TW514744B - High resolution skew detection apparatus and method - Google Patents

Description

514744 A7 ___ B7 五、發明說明（丨） 本發明之锯城 本發明普遍相關於用以測試半導體裝置之自動測試系 統，更特別的相關於一高解析度時差檢測系統及方法，用 於本設備上的定時校準和/或定時驗證。 發明背畺 半導體設備之製造涉及大量的處理過程，其需被小心 的控管以使生產率及設備產量達到最大。更重要的處理步 驟之一爲使用自動測試設備以驗證設備的功能。此種測試 通常表現在晶圓階段和封裝設備階段。一般而言，測試程 序包含沿著測試器通道的每個設備測試波型之應用及捕獲 ，以及決定是否捕獲的訊號符合期望値。此測試器通道使 用傳輸線以將測試器耦合至DUT接腳。 爲了成功的測試一正在測試之設備（device-under-test， DUT)，供應到設備接腳之訊號沿著每條傳輸線必須在相關 於其他每個訊號的準確時點上到達。按照測試訊號的路線 至DUT的傳輸線通常有不同的長度，爲每個訊號在傳播時 間中貢獻微小但重要的相關延遲。結果，爲了精確控制訊 號時間，每個通道的延遲通常必須在定時校準程序之前就 爲已知並被補償。 決定在測試通道之間相關訊號延遲的主要方法之一， 涉及驅動沿著每一通道傳輸線的訊號，和測量相對邊緣至 邊緣（edge-to-edge)的時間變動，或稱時差。〜旦時差爲已 知，每個信號的定時可被運用來校準需要的邊緣，以達到 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項ml·· 寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514744 ___ Β7__ 五、發明說明（> ) 在DUT接腳欲得的定時準確度。 I-------- (請先閱讀背面之注意事項ml寫本頁) 許多在技藝中用以測量在遲滯測試訊號之間的相關時 差爲已知技術。例如，檢測時差較爲普及的方法之一，是 引用以D正反器爲基礎之閂鎖比較器，其一般被參照爲游 標校準技術（Vernier calibration technique)。一目標訊號輸 入至正反器之資料部分，而一參考訊號供至閃控電路部分 。使用此種技術，該參考訊號簡易地閂鎖住以兩訊號之時 差爲準的一高或低値。經由在輕微不同的頻率或時間位置 ，使用一參考震盪器，可從輸出端收集足夠之資訊，以決 定時差的相對大小。 --線. 另一個以正反器爲基礎用以檢測時差之技術，其引用 一互斥或閘(X〇R gate)與多個D正反器耦合，例如可從類 比設備公司（Analog Device Corporation)獲得模型 AD9901 的相/頻率鑑別器。此種結構產生以時差大小爲準，可變化 脈波寬度之訊號，如同訊號時差極性一樣。當與充電幫浦 結合使用時，此電路也可以供應一直流訊號，表示時差檢 測的位準。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制π 另一個由Feldman所提出的時差檢測系統，類似於上 述的互斥或閘充電幫浦結構，利用設定一重設（Set-Reset， SR)正反器伴隨設置在輸出端的充電幫浦。此種SR正反器 在目標訊號到SET埠時，啓動正反器的脈波。資料埠在電 路操作時皆保持在低態。此種特別的電路具有附加的好處 ，大多數依賴電壓的元件，例如電流源、開關、電容等等 ，具有相當的固定電壓供應其上。如此可使非線性問題最 5 氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） "~: 514744 Α7 Β7 五、發明說明（3

m ，請 ^委 I PIΪ斧 'i η % η 瓜:參 化。 當上述以正反器爲基礎的時差檢測系統欲在相關應用 上使用時，皆因亞穩定，或跳動而具有受限的線性範圍。 此爲一種當正反器製造有效的上傳或下傳信號時的內部特 徵。結果，在較高頻率操作時，檢測器的解析度變差，使 得訊號與訊號間的時差變得無法檢測。 由Otsuji所提出，使用適用於實現在積體電路上的時 間-對-電壓轉換技術，以努力避免亞穩定狀態存在於以正 反器爲基礎的時差檢測器內部。此種技術引用標準轉換器， 用以接收從半導體測試器的一個通道而來的參考訊號以及 測試訊號並將其正規化。標準轉換器方塊的輸出端親合至 差動放大器的輸入端。此放大器產生一脈波，其具有正比 於在參考訊號與測試訊號之間的相關時差的振幅。