TW396483B - X-Y stage - Google Patents

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TW396483B TW087108752A TW87108752A TW396483B TW 396483 B TW396483 B TW 396483B TW 087108752 A TW087108752 A TW 087108752A TW 87108752 A TW87108752 A TW 87108752A TW 396483 B TW396483 B TW 396483B
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Chang-Woo Woo
Kyue-Sang Choi
Yeun-Kyoung Shin
Jae-Young Woo
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Samsung Electronics Co Ltd
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Description

A7 B7 經 濟 部 中 央 標 局 員 工 消 费 合 作 社 印 製 五、發明説明（i 本發明之範圍 本發明有關於一 X-Y台’以及更特別地有關於一種χ_ Υ台用以藉應用皮帶驅動方式提供高速移動者，並選擇性 地抬起此皮帶驅動藉以防止微粒之產生，並改進此設施之 耐久性。 相關技藝之說明 一般而§ ’ 一顯微鏡係廣泛地使用於甚多場所以便能 放大物體供研究用，以及特別是各種不同之顯微鏡係應用 於半導體裝置製造程序中以便能觀察形成於晶片表面上之 精密圖形。 特別疋，此半導體裝置製造程序在每一處理步驟中要 求咼精密度，並因此，此晶片超出一定之臨限標準水平之 後或劣等地製成者應予揀出以便能防止處理程序上之故障 及產率之降低。 因此，各種不同之測試及分析係在處理進行之間或某 ——程序進行内於晶片上實施。 特別是’所有各種測試之中’用於為晶片之污染或故 障之一種係在達成高生產率及控制污染上極為重要。 /亏染或處理失敗係由操作者直接探測，或者污染或處 理失敗之程度可以II使用一顯微鏡來觀察。不過，在生產 線中所使用之簡單測試係要以裸眼來檢查此晶片，在其中 即令非常小尺寸之污染物或灰塵可以藉使用此事實而測得 ’即此灰塵微粒當它與一平行向光光線或短波長之單色光 形成一定角度時照耀得更光亮。 本紙張尺度適用中國國家標準_(〇呢）六4規格（210父297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) » ^Is. nn In ^^^1 m nn nf ml an tn^ i· 4 A7 五、發明説明（2 ) 晶片之汚染之未具能力係以上述方法測得者，係以一 金屬顯微鏡或一電子顧微鏡來更確實地檢測。 在檢測晶片之傳統式方法中，操作者有此晶片係以真 空破吸收於真空鍍膜用之舟内以一手用式真空攝子揀出匿 之外，並藉照明一螢光燈於頂上或一般標準燈照明其上而 直接地檢查此晶片。 此外，一如第1圖内所示，肉眼檢查係首先實施於由 一自動裝載機5的移動之晶片丄上，此檢查亦有一角度控制 作用以便能有助於檢測反射角度，以及隨後，如果已發現 任何劣質晶片時，此自動裝載機5自動地移動此晶片至一 顯微鏡2,目此，為此晶片r更詳細檢測係藉使用一接目 鏡4及-物鏡3實施，以便能獲得未能在自動裝載器$内由 肉眼檢查所測得之資料。 口 10係放置在顯微鏡2之下面，被真空吸引之 晶片1自自動裝載器5轉移，並移動晶片丨上〆下及前/後 亦即，在Χ-Υ轴方向中，如此，該顯微鏡2檢查晶片之 整個表面。 傳統式Χ-Υ台1〇，如第2圖和第3圖内所示者，包含： 一晶片夾持具11，它係可轉動並以真空吸住自自動裝載器 5所傳遞之晶片者；—χ__動板12，它係可移動於乂袖 方向中並有晶片夾持具^在其表面上；兩個Υ軸移動板Μ ，它們係被放置在x_軸移動板12之兩邊上以—軸承21在 X軸移動板12和每一 Υ-軸移動板之間，導引χ_軸移動板 之Χ-軸方向中移動，並係可移動於沿著與乂_軸移動 國家榇準（CNS ) Λ4規格（2!0Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填耗本頁) '裝. 