TW442800B - Equipment for fine-positioning of a component and coordinate measurement-machine with an equipment for fine-positioning of a component - Google Patents

Description

442 80 〇 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1 本發明涉及一種構件精細定位用之裝置，其具有申 請專利範圍第1項之待徵；本發明亦涉及-一種具有此 種裝置之座標測量機，其具有申請專利範圍第1 9項之 特徵。 在由 Chr. Hoffrogge 及 H.-J. Rademacher 所寫之文 件” Eine Doppelparallelfeder als Prazisionsfuhrung" (PTB-Mittei〖ung 2/73，page 79-82)中描述一種構件精 細定位用之裝置，其具有一種以單件方式來操作之雙 平行彈簧。雙平行彈簧具有一種固定之框架及一個可 移動之由多個平行彈簧所支撐之中樑。力由配置在雙 平行彈簧外部之心軸傳動器傳送至中樑是藉由一種耦 合元件及一種鋼絲繩來達成。整個系統因此是很大 的。上述之雙平行彈簧特別是用來在水平位置中操 作》垂直位置中之操作就力之傳送以及粗重而大之平 衡重量之安裝而言需要額外之巨大之構造費用。使中 樑偏移成很小之傾斜只可藉由作用力複雜之分佈來達 成。 本案構件精細定位用之裝置特別是在一種物鏡聚焦 在一種高精確之座標測量機時用來對此物鏡作精細之 定位。此種座標測量機包括一種X/Y測量桌以便容納 基板，基板之結構須以奈米精確性來測量。 在X Y測量桌上配置該物鏡及位於此物鏡之後之成像 透鏡。在測量桌每一次改變位置之後（例如’在運載 另一種待測量之結構時）’藉由物鏡之疋來重新聚焦 是需要的，這是因爲測量桌表面之已存在之很小之不 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 >= 297公釐） ------------"裝--------訂--------•線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（> ) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 平坦性，基板表面之較小之楔形誤差以及通常位於三 個承載點上之基板之極微小之彎曲現象都會造成焦點 位置之垂直方向之偏差。 一種測量方法已爲人所知，其是以光學方式來驅動 且利用物鏡來對一種待測量之結構進行聚焦。然後以 干涉儀來測量此X/Y測量桌之位置且由測量桌之位置 以奈米精確度來決定此結構相對於參考點之位置。由 各種不同之測量可決定各結構之寬度或各結構間之距 離。 在力求提升精確度時，在決定位置時亦須辨認很小 之誤差源且在構造上須避免這些誤差源或使其最小 化。此種傾斜是在聚進期間物鏡垂直移動時所產生且 使物鏡軸側向偏移至此種具有待測結構之基板上。待 測之結構因此在一種側面之位置中受到已傾斜之物鏡 之光學式驅動，此位置是與物鏡未傾斜時不同的。此 種偏差在此種待測量之結構定位時之測量結果中形成 一種測量誤差。 本發明之目的因此是提供一種裝置以便對一種構件 進行精細定位，其允許此構件可精確地有一種直線之 移動路徑，此種構件只特別小地偏離一種參考軸。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 此目的是以一種具有申請專利範圍第1項特徵之構 件精細定位用之裝置來達成。本發明之有利之其它形 式敘述在申請專利範圍各附屬項中。 本發明中此種構件之垂直精細定位用之裝置具有一 種雙平行彈簧，其以單件方式來操作且其構造是對於 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消费合作社印繫 442 80 ο A7 B7 五、發明說明（） 一個對稱軸，此種裝置由一種固定之框架所構成’框 架例如固定在其上層元件之承載件上。在框架之中央 配置一種移動式中樑於該對稱軸上。在中樑上可固定 該即將定位之構件。在中樑之二側於此框架內部以可 移動方式配置二個側樑。 在每一個側樑之末端區域中分別配置二個平行之直 線式連接元件。在每一連接元件之末端以板簧之形式 構成一些彎曲位置。此二個平行之連接元件之第一個 藉由形成在其上之彎曲位置可使側樑和框架之間形成 一種移動式連接a第二個平行連接元件藉由其上所形 成之彎曲位置而在側樑和中樑之間形成一種移動式連 接。以此種方式，則具有4個連接元件之中樑可對稱 地與二個側樑移動式地相連接。 中樑藉由彈簧而在框架方向中夾緊。中樑因此不可 與框架相接觸，這是因爲此種接觸作用可使雙平行彈 簧元件被夾緊。這些彎曲位置之彎曲特性因此會不利 地被改變且中樑會由其嚴格平行於該對稱軸之移動方 向中被帶動。