JPH11230496A - 運動系のための安全装置 - Google Patents
運動系のための安全装置Info
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- JPH11230496A JPH11230496A JP10214096A JP21409698A JPH11230496A JP H11230496 A JPH11230496 A JP H11230496A JP 10214096 A JP10214096 A JP 10214096A JP 21409698 A JP21409698 A JP 21409698A JP H11230496 A JPH11230496 A JP H11230496A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16P3/00—Safety devices acting in conjunction with the control or operation of a machine; Control arrangements requiring the simultaneous use of two or more parts of the body
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で確実に障害物の存在を検出す
る。 【解決手段】 空気圧にて運転されるピストン（７）
は、シリンダ（６）中において直線運動を行い、被搬送
物を搬送する。駆動装置は搬送物を少なくとも一方向に
おいて不動の部分の傍らを通過させる。シリンダ（６）
はその両端部に、ピストン（７）の運動方向においてシ
リンダ（６）から流出する空気の圧力を測定するための
装置を有し、通常はほぼ一定である圧力が限界値を下ま
わる値になると、運動システムの運転を遮断する切換信
号として出力される。
る。 【解決手段】 空気圧にて運転されるピストン（７）
は、シリンダ（６）中において直線運動を行い、被搬送
物を搬送する。駆動装置は搬送物を少なくとも一方向に
おいて不動の部分の傍らを通過させる。シリンダ（６）
はその両端部に、ピストン（７）の運動方向においてシ
リンダ（６）から流出する空気の圧力を測定するための
装置を有し、通常はほぼ一定である圧力が限界値を下ま
わる値になると、運動システムの運転を遮断する切換信
号として出力される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気圧にて運転さ
れるピストンがシリンダ内における直線運動により搬送
されるべき搬送目的物を少なくとも一方向で、不動部分
の傍らを通過させる駆動装置を備えた運動系のための安
全装置に関する。
れるピストンがシリンダ内における直線運動により搬送
されるべき搬送目的物を少なくとも一方向で、不動部分
の傍らを通過させる駆動装置を備えた運動系のための安
全装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路を製作する場合、加工されるべ
きサブストレートは、クリーンルームの必要から、多く
の場合、搬送容器内へ入れられ、該搬送容器が異なる加
工工程ごとに個々のステーションヘ搬送される。ステー
ションへの搬送容器のローディング及びアンローディン
グは主にロックゲートの閉鎖可能な開口部を介して行わ
れる。搬送容器が傍らを通過する開口部の縁又は壁は作
業者にとって危険箇所になるから、作業者が負傷するこ
とを防止する手段が講じられなければならない。通常
は、このような危険状態が生じたときに全ての搬送運動
を停止させ、場合によっては運動方向を逆転させる安全
装置が使用される。
きサブストレートは、クリーンルームの必要から、多く
の場合、搬送容器内へ入れられ、該搬送容器が異なる加
工工程ごとに個々のステーションヘ搬送される。ステー
ションへの搬送容器のローディング及びアンローディン
グは主にロックゲートの閉鎖可能な開口部を介して行わ
れる。搬送容器が傍らを通過する開口部の縁又は壁は作
業者にとって危険箇所になるから、作業者が負傷するこ
とを防止する手段が講じられなければならない。通常
は、このような危険状態が生じたときに全ての搬送運動
を停止させ、場合によっては運動方向を逆転させる安全
装置が使用される。
【０００３】公知の光カーテン又は光バリヤは成程開口
部周辺への侵入を確実に排除するが、この安全手段の機
能は運動する物体の通過時間中は遮断されていなければ
ならない。そうでないと運動が中断されることになるか
らである。この通過時間中防護機能が停止されることは
欠点である。
