TW526161B - Lid-detachable device for carrying container - Google Patents

Description

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五、發明說明（1) [發明所屬之技術領域] 係關於-種搬送容器之蓋裝卸裝置，使收 回荨之薄型基板，送之搬送容器，裝著於無塵室， u相互保持無塵度之狀態下裴卸其蓋。 [習知之技術] 圖21為顯示習知搬送容器之蓋裝卸震置的一例圖。 2的搬送容器之蓋裝卸裝置_具備：η隔間板1〇1， 1馬無塵度之空間Α與低無塵度之空間β隔開；2)開口部 2形成於隔間板1 0 1，使高無塵度之空間Α與低無塵度 之空間B聯通；3)扉103，使隔間板101之開口部1〇2開合； 4)閂機構104，具有設於扉103之2根定位栓1〇“，1〇41)和2 個T字鍵l〇4c，l〇4d，使搬送容器2〇〇之蓋2〇3上閂；及5)台 105，設於低無塵度之空間B側，載置搬送容器2〇〇，具有3 根定位栓l〇5a，105b，105c和1個鎖定鍵i〇5d。 搬送谷|§ 2 0 0為内部空間C保有高無塵度，並收容複數片 半導體晶圓（例如25片）之容器。 此搬送容器2 0 0具備：1)容器本體2 〇 1 ; 2 )開口部2 0 2， 設於容器本體201之一面；3)蓋203，具有供定位栓 104a，104b嵌合之栓孔204a，204b，及供T字鍵l〇4c，104d繫 合之鍵孔204c，204d ;及4)底面20 5，具有供台1〇5之定位 栓 105a，105b，105c 嵌合的剖面 V 字溝 205a，205b，205c，及 供鎖定鍵105d繫合之鍵孔205d。 將搬送容器200載置於台105上時，3根定位栓l〇5a〜105c 即嵌合剖面V字溝205a〜205c。此時，使未圖示之鎖定按鈕

90128888.ptd 第4頁 526161 五、發明說明（2) 為ON時，鎖定鍵l〇5d即上昇並傾斜而繫合鍵孔205d，同時 整個台105向隔間板1〇1側移動預定距離（約為3〇mm)，搬送 容器2 0 0即密接隔間板1 〇 1。隔間板1 〇 1之開口部2 〇 2及搬送 容器2 0 0之開口部2 0 2的外周，設有未圖示之圓環等的密封 材’糟由岔接而可保持無塵度。 藉由台1 0 5的移動，搬送容器2 〇 〇之蓋2 0 3即密接扉1 〇 3， 定位栓104a，104b嵌合蓋203之栓孔204a, 204b，T字鍵 l〇4c，l〇4d進入鍵孔2〇4c，204d。其後，經由未圖示之旋轉 起動器等，將T字鍵i〇4c，i〇4d轉動90度，爪204e〜204h被

拉進’谷裔本體201與蓋2〇3之鎖定即告解除。 接~著’藉由未圖示之驅動機構，扉丨〇 3被拉進空間a之内 側（箭頭D1) ’同時並下降（箭頭D2)，搬送容器2〇〇之内部 ^間c與隔間板ππ之内部，在仍保有高無塵度之狀 怨下變為聯通。 [發明所欲解決之問題] 、土前ί!ΐ之技術中，搬送容器20 0係以樹脂成型而製 ^104丨4型條件或溫度等，會發生若干歪斜，故對定^ 才王104&，1041)、蓋2〇<^夕4入"^〇。>1 附力“…噴卸或㈣

時，要確伴1; =2开〇〇收容超過直徑3〇0—之大口徑晶圓 之基準。因i;;2;(±〇.5mm)的話，是為相當嚴格 伴隨，乃考慮如；之述動作’可預料會有極大困1 (A)弟1方法係為將容器主體與蓋—，各以高精密度製

526161 五、發明說明（3) 台：台力:以調整而组裝。但是此方法在由別的搬送容 器使用1’發生必須重新調整之問題 m第2方法為使容器主體2〇1可作若 ;主㈣？蓋203之偏差。此方法可對較小變形發二 果，但若疋大變形即發生碰撞。即使製造後不久沒有問 ^但經過2〜3年後會發生經時性歪斜，而使情形每下愈 本發明之目的在於提供一鍤招 α ★ 對依據SEMI規格製作之各廄芮链各器之盍袭卸裝置，針 棋从„入 衣1下之各廠商的種種搬送容器，皆可使芸 構件開合，而且對於各廠商 ^ 件(溫度、濕度、使用條二=種搬运容益’⑹果使用條 之允許變形誤罢 ’、牛）有紇化，亦能滿足可正常動作 何構件衝突而進行K任何使用條件’搬送容器不會與任 [解決問題之手段] 為解決前述問韻^：, 裝置，係為使内部伴持提供-種搬送容器之蓋裝卸 構件，繫合到保f，回無塵度之搬送容器的開口部之蓋 前述兩開口部之、R 塵度之室的開口部之扉構件，並使 裝卸前述蓋構件jj f接以保持高無塵度，在此狀態下 備可決定前述蓋槿2运谷器之蓋裝卸襞置，其特徵為：具 位構件之位置的他▲之位置的定位構件，以及微調前述定 合前述蓋構件之I凋機構，以及保持由前述定位構件所繫 第2發明係於第J的位置保持機構。 下之特徵者，其φ X日月的搬送容器之蓋裝卸裝置中而具如 "’河述扉構件具備底板，及相對此底板 526161

