經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7_ 五、發明說明（i ) 發明的領域 本發明係有關於一種物件儲存配置，特別是用以儲存 諸如晶圓、扁平面板或光碟之碟片類物件。 相關技藝之敘述 在半導體工業中之製造與處理晶圓（例如矽晶、扁平 面板或光碟条列之碟片）的技術領域裡，晶圓通常且必 須被經常性地移動於不同的製程機台之間。然而，儲存 該晶圓於其不被需要或是其在被移送至下一部製程機台 之前的情況時，是有其需要的。 舉例來說，所謂的測試晶圓偽使用於製程条統中而用 於製程控制、影響清潔器具、撿查製程器具以及測試新 産品等。這些測試晶圓經常循環於製造與處理晶圓的 条統中，亦即，他們經常移動於製程機台之間。然而， 該不同的測試晶圓並不需要於製程中全程使用。因此， 有部分的晶圓必須在其不被需要時，被儲存於適用以儲 存晶圓的配置中。 通常，在小型環境（mini-environment)的條件下，晶 圓偽儲存於目前通用之自動化儲存配置中。根據本發明 ，所謂的「小型環境」傺指由罩殼所産生的一種侷限之 璟境，以將産品與人體以及污染隔絶。舉例而言，這種 小型環境的要求偽如S Ε Μ I - s t. a n d a r d E 4 4中所逑者。 在已知的配置中，晶圓的儲存與取出不是在容器中操 作，便是以裸露的方式進行。 在後者的情形中，晶圓係儲存於一値儲存櫃中，其具 -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） !-----------------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7__ 五、發明說明（2 ) 有多個開放結構的隔間，以容納這些晶圓，為了要從這 些隔間中裝載/取出晶圓，偽提供了一種移動式裝置， 以處理該晶圓。該裝置可以以機器人的形式而形成，其 抓取一選定之晶圓，並且將其移至該配置之裝載埠，並 從此處將該晶圓傳送至預定的製程機台。雖然裸露晶圓 的儲存在處理時間方面相當迅速，但仍有一些缺點。由 於晶圓像儲存於開放結構的隔間中，他們便冒著面臨諸 如基於除氣（Ο U t g a S )所産生的交叉污染或是基於晶圓可 能的破損所造成整個存貨的污染。 在另一方面，習知技藝還包括儲存晶圓於儲存有容器 的配置中。在這種情況下，晶圓僳儲存於該容器中。通 常，該容器係由一面門所鎖住。為了要從一容器中選取 出一片晶圖，該容器必須藉由例如機器人之容器處理裝 置而移動至一座裝載/取出機台，其係固定地被提供於 該配置中，以儲存晶圓。 此種裝載/取出機台包括有一用來打開/關閉容器門之 裝置、以及一用來從該容器中裝載/取出晶圓的裝置， 以傳遞該選定之晶圓至一裝載埠，並從此處將該晶圓傳 送至値別的製程機台。舉例來説，習知類型的裝載/取 出機台僳如SEMI-standard Ε62中所述者。藉著這種配 置的使用，由於容器已被封閉的容器門所密閉，晶圓的 污染遂可避免。 然而，所描述方式之晶圓儲存在結構方面非常複雜， 此外，其也相當耗費時間。 ~ 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7__ 五、發明說明（3 ) 首先，該配置必須提供有一供容器使用之分離的裝載 /取出機台。該機台需要有一特定的門對準機構、一用來 控制容器門之閉鎖/開鎖機構、特定的密封區域、以及 其他用來將晶圓從容器裝載/取出的裝置，從結構的角 度觀之，此乃非常的複雜。此外，所選定之容器必須確 實地被放置在該裝載/取出機台中，以避免晶圓在裝載/ 取出的過程中遭到破壞。因此，本方法需要數個控制裝 置。最後，其尚需要用來處理容器之分離的裝置。 上述儲存晶圓的方法需要將容器放置在該裝載/取出 機台中的處理，以及在該裝載/取出機台中對於晶圓的 處理。是以，其非常耗費時間。 發明之概述 有鑑於，本發明之一目的乃在提供一種物件儲存配置 ，其可克服上述缺失。 