彈簧例如可爲壓力彈簧或拉力.彈簧。 在中樑之末端和框架之間配置一種微調元件，藉此 可針對壓力彈簧之彈簧力以無傾斜之方式在中樑之縱 向中來對此中樑進行調整。若此微調元件之調整路徑 不只可調整，而且可改整時，則微調元件利用此優點 可與高解析度之長度測量系統相連接以測量其實際之 調整値。長度測量系統之測量値作爲調整値而傳送至 調整電路之輸入端，利用此調整電路之輸出信號可對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------I --------訂·--------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 442800 A7 B7 五、發明說明（4 ) 該微調元件進行調整。 可使用微調螺栓作爲微調元件，其是以人工或馬達 來驅動。在特別有利之實施形式中此微調元件是以壓 電元件構成，其是依據所施加之電壓之大小來改變其 長度。 在本發明之裝置中 '雙平行彈簧元件之構造特別重 要。雙平行彈簧元件因此必須以單件方式由一種板所 構成。此板必須足夠厚，各彎曲位置因此是以寬板簧 之形式構成。只有這樣才可防止中樑相對於對稱軸而 傾斜，且使雙平行彈簧元件（特別是垂直之配置）足 夠穩定。此外，此板必須由熱膨脹係數小且彎曲特性 良好之材料所構成。由於熱膨脹係數較小，則可確保： 在操作期間在周圍溫度有很小之灣動時雙平行彈簧元 件之彎曲特性仍可保持穩定。在有利之實施形式中， 雙平行彈簧元件由Ni36鋼板所製成。 在製程中須注意：雙平行彈簧元件之對稱性構造在 材料加工（例如，切削、銑切以及類似過程）時不會 受到太大之製程容許度（tolerance)所影響。在已製成 之雙平行彈簧元件上以此種方式所形成之每一種非對 稱性會使中樑以及此構件有不對稱之彎曲特性以及不 期望之傾斜式移動。已顯示之事實是：在藉由機械式 加工過程來形成此雙平行彈簧元件時通常會在材料中 引入太多之熱量，其特別是會在彎曲位置處之材料中 造成一種內應力而使各別之彎曲位置有不同之彎曲特 性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚--------訂--------線— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 442 80 〇 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（r ) 另外已顯示的是：在一種電子式侵蝕之實施形式中 材料不會被加熱，此材料因此不會產生各種內應力’ 這樣可使各彎曲位置有較佳之均勻之彎曲特性。在本 發明之裝置之有利之實施形式中，雙平行彈簧元件之 各彎曲位置是以一種電子式侵蝕法來形成。在本發明 之裝置之另一特別有利之實施形式中，整個雙平行彈 簧元件是以電子式蝕刻法來形成。在各彎曲位置中以 此種方式所達成之對稱性彎曲特性中，須配置此彈簧 及微調元件，使力（force)可傳送至雙平行彈簧元件之 對稱軸。因此可確保此中樑以及待定位之構件不會有 傾斜式移動。 若由於製程而在各彎曲位置之彎曲特性中產生不對 稱性 > 則利用此種優點可適當地在對稱軸外部進行彈 簧及微調元件之力傳送。由於此種不對稱之力傳送， 則彎曲特性中之不對稱性即可被平衡。 本發明之裝置所具有之優點是：其可確保此中樑及 待定位之構件有一種幾乎是理想化之無傾斜之移動。 此外，本發明之裝置由於此種配置在框架內部之微調 元件而具有很緊密（compact)之構造。 本發明之另一目的是提供一種高精確之測量機，其 具有對此構件進行精細定位所用之裝置（特別是物 鏡），其中此物鏡軸相對於此高精確之測量機之垂直光 軸所形成之傾斜角是特別小的。此種高精確之測量機 因此可以是一種座標測量機。 此目的是以一種具有申請專利範圍第19項特徵是 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------1^.--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 442800 A7 B7 五、發明說明u ) (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ標測量機（其包含一種對此構件進行精細定位所用 之裝置）來達成。申請專利範圍各附屬項提供此座標 測量機之有利之構造。 在習知之高精確之測量機（其是以基板上方之成像 透鏡來測量此基板）之測量桌之上方配置上述之裝置 以便在垂直方向中利用雙平行彈簧元件來進行精細之 定位。因此在測量桌之上方設置一種固定之承載件， 該雙平行彈簧元件之框架固定在此承載件上。一種物 鏡支件固定在雙平行彈簧元件之中樑上。 物鏡由物鏡支件所承載，物鏡具有一種垂直定向之 物鏡軸。物鏡軸在基準位置中是平行於中樑之移動方 向而對準且與座標測量機之光軸相對齊。