五、發明說明（4) =沿=方向移動之對位板，前述定位構件設於前述對位 =，前述微調機構設於前述底板，支撐前述對位板使其可 述ϋΓ移動，前述位置保持機構設於前述底板，保持前 丁议板之位置。 下Γ特發於甘第f發明的搬送容器之蓋裝卸裝置中而具如 中央其中，具備對中機構’可使前述對位板回歸 第4發明係於第2發明的搬送容考苗 下之特徵者，I中又且備上之“卸裝置中而具如 其轴而旋轉，^人前述罢槿^構件，設於前述對位板，繞 】槿1動機構’設於前述底板側，以旋轉 J向，允許偏差，將前對位板之面 述上鎖構件。 铖構之紅轉力傳達到前 第5發明係於第2發明的搬送容芸 下之特徵者，其中前述位置 ς皿，卸破置中，具如 上前述蓋構件之前，解除前述在前述上鎖構件鎖 構件鎖上前述蓋構件之後， ^保持，在前述上鎖 下之特徵者，其中前器之蓋裝卸裝置中而具如 :送容器之開口部的插入動作：期：：述;插入前述 于、 將上鎖加以解 第7發明提供一種搬送容哭 ___ 盍構件，繫合到保持 $ 7頁 90128888.ptd 五、發明說明（5) 高無塵度之室的 ^ "〜 ---- 邊部密接以〇部之扉構件，並使前if + 搬送容“ί!高無塵度，在此狀態下;:：開口部之週 前述蓋構件而將其;：：其特徵為具傷：上鎖Ϊ;構;牛： :拉近前述扉構件側上i:及蓋固定機構，將前述上：； 件。 亚將w述蓋構件固定於前5 ΐ鎖構 第8發明提供— ，L非構 保持高無塵度之搬送二容的器門之蓋/，係為使内部 高無塵度之室的開口；部之蓋構件1合到保： 邊部密接以保持高無塵扉”，亚使前述兩開口部之週 搬送容器之蓋裝卸農度=此狀態下襄卸前述蓋構件之 前述蓋構件之被繫合部而為具備：定位構件，繫合 構，使前述定位構件 =^位置，以及定位固定機 定位固定於前述蓋構件；；化，而將前述定位構件 第9發明係於篦s欢ϋ f 口 4。 下之特徵者、，其中:j的，迗容器之蓋裝卸裝置中而具如 件之外周，具備藉由：J::定：構，設於前述定位構 如下之特徵者，其中，‘、、谷时之孤衣卸衣置中而具 位構件，it具備II機矜：述定位固定機構’形成於前述定 下之特徵者，其中谷益之蓋裝卸裝置中而具如 錐體；内胃，對前述：J :::::具備：外筒’前端具有 與前述外筒錐體相同角向可移動自如’前端具有 角度之錐體，前述兩錐體之配置在突 90128888.ptd 第8頁 526161

_ I 五、發明說明（6) — 出時使其玎連續；以及彈性椹彼 向。 生構件，將前述内筒頂到突出方 第12發明為第1發明的搬送容 下之特徵者…，具備：連結裝二= 搬送容器之連結姿勢；搬详△羿矯正機構，矯正前述 搬送至與前述定位構件之：：：位ΐ置前述搬送容器，將其 設在前述搬送容器下面的剖μ字’/及固定機構’包含 上而繫合前述剖面ν字溝的造έ士认溝及设在丽述搬送台 栓與前述剖面v字溝之接^ 。機構，設於前述連結 方向略呈直角之固定面觸乾圍’為與前述搬送台之搬送 第13發明為第1發明的搬 ， 搬送容器之連結姿勢，a你、，矯正機構，以矯正前述 將其搬送至與前述置前述搬送容器， 正機構設於前述扉構件之/〇=置，則述連結姿勢矯 前述搬送容器之蓋構件的;含壓住構件，以壓住 可動範圍内可朝與前述搬或：部’使其在預定之 移動。 、口 搬思方向的垂直方向自由 [發明之實施形態] 以下參照圖式等，舉出 明。 本^月之貫施形態，再詳加說 (第1實施形態） 圖1、圖2顯示依本發明 &明的搬运谷器之蓋裝卸裴置的第1

9〇128888.ptd 第9頁 526161 五、發明說明（7) 一 ---- 貫施形態，圖1為顯示概略之立體圖，圖2為前視圖。 此搬送容器之蓋裝卸裝置10，具備隔間板n，開口部 1 2，開合隔間板丨丨之開口部丨2的扉丨3，以及具有2根定位 栓14a，14b和2個T字鍵14c，14d，且使搬送容器2〇〇之苗2(n 開合的閂機構14等。 1 第1實施形態中，扉13具備底板13A，與對此底板UA可 對合位置而可在面方向移動之對位板丨3B。 又，在扉13之内部，設有4個微調機構2〇，2個對中機 30，4個位置保持機構4〇，2個偏心傳達機構5〇，以 固定機構60等。 圖3顯不關於第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的 機構（圖2之I 11部放大圖）。 "" 微調機構20為支撐對位板13B使其可在面方向移動，並 將定位栓14a，14b之位置加以微調之機構。此微調機構2〇 設於對位板13B之四偶（參照圖丨），具備：n安裝具21，以 螺絲部21a鎖緊固定於底板13八；2)螺母22，防止安裝具21 鬆弛1)承受構件23及球24，前者為插入安裝具21 ^自、由 軸承等，後者支撐於前者而可旋轉；4)對向板25，設於對 向側之底板框13A-1 ; 5)承受構件26，設於對向板25 ; 6) 球27，支撐於承受構件26而可旋轉；7)導板28，設於對位 板13B側而夾在球24與球27之間，但可移動。 此微調機構20，在定位栓14a，Ub嵌合搬送容器2〇〇之栓 孔204a，204b(參照圖21)的初期狀態下，依據定位栓 14a，14b前端之錐體配合栓孔2〇4a，2〇4b之錐體的動作，在

