TW530069B - Process for producing purified solutions of blocked polyhydroxystyrene resin - Google Patents

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530069 A7 ------ 五、發明說明（1 ) 發明背景 1. 發明領域 本發明係關於製備作爲化學放大光阻 amplified photoresist)調配物之嵌段聚羥基苯乙烯樹脂或 嵌段交聯聚羥基苯乙烯樹脂之方法。 < 2. 背景敘述 聚羥基苯乙晞樹脂係樹脂中部份或全部羥基轉化爲可酸 保護的基團（嵌段樹脂），其通常作爲化學放大光阻中聚合 物質。而化學放大光阻則使用於半導體製程之改進照相平 版印刷法。 交聯聚羥基苯乙烯樹脂具有部份或全部羥基轉化爲可酸 保護的基團且具有交聯的部份（嵌段交聯聚合物）爲習知者 。譬如參考1 "6年6月26曰公告之歐洲公告專利申請案 第071 83 16A2號，和1997年1〇月23日公告之第073 8744A2 號。此二公告之歐洲專利申請案之全文内容併於此以供參 考。此歆段X聯樹脂用於取代或合併嵌段樹脂作爲化學放 大光阻中之聚合物質。 於製備此種嵌段樹脂或此種嵌段交聯聚羥基苯乙晞樹脂 中，先驅體（即聚喪基苯乙晞、保護基先驅體和視情況之交 聯劑）於酸觸媒和合適有機反應溶劑存在下反應，以形成嵌 段聚合物或嵌段交聯聚合物於反應溶劑中之不純溶液。待 反應芫成後，反應混合物通過強鹼離子交換樹脂床以去除 酸性觸媒。經處理之反應溶液隨後與去離子水或去離子水 和醇（即乙醇或異丙醇）之混合物合併，以沈殿固體型式之 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !! «------疃 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) — — — — — — — — 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530069 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（2 嵌段樹脂或嵌段| 讲日匕。^ t 又人聯树。心後由反應混合物中分離兮、卿 的固體樹脂，較佳爲藉由過滤或離心；以更多的去：子: 洗分離出：樹脂，並予以眞空乾燥。該乾燥的固體嵌段 树脂或嵌段又聯樹脂隨後溶解於合適的有機光阻溶劑中， 作爲化學放大光阻調配物。 先前技藝中製備此種嵌段樹脂和嵌段交聯樹脂之方法， 具有數項缺點如下： (1) 用於移除酸觸媒之樹脂床必須具有非常低痕量的金屬 含量，此需求僅可藉由使用非常高純度和昂貴之離子交 換樹脂或於每次操作後對標準離子交換樹脂使用特定 清森私序。再者，當反應混合物通過時，離子交換樹脂 必Λ、非$乾燥’否則水（存在於觸媒或離子交換樹脂 '中、 將會水解嵌段聚合物。又，於某些情況中，離子交換樹 脂可作爲不希望反應之觸媒或保留部份嵌段聚合物或 嵌段交聯聚合物，因而降低嵌段聚合物或嵌段交聯聚合 物之產率。而且於任何情況中使用離子交換樹脂亦需要 清潔和丢棄。 (2) 相改變沈殿步驟需要大量的水（即反應混合物重量之至 少20倍）。使用少量的水會造成黏著性固體，而黏結於 沈各器壁上；而大量的水則會造成大量必須丟棄的廢 水，及使用大且昂貴的沈澱容器。 (3) 分離步驟需要特別且筇貴的過濾、和離心裝置。於分離步 驟期間或之後處理這些固體爲污染的潛在來源，因爲幾 乎無法由環境中隔離出該等固體。 本紙張尺度適用中國國豕“準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ί·—----------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 530069

