TW509593B - Method and device for preventing solid products from adhering to the inside of exhaust pipe and exhaust gas treating apparatus having such device - Google Patents

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509593 A7 五、發明說明（1 ) [技術領域] 本發明是關於防止排氣配管内附著固體生成物的防止 配管内固體生成物附著之方法與裝置，尤其是 用以防止將半導趙製造裝置所排出的排氣導引至排氣處理 裝置而於配管内附著固體生成物之防止配管内附著固艘生 成物的方法與裝置。 [背景技術】 第17圖表示半導體製造裝置的一般性排氣系統概 要。在半導體製造裝置⑽丨’雖在真空室1G2内使用各 種處理氣體以進行半導體基板處理，而處理氣體藉由真空 栗104從真空室102#氣，送至連接於該果下游側（出口側） 的排氣處理裝i 1〇6, ^氣體經無害化處理後送至工廠 之廢氣導管108。因為排氣中含有在常溫下蒸氣愿較低之 成分，故當真空泵1〇4的下游側壓力上昇時，形成固體化 而附著堆積在配管内。例如# ··在銘配線钱刻過程中排出 的氣化錯（aici3)、氮化梦（SiN)製膜過程或氮化欽（TiN)製 膜過程所產生的氯化銨，及氧化矽（^〇2)製膜上使 用的矽酸四乙酯（TEOS)等。 又，排规中也會含有與水相反應而產生固體生成物的 成刀。例如，用於A1配線的.蝕刻的Bc“，以C1系氣體蝕 刻夕曰曰矽時所排出的S1CI4等，但如果排氣處理裝置是用 水而進行除去有害戒分的濕式者時，由於該排氣處理裝置 之入口附近的配管部分内的濕度會昇高，該部分就會產生 上述固體生成物的附著堆積。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐） ！--312894 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 丨丨訂· 線： 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 509593 A7 B7 五、發明說明（2 對於該種固體生成物的附著堆積’一般係在流出排氣 的配管外部捲繞熱線’而將該配管加熱以防止該些成分附 著堆積。 然而，因該配管設置有各種活門或分岐管，以及連接 排氣處理裝置的上游側（入口側）及下游側（出口側）的旁通 管等，常使配管構成變得複雜，此時難以適當地纏繞熱線 於配管，因此無法適度對該配管整體加熱，或是例如，在 難以加熱的活門處會附著堆積固體生成物，此外因配管構 成複雜致使在產生排氣沉澱物等處，亦有容易附著固體生 成物等問題。此外，當用以對排氣做無害化處理的排氣處 理裝置若為藉由讓水與排氣相接觸而進行處理的濕式者 時，由於該排氣處理裝置的入口附近的配管部分，會有因 濕度昇高而無法充分加熱該部分之情形，特別在排氣含有 與水相而產纟固體生成物的$分的情形下，也會發生 因該高濕度而產生固體生成物容易附著堆積於該部分的問 題。 本發明係有鑑於上述各點而創作發明，其目的在提供 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) --線： -種方法及裝置，以防止排氣配管内面附著堆積固體成 分。 [發明概要] 本發明提供-種排氣管内附著固體生成物除去裝置， 係用以除去附著於排氣管内面的固體生成物的裝置其特 徵為具備有··具有位於排氣管内的前端開口，自該前端開 口將洗淨水供給至職㈣面之料水導入管。此處所韻 ^氏張尺度適用中aiii^7CNS)A4規格⑽χ 297公髮)- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509593 A7 B7 ______ 五、發明說明（3 ) 洗淨水導入管，並非單為導入洗淨水的單一管，亦包含有： 接收藉由用以導入洗淨水的管所供給的洗淨水而為了流通 至排氣管内，以貫通該棑氣管之管壁而設置的孔等，用以 將洗淨水自排氣管外部流通至内部的裝置。 該固體生成物除去裝置，係對於排氣中含有與排氣管 内的水分產生反應後產生固形物之成分時特別有用，能以 洗淨水洗掉生成且附著於管内面的固體生成物。 洗淨水導入管設於前述排氣管之周圍，具備有接受洗 淨水之環狀洗淨水套管，將洗淨水導入管的前端開口與該 洗淨水套管相連通，可形成貫通該排氣管的管壁而延伸到 該排氣管的内面（於排氣管的周方向隔著預定間隔而設定 的）之複數個孔。 