A7 B7 409191 五、發明説明（1 ) 發明之詳細說明 發明所饜之技術領域 ^9,-L· E In 1^1 ^ I I > (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 本發明係對於例如液晶面板之T F T基板或彩色濾光 膜等基板的表面供給指定的處理液，進行所要的濕式程序 的基板之液體處理方法。 先行技術 ：, 例如，於製造液晶面板的TFT基板的工程，反復進 行著塗布光阻劑所構成的顯像液，蝕刻液之塗布·供剝離 光阻膜之用的剝離液之供給等等，對於基扳供給處理液而 進行的濕式程序。這樣的濕式程序，一般以在設於垂直方 向的主軸上安裝基板使成爲水平狀態，同時將供給處理液 的噴嘴配置於基板上的方式構成。而，藉由主軸使基板以 高速旋轉時，從噴嘴將處理液供給至基板上，而此處理液 藉由離心力的作用而以均一地擴散塗布於基板的表面全體 的方式擴散。結果，對於基板藉由前述各處理液進行指定 的處理。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裂 對基板供給的處理液，從基板的外周緣的邊緣向外側 飛散，爲了回收飛散的處理液，以圍繞基板的方式設有罩（ housing)。亦即，於此罩內被配置有旋轉驅動基板的主軸。 藉此，防止從基板的外周邊緣飛散的剩餘處理液污損裝置 的周圍。此外，此罩內的處理液係以配管等排出而回收至 儲存容器（tank)，此處理液當然含有不純物。然而 > 在處理 液的污損程度很輕微，或者可以再利用的場合，循環使用 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐t 409191 A7 B7_ 五、發明説明（2 ) 回收至儲存容器的處理液。藉此，可以謀求處理液的節約 與廢液置的減少。 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 發明所欲解決之課題 然而，對基板進行的液體處理例如有光阻膜的剝離。 此光阻膜的剝離係藉由對基板的表面供給剝離液而進行的 ，被回收的剝離液內含有光阻劑等不純物。使剝離液單純 地反復循環的話，不純物的濃度逐漸變高而剝離液逐渐劣 化。如此使其繼續循環的剝離液變得非常污損時，會產生 光阻劑剝離功能降低的不便。因此，在劣化的程度變大的 剝離液變成必須要廢棄*其使用頻度有一定的界限，此外 儲存循環處理液的儲存容器全部液體被當成廢液來處理， 所以廢液量反而有增加的可能性。在此，當不純物的濃度 變高時*必須要有混合未含不純物的新處理液，使不純物 濃度降低的舉措。如此，不對基板直接供給新的處理液， 而供以抑制不純物的濃度，使新處理液無端污損的做法並 不能稱其合理。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 本發明有鑑於此，其目的在於進行基板的液體處理時 ，藉由抑制處理液的劣化而使其可以有效率地充分循環使 用，而且對於基板的液體處理可以更高精度地進行。 供解決課題之手段 爲達成前述目的，本發明係將基板選擇性地配置於廢 液室與循環液回收室，將此基板保持於水平狀態進行旋轉 -5- 本紙張尺度適用中國國家揉牟（CNS ) Α4規格（210父297公釐）·· 409191 a? _B7 五、發明説明（3 ) 驅動的期間，將新處理液，與在循環液回收室回收的處理 液所構成的循環處理液選擇性地供給至基板表面藉此對基 板進行指定的液體處理之液體處理方法，其特徵爲由下列 工程所構成： 將前述基板配置於前述廢液室側，使此基板旋轉同時 供給前述循環處理液，把從前述廢液室內的基板所飛散出 的處理液作爲廢液的第1液體處理工程， 使前述基板移到前述循環液回收室側，在供給前述循 環處理液的同時回收前述循環液回收室內的處理液作爲循 環處理液之第2液體處理工程，以及 將前述基扳配置於前述循環液回收室，將前述新處理 液供給至此基板，同時回收此循環液回收室內的處理液作 爲循環處理液之第3液體處理工程。 發明之實施型態 經濟部中央標準局員工消费合作社印装 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，於第1圖顯示供實施根據本發明的基板液體處 理方法之用的裝置構成之一例。