는 걸림돌기로 구비되었다. 이에 대응하여 후방 부위(RP)에는 걸림돌기를 걸 수 있는 걸쇠(RR)가 구비된다. 물론, 잠금장치가 걸쇠로 구비되고 후방 부위에 걸림돌기가 구비될 수 있는 등, 실시하기에 따라서 잠금장치(RD)는 다양한 형태로 변형될 수 있다.
계속하여 특정한 지지다리(SL3)의 기능에 대하여 설명한다.
도 8의 (b)와 같은 상태에서 핸들러(500)의 이동이 완료되면, 지지부재(SE)를 풀어서 핸들러(500)를 바닥면에 고정시킨다. 그리고 도 8의 (a)에서와 같이 걸쇠(RR)에 의한 잠금을 해제시킨 후 특정한 지지다리(SL3)를 접는다.
도 8의 (a)와 같은 상태에서 테스터(TESTER)가 결합된 매니플레이트(MP)를 이동시켜 도 9에서와 같이 테스터(TESTER)를 결합공간(DS)에 위치시킨다. 도 9의 상태에서 연결부분(511)에 의해 공급되는 반도체소자와 테스트소켓(TS) 간의 전기적인 접촉이 정확히 이루어지도록 테스터(TESTER)의 위치를 정교하게 설정한 후 핸들러(500)와 테스터(TESTER)를 결합시킨다.
한편, 차후 테스트소켓(TS)이나 기타 부품의 교환 또는 수리가 필요한 경우, 작업자는 매니플레이트(MP)를 작동시켜 도 10에서와 같이 테스터(TESTER)를 회전 이동시킨다. 이로서 테스터(TESTER)는 결합공간(DS)으로부터 쉽게 진출될 수 있다. 도 10의 상태에서 요구된 작업이 모두 완료되면, 작업자는 매니플레이트(MP)를 작동시켜 테스터(TESTER)를 역으로 회전 이동시킴으로써 테스터(TESTER)를 결합공간(DS)으로 재진입시킨다. 이 때, 테스터(TESTER)는 초기 작업에서 정교하게 설정된 위치에 그대로 다시 진입하기 때문에 테스터(TESTER)의 위치를 정교하게 설정하기 위한 작업이 생략되고, 핸들러(500)와 테스터(TESTER) 간의 결합 작업만 이루어지면 족하다.
물론, 핸들러(500)를 다른 공간으로 이동시킬 필요가 있는 경우에는 결합공간(DS)으로부터 테스터(TESTER)를 제거시킨 후 특정한 지지다리(SL3)를 펼쳐 특정 위치(SP)가 지지되게 함으로써 안정적인 이동성을 확보할 수 있다.
<변형예>
도 11에서와 같이 특정한 지지다리(SL3)는 접철식으로 접히도록 구비될 수도 있다. 도 11의 (a)는 특정한 지지다리(SL3)가 펼쳐졌을 때를 도시하고 있고, 도 11의 (b)는 특정한 지지다리(SL3)가 접혀졌을 때를 도시하고 있다. 물론, 이러한 변형예를 따르는 경우에도 특정한 지지다리(SL3)는 지지대(SR1, SR2), 구름부재(RE') 및 잠금장치(RD)를 가진다. 여기서 부호 SR2의 지지대는 후방으로 후퇴하면서 부호 SR1의 내부로 수납되는 식으로 접혀진다. 물론, 폐쇄된 후방 부위의 전후 폭이 길다면 부호 SR1의 지지대와 부호 SR2의 지지대로 나눌 필요가 없을 수도 있다.
그리고 위와 같이 부호 SR1의 지지대가 후방으로 후퇴할 수 있도록 후방의 폐쇄된 부위에는 부호 SR1의 지지대가 후퇴되었을 시에 부호 SR1의 지지대의 적어도 일부를 수용할 수 있는 수용공간(RS)이 마련되어 있다.
즉, 본 변형예에 따르면 부호 SR2의 지지대가 전후 방향으로 이동하면서 부호 SR1의 지지대의 내부로 접혀 수용되거나 펼쳐질 수 있으며, 부호 SR1의 지지대가 전후 방향으로 이동하면서 수용공간(RS)으로 들어가거나 수용공간(RS)으로부터 나올 수 있다. 따라서 본 변형예에 의해서도 특정한 지지다리(SL3)가 테스터의 원호 이동에 의한 결합공간(DS)으로의 출입을 불허하거나 허락할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등개념으로 이해되어져야 할 것이다.
500 : 반도체소자 테스트용 핸들러
510 : 지원부
511 : 연결부분 512 : 공급부분
513 : 회수부분
520 : 지지부
SL1, SL2 : 복수의 지지다리
SL3 : 특정한 지지다리
SR, SR1, SR2 : 지지대 RE' : 구름부재
RD : 잠금장치
DS : 결합공간
RS : 수용공간