526161 五、發明說明（8) 面方向作預定量（例如上下左右3 m m)之移動。因此，即使 搬送容器200之栓孔204a，204b的位置多少有些誤差，也不 會衝突而容易嵌合。 圖4顯示關於第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的對中 機構（圖2之I V部放大圖）。 對中機構30為使對位板13B回歸中央位置（對中）之機 構。此對中機構3〇設有供水平方向（x方向）及鉛直方向（y 方向）用之2系統的機構，具備·· 1)壓板3 1 X，3 1 y ; 2 )固定 具32x，32y，將壓板31x，31y固定於底板13A ;3)線圈彈簧 3 3 X，3 3 y ’將壓板3 1X，3 1 y頂向中央側；4 )固定具 3 4x，3 4y，將線圈彈簧33x，33y之他端固定於底板13A ; 5) 導片35, 37，觸接壓板31χ，3ly ; 6)固定具36, 38，將導片 35,37固定於對位板138、底板13八。 壓板31x使導片35, 37歸位而在X方向成一直線。同樣 地’壓板3 ly使導片35, 37歸位而在Y方向成一直線。由以 上之作用，使對位板1 3B達到對中。 再者’雖未圖示，在圖2之左上，亦設有與右上圖示機 構對稱之機構。 對位板13B，藉由微調機構20，對於底板13A在面方向為 可動之故，並由於設有對中機構30，在定位栓14a，14b嵌 合搬送容器200之栓孔2〇4a，204b(參照圖21)的初期狀態 下 可經#對準預先設定之中心位置（無誤差之嵌合位 置）。 圖.5顯示關於第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的位置

90128888.ptd 第11頁 526161 五、發明說明（9) 保持機構（圖2之V-V剖面圖） 容：^之持甚 對於藉由定位栓14a，14b而繫合搬、、' 奋為200之盍構件203的對位板13β ::搬运 此位置保持機構40具備 夺，、位置之栈構。 13Α-1 U固疋板41，設於底板框 ，2)吕接頭43，介由圓環42連結固定板41 ，廿 連到未圖示之真空壓源的喷嘴 並具有 43,可吸著對位板13Β。贺*，3)及者塾“，設於管接頭 m，藉由微調機構20 ’對於底板13 可動之故’並由於設有位置保持機構4〇，❿可為 合搬送容㈣。之栓孔2〇4amb的位置 寸之位/不在:右下蓋!03之後再裝回去時，也能保持卸下 月，j之位置’不έ有衝突而可緊閉蓋2 〇 3。 圖6顯示關於第i實施形態搬送容器之蓋裝卸裝 傳達機構，圖6(a)為立體圖，圖6(b)為沿著圖2中之 ^ 線所作之剖面圖。 T字鍵14c(l〇4d)設於對位板13B之預定位置，繫合蓋2〇3 之鍵孔204c( 204d)，為鎖上蓋203之構件，由上鎖&動機 構70(參照圖2)加以驅動。此上鎖驅動機構7〇 側，由Τ字鍵14c(14d)為軸加以旋轉，為】行：== 之機構。 對位板1 3 B由於可動’愈輕愈好’因此上鎖驅動機構7 〇 等最好設於底板13A側。因而為了將上鎖驅動機構7〇之驅 動力傳達到T子鍵1 4 c (1 4 d )’乃設置偏心傳達機構& 〇。 此偏心傳達機構50，在底板1 3A與對位板1 之面方向，

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允δ午偏差’為將上鎖驅動擔播^ 鎖構件）的機構。動機構70之紅轉力傳達到Τ字鍵(上 此偏心傳達機構50，如圖6所示，設有：i)驅動 連結上鎖驅動機構70 ; 2)旋轉桿52，連結驅動桿51 杯而51 可旋 Γ ::!=部5广將旋轉桿52支撐於底板i3A而可旋轉自 :，U滾同53A，53B ’設於旋轉桿52 ;4)滑動圓板 ^在正反面設有正交之溝55a，55b，此等溝内即插入前 述傳達滾筒53A，53B與後述之傳達滚筒56A，56B ; 5)傳 筒56Α，56β。並具備與τ字鍵Hc(14d)同軸而設之旋轉板κ 57，以及將旋轉板57與τ字鍵14c(14d)之軸支撐於對位板 1 3 B之軸承部5 8，使其可旋轉自如。 此偏心傳達機構50，即使對位板13β在面方向可動範圍 内有偏差時，可將上鎖驅動機構7〇之旋轉力傳達到T字 1 4c( 1 4d)。 此處之上鎖驅動機構7 〇，如圖2所示，具備：1)馬達 71 ; 2)驅動螺絲73，以皮帶72傳達馬達71之旋轉；3)滑動 軸74 ’與驅動螺絲73平行而配置；4)移動塊75，支撐於滑 動軸74而滑動自如，並由驅動螺絲73驅動；5)軸承76，固 定於移動塊75而繫合驅動桿51之長孔。

軸承76在（a)之位置時，旋轉桿5 2亦在（a)之位置。軸承 7 6向右方移動而來到（b)之位置時，由於旋轉桿5 2之旋 轉’對應其旋轉量驅動桿51下降至2點鏈線之位置。軸承 76 ’由於固定於移動塊75，即使在（b)之位置，係在水平 方向與（a)相同位置。因此，雖然驅動桿5 1與軸承7 6之繫

