TW405018B - Fluid control device - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 iO^OiS--- 五、發明説明（》) [發明背景] 本發明係有闞閥、流量控制滾輪或調壓器等流體控制 器。 從來，習知的流體控制器見有一種由，具有横向開口 的流入路和流出路之控制器本體，及與其一體裝設而用 於啟閉流路，變換流向、調整流量或調整壓力的作動部 所構成者。然而，當組合各種流體控制器而構成流體控 制裝置時，把流體控制器本體彼此連结者。（請參照曰 本特開平5-172265號公報）。 流體控制器有時因作動邰故障而需要汰舊換新，但按 上述習知的流體控制器者，一旦將流體控制器本體互相 連结而製成流體控制裝置之後，為要卸下其中一流體控 制器，必須把裝置整體加Μ解剖，汰舊換新上費時又麻 煩，ά維護裝置而言，可謂極其不稱便。 [發明之概要] 本發明的目的在於提供一種流體控制器，其係當作動 部發生故障時可迅速且簡易汰舊換新。 在本發明書上所謂上下乃是指附圖1的上下謂之，但 此一上下可說很方便，有時變成顛倒或横置。 按本發明的流體控制器乃具備著：具有朝下開口的流 入路及流出路而作動部裝設為一體的控制器本體；具有 分別和控制器本體的流入路及流出路連通而向上開口的 流人路及流出路之連结部，此連结部即裝卸自如地安裝 在控制器本體者。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,1Τ 線 B7 五、發明説明（ 4〇办⑽ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 由作 ，邊器流 應部 和密结話裝和 ，換 端入制個。部结ί部塾連的覆體 時更 一流控 一煩封連片緣 2.或成反本 障要。另和將換麻密和密 口第體構使器 。 故，性的部可更的此部墊開之本種即制 。 圖 部卸護路结，欲剖，緣 1 下分器疽故控 圖 視 動拆維出連後，解部 口第朝部制。 1 其 面 。 斜 作部的流將结 ΜΜ 封開之的合控宜位保 剖 圖 大 當结置和於連所加密下分路凸於為定確。 縱 面 放 ，連裝路由別，置有朝部出相裝成確可性 的。平 的 者從高人，分下裝設的合流互安組正亦封 器圖大。開 器體提流話件卸個裝路凸體部且Γ)片，密 制面放圖切 制本可的的構向整間入相本緣片ne密次之 控剖的視分 控器 ，口做的方將之流互器口密31墊多分 體縱片斜部 體制單開麽側角須部體部制開墊et兩部部 流大密大 一 流控簡上這邊直掉结本緣控上 2(r使結合 明放墊放的 的同且向。出成省連器口於朝第件可連凸W1發的及的片 明連速中宜流向可與制開配的及持件和相 本部件件密 發部迅部為及方，體控上裝路 1 保持體互 一 示封持持墊 本動能结口 Μ 路時本於朝.，出第之保本間 表密保保將 照作然連開件流器器配的} 流持方 Κ 器之 Θ 為為為為為 依將自於向構對制制裝路et部保一藉制部 W12345 若可部至横的體控控：入sk结；任因控结 U 圖圖圖圖圖 於動 Μ 側本體 由流ge連 Η 部，卸連 t (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） A7 B7

40501B 五、發明説明（ [適宜具體例的詳细說明] (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 擬將本發明的實施例邊參照下述附圖而加Μ說明。在 Μ下的說明中，上下、左右乃是指圖1的上下、左右謂 之0 圖1為表示裝設於半導體製造裝置的流體控制裝置中 流體流入邊側的部分，在入口管接頭構件（1)的左邊（下 流邊側）設有第1啟閉閥（2)及第2啟閉閥（4)。 第1啟閉閥（2)係由：朝下開口的流入路（42)及流出 路（43>所形成的閥本體（6);用於啟閉一體裝設於閥本體 (6)上方的流出路（43)之作動部（7);及裝設於閥本體（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 6) 下方的連结部（11)所組成。