五、發明說明（3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (4)乾燥该等固體亦爲污染之另一潛在來源，乾燥器裝置本 身和乾燥器之進料及出料處理兩者皆是。再者，乾燥可 能引起產物所不希望之副反應發生。 據此’需要一改良方法製備純的嵌段樹脂或純的嵌段交 聯樹脂而無先前技藝之上述缺點。本發明即提供此種方法 特別地本發明方法降低廢物產生，降低產物污染的可 说性和減低固體處理。本方法允許純化的樹脂直接溶解於 光阻落劑中，而非使純化的固體先形成固體型式而後再溶 於光阻溶劑中。 發明概述 本發明之一目的係關於一種製備嵌段聚羥基苯乙晞樹脂 於光阻溶劑之純化溶液之方法，包括： (1) 形成一種包含嵌段聚羥基苯乙烯樹脂和酸性觸媒於反 應溶劑中之不純反應溶液； (2) 加入胺、水、至少一種烴溶劑和至少一種光阻溶劑，藉 以形成一水相和一有機相，該水相包含水和胺/酸性觸媒 之鹽’和該有機相包含反應溶劑、光阻溶劑、烴溶劑和 歲段聚經基苯乙晞樹脂； (3) 分離該水相和該有機相；及 (4) 由該有機相移除烴溶劑和反應溶劑，因而形成嵌段聚經 基苯乙烯樹脂於光阻溶劑之純化溶液。 較佳具體實施例之詳細説明 本説明書和申請專利範圍中「反應溶劑」係指任何單一 〉谷劑或落劑之混合物，於其中製得嵌段聚羥基苯乙烯樹脂 -6- 本紙張尺度過用中國國家標準(CNS)A4規格（2l〇x297公釐） --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁)

530069 A7 五、發明說明（4 ) 或肷段父聯聚！基苯乙烯樹脂。較佳反應溶劑爲四氫呋喃 (THF)，該溶劑爲較佳，係因其爲反應物和產物之良好溶劑 ，不具反應性，爲親水性，具低密度（因而所形成之有機相 金度低於水）’而且具相當低沸點（故易於由pGMEA或其他 具較咼沸點（選擇的光阻溶劑中分離）。其他合適的反應溶 劑爲1,4-二4燒。 本説明書中「光阻溶劑」係指於溶劑或溶劑混合物中製 得輻射敏感組合物（譬如光阻劑）。一般而言，本發明中此 種輻射敏感組合物將包含純化的嵌段聚羥基苯乙烯樹脂或 純化的嵌段交聯聚羥基苯乙烯樹脂，以及至少一種光酸產 生劑和視情況其他成份，譬如其他樹脂和溶解抑制劑及相 似物。此處所指之「光阻溶劑」並不同於所指之「反應溶 劑」。 本説明書中「嵌段聚羥基苯乙晞樹脂」係指任何和所有 聚羥基苯乙晞樹脂，其樹脂中部份或所有羥基轉化爲保護 基團（即乙烯醚基團），且有用於化學放大型光阻劑中。此 處所稱之「嵌段聚羥基苯乙烯樹脂」包含「嵌段交聯聚護 基冬乙缔樹脂」類之樹脂。 本説明書和申請專利範圍中「嵌段交聯聚羥基苯乙晞樹 脂」係指任何和所有聚羥基苯乙烯樹脂，其樹脂中部份或 所有羥基轉化爲保護基團（即乙晞醚基團），並且包含交聯 部份連接各別之聚合物鏈，和有用於化學放大型光阻劑中 〇 本説明書和申請專利範圍中「嵌段聚羥基苯乙烯樹脂於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —！ —-------嚏 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 訂---------着 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 53〇〇69