Claims (4)

  1. 테스트되어야 할 반도체소자를 하방에 위치한 테스터에 전기적으로 연결함으로써 반도체소자의 테스트를 지원하는 지원부; 및
    상기 지원부의 하방에 상기 테스터가 위치된 상태로 결합될 수 있도록 결합공간을 확보하고 있으며, 상기 지원부를 바닥에서 이격되게 지지하는 지지부; 를 포함하고,
    상기 지원부는,
    테스트되어야 할 반도체소자를 상기 테스터의 테스트소켓에 전기적으로 연결시키는 연결부분;
    고객트레이에 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 상기 연결부분으로 공급하는 공급부분; 및
    상기 연결부분의 작동에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 결과에 따라 분류하면서 회수하는 회수부분; 을 포함하며,
    상기 지지부는,
    상기 테스터의 전후 이동 또는 원호 방향으로 회전 이동에 의해 상기 테스터가 상기 결합공간으로 출입하는 것을 간섭하지 않는 위치들에서 상기 지원부를 지지하는 복수의 지지다리; 및
    상기 테스터의 원호 방향으로의 회전 이동에 의해 상기 결합공간으로 상기 테스터가 출입하는 것을 불허하거나 허락할 수 있는 특정 위치에서 상기 지원부를 지지하며, 상기 결합공간에 대한 상기 테스터의 출입을 불허하거나 허락할 수 있도록 상기 특정 위치를 개폐할 수 있도록 마련되는 특정한 지지다리; 를 포함하고
    상기 원호방향으로의 회전이동은 상기 결합공간의 전방 측의 외부에 위치한 임의의 점을 중심으로 한 회전이동인
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 결합공간은 후방과 일 측방으로는 상기 테스터의 출입이 불가능하게 폐쇄되어 있고,
    상기 특정 위치는 상기 결합공간의 개방된 전방과 타 측방이 만나는 모서리부위에 있으며,
    상기 테스터가 전후 방향으로 이동하면서 상기 결합공간을 출입하거나, 상기 특정 위치가 개방되었을 시에 상기 테스터가 원호 방향으로 회전 이동함으로써 상기 모서리부위를 통해 상기 결합공간을 출입하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 특정한 지지다리는,
    상기한 후방의 폐쇄된 부위에 힌지 결합되어서 회전을 통해 상기한 후방 측으로 접히거나 펼쳐질 수 있는 지지대; 및
    상기 지지대에 결합되어서 상기 지지대가 펼쳐졌을 때 상기 특정 위치에 위치하면서 상기 지지대의 전단부위를 바닥으로부터 지지하고, 장비의 원활한 이동을 위해 회전 가능하게 구비되는 구름부재; 를 포함하며,
    상기 특정한 지지다리가 펼쳐졌을 때 상기 특정한 지지다리의 회전을 금지시키기 위한 잠금장치; 를 더 포함하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 특정한 지지다리는,
    전후 이동에 의해 후방으로 후퇴하거나 전방으로 전진할 수 있는 지지대; 및
    상기 지지대에 결합되어서 상기 지지대가 전진하였을 때 상기 특정 위치에 위치하면서 상기 지지대의 전단부위를 바닥으로부터 지지하고, 장비의 원활한 이동을 위해 회전 가능하게 구비되는 구름부재; 를 포함하며,
    상기 특정한 지지다리가 펼쳐졌을 때 상기 특정한 지지다리의 전후 이동을 금지시키기 위한 잠금장치; 를 더 포함하고,
    상기한 후방의 폐쇄된 부위에는 상기 지지대가 후퇴되었을 시에 상기 지지대의 적어도 일부를 수용할 수 있는 수용공간이 마련된
    반도체소자 테스트용 핸들러.




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