TW418261B - Plating cell with fluid powered wiper - Google Patents

Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 41826 1 五、發明説明（01 具有流體動力刮刷器之電鍍室 技術頜琴 本發明與電鍍室有關’尤其是針對一種可提供在被電 2基體上使電解質均勻擴散之技術，以防止泡、沫在該基體 表面積存β 發明背景 電鍍在許多複雜性技術產品，如生產數位化壓縮碟片 7之母片與模子等等，之生產上拾演著重要角色'然而 在此爭產品更形複雜之際，電鍍方法之可用性卻是更形狹 例如就-現代的CD而言，—微米或較大的雜質與玲點 :可以造成無法接受的資訊失眞。目前的電鐘技術可以造 塊誤率’而於較高密度的窝錄’塊誤率可能達到90或 更向。目前用以增加壓縮碟片的資訊密度之策略皆受限於 電鑛過程中控制污點技術之無能0 不少用於電解澱積或塗鍍物品表面之技術，在專利文 獻中已有敘述’但其中尚沒有任何一種能達到超高密度壓 縮碟片所要求之高電鍍純度與塗佈均勻性。 又 在吾等之.第5597460號美國專利案中，敘述一種新近 技術’其係於電鍍槽中使用一種層流噴霧器或噴嘴，藉由 :案所述方法，可以於電鍍作業中，在基質表面上，‘到 -種均句層流，一項回洗技術可將溶渣與微小雜質帶離被 電鍍之物品，而生產出高容許性之平滑電鍍物品，例如古 密度壓縮碟片母片或模子。 同 在壓縮碟片之製造上，有一個包含使用所謂模子之步 ------------ - r (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 今 -4 - 418261

五、發明説明（02 ) 驟’此等模子係負面媒片厭 口 , ^ 乂供壓裝成碟片之材料，僥 义形成模槽’成為產品壓縮碟片之軌道陽模。 --- Ji 11—--------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) 此等模子係錄質且電鑄成形，其澱積在一有 資料轨道的基質之上，部1女 ^ y 並具有以濺射塗佈之導電表面，於 束將該基體置入電鍍池中，而錄係以溶液導入加工室，使 之得以運用標準之電鐘原理，電化地附著於基體表面上。 現今之工業標準要求模子應具有極高度之平滑性，同時為 達到較高密度之錯存量，對於錄塗艘平滑性之容許度也就 越來越_。 一€鍍槽或電鍍室中電鍍溶液之流制，對於成功的作業 而言，具有決定性，而流制會因槽室之設計、加工槽中流 體之運動、加工槽中流體之分配、溶液導入該槽之區域、 以及該液體流於接觸與流佈在電鍍室中的基體之均勻性等 因素所影響。 現今電鍍宣使用一種簡單技術，將液體噴射入加工槽 或加工至，通常係用一條具有一端開口之簡單管子’將溶 液供給至該槽或室之中，而溶液係從該管之開口端迫入， 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 由於該液體未能均句分布於工作件之表面等事實，此種技 術對於產生平滑塗佈堪稱並無助益。因為在流制中之區域 性漩渦與擾動等，此項技術會造成電鍍層之多數高點與地 點。 在第5597460號美國專利案中所敘述之電鍍宣，有一 谷有電解質或電鍍液之電鍍槽，在其中之待電鍍基體係浸 在溶液之中，用一個喷霧器或類似的噴射裝置，將溶液導 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（QvfS ) A4规格（2〗0x297公釐） 418261 A7 — B7 _ 五、發明説明丨03 ), (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 入電鐘槽，並形成一電解質或電轉液之層緣，塗佈於待電 鍍之基體表面上，鄰接著電鏡槽者是一陽極室，其内置有 陽極材料，即將該材料容放於一陽極籃之中。於一典型 模子形成過程’該陽極材料係為粒狀、大塊狀或小塊狀的 鎳’以供電鍍過程中消耗。