522040 A 7 B7 五、發明説明（）） 〔發明所示之技術領域〕 本發明，係關於防止在如配管或擦洗器的管體中流之 流體接觸在管體的內壁，例如粉塵之流體的構成物附著在 管體內壁，或爲了將附著物噴走或者淸洗用之管內淸潔裝 置。 〔習知技術〕 如在圖7，圖8所示地，在半導體製造工程所使用的 各種程序氣體將被供給CVD裝置（27)，在CVD裝 置（2 7 )內引起各種化學反應，而進行澱積，乾式蝕刻 或淸潔等關於半導體晶片處理之各種處理。其後，將成爲 排出氣體（3 1 )被從CVD裝置（27)排出。此時， S i H4或S i H2C 1 2等將做爲程序氣體被使用，而被 供給至（：¥0裝置（2 7)，可是此等之大半係對人體有 害且具有爆炸性。 程序終了後，在從C V D裝置（2 7 )被排出的排出 氣體（3 1 )內有被供給CVD裝置（2 7 )的程序氣體 之未反應部份殘留，並且被含有由在.CVD裝置（2 7 ) 內的反應新生成之有害，爆發性成份和粉塵（3 0 )等。 如此的從C V D裝置（2 7 )被排出之排出氣體（ 3 1)，在已往，係先以大量的務爲稀釋，使排出氣體（ 3 1 )之濃度成爲爆發界限以下後，將空氣混入至規制値 以下予以稀釋，而被採取直接排放至大氣之方法。 可是，對溫室效果和大氣•土壤•水質污染等，從保 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、! 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印^ • 4 _ 522040 A7 _____B7 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 護環境的觀點，逐漸被規制大氣排放，最近已被設置爲了 將在半導體製造工程發生的排出氣體（1 1 )除害用之除 害裝置（29)。因此，在CVD裝置（27)內被使用 ’或由其他裝置的化學反應發生之有害，爆發性排出氣體 (3 1 )和粉塵（3 0 )，或者排出流體，將流經配管（ 22)而被搬送至除害裝置（29)，可是其排出氣體（ 3 1 )中的粉塵（3 0 )將接觸配管（2 2 )之內壁附著 ，逐漸堆積而使管路變成狹窄。 經濟部智慧財產局貞工消費合作社印製 附著在配管（2 2 )內壁而積層的粉塵（3 0 )必須 去除，而需要定期性之維護。雖然維護通常係打開被設在 配管（2 2 )的一部份之檢查口（ 2 3 )，通以刷子拂落 積層的粉塵（3 0 )，由將此回收而進行，可是，即使在 維護前充份地氮氣沖洗，把殘留在配管（2 2 )內之有害 ，爆發性排出氣體（3 1 )事先去除，多少會殘留在粉麈 (3 0 )內，也有使檢查口（ 2 3 )開口時，和流入配管 (2 2 )內的空氣中之氧氣引起反應而爆炸的危險性。因 此，在粉塵（3 0 )過剩地積存之前，需要進行維護，而 必須頻繁地進行維護。 並且，在維護時必須停止C V D裝置（2 7 )的運轉 ，如果頻繁地進行維護時，將會降低運轉率，也有會損害 生產性之問題。因此’儘可能抑制粉塵（3 0 )等附著在 配管（2 2 )的內壁’盡可能減少維護次數，在安全性和 生產性之點爲重要課題。而且’在除害裝置（2 9 )的擦 洗器（3 2 )也有相同之問題。亦即’在擦洗器（3 2 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 522040 經濟部智慧財產局3工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 的頂部，插入有連接在配管（2 2 )之排氣導入管（3 3 )，在其周面被形成有水供給部（3 4 )，從水供給部（ 3 4 )流出的水（3 6 )將洗淨擦洗器（3 5 )之內周面 ，使之沖洗附著在內周面的粉塵（3 0 )。因此，雖能防 止粉塵（3 0 )附著在擦洗器本體（3 5 )之內周面，可 是在被水冷的排氣導入管（33)之內周面（33a)， 溫度高的排氣（3 1 )接觸而被急冷，排氣（3 1 )及被 包含在混入排氣（3 1 )的周圍氣體所包含之水份將結露 ，而將附著在前述內周面（3 3 a )。