TW504483B - Method and device for transporting a semiconductor wafer through a treatment container - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1·) 本發明係關於一種運送半導體晶圓穿過處理容器之方 法及裝置。 此類之方法及相應之裝置可參見Ερ-Α-〇817246。在此 裝置，半導體晶圓穿過一設置在氣體環境内，包含處理流體 之程序容器，此容器至少有二位在處理流體表面下之開口， 以線性運送半導體晶圓基板，晶圓是藉單一在程序容器内之 操作裝置運動進入及退出程序容器。其實，操作裝置運動進 入程序容器，並與處理容器接觸，此運輸裝置可能污染處理 流體，尤其是在反應室内交換工件之後。處理流體被污染會 影響晶圓之處理，造成較多廢品，除此之外，只要運輸裝置 上沾有處理流體’晶圓即可能在進入程序容器前與處理流體 接觸，造成不均勻之處理，此點可能造成晶圓受損害或是報 廢。 在DE_A_37 39 439中顯示一印刷電路板清洗裝置，其 中電路板被運送穿過一分配系統對，在其間有狹有通道。在 通道内，一液流被導致電路板表面上，以將之清洗乾淨。電 路板藉第一滾子對被導入狹窄通道，並在部分穿越通遒後， 由第二滾子對接收，再被運出通道。 在US-A-4,947,784中顯示一裝置及方法，在晶圓卡g 及無卡匣之晶圓載具間運送晶圓。此裝置有一轉動平台，以 個存放於卡g内之晶圓定位，另外有一升降機制Γ以將 印圓;k.卡g内舉出，多個爪手機構及—導引運動機構，以將 晶圓從侧向送入無卡匣之載具内。 另外，在DE-A-33 38 994中有一半導體晶片用之小板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • * - ---------訂---------線赢

本紐尺度義tmWim 29Z孝釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 504483 五、發明說明（2·) 固定裝置，此裝置有一具夾緊爪手之運輸機械手，其於侧向 抓進卡匣環，半導體晶圓被固定在此環上。 從以上所述之技術現況出發，本發明任務是，提出一上 述種類之方法及裝置，以簡單及償格有利方式，對基板進行 均勻及較佳之處理。 根據本發明，此任務一運輸基板穿過處·理容器之裝置加 以解決，處理容器在基板運動方向之寬度較基板直徑為小。 此裝置在處理容器前，在基板運動方向設置有一第一運輸裝 置’以將基板部分運動穿過處理容器;有一在處理容器之後 ，在基板運動方向設置之第二運輸裝置，以接收及拉引基板 穿過處理容器。 以此裝置，基板運動穿過處理容器，而運輸裝置不需在 處理容器内操作，這是以下述方法做到··基板被設置在處理 客器之後，於基板運動方向設置之第二運輸裝置接收，而在 處理容器前，在運動方向設置之第一運輸裝置例不駛入處理 容器内。如此，可避免因運輸裝置而造成之處理容器污染， 除此之外，也可避免基板之污染或基板提前與附著在運輸裝 置上之處理流體接觸。 處理容器在基板運動方向之寬度最好較基板直徑之一 半為小，使基板至少可以第一運輸裝置運動穿過處理容器之 一半處。如此，基板之第二運輸裝置可在基板另一處抓取。 依一較偏好之發明實施例，第二運輸裝置至少有一前基 板爪手及一後侧爪手，以在其間抓取基板。最好設置二後侧 爪手；以確保基板有良好之三點支持。 本紙張尺度適用標準（CNS)A4規格（21^^y -------------#裝------丨訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

504483 五、發明說明（3·) 為能從侧面抓取基板，後侧爪手最好可在與基板運動方 向垂直之方向運動。此時，後侧爪手抓取基板時，最好是抓 在基板與運齡向垂直之最大錄處。餘減手及後侧爪 手最好是棱邊爪手，以便只抓取基板之棱邊，防止與其他範 圍接觸，並避免可能之基板損害。 此裝置之一特別簡單之設計是，牵引裝置之前基板爪手 可運動穿過基板，也就是，前基板爪手不需要獨立之驅動， 而是只用為被動之基板固持點。 在一特別偏好之發明實施例形式中，為第一運輸裝置及 至少第二運輸裝置之後侧面爪手設有一共同之驅動裝置。以 保證基板可均勻’連續運動穿過處理容器，均勻及連續運動 對基板受均勻之處理極為重要。第一運輸裝置及至少第二運 輸之後侧爪手可與共同之驅動裝置聯結，也可從之脫離，使 驅動可以同步。 為確保後侧爪手在基板運動方向垂直之運動，簡單及可 靠’至少設置有一在曲線軌道内被導引之導引元件，如此， 後侧爪手之任一運輸過程均可保證有均勻之侧向運動，在運 輸結束後，要交出基板，最好設有—解鎮滑板，以在侧向推 動導引元件，及因而推動後侧面爪手。