當閃控 電路產生與輸入訊號的上升邊緣同步之閃頻的時候，此脈 波傳送至互補式D閂鎖。Q埠以及Q/埠的輸出位準根據時 差的極性而固定在互補式位準中。 雖然此種電路對於同相位時差可以成功的轉換至不同 電壓有所貢獻，對於非同相位卻還沒有準備。隨著差動測 試器通道在半導體測試器中的擴大實現，非同相位時差檢 測變得日趨重要。 上述的習知時差檢測結構及技術，顯示了達成定時校 準與驗證精準度的限制。然而同樣重要的是在習知定時校 準和/或驗證過程中不需要的時間持續。傳統上，一旦測試 器完成了其校準，一個獨立的驗證裝置被引進’以驗證其 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---!!訂---------線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514744 A7 B7 五、發明說明（处） 精準度。通常，爲了檢測通道對通道的時差，自動閃控近 似地被佈置在DUT分開的步驟，遍布每一個通道以便檢測 通道對通道的時差。不幸的是，隨著從三百個到六百個通 道到處都有引進近代測試器，習知上用於自動閃控的資料 獲取時間，可能需要達到十四個小時或更多。如此造成用 於製造目的的損失測試器時間，以及對應的較低全部生產 率。 迄今爲止，所需要而未獲得的是高解析度時差檢測電 路及方法，用於半導體測試器中，其可精確的檢測非常小 的時差，以及提供一輸出訊號其可允許快速的定時校準驗 證。本發明的此種高解析度時差檢測電路及方法滿足這些 需求。 本發明之槪要 本發明之高解析度時差檢測電路及方法，提供一種同 相位以及非同相位訊號時差二者的精確檢測，而其不具有 亞穩定跳動之多餘效應。另外，本發明使得經由在並聯之 多重通道及設備上直接測量的此種製造環境下具有高生產 率。爲實現上述優點，本發明一方面形成一種包含多相位 輸入電路之高解析度時差檢測電路。此輸入電路具有參考 信號輸入，時差信號輸入，並且可以適應用來接受同相位 及/或非同相位之時差信號。此輸入電路爲了回應控制信號 ，係作用使時差信號通過或將其反向。此檢測器也包含時 間至電壓轉換電路，其具有用於接收已時差化信號及參考 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱) "" "" --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項βι寫本頁) 訂· · -丨線· 514744 A7 B7 五、發明說明（<) --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項H寫本頁) ，線· 信號之個別的第一輸入和第二輸入；以及包含用於產生一 相對時差信號之差動放大器，此相對時差信號表示出在參 考信號及時差信號之間的相對時差。捕獲電路係耦合到時 間至電壓轉換電路，用以檢測相對時差信號。在另一方面 ，本發明包含一種用於量測在複數個傳播信號與參考信號 之間的相對時差。此種時差檢測電路包含一選擇器電路， 其具有複數個被調適用來接收傳播信號的輸入端，以及一 個用以選擇性地讓用來與參考信號比較的複數個信號其中 之一通過。此種時差檢測電路使用包含多相位輸入電路的 高解析度時差檢測器。此種輸入電路具有一參考信號輸入 端，以及一時差信號輸入端，且其被調適用以接收同相位 和/或非同相位時差信號。爲回應控制信號，此輸入電路係 操作用來通過或反向此時差信號。此種檢測器亦包含了時 間至電壓轉換電路，其具有分別的第一輸入端與第二輸入 端，用以接收已時差化信號以及參考信號；以及具有產生 相對時差信號之差動放大器。此相對時差信號表示在參考 信號和時差信號之間的相對時差。捕獲電路係耦合到時間 至電壓轉換電路之輸入端，用以檢測該時差信號。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .但在另一個方面，本發明包含一種方法，用於決定在 複數個測試器通道之間的相對時差，以補償信號傳播的延 遲。本方法包含下列之步驟：在複數個通道之間產生測試 信號；將通道耦合至高解析度時差檢測電路；提供一參考 信號至時差檢測電路·，以及選擇用以比較在時差檢測電路 上的參考信號之測試信號的其中一個。此種比較步驟包括 8 本^張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐了