排氣（3 1 )中的 粉塵（3 0 )由該結露水被捕集，逐漸增加其層，最後將 會堵塞排氣導入管（33)。如此地，被包含在排氣（ 31)中之粉塵（30)，將堆積在從CVD裝置（27 )的出口至擦洗器（3 2)之排氣導入管（3 3)的出口 之所有處形成層，而成爲堵塞管體的原因。 〔發明所要解決之課題〕 本發明的解決課題，係開發防止被包含在從製造設備 的排出流體中所包含之粉塵等其構成成份將附著在配管和 擦洗器等的管體內壁，或把附著者噴走或者沖洗的管體之 淸潔裝置。 〔爲了解決課題之裝置〕 申請專利範圍第1項的管體（K )內部之淸潔裝置（ 1 ) ’其特徵爲，「由向流體的流動方向，具有從外面向 本“尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（21(^297公廣)^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 522040 A7 _B7_ 五、發明説明（4 ) 內面如傾斜地貫通地被形成的開口部（6)之管本體（4 )，和被配設成如周圍開口部（6 )的外筒部（3 )，及 被配設在外筒部（3 )與管本體（4 )之間的集中處空間 (7)內，其流體噴出口（ 5 a )在管本體（4)之周方 向開口的流體噴出部（5 )被構成」者。 據此，保護流體（1 0 )將從流體噴出部（5 )被噴 出至流體積存空間（7)內，一面將管本體（4)周圍旋 轉且向開口部（6 )如畫螺旋地以高速流動。其後，保護流 體（10)將從開口部（6)被噴出至管本體（4 )內’更在被連 接在管本體（4)之一般配管（2)或擦洗器（2 4)等 的管體（K )內流動。前述保護流體（1 0 )之流動方式 ，在此等一般配管（2)或擦洗器（2 4)等的管體（κ )內，也和管本體（4 )同樣地沿管體（·Κ ) ^之內壁，由 離心力一面畫螺旋且在內壁面形成流體層（1 1 )，向排 出流體（2 0 )的流動方向流。如此地，由保護流體（ 1 0 ) —面接觸在管體（Κ)之內壁面前進，在管體（Κ )的內周面將被形成螺旋流之流體層（1 1 )。 如此地在內壁面被形成螺旋流的流體層（1 1 )時， 前述流體層（1 1 )將達成保護從開口部（6 )至管本體 (4 )及與此連接的一般配管（2 )或擦洗器（2 4)等 的管體（Κ )之內壁面的任務，在管體（Κ )流動之排出 流體（2 0 )將不會直接接觸在內壁面，而能夠抑制排出 流體（2 0 )的粉塵附著在內壁面。因此，打開檢查口將 一般配管（2 )或擦洗器（2 4 )等之管體（Κ )內刷洗 本紙*張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）—: ' "~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 522040 A7 _B7_ 五、發明説明（5 ) ，甚至於將一般配管（2 )拆部，或把擦洗器（2 4 )解 體，將附著在內壁面或堆積的排出流體（2 0 )之粉塵排 出的維護次數減少。 申請專利範圍第2，3項的管體（K )內部之淸潔裝 置（1 )，係將申請專利範圍第1項之淸潔裝置（1 )的 連接對象限定者，其特徵爲，「管本體（4)，成爲將被 連接在一般配管（2)」者，後者之特徵爲，「管本體（ 4)，成爲將被連接在擦洗器（24)的排氣導入口（ 2 5 )」者。 據此，因本發明之淸潔裝置（1 )係獨立地被構成， 能夠在一般配管（2 )的途中之適當位置或擦洗器（2 4 )的頂部之排氣導入口（ 2 5 )配設淸潔裝置（1 )。因 此，配設在一般配管（2 )的淸潔裝置（1 )之個數也能 夠任意地決定，並且在已設的一般配管（2 )或擦洗器（ 2 4 )，也能夠把淸潔裝置（1 )新配設或追加。 申請專利範圍第4項之淸潔裝置（1 )，係將申請專 利範圍第1項至第3項中的任何1項之淸潔裝置（1 )限 定者，其特徵爲，在流體積存處空間（7 )內被配設有加 熱器（9 )者。 從流體噴出部（5 )被噴出的保護流體（1 0 )雖然 已被壓縮，可是被噴出在流體積存處空間（7 )內時，將 由斷熱膨脹而溫度會降低。