此解鎮滑板與曲線軌 道導引相比，優點是，解鎮滑板可立即黎放基板，而曲線軌 道則是逐漸運動及因而逐漸放鬆基板。 在另一實施形式中，至少有一關閉氣缸，以驅使後側爪 手在垂直於基板運動方向運動。 為更佳的導引基板，在處理容器内設置有導引裝置，此 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(21〇 X 292冷爹） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝--------訂---------線* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 504483 A7 B7 五、發明說明（4·) 處理容器最好有一與之邊緣範圍相對，在基板運動方向偏置 之邵分範圍。藉此形式之處理容器，可降低基板轉運時第一 運輸裝置與第二運輸裝置間之距離。在處理容器入口侧設置 偏置部分範圍，第一運輸裝置可更駛近第二運輸裝置。在出 口侧設置偏置之邵分範圍，尤其是後侧爪手可更提早抓取基 板，或在同一抓取點可擴大處理容器之寬度，較寬之處理容 器，好處是在相同之晶圓進給速度下，每晶圓表面單位由媒 質之作用時間較長，此使同樣程序時間下有較佳之清潔或處 理。在入口侧及出口侧最好設置有相應之部分範圍，處理容 器最好是弧形，為使晶圓有均勻之處理，處理容器在基板運 動方向最好有相同大小之寬度。此發明裝置特別適用於半導 體晶圓。 以上所述之任務也藉一運輸基板穿過處理容器之方法 加以解決，其中，處理容器在基板運動方向之寬度較基板之 直位為小。在此方法中，基板藉一設置在基板運動方向，位 在處理容器前之第一運輸裝置運動部分穿過處理容器，並藉 一設置在基板運動方向，位在處理容器後之第二運輸裝置接 收基板，並拉引基穿過處理容器。如此得到的好處是，運輸 裝置不必駛入處理容器内，並因而防止因此運輸裝置而造成 之污染。 其他較佳之發明設計可見申請專利範圍。 以下藉較偏好之實施例，以圖示說明發明，各圖所顯示 之内容如下： 圖一：一根據本發明設計之運輸裝置之晶圓處理裝置之透視 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------^--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度賴㈣S家WBiS)A4規格⑽ X 297 ) A7 A7

五、發明說明（5·) 圖； 圖二：處理装置之剖面圖； 圖二:根據本發明之運輸裝置在各運輸位置之示意上視 圖； :圖四·另一運輸裝置實施例之示意上視圖，與一特別處理裝 置組合； 圖五：根據圖四實施例，在另一運輸位置之示意上视圖； 圖穴·根據本發明另一運輸裝置之示意上視圖； 圖七-九：根據圖六實施例在不同運輸位置之示意上視圖。 圖一顯示一晶圓處理裝置1之透視圖，具一底座2，及 置於其上之處理容器3，及運輸裝置4，底座2具侧壁7 、8 ’端壁9 ' 10及底部u，形成主要是方形，向上開放之 盒。處理容器3以適當方式，於侧壁之長方向，約是被置於 中央。處理容器3為底座分為入口侧部分14及出口侧部分 15。 在入口侧之側壁7、8較出口侧為高。侧壁7、8在入口 側，在上稜邊，各有一面向另一侧壁之凹槽，形成支承面 18及侧導引面19。在圖一中看出，半導體晶圓2〇可例如被 置於支承面18上，並被侧導引面19在侧向固定。 圖二顯示了處理裝置3。處理裝置3具一程序容器22 ，程序容器具一溢容器。程序容器22被充以處理流體^， 處理流體經溢緣27流至溢流容器23。程序容器22在溢流 緣27下，因而也是在處理流體液面下有一入口開口四，， 及-與入口開口相對立之出口開口 30。在程序容器22未示 本紙張iSiTi國家標準（CNS)A4規格（210 X 29!會釐)一一 -- - A7 A7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 B7 五、發明說明（6·) 出之侧壁上設有一支承面32，其與底座2之支承面18有相 重之高度。在晶圓運動穿過程序容器22時支承面32被用來 導引晶圓20至邊緣。 在程序容器22之出口侧設有一乾燥室35，在室内，經 噴嘴37、38將一乾燥流體送至穿越程序容器22之晶圓20 上。此乾燥流體最好是降低處理流體表面張力之流體，如此 可依馬拉哥德(Marangoni)效應進行脫乾。處理裝置3之其他 1田節’在同一申請人在同一天推出申請案號為199 34 300.4 名稱疋’’基板處理裝置"中有加以描述，其也被用為此發明之 内容以避免重複。 現在以圖一及三a_d說明運輸裝置4。