此處，於以下說明，作爲 液體處理對象的基板之一例，係構成液晶面板的T F T基 板，對此基板供給剝離液進行光阻膜的剝離者。但是基板 以及液體處理並不以此爲限。 首先，於第1圖，10係基板，此基板10從第2圖 可知，係由長方形的薄玻璃基板所構成的。1 1係主軸， 此主軸1 1具有旋轉軸1 2，此旋轉軸1 2透過軸承1 5 可自由旋轉地被支撐於立設在基台1 3上的保持筒1 4。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS > A4規格（210X297公釐·>- ~ 409191 A7 B7 五、發明説明（4 ) 於旋轉軸1 2的上端部被安裝著旋轉台板1 2 a，於此旋 轉台板1 2 a被固定安裝旋轉圓板1 6。旋轉圓板1 6， (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 表面係光滑的平滑面，被立設有所要數目的支撐桿1 7。 這些個支撐桿1 7的先端爲球面形狀，支撐基板1 0的背 面。此外，基板1 0的4個角落部所對應的位置上被安裝 著台座1 8，於這些各台座1 8立設有一對定位栓1 8 a ，18a。亦即，基板10的4個角落部的背面被載置於 . 台座18上，而且於端面抵接著定位栓18a »此外，旋 轉圓板1 6在與旋轉軸1 2共同旋轉時，基板1 0被確實 旋轉驅動，在旋轉中沒有位置的漫動偏移。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 主軸1 1的旋轉軸1 2延伸至基台1 3的下方位置， 其端部連結設有皮帶輪1 9。於基台1 3的下部位置設有 馬達2 0 |此主軸2 0的輸出軸上連結著驅動皮帶輪2 1 。此外，驅動皮帶輪2 1與旋轉軸1 2的皮帶輪1 9之間 繞有傳達皮帶2 2。藉由馬達1 4旋轉驅動旋轉軸1 2的 話，載置於載臂1 6的基板1 0也旋轉。藉由於此基板 1 0的旋轉中對基板1 0的表面1 0 a側供給剝離液，進 行形成於此基板1 0的表面1 0 a的光阻膜的剝離處理。 旋轉驅動基板1〇的期間供給作爲處理液的剝離液》 對被供給至基板10的剝離液施以旋轉所導致的離心力， 沿著基板1 0的表面1 0 a擴散剝離液，進行光阻膜剝離 處理。流至基板1 0的外周邊緣的剝離液從基板1 0的邊 緣朝向幾乎水平的方向飛散》爲了有效回收如此飛散的剝 離液，基板1 0的上端以開口的遮罩2 3圍繞。此處|爲 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS 规格（210X297公釐） 409191 at _B7___ 五、發明説明（5 ) 了回收於遮罩2 3內飛散的液體，形成有2個容室2 4、 2 5，上側的容室2 4爲循環液回收室，下側的容室2 5 爲廢液室。爲了上下區劃出遮罩2 3內的2個容室2 4 ' 2 5，此遮罩2 3被形成有2段的分隔壁23a、23b ο 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 <請先閱讀背Λ之注意事項再填寫本頁) 爲了對基板10供給剝離液而具備有剝離液供給手段 26。此剝離液供給手段26，如第3、第4圖所示，可 以在指定的角度水平方向上旋轉運動，而且在可升降的支 軸2 6 a的先端安裝有在水平方向上延伸的安裝臂2 6 b ，於此安装臂2 6的左右側面分別安裝有複數噴射噴嘴 27a、27b。也就是說，藉由使支軸26a擺動動作 ，可以使在基板1 0的上部位置與退避至遮罩2 3外的位 置之間來回移動。此外，在從噴射噴嘴27a、27匕向 基板1 0噴出作爲處理液的剝離液時，藉由使安裝臂 2 6 b僅在指定的角度往復運動，可以對基板1 0的表面 全體均勻而且有效率的供給剝離液•此外，使支軸2 6 a 上下移動，是爲了調整噴射噴嘴2 7 a、2 7 b對基板 1 0的間隔。 藉由剝離液供給手段2 6被供給至基板1 0 ·而由外 周邊緣飛散的剝離液，選擇地被回收至循環液回收室2 4 或者廢液室2 5之任一。因此，遮罩2 3爲可以升降的， 可以調整基板1 0與遮罩2 3的相對高度位置。爲了使遮 罩2 3升降動作，如第5圖所示，於遮罩2 3的兩側連結 設有托架3 0，於此二托架3 0連結著有升降桿3 1。而