有一堰將電鍍槽與陽極室隔離 ’並允許該電解液自該陽極室流漏至該陰極室，該堪包括 一半滲透性障壁，以使金屬離子由陽極透過進入該電鍵槽 ，但可防止任何細微物通過乂 一循環系統耦合於一排泄口 ’以由該陽極室將電解液連同任何殘留微細物引離該陽極 室’並將該電鍍液透過一微級濾網，以將一切細微或較大 之粒予自電鍍液中濾除，經過濾後之電鍍液，回到該喷霧 器’並再被導入電鍍宣，如此，則造成電鍍液之回洗，而 使流體本身之流制，以異於電鍍物之方向，將陽極室之任 何細微物洗除'同時，經過清洗與純化的電鍍液，係以溶 液均勻層流的方式泡洗該基體之電鍍表面，如此在電錄過 程中可避免污點與空隙’其結果即可獲得非常高容許性， 而能生產出極高密度之壓縮碟片，且無明顯的失誤率。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在弟5597460號美國專利案中.所敛述之流制，已經進 一步以井狀作為電鍍槽之幾何原理所改良，於該專利案中 ’該基體可置於一固定或傳統旋轉座，用傳統陰極馬達以 每分鐘45至50轉之速度旋轉該基體，該基體可於垂直至 度斜度範圍之任何地方定位，該井狀電鍍槽具有一圓筒狀 牆壁，同軸與該基體之轴心，此項安排是意避免在電鐘室 中產生角落或死角，而妨礙該基體之旋轉，或電艘液之運 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2丨Ο X 297公釐） A7 B7 418261 ^ ( 〇4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) -—種U形槽層流喷霧器’其形狀配合電鍵槽之低段牆 劈，可定位於該堰底座之旁邊，以將溶液流喷入該基體與 该癯間之空間，該喷霧器之流喷孔係以平行方向，產生一 妈勻的電鍍液層流，橫越過該基體之平坦面。嘴霧器流嗔 乳之軸線規範出電鏟液之喷流方向，亦即通常是朝上而與 電鍍基體之平面平行。 可惜即使具有這些改良’該基體之電鍍面仍然未能完 金均勻平整。一種趨向是在電鍍發生時，氫氣泡會積存於 基醴的表面’其對電鍍會造成干擾，並造成CD母片資訊之 夹誤。而且，在傳統電鍍’也有一種趨向，就是經電鍍的 表面會有外寶現象，亦即電鍍金屬層失去其對於中心之平 袒性，因此需在目標CD母片或模子之外圍加大電鍵邊緣 線，始能使中心部份獲得理想的平坦度，如此—來，就需 要更多的製造時間與材料》 反上月概述 依上所述，本發明之.目的是在提供一種電鍍室，其在 Μ濟部肀央梯绛为負工消費合柞社印製 彀計上簡單而且輕巧，無需旋轉基體即可獲得均勻的電鍍 面，且可避免受習用技術之牽制。 又 本發明之又-目的是在提供一種電鏡室，其具有機械 結構以清除於電鍍過程中在該基體上所形成之任何氨氣泡 戒其他氣泡。 ' 本發明之另-目的是在提供一種電鐘室，其具有旋轉 刮剷或刮刀，無需任何外設馬達或其他機動裝置，而且其 -7 - 、 本紙張尺i適用中國國家^標準（χ 297公酱- 41826

五、發明説明ί； 05〉 作業不會引起額外的細微物或外來污垢物。 依據本發明’一基體之平坦面係於電鍍室中，鍵上— 金屬層’在一電鍍槽中裝有電鍍液’而該基體則浸泡其中 ’有一喷霧器將電鍍液注入該槽，在一陽極室内容有一陽 極籃裝者若干金屬’以供電鍍時消耗之用，在陽極室與電 鐘槽之間，設有一堰加以隔離’並使電解液由該槽流漏至 陽極室，該一半滲透性之障壁’可以使金屬離子由陽極透 過之進入該電鏟槽，而又能杜絕電解液流與任何殘留微細 物，另有一排泄口將電解液與任何殘留微細物引離該陽極 立’流體控制與處理設備镇合於該排泄口與該喷霧器之間 ’將該電解液清除任何微細物後使之經由一回流導管進入 該噴霧器’在電鍍槽中’有一旋轉刮刀或刮刷器定位於該 半滲透性障.