、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（3 ) —— 板12之-γ_袖方向中；以及—固定板16，它係在顯微鏡 下面被固定，導引Υ-軸移動板14和乂_軸移動板12之1軸 方向移動，並支承這些板。 此外，一操縱桿13係裝設在乂_軸移動板12之一端上 ，因此，當晶片1係急速地移動時，該操作者緊握此义軸 移動板12較易於.移動板動它前/後及上/下以及一雙控 制把手24係裝設在一 γ-軸移動板連接桿1?上，此雙控制 把手24控制晶片i之移動距離，亦即’分別地χ_軸和γ_軸 移動距離。 雙控制把手24之一 X-軸控制把手22和一 ¥_軸控制把 手23係分別地以齒輪聯結器連接至一 χ_軸小齒輪18和一 Υ-軸小齒輪20。一 X-軸齒條17和—γ_軸齒條14，它們係 以齒輪分別與X-軸小齒輪18和丫_轴小齒輪2〇聯結者，係 固疋在X-轴夢動板I.2和此固定板16上。 因此，依照此像統式齒輪聯結型之乂_丫台1〇，吾人可 能分別地藉轉動雙控制把手24之χ_軸控制把手22和¥_軸 控制把手23來移動晶片isx—軸方向中或γ—軸方向中，以 及在同一時間，當操作者緊握此操縱桿13時可以高速迫使 移動此X-軸移動板12和γ-軸移動板14(於高速移動中由於 齒輪聯結產生負載）。 不過’此齒條和小齒輪係於高速移動或顯微鏡距離移 動中經常由齒輪聯結來驅動，因此由齒輪磨擦所產生之微 粒不良地如此經常地影響晶片，以及此外，由於因經常移 動及較重負載’亦即空檔現象，嚴重之齒輪磨耗在齒條之 本紙張尺度適用中國國家標準（cns (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
6 五、發明説明（4 A7 B7 經濟'邵中央標準局'貝工消費合作社印f. 央β刀上而使齒輪之間之^隙發生，以及齒輪機械及其 構件之*命係於因為上述空彳#之晶片移動㈣磨耗而縮短 〇 此外，除非此固定板保持水平向狀態’否則此X-軸 移動板及Y-軸移動板係朝向傾斜之邊落下，因此當觀測 及攝取照片時此點係未聚焦。 另外，除了應用於齒條上之麗力外，大部分之壓力係 f中在與小齒輪之接觸-邊，齒輪之大小係耽視齒條之固 疋P刀而不同，以及其結果，則使晶片之活動係不均勻。 此外，當晶片之高速移動時，此齒條和小齒輪係以相 互吻合地被迫地移動’因此，吾人雖以期望有充分之活動 ，以及在移動速度上有某些限制。 本發明概述 本發明係針對提供一χ_γ台用以防止微粒及震動之發 生，提供均勻之運輸，並藉應用皮帶驅動方式及避免齒輪 磨耗而改進設施之耐久性，它大體上避免了—個或多個由 於相關技藝之限制及缺點之諸問題。 本發明之另一目的係在提供一Χ-Υ台，藉選擇性地抬 起在其上之皮帶而於晶片之高速移動中，用以提供讓其移 動速度之容易控制，用以提供晶片之細微移動，以及用以 防止此晶片於顯微鏡檢查時或攝影時不會搖動。 要達到此等及其他優點，以及依照本發明之目的如具 體實現及廣泛地說明者’-Χ-Υ台，用以移動某-物體於 X方向或γ方向中，以便能檢查此物體之一定位置，此x_ 請 先 閲 讀 背 之 注 項 再 頁 訂 ffk 本紙张纽4則’剩家轉（CNS) A4規格（21()><297公囊 7 經#:‘部中央榀準而负工消货合作私卬製 A7 s---—--------------------B7 五、發明説明（5 ) ~ ~ ~~-- Y台包含：-χ_轴移動板有—夹持裝置在其上表面並移動 於X-軸方向中；軸移動板有此χ_軸移動板裝載於其 導引此X-轴移動板之χ_軸移動，為其本身移動於γ_ 軸方向中；一固定板有Υ-軸移動板被裝载於其上，並引 導此Υ-軸移動板之γ_軸移動，其一端係固定於一弩施上 供檢測用；一χ_軸驅動裝置有皮帶沿著又_軸方向伸展， 以便能移動此X-軸移動板於Χ_軸方向中；一 γ—軸驅動裝 置係安裝於固定板上並有皮帶沿著γ_軸方向伸展，以便 能移動此Υ-軸移動板於γ_軸方向中。 此外’較適當者’此γ_軸移動板包含兩個板，它們 是非常靠X-軸移動板之兩邊上放置，引導χ_軸移動板之Χ-移動’以及兩個板之底部係藉橫越χ_軸移動板之底部所 伸展之一Υ-軸移動板連接桿而相互地連接。 較適當者，此固定板係與連接Υ_軸移動板之底部之γ_ 軸移動板連接桿聯結，並導引γ_軸移動板之γ—軸滑移。 此外’此X-軸驅動裝置包含：一 X-軸從動滑輪由χ_ 軸移動板連接桿所支承以便能予以可自由地轉動；一 χ_ 軸驅動滑輪由Υ-軸移動板所支承，以便能予以可沿著χ_ 軸以背離X-軸從動滑輪之一定距離而自由地轉動，並傳 遞此驅動力量至X-軸從動滑輪；一 X-軸皮帶經伸展於此χ_ 軸驅動滑輪和此X-軸從動滑輪之間，以便能可沿著χ_轴 方向移動，其一端選擇性地由固定在X-軸移動板上之皮 帶夾持裝置緊握；以及一 X-軸控制把手，以被安裝在Υ-軸 移動板上用α移動此X-軸移動板於X-軸方向中，以便能可自由地 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )六4規格（210X297公釐）