從圖一可以看出 ’在底座2入口範圍14設有一堆動機構40，其與在底座2 出口側範圍15之拉動機構42 —起構成運輸裝置。推動機構 4〇有一推動件44,其經一適當之連接元件45與一固定在底 座2侧壁8上之導引單元及驅動單元46相連。連接元件45 在導引單元及驅動單元4*6之二導軌48、49内被導引，並以 適當’未示出之方式，向處理裝置3方向運動及遠離之。在 向處理裝置3運動時，推動件44與置於底座2侧壁7、8 支承18上之晶圓20接觸，並向處理由裝置3方向運動，以 後再會以圖三a-d加以說明。在侧壁支承18末端，設有一 额外之上導軌50(圖二），其防止晶圓進入處理室後從支承 18突起。 拉動機構42具二對立之侧爪手52、53，及一前爪手55 ’其在圖一中未示出，但在圖三a-d中有示意顯示。 本紙張尺度適财關家縣（CNS)A4規格⑽x 2冗今愛 -41^ 裝--------1T---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 504483 五、發明說明（7·) 前爪手55可對侧爪手52、53於縱方向相對運動。侧爪 手52 53以適當方式可在侧向運動，在圖三&至d中有示 思顯示’以使從晶圓20之運動線路中運動出，並在晶圓2〇 與運動方向垂直之最大直徑離開後，從晶圓後於側面夾持， 如圖三a至d所示，以後會再加說明。 在圖一中顯示出，側爪手52及53從上及下抓取晶圓 20之側邊範圍，如此，不需要一額外之前爪手，只由二侧 爪手即可固定晶圓。在使用额外之前爪手55時，侧爪手52 、53及前爪手55也可不在上及下導引晶圓2〇,而只是定義 一支緣’晶圓被置其上。藉設置三爪手52、53、55仍然 保證有安全之固定。 訂 現在以圖三a至d說明運輸裝置4之操作情形。 在圖三a至d中，為簡化之故，並未示出基板2。 線 在處理容器3内進行處理時，晶圓2〇被置於基座2侧 壁7、8之支承18上，如圖三a所示。隨後·，推動件44與 晶圓20接觸，並將之向處理裝置3方向推動。如圖三b所 不，推動件44將晶圓20推進處理裝置3内，晶圓在支承面 32上被導入程序容器22内。晶圓2〇之導引末端與前爪手 55接觸，並被其接收。侧爪手52、53從晶圓2〇之運動路 線外’由一侧向運動向外移出。 如圖三c)所示，推動件44將晶圓20儘可能推出處理裝 置3，直到推動件44在處理裝置3前停下。推動件44在進 入處理裝置3之前被停住。在此時刻，侧爪手52、53運動 ’與晶圓20接觸，抓住晶圓20與運動方向垂直之最大直徑 本紙張尺錢时國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297_ )— 504483 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（8·) 將晶圓完全拉出處理裝置3，如圖三d所示。侧爪 =立運動與推動件44之推運動相返同步，使晶圓 20均勻的運動穿出處理裝置3。只要晶圓2〇與侧爪手η、 53接觸，推動件44及退回至圖三〇斤 圓可被置人。 續不仏置，使新的晶 為使推動件44之運動與侧爪手52之左 2〇運動方向能同步，最好各爪手由一共同之驅動轴加=驅 動，並可與之聯結’及從之解聯結。另一個方法是使用二獨 立，但同步之驅動裝置。 圖四及五示意顯示一替代之運輸裝置4實施例，及一替 代之處理裝置3實施例。在圖四及五中使用與圖一至三第一 實施例相同之圖號，只要元件是同樣的或有同樣目的的。 從圖四及五之上視圖可以看出，處理裝置3之程序容器 22在入口侧及出口侧具相同，彎曲之形狀。藉此在入口侧 及出口侧相同之弧形形狀，在晶圓20之運動方向，程序容 器22有相同之寬度。 運輸裝置在處理裝置3入口侧有一推動件44，在處理 裝置3出口侧則有二側爪手52、53。在圖三a至d顯示出 ，在出口侧不用單一前爪手，在圖四之實施例中是設置二前 爪手60、61。此一蓟爪手60、61從侧邊’相對於運輸裝置 4縱中央軸A，支承晶圓，並在一定之運輸位置與推動件44 一起，形成晶圓20之三點支承，如圖四所示。為形成此三 點支承，前爪手、61及推動件44均設有支承面，此支承 面可例如設計成斜面。 . ' - ^ Γ 1 -------------------t------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 504483 Α7 Β7 五、發明說明（9·) 從圖四可看出，前基板爪手60、61在晶圓料處理裝 3後即承接晶圓20。在此之後，晶圓20至少被二前爪手6〇 、61及推動件44在三點固持。當晶圓20繼續被 處理裝置3，處理裝置内晶圓與支承面失去接觸 气、 會影響晶圓之固持，因晶圓如上所描述，置被固持在不 。晶圓再被推舉穿過處理裝置3，然後當與晶圓2〇 向垂直之最大直徑通過二侧爪手52、53後二侧爪手即相^ 運動’直到與晶圓20之邊緣接觸，如圖五所示，在此以後 ，可停止推動件44之運動，而侧爪手52、53將剩下之晶<圓 部份拉出處理裝置3。從圖五可以看出，由於處理裝置=之 圓孤形狀，推動件44可駛至於晶圓2〇運動方向與侧爪手 52、53距離d處’此距離較基板在運動方向之處理室之寬 度為小。如此，處理裝置3在晶圓2〇運動方向之寬度可增 加，且運輸裝置仍可推動晶圓，以不停頓方式，從一侧穿^ 處理裝置，並在另-侧接收晶目，並將晶目完全拉出處理室 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了圓_之處理裝置3外，當然也可使用其他形狀之 處理裝置，使在相同之處理室寬度下，可行駛的靠近些，例 如處理容器65，其由圖四中之虛線所表示出。 圖六至九顯示此發明運輸裝置之另一實施例，在圖六至 九中，使用了與前述實施例相同之標號，只要元件是相同或 相似。. 如圖π所示，此運輸裝置在處理裝置3之一侧有一推動 件44，及二侧爪手52、53，在處理裝置3另侧有前爪手％ 504483 A7 五、發明說明（10·) 。侧爪手為其侧向運動，以適當方式與一導引滚子70相連 ’導引滾子則在導軌72内被引導。導引滚子與侧爪手是如 此之聯結，在導引滾予作侧向運動時，也就是與晶圓2〇運 動方向垂直時，侧爪手做相向或相離運動。 導軌72有一控制曲線74，其造成導引滚子70之侧向 運動’及因而侧爪手52、53相應之運動，當導引滚子沿導 軌及沿控制曲線運動。在此裝置操作時，如前所述，藉由推 動件44 ’晶圓20被推動部分穿過處理裝置3，並被前爪手 55接收，如圖6所示。當晶圓最大直徑通過侧爪手52、53 ’侧爪手即在晶圓20運動方向被驅動，此是藉與推動件44 之驅動機構之藕合，或是藉一獨立之驅動機構，其與推動器 44之驅動機構同步。藉導引滚子7〇在導軌内於晶圓2〇運 動方向之運動，側爪手52、53也隨之運動。藉控制曲線74 ’導引滾子在運動時會向右侧運動，如圖七所示。此導引滾 子之此侧向運動造成侧爪手52、53相向做相對運動，因而 侧爪手取基板20，如圖七所示。如圖七所示，侧爪手52、 53在與晶圓運動方向垂直之最大直徑範圍環扣住晶圓20。 侧爪手53之運動路徑，在圖六至九中是以點線表示出 。只要侧爪手52、53扣住晶圓20，侧爪手即可將剩餘之晶 圓部分拉出處理裝置3，且推動件44在到達處理3前即解 除藕合，不會中斷晶圓20運動穿越處理裝置3。 在晶圓20完全穿越處理裝置3後，即運動至一出料位 置’如圖八所示。在此位置，侧爪手52、53之運動被停住 ’而前爪手則驅離，使晶圓20完全由侧爪手52、53固持。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參裝--------訂---------% 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製

504483 五、發明説明（11.) 與侧爪手相連接之導引滾子70此時位於導軌72末端’並被 一解鎖滑板78接收。為釋放晶圓20，解鎖滑板78與導引 滚子70向左侧運動，造成侧爪手52、53之相互分離運動 ’如此’晶圓20被釋放，如圖九所示。晶圓20可由適§ 之裝置運走，此運輸裝置再又回到原始位置，以將下一穿過 ’處理裝置3之基板運走。 雖然以上藉多個較偏好之實施例說明了此裝置，但此裝置並 不只限制於這些特別的實施例，尤其是，可能不同實施例之 特徵加以組合。除此之外，除了一侧向，水平移動之侧爪手 52、53外，也可預見爪手之角度垂直運動，使爪手方面從 晶圓20之運動路徑運動出去，另一方面則與晶圓2〇進行接 觸。另外’可在水平或垂直方向運動之侧爪手之數量可減少 土一個側爪手，此侧爪手與例如二前爪手組成一三點支承。 前爪手也可完全不要，若有二侧爪手可穩定的之抓住晶圓而 不造成傾斜。這也可藉側爪手從上及下夾緊晶圓而做到。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14 504483 A7 B7 五、發明説明（l2·)

元件符號說明 煩誇委員明示W年ΐ/ις^Γ^Γ提之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製价ή本iif更實質ή容是否准Ηή 〇 1 2 3 4 7、8 9、10 11 14 15 18 19 20 22 23 25 27 29 30 32 35 37、38 40 42 44 45 晶圓處理裝置 底座 處理容器 運輸裝置 側壁 端壁 底部 入口侧部分 出口側部分 支承面 侧導引面 半導體晶圓 程序容器 溢流容器 處理流體 溢流緣 入口開口 出口開口 支承面 乾燥室 噴嘴 推動機構 拉動機構 推動件 連接元件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -15- 504483 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（I3·) 46 導引單元 48、49 導軌 50 導軌 52 > 53 側爪手 55 前爪手 60、61 前爪手 65 處理容器 70 導引滾子 72 導軌 74 控制曲線 78 解鎖滑板 A7 B7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁). 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） -16

Claims (1)

1. ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 504483 厂…............. '，_........... _丨| ιχ_ I六、申請專利範圍 第89114475號專利案申請專利麵修正本 1· -種用於運輸基板(2〇)穿過處理容器(22)之裝置⑷，處理 容器在基板(2〇)運動方向之寬度，較基板(2〇)直徑為小， 此裝置(4)具 -设置在餘運動方向在處理容器前之第—運輸裝置 (40)，以將基板(20)部分運動穿越處理容器(22)，及 一設置在基板(2〇)運動方向，在處理容器後之第二運輸裝 置(42) ’以接收基板，並將基板拉出處理容器(22)。 2·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，在基 板(20)運動方向處理容器㈤之寬度，較基板(2〇)直徑之 一半為小。 3·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，第二 運輸裝置(42)至少有一前基板爪手(55 ; 6〇、61)及一後側 爪手(52、53)，以將基板(20)固持其間。 4·根據申清專利範圍弟3項所述之裝置，其特徵為，有-後側爪手(52、53)。 5·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，後側 爪手(52、53)可垂直於基板(20)運動方向運動。 6·根據申請專利範圍第,1項所述之裝置，其特徵為，後側 爪手(52、53)在基板(20)取大直後後方，垂直於基板運動 方向抓取基板。 7·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，前基 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2川><29^釐P~ -- -17- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   504483 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 板爪手(55 ; 60、61)及後側爪手(52、53)是棱邊爪手。 8·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，拉動 裝置之前基板爪手(55 ; 60、61)可藉基板(2〇)運動。 9·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，有— 第一運輸裝置(40)及至少第二運輸裝置(42)之後側爪手 (52、53)共同使用之驅動裝置。 1〇·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，第一 運輸裝置(4〇)及至少第二輸送裝置(55)之後側爪手(52、53) 與共同之驅動裝置可藕合及從其解藕合。 11·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，至少 有一在至少一曲線軌道(72)内被導引之導引元件(7〇)，以 使後侧爪手(52、53)垂直於基板(20)運動方向運動。 12·根據申請專利範圍第η項所述之裝置，其特徵為，至少 有一解鎖滑板(78)使導引元件(70)做侧向運動。 13·根據申請專利範圍第5項所述之裝置，其特徵為，至少 有一關閉氣缸，使後基板爪手(52、53)垂直於基板(2〇)運 動方向運動。 14.根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，在處 理容器(22)内有導引裝置(32)。 