部周辺への侵入を確実に排除するが、この安全手段の機
能は運動する物体の通過時間中は遮断されていなければ
ならない。そうでないと運動が中断されることになるか
らである。この通過時間中防護機能が停止されることは
欠点である。
【０００４】米国特許第５５７５３７２号明細書によれ
ば、２つの、互いに傍らを通過することができる部分を
対向的に接近させる装置であって、両部分の一方の部分
に、該部分に対して相対的に移動可能である安全湾曲片
が取り付けられている構成のものが公知になっている。
この安全湾曲片は導電接続エレメントを有し、該エレメ
ントは、安全湾曲片が目的位置にあるときに上記部分上
の導電路を互いに接続し閉じた電気回路を構成する。物
体が湾曲片に押し付けられると、電気回路の遮断によっ
て、前進運動を終了させるための切り換え信号が発せら
れる。湾曲片が常に一方向でしか働かないということは
欠点である。前進運動及び後退運動を停止させることが
必要である場合には、両方向で働く手段が必要である。
スペース上の理由からさらに別の湾曲片を設けることは
多くの場合実現不可能である。また、両運動部分のあら
ゆる方面に亙る安全を保証することは、多くの場合機械
的にも極めて複雑な手段を必要とする。
ば、２つの、互いに傍らを通過することができる部分を
対向的に接近させる装置であって、両部分の一方の部分
に、該部分に対して相対的に移動可能である安全湾曲片
が取り付けられている構成のものが公知になっている。
この安全湾曲片は導電接続エレメントを有し、該エレメ
ントは、安全湾曲片が目的位置にあるときに上記部分上
の導電路を互いに接続し閉じた電気回路を構成する。物
体が湾曲片に押し付けられると、電気回路の遮断によっ
て、前進運動を終了させるための切り換え信号が発せら
れる。湾曲片が常に一方向でしか働かないということは
欠点である。前進運動及び後退運動を停止させることが
必要である場合には、両方向で働く手段が必要である。
スペース上の理由からさらに別の湾曲片を設けることは
多くの場合実現不可能である。また、両運動部分のあら
ゆる方面に亙る安全を保証することは、多くの場合機械
的にも極めて複雑な手段を必要とする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、簡単
な構成で確実に障害物の存在を検出しうる安全装置を提
供することにある。
な構成で確実に障害物の存在を検出しうる安全装置を提
供することにある。
【０００６】上記した目的に関して、本発明の付随的目
的は、運動する目的物と貫通開口部の縁との間に障害物
があるときに、目的物の運動方向及び貫通開口部の幾何
学形状とは無関係に、貫通開口部のあらゆる箇所で切り
換え信号を発生させることができるようにすることにあ
る。
的は、運動する目的物と貫通開口部の縁との間に障害物
があるときに、目的物の運動方向及び貫通開口部の幾何
学形状とは無関係に、貫通開口部のあらゆる箇所で切り
換え信号を発生させることができるようにすることにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、空気圧に
て運転されるピストンがシリンダ内における直線運動に
より、搬送されるべき搬送目的物を少なくとも一方向
で、不動部分の傍らを通過させる駆動装置を備えた運動
系のための安全装置によって、解決される。すなわち、
本発明によれば、シリンダがその両端部にピストンの運
動方向でシリンダから流出する空気の圧力を測定するた
めの装置を有し、通常はほぼ一定である圧力の、限界値
を下回る圧力低下が、少なくとも系の運転を遮断するた
めの切り換え信号として取り出される。
て運転されるピストンがシリンダ内における直線運動に
より、搬送されるべき搬送目的物を少なくとも一方向
で、不動部分の傍らを通過させる駆動装置を備えた運動
系のための安全装置によって、解決される。すなわち、
本発明によれば、シリンダがその両端部にピストンの運
動方向でシリンダから流出する空気の圧力を測定するた
めの装置を有し、通常はほぼ一定である圧力の、限界値
を下回る圧力低下が、少なくとも系の運転を遮断するた
めの切り換え信号として取り出される。
【０００８】好適には、圧力を測定するためのさらに別
の装置を設け、これらの装置によって少なくとも１つの
さらに別の限界値を設定することができるようにし、又
はこれらの１つの装置がアナログ式の圧力監視を行うよ
うにすることも可能である。
の装置を設け、これらの装置によって少なくとも１つの
さらに別の限界値を設定することができるようにし、又
はこれらの１つの装置がアナログ式の圧力監視を行うよ
うにすることも可能である。
【０００９】さらにまた、圧力の測定を運動系の位置の
