TW491743B - Internal active compensation method and device for axial swinging of rotatory shaft tool - Google Patents

Description

491743 ΚΙ 方去ϋ種主轴刀具軸向偏擺之内部主動補償 方法及輕，彳寸暇有關—種翻於氣浮主域置上 感測器直接量測刀雜向偏擺量作為授錢，l 裝置内部來驅動刀具於軸向上之補償位移，進到將 切削點控制在適當之轴向定位精度的-種方法及裝置/、 發明背景 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由於傳統硬脆材料切割機進行加硬脆 如晶圓（wer)、玻璃或陶紐（cera職）等」 軸: 件偏擺、77具與夾治具: 置、刀二 製程時所產_ ===置於二 59= = # =參考㈣糊號 U.S. PAT. NC 供相對^频氣4主赠置在高速旋轉時雖然可4-；：：：：；!：；：：；-狀，，其在高速二轉 =:= (請先閱讀背面¾注意事項^|||本頁}

訂· ;線·

本紙張尺麵 (210 X 297 公复 發明說明（上） 達60000 rpm以上）的切割負載過程中，在切削刀具本身的 外週緣仍會產生高達10〜25,左右的往復偏擺現象，此將 造成刀具相對於被加工件本身的軸向偏擺撞擊。所以，此種 習知旋轉主轴裝置仍無法避免在切削刀具外緣產生相對於主 抽的轴向偏擺位移’而前述之切_縫與工件背面狀 仍然持續發生。 、/ 因此，全球晶圓用硬脆材料切割機市場佔有率超過_ 之日廢DISC0公司，針對此一問題曾開發出雙主轴切宝峨 (請參考美國專利號U.s. ΡΑΤ. Να 61_3號案）。利用階 梯切割或⑽切割雙主軸切割方式提高切割品質，其第一主 軸進行切削淺槽之動作，目的是為了引導第二主轴也 之固士定下刀位置與刀具路徑加工，降轉二主輛進行切_ ，，切割刀具因主軸軸向偏擺造成之切道邊緣裂縫與晶圓 月面破損。其缺歧加功需要經過兩道域製程，且網 设備需要配置兩域浮主_統，設備成本與纽 難 度均相對倍增，並非良好的解決方案。 、

其他參考資料另可參閱美國專利號U.S. PAT NO :25以及瞻78。該兩_件均係有_「鏜孔刀且 onngTool) , ^ (Radlalp〇s.i〇n) ^ ^ 购差Γ 所訴求之切割刀具軸向定位裝置紐術有 移來進行主軸和向Μ —人f 軸」本身的偏 者，合先敘日^ 元全未關㈣核之技術特徵 五、發明說明（/ 發明之簡要說明：

本發明之主要目的在於提供一種 J ;動補償方法及裝置，可使用單-二:::= =程’但卻同時降低切道裂縫與卫件f面破損之程度 Μ 父傳統硬脆材料切割機更好的加工品質。 本發明之另-目的在於提供—社細具軸向 二方法及裝置’可將電磁力主動控制技術應:於硬 脆材枓切_之主_本體内部，進行主軸心姆同刀 位移運動，以產生刀具_點之軸向位置補償， =有絲偏擺控制之主軸與刀具能於高速且更穩定的狀態 進仃旋轉切办作。且由於本發明不需變更氣紅轴之外 形結構’除大幅降低主軸結構複雜度與製造困難性外，更具 有=雙^切⑽統相對成本較低之優點，並可達成更佳之 =發明之另-目的在於提供—種錄刀雜向偏擺之内 縣動補償方法及裝置，藉由—非接戦_器直接量測切 削刀具近外週緣處的轴向偏擺量，並將量測得到的軸向偏擺 量作為迴授tfl號以進行主軸之補償位移㈣，可抵消因刀^ 外週緣於高速旋轉切_產生變形所導致之軸向偏擺現㈣ 影響，進而獲得更佳之切割品質。 為了達到上述目的，本發明係提供一種主軸刀具轴向偏 擺之内部主_償裝置，該主軸係由包括：_心軸、一結合 於。轴之兩缟上之切削刀具、一結合於心軸末端以帶動其旋 轉之馬達轉子、以及一包覆於心輕外側以提供結構剛性之主 4 本紙張尺度顧t關家橾平(CNS)A4規格(21石 X 297公釐）

/4J 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（4) ----- 軸本體所組成。該心轴可沿著轴向的方向上進 的小幅度線性位移。該主動補償 、-、本體 測器、-磁性元件、—電磁开* ^有·—非接觸式感 測器係結合賊本體且_==及—電磁控制模组。感 相對於本體的轴向偏擺^:該^’該感測器可感測刀具 端並與其同錢轉。電磁耕倾胁本體 與磁性元件相距-適當間隙，該電磁^ ’〜电$人而產生磁力’進而可對雜元件產生軸向力 而使心軸相對於本體進行小栌许 1白力 連接於兮币威-处”田度抽向移。電磁控制模組係 連接方如磁兀件且係位於主軸外部，該電磁控制模”接 :=所:t,偏擺位移量並據以控制對電磁元件 押Γ Γ 丨’错由感測器直接量測切削刀具的軸向偏 U，亚據邮制心軸之軸向補償位移，可確保刀具的切削 持在預定路徑與位置上’大幅消減刀具軸向偏擺所 =以成之切道裂縫與碎背面破損之程度，僅需-組主轴 可達_佳之切割品質，完全克服習用技術 早主轴或雙主軸系統之缺失。 6較佳者，該主軸更包括有—主控制單元，其連接於馬達 疋子以控制心軸之旋轉，該次控制單元係連接於主控制單元 且係位於主軸外部，主㈣單元可心減轉之轉速資料傳 达給次控制單7L，：欠控.元可依據所触讀速資料來決 定感測器感測刀具時的偵測頻率（DetectmgFrequency)。 k佳者，該電磁控制模組於接受到該感測器所傳來之軸 向偏擺位移I後，會將該位移量與一預先設定之料範圍值

A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（/) 以^警示範圍值比較。當該位移量超出容許細值時 ，制模組才會對電磁元件的電力輸人進行㈣。且當該 量超出警示範圍值時，電磁控纏組會發出警示訊夕 主動=1上述目的’本發明之主軸刀具軸向偏擺之内部 主動補彳貝方法，可包括有下列步驟： 鮮晋tL:供—絲補償裝置裝設於—主軸裝置上，該主 幸裝置u括有·-心轴、一切削刀具結合於心轴之一前端上、 =及騎轉子結合於峰末端鱗動心細及切削刀呈旋 2 ’該主_償裝置包括有：—_器其可_該刀具的轴 偏擺位移量、一致動模叙可驅動心軸進行小幅度軸向位 移乂及电磁控制模組可接受該感測器所傳來之轴向偏擺 位移量並據以控制致動模組； ⑻由感測器偵測該刀具的轴向偏擺位移量並將該偏 擺位移量傳送給電磁控制模組； (c)由電磁控制模組依據該偏擺位移量計算出對應之 轴向補償位移量； 〜 、（D)由電磁控制模組控制致動模組來驅動心轴進行該 補償位移量的軸向位移。 較佳者，於.步驟（A)與步驟⑻之間更包括有下列步 驟： (A1)偵測刀具的轉速； 、（八2)由電磁控制模組依據該刀具的轉速來決定感測器 感測刀具時的偵測頻率（Detecting Frequency )。 較佳者，於步驟（B)與步驟（C)之間更包括有下列步 (請先閱tr背面办注意事項本頁) 太 訂· --線· χ 297公釐） 491743 A7 B7 發明說明（ 驟： ㈤）將該偏擺位移量與—預先設定之容許範圍值比 較，畜該偏擺位移量超出容許範圍值時，電磁控制模組才合 執行步驟（C); '曰 出警示訊號。 ⑻）將該偏擺位移量與_預先設定之警示範圍值比 較二當該偏驗㈣超岭示細辦，電触制模組會發 、為了使餘結㈣本發明之目的、特徵及功效 更進步的瞭解與認同，脑&合圖式詳加說明如後： 圖式之簡單說明： 圖-Α係為本發明之主軸刀具轴向偏 裝置的健實關剖面示賴。 W主動雜 二=圖-A之心軸止推軸承部份的部份放大圖。 =-彳4柄明之主軸刀錄向偏擺之内部 置的方塊示意圖。 勒補彳貝衮 、圖三麵本發明之錄刀絲向偏擺之内部 濟 部 智 慧 財 產 局 員 消 費 ί 社 印 製 法的一較佳實施例流程圖。 仏方 之内部主動補償方 圖四係為本發明之主轴刀具軸向偏擺 法的另一較佳實施例流程圖。 圖號說明： 10主軸裝置 本紙張尺雜(21() x 297公釐） 491743 ——.—-------— B7__ 五、發明說明（；？） " —Ί 11心轴 111定位環 112間隙 12切削刀具 13止推軸承 14馬達 15本體 17結合座 18氣嘴 19控制接頭 21主控制單元 22電源 23操作介面 231螢幕 232輸入裝置 30主動補償裝置 31感測器 32磁性元件 33電磁元件 34電磁控制模組 341電磁致動器 342次控制單元 41〜47執行步驟 詳細說明 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 2日月之主細具㈣偏擺之㈣主動補償方法及裝 要係利用主動偏擺控制技術，應用於氣浮主轴内部， =軸外部之感測器直接量測刀具之軸向偏擺，戶斤得量測資 3^授信號’用以將刀具切削點控制保持在預定之轴向 =月度’本發明藉由在主軸内部之心軸尾端增設—電磁控 之’以非接觸式之致動模組(亦即電磁力）來微調心軸 =轴向位置，達成刀具切_㈣轴向定位之主動補償功 月匕。以下僅以一較佳實施例具體詳細說明本發明之裝 法、動作方式、以及可達成之功效。 &

491743 B7 五 、發明說明（ί ) 請參酬_ A、圖—B以及圖二，為本㈣之主 ==之内部主動補償裝置的—較佳實施例。其中，: 内部B _，本㈣之主細雜向偏擺之

邛動補彳貝裝置，主要係由主軸裝置1〇以及主 3〇兩部份触合_。於本較佳實施财，該主轴裳貝置^ ^為^浮式主軸裝置’ _其村缺—液壓式域裝 置、或疋其他適用於進行硬脆材質（例如石夕晶圓、破 瓷等）之高速旋轉切割的主轴裳置1〇者。該主轴裝置 裝配於一_機台（射未示）上柯進行切肖江作。由於 此所述之_機㈣為習知顯且料本發明之訴 ； 故以下將不再贅述。 又 社軸裝置10具有包括：—心軸n、—結合於心轴n 之-前端上之切削刀具12、用於進行心軸u之軸向定位的 止推轴承13機構、-結合於心軸丨丨以帶動其旋轉之馬達Μ (馬達轉子）、-包覆於，冰u外_提供結剩性之 本體I5、固設於本體I5末端以供結合至切削機台（圖中未 不）的-結合座17、以及若干氣嘴18與控制接頭19。由於 該止推軸承η機構在容置心軸u之定位環lu時，會有約 數’至數十// m左右的軸向_ } 12，因此該心轴^係可 沿著軸向的方向上進行相對於本體15料幅度（約為數⑽ [ 9 在》尺度適用— 中國國家標準（CNS)A4規格(21〇 χ 297公i A7 發明說明（7 ) — 112 丁二 12的軸向偏擺補償所需之作動行程。_ “内社動補償裝置30包 元件=電磁元件33、以及—電磁2=。—磁性 如夹辦’該感測器31係為—非接觸式感測器，例 面之二i外週1 —前端外側且係對應於該刀具12側表 '隙 」、《立置處、縣與刀具丨2相距-適當之量測間 戍測^_ I 12 _於本體15 (亦即相對於 U本身Η )的軸向偏擺位移量。 性元件3^=^77具η之另—末端係裝置固定有該磁 magnet、、"、^件 32 可為—永久磁鐵（permanent :步::磁性元— 之置於本體15内部對應於該磁性元件32 - ΐ磁鐵糾（Γ2相隔—適。該電磁元件33可為 線===應—電力之輪人而產生磁力且其磁力 、=刀佈可為平行於心㈣之細為触（ ^；Γ，藉由控制對電磁元件33之電力的輪人，、= 3;產1軸Γη產細強度與方向的磁場’進而對磁性元件 產生軸向上不同程度的推力或拉力，而使心軸n連同刀 开β 一上ί电磁元件33與磁性元件32的搭配而 成—非接觸式触動模組’其可在不需大幅改變原有架構 J__ 10 ΐ紙張尺度適用甲國國家標準（cns)A4 miTnoT^^ 請 先 閱 ik 背 之， 注 意 事 項

I 訂 五 A7 B7 、發明說明（广） 且更可在不直接接 調者。 外灯切.行熟向補償位移的微 實施連接於該電磁元件33，於本較佳 轴向偏擺位移接受該感測器31所傳來之 對磁性元件32 j ^ f賴元件33的電力輸入，進而 連同刀具12進彳_力錄力，促使心軸11 削，在預=:==保刀具12的切 擺所可能造奴切财具^轴向偏 技切削便可達到較佳之切割品質，技克服習用 2二所示，於本較佳實施例中，該電磁控制模組弘 =括有.-電磁致動器341 (Actuator)以及一位於主轴外 2tT^ 342 341 輸㈣力給電觀件33峰生磁力，該次控制單元 不連接於感測器31與電顧動器341之間且係位於主轴 外可依據感翻31所感歡軸向偏擺位移量控制電磁致 動JJ 341 #電力輸出。並且，該主軸裝置1〇更包括有一主控 制單元2卜其連接於電源22與馬達14以控制心軸η之^ 轉’该次控制單it 342得、連接於主控制單元2卜主控制單元 21可將心軸η旋轉之轉速資料傳送給次控制單元3幻，使次 控制^元342可依據所接收之轉速資料來決定感測器31感測 刀具㈠·的偵測頻率（Detecting Frequency ;或稱取樣頻率）。 (請先閱請背面t注意事項本頁)

訂· •線- 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 491743 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1/ ) 同時，主控制單元21與次控制單元342亦可將心軸η旋轉 之轉速資料以及感測器31所感測到.之刀具軸向偏擺量等訊 息資料，透過一操作介面23而顯示於一螢幕231上。操作人 員亦可藉由一輸入裝置232操控該主轴裝置1〇或是内部主動 補償裝置30。例如，假設對於心軸n轉速（亦即刀具轉速） 15000 rpm時的運轉過程中，吾人可設定使感測器31偵測頻 率與心轴11轉速相符合，亦即感測器31偵測頻率（取樣頻 率）為250 Hz時，如此，該感測器31將可感測到該刀具12 於同一相位上之軸向偏擺量。倘若吾人設定使感測器31偵測 頻率為心軸11轉速的整數倍，例如調高為十倍而為2 5 時’將可在刀具12上區分為十個相位進行取樣，可確實掌握 刀具11之各部位於高速運轉時的轴向偏擺狀況。反之，若設 定使心軸11轉速大於感測器31偵測頻率時，則可減少單$ 時間的感測取樣數量以降低次控制單元342的負荷。 請參閱圖三與圖四，本發明之主軸刀具轴向偏擺之内部 主動補償方法的數個較佳實施例流程圖。 於圖三中’魅細向偏擺之㈣主_償 ^ 包括有下列步驟： j 步驟41 :提供如麵之主純置_及絲 30 ’並進行控制參數之初始化設定後，開始運轉。、 步驟42 :由主軸裝置1G之主控制單元21 _刀 (亦即心軸11)轉速，並將轉速:#_送給主 梦 30之電磁控制模組34。 1貝裝置 步驟43:錢德咖^ μ輯該刀具u轉速資料決 12 (請先閱讀背面¾注意事項