五、發明説明（6 轉動，並連接至X-軸驅動滑輪以便能轉動此χ_轴驅動滑輪。 此Υ-轴驅動裝置包含：兩終軸從動滑輪由固定板 所支承’以便能以相互背離之一定距離而可自由地轉動； Υ軸皮帶伸展於兩個γ_軸從動滑輪之間，以便能沿著Υ_ 軸方向移動，其一端由—固定於固定移動板上之皮帶夾持 裝置選擇性地緊握；-γ_轴驅動滑輪由γ_轴移動板所支 承以便能可自由地移動，同時以切線地連接γ·軸皮帶之 内邊或外邊上，以及此γ_軸皮帶由皮帶夾持裝置所緊 握，此Υ-軸驅動滑輪沿著此γ_軸皮帶之一邊轉動，並隨 著Υ-軸移動板移送其位置至Y-軸方向；以及一 γ_軸控制 把手舆υ軸驅動滑輪相連接並轉動此γ-軸驅動滑輪。. 此外’固定在X-軸移動板上及固定在固定板上之皮 帶夾持裝置分別地包含：一壓力應用裝置經安裝以便可能 與X-軸皮帶和γ_軸皮帶分別地相連接，並藉選擇性地與 皮帶連接而施加壓力於皮帶之一部分，以便能停止各自之 皮帶之移動；以及一控制裝置，藉應用控制信號於壓力應 用裝置上，用以控制此壓力應用裝置。 此壓力應用裝置包含：一皮帶外殼有皮帶穿透其間， 由是而容許皮帶之可撓性移動；一止動器安裝於皮帶外殼 上’並選擇性地與傳送通過此皮帶外殼之皮帶之一面接觸 ;以及一彈性構件安裝於皮帶外殼之裡面，並應用一還原 力量至此止動器，因此該止動器朝向皮帶移動。 此外，此控制裝置包含一鋼絲，以連接至此止動器用 以選擇性地使此止動器退回，以及一鋼絲控制裝置用以控 本紙張尺度適州t國國家標準（‘CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意^項再填寫本頁) 、裝·
,tT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 i、發明説明（7 ) 制此鋼絲之張力。 吾人瞭解，即兩者之前文概述以及下列詳細說明係示 範性及解釋性，並係有意來提供本發明之進一步解釋一如 申請專利範圍之訴求。 附圖之簡要說明 在附圖中： 第1圖係一正視圖，顯示該傳統或χ·γ台係與一顯微 鏡系統安裝； 第2圖係一平面圖，顯示第1圖之傳統式χ-γ台之内部 結構； 第3圖係一分解透視圖，顯示第2圖之傳統式χ_γ台； 第4圖係一正視圖，顯示依照本發明之一實施例之與 一顯微鏡系統所安裝之χ_γ台； 第5圖係一平面圖，顯示第4圖之χ_γ台之内部結構； 第6圖係一分解透視圖，顯示第5圖之χ_γ台； 第7圖係一侧橫截面圖，顯示第6圖之皮帶夾持裝置； 第8圖係一侧橫截面圖，顯示第6圖之操縱桿；以及 第9圖係一侧橫截面圖，顯示第6圖之雙控制把手。 較佳實施例之詳細說明 茲以本發明之較佳實施例之細節作為基準，其範例係| 說明於附圖中。 首先，於用於一晶月之肉眼檢測係在一有控制晶月之 反射角度之功能之自動裴載檯5内實施，以及如果任何劣 質者係經發現之後，它係藉此自動裝载台5而移動至一顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)
10 A7 ----------------B7 五、發明説明（8 ) , 微鏡2 ’其中’ 一如第4圖内所示，此詳細資料之未能為裸 眼所測得者係藉使用顯微鏡2之一接目鏡4和一物鏡3來達 成。 本發明之X-Y台40係在顯微鏡2下安裝，自自動裝載 台5接收晶片1，使此晶片1與真空吸力相結合，並移動此 晶片1前/後及左/右，亦即χ_γ方向，因此，此顯微鏡2 檢測晶片1之整個表面。 亦即’如果一操作者緊握安裝在本發明之χ_γ檯4〇内 之一操縱桿43，並推動此推桿72時，皮帶沿著χ_γ方向之 之自由運動即屬可能。如果它使推桿72回到原位，此χ_γ 台之運動係由雙控制把手所限制，同時吾人可能來精確地 藉雙控制把手54之轉動來移動此χ_γ台。 