測定及び／又は速度の測定と関連付けることも可能であ
る。圧力空気を供給するための弁としては、中間位置で
閉じる又は中間位置で開く弁を用いることができる。
測定及び／又は速度の測定と関連付けることも可能であ
る。圧力空気を供給するための弁としては、中間位置で
閉じる又は中間位置で開く弁を用いることができる。
【００１０】課題の本発明の上記の解決手段はさらに別
の利点を有している。すなわち、開口部の縁部に、湾曲
片、フレーム、切換え条片、センサー又は受信装置のよ
うな付加的な機械的部分を必要としない。切り換え信号
は、物体が運動系と開口部形成部分との間に達したと
き、付加的機構なしに走入及び走出運動の際に発せられ
る。このため本発明の解決手段は簡単であり、その実施
の点でも有利である。
の利点を有している。すなわち、開口部の縁部に、湾曲
片、フレーム、切換え条片、センサー又は受信装置のよ
うな付加的な機械的部分を必要としない。切り換え信号
は、物体が運動系と開口部形成部分との間に達したと
き、付加的機構なしに走入及び走出運動の際に発せられ
る。このため本発明の解決手段は簡単であり、その実施
の点でも有利である。
【００１１】安全装置の調節値は広い範囲で変化させる
ことができる（力の調節）。測定された圧力の評価は簡
単な切り換え点の評価を介して又はアナログ的な範囲評
価を介して行うことができる。
ことができる（力の調節）。測定された圧力の評価は簡
単な切り換え点の評価を介して又はアナログ的な範囲評
価を介して行うことができる。
【００１２】距離測定系に関連して、例えば、走行範囲
における危険度の異なる点に種々異なる力調節値を設定
し、選択し又は評価することができる。圧力測定装置に
応じて、切り換え信号によって駆動装置の運転を直接遮
断するようにするか又はまずはじめに評価を電子装置若
しくは制御装置を介して行うようにすることができる。
従って、単に駆動装置の運転の遮断だけでなく、ハード
及びソフトウエアによる運動方向の切り換えも可能であ
る。
における危険度の異なる点に種々異なる力調節値を設定
し、選択し又は評価することができる。圧力測定装置に
応じて、切り換え信号によって駆動装置の運転を直接遮
断するようにするか又はまずはじめに評価を電子装置若
しくは制御装置を介して行うようにすることができる。
従って、単に駆動装置の運転の遮断だけでなく、ハード
及びソフトウエアによる運動方向の切り換えも可能であ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】半導体加工工程におけるステーシ
ョン１のローディング及びアンローディングのために図
１に示す搬送容器２が、方向修正手段を備えたプラット
フォーム３上のロックゲート４の前に停止可能である。
ロックゲート４は閉鎖のための不可視の窓を有してい
る。空気圧力式の直動駆動装置５は矢印方向でのプラッ
トフォーム３の位置調節に役立ち、これにより搬送容器
２がステーション１内へ搬送可能であり、また再びここ
から搬出可能である。
ョン１のローディング及びアンローディングのために図
１に示す搬送容器２が、方向修正手段を備えたプラット
フォーム３上のロックゲート４の前に停止可能である。
ロックゲート４は閉鎖のための不可視の窓を有してい
る。空気圧力式の直動駆動装置５は矢印方向でのプラッ
トフォーム３の位置調節に役立ち、これにより搬送容器
２がステーション１内へ搬送可能であり、また再びここ
から搬出可能である。
【００１４】搬送工程中に障害物がロックゲート４の縁
部とプラットフォーム３及び受容された搬送容器２の運
動系との間に達すると、運動系に作用する圧力変化によ
り少なくとも運動の遮断が行われる。
部とプラットフォーム３及び受容された搬送容器２の運
動系との間に達すると、運動系に作用する圧力変化によ
り少なくとも運動の遮断が行われる。
【００１５】この目的で空気圧式直動駆動装置５は図３
の安全装置を備えている。ピストン７を有するシリンダ
６から成る直動駆動装置５の運転のためにシリンダ６は
その両端部に、弁及び絞り逆止め弁８及び９を備えた、
運動方向及び速度を調節するための圧縮空気の供給−排
出導管を有している。圧力測定変換器１０、１１の形式
の圧力センサは安全上の理由から、ピストン７が他方の
側から供給された圧縮空気によって駆動されて運動する
ときに、シリンダ６の一方の側から流出する空気の圧力
測定を行う。圧力測定変換器１０、１１からは導電線が
電子装置／制御装置１２へ延びており、この電子装置／
制御装置内にはさらに終端位置スイッチ１３、１４から
の信号が入る。該電子装置／制御装置は電流供給源１５
から給電される。圧力調整器１６は弁及び絞り逆止め弁
８、９へ必要な圧縮空気を供給する。直動駆動装置中に
含まれている終端位置緩衝装置は図３には図示されてい
ない。
の安全装置を備えている。ピストン７を有するシリンダ
６から成る直動駆動装置５の運転のためにシリンダ６は
その両端部に、弁及び絞り逆止め弁８及び９を備えた、
運動方向及び速度を調節するための圧縮空気の供給−排
出導管を有している。圧力測定変換器１０、１１の形式
の圧力センサは安全上の理由から、ピストン７が他方の
側から供給された圧縮空気によって駆動されて運動する
ときに、シリンダ６の一方の側から流出する空気の圧力
測定を行う。圧力測定変換器１０、１１からは導電線が
電子装置／制御装置１２へ延びており、この電子装置／
制御装置内にはさらに終端位置スイッチ１３、１４から
の信号が入る。該電子装置／制御装置は電流供給源１５
から給電される。圧力調整器１６は弁及び絞り逆止め弁
８、９へ必要な圧縮空気を供給する。直動駆動装置中に
含まれている終端位置緩衝装置は図３には図示されてい
ない。
【００１６】終端位置スイッチ１３、１４により、再接
続後の直動駆動装置５の位置が確認される。非常状態が
発生して如何なる終端位置も確認されないと、電子装置
／制御装置１２によって所定の走行運転が遮断される。
シリンダ端部で取り出される圧力が終端位置の信号の取
り出し前に系の運転を遮断することがないようにするた
めには、終端位置スイッチ１３、１４がシリンダ６の実
際の端部から十分離して配置されていることが特に重要
である。 物体が搬送範囲内へ達すると、運動系がこの
物体上に乗り上げる際に、通常は一定であるシリンダ６
内の圧力比が変化する。圧力の低下は、運動方向でみて
ピストンの前方にある圧力測定変換器１０、１１による
流出空気圧力の測定によって検出される。圧力測定装置
１０又は１１によって切り換え信号を発生させるため
に、各運動方向について１つの圧力限界値が設定されて
いる。測定された圧力がそれぞれの限界値を下回ると、
電子装置／制御装置１２内での電子的処理の後に、相応
する切り換え信号が発せられ、これにより、前進駆動の
ために働いていた弁及び絞り逆止め弁８又は９が切り換
えられ、運動系のプログラム制御された停止が行われ
る。次いで系の運動が電子装置／制御装置１２により、
出発位置に戻るまで、反転される。ロックゲート壁と系
との間に短時間の間僅かな力で締め付けられていた物体
は再び解放される。系が安全回路の作動によって戻され
ると、この状態の出力信号が図示されていない制御計算
装置で発せられる。命令が反復されることにより所期の
方向への系の搬送が障害物の除去後行われる。
続後の直動駆動装置５の位置が確認される。非常状態が
発生して如何なる終端位置も確認されないと、電子装置
／制御装置１２によって所定の走行運転が遮断される。
シリンダ端部で取り出される圧力が終端位置の信号の取
り出し前に系の運転を遮断することがないようにするた
めには、終端位置スイッチ１３、１４がシリンダ６の実
際の端部から十分離して配置されていることが特に重要
である。 物体が搬送範囲内へ達すると、運動系がこの
物体上に乗り上げる際に、通常は一定であるシリンダ６
内の圧力比が変化する。圧力の低下は、運動方向でみて
ピストンの前方にある圧力測定変換器１０、１１による
流出空気圧力の測定によって検出される。圧力測定装置
１０又は１１によって切り換え信号を発生させるため
に、各運動方向について１つの圧力限界値が設定されて
いる。測定された圧力がそれぞれの限界値を下回ると、
電子装置／制御装置１２内での電子的処理の後に、相応
する切り換え信号が発せられ、これにより、前進駆動の
ために働いていた弁及び絞り逆止め弁８又は９が切り換
えられ、運動系のプログラム制御された停止が行われ
る。次いで系の運動が電子装置／制御装置１２により、
出発位置に戻るまで、反転される。ロックゲート壁と系
との間に短時間の間僅かな力で締め付けられていた物体
は再び解放される。系が安全回路の作動によって戻され
ると、この状態の出力信号が図示されていない制御計算
装置で発せられる。命令が反復されることにより所期の
方向への系の搬送が障害物の除去後行われる。
【００１７】限界値を設定する場合には、搬送されるべ
き交番荷重又は案内系における不具合及びピストン速度
に因って惹起されて流出空気圧力に対して作用する効果
が切り換え信号の発生に不都合な影響を与えないように
注意すべきである。
き交番荷重又は案内系における不具合及びピストン速度
に因って惹起されて流出空気圧力に対して作用する効果
が切り換え信号の発生に不都合な影響を与えないように
注意すべきである。
【００１８】シリンダ６の力を制限することができる圧
力調整器１６は、運動を生ぜしめるために必要な調整さ
れた空気圧力を維持するために役立つ。流出する空気の
圧力に対する限界値を調整することにより、運動方向が
逆転されるに至るまで物体に作用せしめられる力を小さ
く抑えることができる。
力調整器１６は、運動を生ぜしめるために必要な調整さ
れた空気圧力を維持するために役立つ。流出する空気の
圧力に対する限界値を調整することにより、運動方向が
逆転されるに至るまで物体に作用せしめられる力を小さ
く抑えることができる。
【００１９】安全上の理由から、例えば非常状態後の装
置の再接続のように、非常状態後のシリンダ６の両室を
「接続」することにより所定時間の間所定位置に装置を
停止させるためには、「中間位置で閉じる」形式の弁及
び絞り逆止め弁を、図示の実施例に示すように、使用す
るのが有利である。
置の再接続のように、非常状態後のシリンダ６の両室を
「接続」することにより所定時間の間所定位置に装置を
停止させるためには、「中間位置で閉じる」形式の弁及
び絞り逆止め弁を、図示の実施例に示すように、使用す
るのが有利である。
【００２０】さらに、「中間位置で開く」形式の弁が使
用されるようにしたさらに別の実施例も可能である。こ
れらの弁は圧力が限界値に達すると切り換えられ、シリ
ンダ６の両室を排気させる。シリンダ６が無圧である場
合ピストンの運動は手動で行うことができる。さらに別
の圧力測定変換器を使用することにより、相応する数の
限界値による２つの圧力範囲での作業が可能である。さ
らに別の圧力測定変換器を、シリンダ６の室内圧力を相
応する評価電子装置によって常時アナログ的に監視しか
つ測定値の評価に応じて弁及び絞り逆止め弁８、９を介
して直動駆動装置５を制御するために役立つようにする
ことも可能である。このようにすることによって、さら
に僅かな圧力変化に対しても応動することが可能にな
り、ひいては発生する力の過剰分をさらに小さくするこ
とが可能になる。
用されるようにしたさらに別の実施例も可能である。こ
れらの弁は圧力が限界値に達すると切り換えられ、シリ
ンダ６の両室を排気させる。シリンダ６が無圧である場
合ピストンの運動は手動で行うことができる。さらに別
の圧力測定変換器を使用することにより、相応する数の
限界値による２つの圧力範囲での作業が可能である。さ
らに別の圧力測定変換器を、シリンダ６の室内圧力を相
応する評価電子装置によって常時アナログ的に監視しか
つ測定値の評価に応じて弁及び絞り逆止め弁８、９を介
して直動駆動装置５を制御するために役立つようにする
ことも可能である。このようにすることによって、さら
に僅かな圧力変化に対しても応動することが可能にな
り、ひいては発生する力の過剰分をさらに小さくするこ
とが可能になる。
【００２１】系の所定の運動範囲の所期の監視のため
に、圧力測定を距離測定系を加えて行うことができる。
これにより圧力は、ピストン７が丁度通過する箇所に関
連して、測定されかつ評価される。これにより、目的と
する所定の運動範囲を特に監視することができ、安全性
をさらに高めることができる。安全技術的に無関係な範
囲は例えば遮蔽することができ又は作業体制をその範囲
では変更することができる。
に、圧力測定を距離測定系を加えて行うことができる。
これにより圧力は、ピストン７が丁度通過する箇所に関
連して、測定されかつ評価される。これにより、目的と
する所定の運動範囲を特に監視することができ、安全性
をさらに高めることができる。安全技術的に無関係な範
囲は例えば遮蔽することができ又は作業体制をその範囲
では変更することができる。
【００２２】速度監視と関連した圧力監視によりピスト
ン速度が高い場合における安全範囲の監視が可能であ
る。
ン速度が高い場合における安全範囲の監視が可能であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
運動する目的物と貫通開口部の縁との間に障害物がある
ときに、目的物の運動方向及び貫通開口部の幾何学形状
とは無関係に、貫通開口部のあらゆる箇所で切り換え信
号を発生させることができるという優れた効果を発揮す
る。
運動する目的物と貫通開口部の縁との間に障害物がある
ときに、目的物の運動方向及び貫通開口部の幾何学形状
とは無関係に、貫通開口部のあらゆる箇所で切り換え信
号を発生させることができるという優れた効果を発揮す
る。
【図１】 搬送容器のローディング前のステーションの
ローディング及びアンローディング用ロックゲートを示
す斜視図。
ローディング及びアンローディング用ロックゲートを示
す斜視図。
【図２】 ローディング後の図１のロックゲートを示す
斜視図。
斜視図。
【図３】 本発明にかかる切換信号を発生させるための