五、 發明說明（5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 反應溶劑之不純溶劑」係指包含嵌段聚羥基苯乙晞樹脂於 單一反應溶劑或反應溶劑混合物中之任何或所有溶液，進 一步包含不可接受量之不純物及/或反應副產物及/或未反 應之反應先驅體。 本説明書和申請專利範圍中「嵌段聚羥基苯乙晞樹脂於 光阻溶劑之純化溶液」係指包含嵌段聚羥基苯乙烯樹脂於 光阻溶劑或溶劑混合物中之任何或所有溶液，進一步包含 可接文低量的不純物，因此純化溶液可用於化學放大型光 阻劑中。 本發明之第一步驟係形成包含嵌段聚羥基苯乙晞樹脂和 酸性觸媒於反應溶劑中之不純反應溶液。 不純反應溶液之製備較佳爲添加所需要量之至少一種聚 羥基苯乙晞樹脂、至少一種保護基團先驅體、酸觸媒、和 視情況至少一種交聯劑至含有反應溶劑之反應器中，然後 加熱反應混合物至所需的反應溫度足夠時間，以於反應混 合物中產生嵌段聚羥基苯乙烯樹脂或交聯嵌段聚羥基苯乙 烯樹脂。 用於本發明之聚羥基苯乙晞樹脂包含任何聚合樹脂，其 含有羥基苯乙烯重覆單元，包含有聚（4_羥基苯乙烯）均聚合 物、聚（4-羥基·》-甲基苯乙烯）均聚合物和聚（3_羥基苯乙烯） 均聚合物，或由含羥基苯乙烯單體（譬如爲4_羥基苯乙晞） 與其他單體之共聚物，而其他單體譬如爲丙烯酸、甲基丙 締酸、甲基丙烯酸烷酯、丙烯酸烷酯、苯乙烯、富馬腈 (fumaronitrile)、乙晞環己醇、馬來酸酐、馬來醯亞胺及其 i 一 --------1--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

530069 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) 付生物，或該等均聚物或共聚物之混合物。較佳聚羥基笨 乙晞樹脂先驅體包括歐洲專利申請案第7 1 83 1 6號和第 738744號所揭示者。 加至反應混合物之保護基團先驅體爲能夠於聚羥基苯乙 晞樹脂側鏈羥基上形成可酸保護或保護基團之化合物，其 較佳包含乙烯醚（譬如第三-丁基乙晞醚或乙基乙晞醚）、碳 酸酯（譬如第三-丁基碳酸酯）、或其他先驅體合適於可酸保 護基團包含甲矽烷基醚、枯基酯、四氫哌喃基酯、烯醇鍵 、烯醇酯、第三烷基醚、第三烷基酯、第三烷基碳酸酯、 醛縮醇和酮縮醇基團。保護基團先驅體之混合物亦可加至 反應混合物中。 視需要之交聯劑可以包括交聯聚羥基苯乙烯，其以所需 要方式達到光阻應用中合適樹脂之任何適宜化學試劑。車1 佳交聯劑之一爲4,4’-亞異丙基二環己醇。 該反應於酸觸媒存在下進行，合適的酸觸媒包含酸性離 子交換樹脂或酸譬如磺酸（較佳爲甲苯磺酸）或其鹽類（譬如 爲甲苯績酸外b鉸）。 z 該反應同時於合適反應溶劑存在下進行。 該反應通常於約HTC至約8(rc反應溫度下進行足夠時 間，使㈣基足夠轉化爲㈣基圓和視情形樹脂交聯發生 。反應通常於任何標準反應器裝置中進行，較佳爲玻璃或 鐵氣龍親歡反應器，以防止反應混合物 子不純物之增加。 1 ^ - 加至反應器中樹脂先驅體之相對百分 N刀比將視樹脂之最終 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱

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五、發明說明（7 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所需特性而定。通常，最終嵌段聚羥基苯乙烯或嵌段交聯 I羥基苯乙晞樹脂較佳具有重量平均分子量爲i，⑼0至 1’000,000,更佳爲約35000至約500，〇〇〇;和更佳爲約6, 〇〇〇 至約1〇〇,〇〇〇。聚羥基苯乙晞樹脂先驅體中羥基轉化爲可 酸保護基團之百分比通常爲約5%至約95%，更佳爲約10% 至50%。交聯程度[v=〇/m+n+〇]較佳爲〇 〇〇1至〇 5，更佳 爲0.002至〇·2，其中m爲每一最終樹脂分子中酸可分離保 遵基團之平均數；n爲每一最終樹脂中c〇〇H基團和酚式 嫂基之總和’和〇爲每一最終樹脂中橋連基團之數目。 待反應完成後，至少一光阻溶劑和至少一烴溶劑加至反 應混合物中，以及水和胺化合物。該等添加將於最終混合 物中形成有機相和水相。 光阻溶劑較佳爲丙二醇單甲基醚醋酸酯（PGMEA)，其他 習知光阻溶劑亦可使用。 烴溶劑較佳爲己烷，因爲其疏水性和其可溶解不純物於 有機相之能力。一般，光阻溶劑和烴溶劑之用量爲約1 ·· 20至20 : 1重量比。