一如第5圖和第6圖内所示，本發明之χ_γ台4〇在又-軸 方向或在Υ軸方向水平向地移動此晶片卜以便能檢查晶 片1之特殊部分。一X-軸移動板42以一晶片夾持具41安裝 在其上表面而移動於X-軸方向中，其中此晶片夾持具41 .固定此晶片1，- Υ-軸移動板44安裝此χ_轴移動板42在其 上以藉以導引X·軸移動板42之1軸移動，同時亦為其本 身移動於Υ-轴方向中一固定板46安裝此γ_軸移動板44 在其上以藉以導引γ·軸移動板44之丫_軸移動，以及其一 端係被固定於顯微鏡之下面部分之底下。 、 它亦包含X-軸驅動裝置係安裝在Υ—軸移動板44上， 並有-X-軸皮帶62沿著X-軸方向伸展，以便能移動此χ_ 軸移動板於X-轴方向中；-γ_軸驅動I置係安裝在固定 本紙張尺度顧t關料牌（CNS ) A4規格（210X297公釐、~~~~~~
In I- I —I— nn -------- I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經分-部中夾榀^-^H工消汝合作私卬？4 11 A7 —------------------- 五、發明説明（9 ) ~~~ ' 板46上，並有一 γ_軸皮帶65沿著γ_軸方向伸展，以便能 移動此Υ-軸移動板於Υ-抽方向中。 在此，此Υ-軸移動板44包含兩個板係非常靠近地放 置在導引X-軸移動板42之X-軸移動之又_軸移動板42之兩 邊上，以及兩個板之底部係藉一 γ_軸移動板連接桿45橫 越X-軸移動板之底部而相互連接。 在此，一平面軸承51係經安裝於χ_軸移動板42和¥_ 軸移動板44之間’以便能減少由於它們兩者之間之磨擦之 超負載。 適當地此固定板46係與連接兩個γ_軸移動板44之底 部之Υ-軸移動板連接桿45結合，並導引γ_軸移動板44之丫_ 轴滑移。 同時，吾人可能來安裝一軸承（圖中未顯示）以減小固 定板46和Υ-軸移動板44之間之磨擦。 同時，X軸驅動裝置包含：一 X-轴從動滑輪6〇由γ—軸 移動板44所支承以便能自由地轉動；一 χ_軸驅動滑輪61 由Υ-軸移動板44所支承，以便能沿著X-軸背離此χ_軸從 動滑輪60而自由地以一定距離轉動，並傳遞此驅動力量至 X-軸從動滑輪；一 X-轴皮帶62伸展於X-軸驅動清輪61和X-軸從動滑輪60之間以便能沿著X-軸方向移動，其一端選 擇性地由固定在X-軸移動板42上之一皮信夾持裝置7〇所 緊握；以及一 X-轴控制把手5 3用以移動X-軸移動板於χ_ 軸方向中，以係安裝在Υ-軸移動板連接桿45上以便可以 自由地轉動，並連接至X-軸驅動滑輪61以便能轉動此χ_ 本紙張尺度適州中國國家標隼（CMS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公.¾ ) 12 ----------',k裝 II I - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T A7 B7 五、發明説明（10 軸驅動滑輪61。 如果轉動此X-軸控制把手53，此X-軸驅動滑輪61即 轉動，以及X-軸皮帶62係移動於X-軸從動滑輪6〇和又_軸 驅動滑輪61之間，以及因此以皮帶夾持裝置7〇緊握此 轴皮帶62 ’此X-軸移動板48係沿著X-軸方向移動。 不過’如果皮帶夾持裝置70並未緊握此X_軸皮帶62 時，此X-軸控制把手53之處理即沒有與Χ-軸移動板42之 運動之連接。 此Y-軸驅動裝置包含：兩個γ_軸從動滑輪63由固定 板46所支承，以便能以相互背離之—定距離而可自由地轉 動；一Υ-軸皮帶65伸展於兩個γ_軸從動滑輪63之間，以 便能可沿著Υ-軸方向移動，其一端由固定在固定移動板46 上之一皮帶夾持裝置73選擇性地緊握；軸驅動滑輪 由Υ-軸移動板連接桿45所支承以便能自由地轉動，並以 切線地接觸著Υ-軸皮帶65之一内面或一外面而γ_軸皮帶 65由皮帶夾持裝置73的緊握，此γ_軸驅動滑輪64沿著γ_ 軸皮帶65之一面轉動，並隨因此γ—軸移動板料轉移其位 置至Υ-軸方向；以及一 γ_軸控制把手52與丫_軸驅動滑輪料 相連接，並轉動此Υ-軸驅動滑輪64。 