90128888.ptd 第13頁 526161 五、發明說明（η) --- 合位置會發生偏差，但此偏差會被驅動桿51吸收。 圖7顯示關於第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的定位 固定機構（圖2之VII-VII剖面圖）。 定位固定機構60為，當定位栓14a, 14b繫合搬送容器2〇〇 之鍵孔（被繫合部）204a，204b而定位時，將定位栓14a=14b 定位固定於鍵孔204a，204b之機構。 ’ 此實施形態之定位固定機構60具備：1)流路61，設於定 位栓14a( 14b)之軸方向；2)流路62，設於徑方向而聯通流 路61 ;3)伸縮構件63，設於定位栓l4a(14b)之外周，以^ 丁橡膠（neoprene)等橡膠形成，藉由内壓之增減而伸縮； 4)配管64，聯通流路61 ·，5)固定具65，將配管64固定於定 位栓14a( 14b)之後端。 此定位固定機構60連到配管64未圖示之空氣壓迴路或真 空壓迴路，藉由增減定位栓14a〇4b)流路61，62之内壓， 伸縮構件63乃伸縮而填充與鍵孔2〇 4a，2〇4b之間隙，可固 定定位栓14a(14b)之位置。 圖8為顯不關於第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的控 ，機構之方塊圖，圖9〜圖12為顯示關於第i實施形態搬送 谷益之蓋裝卸裝置的動作例之流程圖。 、控制機構80具備檢測各可動部之位置的各種感測器81， 以及根據來自各種感測器81之位置檢測信號而產生控制後 述各驅動部之控制信號的控制器82，以及將來自控制器82 之控制信號轉換為適合各驅動部之驅動信號的驅動程式 83，以及被來自驅動程式83之驅動信號所驅動的驅動部，

526161 五、發明說明（12) 之* '麼的=’盖固疋用閥85 ’控制對蓋固定機構6Ο 4 )合σσ移動馬達8 6及扉移動馬達8 7 〇 接著參照圖9、圖1 〇說明蓋之開動作。 μ t制^82將位置保持用閥84驅動到解除側（步驟 γ . 以W) 1 0 1 )，以感測器確認到解除的話（s 1 0 2， ，即驅動容器移動馬達86而使搬送容器2〇〇前進 (S1 03)，再以感測器確認到搬送容器2〇〇已至結合位置 (S104，YES)，便停止容器移動馬達86。 在此狀悲下，藉由位置保持用閥8 4，位置保持機構4 〇已 被解除，故對位板13B乃獲得自由，並藉由對中機構移動 至中央位置。然後搬送容器2 〇 〇來到結合位置時，對於定 f栓14a，14b,，即使搬送容器20 0之栓孔2〇4a，2〇4b在允許 範圍内有偏差，對位板1 3B會由微調機構2〇移動，故能完 成搬送容器200之蓋203與靡13的結合。^ ^“ 接著，將蓋上鎖用馬達71驅動至下鎖側（s丨〇 5 )，使τ字 鍵14c，14d；k轉’拉進蓋2〇3之爪2〇4e〜204h，以感測器確 認到盍203之爪204e〜204h已拉進（下鎖）的話（si〇6， YES) ’便使蓋固定用閥85向固定側動作（S1 07)，使定位栓 1 4 a，1 4 b之伸縮構件6 3膨脹，以感測器確認與栓孔 204a，204b 之固定（S108，YES)。 此時，在S107動作之最後階段，即使定位栓14a，14b與 栓孔204a，204b已有偏差，對位板1 3b已移動，但因有偏心

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傳達機構50，故可使T字鍵1 4c，1 4d旋轉。 又，由於使定位栓14a，14b之伸縮構件63膨脹，與 204a，204b已固定，故可固定於正確之定位。 ”王 接著如圖1 0所示，驅動位置保持用閥84至保持側 (S1 0 9 ) ’以感測杰確纟忍到保持時（s 11 〇，γ e s )，便驅動掌 移動馬達87使其後退（SI 11 )，以感測器確認到後退時$ (S112，YES)，再驅動扉移動馬達μ使其下降（siig)，來 到下限位置的話（S114，YES)，便停止而結束處理。’ 在此狀態下，驅動位置保持用閥84至保持側，而保持在 對位板1 3B之位置，因此在進行後述蓋之閉動作時，亦保 有原位，扉之再結合時，不會衝突到搬送容器2 〇 〇之開口 部20 2 〇 接著參照圖11、圖1 2說明蓋之閉動作。 首先’控制器8 2 ’如圖11所示，驅動扉移動馬達8 7使其 上昇（S201)，來到上限位置的話（S2〇2，YES)便停止，再 驅動扉移動馬達8 7使其前進（S 2 0 3 )，以感測器確認到與搬 送容器20 0之再結合的初期時（S2〇4，YES)，驅動位置保持 用閥84至解除側（S205 )。以感測器確認到解除時（S2 0 6， YES) ’再度驅動扉移動馬達87使其前進（32〇7)，完成再結 合的話，使扉移動馬達87停止，以感測器確認與搬送容器 20 0之再結合的完成（S2〇8)。 接著’使蓋固定用閥85向解除側動作（S20 9 )，使定位栓 14a，14b之伸縮構件63收縮，以感測器確認與栓孔 204a，204b之解除（S2 10，YES)。然後，將蓋上鎖用馬達71