五、發明說明（石） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 下列步驟=將參考信號緣與已通過之測試信號緣之間的相 對時差轉換成電壓，以及提供在輸出端之電壓，作爲測量 在測試信號與參考信號之間的相對時差之用。 本發明之其他特徵與優點將會經由以下結合伴隨圖式 閱讀之詳細描述而彰顯出來。 fa式簡單說明 經由參考下列較詳細之描述與伴隨圖式，將可更加明 瞭本發明，其中： 圖一爲使用本發明其中一個實施例之半導體測試器的 部分方塊圖； 圖二爲顯示於圖一之時差檢測電路的高位準方塊圖； 圖三爲圖二中時差檢測電路之選擇器電路之一實施例 的部分圖解， 圖四爲根據本發明之一實施例的高解析度時差檢測器 之圖解； 圖五爲圖四中高解析度時差檢測器之時序圖。 元件符號說明 10 半導體測試器 14 設備介面板 15 接腳電子通道卡 d 20 通道 22 插座 --- 9 ___ 本紙張尺度適周中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） '之 ^ n A7 B7 五、發明說明（ ο 2 3 3 3 3 6 3

7023902460460240 3444455556667778 高解析度時差檢測電路系統 偏壓輸入端 偏壓輸入端 第一參考信號輸入端 第二參考信號輸入端 選擇器電路 類比多工器 類比多工器 位址解碼器 高解析度時差檢測器 第一信號路徑 第二信號路徑 多相位輸入電路系統 時間至電壓轉換電路 延遲元件 差動放大器 捕獲電路系統 閂鎖方塊 閃控電路 低通濾波器 本發明之詳細說明 現在參考圖一，其係顯示出一個半 親合至包含設備介面板（device interfac Β 器D 獄d， 沏ar 曲一a ο 其 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線丨 β ίο ‘所幸、纸張尺度適用中@ 0家標準（CNS)A4規格（210 x 297 ) I提 D之 44 ^2¾18 A7 B7 iu Β . 内—丨 容 VI r- X：八: 否 :沒 五、發明說明（$ ) 此測試器包含測試頭（其未被顯示出），其容納複數個接腳 電子通道卡18，用以沿著複數個通道20產生測試器波形。 這些通道將波形導向一或多個DUT的輸入接腳（其未被顯 示出），以及接收DUT的輸出波形。此DIB包含一或多個 插座22，用以將DUT的接腳電耦合至測試器通道，因此 提供方便的測試器至DUT信號之介面。 爲確保沿著通道傳播的定時信號以預先設定的精準度 到達DUT的接腳，編號爲30的複數個高解析度時差檢測 電路系統係被引用。此時差檢測電路精確的量測通道至通 道之間同相位及非同相位的時差，用作定時校準或驗證的 目的。 更特別的參考圖二，每一個時差檢測電路30係採取 特殊應用積體電路（application specific integrated circuit， ASIC )之形式。此種ASIC包含用以接收Vdd及Gnd信號 的偏壓輸入端32及34,以及用以接收參考時脈信號VREFl 和VREF2的第一參考信號輸入端與第二參考信號輸入端36 和37。選擇器電路40係設置在ASIC上，其輸入端耦合至 複數個測試器通道，而其輸出端接至高解析度時差檢測器 50，用以在lpko秒中依序測量信號對信號的時差。 更進一步參考圖2，選擇器電路40包含了一對N比1 類比多工器42和43，其具有耦合至N (最佳爲24)測試器 通道傳輸線輸出。位址解碼器49回應至多位元DC位址信 :號，供應個別控制信號至多工器。此種類比多工器允許單 一 ASIC處理數個測試器通道，（在此範例爲24個)以便在 ____u_ _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -· -n n n n 一一OJt n n n n n I— n I ϋ t— n 个本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 5M74491..2. 13 A7 B7 煩凊#員^示 年月 q 修丑氺有無變更實質内容是否准文 五、發明說明（ 校準及/或驗證過程中將測試器生產率最大化。 本發明的發明人已發現，在維持可接受之信號品質上， 將用於HRSD的可選擇性輸入端數目成功地最大化，類比 多工器之結構扮演著重要的角色。然而習知的，N個M0S 閘之並聯陣列可能被用來實現其多工功能，如此之組合通 常會約束並聯閘輸出端只能產生單一的輸出，因此造成N:1 的結構。