壁與該基體之間，並有與該基體之平坦面之間 保持一預定距離之刀緣，其距離約在半英吋以下，以約在 八分之三英吋為佳’該刮刀或刮刷器係調整在其於旋轉時 ’可以將電解液與任何氫氣泡由該基體清除之方向β而該 旋轉刮刀或刮刷器，最好是使用流體動力，且與電解液回 流導管耦合，以接受電解液流作為其動力，在若干較佳實 施例中’流體動力刮刷器包括一具有呈圓形開口之環狀輪 機’其安裝在設於該電鍍槽内之圓形基座上，該圓形開口 則與待電鍍之平坦面配合，刮刷器係安裝在該圓形輪機， 並以徑向延伸至該圓形開口之中心。該環狀輪機包括多數 輪葉分佈於其周邊，而該圓形基座具有環狀間隙蓋於該環 狀輪機之周邊，該等葉片即在其周圍運轉。有一導管設於 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 9製— (諳先聞讀背面之注$項再填寫本頁} 訂 經濟.邱中央標準局貝工消費合作社印製

I A7 B7 玉、發明説明丨06) 回流導管至該等間隙之間，以推動該等葉片旋轉。當經過 爐與處理且經由噴霧器饋送入電鍍槽之電解液，同樣用以 推動該輪機時’從此輪機乏供 嗎ί '皿'充絕不會污染或稀釋電鍍槽 中之電解液。而作為電鍍槽壁 償堂 < 材枓，例如高品質之聚丙 烯或PFA鐵氟龍，同樣作兔兮 ^ 银诈為該旋轉葉片、輪機與固定座之 材料’該圓形輪機係以輕子Φ煙絲& 视于支撐轉動，該等輥子（以相同 或類似之塑膠樹脂所製成）岽机说令簡 , 1衣矾）裝叹於孩圓形輪機之支架上， 如此可避免使用任何轴承 屬零件。而在其他可能的實 施例，則可採用不同的吳 u町馬違機械結構，以轉動該等刮刀或 剖刷器〇 該到刀或刮刷器之旋轉速度，可加控制以達到理想的 電鍍，其可在每分鐘35至8〇轉，或較佳每分鍾5〇至6〇轉。 此發明又上述與其他目的、特性與優點，將就其較佳 實施例之詳細説明與參照所附圖式，而更明顯易於瞭解。 圖式説明 圓1係附加有丰發明電鍍室之電鍍裝置之透視圖； 圖2係依一實施例本發明電鍍室之側斷面圖； 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖3係依此實施例本發明電鍍室，按圖2中3_3切線 之前斷面圖； 圖4係本實施例旋轉刮刷器與輪機元件之透视圖； 圖5係另一實施例刮刷元件之透視圖； 圖6係另一種具有U形槽喷霧器實施例之前斷面圖。 本發明之詳細説明 請參考圖式’首先是在圖1中，有_^電鍍組合1〇，其 - 9 - 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210x297公釐〉

41826 五、發明説明（〇7) 係用以製造壓縮碟片之母片與模子者，其併有依據本發明 實施例之電鍍室。該組合10有一半島部12，其包括三個電 鍍站14,分別位於該半島部12之前側與左、右側，—後側 室16包含王要溶液儲存槽，以及其相關的過濾、泵浦、加 熱等其他設備，在墙進後側宣16之右手邊’有一拉出控制 板18，其上有一顯示幕2〇’以提供情況與過程資訊，在後 側室1 6之内，則設有微處理控制設備。該電鍍室、導管、 儲存槽與小室等，可以鈍性、非活性材料與塑膠樹脂，如 聚丙烯或PFA鐵氟龍等，所製成，該組合得以容易安裝於 製造工廠之一清潔室内，如圖所示，該组合係安裝靠於— 清潔室之一牆壁22。 加工流迴路通常可以圖示如於第5 5 9 7 4 6 0號美國專利 案中所附者'以供參考，依其所載，電解液係由一喷霧器噴 射入陰極室，回洗至陽極室，並在陽極室中經過濾器、录 浦與儲存槽等設施，電解液之溫度同時經過調整，然後該 電解液再饋迴至該噴霧器。 依據本發明實施例之.另一種改良電鍍室24，以圖示於 圖2與囷3 ，圖上所示電鍍室2 4係呈長方形，有一陰極室 26鄰接於一垂直前壁28，該前壁28有一圓形開口 30，其上 有蓋狀或片狀持架32，一基體34如玻璃片形狀，其蝕刻有 數位化執道，並濺射覆蓋有導體塗層，將之固定於該片狀 持架並通上陰極，於此實施例中，該蓋狀或片狀持架係螺 固於該前壁28上，但於'其他實施例，則另以一適當片狀持 架可垂直滑插入該電鍍室，並可以相同方式垂直抽出，此 _ 10 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ---------0^— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ··訂_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 4132b A7 B7 五、發明説明（08) 項安排有助於裝片與卸片作業之自動化，单可使該電鍍宣 機器人作業化。