如果此Υ-軸控制把手52係被轉動，此γ_軸驅動滑輪64 切線地接觸於Υ-軸皮帶65之内面或外面上者係被轉動， 但不像X-軸皮帶62，此Υ-軸皮帶65係由皮帶夾持裝置73 所固疋以緊握此γ_軸皮帶6 5，俾使Υ-轴驅動滑輪64切線 地移動在Υ-軸皮帶65之内面上者，隨同有丫_軸驅動滑輪64 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2ΙΟΧ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 13 經來-部屮央榀率而只工消於合作社印衆 A7 B7 五、發明侧（11 ) ~ ~~~ -- 固定在其上之Y-軸移動板44而移動於丫_軸方向中。 不過’如果此皮帶夾持裝置73並未緊握此γ_轴皮帶65 時，則Υ-軸控制把手52之轉動即與γ_軸移動板料之運動 沒有關連。 此外，如第7圖内所示。此皮帶夾持裝置乃之固定於 固定板46上者包含：一壓力應用裝置經安裝以便可能地與 Υ-軸皮帶65之一部分接觸，並藉選擇性地與此皮帶接觸 而加壓此皮帶之一部分以便能停止γ _軸皮帶6 5之移動； 以及一控制裝置，藉應用控制信號於壓力應用裝置上，用 以控制此壓力應用裝置。 此壓力應用裝置包含：一皮帶外殼81有¥_軸皮帶穿 透通過其間’藉以容許Υ-軸皮帶65之可撓性移動，一止 動器82安裝在皮帶外殼81上，並選擇性地與傳送通過此皮 帶外殼81之Υ-軸皮帶65之一面接觸；以及一線圈彈簧83 安裝在皮帶外殼81之内面並對止動器82應用一復原壓力， 因此’止動器朝向此皮帶移動。 在此，一細繩形鋼絲80，用以移動此止動器82之位置 者，係連接至此止動器82。 此外’要緊握此X-軸皮帶62之皮帶夾持裝置20之構 造可以完成如上文。 此際，一如第8圖内所示，此控制裝置包含一鋼絲80 ，以其一端連接至止動器82，用以選擇性地使此止動器82 退回，以及一鋼絲控制裝置，以接觸至鋼絲80之另一端， 用以控制鋼絲80之張力。 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁，>
本紙張尺廋適用t國國家標準（CNS )八4規格（210Χ297公釐） _ 14 - 五、發明説明（l2 ) A7 B7 經沪部中次榀率^、-|!工消货合作41印？木 在此’此鋼絲控制裝置包含：一鋼絲管71以包封此鋼 絲80以便能保護此鋼_，傳遞鋼細之張力變化至止動 器82,並係以有可撓性之材料製成，因此它可撓式地移動 ;以及-壓條72,其一端與鋼絲8〇連接，以及其另一端被 支承供置中-支承點74而轉動，其中此另—端之槓桿率之 作用拉動此鋼絲80以產生張力。 因此，在正常狀態（鋼絲之開釋）時，此皮帶夾持裝置 7〇, 73分別地以各線圈彈簧8〇之壓力之裝置緊握χ_軸皮 帶62和Υ-軸皮帶6S，以及在控制狀態（鋼絲之拉幻時，由 於各鋼絲移回，以及用於χ_軸皮帶62和¥_軸皮帶Μ之止 動器82之控制係減小，吾人必賴作此壓條72以便能控制 鋼絲之張力，俾使此皮帶夾持裝置7〇，73係選擇性地被控 制。 作為壓下裝置及控制裝置，此皮帶夾持裝置7〇，73選 擇性地控制此X-軸皮帶62和孓軸皮帶65，以及吾人藉此 一技藝中有關之那些裝置而瞭解，即上述皮帶夾持裝置可 以取代以各種不同之機械或電子之皮帶夾持裝置。 此際，此X-軸移動板42有一操縱桿43在其一端上突 出’俾使一操作者以手直接地緊握並易於移動此χ_軸移 動板42及Υ-軸移動板44，以及此操縱桿43有一壓條72安 裝在其一邊上，以便能拉動此鋼絲80(張力之應用），並當 此操作者直接地以手急速地移動此χ—軸移動板42或Y-軸 移動板44時，拾起X-軸皮帶62及Υ-軸皮帶65上之皮帶 持裴置70，73，俾使此皮帶係自由地移動，以及其在 夾 X- ----:--：——J4 II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 本紙張尺度適财_家辟（CNS ) Α4規格（2丨GX297公釐 15 A7 B7 五、 經#、部屮央I:?.率而妁Η消赀合作私印？木 發明説明（13 ) 軸移動板42，Y-軸移動板44，以及固定板46上之控制係 開釋。 此際，此X-軸皮帶62，Y-軸皮帶65，以及滑輪組合 引用定時皮帶類型以便能確切地控制皮帶之運動。 因此’此止動器82有一凹/凸形以符合皮帶之表面。 此外’ 一如第9圖内所示，本發明之雙控制把手54 — 係經以此一方式構造如雙功能型，即χ_軸控制把手5 3滲 透此Υ-軸控制把手52，以便當移動晶片i精確地在又_軸或 Y-軸内時，獲得操作上之方便。 雙控制把手54之此X-軸控制把手53和γ_軸控制把手 52係與X-軸驅動滑輪61&γ_軸驅動滑輪Μ相連接，以及 此雙控制把手54係由連接桿45與一軸承54以倮可自由地轉 動之Υ-軸移動板所支承。 