連结部（11)乃形成有：連 通入口管用接頭構件（1)的流入路（40)與閥本體（6)的流 入路（42)之流入路（41);及連通閥本體（6)的流出路（43 ),且從左向開口的流出路（44)和流出路（44)分歧而裝 設有壓力檢測用感測器安裝部（3)之分歧流路（45)。閥 本體（6)則由圓筒部（14)和裝配於其上端部的方形突緣 部（15)所構成，該圓筒部（14)被嵌進設於連结部（11)的 朝上凹處（16),藉自突緣部（15)的四角隅上方貫穿突緣 部（15)的螺钉（17),被固定在連结部（11)。因而，當第 1啟閉閥（2)和作動部（7)發生故障時，把此一作動部（ 7) 連同閥本體（6)可從連结部（11)折卸。 第2啟閉閥（4)即除無壓力檢測用感測器安裝部之外， 其餘均與第1啟閉閥相同之構成。亦即，係由：Μ朝下 開口的流入路（47)和流出路（48)所形成的閥本體（8);用 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 40¾0 8_^_ 五、發明説明（4 ) … 於啟閉與閥本體（8)—體裝設於閥本體上方的流出路（48 )之作動部（9);及裝設於閥本體（8)下方的連结部（12)所 構成。此連结部（12)乃形成著；連通第1啟閉閥（2)連 结部（11)的流出路（44)和第2啟閉閥（4)閥本體（8)的流 入路（47)之流入路（46), Μ及連通於第2啟閉閥（4)閥 本體（8)的流出路（48),且左向開口的流出路（49)。閥 本體（8)乃由，圓筒部>(18>及裝配於其上端部旳方形突 緣部（19)構成，該圓茼部（18)即嵌進設於連结部（12)朝 上凹處（20)，藉Μ自突緣部（19)上方貫穿的螺訂（12)， 被固定在連结部（12)。因而，當第2啟閉閥（4)的作動 部（9)發生故障時，可將此一作動部（9)連同閥本體（8) 從連結部（12)—齊折卸。 第1啟閉閥（2)的連结部（11)和第2啟閉閥（4)的連结 部（12)之間，乃Μ自第1啟閉閥（2)的連结部（11)的右 方穿通第2啟閉閥⑷速結部（12)的螺钉（22)連结著。欲解 開整個装置時，必須卸下此一螺訂（22)〇ν連结部（11)和 連结部（12)之間裝設有密封部（27)。此密封部（27)係為 使流路（44)、（46)彼此流通而裝設者，可使用習知的構 件。此外，兩連结部（11)(12)雖各自為分別的構件，但 也可製成為一體，此時，就不需密封部（27)。 連第1啟閉閥（2)閥本體（6)的圓筒部（14)和連结部（ 11)的朝上凹處（16)之間，也裝設有密封部（26)。此密 封部（26)欲使兩條互不相同的流路彼此相通時，亦即， 使閥本體（6)和連结部（11)的兩流入路（41)、（42)彼此 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 4〇&018 b77_ 五、發明説明（Γ ) 連通，同時，也使同上述的兩流出路（43)、（44)彼此連 通所裝設者，這種密封部（26)在從來習知技術上未曾見 過0 此密封部（26)如圖2所示，其係由：裝設於閥本體（6 )流人路（42)的朝下開口緣部和連结部（1U流入路（41) 的朝上開口掾部所凸合部分之第1圓環狀墊密片（28)5 裝設於閥本體（6)流出路（43)的朝下開口緣部和連结部 (11)流出路（44)的朝上開口緣部所凸合部分之第2圓環 狀墊密片（29);保持兩墊密片（28)(29)且安裝於閥本體 (6)的保持件（30);及保持件定位用的彈簧銷（31)所構成 。在各流人路（41)、（42)及各流出路（43)、（44)並裝配 有座構（32),使得兩墊密Η (28)、（29)好好穩定住，同 時，使接觸兩塱密片（28)、（29)的面能圓滑顒利。此外 ，此種座溝（32)也可將接觸兩墊密片（28)、（29)的面加 Μ研磨而省略裝配。 保持件（30)係Μ不銹網網板一體形成者，如圖3及顧 4詳予繪示般，其係由：圓環部（33);自圓環部（33)朝 上方伸延而用於將保持件（30)安装在閥本體（6)的多數 本體保持爪（34);及自圓環部（33)朝徑向內方延伸而用 於將多數墊密片保持的多數墊密片保持爪（35)、（36)所 構成。本體保持爪（34)乃Μ 4個等間隔被設置，各向内 方稍許彎曲，Μ其强性力將形成於閥本體（6)圓筒部Π4 )下端的小徑部（14a)保持著。墊密片保持爪（35) ( 36)乃 是有；以等間隔設置且延伸到近中心的4大爪（3 5 ),和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 _Β7_ 五、發明説明〇 ) 配設於大爪（35)與大爪（35)之間的4小爪（36)之兩種， 個別具有若干彈性。然而，藉Μ4大爪（35)的彼此先端 保持第2墊密片（29),更藉Μ相鄰的兩個大爪（35)之側 面和位於這些大爪（35)相互間之小爪（36)先端，保持著第 1墊密片（28)。按上述實施例則因其流入路（41) (42)及 其流出路（43)(44)各有一條而已，所以，第1及第2墊 密片（28 )(29 )也只是各有1個，但藉Μ兩個大爪（35)的 側面和位於這些大爪（35)間的小爪（36)先端，圓繞第2 墊密片（29)可保持共計4個第1墊密片，按這種保持件 (30)者，其流出路或流入路即使各有4條，也可應付自 如。而且，保持件（30)的墊密Η保持爪數（35)(36),並不 限定為各有4個，也可因應須保持的墊密片（28)(29)數 量而任意變更。 如圖5所示，在第1墊密片（28)外周及第2墊密Η ( 29)外周，形成有與保持件（30)的墊密Η保持爪（35)(36 )嵌合的環狀溝（37),藉此一構成，墊密片（ 2 8 )( 2 9 )便 可確實地被保持件（30)保持，被定位於正確位置。從而 ，即使重複閥本體（6)的裝卸，墊密片（28 )(29 )對於閥 本體（6)及連结部（11)的位置也不會偏差，可確保閥本 體（6)和連结部（11)間凸合部汾的密封性。 況且，在第2啟閉閥（4)閥本體（8)的圓茼部（18)和其 連结部（12)的朝上凹處（20)之間，也裝配有同一密封部 (26) 〇 此外，圖1雖然只繪示流體控制裝置的流體流入邊側 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 __405018 五、發明説明（，） 樣制予下並控控 同控適的 ，體同 4)、 ，體裝流連 )(輪器本安當部 (2滾制器釘，動 閥制控制螺结作 閉控體控以連的 啟量流在方 Μ 障 的流等樣上加故 示的閥同自钉將 圖量用，體螺可 與流向言本 Μ 就。 了體流而器方，卸 除流更器制側時折 側制變制控自障齊 邊控及控將部故 一 游將器體藉结生部 下可壓流，連發结 其也調些部此部連 在，的這結彼動從 但外力就連的作體 ，之壓，配鄰的本 分閥體置裝相器器 部的流配方將制制 --------:ΙΊ·.------U------^ I . - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 _麻 _ 々、申請專利範圍 • v；*' 1. 一種流體控制器，其特徵為，具備著：具有朝下開口 的流入路及流出路而與作動部裝設為一體的控制器本 體；具有分別連通控制器本體内的流入路及流出路而 朝上開口的流入路及流出路之連結部，此連结部可自 由自在地裝卸的安裝在上述控制器本體者。 2. 如申請專利範圍第1項之流體控制器，其中連结部朝 上開口的流入路及、流出路的另一端，係横向開口著。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之流體控制器，其中 在控制器本體和連结部之間設有密封部，此密封部係 由：裝配於控制器本體流入路的朝下開口緣部和連结 部流入路的朝上開口緣部互為凸合部分的第1塱密片 ;裝配於控制器本體流出路的朝下開口緣部和連结部 流出路的朝上開口緣部互為凸合部分的第2墊密片； Μ及保持第1及第2墊密片且安裝在控制器本體或連 接部中任一方之保持件所構成者。 II-------如·______I T _;1____ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）