不幸的是，爲了高精確度的應用，習知結構中的 全部閘輸出能力通常造成不需要之瞬變電流，其會影響輸 出信號的完整性。 特別伴隨圖3的參考，爲努力讓上述瞬變電流效應最 小化，類比多工器42和43中每一個包括24個MOS傳輸 閘輸入端VI至V24，其以如此的方式分布以使得耦合至輸 入一輸出端的瞬變電流電容性地最小化。輸入閘分成四 組並聯陣列A1〜A4，以及每個陣列具有單一輸出〇1〜〇4。 每個輸出係供應至串聯連結的輸出傳輸閘0G1〜0G4，爲了 將不需要之瞬變電流饋通信號導向接地，個別接地的饋通 傳輸閘FT1〜FT4將信號輸出路徑分流。輸出傳輸閘的輸出 端係被束縛住，並提供一高保真度之輸出信號至 HRSD50的輸入端。 回頭參考圖一 ’筒解析度時差檢測器(HRSD)50 —般使 用用以接收測試信號與參考信號的多相位輸入電路系統 56，以及用以產生在測試信號與參考信號之間，代表相對 時差的輸出信號。捕獲電路系統70係設置在時間至電壓轉 換電路的輸出端，將產生的輸出信號檢測致能。此輸入電 療所本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 〇之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I - -線 A7 B7 1fJl^fvvv;.K」i ：.：，： ui:m复λ| 、w容是否准予修V义。 五、發明說明qo) 路系統以及時間至電壓轉換電路系統，爲輸入信號分別定 義第一信號路徑和第二信號路徑52和54。爲了淸晰的目 的’以下將只詳細敘述第一路徑。 現在更特別的參考圖四，用於第一信號路徑52的此多 相位輸入電路系統56包含一位準電壓轉換器LVC1 (圖二）， 其用以接收輸入信號IN1(從一通道傳出的測試傳輸線輸出 信號），並且降低輸入信號電壓襬幅，到達更適合高速處理 之位準(例如450mv)。此位準轉換器包含差動對Q1和Q2， 其係被電流源II驅動^Q2的集電器輸出端接至射極隨耦 器Q3，其產生一已降低之信號位準，以及供應一輸入至 Gilbert 反向器 INV1。 Gilbert反向器INV 1包含差動控制輸入(FLIP，FLIP/)， 其傳送至個別的第一和第二差動對Q7，Q8以及Q9，Q10。 第三差動對Qll，Q12耦合至第一差動對和第二差動對的 射極，並且從位準電壓轉換器LVC1的輸出端接收已轉換 位準的測試信號，以及接收偏壓信號VBIAS。電流源13分 布在第三差動對的射極結點。個別的電阻R5和R6建立反 向器的DC偏壓狀況，其在技術中已廣爲人知。電晶體Q7 和Q9的集極係束縛在傳送至時間至電壓轉換電路系統60 的輸出結點。此電路的輸出係反應至差動控制信號FLIP， FLIP/，以便讓已轉換位準的測試輸入信號INI通過或反 向。如此可方便的供應同相位以及非同相位之測量。 更進一步參考圖四，時間至電壓轉換電路60，包含延 遲元件64，其耦合至Gilbert反向器INV1的輸出端，以及 二 ______Π............... 適 度 尺 張 纸 標 規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線！ 514744 A7 _B7___ 五、發明說明（/ / ) 一差動放大器。 上述所提到的，第二信號路徑54包含位準轉換電路 LVC2，（電晶體Q4至Q6，以及電阻R3至R4)，以及Gilbert 反向器INV2(電晶體Q13至Q18,電流源14,以及電阻R7， R8)，而其結構組成近似於第一路徑52，而不需要更進一 步之說明。但是，第二信號路徑係被捕獲電路系統70所採 樣至62，以供應自我定時系統，其可去除額外定時電路的 需要。 差動放大器66包含另一個電晶體差動對Q19以及 Q20，其被電流源15所驅動，接收已轉換且經Gilbert反向 器反向之輸入，以產生具有正比於在輸入信號IN1和IN2 之間的相對時差。差動信號輸出端係供應至捕獲電路7〇的 輸入端。 更進一步參考圖二和圖四，捕獲電路7〇包含一閂鎖方 塊72，其由閃控電路74所產生的閃控脈衝定時之。此種 閂鎖方塊包含輸入差動對Q21，Q22，其輸入端耦合至差動 放大器66的輸出端。第二差動對Q24，Q25包含交叉耦合 至輸入差動對輸出端的個別輸入端，以便有效的建造D型 閂鎖。一對射極隨耦器Q27和Q28供給一差動緩衝輸出 OUT+以及OUT-。第三差動對Q23，Q26驅動(或提供電流 源)第一以及第二差動對，以及包含一電流源Ϊ6。第三差動 對對應於從閃控電路74出來的差動輸入信號而反應。 