本頁) 訂- -線· 私紙張尺度適用中國國冢標準（CNS)U^^ X 297公釐） 五、發明說明（/>) 定感測器1 2〗的偵測取樣頻率（DetectingFreqUency) *將=3 4 5 6 7 8 9:由ΐ測器31偵測該刀具12的軸向偏擺位移量 亚將“位移κ傳送給電磁控制模組弘。 步，45 :由電磁控制模組34依據該偏擺位移量計算 對應之軸向補償位移量。 ^ 步驟46 :由電磁控制模組34控制致 33來驅動心軸11進行該補償位移量的轴向位移。件 上述之步驟私至步驟46將重覆進行 模 中不^可能適用於刀具12轉速係、為動態變動的狀態， 至牛驟:之迴路亦可選擇調整為重覆執行步驟42 至步=6，以便能對應改變感測器31之備測頻率。 5月茶閱圖四’為本發明之主軸刀具軸向偏擺之内部主動 補償方法的另—較佳實_。其主要是絲三所示之产 中的步驟44與步驟45之間，更額外增加下列步驟：… 本紙張尺度_ 準(CNS)A4S7^ 13 x 297公釐） 1 44:感測^ 3H_刀具12的軸向偏擺量。 2 比/將該細罐3與—贱奴之容許範圍值 3 才移量超出容許範圍值時，電磁控制模組34 4 電驟45 ’倘若偏摄位移量係在容許範圍值之内時， 5 :趣組34則暫不改㈣電磁元件33的電力輪出控 6 制，亚回到步驟44。 7 j 442 ·將雜擺位移量與—預先設定之警示範圍值 8 合亥偏擺位移量超出警示範圍值時，電磁控制模組34 9 θ進入步驟443以發出警示訊號並進入下一步驟。倘若偏擺 491743 E、發明說明（ ::!，示範圍值之内時，則不發出警示訊號且直接進 7驟^5 ·由電磁控制模組、 對應之轴向補償位移量。 I亥偏执位移1計鼻出 =由電磁控制模組34控制致動模 U連心4補償位移量的軸向位移。 麻所ΐ之較佳實施辦，藉錢預先設定—刀具π 右或是許範圍值’例如可選擇設定為土 3_左 靜疋L ’雜許細值應視實際操作卫件材料、刀且 Γ内Drf作環境等狀況而定。-般而言，在該容許範圍值 繼應尚不至於造成工件的切道裂縫與： 少本發明之内部主動補債裝 依據當刀範圍值的設定，則是 女於+ K ^夕4疋其他原因導致刀具偏擺過度（例如 件破損狀^或是其他值）時，有可能造成較嚴重的工 本發明便可主動蝴示訊號通知操作人 方法:述僅二刀具軸向偏擺之内部主動補償 „ ^ ^ 而们主軸進仃一次切割，便可獲得相對較 二之^材料切割品質’可克服習用技術使用兩組主輛所迕 成之兩成本與控㈣贿_缺失。並且，本發 : 架構的情況下進行設計，結構相對心 且k成本低。此外，本發簡域接 偏擺位移量以進行主動補軸，可獲致更直接且== 14 本纸張尺度適用巾關家標準（CNS)A4規格― x 297公釐） 491743 A7 B7 五、發明說明（If ) =割=位控制，A幅降低碎t面碎裂的情況，有效改善 的種種缺失。充分顯示出本發明之目的及功效上均 步性，極具產業之彻價值，且為目前市面上 利去中二^ ’實施之賤性。因此，本發明誠已符合專 之發明專利要件’麦依法提出申請’謹請貴 審—委貝^予審視，並賜准專利為禱。 當然’以上所述僅為本發明主軸 仏改、Γ何力自4項技藝者在不違背本發明之精神所做之 二Γ!於本發明之範圍’因此本發明之保護範圍當以 下列所述之申請專利範圍做為依據。 (請先閱談背面之注意事項本頁) Ηϋ^ίτ 太 訂： •線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 15 私紙張尺度_中規格⑽x 297这

Claims (1)