90128888.ptd 第16頁 526161 五、發明說明（14) 驅動至上鎖側（S211)，使τ字鍵I4c，i4d旋轉，使蓋203之 爪204e〜204h突出，以感測器確認蓋2〇3之爪2〇4e〜2〇4h已 突出而鎖上（S212， YES)。 最後，驅動容器移動馬達8 6而使搬送容器2 〇 〇後退 (S 2 1 3 )，以感測裔確認到搬送容器2 〇 〇已後退時（§ 2 1 4， YES)，便停止容器移動馬達86而結束蓋之閉動作。 (第2實施形態） 圖13〜圖16顯示依本發明搬送容器之蓋裝卸裝置的第2實 施形態之主要部，圖13為前視圖，圖丨4(a)為沿著圖13中 之A-A線所作之剖面圖，圖14(b)為沿著圖13中之B-B線所 作之剖面圖，圖1 5 (a)為沿著圖1 5 ( b)中之箭頭Ε：所作之箭 視圖，圖15(b)為沿著圖13中之c —c線所作之剖面圖，圖16 為沿著圖1 3中之D - D線所作之剖面圖。 第2實施形態之蓋裝卸裝置，為第丨實施形態之構造加上 在扉1 3側拉掛上鎖栓1 3 a，1 3 b (圖1 3中為垂下），且備將葚 203固定在扉13之蓋固定機構者。 八 孤 藉由未圖不之驅動機構的直線運動，被傳達至圖丨3之架 3 1 2犄，使叹合於此架3丨2之小齒輪3丨丨旋轉。此小齒輪3 j j 上以螺絲同軸鎖住圓板31〇。 此圓板310可作18〇。旋轉，以最初之9〇。旋轉使τ字鍵 1〇4f(1〇4d)旋轉，後面之9〇。旋轉將T字鍵l〇4c(104d)拉 進箭頭F方向，將蓋2〇3固定在扉13上（蓋固定機構）。 圓板309可作90。旋轉，裝在以螺絲同軸鎖在底板13八之 軸30 9a上，可旋轉自如，藉由形成於其下面之溝與鎖在圓

90128888.ptd 第17頁 526161 五、發明說明（15) 板3 1 0上面的旋轉體（軸承），圓板3丨〇之旋轉即被傳達。 此旋轉圓板3 0 9 ’如圖1 4 ( a )所示，介由移動體3 〇 8、軸 承307，連結旋轉圓板306。移動體308及軸承307，即使旋 轉圓板309與旋轉圓板306在圖13之上下方向或左右、前後 方向有偏差，亦允許其旋轉。 圓板3 0 5，介由支柱3 2 0及軸襯3 2 1 (參照圖1 3 )，連結旋 轉圓板30 6 ’並藉由彈簀相互推壓，故旋轉圓板3〇5、3〇6 乃一體旋轉。 T字鍵104c(104d)保持於保持台3 0 2上，可在軸方向移 動’保持台302連結有壓下板303。壓下板303設有軸承 304，軸承304轉動接觸於圓板3〇5上面。圓板305藉由彈簧 301頂到推上方向。由於圓板3〇5觸接保持台3〇2 , τ字鍵 104c(104d)乃正確定位於軸方向。 T字鍵104c(10 4d)藉由圓板310最初之90。旋轉，介由上 述機構而旋轉90。，因此可進行上鎖（或下鎖）之動作。此 時，由於具備移動體308及軸承3〇7(偏心傳達機構），即使 旋轉圓板309與旋轉圓板306在圖13之上下方向或左右、前 後方向有偏差，亦能傳達其旋轉。 另一方面，如圖13及圖15所示，滾筒318裝在設於底板 13A之托架322上，並接到圓板31〇下面，可防止圓板31〇垂 向下方。 圓板310之上面’如圖16(b)所示，形成有溝3i〇a。此溝 3 l〇a之底面，最上點3 l〇b與最下點3 l〇c之間為斜面。在此 溝3 1 0 a内裝入軸承31 3而可移動。軸承3 1 3係裝在支撐體

526161 發明說明（16) 324之下端，支撐體324則設於裝在托架322之軸環323上而 可滑動自如。支撐體324之上部為圓筒，介由彈簧315，支 柱316被插入。栓314設於支撐體324，為防止支撐體324旋 轉之拴。栓31 4繫合設於托架322之長孔，故即使支樓體 3 24上下移動，亦不會使栓3 14旋轉。 台座317鎖在壓下板303，其下端接到支柱316之上端。 壓下板303以栓319支# ’可旋轉自如，台座μ?由於受到 推上力（箭頭G )朝圖1 3之反時針方向旋轉，將壓下，值磕 到設於他端之軸承304。 “下力傳達 亦即，壓下板303，由於圓板310後來之9〇。旋轉，介由 上述機構，壓下T子鍵104c(104d)，而可將搬送容器2〇〇之 盍203固定在靡13上。 依苐2貫施开> 悲，藉由1個驅動源，即可進行τ字鍵 l〇4c(104d)的旋轉動作與將蓋2〇3固定在扉13上之τ字鍵 l〇4c(104d)的拉進動作。而且，同時具備偏心傳達機構， 允許底板13A與對位板13B有偏差。 (第3實施形態） 圖1 7顯示依第3實施形態的搬送容器之蓋裝卸裝置的位 置保持機構。 此位置保持機構440具備：1)固定板441，設於底板框 (未圖示）；2)底板445，設於固定板441 ; 3)本體443，介 由圓環442連結底板445，具有與真空壓源451連結之喷 嘴；4)吸著墊444，設於本體443，可將底座444a吸著於對 位板13B。 '

526161 五、發明說明（17) 此實施形態並在吸著墊444與底板445之間形成空間 446。底板445設有喷嘴447，使此空間446與空氣壓源452 聯通。 真空壓源451介由電磁閥SV1及SV2，連結本體443之喷 嘴，空氣壓源452介由電磁閥SV3，連結喷嘴447。 電磁閥S V1之N C埠’聯通真空壓源4 5 1，N 0崞聯通大氣， C埠聯通電磁閥SV2之C埠。電磁閥SV2之NC埠，聯通喷嘴 44 3，NO埠聯通電磁閥SV3之NC埠。電磁閥SV3之C埠，聯通 空氣壓源4 5 2，N 0埠則被遮斷。 使真空壓源4 5 1抽真空，以空氣壓源4 5 2供給高壓空氣， 如圖17所示，若電磁閥SV1、SV2、SV3在^埠側，則吸著 墊444之座部444a由於空間446之加壓被壓到對位板'13β 側，同時座部444a内側之空間448變為負壓之故，即可迅 速進行吸著墊444之密接。 另：卜’若巧電磁閥SV1切換到N0埠侧，先使空間“8開放 至大氣，接著將電磁閥SV2、SV3切換到NO埠側，使六間 446開放至大氣’再將電磁閥SV1切換聰埠側的話，空間 446被吸收，即可迅速進行吸著墊4以之開放。 依第3實施形態，可雜媒 放的嗖果。再> ^^' 速進行對位板13Β之密接及開 射:板1之動V 部444a離開對位板ΐ3Β之故， 對位板1 3Β之動作即可順暢進行。 (第4實施形態） 送容器之蓋裝卸裝置的定 圖1 8顯示依第4實施形態的搬 位構件。