使用己烷作爲烴溶劑特別較佳，因爲該溶劑具有最小水 落解度，能夠輔助嵌段樹脂之溶解度，具有低密度（使得最 終有機相之余度低於水），和具有較習知光阻溶劑（譬如丙 二醇單甲基醚醋酸酯（PGMEA))低沸點。尤其，當pGMEA 爲光阻溶劑時，發現該溶劑提供良好之有機相和水相分離 〇 水於有機溶劑中之總量較佳爲约1 ··〗〇至約1 〇 · 1。 -^-------------------訂---------. (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁)

530069 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 ) 胺的f較佳馬足夠中和所存在酸觸媒的量。任何 於此目的的胺均可使用，三乙胺爲特別較佳者。 接者，最終有機相與水相分離，通常可藉由簡單相分離 :完成。底部水相通常排出反應器，而留下有機相於反應 為中。 於相分離之後，較佳地以額外的水視情況沖洗。此包括 添加水至反應器中，使得反應混合物分離之後再移除所添 加的水。通常，進行至少一次水沖洗操作爲較佳。 於相分離步驟和任何視需要的水沖洗後，烴溶劑由反應 混合物中移除。較佳地，可藉由簡單蒸餾以蒸餾去除烴溶 劑，而留下包含光阻溶劑和嵌段聚羥基苯乙烯樹脂或嵌段 交聯聚羥基苯乙埽樹脂之最終純化溶液。 光阻組合物可藉由簡單加入其他光阻成份譬如至少一光 產生劑、至少一視情況之溶解抑制劑，和如果需要多種 光阻溶劑及/或其他光阻溶劑至該純化溶液中而製得。 兹提供下列實例和比較實例以進一步例示本發明。除非 特別標明，所有部份和百分比以重量計，所有溫度爲t。 實例1 Α·合成嵌段交聯聚超基笨乙烯 380克乾燥之聚羥基苯乙烯量平均分子量 (Mw) = 8700)、 7·8 克 4,4f 亞異丙基二環己醇（ΙρΕ)(：：Η^ρ 1592.7克四氫呋喃（THF)加至2升塑膠瓶中，旋轉塑膠瓶2 天以溶解固體。溶液轉置於5升蒼中。1〇〇·2克第三_ 丁基 乙烯醚（TBVE)(每一莫耳PHS中0.315莫耳）和26.75克0.1 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公釐） I ；---------------訂—------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 Β7

530069 五、發明說明（9 ) wt%對-甲苯磺酸觸媒（PTSA)於THF之溶液加至該蚤中。爸 中物質於25 °C下混合過夜，隔天早上釜中成份分爲兩部份 ，並且以下列方式進一步處理。 B.以蕈取處理嵌段交聯聚輕玉苯乙烯 1.47克1 ·〇 wt%三乙胺（TEA)於THF之溶液加至釜中物質 之第一部份（1662.98克），其係上述（A)所合成者。1256 13 克丙二醇單甲基醚醋酸酯（PGMEA)和451.12克己燒亦加入 。混合蚤中j液後，585.74克去離子（di)水加至爸中（第一 次沖洗）。釜中物質混合5分鐘，停步攪拌器，使得物質分 離爲兩相，第一水相和第一有機相。水相中包含水和微量 三乙胺/對-甲苯磺酸鹽，和殘留乙缔醚、水可溶副產物、 THF、小量PGMEA和痕量金屬。有機相除了嵌段交聯聚 苯乙烯，包含大部分PGMEA、THF、己烷、和部份水。 靜置90分I里後，5 82· 1 8克第一水相層由釜之底部移除， 586.3 1克更多DI水加至蚤中（第二次沖洗）。釜中物質混合 5分鐘，停步攪拌器，使得物質分離爲兩相。靜置8〇分鐘 後，755.8克第二水相層由釜之底部移除，586·54克更多 DI水加至釜中（第三次沖洗）。蒼中物質混合5分鐘，停步 攪拌器，使得物質分離爲兩相。靜置75分鐘後，751〇8 克第三水相層由釜之底部移除。爸中所留下的有機層轉置 於旋轉蒸發系統中，其中THF、己烷、殘留水和部份pgmea 於眞it下及浴溫爲55 C時移除。汽提混合物至最終溶液含 有0.07 wt%水和45.1 wt%總固體。401·3克PGMEA加至 830.19克經汽提之落液中，而產生含有約3〇 _%固體之溶 _____ _12_ ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規;G χ 297公爱）------— --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530069 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（i〇) 液。固體產率爲約99%，係基於溶液中固體計，並且假設 所有PHS加上85% IPDCH和8 5%乙烯醚爲構成固體。 比較實例1 上述（A)所形成之嵌段交聯聚羥基苯乙烯物質之第二部 份（443.24克）置於另一漏斗中，0.42克1.0 wt%吡啶於THF 之溶液加至漏斗中，振盧而混合於11比淀溶液中。將該混合 物通過AMBERSEP 900(OH)強鹼離子交換樹脂管柱，其中 該離子交換樹脂以THF平衡，之後該混合物加至8750克 DI水於10升樹脂釜中。加入時間爲約60分鐘，待加入完 成後，漏斗和樹脂床以20毫升THF沖洗，之後THF亦加 至DI水中。經由布氏過濾器以眞空過濾而將沈澱固體由DI 水中回收。回收的固體以500毫升DI水沖洗兩次，之後於 50 °C之眞空乾燥器中乾燥約20小時，回收90.6克固體聚 合物，具水含量爲1.08 wt%，固體產率爲約91%。 由實例1和比較實例1所得之固體聚合物和聚合物溶液 以GPC分析其分子量分佈，並且以13CNMR分析測試正確 性之嵌段程度，發現此兩聚合物相同。 比較實例2 除了使用較大量的TBVE(每一莫耳PHS中0.36莫耳）以 產生較高的嵌段程度，其餘程序如實例1所述。然而，此 二聚合物爲完全不同。溶液中聚合物具有預期之嵌段程度 和分子量分佈。固體聚合物具有相當低的嵌段程度及低分 子量。顯然地，固體聚合物於固體回收或乾燥期間被污染 ，而有解彼段（deblock)。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 530069 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（11 ) t 約650克PHS於眞空抖箱Φ耖、碎、证上 ^ 、舆工所相Τ乾爍過畏，而產生水含量爲 0.65 Wt%。299.6 克乾燥之 PHS、12 24 克 IPDCH 和 1320.05克THF加至4升樹脂釜中’攪拌混合物8〇分鐘， 直到所有固體均溶解。 68.41克乙基乙烯醚和9〇〇克〇1 wt% pTSA於thF之溶 液加至樹脂釜中。混合物於室溫下攪拌過夜，於過夜混合 後’ 5.83克U wt%三乙胺於卿之溶液加至反應混合: 中，以中和PTSA觸媒。 1320.02 克 PGMEA、311.98 克己燒和 311·98 克 m 水加 至釜中（第一次沖洗），攪拌最終混合物8分鐘，然後停止攪 拌，之後靜置混合物約1小時。183·86克第一水相層由釜 之底部移除，之後加入312·94克01水於爸中（第二次沖洗） 。混合釜中物質15分鐘，停止攪拌器，靜置物質約丨小時 。420.89克第二水相層由蚤之底部移除，加311·98克m 水至釜中（第三次沖洗）。釜中物質混合約15分鐘，停止攪 拌器，靜置物質約1小時。438·32克第三水相層由釜之底 部移除。 第三次沖洗後釜中留下的有機層轉置於旋轉蒸發系統中 ，其中THF、己烷、殘留水和部份PGMEA於眞空下和浴 溫爲55°C時移除。汽提混合物至最終溶液含有〇 〇6wt%水 和39·9 wt%總固體。pGMEA加至經汽提之溶液中，而產 生含有約30 wt%固體之溶液。固體產率爲約99%。此產物 之樹脂經GPC分析具Mw爲32,995和Xrel爲2.22。[相對 -14- 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） ----------—--------訂--------- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 53〇〇69

又聯（xrel)相當於（撤日匕、 之分子量）減丨]。子量除以樹脂中未交聯部份 本發明以特定較佶m +A 本發明概念可以有敘述’顯而易見地不脱離 種改變、修飾和變化飾和變化。因此，所有此 、、 欠化自於所附之申請專利範圍之精神和範 園中。又中所指之所有專利中請案、專利和其他公告案之 全文併於此供參考。 -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 530069 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六 修正

   Η 其中反應溶劑為四 其中酸性觸媒為甲 其中胺為三乙胺。 其中烴溶劑為己淚 其中光阻溶劑為丙 第88107442號專利申請案 中文申請專利辱圍修正本(9〇年3月) 、申請專利範务止本 1. 一種製備嵌段交聯聚羥基 法，包括以下步驟： 物…电化溶液之方 ⑴形：-種包編聚幾基苯 反應溶劑中之不純反應溶液； Μ觸媒木 (2) 加入胺、水、至少一種 種垤，合釗和至少一種光阻溶劑： 精以形成一水相和一有撫相 ’職相孩水相包含水和至少 一種胺/酸性觸媒之,蹢， 、+— ‘ 里和这有機相包含反應溶劑、 烴溶劑一、光阻溶劑和嵌段聚羥基苯乙雄樹脂； (3) 分離該水相和該有機湘；及. ⑷由該有機相移除烴溶劑和反應溶劑，因而形成嵌甚 聚羥基苯乙烯樹脂·於光阻溶劑之純化溶液。 2. 根據申請專利範圍第1項夕古 阅矛1貝又万法，其中孩嵌段聚羥基苯 乙烯樹脂之保護基團為第三_丁基乙烯醚。 3·根據申請專利範園第Η之方法，其中移除步驟包括簡 單蒸館。 4·根據申請專利範圍第1項之方法 吱喃。 5.根據申請專利範圍第1項之方法 續酸。 6·根據申請專利範圍第丨項之方法 7. 根據申凊專利範圍第1項之方法 8. 根據申清專利範圍第1項之方法 醇單甲基醚醋酸酯（PGMEA)。 9·根據申請專利範圍第1項之方法，其中於步驟（3)之名 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製 53〇〇69 A8 B8 C8 D8 申叫專利範圍 步驟（4)之前，分離之有機相以至少一次水沖洗操作。 1〇·根據申請專利範圍第1項之方法，其中嵌段聚羥基苯乙 缔樹脂為嵌段交聯聚羥基苯乙烯樹脂。 L根據申請專利範圍第i 0項之方法，其中嵌段交聯樹脂 係、、二由乙基乙婦醚作為保護基團先驅體和亞異丙基二 環己醇為交聯劑而形成。 12· 一種製備化學放〃大光阻調配‘物之方法，包括添加至少一 種光酸產生劑至申請專利範圍第1項方法所製得之嵌段 聚輕基苯乙烯樹脂之純化溶液 13. —種製備化學放大光阻調配物之方法，包括添加至少一 種光酸產生劑至申請專利範圍第10項所製得之事段交 聯聚輕基苯乙婦樹脂之純化溶液。 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)