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 一喷霧器3 6於圖上係為垂直構件，具有—系列之噴流 孔’以產生電解液之橫向無干擾流，並配置在陰極室26之 一側，喷霧器進口 38經由一回流導管29，自儲存槽收受電 解液流’如圖上虛線所示，在陰極室26附有持架32之另一 側，則有一堪40 ’其形狀—般為垂直壁，而具有圓形開口 42 ’以配合該基體34，有一半滲透性障壁44橫過該開口， 其可允許溶於電解液中之金屬離子通過，但卻可阻止液態 電解液流’在該堰40之頂緣是一溢道48，於此為鋸齒狀， 其促成電解液流越過該堰4〇而進入一陽極室5〇，溢道48上 之録齒狀缺口可減少表面張力拖引，而改良翼列與減縮安 裝時之準平程序，該陽極室50包食有一陽極籃52，其内裝 有鎮粒54 ’以供在電鍍過程中消耗之用，加工流體洗過陽 極籃中之錄粒後’繼續至陽極籃定位板56(在該籃52後侧） ，該電解液隨後流過一陽極室準平堰58，並續流出一排水 口 60 ’該電解液於是繼續進入後侧室丨6内之設備，歷經過 遽與處理後’再經由回流導管29至該喷霧器36。在該陽極 室與該陰極室之底部，分別設有陽極室清除排水口 62，與 陰極室垃圾排水口 64’此等排水口在電鍍過程中，通常保 持關閉’但在電鍍手續完畢後，則打開以供清除陽極室與 陰極室。 圖2所示為一陽極導體66，耦合於該陽極籃52，以及 相關整流器之正極端子’圖中也顯示一陰極導體6 8，經由 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4182 〇 A7 B7 五、發明説明（0 9〉 一陰極引線將該基體34與該整流器之負樟_子連接》 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 如圖3.所示’一旋轉刮刷器或刮刀組7 〇固定於該堰4 0 作為其基座’又如圖4所示，該刮刷器組係一以適當鈍性 材料’最好是聚丙烯，所一醴成形者，有一弧形葉片72大 約對該基體呈中心向延伸，並有直線放射狀逶緣73，其定 位於與該基體34維持一短距離，而此一距離應少於一英对 (2.5公分），最好是半英吋（1.2公分）以下，而在本實施例 中’此距離約為八分之三英吋（1公分），該葉片係與一圓 形輪機構件或環形構件74—體成形，此構件74有一中央開 口 76’以允許電解液在該基體34與該膜44之間通過，且該 葉片由該環狀構件向内延伸至該開口76之中央，同時也由 輪機構件變向持架上之基體34，該輪機構件74配入一在堰 40内之圓形.室78，且能包圍該開口 42，圓形輪機74之周邊 設有放射狀延伸之輪葉80，以在圓形室78内活動，四個滾 輪構件82放射向地設置於該堰40之開口 42外邊，並提供該 輪機74之旋轉支撐，一入口導管84耦合於回流導管29，並 饋給該輪機74，且作為一射管將電解液流帶入該圓形宣78 ，以旋轉該輪機74，一出口導管8 6將該電解液由圓形宣78 導至排泄口’該輪機74依箭頭所示方向旋轉，該葉片之孤 形設計是在因而可將流體引離該基體34，亦即在離心方向 朝向該陽極。 於本實施例’該旋轉葉片顯示定位於該堰4〇之上，但 在其他可能之實施例，.該葉片與與輪機可以定位在電錢室 24之其他位置上’例如，該旋轉葉片可作為該蓋狀或片狀 -12 - 本紙張尺度適用中國國家標半（CNS ) A4規格（210X29：/公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 J ' β 2 β It 4 1 82 6 1 A7 玉、發明説明（10) 持架32之一部份。 