TW533441B - An aluminum foil for electrolytic capacitor electrodes and a method for manufacturing the same - Google Patents

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533441 A7 B7 五、發明説明（） 本發明係有關做爲電解電容器電極所使用之鋁箔及其 製造方法者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 先行技術中，近來伴隨電子機器的小型化，亦針對提 昇組裝電子機器之電解電容器電極用鋁箔的靜電容量做要 求。 通常，用於電解電容器電極之鋁材爲提高擴面率後提 昇靜電容量而進行蝕刻處理。而，藉由蝕刻處理後，所形 成蝕刻槽深度愈深擴面率愈高，因此，做爲改善蝕刻適性 之蝕刻處理前步驟，於鋁材進行各種處理。例如：藉由調 整（1 0 0 )結晶方位、對於鋁材添加p b、B i等微量 不純物後，進行調整組成，最終退火前之脫脂洗淨、最後 退火前之水和處理以及於最終退火之結晶性氧化膜的形成 處理、最終退火前之氧化處理等（特公昭 58-34925號、特開平3—122260號其他） 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，僅使各蝕刻槽之深度加深並無法充份提昇鋁箔之 擴面率，爲了更提昇擴面率務必使蝕刻槽均勻分佈於蝕刻 面、減少局部蝕刻、未蝕刻、表面溶解，且，呈現高密度 者。 惟，上述各種方法由其呈現均勻且高密度之蝕刻槽之 面觀之並不夠，無法因應所求之持續增強呈現高靜電容量 化者。 本發明鑑於該技術背景下，以提供一種意圖可使深蝕 刻槽呈現均勻且高密度之確實提高擴面率，更增大靜電容 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 533441 A7 B7_ 五、發明説明（j 量之電解電容器電極用鋁箔及其製造方法爲目的者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外，此明細書中「鋁」之用語係意指含鋁及其合金 兩者被使用者。 爲達成該目的，本發明之第1電解電容器電極用鋁箔 係於箔基材表面以附著至少含有鋅及磷之磷酸鋅複合粒子 做爲基本主旨者。 又，第2電解電容器電極用鋁箔係於箔基材表面以附 著至少含有鋅及磷，更含有1種以上選自鐵、錳、鎳、鈷 鈣、鎂之磷酸鋅複合粒子做爲基本主旨者。 此等電解電容器電極用鋁箔中該磷酸鋅複合粒子之平 均相當圓直徑0 . l//m以上粒子爲附著70000個/ mm2以上，且，附著量爲0 _ 01〜5g/m2者宜。更 且，該磷酸鋅複合粒子以附著2 0 0 0 0 0個/mm2以上 者宜，附著量以0 . 1〜3g/m2者宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲達成該目的，本發明之第1電解電容器電極用鋁箔 之製造方法係針對箔基材使該箔基材藉由浸漬於含有磷酸 、氟化物、鋅或鋅化合物、以及促進氧化劑之處理液後， 使箔基材表面至少含有鋅及磷之磷酸鋅複合粒子析出進行 化成處理者做爲基本主旨者。 又，本發明第2電解電容器電極用鋁箔之製造方法基 本主旨係針對箔基材使該箔基材浸漬於含有磷酸、氟化合 物、鋅或鋅化合物、以及促進氧化劑、更含有1種以上之 鐵、錳、鎳、鈷、鈣、鎂或此等化合物中1種以上之處理 液後於范基材表面至少含有鋅及磷，更析出至少1種以上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -5- 533441 A7 B7 五、發明説明（3 含有選自鐵、錳、鎳、鈷、鈣、鎂之磷酸鋅複合粒子進行 化成處理者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此等電解電容器電極用鋁箔之製造方法中，析出磷酸 鋅複合粒子之化成處理係於鋁箔製作步驟中，箔壓延後， 於最終退火前、或最終退火後進行者宜。又，於該化成處 理前進行調整表面處理者宜。 本發明之第1及第2電解電容器電極用鋁箔於箔基材 表面均附著至少含有鋅及磷之磷酸鋅複合粒子者。磷酸鋅 複合粒子係易溶於P Η 3以下之酸性液中者，因此，於鹽 酸等酸性溶液中進行蝕刻後則優先溶解呈蝕刻槽產生核。 而，該磷酸鋅複合粒子呈微細且高密度附著之箔中，形成 多數蝕刻槽後，可提昇擴面率，取得高度靜電容量者。且 ，蝕刻時之反應速度（溶解速度）極快，因此，亦可以低 蝕刻電氣量形成所需之蝕刻槽，由省能源之觀點視之爲極 有利之面者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，該磷酸鋅複合粒子中，除鋅及磷，容許附與磷酸 鋅複合粒子處理所使用之處理液，原於箔基材之A 1 F3等 氟化合物、鋁化合物粒子的存在。 更且，第2電解電容器電極用鋁箔中，做爲該磷酸鋅 複合粒子者除鋅及磷爲含有1種以上選自鐵、錳、鎳、鈷 、鈣、鎂中者。 又，該磷酸鋅複合粒子係規定粒徑，附著量後，藉由 蝕刻可明顯提昇擴面率。亦即，構成磷酸鋅複合粒子之粒 子其平均相當圓直徑〇 . l//m以上者以存在70000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 533441 A7 B7 五、發明説明（4) 個/m m 2以上者宜。當小於0 · 1 # m之極微小粒子則無 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 法取得蝕刻槽之產生核，粒子數小於7 〇 〇 〇 0個/m m 2 則產生核之數量不足，無法取得高度擴面率。特別理想之 平均相當圓直徑爲0 · 3 // m以上者’特別理想之粒子數 爲2 0 〇 〇 〇 〇個/mm2以上者。又’本發明之粒子徑及 粒子數並無規定上限値，惟，爲避免產生巨大槽，全面溶 解之發生，其粒徑以1 0 // m以下，粒子數以 1 0 0 0 0 0 0個/mm2以下者宜。另外，以重量代表附 著量，理想者爲0.01〜5g/m2者宜。當小於 ’ 0 _ 0 1 g /m 2時，則蝕刻槽產生核之數量不足，反之， 大於5 g /m 2則易引起全面溶解之虞。理想附著量之下限 値以0 · 1 g/m2者宜，理想之上限値爲3 g/m2者。 附著該磷酸鋅複合粒子於箔基材表面者係藉由以本發 明第1及第2電解電容器電極用鋁箔製造方法爲基準進行 化成處理後被達成者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 做爲化成處理之處理液係使用磷酸、氟化合物、鋅或 鋅化合物以及促進氧化劑之混合酸性溶液後，將箔基材浸 漬於此處理液後，於箔基材表面析出磷酸鋅複合粒子。此 處理液中，生成磷酸鋅（Zn3 (P〇4) 2)或其水和物 (Ζη3 (Ρ〇4) 2· 4H2〇）後，於箔基材表面析出之 同時，基材表面被原於氟化合物之氟離子（F-)蝕刻後， 與熔出之鋁離子（A 1 3 + )相互反應後產生氟化鋁，其部 份於范基材表面析出後，構成部份磷酸鋅複合粒子。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 533441 A7 B7 五、發明説明（3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，做爲該磷酸鋅複合粒子者爲含有鐵、錳、鎳、鈷 '鈣、鎂時，於該化成處理之處理液中添加鐵、錳、鎳、 鈷、鈣、鎂、或此等化合物後，於箔基材表面可析出含有 此等金屬（M)之磷酸鹽（M3 (P0 4) 2)或其水和物 (Μ3(Ρ〇4)2·4Η2〇）者。 該處理液中，做爲各成份者可適用以下所載者。 做爲氟化合物者如：HF、H2S i F、NaF、KF 、NH4F、HFNaF、HFKF、HFNH4F 等者， 做爲鋅或其化合物者如：鋅單量體、鋅氧化物（Z η〇） 、Zn(N〇3)2、ZnC〇3、ZnS〇4、

Zn (〇H) 2、ZnC 12、或此等水和物等被推崇之。 又，做爲鐵、錳、鎳、鈷、鈣、鎂之鋅以外金屬（Μ )或 其化合物者如：各金屬單體（Μ)、金屬（Μ)氧化物（ Μ 0 ) 、M(N〇3)2、MC〇3、MS〇4、 M (〇H) 2、MC 1 2、或此等水和物等被推崇者。另外 ，做爲氧化促進劑者如：硝酸、亞硝酸、氯酸、溴酸或此 等鹽者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，先前之該化成處理，爲密緻析出磷酸鋅複合粒子 以進行調整表面處理者宜。表面調整處理之處理液以使用 鈦膠質等者宜，藉由浸漬於該處理液後進行之。 更於進行該調整表面處理之前，以進行去除箔基材表 面灰塵、油漬等污染物之同時，進行箔基材表面鈾刻性之 均一化之前處理者宜。前處理之處理液以使用爲促進鹼、 鹼脫脂洗淨中箔基材表面蝕刻性之均一化的螯合劑、界面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 533441 A7 B7 五、發明説明（g 活性劑等混合液者宜。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又’箔基材係經過含有鋁片之均質化處理、削面、熱 軋、中間退火之冷軋、箔壓延、洗淨、最終退火之各步驟 所製作者。含附與磷酸鋅複合粒子之化成處理或化成處理 前之前處理及調整表面處理之一連串附與磷酸鋅複合粒子 之處理均於箔壓延後之最終退火前或最終退火後進行之。 於箔壓延後進行附與磷酸鋅複合粒子之處理時可於處理後 ，進行最終退火，亦可不進行最終退火，直接做成硬質箱 供與蝕刻。 又，呈箔材料之鋁其純度以9 9 . 6%以上之高純度 者宜，惟，並未僅被限定於此，只要可做爲電解電容器電 極材料使用者即可。 〔實施例〕 實施例1〜3中，製作鋁純度及不同箔厚度之複數種 箔基材後，於此等箔基材表面，於不同條件下進行附與磷 酸鋅複合粒子之處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 各實驗例中，箔基材係藉由常法使鋁片進行含有均質 化處理、削面、熱軋、中間退火之冷軋，更進行所定厚度 之箔壓延、洗淨後藉由最終退火後做成製成品。此等一連 串箔製作步驟中，附與磷酸鋅複合粒子之處理係於任意最 終退火後或箔壓延後進行者。實驗例1、3係於最終退火 後進行附與磷酸鋅複合粒子處理後，供於鈾刻者。又，實 驗例2係於箔壓延後進行附與磷酸鋅複合粒子之處理後， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 533441 A7 B7 五、發明説明（ 未進行最終退火直接供於蝕刻者。最終退火係任何情況均 於不活性氣氛下以5 0 0 °C或3 0 0 °C進行加熱5小時者 〇 該附與磷酸鋅複合粒子之處理步驟如圖1所示之同時 ，詳細之處理條件示於表1〜表3。 〔表1〕 前處理液組成 組成

NaOH 螯合劑 (乙烯二胺四醋酸四鈉） 界面活性劑 (聚環氧乙烷壬苯基醚） 混合比率 :80% :10% :10% (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Ti Ti 混合比率 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

NaOH :15% Na3P〇4 :55% 螯合劑 :22% (乙烯二胺四醋酸四鈉） 界面活性劑 :10% ί聚環氧乙烷壬苯基醚） 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 533441 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 〔表2〕 化成處理液組成 組成 共同成分 添加成分 A 2.00%磷酸 1.00%硝酸 0.20%氟化合物 0.15% 鋅 — B 0.10% 鎳 C 0.03% 錳 D 0.10% 鎳 0.03% 錳 E 0.05% 鈷 F 0.06% 鎂 G 0.03% 鐵 Η 0.06 鈣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 533441 7 Β 五、發明説明（令 〔表3〕 附與複合粒子之處理條件 條件 No. 處理時間 前處理 表面調整處理 化成處理 處理液 處理條件 處理液 處理 條件 處 理 液 處理條件 a 最終退火後 10% I 75〇C X 15秒 0.05%Ti 膠質 28。。 30 秒 A 45〇C X 120秒 b 最終退火後 6%1 75〇C X 60秒 0·1%Ή膠質 B 45°C X 15秒 c 最終退火後 2%1 75〇C X 120秒 1.0%Ti膠質 C 45°C X 5秒 d 最終退火後 8% II 75〇C X 30秒 0·3%Ή膠質 D 45°C X 10秒 e 最終退火後 6%1 75〇C X 60秒 0·05%Ή膠質 E 45〇C X 10秒 f 箔壓延後 6%1 75°C X 45秒 0·1%Ή膠質 F 45〇C X 30秒 g 箔壓延後 10% II 75°C X 15秒 0.2%Ti膠質 G 45°C X 20秒 h 箔壓延後 4% II 75〇C X 60秒 0.5%丁i膠質 Η 45°C X 15秒 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1及表3所示之前處理中，處理液係使用如表1所 不之1 、1 1 2種組成者，如表3所示所調整之濃度者後 ’洗淨箱基材表面。又，調整表面處理中，以不同濃度之 T i膠質做爲處理液使用後，浸漬於τ丨膠質液後，進行 析出密緻磷酸鋅複合粒子之調整表面處理。另外，化成處 理中’利用表2所示之A〜Η之8種組成。又，處理液所 使用之氟化合物及各金屬化合物如以下所：$。

氟化合物：H F 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -12- 533441 A7 B7 五、發明説明（1)〇 鋅 ·· Ζ η〇 鎳 ·· N i (〇 Η ) 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

猛 · MnC〇3* 11H2O 鈷 ·· C 0 S 〇 4 · 7 Η 2 〇 鎂 ：MgC〇3*Mg(〇H)2*nH2〇 鐵 ：Fe(N〇3)2.9H2〇 錦 :C a C 1 2 · 2 Η 2 0 〔實驗例1〕 由鋁純度99 . 99%之切片製造厚度爲100//m 之箔基材後，以表3之a〜h條件下施行附與磷酸鋅複合 粒子之處理後，於5 0 0 °C下進行最終退火。 針對磷酸鋅複合粒子處理箔進行解析藉由掃描型電子 顯微鏡之2 0 0 0倍擴大像之晝像後，求取附著磷酸鋅複 合粒子之相當圓平均直徑及相當圓直徑0 . 1 //m以上之 粒子數之同時，於5%無水鉻酸液中常溫下浸漬5分鐘之 後，使粒子溶解後，由浸漬前後之重量差求取所附著之重 量。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，對於磷酸鋅複合粒子處理箔於7 0°C，5%鹽 酸中做成電流密度爲0 . lA/cm2，調節電氣量呈箔溶 解率爲4 0 %後，進行直流電解蝕刻。再將此鈾刻箔於 8 0°C之5%硼酸+ 0 · 1%硼酸銨中進行2 5 0V之化 成處理後，更於3 %硼酸銨中進行靜電容量之測定。另以 未進行附與磷酸鋅複合粒子處理之箔做成比較例後，與處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -13- 533441 Μ

7 B 五、發明説明（1)1 理箔同法進行直流電解蝕刻及化成處理後，測定靜電容量 〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 各測定結果如表4所示。又，靜電容量係代表以比較 例做爲1 0 0 %時之相對値者。 〔表4〕 實驗例1評定結果（箔厚10 0 μ m ) 複合粒子處 理條件No. 複合粒子之畫像解析結果 鈾刻電 氣 量 (C/cm2) 靜電容量 (%) 附著量 (g/m2) 平均相當圓直 徑(// m ) 粒子個數 (個/mm2) 實 施 例 1 a 1.8 4.5 70000 28 104 2 b 0.7 1·0 280000 24 108 3 c 0.3 0.5 400000 21 113 4 d 0.5 0.8 330000 25 111 5 e 0.5 1.0 260000 25 106 6 f 1.0 2.0 240000 25 105 7 g 0.8 1.0 300000 23 112 8 h 0.5 0.6 600000 20 109 比較例9 — — — — 48 100 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔實驗例2〕 由鋁純度9 9 . 9 8%之切片製造厚度爲9 0 //m之 箔基材後，於表3之b〜e條件下施行附與磷酸鋅複合粒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -14- 533441 A7 ___ B7 五、發明説明（1)2 子之處理。未進行最終退火。 針對磷酸鋅複合粒子處理箔，與上述實驗例1同法進 行畫像解析之同時，求取所附著粒子之重量。 又，針對磷酸鋅複合粒子處理箔於5 0°C，1 〇%鹽 酸+ 0 . 1 %硫酸中，做成電流密度0 · 2 A / c m 2後， 調整箔溶解率呈4 0 %之電氣量後，進行交流電解蝕刻。 再將此鈾刻箔於8 0°C之1 0%己二酸銨中進行2 0V之 化成處理，更於3%硼酸銨中進行測定靜電容量。又，以 未進行附與磷酸鋅複合粒子處理之箔做成比較例，與處理 箔同法進行交流電解蝕刻及化成處理後，測定靜電容量。 各測定結果如表5所示。又，靜電容量係代表以比較 例做爲1 0 0 %時之相對値者。 〔表5〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 實驗例2評定結果（箔厚9 0 //m) 複合粒子處 理條件No. 複合粒子之畫像解析結果 倉虫刻電 氣 量 (C/cm2) 靜電容量 (%) 附著量 (g/m2) 平均相當圓直 徑(// m ) 粒子個數 (個/mm2) 實 施 例 11 b 0.7 1.0 280000 70 108 12 c 0.3 0.5 400000 60 116 13 d 0.5 0.8 330000 65 114 14 e 0.5 1.0 260000 70 109 比較例15 — — — — 110 100 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210x297公釐） -15- 533441 A7 B7 五、發明説明（作 〔實驗例3〕 由鋁純度9 9 · 8%之切片製造厚度爲5 0 //m之范 基材後，於表3之b〜e條件下施行附與磷酸鋅複合粒子 之處理後。於3 0 0 °C下進行最終退火。 針對磷酸鋅複合粒子處理箔，與上述實驗例1同法進 行畫像解析之同時，求取附著粒子之重量。 另外，針對磷酸鋅處理箔，於50t，10%鹽酸 +0·1%、磷酸+0·2%硝酸中，做成電流密度 〇 · 2A/cm2後，調整箔溶解率爲3 0%之電氣量後， 進行交流電解蝕刻。再將此蝕刻箔於3 %硼酸銨中進行測 定靜電容量。另外，以未進行附與複合粒子處理之箔做成 比較例後，與處理箔同法進行交流電解鈾刻及化成處理後 ，進行測定靜電容量。 各測定結果如表6所示。另外，靜電容量係代表以比 較例做爲1 0 0 %時之相對値者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 533441 A7

7 B 五、發明説明（1舁 〔表6〕 ___實驗例3評定結果（箔厚5 Ο μ m ) 複合粒子處 理條件No· 複合粒子之畫像解析結果 蝕刻電 氣 量 (C/cm2) 靜電容量 (%) 附著量 (g/m2) 平均相當圓直 徑(// m ) 粒子個數 (個/mm2) 實 21 b 0.7 1.0 280000 30 107 施 22 c 0.3 0.5 400000 27 113 例 23 d 0.5 0.8 330000 28 111 24 e 0.5 1.0 260000 30 106 比較例25 — — — — 48 100 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由表4〜6之結果確定施行附與磷酸鋅複合粒子處理 之箔比未施行之比較例約可取得高於6 0 %之蝕刻電氣量 之高度靜電容量者。 其中所使用之用語及表現係限於做爲說明使用者，並 非做爲解釋之用，其中所顯示且所述之特徵事項亦並未排 除任意同等物，亦容許於本發明申請專利範圍中進行各種 不同形態之變換。 〔圖面之簡單說明〕 圖1係代表本發明電解電容器電極用鋁箔之製造方法 中附與磷酸鋅複合粒子處理步驟之流程圖者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -17-

Claims (1)

1. 533441 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 · 一*種電解電容器電極用銘范’其特徵係於箱:基材 表面附著至少含有鋅及磷之磷酸鋅複合粒子者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 ·如申請專利範圍第1項之電解電容器電極用鋁箔 ，其中該磷酸鋅複合粒子係附著平均相當圓直徑〇·1 //m以上粒子爲7 0 0 〇 〇個/mm2以上，且’附著量爲 0·01〜5g/m2者。 3 .如申請專利範圍第2項之電解電容器電極用鋁箔 ，其中該磷酸鋅複合粒子係附著平均相當圓直徑〇·3 /zm以上粒子爲200000個/ mm2以上者。 4 ·如申請專利範圍第2項或第3項之電解電容器電 極用鋁箔，其中該附著磷酸鋅複合粒子量爲〇·1〜3g / m 2 者。 5 _ —種電解電容器電極用鋁箔，其特徵係於箔基材 表面上至少含有鋅及碟，更含有1種以上選自鐵、猛、鎳· 、鈷、鈣、鎂之附著磷酸鋅複合粒子者。 6 .如申請專利範圍第5項之電解電容器電極用鋁箔 ，其中該磷酸鋅複合粒子係附著平均相當圓直徑0.1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 /zm以上粒子爲7 0 0 0 0個/mm2以上者，且，附著量 爲 0·01〜5g/m2者。 7 .如申請專利範圍第6項之電解電容器電極用鋁箔 ，其中該磷酸鋅複合粒子係附著平均相當圓直徑0 . 3 //m以上粒子爲2 0 0 0 0 〇個/mm2以上者。 8 ·如申請專利範圍第6項或第7項之電解電容器電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 18- 533441 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 極用鋁箔，其中該磷酸鋅複合粒子之附著量爲〇.1〜3 g / m 2 者。 9 · 一種電解電容器電極用鋁箔之製造方法，其特徵 係針對箔基材，使該箔基材浸漬於含有磷酸、氟化合物、 鋅或鋅化合物，以及促進氧化劑之處理液後，進行於箔基 材表面析出至少含有鋅及磷之磷酸鋅粒子之化成處理者。 1 0 ·如申請專利範圍第9項之電解電容器電極用鋁 箔之製造方法，其中該化成處理係其鋁箔製造步驟中於箔 壓延後，於最終退火前進行者。 1 1 ·如申請專利範圍第9項之電解電容器電極用鋁 箔之製造方法，其中該化成處理係其鋁箔製造步驟中，於 最終退火後進行者。 1 2 ·如申請專利範圍第9項至第1 1項中任一項之 電解電容器電極用鋁箔之製造方法，其中該方法係於該化 成處理前進行調整表面處理者。 1 3 · —種電解電容器電極用鋁箔之製造方法，其特 徵係針對箔基材，將該箔基材浸漬於含有磷酸、氟化物、 鋅或鋅化合物、以及促進氧化劑，更含有以1種以上選自 鐵、猛、鎳、鈷、鈴、鎂或此等化合物之處理液後，於范 基材表面施行析出至少含有鋅及磷，更含有1種以上選自 鐵、錳、鎳、鈷、鈣、鎂之磷酸鋅複合粒子之化成處理者 〇 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項之電解電容器電極用 鋁箔製造方法，其中該化成處理係其鋁箔製造步驟中於箱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 01T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 533441 A8 B8 C8 _____ D8 六、申請專利範圍 壓延後、最終退火前進行者。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項之電解電容器電極用 銘箔製造方法，其中該化成處理係其鋁箔製造步驟中於最 終退火後進行者。 1 6 ·如申請專利範圍第丨3項至第1 5項中任一項 之電解電容器電極用錫箱之製造方法，其中該方法係於該 化成處理前進行調整表面處理者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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