TW472503B - Manufacture method of photosensitive polyimide pattern definition layer for organic light-emitting diodes display - Google Patents

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‘OUvJ A7 B7 五、發明說明（/ ) 【本發明之領域】 方法 本發明係關於-種有機電激發光顯示面板之表面處理 【本發明之背景】 曰經由通電流激發發光之有機電激發光顯示器元件因為 =量輕’高對比、應答速度高、耗電低及亮度高等優點，近 、來成為備受注目之新世代平面顯示器。然而，有機電激發 :兀件由於其技術較新、發展相較於其他顯示器晚，技術尚 2全成熟，故目前在商品化過程及大量生產過程，還有許 夕障礙有待克服。 訂 目前有機電光元件顯示器之製造’大多係於面板基板 =成條狀陽極電極層，而後於包括陽極電極層之面板基 ，形成-與條狀陽極電極衫錯以阻隔離層」。之後利 隔離層做陰影光罩（shadow mask) , _ 線 積有機發光層及吟極雷朽恩 匕、..只截鑛.沈 尤曰及電極層，以於相鄰之 之區域形成發光顯示之圖素。缺而，以此方、^離層間暴路 高。m .〜------------匕土便用之-重贪或穩寒性皆不 ; |\\ —........此方法製造之有機電光元件顯示器，H | ' V略以相鄰之光阻隔離層與陽極為界線 產1^之邊界隔離。__於—極無& 陰極物質沈積於光阻隔«側t 成紐夕’目而造成有機電光元件顯示 灿 fa。所以亟需一 ° 員不日τ之缺 種有效⑽巴陰極物質與陽極電極接觸短路之 472503 A7 B7 五 發明說明（ 2. ί = = = : =素’一之可 丨以解決短路之問題相 難:r 有機^ 里王座除此之外，也有提議以光阻— 離層間形成隔離層之解決建議二、〜λ、>阻隔 光阻内之溶劑或水，所以在二=於光阻會陸痛 製程最後，會採用光阻剝=的=路之光阻黃㈣ 體電路凡件特性’·同理對有機電激發光顯示器而言，伴= :光阻圖素定義咖物會對圖素上之有機發光物質造· 壞.，因而輕有機電激發光顯示器品質及使人五、 者’零電激發光顯示面板之圖讀出之光量高= 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I ^ μ ^ μ & ’ @4缝缝羞，在多次頻繁有 機電激發光顯示面板之高發光量操作下，以傳統光阻做隔離 層之有機電激發光顯示面板之圖素.，使用壽命非常短。因 此’亟需-種製造加工容易’可以隔絕有機電激發光顯示面 板之陰極物質與陽極物質，又能具有光穩定性之有機電激發 光顯示面板圖素製造方法，以避免有機電激發光顯示器短路 並提高有機電《光顯示器製造良率、使料定性與壽命。 發明人爰因於此，本於積極發明之精神，亟思一種可 以解決上述問題之冑機電激發光顯示面板之感光性聚亞酿 胺圖素定義層之製造方法」，幾經研究實驗終至完成此項發 明。

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2l〇Ti^pT 472503 A7