在此，較適當者，雙控制把手54之表面係如粗糙， 缺口地形成。 、 本發明之晶片夾持具41適當地有一裝置作真空吸引 晶片1並水平向地轉動它，俾使操作者水平向地移動此 片1並在同一時間水平向地轉動它。 此外’在固定板46上者係經安裝一防震裝置(圖中1、 顯示）以杜絕震動自設施傳遞至晶片卜以及—水平向控^ 裝置（圖中未顯示）以保持此晶片1之水平狀態。 口此依3本發明之χ_γ台，當將晶片直線對準戈各 速地移動板動此晶片1為晶片上之-特殊位置時，如果： 相作者緊握細縱;^43並下壓操縱桿43之壓條72時，此壓條 或 此 曰曰 未 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 本紙張尺細中國國家標準( 16 - 經M-‘部中*榀卒^1,;-|工消费合作扣卬^ A7 _________________B7 五、發明説明（Η) , ~~ 72在同一時間推動連接至兩個皮帶夾持裝置7〇，73之兩根 鋼絲80，如果兩個被推動之鋼絲80之張力超過線圈彈簧83 之復原力量時’此止動器82移回，此X-軸皮帶62和Y-轴 皮帶65之由皮帶夾持裝置70，73所緊握者即可自由地移動 〇 因此’藉雙控制把手54之裝置來移動X-軸移動板42 和Y-軸移動板44之驅動力量之傳遞路線係被阻塞，以及 此X-軸移動板42和Y-軸移動板44係以高速移動而與雙控 制把手5 4無關。 依此，微粒或機械磨損之在傳統式裝置令發生者係基 本上被防止。 此際，放置此晶片後，特別是在其上之一特殊蕊片在 一顯微鏡之接目鏡下，如果必要時以精確地移動晶片用以 攝取照片或非常靠近它來作檢查，此操作者使第6圖之壓 條72(原係由操作者所握持者）移回至適當位置俾使鋼絲係 被開釋，線圈彈簧83之復原力量推動皮帶夾持裝置73之止 動器82，以及X-軸皮帶62和γ_軸皮帶65係由止動器82所 握持者。 其結果’要移動此χ_軸移動板42和¥_軸移動板44之 此驅動力量之傳遞路線係再次地連接，因此，此雙控制把 手54控制此χ_軸移動板42和丫_軸移動板料。 亦即’操作者控制此χ_軸控制把手53和¥_軸控制把 手52，匕們係連接至X-軸驅動滑輪61和γ_軸驅動滑輪64 ，俾使X-軸移動板42和Υ-軸移動板44係隨轉動角度變化而 I— n - - - I n I _ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用 ( CNS ) A4*#. ( 210X297.JF) 五、發明説明（is 精確.地移動 A7 B7 因此’雙控制把手之使用僅在精確運動對增加設板壽 命，奉獻之需要上’並防止係在傳統式情況中之空檔現象 ，因此，晶片之移動於顯微鏡檢測時或照片之攝取時係經 防止。 此外本發明之X-Υ台係以變化X-轴和γ—軸驅動滑輪 之直担來製造’以及可能地’此控制把手之精確度係經控 制。同時，依照X-軸皮帶和¥_軸皮帶之形，於一晶片之 精確運動中藉控制没施之負載。吾人可很容易地來提供最 優良之設施。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經^.部中央i?=準而，.;!工消贽合作it印衆 依,、、、本發明之上文所說明者，藉使用皮帶驅動方法而 沒有齒輪磨擦，由是而防止微粒或振動之發生，獲得均衡 之運動，改進耐久性，並可選擇性地抬起皮帶驅動器。因 此，晶片之移動速度係自由且易於控制，亦即，於高速移 .動或分毫移動中。同時，晶片之移動於顯微鏡檢查或照片 攝取時係經防止。 仍須進一步說明者，雖然本發明業已詳細說明，但應 瞭解者’即在不背離由附錄之中請專利範圍所界定之树 明之精神和範圍時，各種不同之改變，取代及選擇仍可對 其形成。
本紙張尺废^) A4 規格（210X297g·