15·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，處理 容琴(22)有一對相對莫邊緣範圍在基板(2〇)運輸方向偏 置之部分範圍。 16·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，處理 容器(22)在基板平面内有一圓狐形狀。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇Χ297公釐） -18- {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} •W— 訂. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 504483 ABCD I六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 π·根據申請糊棚第丨爾述之_，其特徵為，處理 容器(22)在基板(20)運動方向有相同寬度。 18. 根據申請翔丨爾述之裝置；^特徵為，基板 (20)是半導體晶圓。 19. -種用於運輸基板⑽穿過處理容器(22)之方法，處理容 器在基板(2〇)運動方向之寬度較基板(2〇)之直徑為小，在 此方法 -基板(2〇)藉-設置在基板運動方向，在處理容器(22)之前 之第一運輸裝置(40)帶部分穿過處理容器(22);及 -基板藉一設置在基板運動方向，在處理容器(22)之後之第 一運輸裝置(42)接收，並被拉出處理容器。 20·根據申睛專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，基板 在位於處理各器(22)後侧上被至少一前基板爪手(55 ; 6〇 、61)及至少一後側爪手(52、53)接收及抽拉。 21·根據申請專利範圍第20項所述之方法，其特徵為，基板 (20)由二後側爪手(52、53)接收及抽拉。 22·根據申請專利範圍第21項所述之方法，其特徵為，後側 爪手(52、53)為接收基板(20)在垂直於其基板運動方向運 動。 23·根據申請專利範圍第22項所述之方法，其特徵為，後側 爪手(52、53)之運動是由在軌道(72)内被引導之導引滾子 (70)造成。 24·根據申請專利範圍第22項所述之方法，其特徵為，後側 爪手(52、53)之運動是由關閉氣缸造成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) > 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐）-19- 504483 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 25·根據申請專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，後侧 爪手(52、53)在基板(20)於運動方向超過其最大直徑後抓 持基板。 26·根據申請專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，其前 基板爪手(55 ; 60、61)或後侧爪手(52、53)抓持基板邊緣 〇 27·根據申請專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，第一 運輸裝置(40)及第二運輸裝置(42)被一共同之驅動裝置 驅動。 28·根據申請專利範圍第27項所述之方法，其特徵為，第一 運輸裝置(40)及第二運輸裝置(42)在運輸基板(2〇)時可與 共同之驅動裝置藕合及與之解藕。 29·根據申請專利範圍第27項所述之方法，其特徵為，第一 運輸裝置(40)在到達處理容器(22)前，與共同之驅動裝置 解竊。 30·根據申請專利範圍第27項所述之方法，其特徵為，第二 運輸裝置(42)在基板(20)穿過處理容器(22)足夠深後即與 共同之驅動裝置藕合。 31·根據申請專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，第二 運輸裝置(42)將基板(20)運送至一出料站。 32·根據申請專利範圍第19項所述之方法，其特徵為，基板 (20)在處理容器(22)内，往運動方向被引導。 本紙張尺度適用中國國冢棵平^規格（210 X 297公釐） -20- --------------------訂---------線"4^· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)