A7 五、發明說明（斗） 且確有增 由於本發明方法新穎，能提供產業 Μ法申請發明專利。 【圖式簡單說明】 第1圖係本啦明未形成有機發光層及第二電極層顯示面板立 體圖。 第2圖係本發明形成有機電激發光顯示面板之上視圖。 【圖號說明】 10基板 20陽極 50 Τ形自持隔絕光阻層 60聚亞醯胺（P〇lyimide)圖素定義層。 70 輔助電極 訂 【較佳具體霄施例之詳細說明】 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作| 社 印 本心明有機電激發光顯示面板之感光性聚亞醯胺圖 素定義層之製造方法’包括先於基板（10)上形成-對應於 發光區域之第—電極（2G);再於第—電極⑽之基板（1〇) 上土佈感光性聚亞醯胺（poiyimide)或聚亞醯胺前驅體 (polyimide precursor)層；之後對塗佈感光性聚亞醯胺或 聚亞醯胺前驅體層之基板(1〇)進行預烤（㈣山）然後 使用光罩進行曝光’·顯影以形成具圖樣（㈣叫之感光性 聚亞醯胺或聚亞醯胺前驅體層’·以及加熱烘烤包含感光性聚 亞醯胺或來亞酿胺前驅體層之基板（】〇)以硬化聚亞醒胺形 成聚亞醯胺圖素定義層（6〇)。 乂 本紙張尺度剌帽财鮮（CNSM4 472503 A7 B7 五、發明說明（夕） :目為感光性聚亞《具有較佳之熱安定性，機射— 性、電氣安定性以及光安定性，所以 &械女疋 激發光顯干％ k IS1主· ¥ "亞胺作為有機電 激么先,4不面板圖素定義層，可以使有機電 具有較佳之安定性與穩定性，有機電激發光顧二“”、不 增加有機電激發光顯示面板之壽可以因而 f傳統光阻層於有機電激發光顯示面板使用期間，-陸續^ 承内含之溶劑或水氣，岐以聚亞《作為圖素 激發光顯示面板之壽命。而聚 曰（），可㈣開面板基板（1G)之陽極層與平行長條形光 阻層(50)上或側邊沈積之陰極„，避免陰極與陽 訂 ί導通y所以可以降低因為陰極陽極短路造成之不良士—…此 外，本發明之方法因為過程中僅需叫 圖樣（pattern)之聚亞酸胺層，大幅減少聚㈣胺層 圖素定義層（60)形成時所需之製造步驟，可以因此而提高 聚亞酿胺層圖素定義層（6〇)，甚至有機電激發光顯示元件 之製造效率。 、本發明有機電激發光顯示面板之感光性聚亞醯胺圖素定 義層之製造方法，係於第一電極（2〇)形成後’在未形成平 行長條形光阻層（50)、有機發光層及第二電極層之前，先 形..成一圖素定多層（6〇卜第一電極（2〇)可以以黃光微影製 程將苐電極（2〇)形成於面板基板（1〇)之上。其並可視需 要於第一電極（20)形成前’先以黃光微影製程形成複數個 輔助電極（70)層。於第一電極（2〇)形成後，於包括第一電 本紙張尺度適用中固國家標準（CNS〉 A-1規格ΟΠΟ X 297圣髮） 4725Q3 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 五、發明說明（t ) ，極（20)之面板基板⑽上，塗佈—感光性聚亞酿胺 ㈣yimide)或聚亞醯胺前驅體（pQlyimidepw _層。塗佈之方法可以以任何熟悉此項技藝者所使用之方法塗 雙-，較佳為旋塗（S_ 方法，轉速為 ，3_rpm。塗佈後’對塗佈—感光性聚亞驗胺或聚亞 醯胺丽驅體層之基板（10)進行第—次12〇〜l6〇t預烤 (prebake) ’以除去塗佈之感光性聚亞醯胺或聚亞醯胺前 驅體層之溶劑。而後使用光罩進行曝光，並對光阻顯影。顯 影可為任何熟悉此項技藝者使用之方式，較佳為以 2.38%TMAH (四甲基氫氧化胺）對光阻顯影。會繼續。最 後，對該面板基板（10)進行高溫烘烤，係使聚亞酿胺或聚 亞《前驅體進行交連增加強度與穩 且進一步除去剩 餘之溶劑，以完成製造聚亞醯胺圖素定，層（6〇)之製程。 高溫供烤之溫度為400。(：以上，較佳為45〇0(：以上。本發 明使用之感光性聚㈣胺可為習用之具感光官能基團之聚亞 醒胺樹脂或具感光官能基團之聚亞酿胺前驅體。其為在聚亞 酿胺樹脂或聚亞醯胺前驅體之主體結構中導人感光基，賦予 其感光性，使形成後之聚亞醯胺樹脂同時具備絕緣層及光阻 特I·生以如升製程效率並降低成本。聚亞醯胺前驅體較佳可為 包括習知之由具感光官能基團之〇DA (〇xycHannine)及