五、發明説明（l6 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印" 1…晶片 2…顯微鏡 3…物鏡 4…接目鏡 5···自動裝載機 10…X-Y台 11…晶片夾持具 12…X-轴移動板 13…操縱桿 14…Y-轴移動板 15…Y-軸移動板連接桿 16…固定板 17…X-軸齒條 1 8…X-轴小齒輪 19…Y-轴齒條 20…Y-轴小齒輪 21…轴承 22…X-軸控制把手 23…Y-軸控制把手 24…雙控制把手 40--.X-Y 台 41…晶片夾持具 42…X-轴移動板 元件標號對照 43···操縱桿 44…Y-軸移動板 45…Y-軸移動板連接桿 46…固定板 5 1…平面軸承 52…Y-軸控制把手 53···Χ-軸控制把手 54…雙控制把手 60…X-軸從動滑輪 61…X-軸驅動滑輪 62…X-軸皮帶 63…Υ-軸從動滑輪 64…Υ-軸驅動滑輪 65…Υ-軸皮帶 70，73…皮帶夾持裝置 71…鋼絲管 7 2…推桿壓條 7 4…支承點 80…鋼絲 81…皮帶外殼 82…止動器 83…線圈彈簧 8 4…轴承 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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Claims (1)

  1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 公告本 g ~ - - D8 Μ·»ι^ι· ι·ι·. <[ριι _ 六、申請專利範圍 I 一種X-Y台，用以移動一定之物體於χ方向或γ方向中 ，以便能檢測物體之一定位置者，此χ_γ台包含： 一 X -抽移動板之有一物體夾持裝置在其上表面並 移動於X-轴方向中； Υ-軸移動板之有此X-轴移動板裝載其A，導引 此X-軸移動板之X-轴移動並為其本身移動於γ_軸方向 中； 一固定板之有此Υ-軸移動板裝載其上，並導引γ_ •軸移動板之Υ-軸移動，其一端係固定於一顯微鏡之下 面部分之底下； 一 X-軸驅動裝置、有皮帶沿著χ_軸方向伸展，以 便能移動此X-軸移動板於χ_軸方向中；以及 一 Υ-軸驅動裝置，有皮帶沿著γ_軸方向伸展，以 便能移動此Υ-軸移動板於γ軸方向中。 2.如申請專利範圍第i項之χ_.γ台’其中此γ_抽移動板包 含兩個板，它們係靠近導引χ_軸移動板之乂_軸移動之 X-轴移動板之兩邊放置，以及此兩板之底部係藉橫越 此X-軸移動板之底部伸展之一 γ_軸移動板連接桿而相 互連接。 3·如申請專利範圍第2項之χ_γ台，其甲一軸承係安裝於 X-軸移動板和每一 γ_軸移動板之間。 4.如申請專利範圍第i項之χ_γ台，其中此固定板係與連 接Υ-軸移動板之底部之γ_軸移動板連接桿結合，並導 引此Υ-軸移動板之γ_軸滑移！。 尺度it财酬雜準（CNS} ( 210X297公釐）
    經濟部中央榡準局員工消費合作社中製 六、申請專利一----— / 5_如申請專利範圍第1項之Χ_γ台，其中此χ·軸驅動裝置 包含： 一 χ-軸從動滑輪由Υ-軸移動板两支承以便可以自 由地轉動； 一 X-軸驅動滑輪由Y-軸移動板所支承，以便可以 沿著X-轴背離X-轴從動滑輪之一定距離予以自由地轉 動，並對此X-軸從動滑輪傳遞此驅動力量； X-軸皮帶伸展於X-軸驅動滑輪和χ_軸從動滑輪 之，’以便可沿著χ_軸方向.予以移動，其一端係由一 固定在Χ-.軸移動板上之皮帶夾持裝置選擇性地繁握； 以及 一X-軸控制把手’以被安裝在γ_軸移動板上，用 以移動此X-軸移動板於χ軸方向中，以便能可以自由 地轉動並連接至χ_軸驅動滑輪以便能轉動此χ_軸驅 動滑輪。 6·如申叆專利範圍第1 α：員之台，其中埤γ_袖驅動裝置 包含： 兩個Υ_軸從動滑輪由固定板所支承，以便能以相 互背離之一定距離予以自由地轉動； 一 Υ-軸皮帶伸展於此兩個Υ-軸從動滑輪之間，以 便能沿著Υ-軸方向移動，其一端由固定在固定移動板 上之一皮帶夾持裝置選擇性地緊握；. 一 Υ-勒艇動滑輪由Υ-軸移動板所支承以便能予以 自由地轉動’以及以切線地接觸於由皮帶夾持裝置所 本紙張尺度適财晴家標準（CNS) ------ C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線_ __ 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 A8 Βδ C8 ---- -08 _ 六、申請專利範園 緊握之Υ-軸皮帶之一内面或反面上，此γ_軸驅動滑輪 /;σ著Υ-軸皮帶之一面轉動，並隨著Υ-軸移動板轉移其 位置至γ-軸方向；以及 一 Υ -軸控制把手與γ _軸驅動滑輪相連接並轉動此 Υ-轴驅動滑輪。 7. 