繼續參考圖四，閃控電路74包含一反向器模組’其傳 送至AND/NAND閘的第二輸入端。 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂·-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 514744 A7 p—___ B7 _ 五、發明說明（/» 此種AND/NAND閘76的結構係爲習知的ECL設計， 並已廣爲熟悉此技術者所知悉。 回頭參考圖二，閂鎖方塊72的輸出端係最好經由輸出 緩衝器79傳送至充電幫浦，或是低通濾波器8〇。此充電 幫浦或是低通濾波器產生直流輸出，反應至閂鎖信號。以 此種方式，停止晶片直流電壓的產生並且使其被快速的導 向定時校準或驗證控制器（未被顯示出），而其需要時差資 料以用作分析。 根據先前所記述的，爲了擷取由DIB所供應的方便介 面之優點，並且除去對昂貴又慢速表現的機械閃控電路之 需求，本發明的時差檢測電路30,係以積體電路形式分布， 並且以類似於DUT之封裝爲較佳。但是，對於具有多於16 個I/O接腳的裝置，本發明可視額外輸入的需要而模組化。 舉例而言，既然較佳的HRSD電路30經由24個通道(對應 於24個DUT的I/O接腳)前進，對於具有64個I/O的DUT， 可將3個HRSD電路實現在單一的ASIC通道中。因此， 爲了設定用於定時校準或驗證的測試器，ASIC封裝僅不過 插入插座內，以提供完整的外在定時校準或驗證，用於裝 置的並聯陣列，其位置高於並包括插座軌道。 本發明之操作係最好參照圖一，圖二，圖四以及圖五 的時序圖。如前所述，爲安裝進入DUT負載板的插座，時 差檢測電路30以ASIC的形式實現。在平行記憶測試應用 中，負載版可能包含用以高出產率平行測試中32至128個 設備位置的任何一處，而此單一 _15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1 " "" --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 514744 Α7 Β7 五 Λ- -Λ ： \ J V ，，、，，· >1 -十· 、發明說明（I〉） ASIC實現方式可安裝32至128的HRSD ASIC，以執 行測試定時校準及/或定時驗證。 爲了淸晰的目的，下述運作的說明將集中在定時驗證· 應用中’隨著對所描述之方法的了解，其可相同的應用在 執行初始的校準上。定時驗證僅爲測試信號定時的一種獨 立結構’或是驗證’以確保先前執行的校準定時在要求的 容忍度內。 一旦HRSD的ASIC安裝在負載板14中，測試器產生 一預先決定的測試波形圖樣，模擬實際的測試器運作。此 包含了沿著測試通道20至每一個ASIC信號輸入端傳送測 試信號。 以經由16在通道1和通道2之間爲例，爲了檢測並測 量通道至通道時差，測試信號沿著通道1係當作信號參考 IN2 ’而其他的通道係依序的通過選擇器4〇至hrSD 50。 經由類比多工器42及43的序列被4位元直流定址信號所 規整’（以驗證控制器所控制之，其未顯示出）而其直流定 址信號具體指明多工器應讓哪一個通道的信號通過。 選擇號IN1，以及參考信號(從通道1而出)IN2， 係被位準電壓轉換電路系統LVC1和LVC2所調整爲接近 於450mV的信號。如此減少了邏輯襬幅的位準，將電路性 能變得更快速。 用於IN1以及IN2之個別已轉換過位準的信號，必須 經過Gilbert反向器INV1以及INV2處理，使得非同相位 時差能如同同相位時差一樣被偵測，並且當作差動放大器 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · ' 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（（屮） 66的差動輸入信號。如同圖五的顯示，差動放大器產生一 輸出信號脈波DATA，其振幅正比於ΙΝ1與ΙΝ2之間的相 對時差。特別的重點是輸出的產生（至少在輸出信號上升時 間的持I買時間中），即使是在1微微秒上的相對時差位準。 如此提供了極強大的優點，即能夠成功的檢測並測量如此 微小的時間參數。 爲了維持已檢查過之放大器的輸出（表示相對的時 差）’（表示相對時差），閃控電路74產生一擊時脈信號（閃 控脈衝)CLK(圖五），其被參考信號輸入IN2之上升邊緣所 觸發。在62採樣此參考信號，以及將此信號與其反向信號 一起AND/NAND，造成自我定時之特徵（圖四）。