最好是設置用以加熱該排氣管的加熱裝置，使導入洗 淨水後殘留於棑氣管内面的洗淨水經由加熱而蒸發。這是 為了防止因殘留的洗淨水產生新的固體生成物。 也可裝設複數洗淨水導入管，將各洗淨水導入管的前 述前端開口，隔著預定間隔朝向排氣管的排氣流向設置。 藉此，自預定位置的前端開口導入的洗淨水洗淨與排氣管 内的水分反應而生成附著的固體生成物時，可藉由自另一 位置的前端開口所導入的洗淨水，將與該洗淨水反應而新 生成附著的固體生成物洗掉。不過藉由單一的前端開口也 會有相同的洗淨作用，但此時係藉由調整來自該前端開口 的洗淨水排出壓力’並變換洗淨水的擴散領域來加以進 行。由此觀點得知，本發明也提供進行該種洗淨作用的方 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · •線」 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) 3 312894 A7 -------------— β7 _______ 五、發明說明（4 ) 法。亦即’該種方法之特徵係具有··將一次洗淨水供給至 包含於排氣中的成分與排氣管内部的濕氣產生反應而生成 並附著於該排氣管内面的一次固體生成物，以洗去該固體 生成物的步驟，以及二次洗淨水供給至與一次洗淨水產生 反應而新生成並附著於排氣管内面的二次固體生成物， 以洗去該固體生成物的步驟。 本發明提供一種排氣管内附著固體生成物除去裝置， 還具f用以將高溫氣體導入排氣管内，並加熱該排氣管内 面的馬溫氣體導入裝置。本發明之裝置為藉由將排氣管内 面予以加熱’以防止gj體生成物的附著者。高溫氣體導入 裝置係具有在將高溫氣體排出於排氣管内部之必要位置， 例如可朝没有難以加熱的閥的位置排出氣體的排出開口。 再者，本發明係提供一種排氣管内附著固體生成物除 去裝置，其特徵為具備：設於排氣管可於該排氣管内 以其長度方向滑動，用以刮落附著於該排氣管内面的固體 生成物的刮除構件^ 再者，本發明提供一種用於半導體製造之排氣處理系 統其係具備有.具備處理半導體的真空室的半導體製造 裝置’用以自真空室排出在該真空室内使用之氣體的真空 將藉由該真空泵排出的氣體做無害化處理的濕式排氣 理裝置，用以連接半導體製造裝置與真空泵的第！管，· $以連接真空泵和排氣處理裝置的第2管，而連接於排氣 其理^置的部分朝上下方向延伸的第2管；設於朝該第2 s的刖述上下方向延伸的連接部分，用以去除排氣與來自 ϋ 張^x 297 公髮] 312894 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制取 / 4 509593 A7 B7___ 五、發明說明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 濕式排氣處理裝置的濕氣產生反應而生成並附著於讓連接 部分之内面的固體生成物的固體生成物除去裝置，其中， 該固體生成物除去裝置則具有與上述排氣管内附著固體生 成物除去裝置相同構造。 [圖面之簡單說明] 第1圖表示實施有關本發明之防止配管内附著固體生 成物之方法的排氣處理裝置構成例之圖。 第2圖是表示實施有關本發明之防止配管内附著固體 生成物之方法的排氣處理裝置之另一構成例之圖。 第3圖表示有關本發明之防止配管内附著爵體生成物 之裝置之構成例之圖。 第4圖表示有關本發明之防止配管内附著固體生成物 之裝置之構成例之圖。 第5(a)圖為於棑氣管外侧纏繞熱線之先前裝置概念 圖。 第5 (b)圖為有關本發明將高溫惰性氣體流入排氣管内 的裝置概念圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第6圖為有關本發明之具備配管内固體生成物除去裝 置的濕式排氣處理裝置的構成例之表示圖。 第7圖表示裝設於第6圖之濕式排氣處理裝置之有關 本發明之固體生成物除去裝置之構成例之圖。 第8圖表示有關本發明之類似第7圖裝置之固體生成 物除去裝置的構成例之圖。 第9圖表示有關本發明之固體生成物除去裝置之另一 (cns)a4^ (210 χ 297 r-- 509593 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) 不同的構成例之圖。 第10圖表示有關本發明之固體生成物除去裝置之另 一不同的構成例之圖。 第11圖表示具備有關本發明之配管内固體生成物除 去裝置之濕式排氣處理裝置之另一構成例之圖。 第12(a)圖表示有關本發明之配管内固體生成物除去 裝置之1構成例之圖。 第12(b)圖類似於第12(a)圖，為表示裝設1個洗淨水 導入管時的固體生成物除去裝置之圖示。 第12(c)圖表示不設固體生成物除去裝置時的固體生 成物發生狀態之圖。 第13圖表示有關本發明之固體生成物除去裝置中的 洗淨水導入管的前端開口配置例之圖。 第14圖表示依第i2(a)圖所示之利用固體生成物除去 裝置進行洗淨作業之1例之圖示。 第15圖表示具備有關本發明之配管内固體生成物除 去裝置的濕式排氣處理裝置之另一構成例之圖。 第16圖表示第15圖之固體生成物除去裝置之構成例 之圖。 第17圖表示半導體製造裝置的排氣處理系統圖。 [元件符號說明] 排氣處理裝置 2 主配管 流入口 2， 管部分 一__ ϋ # 4 高溫惰性氣體源 本氏張國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 χ 297公爱) 6 3Ϊ2894" 2a 3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) r裝 上^_ - •線： A7 A7 、發明說明（ 惰性氣體導入管

12 14 16 20 v 31〜 34 40 44 102 108 EG I W 五 5 7 旁通管 9、10 閥 分歧管 檢測器 熱線（排出配管） 2〇’、46洗淨水導入管 33噴嘴 塗層 刮除構件 真空室 排氣導管 排氣 氣液界面 放熱熱能 6、 15溫度感測器 8 旁通閥 11 高溫惰性氣體導入管 13 壓力計 15 導入部 18 洗淨水源 21 前端開口 32 洗淨水套管 35 導入部 置42 驅動裝置 100 半導體製造裝置 104 真空泵 D、 D1、D2固體生成物 G 高溫惰性氣體 Q1、 k Q2加熱熱能 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 訂_ · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 :297公釐） 312894 [發明之最佳實施例] 以下依據圖面就本發明之實施例進行說明。 第1圖是㈣本發明之實施防止配管内附著固體生4 物之方法的排氣處理裝置構成例之圖。第ι圖中，ι係從 3有口體生成物生成成分及有害成分的排氣進行除去有害 成分的排氣處理裝置。排氣處理裝置丨具備排氣£(}流通 的主配管2,流入主配管2之流入口 2a的排氣EG通過主 配管2而導入反應部3 ’而於此進行除去含有固體生成物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 : 509593 A7 -------______ 五、發明說明（8 )

的有害成分Q (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述反應部3可以是：填充有害成分吸著用藥劑的乾 式、將水與排氣接觸以除去有害成分的濕式、燃燒式、觸 媒反應式或以上之組合物。於主配管2内部，由高溫惰性 氣體源4通過惰性導入管5流入高溫惰性氣體，藉由該氣 體加熱主配管2的内壁，使該内壁不致附著固體生成物。 在圖不的構成例中，主配管2中設有熱電對等的溫度感測 器6將由該感測器測得的溫度測定值，反饋至高溫惰性 氣體源4，並將主配管2的内部溫度控制在不致附著固體 生成物的預定溫度。但是，也可不藉由該種反饋控制，而 配合排氣處理裝置j的使用條件，預先將高溫惰性氣體源 4設定於所需的固定溫度。 -線- 第2圖疋表示有關本發明之排氣處理裝置的另一實施 圖例。在第2圖中，標示和第j圖相同符號的部分表示相 同戈相分。又在其他圖面也是如此。7是具有旁通閥& 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 的旁通管，該旁通管7連接於反應部3的流入口（上游）側 的主配管2和反應部3的流出口（下游）侧的主配管2之間。 旁通管7具有··排氣eg中的成分，在主配管2或反應部3 因閉塞而產生壓力上昇等問題時，可藉由打開旁通閥8， 而讓排氣EG通過該旁通管7流出的功能。在第2圖的構 成例中’於反應部3的流入口側及流出口側的主配管2中， 各設有閥9，1〇，在發生上述問題時，可藉由將該些閥關 蘭’執行維護反應部3。 第2圖的構成例顯示，將高溫的惰性氣體，通過分岐 本紙張尺度適用中國國(CNS)A4 規格（21G X 297 公f )' — 8" 312894---— 五、發明說明（9 的惰性氣體導入營S1 , n 5 5，以流入旁通管7及主配管2。當 旁通閥8關閉時，藉由導入旁通管7内的惰性氣體流出至 上游侧主配管2，W ΙΧβ I k U阻止排氣流入同一旁通管’而防止固 體物附著於旁通管^ 第3圖表示將鬲溫惰性氣導入旁通管7的另一形態。 亦即，在該形態中’將高溫惰性氣體G，自該高溫惰性氣 體導入g 11朝旁通_8喷吹，藉此，在加熱旁通管7的内 壁的同時可充分加熱旁通閥8,以防止固體生成物附著於 旁通閥8。 第4圖表不，在主配管2中設置分岐管12,並在其前 端设定壓力計13的情形。亦即，該鐵力計13，可藉由測 疋主配管2内的壓力，檢測由主配管内的固體生成物所導 致之管内之閉塞狀況。如圖所示，於分岐管12内配置有連 接於高溫惰性氣體源4的高溫惰性氣體導入管u，以使高 溫惰性氣體朝壓力計13喷吹，藉此，可清除浸入分岐管 12内的排氣，同時加熱壓力計13，以防止固體生成物的附 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第5(a)圖所示，以往的方法係在例如sus製的主配 管2的外侧纏繞熱線16，而利用該熱線16自外側加熱主 配管2(加熱熱能Q2)，因加熱熱能Q1過大致使加熱效率 不好。相對於此，本發明係對例如sus製主配管2内部流 入冋溫惰性氣體G，而由主配管之内壁進行加熱（第5(匕） 圖），因此與以往相較之下，放熱熱能W較少，而能有效 率地加熱管内面。 312894 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --線： 本紙張適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公f 509593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（1()) 第6圖表示具備有關本發明之另一實施例之固體生成 物除去裝置的濕式排氣處理裝置的構成圖。如圖所示，濕 式排氣處理裝置1和前述相同，具有流通排氣的主配管2、 反應部3和流通已無害化的排氣之排出配管（主配管下游 部分）16。 反應部3可以是：將形成霧、煙霧狀等之水與排氣接 觸的液體分散式、讓排氣分散通過貯存水的氣體分散式、 或以上之組合物。主配管2内，和前述實施例相同，可藉 由高溫惰性氣體源4通過惰性氣體導入管5而導入高溫惰 性氣體，另一方面，也可自洗淨水源1 8通過洗淨水導入管 2 0而導入洗淨水。 在上述構成的濕式棑氣處理裝置1中，在反應部3之 前主配管2内的濕度昇高，而所處理的排氣與水產生反應 而含有生成固體物之成分時，主配管之反應部3的當前部 分容易生成固體物而附著堆積，而在本實施例中，係藉由 通過洗淨水導入管20而對該部分流通洗淨水，使之能有效 除去該固體生成物。洗淨水可以是水或藥液。又，藉由高 溫惰性氣體源4，通過惰性氣體導入管5而導入高溫惰性 氣體於主配管2内，藉此與第1乃至第5圖所說明的實施 例同樣地，可防止固體物的附著堆積，並在流過洗淨水後 加溫浸濕的主配管2的内壁，使附著於壁面的洗淨水蒸發 並迅速乾燥，藉此防止於導入洗淨水後因殘留於内壁面上 的洗淨水所生成的新固體生成物附著。 第6圖所示之濕式排氣處理裝置中，在主配管2内設 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） 10 312894 509593 五、發明說明（11 ) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 有用以檢測附著於該主配管2之内壁面的固體生成物之附 著狀況的檢測器14,根據該檢測器14的檢測，控制来自 洗淨水源18的洗淨水供給量。檢測器14可做為檢測出主 配管2内壓力之壓力檢測器，或檢測出附著於主配管2内 壁面的固體生成物的附著㈣之光感知器。檢測器14的裝 设位置’只要是可監測到主配管2内固體生成物的附著狀 態的位置均可。 又於第6圖濕式排氣處理裝置中，在自主配管2的惰 氣體導入管5下游的任意位置設有熱電對等的溫度感測 器15，依據該溫度感測器15的輸出，控制由高溫惰性氣 體源4導入主配管2内的高溫惰性氣體的流量，以將主配 管2的内部溫度控制在可促進主配管2内壁乾燥的預定溫 度。不過這種溫度感知器並非絕對必要的，亦可視該濕式 排氣處理裝置1的使用狀況或洗淨水導入狀況，控制因高 溫惰性氣體源4的加熱。此外，做為用以乾燥主配管内壁 面的加熱裝置並不限定於上述之例，譬如亦可利用將熱線 纏繞於主配管外面等各種方式。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第7圖為從第6圖之洗淨水導入管2〇將洗淨水供給至 主配管2内的具體構成例。亦即，該洗淨水導入管2〇係在 其前端設有具有複數洗淨水喷射孔的嘴射嘴3丨，可自洗淨 水源18將洗淨水朝主配管2的内壁面以淋浴狀喷吹的洗淨 水。在使用洗淨水以防止固體物附著的裝置上，最好是流 通於真空泵至排氣處理裝置的反應器的主配管内的排氣， 與供給至該主配管内的洗淨水的流向為同一方向，第7圖 本紙張尺度適用中國國篆標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 312894 A7 "-*---___ 五、發明說明（12 ) — 一'~"一- ::之實施例中’與主配管2的反應器3的連接部分朝上 :向延長，喷嘴31在該連接部分中朝下方供給洗淨水， =此使該洗淨水和該連接部分内的排氣流向一樣朝下方流 第8圖表示將洗淨水供給至主配管内的另-構成例。 在該例中，洗淨水導入管2〇的前端連接在設於主配管2 外圍的洗淨水套管32，而供給至該洗淨水套管η的洗淨 &係通過貫牙主酉^管2管壁内的多數洗淨水喷射孔（不圖 示）供給至主配管内壁。 第9圖表不用以對主配管2内供給洗淨水的另一構成 例在該例中，主配管2外圍設有洗淨水套管％，主配管 2内則配置與該洗淨水套管32連通的複數喷嘴33。由洗淨 水源18通過洗淨水導入管2〇而供給至洗淨水套管u的洗 爭水自該喷嘴33供給至主配管2内，並沿著該主配管的 内壁面流下。 第10圖表不具備有關本發明之固體生成物除去裝置 的濕式排氣處理裝置的洗淨水導入部的另一構成例。於主 配管2的内面鋪設有樹脂製塗層34。藉此可使固體生成物 難以附著在主配管2的内壁，且在洗淨水流過後，該洗淨 水亦難以殘留於主配管2内壁上。又，往主配管2之反應 部3的導入部35相對於反應部3呈傾斜連接，藉此可使用 洗淨水沖刷的固體生成物不易堆積於導入部35。如上述之 構成’適用於反應部3為樹脂製時，且適用於無法將該配 管高溫加熱的狀況等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·· --線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） 12 312894 509593 A7 B7 _ 五、發明說明（D ) 第11圖表示具備有關本發明之固體生成物除去裝置 的濕式排氣處理裝置的另一構成例。在該構成例中，洗淨 水導入管20和惰性氣導入管5係在導入主配管2前進行連 接。藉此，洗淨水藉由惰性氣體成為高溫洗淨水而導入主 配管2内。如此將洗淨水加溫，使之成為高溫洗淨水，藉 此，可將附著於主配管2内壁的固體生成物迅速溶解除 去。 第12(a)圖表示用以將第7圖至第9圖所示之洗淨水供 給至主崾管2内的裝置的其他實施例。 亦即，在該實施例中，於抵達濕式排氣處理裝置之反 應器3的主配管2的軸向上隔著預定間隔的位置上連接有 第1及第2洗淨水導入管20, 20。將第7圖至第9圖所示 之洗淨水供給至主配管2内的裝置，如前所述，係用以洗 去附著在接近反應器3的主配管内所產生的氣液界面工附 近的固體生成物D(第12(c)圖），基本上，如第12(b)圖所 示，在附著的固體生成物D的上端附近設定洗淨水的供給 孔，如此一來，雖可洗去固體生成物D，但藉由該洗淨水 之供給會產生在較該供給位置（主配管2的）上游側（上方位 置）附著新固體生成物D1 (第12(1))圖）。該固體生成物D1， 雖可設成較利甩洗淨水洗去的固體生成物D為小，但最好 亦能將該新固體生成物〇1除去。第12(a)圖所示之實施 例，即用以將此新固體生成物Di除去之構成。 在該實施例的洗淨作業中，由接近反應器3的第1洗 淨水導入管20的洗淨水，以預定的時間間隔（區間 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} J^T. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公t ) 13 312894 509593 A7 五、發明說明（l4 ) 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 頁 (interval))供給，以洗去堆積於接近氣液界面1的主配管内 面的固體生成物D。相對於此，較第i洗淨水導入管2〇 遠離反應器3’位於上方位置的第2洗淨水導入管2〇，，則 以較第1洗淨水導入管20更長的時間間隔（區間（interval) 進行洗淨水的供給（亦即，相對於由第〗洗淨水導入管2〇 的一定次數的洗淨水供給，由該第2洗淨水導入管2〇，的 洗淨水供給係以1次比例供給），而洗淨作業的合計洗淨水 供給時間也比由第1洗淨水導入管2〇的合計洗淨水供給時 間更少。 藉由第2洗淨水導入管20,的洗淨水供給，雖然同樣 會在較該洗淨水導入位置上游侧的主配管内面形成附著堆 積別的固體生成物D2,但其所產生的固體生成物D2的堆 積遠較由第1洗淨水導入管20所產生的固體生成物〇1為 少，因此可進行固體生成物D的除去。如此，若將相同的 洗淨水導入管隔著間隔增設在主配管上下方向，則相當於 没置2個洗淨水導入管的上述情況之固體生成物D2的最 終剩餘阖體生成物數量，將可以等比級數減少。具體而言， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由各洗淨水導入管的洗淨水導入量及頻率等，係依照堆積 於主配管内面的固體生成物的量來決定較為妥當，為此其 執行方法上有：於主配管内的必要位置上設置用以檢測固 體生成物堆積量的感知器，依照該檢測結果而決定的方 法’或依照反應器的運轉狀況等，預先以固定條件實施的 方法等。固定生成物對水的溶解度具有溫度依存性，大部 分情形多隨溫度昇高而溶解度上昇。舉例而言，有做為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 14 312894 509593 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（l5 ) BC13和水的反應性生成物的ΗΒ03，及做為SiC4和水的反 應性生成物Si02。因此，對於這種固體生成物最好能提高 洗淨水溫度，但提高洗淨水的溫度後，則可能導致洗淨水 供給部分附近的固體生成物增多。此乃溫度上昇而導致固 體生成氣體成分和水的反應速度上昇的關係。因此，為減 少該種固體生成物的生成，最好一邊提高洗淨水整體的溫 度’一邊將該洗淨水之主配管内面上之上緣附近的溫度儘 量降低。考慮此點’在第14圖所示實施例中，即藉由來自 第1洗淨水導入管20係供給溫度高的洗淨水H，而來自第 2洗淨水導入管20’則供給溫度低的洗淨水c，以進行如上 述之溫度分布的洗淨水供給。 如第⑷圖所示，將洗淨水導入管裝設於濕式 理裝置的反應器3入口附近的主配管，以進行BC13含有 氣體的處理，ϋ以下列條件實施附著I主配管内面3的固體 生成物的洗淨實驗（實驗i、實驗2、實驗3)。(氣體條件） 氣體流量 lOslm BC13 濃度 10% (洗淨水供給條件） 供給間隔 實驗1 實驗2 實驗3 (1週期6分鐘） 表紙張尺度義中國國家標準（CNS)A4規^^ ) 不供給洗淨水 10秒供給/5分50 (1週期6分鐘） 10秒供給/5分50秒 … 心V止供給 秒停止供 給 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -丨線： A7 ^---2Z_____ 、、發明說明（16 ) 供給形態 實驗2 :僅使用洗淨水導入管2〇 實驗3 : 1週期中 由洗淨水導入管20供給9次後 由洗淨水導入管20,供給1次 供給量 實驗2:2.4公升/分 實驗3 : 2·4公升/分<合計量） 實驗時間 120分鐘 實驗完畢後將存在於主配管至反應器部分的粉體溶解 於水中’測定水中Β濃度以求出η3Β03的附著重量。結果 如下表所示。 主配管内面 反應器氣體導入部 實驗1 o.oig 5.1g 大致閉塞 實驗2 〇.93g 0.02g 大量附著於2個洗淨水導入 管之間： 約閉塞配管的1半 實驗3 0.03g o.oig 少量附著於上面的洗淨水導 入管的上方位置： 大致與實驗前呈相同狀態 於上述實施例中，雖然設置2個以上的洗淨水導入管 2 0，2 0 ’，並設在主配管上游側的洗淨水導入管進行去除其 下游侧的洗淨水導入管因導入洗淨水而產生的固體生成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂. ;線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 16 312894 509593 A7 五、發明說明（17 裝看^-丨 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 物，但這些洗淨水導入管的位置關係並非限定如此，主要 是為了除去因先前供給的洗淨水而附著堆積的固體生成 物’因此之後供給的洗淨水在主配管的内面上的上端，以 能達到較先前形成的固體生成物的上端為上的位置為宜， 例如第12圖所示實施例，亦可將上述第2洗淨水導入管 2〇’ ’設在第1洗淨水導入管下方位置。此外，若能在滿足 上述條件下進行洗淨水供給，便無須隔著間隔將洗淨水導 入管複數段設在主配管之上下方向。亦即，藉由設置單一 段的洗淨水導入管（亦即，在主配管之單一高度位置上設置 洗淨水導入管），而改變洗淨水供給壓力，可進行與上述實 施例同樣的固體生成物洗淨作用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 通過洗淨水導入管而將洗淨水供給至主配管内時，由 於洗淨水碰到主配管内面而會飛散等，因此最好讓由該洗 淨水浸濕的主配管内面的位置不要擴大到所要位置上方。 因此洗淨水導入管20的前端開口 21，最好如第13圖所示 對主配管2的内面形成切線方向。又，前端開口 21不為朝 上’而設成水平或朝下是由防止洗淨水飛散，所供給之洗 淨水在主配管内面上的敢面南度的控制（上緣位置的控制） 等觀點來看，此乃最適當形式。自該前端開口 21排出至主 配管内面的洗淨水，係從主配管内面上，藉離心力以該内 面之中心軸線為中心迴旋而流向下方。該洗淨水到達主配 管内面上的最高高度係由其流速而決定。因此，如前述— 般，將洗淨水導入管設定為如上述之單一段時，可藉由抑 制洗淨水的流速，可獲得如前述設置複數段之洗淨水導入 本紙張尺度ί用中國國家標準（CNS)A4 g (21G X 297公爱）— π ~312894- 509593 A7 B7 五、發明說明（18 ) 管而進行洗淨作用時相同的效果。 第15圖是表示具備有關本發明之另一實施例的固體 生成物除去裝置的濕式排氣處理裝置的構成圖例。如圖 示’濕式排氣處理裝置1和前述者相同，具有流通排氣的 主配管2、反應部3、及流通經無害化處理之排氣的排出配 管16。於主配管2内和前述實施例相同，通過惰性氣體導 入管5，導入來自高溫惰性氣體源4之高溫惰性氣體，藉 此以控制發生在主配管内的固體生成物，但在該實施例 中’其他於主配管2的反應器3中，部分設有用以刮除附 著於該部分之固體生成物的固體生成物除去裝置4〇。第16 圖表示該固體生成物除去裝置40的具體構成。如圖所示該 固體生成物除去裝置40具備有：設在由主配管2的反應 器3垂直延伸的管部分2’上端的馬達等驅動裝置42;藉由 該驅動裝置上下移動管部分2,内部，用以刮除附著於該管 部分内面的固體生成部的刮除構件44。該刮除構件只要是 能滑動於管部分2,内面上並刮除固體生成物者的任何形態 均可，例如，可以是圓盤狀、螺旋狀、棒狀等各種形態， 此外，不單是可上下移動，同時可進行迴轉。胃中，參照 號碼46為洗淨水導入管，設計上係可藉由將洗淨水適當供 給至管部分2，，以洗淨附著於刮除構件料或管部分内面 的固體生成物。於第15圖中’參照號碼14係藉由檢測主 配管内部的壓力而用以檢測附著於管部分2,内壁面的固體 生成物之附著狀況的檢測器，15則是 』疋用以控制高溫惰性氣 體源4的溫度感測器。 (請先閱讀背面之注音？事項再寫本頁) |>裝 --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

312894 509593 A7 _B7_____ 五、發明說明（I9 ) [利用於產業上的可能性] 本發明特別適用於半導體製造裝置的排氣系統，但並 非限定於此，亦可應用於各種排氣系統。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 19 312894

Claims (1)

1. H3 第901 19296號專利申請案 申凊專利範圍修正本 L 一種排氣管内附著固體生成物除去裝置（，=8月2日） 菩：^ Μ Μ总Hn i 係用以除去附 且右/人面的固體生成物的裝置，其特徵為具備： 供給至排氣管㈣自;^端開口將洗淨水 2. :r:範:第1項的排氣管二著固體生成物除去 口\ 别述前端開口形成朝向前述排氣管内面開 3. =請::_第2項的排氣管内附著固體生成物除去 ^ : 洗淨水導人管設在前述排氣管周圍， ^有接受洗淨水的環狀洗淨水套管，而前述前端開口 連通於該洗淨水套管，貫通前述排氣 該排氣管内面。 甲至 I •如申請專利範圍第]g & 尸~ ㈣U㈣著目體生成物除去 ^置、、中’於前述前端開口設有定位在前述排氣管内 的排氣通路内’用以排出洗淨水的噴嘴。 ·!：申請專利範圍第1項至第4項中任-項的排氣管内附 者固體生成物除去裝置，其中，該裝置具備有：在導入 2 Γ水f L為使殘留在排氣管内面洗淨水蒸發而用以加 *、、、違排氣管的加熱裝置。 Γ.如申請專利範圍第5項的排氣管内附著固體生成物除去 管内供給高溫氣體的高溫氣 適用中國國家 1 312894 509593 H3 體源以做為前述加熱裝置。 7.如申請專利範圍第6項的排 裝置，其中，前述高溫氣體係對排:::體生， 8·如申請專利範圍第1項至第4項中任“生之“。 荽固妒凌士、t A 、甲任一項的排氣管内附 者固脰生成物除去裝置， 乂、十、嫌友_ 月丨]迷之前端開口係朝向 刖迷排虱管内的排氣流向 Π 9如争社直网耆預疋間隔設置複數者。 9.如申明專利範圍第2項至 益®雜止丄 貝干任—項的排氣管内附 者固體生成物除去裝置，其中， # # Λ裝置具備有：設於排 乳官内，可以其長度方向在該棑 隹茨排虱官内滑動，而將附著 於該排氣管内面的固體生成物刮除的刮除構件。 1〇·-種排氣管内附著固體生成物除去方法，用以除去附著 於排氣管内面的固體生成物，其特徵為具有下列兩 驟： # ·將一次洗淨水供給至包含於排氣中的成分與排氣 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 &内。卩的漁氣產生反應而生成並附著於該排氣管内面 的〜人固體生成物，以洗去固體生成物的步驟，·及 將二次洗淨水供給至與前述一次洗淨水產生反應 而新生成並附著於排氣管内面的二次固體生成物，以洗 去該二次固體生成物的步驟。 11_如申請專利範圍第10項的排氣管内附著固體生成物除 去方法’其中’於前述排氣管中’沿著排氣流向隔著預 定間隙設置第1及第2洗淨水導入口，自前述第丨洗淨 水導入口供給前述一次洗淨水’而自前述第2洗淨水導 入口供給前述二次洗淨水 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210 X 297公釐） 312894 H3 如申請專利範圍第1G項的排氣管内附著固體生成物除 去方法’其中’將前述—次及二次洗淨水，自設在前述 排氣管的單一洗淨水導入口 ’藉由施予各自不同的壓力 :供給’調節該一次及二次洗淨水在該排氣管内部的擴 散範圍，藉此，前述一次及二次洗淨水各自供給至前述 一次及二次固體生成物。 13·-種排氣管内附著固體生成物除去裝置，用以將附著於 排氣管内面的固體生成物除去’其特徵為：具有將高溫 氣體導入排氣管内’用以加熱該排氣管内面的高溫氣： 導入裝置。 14. 如申潰專利祀圍第13項的排氣管内附著固體生成物除 ，裝置’其中’前述高溫氣體導人裝置具有用以將高溫 氣體朝向排氣管内部之必要位置排出的排出開口。 15. 如申請專利範圍第13項或第14項的排氣管内附著固體 生成物除去裝置’其中，該裝置具備有：設於排氣管内， 可以長度方向在該排氣管内滑動，用以將附著於該排氣 管内面的固體生成物刮除的刮除構件。 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 16. -種排氣管内附著固體生成物除去裝置，用以將附著於 排氣管内面的固體生成物除去，其特徵為：設於排氣管 内’可以其長度方向在該排氣管内滑動，用以將附著於 該排氣管内面的固體生成物刮除的刮除構件。 17-種用於半導體製造的排氣處理系統，其特徵為具備 有·· _具有用以進行半導體處理的真空室的丰導微事达 本紙張尺度·㈣國家標準（CNS) A4規格（21G X 297公爱）----—__ 312894 509593 裝置； 用以自真空室排出在該真空室内所使用的氣體的 真空泵； :藉由該真空果排出之氣體做無害化處理 排氣處理裝置； 用以連接前述半導體製造裝置和真空泵的第】管 用以連接真空泵和排氣處理裝置的第2 及， 設於該第2管’用以除去排氣與來自濕式排氣處理 裝置的屬乳相反應而產生之附著於該連接部分内面的 固物生成物的固體生成部除去裝置， ”該：體生成物除去裝置具備有具有位在前述第2 管内的鈿端開口，可自今益★山Μ 管内面的洗淨水導入I·將洗淨水供給至第2 18•如申請專利範圍第17項的排氣處理系統， 洗淨水導的周圍，具備/有接受= 水的環狀洗淨水套管’前述前端開口與該洗淨水套管： 通’貫通前述第2管之管壁而延長至該管内面。 19·如申明專利乾圍第17項或第以項的排氣處理系統，苴 中，於前述前端開口，設有被定 ’、’·- 通路内，用以排出洗淨水的嘴嘴在^第2管的排氣 2〇 t申：專利範圍第17項或第18項的排氣處理系統，其 〜使洗淨水導人後殘留於“第2管 = 水加熱並蒸發，乃備有將高溫惰性氣體供給至前:連^ 部分内的高ϋ性氣體漁。 連接 本紙張尺奴財 312894 4 如申清專利範圍第1 7 中，於…"β負次弟18項的排氣處理系統，其 ;月1】述第2管方向隔荖預定pq Λ 道— 者預疋間隔，設置複數洗淨水 ^入官的前述前端開口。 如申明專利範圍第1 7項或第1 8項的排氣處理系統，1 | ，、 一，具備有：設於排氣管内，可以其長度方向在該排氣 g内滑動，而將附著於該排氣管内面的固體生成物刮除 的刮除構件。 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） 5 312894