如申請專利範圍第5項或第6項之Χ-Υ台，其中此固定 在X-軸移動板上以及固定在此固定板上之皮帶夾持裝 置分別地包含： 一壓力應用裝置經安裝以便可能地分別與χ_軸皮 帶及Υ-軸皮帶之一部分相接觸，以及藉選擇性地與此 皮帶接觸而施壓一部分之皮帶以便能停止各自之皮帶 之移動；以及 一控制裝置’用以藉應用控制信號在壓力應用裝 置上而控制此壓力應用裝置。 8. 如申請專利範圍第7項之χ_γ台，其中此壓力應用裝置 包含： 一皮帶外殼之有皮帶穿透通過其間者，藉以容許 皮帶之可撓性移動； 一止動器安裝於皮帶外殼上，並選擇性地與傳送 通過此皮帶殼之皮帶之一面接觸；以及 一彈性構件安裝在皮帶外殼之内面，並對止動器 應用復原力量，因此該止動器朝向此皮帶移動。 9·如申請專利範圍第8項之χ·Μ，其中此彈性構件係一 線圈彈簧。 本紙張尺度適用中國國家標^t^n-s) Α4· (210χ297公整） -----_____ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)
    々、申請專利範圍 H)·如申請專利範圍第7項之X_Y#，纟中此控制裝置包含 一鋼絲，以經連接至此止動器而用以選擇性地使此止 動器退回，以及-鋼絲控制褒置用以控制鋼絲之張力 U·如申=專利II圍第10項之XM，其中此鋼絲控制裝 置包含· . —鋼絲管用以包封此鋼絲以便能保護此鋼絲，傳 遞鋼絲之張力變化至此止動器，並係以有可撓性之材 料製成，因此它可伸縮地移動；以及 一壓條，其一端與鋼綵相連接，以及其另一端轉 置中1承點’其中另—端之槓桿作用拉動此鋼絲 以產生張力。 12·如:請專利範圍第！項之χ_γ台，其中此χ_轴移動板有 操縱扣經犬出於其一端上，俾使操作者直接地以其 手握持而易於移動此Χ_軸移動板和γ_轴移動板。 經濟、部中央標準局員工消費合作社印製 13. 如申曰請㈣範圍第12項之χ_γ台，此壓條經安裝於操 縱桿之邊上，當他以高速直接地以操縱桿移動χ—轴 移動板# Υ轴移動板時，用以提供對軸皮帶和Υ_軸 皮帶之容易控制，其中此壓條拉，動連接至該處之鋼絲 ’並應用鋼絲之張力在皮帶夾持«上以固定此皮帶 乂便此使X軸皮帶和γ_轴皮帶自由地移動，並抬起 在X-軸移動板，γ_轴移動板，及固定板上之皮帶炎持 裝置之結合。 14. 如申請專利範圍第5項之Χ-Υ台，其中此X-軸皮帶和X- 本紙張从適财關緖準（CNS) 申請專利範圍 軸滑輪之組合係定時皮帶型。 15·如申請專利範圍第6項之χ_γ台，纟中此Y-轴皮帶和γ_ 軸滑輪之組合係定時皮帶型。 16.如申請專利範圍第8項之χ_γ台，其中止動器之表面係 /、疋時皮帶之凹/凸相符合之凹/凸形態。 17’如申請專利範圍第5項之χ_γ台，其中此χ_軸控制把手 係以此一方式構造，即此轉動軸穿透此γ·轴控制把手 作為雙控制把手’當一操作者精確地移動一物體.至I 軸方向或一γ_軸方向時俾易於操作。 ‘如申明專利範圍第6項之χ_γ台，其中此丫_軸控制把手 係如此一方式構造，即轉動軸穿透此χ_軸控制把手作 為雙控制把手，當一操作者精確地移動一物體至一 Χ_ 軸方向或至一 γ_軸方向時俾易於操作。 如申明專利111圍第1項之Χ_Υ台，其中此物體夾持裝置 係—晶片炎持具以真线住—晶4，並以水平向地轉 動此晶片。 20.如申請專利範圍第i項之χ_γ台，其中一軸承係經安裝 於X-軸移動板和γ_轴移動板之間俾易於滑動。 21·如申請專利範圍第i項之χ_γ台，其中—料係經安裝 於γ-軸移動板和固定移動板之間俾易於滑動。 2=申請專利範圍第i項之χ·γ台，易包含—防震装置， 匕係安裝於固定板内並防止振動之不會傳遞至此物體 23.如申請專利範圍第」項之χ·γ台，另包含_水平向㈣ 本...氏張尺度適用㈣國家標準（CNS )祕級（2獻297公酱 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ------------1----^------ίτ-----______ In n ABU I I— 24 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 申請專利範圍 裝置，它係安裝於固定板内並保持物體之水平向狀態 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 25 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐）
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