此目的可藉由獨立之專利申請範圍第1項的配置以及 獨立之專利申請範圍第1 8項的配置之使用而達成。本發 明之更多的優點、特色、以及細節偽可藉由專利申請範 圍之附屬項、描述以及參照附圔的說明而更加明顯。 根據本發明，偽提供了一種物件儲存配置，特別是用 以儲存諸如晶圓、虜平面板或光碟之碟片類物件。該配 置包括一儲存櫃，其儲存了多個用來儲存物件的容器， 其被値別地由一面門所鎖住，且在該容器進行裝載/取 出操作時，該容器被固定地儲存在該儲存櫃中；用來處 理物件之可動式裝置，該裝置偽用來從該容器裝載/取 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —-------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7___ 五、發明說明（4 ) 出該物件；以及可動式門開啓裝置，以用來開啓/關閉 該容器的門，該門開啓裝置傺用來被移動至該容器。 根據本發明，傺提供了一種物件儲存配置、其儲存該 物件於容器中，卻不具有用來處理該容器的裝置。因此 ，至少在裝載/取出操作的過程中，該容器保持在固定 的位置。該容器只有在清潔與保養時才需要從該儲存櫃 中被移除（最好是以手操作方式進行）。 根據本發明，不移動該容器而提供有一可動式門開啓 裝置，其可被移動至該固定之容器，以閉鎖/開鎖該容 器門，並提供用來處理該物件之可動式裝置接觸到該物 件的途徑。因此，本發明掲露一種門開啓裝置，其如工 業界之通用標準者，並非裝載/取出機台中的固定部分。 該裝置可被自由地定位，並且移動於一界定之範圍内。 其可以開啓容器的門而不需移動整個容器。 藉此，可明顯地節省處理時間。 根據本發明之配置也較優於儲存裸露物件之解決方式 。基於物件像儲存於被門所封閉的容器内的事實，除非 有一物件被插入或從該容器中被移除，則該物件的污染 或損害以及由於該物件的損壞所造成所有存貨之污染將 可被避免。 本發明並不限定於特定種類的物件。因此，各種物件 可藉由本發明之配置而被儲存，其最好是進行於小型環 境的條件下。所謂的「小型環境」業已於本說明書之簡 介部份中予以說明。 一 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7__ 五、發明說明（5 ) 有利地，該配置傺用來儲存諸如晶圓、扁平面板或光 碟之碟片類物件。詳而言之，該配置偽用來儲存具有直 徑到達以及超過3 G G毫米（m m )之晶圓者。 較佳者，該配置所儲存之晶圓，僳經常移動於不同的 容器之間者。舉例而言，這些晶圓傺為測試晶圓、 ANKO(Anlagen-Kontrolle(糸統撿査））晶圓、産品碟片 等等。惟本發明並不侷限於上逑的例子。 如果該配置被用來儲存晶圓，該門開啓裝置可依據 S Ε Μ卜S t a n d a r d E 6 2而被設計，其針對該門開啓裝置所 掲露者係被引用於本發明之説明書内以玆參考。根據本 發明，該門開啓裝置並非如SEMI E6 2所述之「前開介面 standard，FIMS)介面或裝載埠。 這種配置的優點在於經常移動於不同容器之間的晶圓 可被儲存於一容器中，而且自動化處理条統可被設計以 自動地從各種其他容器的内容組成一個別容器之晶圓内 容。針對此一操作，並不需要用來處理容器的裝置，因 此，達到節省處理時間的目的。 根據本發明，個別容器的門係藉由該門開啓裝置所開 鎖並且開啓。此外，較佳者偽該門藉由該門開啓裝置而 從該容器被移動。在這些情況之下，該門開啓裝置可固 定該門，而用來處理該物件（晶圓）的裝置則可緊握並移 動該物件。另一種方式為，該門開啓裝置可將該門置放 於該儲存櫃内，並且在操作結束之後將之拾起。惟本發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 495802 A7 B7 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 啓件，控以置 彡在塞晶開 物⑪置目程例 這件 開物外個驟 Μ可瑱存門 理/裝/I過， 。物 門該此一步一 U人密儲的 處載或啓存理 成存 •^11 人 該出。要之 . 器緊來外 來裝置.開儲管 形儲 及取雜需門？ 機以用額 用來裝之在圓 而免ο // 機 以 複只的 器被有 該用該門如晶 式避存 置 # 不，器 # Μ 臂容置括 制該動器例制 形可儲 裝 Ρ 並地容ι'ί:手與配包 控或移容，控 的遂圓 式 置外啓 Α 人可該一 以 來該序可 統，晶 動—裝額開M”器櫃果為 ，丨用制排其 条件之 ί 置. 序的 以 可 # 一 C ， & C 機存如可 元 被控的，。閉條業 之 1 單間於^的纟一儲 C像 單 — 可可件此理封的工 。件 種空由 U 行 W 為該補置。制^|元其物因管一境體 子物 4 此的 。^可^即，互裝人控 Λ單，理。圓依環導 例理 f ，大置 # 為/®，此式的器 一 π 制外管序晶可型半 的處 Μ 之太裝^ 傺載之因方出機有 Μ 控此可順試櫃小合 述來 Μ 觀要該Κ置裝言。的取理供^ 該。其圓測存供適 上用/^度需制¥裝來而動d)t/處提/¾。器，晶之儲提別 於該置角不控載一用詳移 kli圓可及置容外的内該可特 C 裝 限，配的並可裝單，，上 aH 晶亦以裝之另内器，統其 侷地被構置即之一者成向-PW 之，置之定。器容地条 。 不利可結裝元件成佳形方sew 置外裝件選作容同利閉染 並有置依一單物合較被何10,-裝此之物一操之不有封污 明裝 C 單制及組 式任{0圓啓 件出至閉中如 種的 -------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7__ 五、發明說明（7 ) 較佳者，該用來開啓門的裝置包括有用來處理以及/ 或移除容器的門之裝置。此種裝置傺掲露於諸如S Ε Μ I -Standards Ε62與Ε63中，其内容針對該裝置所掲露者傺 被引用於本發明之說明書内以玆參考。 在一較佳實施例中，該用來保持以及/或移除該門的 裝置包括有吸人（suction)裝置，諸如吸人杯（suction cpu)，以及/或門開啓鑰匙以及/或針頭以及/或抓抓取 裝置。這些裝置，舉例而言，可為SEMI E62所掲露之裝 置。此種裝置可包括門對準裝置，例如掛針 (r e g i s t r a t. i ο n p i η );閉鎖裝置，例如閂鎖鑰匙；以及 用來保持並且移除該容器門之吸入杯等等。不證自明地 ，必須了解上逑之裝置並非用以保持以及/或移除該門 之侷限的範例。 較佳者，該處理物件之裝置可包括吸入裝置，諸如吸 入杯以及/或抓取裝置。本發明並不侷限於特定之具體 實施例。各種可以被使用來移動該物件於該儲存物件配 置中，而不損壞或污染該物件之處理物件之裝置均可被 使用。 較佳者，該用來儲存物件之容器偽可以以一個外殼 (b ο X )的形式被形成，該外殼包括有一外殼架構（h 〇 u s i n g ) 以及一外殼開口（ 〇 P e n i n g )，而該外殼開口僳由該門所 閉鎖住。這種外殼像可為一保護性之可移動的容器。較 佳者，該外殼可以以一個「前開歸一吊艙」（f ο n t. opening unified pod， F0UP)的形式被形成，其係定義 一 9 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 發明說明（8 ) 於S Ε Μ I - S t a η d a r d s E 4 4與E 6 2中，其内容針對該F 0 U P所 掲露者係被引用於本發明之説明書内以玆參考。 該外殼可儲存超過一個物件。如果該外殼傺用來儲存 晶圓，舉例而言，其可儲存13、25或50片晶圓。 該外殼之設計亦可依據SEMI-Standard E47.1，其内容 像被引用於本發明之説明書内以玆參考。根據該標準， 該外殼具有一面門以及一個外殼裝置。