本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS > Α4规格（210X297公釐1 I 409191 A7 B7 五、發明説明（6 ) ，此升降桿3 1貫通安裝於基台1 3的軸承構件3 2延伸 至下方，以跨越此2根升降桿3 1的下端部的方式安裝著 有升降板3 3。進而，於此升降板3 3的上下，分別設置 著兩端被固定保持於指定位置的固定板3 4、3 5。於這 兩個固定板34、35之間，於其一側設有導桿36，於 此導桿被插通固定於升降板3 3的滑動構件3 7，此外於 另一側固定板3 4、3 5上分別被連結著可旋轉地設置之 給進螺絲3 8，於此給進螺絲3 8被嵌插設於升降板3 3 的螺帽3 9 β進而此外•給進螺絲3 8被連結著驅動馬達 4 0，藉由此驅動馬達4 0使給進螺絲3 8旋轉的話，升 降板3 3會上下移動，由此升降板3 3透過升降桿3 1使 遮罩2 3上下移動的結果，相當於基板1 0對遮罩2 3相 對地上下移動。 進而，於第1圖，容室24、2 5的下部被接續著有 配管41、42，這些各配管41、42的另一端分別被 接續於儲存分別回收的剝離液之容器43、44。此二容 器4 3、4 4之中，接續著來自循環液回收室2 4的配管 4 1的容器4 3爲循環液容器，於此循環液容器4 3內的 在循環液回收室2 4所回收的剝離液被再利用作爲循環液 。此外，接續著來自廢液室2 5的配管4 2的容器4 4爲 廢液容器。進而，由第6圖至第8圖可知，除了這些循環 液容器4 3、廢液容器4 4之外，設有儲存新的剝離液的 新液容器4 5。而循環液容器4 3透過供給配管4 6被接 續至噴射噴嘴2 7 a，此外新液容器4 5透過供給配管 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐卜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 -9- 409191 五、發明説明（7 ) 4 7被接續至噴射噴嘴2 7 b。在這些供給配管4 6、 47上分別設有幫浦46a、47a ’使這些幫浦46a 、47a動作的話，分別對噴射噴嘴27a、27b供給 循環液或者是新液。 此處，使基板1 0旋轉於水平方向的緣故’其旋轉中 心C的旋轉線速度爲零，隨著與旋轉中心C的距離越遠， 轉動的線速度也跟著增加。如果基板1 〇爲圓形的話’幾 乎以均等的速度向外周移動。但是’基板1 〇是四角形’ 而且是具有長邊與短邊的長方形。由於基板1 〇對於遮罩 2 3進行相對的上下移動，所以被形成於遮軍2 3的分隔 壁23 b的圓形開口直徑必須要大於基板1 0的對角線長 度。也就是說，分隔壁2 3 b的內周邊緣部與基板1 0的 邊緣的距離，以基板1 0的角落部的位置最短，以基板 10的長邊中間部的位置最長。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 由以上情形，爲了有效率地在循環液回收室2 4回收 處理液而在旋轉軸1 2上安裝著旋轉圓板1 6。此旋轉圓 板16的直徑•至少較基板10的對角線的長度尺寸更大 。但是•旋轉圓板16因爲與旋轉軸12共同上下移動， 至少會通過分隔壁2 3 b的開口，所以旋轉圓板1 6的直 徑必須較分隔壁2 3 b的開口部直徑更小。而且，爲使旋 轉圓板1 6與分隔壁2 3 b之間的間隙縮小在最小限度， 而將這些直徑差縮至最小。而在基板1 〇位於循環液回收 室2 4時，旋轉圓板1 6配置於幾乎於隔壁2 3 b的內周 邊緣相同的高度，或者是較其爲高的位置。 -10- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度速用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐 409191 A7 ___B7___ 五、發明説明（8 ) 藉此，從剝離液供給噴嘴2 6 C對基板1 0供給剝離 液時，從基板1 0飛散的剝離液即使在分隔壁2 3 b之前 方側的位置落下，也不會直接掉入廢液室2 5，而落於旋 轉圓板1 6上。而且•因爲此旋轉圓板1 6也與基板1 0 共同旋轉，所以落於旋轉圓板1 6的剝離液也受到離心力 的作用，而由此旋轉圓板1 6的外周邊緣飛散旋轉圓板 1 6的外周邊緣因爲全周緣到分隔壁2 3 b爲止的距離相 等，而且位於非常接近分隔壁2 3 b的位置，所以來自旋 轉圓板16的飛散液·僅需供給極少的初速就可以越過分 隔壁2 3 b而被導入循環液回收室2 4內。結果，來自基 板1 0的飛散液幾乎1 0 0%被回收至循環液回收室2 4 內。 於基板1 0的表面1 0 a使用剝離液進行指定的液體 處理，係使用以上的液體處理裝置來進行·而藉由剝離液 對基板1 0的液體處理方法則基於第6圖至第8圖加以說 明。此處，基板1 0的液體處理，如以下所述，分爲3階 段進行。 首先，基板1 0係以藉由設於旋轉軸1 2的旋轉圓板 16的支撐桿17以及台座18而決定位置的狀態被設置 »此基板1 0對旋轉軸1 2安裝時•使剝離液供給手段 2 6的安裝臂2 6 b在水平方向轉動，使其退離遮罩2 3 ，而開放其上部。此外，使遮罩23下降，露出主軸11 的先端部分，在此狀態，將基板1 0以適宜的移載手段安 裝於主軸1 1。 本紙張尺度適用中國團家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）〜_ 11 _ ---------装------、tr------^ (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本页) 409191 A7 B7 五、發明说明（9 ) 完成將基板1 0安裝於主軸1 1之後，基板1 0配置 於面對廢液室2 5的位置，而且使安裝臂2 6 b轉動成爲 在基板1 0的上方位置。接著，開始第6圖所示的第1液 體處理工程。 在此第1液體處理工程，使旋轉軸轉動以旋轉驅動基 板10的同時，設於安裝臂26的2組噴射噴嘴27a、 2 7 b之中，從被接續於循環液容器4 3的噴射噴嘴 2 7 a將循環液供給至基板1 0。被供給至基板1 0的循 環液藉由旋轉產生的離心力向周圍擴散的方式進行光阻剝 離β被供給至基板1 0的循環液由其外周緣的邊緣飛散。 於此循環液中因爲含有較多量的光阻劑，所以將此收容於 廢液室2 5內，而排出至廢液容器4 4。將此第1液體處 理工程持續進行指定時間，藉此從基板1 0將應予除去的 光阻劑大致剝離。也就是說，被回收至廢液室2 5的剝離 液被污損^不純物濃度變高的緣故，所以使流入此廢液容 器44的液體被當作爲廢液而不進行再利用· 其次，藉由旋轉軸1 2繼續基板1 0的旋轉的同時， 或者是先使旋轉暫時停止，而使遮罩2 3下降。藉此，基 板1 0被配置於循環液回收室2 4內。在此狀態·開始第 2液體處理工程。在此第2液體處理工程，如第7圖所示 ，除了供給來自循環液容器4 3的循環液之外，與第1液 體處理工程相同，因爲基板1 〇位於循環液回收室2 4， 所以從此基板10的外周邊緣飛散的剝離液被回收至循環 液容器4 3。此處，因爲藉由第1液體處理工程已經把應 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） --*-------1------、订------^ (請先聞讀背面之注意事項再冰寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 -12- 409191 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 A7 B1_五、發明説明（10 ) 予剝離的光阻劑除掉大半，所以在此循環液回收室2 4所 回收的剝離液中所含有的光阻劑等不純物的含置極少，可 以充分再利用。也就是說，此循環液容器4 3所回收的剝 離液在回收之後，作爲循環使用的循環液。 結束第2液體處理工程之後，使基板1 0保持位於循 環液回收室2 4內的狀態，停止由噴射噴嘴2 7 a供給循 環液，而由噴射噴嘴27b噴射出新的剝離液。此係第8 圖所示的第3液體處理工程。此噴射噴嘴2 7 b被接續於 新液容器4 5，也就是說被供給至基板1 0的液體是完全 未含不純物的新的剝離液。如此，在基板1 0上使用新液 進行最後的光阻劑剝離，使此液體處理進行地更完全。當 然，來自基板1 0的飛散剝離液從循環液回收室2 4被回 收至循環液容器4 3，也被作爲循環用的剝離液來再利用 〇 藉由以上述3階段進行液體處理，在污損度很高的對 基板1 0最初供給處理液的第1液體處理工程中，不使用 新的處理液，而使用循環液，同時將回妝的液體作爲廢液 ，可以抑制循環液中不純物的濃度變高，抑制其劣化的進 行。此外，在最後的第3液體處理工程的階段對基板1 0 供給新的處理液，而可以藉此謀求最終程序的高精度化， 此外此時由基板1 0飛散的處理液幾乎不含不純物，所以 藉由將此取入循環液容器4 3內作爲循環液，可以使此循 環液容器4 3內的不純物濃度降低。由以上作法’可以謀 求循環液的長壽命化，同時對於基板的液體處理可以更爲 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公釐）* -13- A7 B7 409191 五、發明説明（n ) 完全，而且以高精度進行· {请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且，藉由在基板1 0的下部位置配置旋轉圓板1 6 ，於第2、第3液體處理工程，被供給的處理液幾乎可以 1 0 0%回收至循環液回收室2 4，所以可以不浪費地使 用處理液。也就是說，使第1液體處理工程時的處理液的 供給量，與第3液體處理工程時的處理液供給量幾乎一致 的話，循環液取得平衡，在循環液容器4 3內的儲存量幾 乎保持一定。接著，在基板1 0幾乎完全進行液體處理之 後才供給新的處理液，使此新液循環於循環液容器4 3內 的緣故，實質上等於對此循環液容器4 3內補給新液的狀 態。結果，即使反復使其循環，循環液容器4 3內的循環 液的不純物濃度幾乎保持於一定。結果，第1、第2液體 處理工程時所使用的處理液的品質並不會隨著處理的反復 進行而變化，所以可以防止依序被處理的基板1 0的處理 精度的參差不齊。 經濟部中央標準局員工消费合作社印東 進而，使循環液與新液分別通過個別的通路，而分別 由不同的噴射噴嘴2 7 a、2 7 b供給，所以在供給途中 不會有新液與循環液混合而污損的情形。藉此，在第3液 體處理工程之最終程序係以完全不含不純物的淸淨處理液 來進行處理的，可以減少新液的使用量，使處理精度顯著 提升。 發明的效果 如以上所說明的，本發明將基板的液體處理㈣以3 -14- 本紙張尺度逍用中固國家揉準（CNS ) A4规格（2丨0X297公嫠今- 409191 A7 B7 五、發明説明（12 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本页) 個階段來進行，在第1液體處理工程，使用循環液進行液 體處理的同時，將回收的處理液作爲廢液，接著在第2液 體處理工程使用循環液進行液體處理，同時使回收的處理 液循環使用，進而在第3液體處理工程使用新液進行液體 處理，同時使回收的處理液循環再利用的緣故，可以發揮 藉由抑制處理液的劣化而有效率地不浪費地循環使用處理 液，而且對於基板的液體處理可以更高精度進行的效果。 • 圖面之簡單說明 第1圖係顯示本發明的實施型態之基板的液體處理方 法的槪略構成圖》 第2圖係第1圖的平面圖。 第3圖係顯示剝離液供給手段的正面圖。 第4圖係第3圖的平面圖。 第5圖係遮罩的升降機構的構成說明圖。 第6圖係顯示第1液體處理工程的作用說明圖。 第7圖係顯示第2液體處理工程的作用說明圖。 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 第8圖係顯示第3液體處理工程的作用說明圖。 符號說明 6 基板 主軸 旋轉軸 旋轉圓板 -15- 本紙張尺度適用中圉國家梯準（CMS ) A4*t格（2丨0X297公釐） 409191 A7 B7 五、發明説明（13 ) 2 3 2 3 2 4 2 5 2 6 2 7 4 1 4 3 4 4 4 5 4 6 4 6 2 3b '27b 4 2 4 7 '47a 遮罩 分隔壁 循環液回收室 廢液室 剝離液供給手段 噴射噴嘴 配管 *· · 循環液容器 廢液容器 新液容器 供給配管 幫浦 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐_ 16_