TW513335B - Vacuum chuck - Google Patents

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TW513335B TW88108315A TW88108315A TW513335B TW 513335 B TW513335 B TW 513335B TW 88108315 A TW88108315 A TW 88108315A TW 88108315 A TW88108315 A TW 88108315A TW 513335 B TW513335 B TW 513335B
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Juro Tomitaka
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New Sutorongu Hanbai Kk
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513335 A7 B7 五、發明説明(i ) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於對工作物減壓來保持吸著狀態之真空吸 舟受〇
JDXL 【先前技術】 所謂的真空吸盤,乃是進行切削、硏磨、穿孔等工作 時對工作物減壓使之保持吸著狀態的裝置。關於製造減壓 狀態的方法,大多使用真空幫浦的方式,但是這種真空幫 浦內若是吸入了切削油、切削水、切削粉屑等物時,將會-導致真空幫浦的故障。 因此,本發明之真空吸盤,乃是採用能夠避免上述問 題產生的噴射器等壓縮空氣發生源,以及與其相連接之噴 射器,可以製造減壓狀態的噴射器之真空吸盤。 噴射器具有使來自壓縮機之壓縮空氣進入的壓縮空氣 流入口、可以排出空氣的空氣放出口、以及與減壓物相連 接的吸引口。從壓縮空氣流入口流入的壓縮空氣在噴射器 內部的擴散室膨脹、轉換成高速的氣流從空氣放出口處流 出,由於高速的氣流降低了擴散室內的壓力,並且從與擴 散室相連的吸引口引入外面的空氣。 亦即是,在噴射器的吸引口處連接減壓物,利用將壓 縮空氣送入壓縮空氣流入口的方式將減壓物內的空氣吸引 至噴射器內,再從噴射器的空氣放出口釋出,達到使減壓 物內部減壓的目的。 第3圖所示者係爲特開平1 0 — 1 7 5 1 3 6號所提 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇X 297公釐) -----1 —衣— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局S:工消费合作钍印製 -4- 513335 A7 B7 五、發明説明(2 ) 案之噴射氣式真空吸盤。藉由其:設置在噴射器(1 2 ) 的吸引口與本體(1 1 )吸著面的吸引孔(1 3 ),以及 介有配管(1 7 )與之相連接的吸著溝(1 4 ) (15) 、設置在吸著溝(1 4 ) ( 1 5 )與吸著面上的工作物所 共同形成的空間進行減壓的方式,來使工作物保持吸著狀 態。此外,關於圖中的(1 6 )是爲了因應大小不同的工 作物而在配置於同心圓狀中的吸著溝(1 5 )使用可以裝 脫的密封材料;(1 8 )爲真空表;(2 0 )爲設置本體 (1 1 )的基台。 當工作物被吸著於底盤的狀態下進行切削、硏磨、穿 孔等等加工作業時,萬一在作業中發生因停電或是壓縮機 故障導致壓縮機停擺,將無法對噴射器供給壓縮空氣,噴 射器於是無法發揮功能。如此一來’擴散室將無法呈現減 壓狀態,空氣自空氣放出口處透過擴散室從吸著溝和工作 物之間的減壓空間流入,於是工作物無法持續被吸著。 即使停電,切削器等工具也會因爲貫性持續動作一陣 子,所以沒有被吸著的工作物會因爲切削器等的運作彈飛 出去,造成工作物破損或者是周圍的作業員及裝備受傷、 破損等等情況。 此外,由於吸著溝具有吸引功能,因此會附著切削水 、切削油、工作物之切削粉等物’而淸除附著在吸著溝凹 槽內的切削油等物是相當麻煩的作業。 【發明所欲解決之課題】 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) A4規格(21〇><297公ΪΊ 一 -5- -------._ 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本瓦) 訂 i# 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 513335 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印奴 A7 B7 五、發明説明(3 ) 本發明的目的即爲提供當壓縮機停止作業時’亦能在 短暫時間內維持工作物保持吸著狀態的高安全性噴射式真 空吸盤。 此外,本發明亦爲能夠輕鬆淸除附著在吸著溝附近的 切削油、切削粉屑等物之真空吸盤。 【用以解決問題之手段】 根據本發明之申請專利範圍第1項之真空吸盤’其特 徵爲:設置在吸著面並且與吸著溝和噴射器(2)之吸引 口( 2 c )相連通的配管中,設置有止回閥者。 因此,即使在作業中壓縮機停擺,也能藉由止回閥( 逆止辦)(3 )從噴射器(2 )防止空氣逆流的情況發生 ,維持工作物以及吸著溝之間的減壓狀態,使工作物持續 保持吸著之狀況。 