對此根據本申請專利項目時， 因在流體積存處空間（7 )內配設有加熱器，能夠把溫度 降低的保護流體（1 0 )加熱。結果’例如在排出流體（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） -8 - 522040 A 7 B7 五、發明説明（6 ) 2 0 )中，有腐蝕性成份以氣體狀被含有，當溫度降低時 將結露而腐蝕一般配管（2 )時，能夠由將保護流體（ 1 0 )加熱，而防止排出流體（2 0 )之結露，而有效地 保護一般配管（2)或擦洗器（24)等之管體（K)。 申請專利範圍第5項之淸潔裝置（1 )，係將申請專 利範圍第1〜4項中的任何1項之淸潔裝置（1 )喝定者 ，其特徵爲，流體積存處空間（7 )，被形成向開口部（ 6 )逐漸變窄。 從流體噴出部（5 )被噴出的保護流體（1 )，雖然 將向開口部（6 )流，可是根據本申請專利項目時，因隨 著接近開口部（6 )將成爲狹窄，保護流體（1 〇 )將隨 著接近開口部（6 )而被壓縮。結果，從開口部（6 )被 噴出至管本體（4)內的保護流體（1 0)之壓力也將變 大，能夠在管本體（4 )的內壁面，確實地形成流體層（ 11)。 申請專利範圍第6項，係將申請專利範圍第1〜5項 中的任何1項之淸潔裝置（1 )更限定者，其特徵爲，在 流體積存處空間（7 )內，從流體噴出部插入部（1 2 ) 至開口部（6 )，有隔壁（8 )被設成螺旋狀者。 據此，由被設成螺旋狀的隔壁（8 )，因從流體噴出 部（5 )被噴出的保護流體（1 0 )之流動，將被限制在 前述隔壁（8 )間，在到達開口部（6 )之前，能夠防止 停止在流體積存處空間（7 )內，而形成順利的保護流體 (1 0 )之螺旋流。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局肖工消費合作社印製 -9- 522040 A7 B7 五、發明説明（7 ) 〔發明之實施形態〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1係顯示半導體製造工程之圖，顯示CVD裝置（ 17)，和使排出流體（2 0 )從前述C V D裝置（1 7 )排出的排出扇（1 8 )，和排出流體（2 0 )將通過之 一般配管（2 )和本發明的淸潔裝置（1 )，及把排出流 體（20)除害之除害裝置（19)。擦洗器（24)係 除害裝置（1 9 )的1構成元件，在圖2顯示其1例。 接著，將本發明之淸潔裝置（1 )依照實施例說明。 第1實施例的淸潔裝置（1 A )係如圖3所示，由排出流 體（20)將流通之管本體（4)，和被配設在前述管本 體（4)的周圍之外筒部（3)，和被配設在前述管本體 (4 )與前述外筒部（3 )之間的流體積存處空間（7 ) 內之流體噴出部（5 )及加熱器（9 )所構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因管本體（4 )的內徑係和一般配管（2 )擦洗器（ 24)的排氣導入口（2 5)之內徑相同，故此等將以內 徑一致的狀態一體地被連接。並且在管本體（4 )經管本 體（4 )之全周，使開口部（6 )向排出流體（2 0 )的 流動方向，從外面向內面傾斜貫通地被形成。雖然開口部 (6 )係如前述地被形成傾斜’可是由後述之理由’開口 部（6 )的角度（α )係以對管本體（4 )愈銳角愈理想 。而且，在管本體（4 )之上游側及下游側的各端部’配 設有凸緣（15) ，（16)，此等凸緣（15) ’ （ 16)被與一般配管（2)之凸緣（15a) ’ （16a -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 522040 A7 B7 ---- 五、發明説明（8 ) )或擦洗器（2 4 )的排氣導入口（ 2 5 )之凸緣（2 6 )連接。 在管本體（4 )的外周如圍繞開口部（6 )地配設有 圓筒狀之外筒部（3 ),在與管本體（4 )之間被形成有 流體積存處空間（7 )。