此閃控時 脈CLK在延長的持續時間中使閂鎖電路72維持或「閂鎖」 此資料信號DATA，因此輕易地產生可偵測之輸出信號 OUT+以及 OUTj 輸出信號脈衝係更進一步經由充電幫浦或低通濾波器 80處理以提取直流信號成分，並且建立無困難之可處理關 閉晶片時差信號，以作爲定時校準控制器分析之用。以上 的全面化程序與所有的HRSD ASIC同時發生，並且在參考 通道信號與所有其他通道比較之後重複。然後新的通道取 代先前的參考通道，並且重複此程序。一旦校準過程係完 整的’此測試器將可與半導體設備的產品測試繼續進行。 本發明所提供的許多利益與優點將會助益熟悉此技藝 ； 者。特別的重點係檢測同相位及非同相位二者之時差的高 ：解析度時差檢測能力。如此提供了實質上改進了測量檢測 L---—- —_π___ T、紙張尺度適用中國國家標準（Cns)A4規格（210 X 297公爱） -T— n i _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· •線 A7 B7 五、發明說明（丨5") 定時校準的精確度。對於現代使用大量差動通道結構的半 導體測試器而言，這是極端重要的。此外，經由實現單一 檢測器電路使得校準的時間明顯地減至最少，將在產品運 作上測試器的可利用性最大化，使得成本實質的減少，並 且相對的增加生產率。 當本發明以參考較佳實施例而詳細的顯示並說明之 後，習知技藝者將會了解，其中的形式與細節上的各種變 化不會背離本發明之精神和範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 18 訂： --線· 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 514744 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種高解析度時差檢測器，其係包括： 多重相位輸入電路系統，其具有參考信號輸入端，以 及時差信號輸入端’該時差信號輸入端係調整爲接收同相 位以及/或非同相位時差信號’該輸入電路系統係操作用來 讓該時差信號通過或將其反向’以回應控制信號； 時間至電壓轉換電路系統，其具有個別第一和第二輸 入端，用以接收該時差化信號以及參考信號，該時間至電 壓轉換電路系統包含產生相對時差信號的差動放大器，其 相對時差信號表示在參考信號和該時差信號之間的相對時 差；以及 捕獲電路系統，其耦合至該時間至電壓轉換電路系統 ，用以檢測該相對時差信號。 2. 根據申請專利範圍第1項之高解析度時差檢測器， 其中該多重相位輸入電路系統更進一步包括： 位準轉換電路系統，用以接收並且調整該個別的時差 信號及參考信號，成爲個別的已轉換位準時差信號及參考 信號。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3. 根據申請專利範圍第2項之高解析度時差檢測器’ 其中該多重相位輸入電路系統更進一步包含： 第一 Gilbert反向器，其具有第一輸入端’稱合至§亥位 準轉換電路系統的輸出端，以及第二輸入端，回應控制信 號將該時差信號反向；以及 第二Gilbert反向器，其具有第三輸入端，用以接收 該已轉換位準之參考信號。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 514744 ABCD 六、申請專利範圍 4·根據申請專利範圍第1項之高解析度時差檢測器， 其中該捕獲電路系統包含： 閃控電路系統，其耦合至該時間至電壓轉換電路系統 ’並且具有脈衝產生電路以操作來產生預定寬度之脈衝； 以及 問鎖電路系統，耦合至該差動放大器之輸出端，以及 回應該閃控電路系統，定時以閂鎖指示在該時差信號與該 參考信號之間的相對時差。 5. 根據申請專利範圍第4項之高解析度時差檢測器， 其中該產生之脈衝係與該參考信號同步。 6. 根據申請專利範圍第4項之高解析度時差檢測器， 其中該產生之脈衝係與該時差信號同步。 7. 根據申請專利範圍第1項之高解析度時差檢測器， 其中該參考信號係耦合至校準信號源。 8. 根據申請專利範圍第1項之高解析度時差檢測器， 其中： 該時差信號輸入端係耦合至第一測試器通道；並且該 參考信號輸入端係耦合至該第二測試器通道。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9. 根據申請專利範圍第1項之高解析度時差檢測器’ 其中： 該多重相位輸入電路系統，該時間至電壓轉換電路系 統，以及該捕獲電路系統係配置在積體電路上。 