申請專利範圍第2項之真空吸盤,根據申請專利範圍 第1項之真空吸盤,其特徵爲:噴射器(2 )以及逆噴射 用配管(P 7 )其中任何一者在供給壓縮空氣的同時,具 備朝另一者停止供給壓縮空氣的切換功能(4 ),該逆噴 射用配管(7 )與設置在吸著面的吸著溝(1 〇 )乃是相 連通者。 如此一來,壓縮空氣藉由逆噴射用配管(P 7 )送入 吸著溝,將能吹去積存在吸著溝內的切削粉屑和切削油等 物,加以淸掃乾淨。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) --------^^衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T -6 - A7 B7 五、發明説明(4 ) 【發明的實施形態】 以下將舉出最合適本發明的實施例加以說明。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【實施例】 第1圖係表示本發明實施例之配管圖;第2圖係爲表 示本發明的外觀圖。在圖中,(1)爲表示真空吸盤的本 體’在其上設置有作爲吸著面的複數個吸著溝(1 〇 )。 此外,如第3圖所示,本發明之真空吸盤最好是呈圓 溝型’但是在本貫施例中乃是如同第2塗得方角溝型。這 個情況中可以利用在吸著溝裝設密封材料(沒有圖示)的 方式調節吸著面積。 (2 )爲噴射器;(4 )爲切換裝置的開關;(5 ) 及(6 )爲三孔插頭;(了)爲速度控制器;(8 )爲真 空表。(P1)〜(P9)爲各零件之間的配管。 壓縮空氣供給用的配管(P 1 )係爲壓縮機(沒有圖 示)以及切換裝置的開關(4 )之間的配管,從壓縮機將 壓縮空氣導入真空吸盤的噴射器(2 )內。 經濟部智慧財產局β工消費合作社印製 當開關(4 )些換到「開」時,壓縮空氣會通過配管 (P2)導入至噴射器(2)的壓縮空氣流入口(2 a ) ° ( 2 b )爲噴射器(2 )的空氣放出口,( 2 c )爲吸 引口。 從壓縮空氣流入口( 2 a )流入的壓縮空氣會如同前 述般在噴射器(2 )內部的擴散室膨脹,轉變成高速氣流 之後從空氣放出口( 2 b )被釋放。 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) Α4規格(210X 29*7公釐) 513335 A7 B7 五、發明説明(5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由於高速氣流使噴射器(2 )的擴散室內之壓力降低 ,空氣將會通過配管(P 3 )從吸引口( 2 c )逐漸流入 擴散室內,使配管(P 3 )以下的配管全部呈現減壓狀態 。至於減壓狀態可從與配管(9 )相連接的真空表(8 ) 確認。 雖然省略了圖示,但配管(P5)與設置在本體(1 )之吸著面(上面)的吸著溝(1 0 )相連通,當在吸著 面置放工作物時,由工作物與吸著溝(1 0 )所構成的空 間將減壓,使工作保持吸著狀態。逆噴射用配管(P 7 ) 係透過速度控制器(7)、及配管(P8)、及三孔插頭 (6 )、和三孔插頭(5 )連接著前述的配管(P 5 )。 因此,逆噴射用配管(P 7 )係連通設置於吸著面上的吸 著溝(1 0 )。但是,當開關(4 )形成開啓狀態時,因 爲由配管(P 1 )送來的壓縮空氣將不會供給至逆噴射用 配管(P 7 )之故,不會形成工作保持吸著時的妨害。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當工作物被真空吸盤吸著住的狀態下進行加工作業時 ,由於停電致使壓縮機停擺,無法對真空吸盤提供壓縮空 氣,空氣將從噴射器(2 )的空氣放出口( 2 b )逆流, 噴射器(2 )內部的擴散室氣壓將會高出配管(P 3 )。 如此,空氣將會從噴射器(2 )朝配管(P 3 )逆流。 不過,與配管(P 3 )相連接的止回閥(3 )能夠使 從配管(P 4 )朝配管(P 3 )的流向保持暢通,但是卻 能阻止空氣朝反對方向流通。 因此,從噴射器(2 )逆流的空氣,即,由噴射器(2 本紙張尺度適用中國國家標準·( CNS ) A4規格(210X297公釐) -8- 513335 A7 B7 五、發明説明(6 ) )的空氣放出口( 2b )朝噴射器(2 )內逆流,藉由將噴射 器(2 )返回大氣壓的空氣,使止回閥(3 )兩側的壓力差 逆轉而瞬間地切換止回閥(3 )成關閉狀態,藉此,會因爲 止回閥(3 )而受阻,不會流入以下的配管內。而工作物 係與配置於吸著面的吸著溝緊密附著,爲了使工作物與吸 著面之間所產生的減壓空間形成氣密狀態,外部的空氣將 不會流入。因此,即使壓縮機停止後也能維持該空間的減 壓狀態,工作物得以保持吸著狀態。再者,雖然逆噴射用 配管(P7)係透過速度控制器(7)、及配管(P8) 、及三孔插頭(6 )、和三孔插頭(5 )連接配管(P 5 ),當壓縮機停止時,爲了遮斷開關(4 )形成開啓狀態 後,壓縮機側及配管(P 7 )之間空氣的流動,壓縮機側 的空氣將不會通過逆噴射用配管(P 7 )流入配管(P 5 )〇 實際上,當空氣慢慢侵入工作物與吸著面之間極細小 的空隙時雖然會逐漸降低吸著力,但是藉由吸著面積或是 密封材料的安裝方法,大槪在1 5〜6 0分內,工作物都 可以持續保持在吸著的狀態。因此,停電時壓縮機以及對 工作物施行加工工作的切削器等等電動工具雖然同時停擺 ,但是由於慣性作用,在工具完全停止作用之前,工作物 仍然可以牢牢保持在吸著狀態,防止工作物因爲掉落產生 破損等情況。短時間後回復供電時,就能直接繼續工作。 對工作物的加工工作結束時會停止壓縮機的運作,但 是在這個狀態中,如同前述,由於工作物保持在吸著狀態 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ~ ~ -9 - -----1---_衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 513335 A7 B7__ 五、發明説明(7 ) ,將開關(4 )切換到「關」。如此一來,空氣將通過配 管(P 8 )、三孔插頭(6 )、配管(P 6 )、三孔插頭 (5 )、配管(P 5 )而流入和配管(P 5 )相連通的吸 著溝(1 0 )與工作物之間所形成的空間,藉由減壓解除 吸著狀態,將工作物自真空吸盤的吸著面取下。 取下工作物之後,在開關(4 )處於「關」的狀態下 驅動壓縮機,壓縮空氣將會通過逆噴射用的配管(P 7 ) 到達吸著面的吸著溝(1 0 )。如此將能吹去積存在吸著 溝(1 0 )的切削油、切削水、切削粉屑等物,在短時間 內便能輕易實行吸著溝以及附近的淸掃工作。而其噴射得 強度可以藉由速度控制器(7 )加以調整。 此外,由於能夠透過速度控制器(7 )調整噴射得強 度,因此若是將之調整至不至於吹飛工作物的程度’作業 終了後不必停止壓縮機’只需將開關(4 )切換至「關」 的位置,就能在瞬間解除吸著狀態,簡單的自真空吸盤取 下工作物。 【發明之效果】 根據上述之本發明,係爲即使壓縮機停擺的場合,亦 能在短時間內維持工作物保持在吸著狀態的高安全性噴射 式真空吸盤,並且能夠輕易的淸掃堆積在吸著溝的切削油 、切削水、切削粉屑的真空吸盤。 【圖面之簡單說明】 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產苟資工消費合作社印製 -10- 513335 A7 B7 五、發明説明(8 ) 第一圖係表示本實施例之配管圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第二圖係表示實施例之真空吸盤外觀圖。 第三圖係表示一般的真空吸盤圖。 【符號說明】 1 本體 2 噴射器 2 a 壓縮空氣流入口 2 b 空氣放出口 2 c 吸引口 3 止回閥 4 開關 5 三孔插頭 6 三孔插頭 7 速度控制器 8 真空表 10 吸著溝 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 P 1 — P 9 配管 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -11 -

Claims (1)

  1. 513335 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 1 · 一種真空吸盤,係以設置在工作物吸著用之吸著 面的吸著溝;及連通前述吸著溝與噴射器的吸引口的配 管;及在前述配管具備止回閥;在工作物的底面的範圍內 緊密貼附而嵌入,且緊密貼附在工作物的底面之密封材料 所構成的真空吸盤,其特徵爲: 利用朝噴射器供給壓縮空氣,當壓縮空氣以高速流通 過噴射器內時’保持止回閥呈打開狀態,並且將通過噴射 器內以密封材料所包圍的吸著溝內作成減壓狀態後,吸著 被設置在吸著面的工作物的底面於吸著面上, 當朝噴射器供給壓縮空氣停止時,由於噴射器內的氣 壓返回至大氣壓瞬間地切換噴射器成關閉狀態而維持以密 封材料所包圍的吸著溝內的減壓狀態,防止由工作物的吸 著面的脫離。 2 .如申請專利範圍第1項之真空吸盤,具備有噴射 器或者是逆噴射用配管的任何一者在提供壓縮空氣的同 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 時,並且在壓縮空氣供給用的配管上具備能停止另一者壓 縮空氣的切換裝置;該逆噴射用配管則與設置在吸著面的 吸著溝相連通者。 本紙張尺度適用中國國家梂準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ 12
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JP2005059173A (ja) * 2003-08-18 2005-03-10 Yoshioka Seiko:Kk 吸着装置及びチャックテーブル
KR100832696B1 (ko) 2008-01-18 2008-05-28 임권현 진공척
KR100932816B1 (ko) * 2008-01-18 2009-12-21 임권현 진공척
JP5934608B2 (ja) * 2012-08-22 2016-06-15 株式会社ディスコ 切削装置
US11430687B2 (en) * 2019-03-25 2022-08-30 Kla-Tencor Corporation Vacuum hold-down apparatus for flattening bowed semiconductor wafers

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