90128888.ptd 第20頁 526161 發明說明（18)

圖18 (c )為現行之古务 ^ ^ . A 在5 〇二卜1. 5mm以上時 視搬送容器20 0側之栓孔2〇4a的 = ^ c 方式，右疋位栓14a與栓孔204a之偏差 ^ i5〇"l ^ Μ I ； ； ；! # ^ ^ ^01 ^ ^ ^ 502 〇 ΐλ Ά ^ ,1 jn] 冓件，具備在别端所形成之錐體50 1 a， 以及在外側所形成夕炫 成之銬# 5 0 1 b，以及在内側所形成之段部 …"又於鍔部5 〇 1 b後方之螺絲部5 〇 1 d等，以鍔部 5 0 1 b固疋於對位板u b。 二 插入外筒501之筒狀構件，具備在前端所形成 ”卜请1錐體50 1 Μ目同角度之錐體502a，以及在後端外 側所形成之鍔部5 0 2b，鍔部5〇21)繫合段部5〇lc，將突出位 置限制於預定長度。 彈簧503插入於内筒5〇2内側，使内筒5〇2頂到突出方 =。螺母504内鎖入外筒501之螺絲部501d，將外筒501固 定在對位板13B，同時限制彈簧5〇3後端之位置。 如圖18(a)所示，外筒5〇1與内筒5〇2為相同角度，具備 比以往更銳角且更長之錐體5〇la，5〇2a，故即使偏差為51 =3·0〜3.5mra，也可連結順暢。 又，如圖1 8 (b)所示，連結結束後，内筒5 〇 2頂住彈筈 503之彈力而退避，故可收容於與以往搬送容器2〇〇之栓孔 204a 相同深度（l = iimm)。 (第5實施形態） 厶 圖1 9顯示依第5實施形態的搬送容器之蓋裝卸裝置的 定位構件。

90128888.ptd 第21頁 526161 五、發明說明（19) 台1 5 (參照圖2 1之台1 0 5 )之定位栓1 5 a〜1 5 c，配置如圖 19(b)。因此台15朝箭頭Μ方向前進時，v字溝2〇5c係與進 行方向平行之故，雖然不會發生多餘之力，V字溝 205a，205c會發生將搬送容器200朝箭頭N(N1)方向推上之 力。 其結果，如圖19(d)所示，在搬送容器2〇〇以定位栓15c 為中心，朝箭頭P(P1)方向發生旋轉力。因此搬送容器2〇〇 之前端上部即自隔間板11拉開，可能引起密封不良等。 第5實施形態之搬送容器600，在其下面所形成之v字溝 605a(605b，605c)，由於設有垂直之固定面 605a-l( 60 5b-l，60 5c-l)，故可接到定位栓i5a(i5b，15c) 的垂直之固定面15a-1 (15b-1，15c-1)(結合姿勢矯正機 構），故即使加上水平方向之壓力，也不會發生將搬送容 器6 0 0推上之力。 (第6實施形態） 圖20顯示依第6實施形態的搬送容器之蓋裝卸裝置的定 位構件。 第5實施形態對於現在所使用之搬送容器2 〇 〇，無法配 合’要加以變更亦須進行型之修正。為此，在第6實施形 態中乃設有結合姿勢矯正機構700，以矯正搬送容器2〇〇之 連結位置。 此結合姿勢矯正機構7 〇 〇，設於連結搬送容器2 〇 〇之蓋框 部207之扉框部16的上部與側部，具備：丨）旋轉體7〇1，為 接到蓋框部2 0 7之軸承等；2 )可動板7 0 2，以右上端之軸

90128888.ptd 第22頁 526161 五、發明說明（20) =2^支樓而可旋轉自如，前述旋轉體7〇1即設於其左端而 :方疋轉自如，3)連結構件705，將彈菁7〇4爽在固定板7〇3 ”可動板702之間，以將旋轉體7〇1壓向蓋框部2〇7而連結 ^ :同時並限制可動板702之反時針方向（_)之旋轉位 ^4)限制構件706 ’設於固定板7〇3 ’限制可動板7〇2之 順蚪針方向（箭頭R )之旋轉位置。 3體7〇1由於其旋轉’可朝台15之移動方向(箭頭m)自 由於可動板702之旋轉，可朝與移動方向(箭 ^直角方向自由移動。然後，旋轉體701藉由彈箬704， C壓向搬送容器200而配置。又’旋轉體m介由可動板 H可動範圍受限於依連結構件m之最小壓出位置盥依 限制構件706之最大壓出位置。 ®伹罝”依 伴:ί破t 2容器2〇0之結合位置可壓住上部與側部，而 保有正確安勢以允許結合姿勢。 (變形形態） 之ίΓίΞ:限定於以上所說明之實施形態，可加以種種 之、父$或變更’此等皆在本發明之範圍内。 加=7所示蓋固定機構，係以使用伸縮構件63者為例 元二5广呈產生機械性變化，以固定與栓孔之位置。 L疋件編遽之說明] 10 蓋裝卸裝置 11 12 隔間板 開口部