在該外殼裝置的 上方，偽可提供一上部處理凸緣（flange)，其促使一自 動化材料處理条統（automated material handling system，AMHS)傳遞該外殼。此外，亦可提供一側柄 (side handle),其使得操作者得以手動地擦帶該外殼。 此外，該外殼可包括掛針所需要的孔涧、門威測墊 (d ο 〇 r s e n s i n g p a d )、選用之輸送軌、以及兩側之握柄 。該輸送軌傺用來儲存該外殼於儲存櫃中。在該外殼的 底部，可以選用性地提供輸送軌。此外，該底部可以具 有各種種類的感測墊、資訊墊、以及針頭等等。 較佳者，該外殼的門可被提供於前側。如果該外殼像 以F 0 ϋ P的形式而形成，該門偽可被配置於該外殼的前側。 較佳者，在該外殼架構與該門之間可提供有一密封裝 置。這種密封裝置在該門被關閉時，具有避免該容器内 的儲存物件遭受污染的效果。 較佳者，傺提供有用來儲存該物件之一或多個内匣 (c a s s e 11 e )，該内匣係儲存於該容器中。内厘像為開放 結構，其可容納一或多個物件，例如晶圖。該内厘可以 一 1 0 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂---------線-0^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 495802 A7 B7_ 五、發明說明（9 ) 被可移動地或不可移動地被儲存於該外殼中。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 較佳者，偽提供有用來儲存這種被從容器中移除之物 件的裝置，該裝置最好是以容器的形式被形成。此種裝 置傺用來儲存那些被從該儲存櫃中的各種不同容器中移 除之物件，以組成新的個別物件。該物件可於該裝置中 被傳送至製程機台之一選定位置。 較佳者，該用來處理物件之可動式裝置以及/或該用 來開啓門之裝置以及/或用來儲存此種已被從容器中移除 之物件的裝置可被配置於該儲存櫃中，其傺以一封閉糸 統的形式被形成。詳而言之，如果該儲存櫃被保持於小 型環境的條件下，於裝載/取出步驟中所産生之物件的 污染便可避免。 較佳者，係可提供一頭埠（h e a d ρ 〇 r t ),該頭埠傺被 連接至該儲存櫃。較佳者，該頭埠可包括有一閉鎖条統 〇透過此種頭埠，所選定的物件可從該儲存櫃的内部被 移除。該閉鎖条統可包括一面門、一鉸鍊平板（h i n g e d plate)、一道鎖等等。 根據本發明之配置可節省大量的處理時間，係如下列 實例所逑： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本實例，預定工作傺為從5個F 0 U P組成2 5片的一 堆晶圓。其假設每個F0UP之移動週期為30秒（sec.)，習 知配置中的門開啓與關閉序列（sequence)為5秒，根據 本發明之配置中的門開啓與關閉序列為7秒，習知配置 中的晶圓處理序列為1 0秒，而根據本發明之配置中的晶 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495802 A7 B7_ 五、發明說明（1〇) 圓處理序列為1 5秒。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在這些條件之下，具有分離之F 〇 U P處理裝置的習知 配置的習用操作持續了 6 6 0秒，其偽根據以下的公式： 12次F0UP移動 * 30秒+10次開啓/關閉操作 * 5 秒 + 2 5次晶圓移動 * 1 0秒=6 6 0秒 配置的習用操作持續了 6 6 (3秒，其係根據以下的公式： 10次開啓/關閉操作 * 7秒 + 25次晶圓移動 * 15秒 =4 4 5 秒 在上例中所節省的處理時間大約為3 . 6分鐘或3 3 %。 圖式之簡單説明 本發明之上述目的、精神與優點，藉由下列參照附圖 所作之較佳具體實施例的詳細描逑，將會更為明白，其 中： 第1圖偽繪示根據本發明之物件儲存配置的示意上視 圔；以及 第2圖僳繪示用來儲存物件之容器的示意側視圖。 發明之詳細描述 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在第1圖中，所繪示者偽為一種配置1G，其用來儲存 晶圓2 3。該配置可用在半導體或光碟技術的領域中，亦 即用來生産製程晶圓2 3。第1圖偽為該配置1 0的示意上 視圖。為了便於觀察，該配置1 0的上蓋已被移除。 該配置1 Q包括一具有四面側牆1 1的儲存櫃2 4 ,其形成 一封閉条統1 2。因此，可在該儲存櫃2 4中形成小型璟境 的條件。在側牆11 , ·係安裝有多個儲存晶圖2 3之容器1 3。 - 12 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 495802 A7 B7 五、發明說明（ 11 在 1 〇 器 列容 個個 數一 的十 成有 uuh # 括 所包 13其 器， 容列 個一 數上 複最 該出 由繪 有描 括僅 包， 10中 置圖 配 1 該第 三 十 存 儲 可 傺 .中 3 1X 器 容 個 每 在 五 或 五 晶 片 圓 圓 晶 出 取 圓 晶 mil 理 處 了 載為 裝 〇 3 5 11 11 器置 容裝 該之 從23 要圓 了 晶 為理 處 來 用 有 供 提 傺 可 偽 5 1X 置 裝 該 及器 以容 杯該 入啓 吸開 如來 諸用 ，有 置供 裝提 入亦 吸 ， 有外 括此 包 置 裝 取 抓 或 置 裝. 之 4 is 門 及 以 持 保 來及 用以 有置 括裝 包入 6 1 吸 置如 裝諸 啓 ， J 8 開 1 門置及 該裝以 置 裝 取 抓 或 及 以 匙 鑰 啓 開 門 或 之頭 14針 該/ 除 移 或 置 裝 啓 開 門 該 及 以 1 0 置裝 裝以 之 ， 3 7 2 1 圓置 晶裝 理一 處單 來一 用成 *合 圓 晶 該 出 取 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 結 被 可 7 1—I 置 裝 該 為配意 即被任 ，地在 中式可 例動 1 施可置 實為裝 體傺與 具1615 本置置 在裝裝 ，與該 5 成 1 ， 形 被 而 式 形 的 人 器 機 以 可 置此 裝藉 ， ， 此中 因24 〇櫃 臂存 手儲 器該 機於 一 置 而 式 方 的· 縮 伸 由 自 依 可 度 長 的 C 臂話 手的 器要 機必 該有 〇 如 7WH ， 移變 上改 向所 方有 ---------訂---------線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其 及 ， 以19 17元 置單 裝制 制控 控一 要有 了 供 為提 傺 及 2 以圓 17晶 置些 裝這 該成 至組 接要 連了 別為 分 UBTT?^ 移 之 6 1X 置 裝 與 5 1 置 裝 或 管 導 1 過 透 置 裝 與 5 1± 置 裝 或 以 移 被 中 3 1± 器 容 個 多 該 從 像 其 統裝 条之 程23 製圖 至晶 &Ϊci 遞種 傳此 24存 櫃儲 存來 儲用 從 了 被供 再提 ，偽 3 2 ， 圓元 晶單 堆程 一 製 的他 新其 至的 動中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 B7_ 五、發明說明（12) 置2 1。該裝置2 1最好是以容器的形式而形成。 為了從該儲存櫃24移除該晶圓23或裝置21，偽可提供 一頭埠2 2。該頭埠2 2偽可以一道鎖或一面門的形式被形 成。如果在該儲存櫃2 4中形成有小型環境的條件，該頭 埠2 2最好是以一道鎖的形式被形成，以避免該儲存櫃2 4 中的任何污染。 第2圖所繪示者僳為一以外殼的形式所形成之容器1 3。 該外殼1 3傺包括有一外殼架構3 G以及一外殼開口 3 1。如 第2圖所示，從外殼1 3被移除的門1 4通常像被提供於外 殼13之前側36。在另一種具體實施例中，門14也可以被 提供於外殼1 3之底部3 7。該外殼1 3更可包括有一上部處 理凸緣3 2，藉其輔助，該外殼1 3可被一自動化材料處理 条統(automated material handling system, AMHS)所 移動。 為了要儲存晶圓2 3於外殼1 3中，係提供有一内匣3 3。 由於該内匣3 3係儲存於外殼1 3中，其遂以虛線表示。為 了要將該内匣3 3固定於外殼1 3中，像分別提供有孔洞3 5 以及針頭3 4。 接下來，像描述該配置1 0之操作。 相對於先前技術中的習知方法，根據本發明之配置1 〇 像包括有一可動式門開啓裝置1 6，其並非一分離的裝載/ 取出条統中之固定部分，其中有一容器1 3被移動至該裝 載/取出条統以進行晶圓2 3的裝載/取出操作。除此之外 ，該門開啓裝置1 6傺被附接至儲存櫃2 4中之一機器手臂 - 1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 495802 A7 B7 五、發明說明（13) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 門不 晶來足而地6M門1514被 處 於神離變其 該而 的用iii，定16該置門再 的 用精脱之及 置除 間且力内固置。裝該後 量 僅之不等圍 放移 之而ΪΙ21被.裝除的得之 大 ，.明在同範 3 "ΠΉ 3 内其 1, Μ 器傺啓移 2 使束 下 上發，及利 圍將 器中0容13開且圓能結 省 如本後飾專 範4Μ容13^1於器門並晶可作 以 明定神潤請 的14同器 123容由鎖理則操 可 説限精動申 義門 不容 g 圓該藉開處否存 ， 例以之更之 定器 於一7P晶。偽所來。儲 用 施用明許附 所容 動於rl堆置1418用内在 使 賓非發些後 置 4 在啓 移存^1一裝門置兩 2 且 的 佳，本作視 地開 常儲 U 成的訪裝，櫃並10較施悟可當 由16經被 Η 組13且的14存， 置 以實領當圍 i 自置 於可 ί 容器，1 門儲内 配 述之於，範 g \1|/ ΌΠ 4 可裝。在 内容内門該該 2 之 描明者内護 7 3 _ 的 4 存 1 啓 1 點曰曰3&的該 2 除持於櫃 明 與發術圍保 i 臂開器優“B213理櫃移保23存 發 式本技範利 。 Μ 試Β件 手門容的一3|器處存 \ 可圓儲 本 圖解域神專定 纟 nu 白日 no 器該個 1卩 % 容來儲持 1 晶該 據 之 了領精其而明 · 機 C 整置J$他用該保置該於 根 C 明助此之，域說 一 該16動配 i/®其要於來裝動放。著間發幫悉明換領之 一 。 啓移該23載種需置用啓移置起藉時本以熟發替同號10 17開必 圓裝各不配及開則被拾 理 藉而本化等符 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 495802 A7 _B7__ 五、發明說明（14) 11 .....側壁 12 .....封閉条統 13 .....容器 14 .....門 15 .....用來處理物件之可動式裝置 16 .....可動式門開啓裝置 17 .....用來裝載/取出物件之裝置 18 .....用來保持/移除門之裝置 19 .....控制單元 2 0.....導管 21.....用來儲存所選定物件之裝置 2 2.....頭埠 2 3.....晶圓 24.....儲存櫃 30.....外殼架構 3 1.....外殼開口 3 2上部處理凸緣 19.....内匣 2 0.....洞孔 2 1.....前側 2 2.....底部 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)