雙平行彈簧 之精細調整操作用之調整電路可與一種自動聚焦系統 一起作用以便使此物鏡自動聚焦。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本發明之座標測量機所具有之優點是：在精細定位 (即，物鏡進行聚焦）時物鏡軸相對於座標測量機之 光軸只會形成一種特別小之傾斜角。因此在基板上此 物鏡軸對此測量機之光軸只會形成一種很小之橫向偏 移。在典型之遮罩中，例如由於其楔形誤差，其彎曲 等等所造成之焦點位置之垂直方向之改變是在10和 20 ν m之間。這樣可提供物鏡軸之橫向側面偏移大大 地小於1 n m。 本發明有利之實施例以下將依據圖式來詳述。圖式 簡單說明： 第1圖具有雙平行彈簧元件之構件在精細定位時所 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 442 80 Ο A7 B7 五、發明說明（7 ) 用之裝置。 第2圖局精確之測量機之部份圖，其具有物鏡之精 細定位用之裝置。 第3圖是第2圖之高精確之測量機之切面圖，其具 有一種對物鏡作精細定位所用之裝置。 第3a圖是第3圖中以參考符號"X”表示之圓之放大 之細部圖。 第4圖高精確之座標測量機，其具有一種對物鏡作 精細定位所用之裝置。 第1圖是一種構件之精細定位所用之裝置。具有對 稱軸2之單件式雙平行彈簧元件1包含一種固定之外 框架3，在框架3之內側在相面對之位置上環繞此對 稱軸2而形成二個支件4、5。在二個支件4、5之間 在對稱軸2上配置一種移動式中樑6。在中樑6之二 側分別配置一個側樑7，8。此二個側樑7、8可平行 於對稱軸2而移動。 每一支件4、5之二側配置二對（pair)平行之連接元 件，其在末端分別具有一些彎曲位置。第一連接元件 9使側樑7 ' 8與支件4、5相連接。第二連接元件9 使用相同之側樑7、8可與中樑6相連接。連接元件9 以此種方式形成中樑6之相對於框架3是有彈性懸掛 作用且同時可引導此中樑6之移動，其嚴格地在對稱 軸2之方向中進行。 第1圖中以參考符合” X"所表示之圓以放大之方式 顯示在第la圖中。第la圖顯示：在此種形成於框架 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------.裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 442 80 〇 i、發明說明（/ ) 3上之支件5和中樑6之下端之間配置一個彈性元件 Π，藉此可使中樑6在框架3之方向中被夾緊。 第1圖顯示一種微調元件〗2，其配置在一種形成於 框架3上之支件4和中樑6之上端之間。藉此微調元 件1 2可使中樑6移動。 若此微調元件1 2針對一種預應力而分別擠壓此框 架3及中樑6，則上述之移動是藉由彈性之彎曲位置 1 〇之控制來達成。此二個側樑7、8因此作爲這些抓 握在其末端上之連接元件9之間的耦合作用。此二個 側樑7、8因此平行於對稱軸2而移動，但不會另外在 中樑6之方向中移動（或由中樑移開）。 在各彎曲位置1〇(其在理想方式中是以寬的板簧構 成）之影響下，此中樑6會沿著對稱軸2進行·一種無 傾斜之移動。 爲了使本發明之裝置之重量儘可能減少，則須在中 樑6形成一些中空區。中空區之形式和位置須以有限 元素法（finite-element method)而被最佳化，使此裝置 之垂直配置可不受此裝置之穩定性所影響。 第2圖是高精確之測量機之部份圖，其具有對一種 物鏡作精細定位時所用之裝置。在一種可在X方向或 y方向中運行之測量桌1 3上放置一個具有結構1 5之 基板1 4。測量桌1 3位置之決定是以干涉儀（未顯示） 來進行。在測量桌1 3上方在垂直方向中配置一種裝置 來對一種構件進行精細之定位，如上述之第1圖中所 示。在雙平行彈簧元件1及其對稱軸2後面顯示一種 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------I 裝--------訂·--------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 42 A7 B7 1、發明說明（9 ) 固定之承載件16;雙平行彈簧元件1之框架3固定在 承載件1 6上。 物鏡支件1 7固定在中樑6之下端。此物鏡支件1 7 承載一種物鏡1 8 (其軸是1 9 )，物鏡軸1 9平行於此雙 平行彈簧元件1之對稱軸2且因此亦平行於中樑6之 移動方向。中樑6之精確之無傾斜式移動因此可直接 轉換成物鏡1 8之同樣是無傾斜之移動。 爲了決定此種移動之範圍*則在雙平行彈簧元件1 之上部區中安裝一種高解析度之長度測量系統20，其 由二個共同作用之零件_21、22所構成，其中一個固定 之零件21安裝在固定之框架3上且另一個零件22安 裝在可移動之中樑6上。中樑6上一起移動之零件22 具有一種細分之比例尺（例如，玻璃比例尺）。