装置の構成図。
装置の構成図。
６…シリンダ、７…ピストン。
フロントページの続き (72)発明者 マーリエス マゲス ドイツ連邦共和国 デー−07745 イェナ イン デン ツィンセッケルン 16
Claims (7)
- 【請求項１】 空気圧にて運転されるピストンのシリン
ダ内における直線運動により被搬送物を少なくとも一方
向で、不動部分の傍らを通過させる駆動装置を備えた運
動系のための安全装置において、シリンダ（６）がその
両端部に、ピストン（７）の運動方向においてシリンダ
（６）から流出する空気の圧力を測定する装置を有し、
通常はほぼ一定である圧力が限界値を下回って低下した
とき、少なくとも運動系を遮断するための切換信号とし
て機能することを特徴とする運動系のための安全装置。 - 【請求項２】 圧力を測定するために、少なくともさら
に別の１つの装置が設けられ、該装置が少なくともさら
に別の１つの限界値の設定を可能にしていることを特徴
とする請求項１記載の安全装置。 - 【請求項３】 圧力を測定するための少なくともさらに
別の１つの装置が設けられ、該装置がアナログ式の圧力
監視を行うことを特徴とする請求項１記載の安全装置。 - 【請求項４】 圧力の測定が運動系の位置の測定に関連
付けられていることを特徴とする請求項２又は３記載の
安全装置。 - 【請求項５】 圧力の測定が運動系の速度の測定と関連
付けられていることを特徴とする請求項４記載の安全装
置。 - 【請求項６】 圧力空気を供給するための弁として、中
間位置で閉じる弁が使用されていることを特徴とする請
求項５記載の安全装置。 - 【請求項７】 圧力空気を供給するための弁として、中
間位置で開く弁が使用されていることを特徴とする請求
項６記載の安全装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19806852-2 | 1998-02-19 | ||
| DE19806852A DE19806852C1 (de) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | Sicherheitsvorrichtung für ein Transportsystem |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230496A true JPH11230496A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=7858215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10214096A Pending JPH11230496A (ja) | 1998-02-19 | 1998-07-29 | 運動系のための安全装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6510688B2 (ja) |
| JP (1) | JPH11230496A (ja) |
| KR (1) | KR100276181B1 (ja) |
| DE (1) | DE19806852C1 (ja) |
| FR (1) | FR2775055A1 (ja) |
| GB (1) | GB2334563B (ja) |
| SG (1) | SG70115A1 (ja) |
| TW (1) | TW401503B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100410991B1 (ko) * | 2001-02-22 | 2003-12-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조장치의 로드포트 |
| US7031792B2 (en) * | 2001-04-04 | 2006-04-18 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and information storage apparatus and method |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3895560A (en) * | 1973-11-12 | 1975-07-22 | Leesona Corp | Cylinder motion sensing |