1. 491743 A8 B8 C8

   、申請專利範圍 之 部主動補償裝置，其t，更包括有—電 =電觀件，該電磁mm組可接受職= 傳1接 軸向偏擺轉量吨觸電磁元件 如申請專利制第7項所述之_種主細 ^之 ◎ (Aetuatoi*) u 及-次控解元（Sub_CGn 如 该電磁致動器係用於輸出電力給電磁元件以產生磁力，节 接於感測器與電磁致動器之間，可依據减 出盗域測之軸向偏擺位移量控制電磁致動器的電力輸 9·如申^專利範圍第8項所述之一種主軸刀具轴向偏擺之内 =主動補償裝置，其中，魅軸更包括有—主控制單元， 馬達以控制心軸之旋轉，該次控制單元係連接於 Α=元’主控制單元可將（、梅續之轉速資料傳送給 次控制單元，次控.元可依據所触 _ 感測器_刀具日__率（驗tmgFrc=^^ ίο·，申明專利範圍第7項所述之一種主轴刀具轴向偏擺之内 f主動補償裂置，其中，該電磁控制模組於接受到該感測 „之轴向偏擺位移量後，會將該位移量與一預先設 定之容許範圍值比較，當該位移量超出容許範圍值時，電 磁控制模組才會對電磁元件的電力輸入進行控制。 •，申"月專利範圍第7項所述之一種主軸刀具轴向偏擺之内 =主動補仏裝置，其中，該電磁控麵組於接受到該感測 為所傳來之轴向偏擺位移量後，會將該轉量與—預先設 ^紙張尺錢財關 (210 X 297 公釐） I M f釗轭固 1之警不範31值比較，當該位移量超出警示範圍值時，電 磁控制模組會發出警示訊號。 u二種主軸刀具軸向偏擺之内部主動補償裝置，包括有： 主軸裝置，更包括有： 一心軸； 切削刀具’結合於心軸之—末端上；以及 馬達轉子，結合於心軸以帶動心轴以及切削刀 轉；以及， / '一主_償敍，結合於主姆如提供_刀具於轴向 的位移補償，該主動補償裝置更包括有： 一^測器’、其係對應於該刀纽與刀具保持一適當間 π ’可感測該刀具相對於感測器的軸向偏擺位移量； -^模組’可細倾供—糾力，崎吻進行小 幅度轴向位移；以及 組，連接於該致_組，該電磁控制模組 制==測器所傳來之轴向偏擺位移量並據以控 13.:== 12項所述之—種主軸刀具軸向偏擺之 =動_裝置’其中，__為氣浮式主軸裝 蝴娜向偏擺之 ，、中、磁控制模組可依據心軸的轉 :二感測器感測刀具時的俱測頻率(Detectmg 18 本紙張尺度適用中國國家標準(Cm)A4^ (2J〇x 297 公釐） '申請專利範圍 15·如申請翻麵第12 内部主動補償裝置，、斤这之種主軸刀具軸向偏擺之 _所傳來之轴向偏磁控制模組於接受到該感 敦定之容許朗值比Γ 轉量與一預先 !6如申C會對致動模組進-步控制。 内部主_償 ^奴―種主細具軸向偏擺之 — 中’該致動模組更包括有： Γ牛’固定於心軸之末端；以及 相祐兀1木位於對應於該磁性元件之處且與磁性元件 二;該電磁元件可接受由電磁控制模組 料工制之電力輪入而產生磁力。 17^主細雜向偏擺之峨細#方法，包括有下列 (Α)提供-主動補償裝置裝設於一主軸裝置上，該主轴裝 置包括有：—心軸、一切削刀具結合於心軸之前端 上、以及-馬達轉子結合於心軸以帶動心轴以及切削 刀具旋轉，該主動補償裝置包括有：一感測器其可感 測該刀具的軸向偏擺位移量、一致動模組可驅動心轴 進仃小幅度㈣轉、以及—電雜繼組可接受該 感測器所傳來之軸向偏擺位移量並據以控制致動模 組； ' (Β )由感測關瀬刀具的軸向偏紐移量並將該偏擺位 移量傳送給電磁控制模組； (C )由電磁控制模組依據該偏擺位移量計算出對應之軸

   申睛專利範圍 補償位移量； (D)由兒磁控制模組控制致動模組來驅動心軸進行該補償 位移量的軸向位移。 閱 讀 T 面 之 意 事 項 再 18·如：請專利範圍第項所述之—種主軸刀具軸向偏擺之 内邛主動補償方法，其中，該致動模組更包括有： 磁性元件，固定於心轴之另一末端；以及 一電磁7L件，位於對應於該磁性元件之處且與磁性元件 相距一適當間隙，該電磁元件可接受由電磁控制模組 所控制是電力輸入而產生磁力。 •士 :明專利範圍第17項所述之—種錄刀具轴向偏擺之 内部主動補償方法，其中，於步驟（Α)與步驟（Β)之 間更包括有下列步驟： 訂 (Α1)偵測刀具的轉迷； ()由弘磁控制模組依據該刀具的轉速來決定感測器感 ’則刀具日守的偵測頻率（Detecting Frequency)。 線 如申明專利_第17項所述之—種主軸刀具軸向偏擺之 内部主動補償方法，其中，於步驟⑻與步驟（C)之間 更包括有下列步驟·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (ϋ將該偏擺位移量與―預先設定之料範圍值比較， 田口亥偏擺位移1超出容許範圍值時，電磁控制模組才合 執行步驟（C); 曰 (=)將該偏驗移量與―預先設定之警示翻值比較， *該偏驗料柳警示翻鱗，電雜 出警示訊號。 、曰" 私紙張尺度過用y關家標準（cns)^^^q_x 297公爱- 491743 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 21.如申請專利範圍第17項所述之一種主軸刀具軸向偏擺之 内部主動補償方法，其中，該内部主動補償方法會重複執 行步驟（B)至步驟（D)直到接受一中止訊號。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）