本發明刮刷组之另一種配置方式顯示於圖5，於此該 刮刷组70’具有三個葉片構件72a, 72b與72c，在該輪機74, 上以約120度之角度間隔定位，此種配置可允許較低的旋 轉速度，以配合某些·電艘作業之需要。 又另一種配置方式顯示於圖6，此種配置之構件也顯 示於圖3 ’因而使用相同代碼，於此種配置中，本電鍍室 24’不用垂直喷霧器，而改型槽喷霧器36，，此種配置 可提供一電解液垂直流，於此該噴霧器3 6，設有若干平行 且垂直定位之流孔88，本實施例之其他元件，與前述者在 實質上相同。 在作業上’因為經由入口導管84朝向圓形輪機水道之 電解液流得'加以控制’該旋轉刮刷組7〇即得以理想的旋轉 速度運轉°此種配置可迎合特殊程序與環境，而使該基體 &氣氣泡得以除去’但又不會對該電鍍之均勻性引起或造 成任何干擾’經實驗發現，該刮刷器之適當旋轉速度係在 每分鐘約35至80轉之間，而最好是在每分鐘5〇至6〇轉之間 :由孩圓形室78漏向該陰極室26之電解液，對於電鍍過程 並無不良影響’蓋此係與饋給該喷霧器36相同之淨化液體 ’既未沖淡也不含有任何污染微粒。 於上C實施例中’該電鍍室24係設計用於不旋轉且垂 直安置之基體34 ’惟自行旋轉之刮刷器之設計可容易地配 置用於旋轉該基冑，而且本發明之電鐘室可使該持架32與 兹基體34傾斜於》—角度，而非垂直。如將該持架與該基 本紙張尺度朝巾關緖 ---------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 釘 卜 4t82S1 五、發明説明（1 1) 體以背角傾斜’亦即以該基體軸心線略两朝上，則可楚得 更好的結果。進而言之’在一些可行實施例，該電鍍室仍 可使用電動化或機械化驅動裝置以驅動該旋轉刹刷器，以 配合特殊電鍍過程之需要’而非堅持使用上述之流體動力 剖刷器。 藉由上述之電鍍室24，吾人得以使基體之整個電鍍表 面達到更高的平坦性，其結果與習用方式相較，可達成更 高速度的電鍍’且具較大重複性，並減低刮傷率，尤其是 相較於以習用陰極馬達電鐘方式，其結果更具優越性。 當本發明業纟坚參照實施例被描述與說明如上時，吾人 宜暸解本發明不以各該實施例為限，也不以其如上所述之 變化為限，對於熟知此項技藝者，只要不遠離本發明之範 圍與精神，.如下附申請專利範圍所栽者，仍可作出許多的 修政與變化。 _ ! .^n ^^1 m 1^1 -I 1 i— 丨 Γ辞先閲讀背面之注寒項再填寫本頁} 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 -紙 本 標 國 國 t 用 ί適 格 9 2

Claims (1)

1. /* ' 4 1 8^^12^98 號申請案89年8月28 _ A8 28Bl!iiH'$ 〇Γ AV >ΨΡ«

   申請專利範圍 1· 種可在其内將一基體之平坦面塗鍍一金屬層之電鑛 (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至，其中有一陰極室（26),在其内容納有電解液以浸泡 该待電锻基體，並有一噴霧器（36)將電解液引入電鍍 槽，一陽極室（50)，在其内置有一陽極（52)並含有一些 金屬以供電鍍消耗之用，一堰（4〇)將該陽極室與該陰極 室隔離1並允許該電解液自陽極室流漏至該陰極室，該 堰包括一半滲透性障壁（44 )，以使金屬離子由陽極透過 進入該電鐘槽；一排泄口（ 5 8, 6 0)將電解液與任何殘留 微細物引離該陽極室’流體處理設備（丨6 )耦合於該排泄 口與該嗔霧器之間，將該電解液清除任何細微物後，使 之經由一回流導管（29)進入該喷霧器，其特徵在於設置 於該陰極室（26)内之流體動力旋轉到刀（7〇，72)具有與 該基體之平坦面之間保持一定距離之刀緣（73並具有 一與之共構之馬達（74, 80，82)，以旋轉該刮刀。 2. 如申請專利範圍第1項之電鍍室，其更具有特徵在於 該馬達係以流體驅動，藉摘合於該回流導管（2 g )，以接 受該電解液作為其動力。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3. 如申請專利範圍第2項之電鍍室，其更具有特徵在於 該馬達包括一具有呈圓形開口（76)之環狀輪機（74)，該 環狀輪機係安裝於該陰極室内之圓形裝配台（42)，以使 該圓形開口（ 7 6 )與該待電鍍之平坦面相配合，而該刮刀 (7 2 )係安裝於該環狀輪機（7 4 )，以徑向延伸至該圓形開 口（ 7 6)之中心。 4. 如申請專利範園第3項之電鍍室，其特徵在於該刮刀 15 本紙張尺度適用争國國家標準（€娜）八4規格（210父297公釐） ί 418261 Α8 Β8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 六、申請專利範圍 (7 2)更由該環狀輪機軸向延伸朝向該基體。 5.如申請專利範圍第3項之電鍍室，其特徵在於隸到刀 (72 )具有一螺距與旋轉方向，以當該刮刀旋轉時，該刮 刀由該基體帶走電解液。 b.如申請專利範園第丨項之電鍍室，其更具有特徵在於 該預定距離約在一公分或以下。 丨·如申請專利範圍第3項之電鍍室，其更具有特徵在於 咸環狀輪機包括多數輪葉（8〇)分布於其周邊。 8. 如令請專利範園第7項之電鍍室’其特徵在於該環狀 輪機之圊形裝配台具有環狀間隙（78)蓋於該環狀輪機之 周邊，該等葉片即通過之以運轉。 9. 如申請專利範圍第8項之電鍍宣，其特徵在於該噴射 杰( 8 4 )導引該況體進入該等間隙，以推動該等葉片旋 轉。 10. 如t請專利範圍第2項之電鍍室，其特徵在於該環狀 機、该到刀與該裝配台等係以耐用性非導體的合成塑 膠樹脂所製成。 11. 如申叫專利範圍弟2項之電鍵室，其特徵在於該喷霧 器（3 6 )係鄰接裝設於該輪機之圓形裳配台。 12 一種基體平坦面之電鍍方法’係在電鍍室中將金屬層 塗鍍其上，該電鍍室内一陰極室，在其内容納有電解液 以浸泡該基體之平坦面’一陽極室，在其内置有一陽極 以含有一些金屬以供電鑛消耗之用1 —堰將該陽極室與 ___________16_ 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " "" ml ^^1» · - .—^ί I - I In - ϋ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁〕 訂 經濟部t央橾隼局員工消費合作社印製 1826 1 龆 eg D8 ----- ~~~------ 六、申請專利範圍 該陰極室隔離，並允許該電解液自陽極室流漏至該陰極 室，該堰包括一半滲透性障壁，以使金屬離子由陽極室 透過進入該陰極室，一排泄口將電解液與任何殘留微細 物引離該陽極室，流體處理設備耦合於該排泄口與該嗜 霧器之間，將該電解液清除任何細微物後，使之經由一 回流導管進入該喷霧器’此方法包括：經由該回流導管 與喷霧器，將該電解液循環送入該陰極室，以使該電解 液形成橫流越過該平坦面° 在該陽極與該平坦面之間使用一電鍍流，以使陽極儲 存金屬作用於該平坦面，其特徵在於：一部份循環電解 液流轉動設於該陰極室内之流體動力旋轉刮刀，以使今 到刀邊緣在一預定之距離内’平行掃過基體之平坦面。 11 如申請專利範圍第1 2項之方法’其特徵在於該刮刀 係以每分鐘35至80轉之速度旋轉。 14.如申凊專利範圍第1 3項之方法，其特徵在於該刮刀 係以每分鐘5 0至6 0轉之速度旋轉。 15-如申請專利範圍第14項之方法，其中該刮刀掃過該 基體之距離為一公分或以下。 16. 如申凊專利範圍第12項之方法，其中該刮刀产掃 時’具有一方向，以將該電解液帶離該平坦面。 本紙張尺度逋用中國國家衛iT^S ) A4雜（21Gxi?公) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)