另一固 定之零件2 1具有一種偵測器（未顯示）以便測定此二 個零件2 1、22相互間之相對移動，即，中樑6或物鏡 18之移動。 高解析度之長度測量系統20之測量値可用在一種 調整電路（未顯示）中（例如，整合在一種自動聚焦系 統（未顯示）中）作爲調整値來調整此物鏡18之移動。 第3圖是第2圖之高精確測量機之切面圖，其具有 一種物鏡進行精確定位用之裝置。 第3圖顯示此種可移動之測量桌其上具有一個 基板1 4及一些待測量之結構1 5，其上配置該雙平行 彈簧元件1;框架3固定在承載16上。此種固定方式 未顯示，這是因爲其位於此切面平面之外。框架3之 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------ -- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 言 Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 80 Γ Α7 ___Β7_ 五、發明說明（^ ) 內部配置此中樑6。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在雙平行彈簧元件1之上部區中在框架3和中樑6 之間安裝一種微調支件1 2，利用此元件可調整此中棟 6之移動。在雙平行彈簧元件1之上部區中另外安裝 一種高解析度之長度測量系統20，如第2圖所示。在 此種圖式中可明確辨g忍：其由二個共同作用之零件 21、 22所組成，其中一個是安裝在固定框架3上之固 定零件21而另一個是安裝在移動式中中樑6上之零件 22。 在中樑6上一起移動之零件22具有一種細分之比 例尺2 3 (例如，玻璃比例尺）。另一個定之零件2 1具 有一種偵測器2 4以便測定此二個零件2 1、2 2相互間 之相對移動，且因此可測得中樑6或物鏡1 8之移動。 在中樑6之下端固定一種物鏡支件1 7，其承載此物 鏡18(其物鏡軸是19)，物鏡軸19平行於雙平行彈簧 元件1之對稱軸2且因此平行於中樑6之移動方向。 中樑6準確之無傾斜之移動因此可直接轉換成物鏡18 之同樣是無傾斜之移動。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 偵測器24之輸出信號可用作一種調整電路（未顯 示）之調整値以便精確地驅動（12)雙平行彈簧1且因 此亦可對此物鏡18進行定位。此調整電路因此可與一 種自動聚焦系統一起作用以便對此物鏡1 8進行自動 聚焦。 第3圖中以參考符號"X”表示之圓以放大之方式顯 示在第3 a圖中。第3 a圖顯示：中樑6之下端如何利 用一種彈性元件（此處是彈簧2 5 )而在框架3之方向 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公釐） 442 80 〇 A7 B7 五、發明說明（"） 中被夾緊。此處該中樑6不會與框架3直接相接觸， 以便防止此二個組件發生傾斜及夾緊現象。 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 第4圖是本發明之座標測量機，其由花崗石方塊28 所構成，花崗石方塊28以防振之方式置放在足部29、 3 0上。在花崗石方塊2 8上，一種以框架構成之測量 桌31在二個以箭頭所示之方向屮以可滑動之方式固 定在貯氣件32、33上<測量桌3 1之框架3 1有利之方 式是由一種熱膨脹係數較小之材料（例如，玻璃陶瓷） 所構成。其驅動器此處未顯示。 測量桌3 1之位置是以一種雷射干涉儀系統34在X 方向和y方向中測得。 在測量桌3 1之框架中放入一種遮罩3 5，此遮罩3 5 例如由石英玻璃所構成。在遮罩表面上安裝各種結構 3 6。測量桌3 1以框架構成，所以此遮桌3 5亦可由下 方被照射。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在遮罩35之表面上存在一種成像系統，其具有較高 光學品質之物鏡3 7。物鏡3 7可沿著光軸3 8而在z方 向中被調整以便進行聚焦。經由分光鏡39 —方面可使 光源40之光進入光學通道中且另一方面可使成像光 束偏向至偵測器元件4 I中。偵測器元件4 1例如是一 種高解析度像素陣列之CCD-照相機。光源40在UV 光譜區域附近發光。 在花崗石方塊28中使用另一照明裝置，其由高度可 調整之聚光鏡42及光源43所構成。亦可設置光導之 射出面以作爲光源43。聚光鏡42之光軸是與物鏡37 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 442 80 0 A7 B7 五、發明說明（p) 之光軸38相對齊。聚光鏡42及光源43之高度調整是 用來使對準於此結構36之照明光束可依據遮罩35之 不同之光學厚度來調整。聚光鏡之頭部特別是可到達 測量桌框架之開啓（open)部份中。在測量桌經由整個 遮罩面而移動時爲了免於受到損傷，則此測量桌亦可 在花崗石方塊表面下方被拉動。光源40和43可互相 獨立地被接通。 在測量桌3 2上方可在垂直方向中配置上述之雙平 行彈簧1。在測量桌3 1上方配置一個承載件1 6，其上 固定著雙平行彈簧1之框架3。物鏡支件17固定在雙 平行彈簧1之中樑6上。 物鏡37由物鏡支件17所承載。物鏡37之光軸是平 行於中樑6之移動方向而對準且與座標測量機之光軸 相對齊。 本發明已參考一些實施例來描述，但對每一熟悉此 領域之專家皆知：可對各實施例進行一些變化，但其 均在下述之各項申請專利範圍之保護領域中。 符號說明 1…雙平行彈簧元件 2…對稱軸 3…框架 4…支件 5…支件 6…中樑 7…側樑 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 策，-------訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 42 80 0 A7 B7 發明說明（Ο) 8… 側樑 9… 連接元件 10" •彎曲位置 1 1 ·· -彈性元件 1 2 ·‘ •微調元件 1 3 ·· •測量桌 14.. •基板 15.. •結構 16·· •承載體 17.. •物鏡支件 18'* •物鏡 19-·· |物鏡軸 20… 長度測量系 統 2 1 · 固定之零件 22 ·· 一起移動之 零 23 ... 比例尺 24"· 偵測器 25… 彈簧 28… 花崗石方塊 29… 足部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------線— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15 - 30…足部 31…測量桌 32…貯氣件 33…貯氣件 3 4…雷射干涉儀系統 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 442 80 ο Α7 __Β7 五、發明說明（Μ ) 35…遮罩 39…分光鏡 40…光源 41…偵測器單元 42…聚光鏡 43…光源 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ --------訂---------線— 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 442800 A8 B8 C8 D8 六 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 申請專利範圍 1. 一種構件精細定位用之裝置，其特徵爲包括： a) —種具有對稱軸（2)之單件式雙平行彈簧元件（1)， 其由以下元件構成： i) 一個固定之外框架（3)，在其內側環繞對稱軸（2) 而在相面對之位置上形成二個支件（4，5)， ii) 一種可在此二個支件（4,5)之間移動之中樑（6) ’ iii) 配置在中樑（6)之二側之可移動之側樑（7,8) ’ iv) 配置在每一個支件（4,5)二側之二對（pair)在末 端處設有彎曲位置（10)之平行式連接元件（9)，第 一連接元件（9)分別與側樑（7,8)及支件（4,5)相連 接，第二連接元件（9)分別與側樑（7,8)及中樑（6) 相連接， b) —種介於支件（4,5)和中樑（6)之末端之間之彈性元 件（1 1)， c) 一種微調元件（12) ’其配置在支件（4,5)和中樑（6) 之末端之間。 2. 如申請專利範圍第1項之裝置’其中此雙平行彈簧 元件（1)由熱膨脹係數小及彎曲特性良好之材料所 製成。 3. 如申請專利範圍第1項之裝置’其中此雙平行彈簧 元件（1)由Ni36鋼板所製成。 4. 如申請專利範圍第1項之裝置’其中各彎曲位置（1〇) 或整個雙平行彈簧元件（1)是以電子式侵蝕法形 成，其形成時因此不會有應力。 5. 如申請專利範圍第1項之裝置’其中各彎曲位置（1〇) -17- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中(CNSM4規格（210 X 297公in -I I H ^1 0- I i n n I I n n I I I A8 B8 C8 30〇 六、申請專利範圍 以板簧構成。 6 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中彈性元件（11) 和微調元件（12)之力傳送之點是在對稱軸（2)上。 7 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中弾性元件（1 1) 是以壓力彈簧或拉力彈簧構成。 8 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中此中樑（6)在樞 架（3)之方向中藉由彈性元件（11)而被夾緊。 9. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中在框架（3)之內 側在側樑（7,8)末端之對面形成一些間隔件。 10. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中微調元件是 以人工或馬達驅動之微調螺栓構成或以壓電元件構 成。 1 1.如申請專利範圍第1項之裝置，其中此微調元件 (12)設有一種高解析度之長度測量系統（20)(以便測 量其實際之調整値）及一種調整電路，其中此長度 測量系統（20)之測量値形成該調整電路所需之調整 値。 1 2.如申請專利範圍第1項之裝置，其中該調整電路 是與一種自動聚焦系統一起作用以對此物鏡（18)進 行自動聚焦。 1 3 如申請專利範圍第1項之裝置，其中爲了達成.一 種對稱之負載分佈，則物鏡支件（1 7)及其上所固定 之物鏡（1 8 )是配置在中樑（6)之前側且微調元件（1 2) 配置在中樑（6)之後側。 14.如申請專利範圍第1項之裝置，其中形成此種垂 • 18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------".--------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 442 80 〇 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 直精細定位用之裝置且該構件是一種物鏡（18) ° 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之裝置，其中此物鏡（1 8) 界定一種光軸，其平行於此種由中樑（6)所界定之移 動方向。 1 6.如申請專利範圍第〗項之裝置，其中此微調元件 (1 2)可相對於彈性元件（1 1)之力以無傾斜之方式而 在垂直方向中被調整。 1 7 .如申請專利範圍第1項之裝置1其中該彈性元件 (11)是彈簧，其在框架（3)之方向中夾緊該中樑（6) ° 1 8 . —種如申請專利範圍前幾項中任一項之裝置之應 用，其特徵爲：此裝置設置在高精確之座標測量機 中以便對一種待聚焦之物鏡（3 7)進行精細之定位。 19. 一種座標測量機，其用來決定透明基板（3 5)上之各 結構（36)相對於參考點之位置，其特徵爲包括： a) 入射光-照明裝置（3 7,40)及/或透射光-照明裝置 (42,43)，它們係位於一種共同之垂直光軸上’ b) —種可相對於光軸（38)而垂直移動之框架形測量 桌（4)，其具有干涉儀定位元件（3 4)以便容納該基板 (35)， c) 一種具有可聚焦之物鏡（3 7)之成像裝置，以便對基 板（35)之各結構（36)進行成像， d) —種垂直配置之單件式雙平行彈簧元件（1 )，其具 有對稱軸（2)且由下述組件構成： i) 一個固定之外框架（3 )，在其內側環繞對稱軸（2 ) 而在相面對之位置上形成二個支件（4,5)， -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^^1 - - -I— n ^^1 n I t ^^1 I 一OJ< an _ n a^i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 8 六 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 ii) 一種可在此二個支件（4,5)之間移動之中樑（6)， iii) 配置在中樑（6)之二側之可移動之側樑（7,8)， iv) 配置在每一個支件（4,5)二側之二對（pair)在末 端處設有彎曲位置Π0)之平行式連接元件（9)，第 一連接元件（9)分別與側樑（7,8)及支件（4,5)相連 接，第二連接元件（9)分別與側樑（7,8)及中樑（6) 相連接， e)--種介於支件（4,5)和中樑（6)之未端之間之彈性元 件（"）， 0 —種微調元件（〗2)，其配置在支件（4,5)和中樑（6) 之末端之間， g)—種固定在中樑（6)上之物鏡支件（17)以容納該物 鏡（18)。 2 0.如申請專利範圍第1 9項之座標測量機，其中微調 元件（12)是一種以人工或馬達來驅動之微調螺栓或 以壓電元件構成；此微調元件（1 2)設有一種高解析 度之長度測量系統（2 0)(用來測量其實際之調整値） 及一種調整電路，此長度測量系統（20)之測量値形 成此調整電路用之調整値。 2 1 .如申請專利範圍第20項之座標測量機，其中該調 整電路是與一種自動聚焦系統一起作用以便對物鏡 (18)進行自動聚焦。 -20- 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） ----- ----- - ----- ' i i f I I I I ·111111111 (靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)