526161 五、發明說明（21) 13 扉 13A 底板 13A-1 底板框 13B 對位板 14 上閂機構 14a, 14b 定位栓 14c, 14d T字鍵 15a〜1 5c 定位栓 15a-l(15b- 1 、 15c-1) 20 微調機構 21 安裝具 21a 螺絲部 22 螺母 23 > 26 承受構件 24 > 27 球 25 對向板 28 導板 30 對中機構 3 1 x、3 1 y 壓板 32x 、 32y 固定具 33x 、 33y 線圈彈簧 34x 、 34y 固定具 35 ^ 37 導片 36 ^ 38 固定具 固定面

90128888.ptd 第24頁 526161 五、發明說明（22) 40 位置保持機構 41 固定板 42 圓環 43 管接頭 44 吸著墊 50 偏心傳達機構 51 驅動桿 52 旋轉桿 53A 、 53B 傳達滾筒 54 軸承部 55 滑動圓板 55a 、 55b 溝 56A 、 56B 傳達滾筒 57 旋轉板 58 轴承部 60 固定機構 61 >62 流路 63 伸縮構件 64 配管 65 固定具 70 上鎖驅動機構 71 馬達 72 皮帶 73 驅動螺絲

90128888.ptd 第25頁 526161 五、發明說明（23) 74 滑 動 軸 75 移 動 塊 76 軸 承 80 控 制 機 構 81 感 測 器 82 控 制 器 83 驅 動 程 式 84 位 置 保 持 用 閥 85 蓋 固 定 用 閥 86 容 器 移 動 馬 達 87 扉 移 動 馬 達 100 蓋 裝 卸 裝 置 101 隔 間 板 102 開 D 部 103 扉 104 閂 機 構 104a 、104b 定 位 栓 104c 、104d T字鍵 105 台 105a 、105b ^ 105 C 105d 鍵 200 搬 送 容 器 201 容 器 本 體 202 開 D 部 定位栓

90128888.ptd 第26頁 526161 五、發明說明（24) 203 蓋構件 204a 、 204b 栓孔 204c(204d) 鍵孔 204e〜204h 爪 205 底面 205a〜205c V字溝 20 5d 鍵孔 207 蓋框部 301 彈簧 302 保持台 303 壓下板 304 軸承 305 圓板 306 旋轉圓板 307 轴承 308 移動體 309 旋軸圓板 310 圓板 310a 溝 310b 最上點 310c 最下點 311 小齒輪 312 架 313 軸承

90128888.ptd 第27頁 526161 五、發明說明（25) 314 栓 315 彈簧 316 支柱 317 台座 318 滾筒 319 栓 320 支柱 321 軸襯 322 托架 323 軸環 324 支撐體 440 保持機構 441 固定板 442 圓環 443 本體 444 吸著墊 444a 底座 445 底板 446 空間 447 喷嘴 448 空間 500 定位構件 501 外筒 501a 錐體

90128888.ptd 第28頁 526161 五、發明說明（26) 501b 鍔部 5 01c 段部 5 0 1 d 螺絲部 5 02 内筒 5 0 2a 錐體 5 02b 鍔部 5 0 3 彈簧 5 04 螺母 6 0 0 搬送容器 605a(605b、605c) V字溝 605a-l(605b-1 、 605c_l) 固定面 70 0 姿勢矯正機構 701 旋轉體 702 可動板 7 0 2a 轴 703 固定板 704 彈簧 7 0 5 連結構件 70 6 限制構件 SV1、SV2、SV3 電磁閥

90128888.ptd 第29頁 526161 圖式簡單說明 圖1為顯示本發明之搬送容器之蓋裝卸裝置的第1實施形 態的概略立體圖。 圖2為顯示本發明之搬送容器之蓋裝卸裝置的第1實施形 態的前視圖。 圖3為顯示第1實施形態之搬送容器之蓋裝卸裝置的微調 機構的圖，其中，圖3(a)為前視圖’圖3(b)為圖2之in部 放大圖。 圖4為顯示第1實施形態搬送谷為之蓋裝卸裝置的對中機 構的圖，其中，圖4(a)為前視圖，圖4(b)為圖2之1¥部放 大圖。 圖5為顯示第1實施形態搬送容器之蓋裝卸袭置的位置保 持機構的圖（圖2之V-V剖面圖）。 圖6為顯示第1實施形態搬送谷裔之蓋裝卸裝置的偏心傳 達機構的圖，其中，圖6(a)為立體圖，圖6(b)為沿著圖2 中之VI - V I線所作之剖面圖。 圖7為顯示第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的定位固 定機構的圖（圖2之VII-VII剖面圖）。 圖8為顯示第1實施形態搬送容器之蓋裝卸裝置的控制機 構之方塊圖。 工 之蓋裝卸裝置的動作例 圖9為顯示第1實施形態搬送容器 (i之開動作之1)之流程圖。 之蓋裝卸裝置的動作 之盍裝卸裝置的動作 圖10為顯示第1實施形態搬送容器 例（蓋之開動作之2)之流程圖。 圖11為顯示第1實施形態搬送容器

^128888. ptd 第30頁 526161 圖式簡單說明 例（蓋之閉動作之1)之流程圖。 圖12為顯示幻實施形 例（蓋之閉動作之2)之流程圖。㈠之盍瓜卸裝置的動作 圖1 3為顯示依本發明# 形態之主要部的前視圖。、^盍裝卸裝置的第2實施 圖1 4為顯示依本發明 形態之主要部的圖，之蓋裂卸裝置的第2實施 作之剖面圖，圖14(b)V；圖 ==沿著圖之Α-Α線所 圖。 馬σ者圖1 3中之B-B線所作之剖面 圖1 5為顯示本發明搬 態之主要部的圖，盆中二裝卸裝置的第2實施形 所作之箭視圖，圖圖1繼―^ 圖。 者圖1 3中之C-C線所作之剖面 圖16(a)、（b)為顯示本發 ^ 2實施形態之主要部的圖， 氣迗各器之蓋裝卸裝置的第 面圖。 ° 者圖13中之D - D線所作之剖 圖1 7為顯示第3實施形態之搬、、，六的朴 置保持機構的圖。 运谷器之蓋裝卸裝置的位 圖i8(a)〜（c)為顯示第4實 置的定位構件的圖。 、她形態之搬送容器之蓋装卸裝 汽施形態之搬送容器之蓋裝卸裝 圖19(a)〜（d)為顯示第5實 置的台定位構件的圖 圖2 0 (a)、（ b)為顯示第6實 & 裝置的定位構件的圖。 施形悲之搬送容器之蓋裝卸

526161 圖式簡單說明 圖2 1為顯示習知搬送容器之蓋裝卸裝置的一例圖。 ill 90128888.ptd 第32頁

Claims (1)

1. 526161 六 申5月專利範圍 _ ^ ! I丨丨 1 · 一種拍庀、萁六 之室的開口部之虛福姓 t孤構件，繫合到保持高無塵度 以保持高無塵度，在此狀能^ =開口部之週邊部密接 之置，其特徵為：具;P丽述蓋構件之搬送容器 件：位置的：2:之位置的定位構件’微調前述定位構 前述蓋構件:及保持由前述定位構件所繫合之 2. 如申：直气 置保持機構。 之對位板，前述定位構件設於Ϊ，此底板可沿面方向移動 、位置保持機構設於前述；：板方向移動’前 3. 如申請專利範圍第2項之搬逆f二述對位板之位置。 中，具備對中機構，可使前述對卸裝置，其 4. 如申請專利範圍第2十$回知中央位置。 t，又具備上鎖構件，設於前之蓋裳却裝置，其 繫合别述蓋構件，而可上鎖或下鎖.、f且繞其軸而旋轉， 構，設於前述底板側，用以旋轉具傷上鎖驅動機 偏了傳達機構，在前述底板與前述^述上鎖構件；以及 偏差，將前述上鎖驅動機 ^立板之面方向，允許 件。 疋轉力傳達到前述上鎖構 5·如申請專利範圍第2項之搬、关^ 中，前述位置保持機構，在前，f器之蓋裝卸裝置，其 _ 4上鎖構件鎖上前述蓋構件 90128888.ptd 第33胃 526161 ’、申清專利範圍 ’解除前述對位板之保 —^ I件之後，保持前述對位板。則述上鎖構件鎖上前述 .&如申請專利範圍第4項之 ^ ，珂述上鎖構件，在前述芸=各器之蓋裴卸裴置，I 口部的插入動作初期階段，；=入前述搬送容器之開 二-種搬送容器之蓋裂卸f w加以解除。 之；:之搬送容器、的開Π部之蓋構件?使内部保持高無 的開口部之靡構件，並；合到保持高無塵度 呆持咼無塵度’在此狀態下‘二？ 口部之週邊部密接 將其鎖上；以=定：上構件，繫合前述蓋； 4扉構件側，並將前述蓋構件 ^述上鎖構件拉近前 塵8r種搬送容器之蓋裝却裳置，Λ述扉構件。 :之搬送容器的開σ部之蓋構件，^人使内部保持高無 至的開口部之扉構件，並繫5到保持高無塵度 ，持高_，在此狀態下；：r; 口部之週邊部密接 :蓋軸置，其特徵為構件之搬送容器 之被繫合部而決定其位置 件，繫合前述蓋構 ί位構件之外徑產生變化，“；二固定機•，使前述 月』9述盍構件之被繫合部。 ’L疋立構件定位固定於 9.如申請專利範圍第8項之搬送 !由=位固定機構，設於前述定二 =::Γ，其 i之增減而伸縮的伸縮構件。 卜周，具備 °·如申請專利範圍第8項之搬送容器之蓋“裝置， 9〇128888. Ptd 第34頁 526161

   $中’前述定位固定機構，形成於前述定位構件，並具備 藉機械性之力使其徑產生變化的割開部。 11 ·如申請專利範圍第1項之搬送容器之蓋裝卸裝置， Ϊ中’二述定位構件具備外筒，前端具有錐體；内筒，對 ^述外筒在軸方向可移動自如，前端具有與前述外筒錐體 =同角度之錐體，前述兩錐體之配置在突出時使其可連 、1 乂及彈性構件，將前述内筒頂到突出方向。 其=·，t申請專利範圍第1項之搬送容器之蓋裝卸裝置， 姿勢；iί結安勢矯正機構，矯正前述搬送容器之連結 位構件之=i，載置前述搬送容器，將其搬送至與前述定 器下面的；以及固定機才冓，包含設在前述搬送容 面V字溝的連纟士 γ溝以及設在前述搬送台上而繫合前述剖 台，前述連結，而將前述搬送容器固定於前述搬送 V字溝之接觸°範^矯正機構，設於前述連結栓與前述剖面 之固定面。 ，為與前述搬送台之搬送方向略呈直角 其中，圍第1項之搬送容器之蓋裝卸裝置， 結姿勢，以及搬：ΐ矯正機構，以矯正前述搬送容器之連 前述定位構件之結二：置芝述搬送容器，將其搬送至與 述扉構件之週邊部I勺人颅則述連結姿勢矯正機構設於前 ，蓋構件的上部及；二住構件’以壓住前述搬送容器 朝與前述搬送台‘：：的之可動範圍内可 直万向自由移動。