外筒部（3 )的上游側之端郃， 雖然被固定在管本體（4 )的上游側之端部，可是一方面 外筒部（3 )的下游側之端部係成爲主圍統開口 "卩（6 ) 的位置爲止，流體積存處空間（7 )係經由開口部（6 ) 連通在管本體（4 )內° 在外筒部（3 )的開口部（6 )附近’被設有流體噴 出部插入部（12)，並且在前述噴出部插入部（12) 的上游側，被設有加熱器線插入部（1 4 )。雖然在本實 施例，加熱器線插入部（1 4 )係被設在噴出部插入部（ 1 2 )之上游側，可是也可以和該配置相反地’把噴出部 插入部（1 2 )設在加熱器線插入部（1 4 )之下游側。 從設在外筒部（3 )的開口部（6 )附近之流體噴出 部插入部（12)，有流體噴出部（5)被插入在流體積 存處空間（7 )內，其前端部份被彎曲而其流體噴出部（ 5 a )係在管本體（4 )的周方向開口。再者，雖然在本 實施例，流體噴出部（5 )係在管本體（4 )之周圍，被 設在對向的2處，可是並不限定於2處，流體噴出部（5 )之個數愈多，愈能形成壓力高的保護流體（1 0 )之水 流。而且從加熱器線插入部（1 4 )，被插入有2支加熱 器線（13)，其前端的加熱器（9)被配設布液體積存 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i# 訂 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 經濟部智慧財產局資工消費合作社印奴 522040 A7 _____B7 五、發明説明（9 ) 處空間（7 .)內。 雖然在本實施例，係做爲被噴出之保護流體（1〇） 而使用氮氣等惰氣，可是只要不和排出流體（2 0 )引起 反應者，任何氣體皆可，並且，本實施例的管內淸潔裝置 (1 A )被配設之距離，係保護流體（1 0 )的質量（例 如洗淨水）變大，或被噴出的保護流體（1 0 )之馬力變 高時，也可以將配設的距離更加長。再者，做爲保護流體 (10)，可以考慮氣體（氮，氬等惰氣）或液體（水， 鹼液，酸性液等各種藥液），本實施例之情況將被使用氮 〇 接著說明本實施例的作用。從配設在流體積存處空間 (7 )內之流體噴出部5，將被噴出保護流體（1 〇 )。 然後，從流體噴出口（ 5 a )被噴出的保護流體（1 0 ) ，將流體積存處空間（7 )內沿.管本體（4 )周圍旋轉， 其後在流體積存處空間（7 )向唯一開口的開口部（6 ) ，一面畫著螺旋而流。 在此從流體噴出部（5 )被噴出之保護流體（1 〇 ) 雖被壓縮，可是與被噴出在流體積存處空間（7 )內的同 時將會膨脹。結果雖然保護流體（1 0 )之溫度會降低’ 可是保護流體（1 0 )將由加熱器（9 )被加熱’成爲溫 度將不會降低。因此，即使有腐蝕性成份以氣體混入’也 不會在如一般配管（2 )或擦洗器（2 4 )之管體（K) 內結露。 從開口部（6 )被送入管本體（4 )內的保護流體（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 - 522040 A7 B7 五、發明説明（) 再者，關於保護流體（1 0 )的噴出方法，有排出流 體（2 0 )之排出中，使之連續地噴出的方法，和間歇地 使之噴出的方法。前者之時，將從一開始至最後把排出流 體（2 0 )包入而繼續排出，可是後者的情況，將在粉塵 積存某程度時再噴走。圖1中，（2 1 )係保護流體（ 1 0 )之開閉閥。 , 接著將關於第2實施例（1 B )說明，可是爲了避免 煩雜，將以和第1實施例（1 A )不同之點做爲中心而說 明。本實施例的淸潔裝置（1 B )，係如圖3所示，由管 本體（4 )，和外筒部（3 )，及流體噴出部（5 )所構 成。 雖然外筒部（3 )係和第1實施例（1 A )同樣地， 被配設成如圍繞被形成在管本體（4 )之開口部（6 )， 可是並非如第1實施例地成爲圓筒狀，而係隨著靠近開口 部（6 )。流體積存處空間（7 )係向開口部（6 )被形 成逐漸狹窄。並且，雖和第1實施例（1 A )同樣地，在 流體積存處空間（7 )內配設有流體噴出部（5 )，可是 其配置處係與第1實施例（1 A )不同，而被配設在流體 積存處空間（7 )之上游側。 接著說明本實施例（1 B )的作用。和第1實施例（ 1 A )同樣地，從流體噴出部（5 )被噴出至流體積存處 空間（7 )內之保護流體（1 0 )，將把管本體（4 )的 周圍旋轉。因本實施例之流體噴出部（5 )係被配設在流 體積存處空間（7 )內的上游側，將向被形成在下游側之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T Ρ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ -14- 522040 A7 B7 五、發明説明（12 ) 開口部（6 )，如畫螺旋地流動。 此時，因流體積存處空間（7 )，被形成向開口部（ 6 )逐漸變狹窄，保護流體（1 0 )將隨著接近開口部（ 6 )而被壓縮，將畫著螺旋到達開口部（6 )。因此，保 護流體（1 0 )將隨著靠近開口部（6 )，增加其流速而 從開口部（6 )被噴出管本體（4 )內的保護流體（1〇 )之壓力將會變大。以下的作用係與前述相同。 接著將說明第3實施例，可是爲了避免說明之煩雜， 將以和第2實施例（1 B )不同點爲中心說明。本實施例 的淸潔裝置（1 C )係如圖5所示，與第2實施例同樣， 流體積存處空間（7 )向開口部（6 )被形成逐漸地狹窄 ，可是本實施例（1 C )，在流體積存處空間（7 )內， 有隔壁（8 )從流體噴出部插入部（1 2 )至開口部（6 )，被設成螺旋狀。 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 接著說明本實施例（1 C )的作用。從流體噴出部（ 5 )被噴出至流體積存處空間（7 )內之保護流體（1 0 )，雖然將旋轉管本體（4)的周圍，可是因有隔壁（8 )被設成螺旋狀，被噴出之保護流體（1 0 )將沿隔壁（ 8 )間流，隨著靠近開口部（6 )將被逐漸壓縮，而增加 流速。然後，以高速從開口部（6 )被噴出的保護流體（ 1〇），將與前述實施例同樣，在下游側之管本體（4 ) 及一般配管（2)或擦洗器（24)等管體（K)的內壁 面，形成螺旋保護流體層（1 1 )。以下之作用係與前述 相同。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 522040 A7 B7 __ 五、發明説明（13 ) 〔發明之效果〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 由著裝本發明之淸潔裝置，能夠在開口部的下游之管 本體，或使之連接在此的一般配管或擦洗器等之管體內壁 面形成螺旋流的流體層，由使保護流體連續地流動，能夠 防止在管體內流之排出流體直接接觸在前述內壁面，< 而抑 制前述排出流體中的構成成份附著在前述內壁面。而且， 由使保護流體間歇地流，能夠把附著在管體內之粉麈噴走 或沖洗，而大幅度地延長維護期間。 〔圖面之簡單說明〕 〔圖1〕 係顯示將本發明之淸潔裝置連接在一般配管時的配置 狀態之正面圖。 〔圖2〕 係將本發明的淸潔裝置連接在擦洗器之排氣導入□時 的斷面圖。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 〔圖3〕 係關於本發明的第1實施例之直斷面圖。 〔圖4〕 係關於本發明的第2實施例之直斷面圖。 〔圖5〕 係關於本發明的第3實施例之直斷面圖。 〔圖6〕 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） 522040 A7 B7五、發明説明（14 ) 係本發明的淸潔裝置之橫斷面圖。 〔圖7〕 係顯示習知的配管狀態之正面圖。 〔圖8〕 係習知的擦洗器之斷面圖。 〔圖號說明〕 3 外筒部 4 管本體 5 流體噴出部 5a 流體噴出口 6 開口部 7 流體積存處空間 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i#
、1T 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -17-