10. 根據申請專利範圍第9項之高解析度時差檢測器， 並進一步包括： 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） 514744 A8 B8 C8 ___ D8 六、申請專利範圍 已轉換之丨g號配置在該捕獲電路系統之輸出端，以及 具有已安裝之輸出端，以供應一關閉-晶片信號。 U·根據申請專利範圍第10項之高解析度時差檢測器 ，其中： 該信號轉換器包含一充電幫浦。 12·根據申請專利範圍第10項之高解析度時差檢測器 ，其中： 該信號轉換器包含一低通濾波器。 —種時差檢測電路，用以測量在複數個傳播信號與 一參考信號之間的相對時差，該時差檢測電路包含： 一種選擇器電路，其具有複數個輸入端，其被調適用 以接收該傳播信號，以及一輸出端，用以選擇性的讓複數 個信號其中之一通過，用以與該參考信號比較之；以及 一種高解析度時差檢測器，其包含 多重相位輸入電路系統，其具有參考信號輸入端，以 及一時差信號輸入端，該時差信號輸入端係調適爲用以接 收同相位以及/或非同相位時差信號，該輸入電路係操作以 讓該時差信號通過或反向，以回應控制信號； 時間至電壓轉換電路系統，其具有個別的第一以及第 二輸入端，用以接收該時差化信號以及參考信號，該時間 至電壓轉換電路包含一差動放大器，用以產生相對時差信 號，其相對時差信號表示在該參考信號與該時差信號之間 的相對時差；以及 捕獲電路，耦合至該時間至電壓轉換電路之輸出端， 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐_) ' (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514744 A8 B8 Εί 六、申請專利範圍 用以檢測該相對時差信號。 I4·根據申請專利範園箄13項之時差檢測電路，其中： 該選擇器電路包含一類比多工器，以及該複數個輸入 端包含個別測試器通道。 15·根據申請專利範_第14項之時差檢測電路，其中 該類比多工器包含： 複數個輸入聞’其對應至複數個輸入信號，該複數個 輸入閘係排列至一整數組，每一組包含預定的輸入閘數目， 其係並聯地安裝’並具有共同輸出端； 複數個輸出傳輸聞’其對應至該共同輸出端之數目， 每一個該複數個輸出傳輸_係串聯耦合至該共同輸出端， 其具有個別的輸出路徑，其輸出路徑係束縛以形成單一多 工器輸出端；以及 複數個饋通傳輸閘’其對應至該同輸出端之數目，每 一個複數個饋通傳輸聞具有耦合至該共同輸出端以及一接 地輸出端的輸入端。 16·根據申請專利範圍第13項之時差檢測電路，其中： 該選擇電路以及該高解析度時差檢測器係配置在積體 電路上。 17· —種決定在複數個測試器通道之間的相對時差之方 法，以補償信號傳播延遲，該方法包含下列步驟： 沿著該複數個通道產生測試器信號； 將該通道耦合至高解析度時差檢測電路； 供應參考信號至該時差檢測電路； 4 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、-tx 線」 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) " 514744 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 選擇該測試信號其中一個，與在該時差檢測電路上之 參考信號比較，該比較步驟包含： 將在該參考信號邊緣與該已通過之測試器信號邊緣之 間的相對時間差異轉換至電壓，以及 供應該電壓至輸出端，用作在測試器信號與該參考信 號之間相對時差之測量。 18· —種高頻寬類比多工器，該多工器包含·· 複數個輸入閘，其對應至複數個输入信號，該複數個 輸入閘排列至一整數組，每一組包含預定之該輸入閘數目， 其輸入閘係並聯安裝，並具有共同輸出端； 複數個輸出傳輸閘，其對應至該共同輸出端之數目， 該複數個輸出傳輸閘每一個係串聯耦合至該共同輸出端， 並具有各別地輸出路徑，其束縛已形成單一多工器之輸出 端，以及 複數個饋通傳輸閘，其對應至該共同輸出端之數目， 該複數個饋通傳輸閘每一個係具有耦合至該共同輸出端與 接地輸出端之輸入端。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言 線 __ 5 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐)