TW401503B - Safety device for kinetic system - Google Patents

Description

401503 B7 經？τ‘部中^樣^而负T,消卟合竹‘^印妃 五、發明説明（1 ) 1 1 本 發 明 係 有 關 一 移 動 系 統 之 安 全 装 置 9 包 括 一 驅 動 器 ， 1 1 I 在 該 驅 JCf. 動 器 中 一 氣 動 活 塞 藉 在 一 氣 缸 中 做 線 性 運 動 而 至 1 1 1 少 在 一 方 向 上 經 過 一 欲 輸 送 物 Mm 體 之 一 固 定 部 份 0 請 央 1 I 閱 製 造 集 成 電 路 時 ， 由 於 純 淨 空 間 要 求 9 欲 處 理 之 基 片 讀 背 1 I 通 常 被 置 入 一 輸 送 容 器 中 * W 在 不 同 的 處 理 步 驟 中 送 至 各 意 事 1 1 站 〇 站 的 裝 卸 最 好 是 經 由 可 關 閉 開 □ 或 閘 門 〇 由 於 輸 送 容： 1 一項 , 器 經 過 的 開 P 邊 緣 或 壁 對 操 作 人 員 而 是 危 險 部 位 需 採 再 填 1 取 措 施 Μ 防 止 受 傷 之 危 險 〇 通 常 則 使 用 安 全 裝 置 9 其 在 出 寫 本 頁 裝 現 此 種 危 ΚΛ- m 狀 況 時 9 中 斷 所 有 輸 送 動 作 有 時 並 可 使 其 復 1 1 位 0 1 ' 1 習 知 的 光 勢 壘 雖 然 可 以 可 靠 地 保 護 開 P 周 ts? 圍 防 止 異 物 入 1 訂 侵 但 移 動 物 體 通 過 時 須 切 斷 此 安 全 措 施 否 則 -會 移 動 會 1 中 斷 〇 1 1 缺 點 是 通 過 時 間 中 無 保 護 功 能 〇 1 . 、 專 利 US 5 575 37 2曾提 出 此 種 裝 置 其 使 兩 互 相 經 過 的 線 構 件 接 近 彼 此 其 中 一 構 件 上 設 有 一 可 相 對 於 構 件 移 動 的 1 I 安 全 箍 0 此 安 全 箍 包 括 導 電 連 接 件 f 安 全 箍 在 額 定 U 置 時 1 I 9 該 導 電 連 接 件 使 構 件 上 的 導 線 彼 此 連 接 9 而 得 到 一 閉 合 1 電 路 〇 若 一 物 體 壓 到 安 全 箍 f 電 路 則 中 斷 1 而 發 出 一 開 II 1 1 信 號 ， Μ 结 束 前 進 運 動 0 1 I 缺 點 是 f 安 全 籀 始 終 只 能 朝 一 方 向 作 用 〇 若 前 進 後 退 皆 1 I 需 有 保 護 時 9 則 需 要 可 朝 兩 方 向 作 用 的 防 護 措 施 〇 由 於 空 1 1 I 間 之 緣 故 > 再 設 置 一 安 全 箍 通 常 並 不 可 能 0 移 動 構 件 之 周 1 1 邊 保 護 在 機 械 上 亦 極 複 雜 〇 1 1 本紙張尺度適州中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 401503 A7 n\ 部 中 -央 it -t 消 jV 合 竹 印 t B7 五、發明説明（2 ) 本發明之目的在提供一移動系統之安全裝置，移動物體 與通過口邊緣間有一障礙物時，通過口任一位置皆可製造 一開關信號，而不受物體移動方向及通過口的幾何設計左 右0 本目的因設有一驅動器之一移動系統安全裝置而達成， 在該驅動器中一氣動活塞藉在一氣缸中做線性運動，而至 少在一方尚上經過一欲輸送物體之一固定部份。依據本發 明，氣SE末端設有測量活塞移動方向上由氣缸流出氣體壓 力之裝置，壓力降到一極限值Μ下時發出一開關信號，而 至少切斷系統。 最好再設其他測量壓力的裝置，而至少可再設定另一極 限值，或進行模擬壓力監控。 亦可Μ使壓力的測量與释動糸統位置及/或速度的測量 结合。 輸入壓縮空氣的閥門可Μ是中間位置關閉或開啟的閥門 本發明尚具其他優點，即不需要附加的機械件*例如箍 、框、板條、及在開口邊緣裝設感知器或接收器。一物體 進入移動系統與開口邊界之間時，在駛入及駛出時可不需 附加之機械裝置而製造出開關信號。故本發明簡單且成本 低廉。 安全裝置之調整範圍極大（力設定）。測得壓力之評估 可採用一簡單的開關點評估或模擬範圍評估。 配合一位置測量系統更可調整、選擇及評估力設定，例 如在不同風險點之駛動範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本百Ο .裝- 訂 線 本紙張尺度適川t國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -5 - A7 B7 五、發明説明（3 ) 視壓力測量儀器而定，開關信號可直接切斷驅動器，或 先Μ —電子裝置或控制裝置進行評估。故不僅可切斷驅動 器，亦可利用硬體或軟體方式轉換移動方向。 Κ下將依據附圖進一步說明本發明。 / 圖1係装卸站閘門裝入一輸送容器前之圖。 圖2係圖1閘門裝入輸送容器後之圖。 圔3係製造開關信號之裝置的方瑰圖。 為進行半導體處理程序中站1之裝卸，故可將圖1之輸送 容器2放置在一設有對正件在閛門4前方的平台3上。閘門4 設有一不可見視窗* Μ封閉之。一氣動線性驅動器5可依 箭頭所示方尚調整平台3，使得輸送容器2可被送入及送出 站1 0 在運送程序中，若閘門4邊緣與平台3及所承載輸送容器 2之移動系統間有障礙物時，作用於系統之壓力變化至少 會造成移動中斷。 因此，氣動線性驅動器5設有一如圖3所示之安全裝置。 為使由一氣缸6與一活塞7構成的線性驅動器5運轉，活塞6 末端設有具閥門暨節流閥8 , 9的壓缩空氣流出及流入管道 ，以調整移動方向及速度。活塞7被由一側輸送來的壓縮 空氣驅動而移動時，設計作壓力測量傳感器1 0 , 11的壓力 感知器因安全之考量而測量由氣缸6另一側流出的空氣壓 力。壓力測量傳感器1 0 , 11連接至一由電源1 5供電之電子 /控制裝置12。終端開關13 , 14亦將信號送至該電子/控制 裝置1 2。一壓力調整器1 6使閥門暨節流閥8 , 9提供需要的 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS ) Λ4规格（2丨0X297公釐） -------.1」丨裝---^丨~^--訂-----線 ~ , . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -6 - 401503 A7 五、發明説明（4 ) 壓縮空氣。一包括在線性驅動裝置中的終端阻尼未顯示於 圖3中。 藉肋終端開關13, 14可在再度開啟後測出線性驅動器的 位置。若是緊急關閉且無法測出終端位置，則由電子/控 制裝置1 2發出一預設之駛動命令。尤其重要的事，終端開 關1 3， 1 4與氣缸6之實際末端有足夠距離，使得氣S末端 的壓力不會在終端信號發出前造成糸統中斷。 一物體進入輸送範圍時，移動系統駛出碰到此物體而使 氣缸6中原本恆定的壓力_係發生變化。活塞移動方向上 前方的壓力測量傳感器1 0 , 11測量流出空氣之壓力而得知 壓力降低。為使壓力測量傳感器10或11製造一開關信號， 故為每一移動方尚皆設定一壓力極限值。測得的壓力低於 其極限值時，開關信號經過電子/控制裝置12處理後藉決 定運轉的闊門暨節流閥δ或9而使糸統停止。接著電子/控 制裝置1 2使糸統回到初始位置。Μ少許力量被夾在閘門壁 與系統間的物體於是被放開。 系統因安全電路的作用而被移回時，一未示出的控制計 算機輸出狀態。取出障礙物後可藉重複命令而使系統Κ想 要的方向移動。 設定極限值時須注意，欲輸送交變負荷或引導糸統緊度 及活塞速度所產生對流出空氣壓力之作用不得影響開關信 號的製造。 可限制氣缸6力道的壓力調整器16確保所設定空氣壓力 之遵守，該壓力為產生移動所必須。藉流出空氣壓力極限 本紙张尺度適州中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 7 (請先閱讀背面之注意事項再填舄本頁) Τ裝---- 訂 -Θ線 #01503 A7 B7 五、發明説明（5 部 中 央 ii -T- 消 IV A a 印 值的設定可使作用於物體直至移動方向轉換之力道為極小。 因安全之考量，例如緊急關閉後再度開啟、緊急關閉後 藉接通氣缸6兩室而停留在某位置一段時間，使用本實施 例中的中間位置關閉閥門暨節流閥8 , 9極為有利。 另一實施例中則可使用中間位置開啟閥門。到達極限值 時，該閥門轉換，使氣缸6之兩室排掉空氣。在無壓力的 氣缸6中可用手移動活塞7。 兩個壓力測量傳感器之使用，使可利用相應數目的極限 值在兩壓力範圍進行工作。 另一壓力測量傳感器亦可用來持續監控設有適當電子評 估裝置之氣缸6室中的壓力，並在測量結果評估後利用閥 門暨節流閥8 , 9啟動線性驅動器5。故可對更小的壓力變 化產生反應，而進一步降低殘留力道。 為監控特定的系統移動範圍，可使壓力測量增設一位置 測量系統。依據活塞通過的位置測量及評估壓力。如此可 監控特定的移動範圍，並進一步提高安全性。與安全技術 無關的範圍可被消隱，或修改工作命令。 壓力監控配合速度評估使可對高活塞速度下的安全範圍 進行監控。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_

、tT 本紙張尺度適/1]中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 8

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 401503 、 A8 ； B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一移動系統之安全裝置，包括一驅動器，在該驅動器 中一氣動活塞藉在一氣缸中做線性運動，而至少在一方向 上經過一欲輸送物體之一固定部份，其特徵為：氣Η (6) 末端設有測量活塞（7)移動方向上由氣缸（6)流出氣體壓力 之裝置，壓力降到一極限值Κ下時發出一開關信號，而至 少切斷系統。 2 .如申請專利範圍第1項之装置，其中至少再設另一測 量壓力的裝置，而至少可再設定另一極限值，或監控壓力。 3 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中至少再設另一測 量壓力的裝置，而可進行模擬壓力監控。 4 .如申請專利範圍第2 或 3項之裝置，其中使壓力的 測量與移動系統位置的測量结合。 5 ,如申請專利範圍第4項之裝置，其中使壓力的測量與 移動糸統速度的測量結合。 6 .如申請專利範圍第5項之裝置，其中輸入壓縮空氣的 閥門是中間位置關閉的閥門。 7 .如申請專利範圍第6項之裝置，其中輸入壓縮空氣的 閥門是中間位置開啟的閥門。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 1