Pyromelhtic dianhydride(PMDA)製備之具感光官能基團 之polyamic acid或由具感光官能基團之〇da (〇xydianiline)、benzophenone tetracarboxylic 本紙張尺度翻f關家標準規格⑽x视备楚） 、--------訂----------線. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 ^齊部皆餐財轰奇員^消費合作^中製 B7 五、發明說明（7 ) .hydride(BTDA)及pyromeiHtic dianhydride(PMDA) 反應製備之具感光g能基團之扣丨^前驅體。 聚亞酿胺圖素定義層（60)形成後，可以繼續進行有機 電激發光顯示面板之後續製程。依序可以再以黃光微影製程 =成平行長條形光阻層（5G)，以及蒸鍍形成有機發光層及 第—電極電極層。本發明之經顯影形成之感光型聚亞醯胺 圖素定義層（60)’為具有於第一電極（2〇)上有開口圖樣 (pattern)之圖素定義層（6Q)，該圖樣可為將第—電極（2〇) ，分開而與第一電極（2〇)邊緣平行並覆蓋第一電極⑽邊 彖’或與第-電極（2〇)相交錯而將第一電極⑽）分隔成複 數個開π不為圖素定義層（6〇)覆蓋之區域。該區域為後續 平:長條形光阻層（5〇)，以及以蒸鍵方法形成有機發光層 2第-電極電極層形成後發光圖素之位置。本發明感光型 ^亞_圖素定義層（6〇)圖樣較佳為於第-電極（20)上形 成硬數個窗型開口之圖樣；其中感光型聚亞酿胺圖素定義 f、U〇)與第—電極（20)相交錯而將第-電極（20)分隔成具 有複數個不為圖素定義岸（6〇费 ㈣疋義層（6G)覆蛊之窗型開口區域。該感 胺圖素定義層（6Q)圍繞第—電極⑽窗型開口 與第一電極(2〇)窗型開口區域邊緣平行並覆蓋 弟一電極（20)邊緣。 之感光型聚亞酿胺圖素定義層（6〇)於後續平行 由換，I & Λ· ......... ...........Χ.二…目....及:第一電極電極層完 ^後㈣成具有界U — __周邊，且覆蓋第一電 極（叫周邊之圖素定義層（6{)) 弟電 ’哉电激發光顯示面板。 本紙張尺度翻巾祕（加χ 2^— -----k!----訂---------線. {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 472503 A7 五、發明說明（8) 該有機電激發光顯示面板包括一基板（1〇),複數個第一電 極（20)，複數個第二電極，感光型聚亞醯胺圖素定義層 (60)及複數個條狀光阻層，及複數個有機發光材料層；其 中感光型聚亞醯胺圖素定義層（6〇)由具感光性官能二聚亞 酿胺組成物（P〇lyimide)或具感光性官能基聚亞酿胺前驅體 bolyimide precursor)所形成。該複數個第—電極平 行排列於基板（10)上；而該感光型聚亞酿胺圖素定義層 (60)位於包括第—電極_之基板（1())上；該條狀光曰阻芦 位於感光型聚亞酿胺圖素定義層（6〇該感光型聚亞酿 ㈣之圖樣係將第一電極（2〇)分隔成具有複數個不為圖素 定義層（60)覆盘之開口區域；該光阻層突出於含第一電極 (20)之基板⑽，且該條狀光阻層之頂端賴基板（叫之 平面平行。而有機發光介質層沈積於第一電極（20)上；第 二電極沈積於有機發光介質層上。 平行長條型光阻之形成較佳為用旋塗法於形成第 極（20)及聚亞酿胺圖素定義層（6〇)之基板（1〇)上均” :塗覆-包含光酸產生劑（PAG)之化學增幅型光阻組： 烘烤後以圖樣方式光罩曝光、顯影，而形成具丁形狀 阻層’且該條狀光阻層與第一電極(2〇)成垂 而後’利用平行條狀光阻層間之空， t邊光阻層之Τ型頂端懸空突出部做自持型陰影光罩 ，以真空蒸鍍方式蒸鍍有機層，某铲時 垂;;面板之方向蒸鑛。最後，也是以真空蒸二 鑛第二電極之金屬或合金，第二電極並與第一電極(2二、 本紙張尺度中關家標―伐格 297 i% ).

:4tr----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^1 I I I 線丨 A7 五、發明說明（？ 夾有機層而成三明产 為形成於聚亞行長條形光阻層（50)較佳 電極物質以及筮 、義層（60)之上，以有效隔開第二 之平行長條形光阻心。广亞驢胺圖素定義層（6。)上 錯，如此平行早你’車父佳為與第一電極（2〇)垂直交 、卩、>光阻層（50)間之間隔盥第一電極 父錯區域，於形成有機 二：卿。) 光區之圖素（Pixel)。％辛^ 可以構成發 所保護包圍，藉以隔:第:為聚亞醯胺圖素定義層㈤) 本 邑弟二電極之物質’防止短路導通。 訂 駐複奸Μ1光元件顯㈣較料賊紅、綠及 皿么先像素(piXel)陣列之顯示面板，以顯示 發明之有機電光元件顯示要 發光料㈣叫陣列之顯示面板。心要而為早色複數 …第】圖為本案方法製造之有機電光元件顯 = 層及第二電極層立體圖，有機電光元件顯示器 線 上’形成有複數個條狀第—電極（2〇)，該條狀 —電極=(20)互相平行排列，並約略具同一高度。而於第 :0)之上’為聚亞醯胺圖素定義 胺圖素定義層（60)及第— ）3來亞酿 具有Τ形狀頂部之條狀光 1反㈤)上有複數個 之頂…μ 層’侧狀頂部之條狀光阻層 光阻二= _之條狀 成物經光罩曝光 狀頂部之條狀光阻層於基板⑽上形絲互平行之排列。形

本紙張尺度 _ 472503 A7 五、發明說明（β) :而於Τ形狀頂部之條狀光阻層上具有—懸空之突出部，其可 作為自持型陰影光罩（s h a d 〇 w m a s k )之用。後續黎1程係 在介於平行之T形狀頂部之條狀光阻層之間之含第—電極 (20)基板（10)上，沈積有有機層，其可為包含有機電致發 光物質之單-有機發光層’或具有多種功能之包含有機‘致 發光物質多層有機介質層（例如有機電洞傳遞層、有機發光 層及有機電子傳遞層）。有機層之上，並形成有一與第一電 極（2 0)垂直排列之第二電極層，第二電極層並與第一電極 (20)層與交錯區域形成一三明治結構將有機層包夾於其 中，而整體形成一陣列之排列。以上所述之第一電極（2〇) 或第二電極之材料可視需要選用透明之導電材料。基扳（1〇) 之材料可银需要選用透明之材料，較佳為鈉玻璃、硼矽玻 璃、塑膠或石夕晶片。第-電極（2〇)之材料較佳為Μη。〗、 Sn02、換雜Zn0之In2〇3 ' CdSn〇或録。第二電極之材料 杈佳為MgAg、紹、鑽石、類鑽石或妈。本案使用之第—電 極（20)之上尚可視需要更包括一輔助電極，以增加第 -電極（2G)之導電性’該輔助電極（7())可為金屬電極。輔 助電極（70)較佳為鉻、鋁、銅或金電極。 以上所述之有敬重魅件面板’m需要再進-步加 工，如於第二電極之上再形成一層抗反射層。 '，树明製造之有機電激發光顯示面板可應用於任何影 I产·、圖片、符號及文字顯示之用途或設備，較佳為微顯J器 fmiCr〇diSplay)電視、電腦、印表機、螢幕、運輪載具 '(vehicle)之顯示板、信號機器、通訊設備、電話、燈具、 本;氏張尺度適财"i國家標準(cns)A4規; 線 聲 ίΡ ϊ I !才 肖 費 it 472503 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（丨ί ) 車4、父β炎式電子書、釣魚（fishing)設備之顯示、個人數 位助理（personal digital assistant)、遊戲機 (game)、飛機（airplane)設備之顯示及遊戲眼罩之顯示 等。 為能瓖貴審查委員能更瞭解本發明之技術内之容，特 舉較佳具體實施例說明如下。 貫施例1 本實施例使用於ITO電極材料上鍍有鉻金屬之玻璃作為 基板（1 〇)。其先以買光微影圖樣（pattern)之方法將鉻金 屬於基板（1 0)上形成平行長條形輔助電極（7 〇)並予以充分 清洗乾淨。將IT 0透明電極物質以黃光微影圖樣 (pattern)之方法於基板（1〇)上形成平行長條形透明電極 並予以充分清洗乾淨，其中，每一IT〇長條形透明電極之上 形成2條長條形輔助電極（7 〇 )，以增加電流傳導效果。接著 於基板（ίο)上以旋塗之方法，1 000〜3〇〇〇rpm塗覆感光性 聚亞醯胺溶液。之後，將已經塗覆感光性聚 烘箱中進行叫峨前烘烤（㈣⑷之: 而後使用具有框形圖樣之光罩’配合曝光機具於基板㈤） 上進行曝光。以浸泡或嘴麗在2.38%氫氧化四甲基鋪影液 進行對表面之顯影處理，經顯影後於基板（1〇)上形成與平 行長條形ΙΤΟϋ明電極平行重疊且具不連續矩形窗口之'感光 性聚亞醯胺層。之後將具感光性聚㈣胺之面板基板（^) 运至烘箱以450 °C進杆高溫烘烤以形成感光性聚亞酿 本紙張尺度適用中關家標準（CNS〉A4規格（WX 297这爱 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^--- 訂---------線· A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

五、發明說明（Q 素定義層（6G)。爾後，再將正型化學增幅型光阻組成物以 紅塗之方式形成—厚度均勾之光阻層。而後將此已經塗覆正 型化學增幅型光阻組成物之基板（10)於加熱板中進行約 9〇 H〇C刚烘烤（Prebake)，接著使用具有條形圖樣之 光罩’配合曝光機具於基板（1〇)上進行曝光。而後將此基 板（1〇)以加熱板做曝光後供烤（pEB)處理，而於後洪烤 (PEB)處理時同時以導入氫氧化四曱基敍之氣氛進行對光 曰之表面處理’經顯影後於基板（i q )上形成與平行長條 形ITO透明電極垂直之平行長條形光阻層…），且此平行 長條形光阻層（50)之橫截面為具丁形狀頂部，厚度0 m’長條形光阻層（50)線寬〇18心。之後，以此 4之條狀綠層為陰影光罩，於諸平行陰影鮮間之間隙區 域’以真空蒸鑛方式蒸鍍上7⑽埃厚度之TPD (Ν，Ν，-、 4dl4Ph:_N，， 之後再洛鍍上500埃厚度之幻 將陰極電極銘，同樣以真空蒸錄方式蒸鑛至咖^户最後 ^此㈣㈣機電光顯以件’如第2圖所示。、^ ，上所陳’本發明無論就目的、手段及功效，在在 权、週異於習知技術之特徵，惟應注意的是，：一 施例僅係為了便於朗而舉例而已，本發明所主j夕貫 圍自應以申請專利範圍所述 之扠利範 这為丰，而非僅限於上述實施例。 本紙張ϋ適用中國國家標準(cns)A4^·^^^ . .· k--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 472503 第89107927號，90年11月27日修正 修. 六、申請專利範圍 1. 一種有機電^4#·^•饋示之感光性聚亞醯胺圖素定義 層之製造方法，其中該有機電光顯示面板包含複數個發 光區域；包括： 於基板上形成一對應於發光區域之第一電極； 於第一電極之基板上塗佈—感光性聚亞醯胺（p〇丨 或聚亞&胺前驅體（p〇iyimide precurs〇r)層； 對塗佈一感光性聚亞醯胺或聚亞醯胺前驅體層之基板進 行預烤（prebake ); 使用光罩對感光性聚亞酿胺或聚亞酿胺前驅體層進行曝 f ’而後顯影’以形成具圖樣（pattern)之感光性聚亞酿 胺或聚亞醯胺前驅體層；以及 訂 门皿火、烤包3感光性聚亞醯胺或聚亞醯胺前驅體層之基 板以交聯硬化聚亞醯胺形成聚亞醯胺圖素定義層，· -中亥感光|±聚亞SI胺或聚亞醯胺前驅體層之圖樣係將 線 第一電極分隔成複數個不為聚亞醯胺圖素定義層覆蓋之 開口區域。 2·如申請專利範圍第！項所述之方法，其令更包含於聚亞 酿胺（㈣yimide)圖素定義層上形成一具有丁形狀頂部 之條狀光阻層。 3. 如申請專利範圍第i項所述之方法，其中加熱包含感光 性聚亞醯胺或聚亞醯胺前驅體層之基板係加熱至少至溫 度400。(：以上。 4. 如申請專利範圍丨項所述之方 — —Μ 々/ίΓ其中該聚亞醯胺圖素 疋義層為複數平行長條並與第—電極形成垂直交錯。 本紙張尺度賴t朗家辟（CNS)A4祕 月 (修正丨 六、申請專利範圍 5 如申结蚩_i,t 如申請專利範圍2項所述之 6. 第—電極形成垂直交錯。心以該條狀光阻層與 如申請專利範園第〗項所 光阻。 疋之方法，其中該光阻為正型 7·如申請專利範圍第丨項所 -電極之基板上形成—停：其中更包括於含第 含第—電極之臭板 条狀先阻層，該光阻層係突出於 平面'平行。 且該條狀光阻層之頂端係與基板之 8. 專利範圍第1項所述之方法，其中更包括於條狀 以：：間之暴露區域之第—電極上沈積有機發光介質， '電極上形成複數個包含有機發光介f之第 極區域；以及於有機發光介f層上形成第二電極。 9·=請專㈣圍^項所述之方法，其中該第—電極與 ϋ亥苐一電極互相垂直。 i〇_如申請專利範圍第i項所述之方法，其中該第 透明。 ^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍第i項所述之方法，其中在光阻塗佈前 還包含基板的清洗與烘乾。 12.如申請專利範㈣丨項所述之方法，其中於基板上形成 一對應於發光區域之第—電極前先形成輔助電極層。 13·—種有機電光元件，包括一基板，複數個第一電極，複 數個第一電極，感光性聚亞醯胺圖素定義層及複數個條 狀光阻層’及複數個有機發光材料層； 本紙張標準（CNS〉A4規·^咖x 297鮮〉--—-〜---- 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 '------------------- —修正 補充 六、申請專利範圍 其中複數個第一電極平行排列於美柘 SI HI -i- ^ ife ra 、土板上，5亥感光性聚亞 酿㈣素定義層位於包括第 阻層位於〶光性▲ 基板上’该條狀光 =第-電極之基板，且該條狀光阻層之頂端係與基 板之平面平行；有機發光介質層沈倾第-電極上；第 -電極有機發光介質層上；且該條狀光阻層係由包含光 阻組成物經光罩曝光、顯影所形成。 申睛專利範圍第13項所述之有機電光元件，其中聚亞 醯胺（Pdyimide)圖素定義層上係形成一具有丁形狀頂 部之條狀光阻層。 15.如申請專利範圍13項所述之有機電光元件，其中該聚亞 釀胺圖素定義層為複數平行長條並與第一電極形成垂直 交錯。 1 6 ·如申請專利範圍丨5項所述之有機電光元件，其中該條狀 光阻層與第一電極形成垂直交錯。 17_如申請專利範圍第13項所述之有機電光元件，其中該光 阻為正型光阻。 1 8 ·如申請專利範圍第1 3項所述之有機電光元件，其中該第 —電極與該第二電極互相垂直。 1 9 如申請專利範圍第1 3項所述之有機電光元件，其中該第 —電極為透明。 2 0.如申請專利範圍第13項所述之有機電光元件，其中該基 板為透明。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格⑽X 297靜〉 ^--------訂------- (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 21.如申請專利範圍第13項所述之有機電光元件，其中更包 括複數個輔助電極。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297论釐） I. . ^--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)