| DE3541505C1 (de) * | 1985-11-23 | 1987-05-07 | Wolfram Foersterling | Verfahren zur pneumatisch-elektrischen UEberwachung von beweglichen Gegenstaenden und UEberwachungssystem fuer die Durchfuehrung der Verfahrens |
| US4840530A (en) * | 1988-05-23 | 1989-06-20 | Nguyen Loc H | Transfer apparatus for semiconductor wafers |
| ATE206192T1 (de) | 1994-06-22 | 2001-10-15 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur vermeidung des scherens oder quetschens eines fremdkörpers |
| US5525024A (en) * | 1994-08-17 | 1996-06-11 | Applied Materials, Inc. | Cassette loader having compound translational motion |
| DE4430844C1 (de) * | 1994-08-31 | 1996-02-22 | Jenoptik Technologie Gmbh | Beschickungseinrichtung für Halbleiterbearbeitungsanlagen |
| GB9508208D0 (en) * | 1995-04-22 | 1995-06-07 | Yamazaki Machinery Uk Limited | Improvements in and relating to machine tools |
| FI100909B (fi) * | 1995-05-31 | 1998-03-13 | Lauri Jauhola | Menetelmä pneumaattisessa oskillointilaitteessa esteen havaitsemiseksi ja liikkeen jatkamiseksi sekä vastaava oskillointilaite |
-
1998
- 1998-02-19 DE DE19806852A patent/DE19806852C1/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-07-24 FR FR9809459A patent/FR2775055A1/fr active Pending
- 1998-07-29 JP JP10214096A patent/JPH11230496A/ja active Pending
- 1998-08-19 TW TW087113617A patent/TW401503B/zh active
- 1998-08-19 GB GB9818132A patent/GB2334563B/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-24 SG SG1998003282A patent/SG70115A1/en unknown
- 1998-08-26 KR KR1019980034640A patent/KR100276181B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-09-22 US US09/158,560 patent/US6510688B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2775055A1 (fr) | 1999-08-20 |
| DE19806852C1 (de) | 1999-08-12 |
| GB2334563A (en) | 1999-08-25 |
| SG70115A1 (en) | 2000-01-25 |
| KR100276181B1 (ko) | 2001-04-02 |
| GB2334563B (en) | 2000-01-12 |
| US20020000091A1 (en) | 2002-01-03 |
| KR19990071383A (ko) | 1999-09-27 |
| US6510688B2 (en) | 2003-01-28 |
| TW401503B (en) | 2000-08-11 |
| GB9818132D0 (en) | 1998-10-14 |
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