TW396258B - Device for distributing a working gas and installation for supplying a working gas that is equipped with such a device - Google Patents

Description

A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（/ ) ί 本發明係有關於一種可用以分配一工作氣體之裝置， 並且係有關於一種可用以提供此等工作氣體之設備，特別 是可用以製造在微電子工業之中所使用的電路。 電子電路的製造係需要使用各種所>謂的”工作”氣體， 舉例而言，例如是氯（c 1 2 )，氨（Ν Η 3 )，氫氯酸（Η C 1 )，氫溴酸（Η B r )，三氟化氮（N F 3 )或六氟化 鎢（WF 6 )等等的氣體，其中大部分的工作氣體係被認爲 有害於人體，此係因爲該等工作氣體的毒性和/或易燃性 所致。 ' '這也就是爲何此等工作氣體必需被儲存於加壓汽缸之 中’其中該等加壓汽缸係成對地被裝設於氣體供應設備之 中，而該等氣體供應設備亦已知爲“氣室”。此一設備係 包括有一具有可控制抽取作用之安全室，以及一可用以分 配該被包含於該安全室之中的工作氣體之裝置。 該分配裝置係包括有可用以供應氣體，沖洗以及抽取 氣體之連續的管路係被連接到該兩加壓汽缸之上，裝設於 該等管路之中的閥門係可被使用以調節經由該等管路之中 的工作氣體之流量，以及氣體洩漏檢測器和壓力感應器係 可用以測量該管路中之現有的壓力，以便能夠用以監控該 設備的操作狀態。 該等閥門係可被調節，以及從該等氣體洩漏檢測器和 壓力感應器之中開始的各種信號係可藉由一命令控制單元 而被拾取並被利用。 舉例而言，該命令控制單元係包括有一程式控制器’ 4 (請先閱讀背面之注意亨項再填一 •裝— "訂 〇 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） A7 __B7_ 五、發明説明（上） i 以及一被連接到該程式控制器的顯示器和控制面板。 該設備之一方塊圖係可被繪製於該控制面板之上。有 許多的發光指示器係被裝設於該控制面板之中，其中該每 一發光指示器係可配合一特定的警報而^能夠用以使得一負 責監控該設備的操作人員能夠警覺到該#警報的發生。此 外，該控制面板之上亦安裝有開關，而可用以命令該等閥 門，藉此將可容許該設備能夠藉由手控之方式被操作。更 進一步地，各種被裝設於該控制面板之中並可藉由該程式 控制器來控制的顯示器係可顯示出該等感應器所拾取之測 量値。 由於具有多個指示器，開關以及顯示器，因而該顯示 器和控制面板在乍看之下似乎相當複雜，並且對使用者而 言並非具有相當的親和力，此即表示將需要相當長的學習 過程以便能夠訓練一將要負責監控該設備的操作人員。 本發明之目的係針對藉由提供一種被裝配具有一對使 用者更具有親和力的顯示器和控制介面之分配裝置以能夠 減少以上所提到的缺點。 基於此一目的，本發明的主題係爲一镡可用以分配一 工作氣體之裝置，該裝置係包括有連續的管路係被連接到 該工作氣體之至少一來源之上，並且係被連接到至少一輸 出管之上，而可用以將該工作氣體輸送到一消費站，功能 元件’特別是閥門，係被裝設於該等管路之中，並且係可 被使用以調節經由該等管路之中的工作氣體之流量，以及 氣體洩漏檢測器，以及一命令控制單元係包括有一機構係 ____ 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 ____B7 ____ 五、發明説明（i；) i 可與該等功能元件連通，一機構係可用以控制與該等功能 元件有關的工作，以及一機構係可用以操作該控制機構， 其中該機構係可被該分配裝置之操作者啓動，該分配裝置 之特徵在於，該操作機構係包括有一接*觸感應螢幕係具有 .主要控制區係可用以配合相對應之工作ή控制，該等主要 控制區係藉由圖解而被界定，其中該等圖解係可用以配合 該等工作，並且係可永久地被顯示於該接觸感應螢幕之上 0 根據本發明的分配裝置係可附帶地具有隨後所述之一 種或是多種特徵： -針對該至少一主要控制區而言，該接觸感應螢幕係 包括有至少一第二控制區係可配合該至少一主要控制區， 並且係有關於一指示而可用以控制該對應於該至少一主要 控制區的工作，該至少一第二控制區係藉由一圖解而被界 定，其中該圖解係可用以配合該指示，並且只有在當該對 應的主要控制區被操作者啓動時才會被顯示於該接觸感應 螢幕之上。 -該接觸感應螢幕係包括有一第一區域係可針對該等 主要控制區而特別地被保留，以及一第二區域係不同於該 第一區域，並且其目的係可用於該等第二控制區。 -該接觸感應螢幕係更進一步包括有一第三區域係不 同於該第一區域和第二區域，並且係被保留而可用以顯示 與一藉由操作者所啓動之主要控制區有關的資料。 -該操作機構係附加地包括有一機構係可用以在該接 ____ 6 "^^尺度適用中函_國£標準（〇阳）八4規格（210/ 297公釐） ~ 五、發明説明（屮） 厂 觸感應螢幕之上指定一已經被操作者啓動的控制區域。 -一藉由該控制機構所控制的工作係有關於管理並且 特別是有關於在該接觸感應螢幕之上顯严出該等功能元件 所檢測出的警報信號’並且該接觸感應蛋幕的該等主要控 制區域中之一者係爲一可用以啓動該等#拾取的警報之顯 示作用的區域。 -當該裝置係被裝配具有測量感應器時，其中該等測 量感應器係可特別地用以測量該等管路中之現有的壓力， 則一藉由該控制機構所控制的工作係有關於計算該等測量 感應器所拾取的測量値，並且係有關於將該等數値顯示於 該接觸感應螢幕之上，並且該等主要控制區中之一者係爲 —可用以在該接觸感應螢幕之上啓動顯示該等被拾取的測 量値。 -當該裝置係被裝配具有測量感應器時，其中該等測 量感應器係可特別地用以測量該等管路中之現有的壓力， 則該操作機構包括有一機構係可用以將一方塊圖儲存於記 憶裝置之中，其中該方塊圖係特別地代表該用以分配該工 作氣體的裝置之該等連續的管路以及該等被裝設於該等管 路之中的閥門，一藉由該控制機構所控制的工作係有關於 rf*算該等測量感應器所拾取的測量値，並且係有關於將該 分配裝置之被記錄於該記憶儲存機構之中的方塊圖與該等 測里感應器所拾取的測量値一起顯示於該接觸感應營幕之 上，並且該等主要控制區中之—者係爲—可用以在該接觸 感應螢幕之上啓動顯示該方塊圖以及該等被拾取的測量値 _________7 本紙張尺度適用巾國國^準（CNS) M規格（210 x 297公黎) - 五、發明説明（ A7 B7 經濟部.中央標準局員工消費合作杜印製 此外，本發明的主題係爲一種可用以分配一工作氣體 之設備，其特徵在於，該設備係包括有可用以分配一工作 氣體之一第一分配裝置以及一第二分配‘裝置，該第一分配 裝置和第二分配裝置係成串聯方式排列广並且其命令控制 單元係可互相連通，就該第一分配裝置而論，該第二分配 裝置係爲一功能元件，該第一分配裝置的控制機構之一工 作係有關於監控該第二分配裝置的操作狀態，其中該第一 分配裝置係視該第二分配裝置的操作狀態爲一功能元件， 並且該第一分配裝置之接觸感應螢幕的該等主控制區中之 一者係爲一區域而可用以啓動，以能夠將與該第二分配裝 置的操作狀態相關的資料顯示於該第一分配裝置的接觸感 應螢幕之上。 根據本發明的設備係可附帶地具有隨後所述之特徵： -當該第二分配裝置係被裝配具有測量感應器時，其 中該等測量感應器係可特別地用以測量該等管路中之現有 的壓力，則該第一分配裝置的操作機構包括有一機構係可 用以將一方塊圖儲存於記憶裝置之中，其中該方塊圖係特 別地代表該用以分配該工作氣體的第二分配裝置之該等連 續的管路以及該等被裝設於該等管路之中的閥門，一藉由 該第一分配裝置之控制機構所控制的工作係有關於計算該 第二分配裝置的該等測量感應器所拾取的測量値，並且係 有關於將該第二分配裝置的方塊圖與該第二分配裝置的該 等測量感應器所拾取的測量値一起顯示於該第一分配裝置 請 先 閱 讀 背 意 再 麵 頁 裝 訂 〇 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（纟） i. 的接觸感應螢幕之上，並且該第一分配裝置之接觸感應螢 幕的該等主控制區中之一者係爲一區域而可用以啓動，以 能夠將該第二分配裝置的方塊圖與該第二分配裝置的該等 一 測量感應器所拾取的測量値一起顯示於該第一分配裝置的 接觸感應螢幕之上。 / 此外，本發明的主題係爲一種可用以供應一工作氣體 之設備，該設備係包括有一低壓的工作氣體之至少一來源 ，該來源係被設置於一隔離室之中，其特徵在於，該設備 係包括有如先前所界定的分配裝置，係被連接到該至少一 來源之上，並且係被裝設於該隔離室之中，並且該分配裝 置的接觸感應螢幕係被植入於該隔離室的外壁之中。 根據本發明之可用以供應工作氣體之設備係可附帶地 具有隨後所述之一種或是多種特徵： -當該來源係爲一汽缸時，該分配裝置的控制機構所 控制之一工作係有關於該等周期的命令，係可在每一次藉 由一充滿的汽缸以更換一空的汽缸的操作之前或之後用以 將該等管路沖洗出去，並且該接觸感應螢幕的該等主控制 區中之一者係爲一區域而可用以啓動針對該等閥門之命令 ，以便能夠啓動該等沖洗周期。 -當該設備係包括有工作氣體之一第一來源以及一第 二來源時，其中該第一來源以及一第二來源係可被連接到 該分配裝置之上，並且其目的係可用以交換地供應該分配 裝置’則該分配裝置的控制機構所控制之一工作係有關於 該等命令’係可從該分配裝置係藉由該第一來源來供應切 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 ___ B7 _ 五、發明説明（q ) ^ 換到該分配裝置係藉由該第二來源來供應，並且該接觸感 應螢幕的該等主控制區中之一者係爲一區域而可用以啓動 針對該等閥門之命令，以便能夠實施該切換動作。 本發明之其他的特性和優點將可從隨後的描述之中出 現，將可藉由非限制性的實施例之方式/並參考隨後所附 的圖形，其中： (一）、圖式部份： 第一圖：係爲根據本發明之一種可用以供應工作氣體 的設備之一立體外觀示意圖，其中該設備係被裝配具有一 可用以分配此供應氣體之裝置。 第二圖：係爲該被安裝於第—圖所示的設備之中的工 作氣體分配裝置的管路之一圖式。 第三圖：係爲一用於根據本發明之工作氣體分配裝置 的命令和控制單元之一方塊圖。 第四圖：係爲根據本發明之工作氣體分配裝置的接觸 感應螢幕之一圖解。 第五圖：係爲該接觸感應螢幕上之一顯示裝置之一第 一實施例。 第六圖：係爲該接觸感應螢幕上之一顯示裝置之一第 二實施例。 第七圖：係爲該接觸感應螢幕上之一顯示裝置之一第 三實施例。 第八圖：係爲該接觸感應螢幕上之一顯示裝置之一第 四實施例。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（2丨0 <297公釐） 五、發明説明（ 第九圖 五實施例。 (二）、 (1 ) (5 ) (9 ) (10 (11 (15 (21 (24 (25 (27 (29 (31 (33 (34 (34 (35 (35 (37 (41 (43 (45 A7 B7 :係爲該接觸感應螢幕上之一顯示裝置之一第 圖號部份 設備 汽缸 第一分配裝置 A )輸出管 )管路 )主要管路 )沖洗管 )真空發生器 )功能元件 )截流閥 )調節閥 )感應器 )平衡器 )氣體洩漏檢測器 A)氣體洩漏檢測器 )命令控制單元 A)命令控制單元 )連通機構 )工作記憶裝置 )臨界記憶裝置 )操作機構 請 先 閱 讀 背 意 I 頁 裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (3 )隔離室 (7 ) 缸 (9 A)第二分配裝置 (1 0 B)消費站 (1 3 )管路 (1 7)共通管 (2 3 )抽氣管 (2 5 A)功能元件 (2 7 A)截流閥 (2 9 A)調節閥 (3 1 A)感應器 (3 9 )控制機構 (4 7)接觸感應螢幕 11 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 五、發明説明（？） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印製 (4 8 )儲存機構 (4 9 )第一區域 (5 0)圖解 (51)圖解 (5 2 )圖解 (5 3 )圖解 (5 4)圖解 (5 5 J圖解 (5 6 )圖解 (5 7)圖解 (5 8 )圖解 (6 0 )主控制區 (61)主控制區 (6 2)主控制區 (6 3 )主控制區 (6 4)主控制區 (6 5 )主控制區 (6 6 )主控制區 (6 7)主控制區 (6 8 )主控制區 (7 0 )指定機構 (7 2 )著色盒 (8 0 )第二區域 (8 1 )圖解 (8 2 )圖解 (8 3 )圖解 (8 4)圖解 (9 1 )第二控制區 (9 2 )第二控制區 (9 3)第二控制區 (9 4)第二控制區 (1 〇 〇)第三區域 (1 0 2 )顯示區域 (1 0 4)資料顯示區域 1 〔較佳實施例的詳細說明〕 - 第一圖係爲一下半部被切開的外觀示意圖，其中第— 圖係顯示出一種可用以供應一工作，氣體之設備（1 )，舉例 而言’該工作氣體特別爲例如是氯（c 1 2 )，氨（N Η 3 )，氫氯酸（H C 1 ) ’氫溴酸（Η B r )，三氟化氮（ν F 3 )或/、每化鎢（WF.6)等寺的氣體，其目的係可用以供 ___._^12 本紙張尺度ϋϊ7國國家標CNS ) Λ4規格（------------ (請先閱讀背面之注意事項再#f本頁) -裝· '丁 線 i 五、發明説明（π ) 應一個或是多個消費此等氣體的供應站，更特別地，係可 用以供應該等用以製造微電子電路的製造站。 該設備（1 )係包括一隔離室（3 )，其中在一方面， 從圖式的斷面之中將可以看出，兩用以加壓該工作氣體之 汽缸（5，7 )係被安裝於該隔離室（)之中，並且在 另一方面，一用以分配該工作氣體之裝置（9 )係被安裝 於該隔離室（3 )之中，其中該分配裝置（9 )之兩可分 別連接到該兩汽缸（5，7 )之上的管路（1 1，1 3 ) 係可從圖式之中被看出。 該設備（1 )係藉由它的輸出管（1 0 )而可被連接 到一可甩以分配工作氣體的第二裝置（9 A)之上，其中 該第二分配裝置（9 A)係可經由它的輸出管（1 〇 A ) 而能夠同時地將該工作氣體供應到數個消費站（1 Ο B ) 之上。 在第二圖之中將能夠看出，該用以分配該設備（1 ) 的工作氣體之裝置（9 )係包括有連續的管路，其中更特 別地該等連續之管路係可用於該每一汽缸（5，7 )，並包 括一主要管路（1 5 )係可經由一共通管（1 7 )而被連 接到輸出管（1 0 )，藉此可用以將工作氣體輸送到消費站 (1 Ο B )，並包括沖洗管（2 1 )以及抽氣管（2 3 )， 其中該等抽氣管（2 3 )係可經由一真空發生器（2 4 ) 之驅動而能夠在隔離室（3)之中造成部分的真空狀態。 爲了能夠調節各種管路之中各種不同的氣流，並且爲 了能夠監控該分配裝置（9 )的操作狀態，該分配裝置（ .__13_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α·4規格（210:< 297公釐） B7 五、發明説明（Μ ) 9 )係包括有功能元件（2 5 )，例如是該等被裝設於各種 管路（1 5 ’ 1 7，2 1，2 3 )之中的截流閥（2 7 ) 以及調節閥（2 9 )，該等可用以測量壓力的感應器（3 1 特別是可用以測量該等主要管路)之中現有的壓 力之感應器（3 1 )，以及平衡器（3 3")，其中當該等汽 缸（5 ’ 7 )之中充滿一液化氣體時，該等平衡器（3 3 )係可用以稱量該等汽缸（5，7)之重量以能夠決定該 等汽缸（5，7 )之中液化氣體的充滿程度，或者甚至包 括有氣體洩漏檢測器（3 4 )係被裝設於該設備（1 )的 隔離室（3 )之中。 在第三圖的圖式之中將能夠看出，此等功能元件（2 5 )皆可被連接到一命令控制單元（3 5 )之上。 該可用以命令式控制該等功能元件（2 5 )的命令控 制單元（3 5 )係包括有一可與該等功能元件（2 5 )連 逋的機構（3 7 )，以及一機構（3 9 )係被連接到該機構 (3 7 )之上，其中該機構（3 9)係可用以控制各種與 該等功能元件（2 5 )相關的工作，而此等工作係可被儲 存於一工作記憶裝置（4 1 )之中。 舉例而言，此等工作係牽涉到：將該等感應舉（3 1 )所感測到的測量値和/或該等平衡器（3 3 )所拾取的 測量値與一臨界記'憶裝置（4 3 )之中所記錄之預定的臨 界値做比較，假如該等測量値中之一者超過對應之臨界値 的話將可產生一警報信號，並且可能地，將可根據’報之 預定的優先程度而部分地或完全地將該設備（1)關閉。 --_14__'___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） ' ： '~~' 經濟部中央標準局員工消費合作.社印製 A7_5Z_____ 五、發明説明（p) 一. 在此情況之下，該機構（3 9 )係可經由該連通機構（3 7)而能夠命令關閉該設備C1 )之部分的閥門。 舉例而言，其他的工作係牽涉到控制該等截流閥（2 7 )以及調節閥.（2 9 )，其中舉例而言^該用以供應該分 配裝置（9 )的汽缸（5 )實際上係內都中空的，並旦射* 對該分配裝置（9 )的供應動作將必須於隨後被切換到胃 汽缸（7)之上，並且反之亦然。 然而，另一項工作係有關於藉由使用該等氣體洩_@ 測器（3 4 )以能夠檢測氣體之洩漏，並且假如此一氣 洩漏被檢測到的話，將可產生一警報信號，並且將可部分 地或完全地將該設備（1 )關閉。 更進一步地，一可用以配合一特殊工作之特定的功能 元件（2 5 )係可藉由第二分配裝置（9 A)而被構成’ 其中只有該第二分配裝置（9 A)的命令控制單元（3 5 A)以及被連接到該命令控制單元（3 5 A)之上的功能 元件（2 5 A)係被顯示於第三圖之中。 已知第二分配裝置（9 A)的結構係相當於第一分配 裝置（9 )的構造，在此範圍置之內，該第二分配裝置（ 9 A )亦包括有連續的管路以及功能元件（2 5 A )’其中 該等功能元件例如是被裝設於各種管路之中而能夠用以調 節工作氣體之氣流的截流閥（2 7 A)以及調節閥（2 9 A )，可用以測量該等主要管路之中現有的壓力之感應器（ 3 1 A )，以及氣體洩漏檢測器（3 4 A )’因此’該等管 路以及閥門之特殊的設置將不再更詳細地被描述。 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意卞項再頁) •裝. 丁 、-* 線 A7 B7 經濟部中夬標準局員工消費合作衽印製 五、發明説明（β) -f 無論如何’應該注意到，該第二分配裝置（9 A)的 命令控制單元（3 5 A)係相同於該第一分配裝置（9 ) 的命令控制卓兀（3 5 )。 * 第三圖之中係顯示出，該命令控制單元（3 5 A)係 被連接到命令控制單元（3 5 )的連通_構（3 7 )之上 〇 一可經由連通機構（3 7)而被該控制機構（3 9 ) 控制之特定的工作係有關於該第二分配裝置（9 A)之操 作狀態的監控作用。 更特別地，該等感應器（3 1 A)所測量到的壓力値 以及該等氣體洩漏檢測器（3 4 )所檢測到的任何洩漏作 用係可被傳遞到該控制機構（3 9 )之上。 該等各種不同的工作係儘可能依序而平行地能夠容易 地被該控制機構（3 9 )所控制’或者該等各種不同的工 作將可只有在檢測到一事件發生時被控制，舉例而言，該 事件例如是檢測到一警報之發生。 此外，該命令控制單元（3 5 )包括有一機構（4 5 )係可用以操作該控制機構（3 9 )，舉例而言，藉此將容 許一操作者能夠開始一工作，或者將能夠選擇並界定欲控 制一工作所需之特定的參數。 基於此一理由，該操作機構（4 5 )係包括有一接觸 感應螢幕（4 7)以及一可儲存於該等欲被顯示於該接觸 感應螢幕（4 7)之上的記憶圖形或圖解之中的機構（4 8)。 (請先閱讀背面之注意事項再本Ϊ •裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210 x 297公麓） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（) 一 ·. 在第一圖之中將能夠看出，該接觸感應螢幕（4 7) 係被植入該設備（1)的隔離室（3)之上半部的外壁之 中，以致於該接觸感應螢幕（4 7 )係能夠淸楚地看得見 ，並且將使得一負責監控該設備（10的操作者能夠容易 看見。 該接觸感應螢幕（4 7 )係可更詳細地被顯示於第四 圖之中。參考第四圖，該接觸感應螢幕（4 7 )的底部係 包括有一第一區域（4 9 )，其中圖解（5 0，5 Γ，5 2 ，5 3，5 4，5 5，5 6，5 7，5 8 )係可永久地被 顯示於該第一區域（4 9 )之中。該每一圖解（5 0，5 1，52，53，54，55，56，57，58)係可 在該接觸感應螢幕（4 7)之上界定出一對應之主控制區 ，其中該等主控制區係分別地藉由參考數字（6 0，6 1 ，62，63，64，65，66，67，68)來表示 ，換言之，藉由該等主控制區（6 0，6 1，6 2，6 3 ，6 4，6 5，6 6，6 7，6 8)之作用，一負責監控 該設備（1 )的操作者係藉由將他的手指接觸該接觸感應 螢幕（4 7 )而能夠將一與一預定之工作有關的命令輸入 該操作機構（4 5)之中。 該第一區域（4 9 )係可嚴格地被保留以供用於該等 具有可被永久顯示之對應的圖解（5 0，5 1，5 2，5 3，54，55，56，57，58)之主控制區（6 0 ，61，62，63，64, 65, 66, 67, 68)。 該等主控制區（60 ’61，62，63，64，65, 17 (請先閲讀背面之注意事項再 頁) *τ ο 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 五 A7 B7 、發明説明（) i 6 6，6 7，6 8 )係可永久地接收，以能夠接收來自於 操作者之命令。當該控制機構（3 9 )用以同時控制各種 x作時，此接收特性係特別有利，此係因爲，操作者只需 Λ 藉由啓動配合此一工作的主控區即能夠容易地操作該工作 請 先 閲 .讀. 背 輕濟部中央榡準局員工消費合作.杜印製 針對某些特定的工作，當相對應的主控制區已經被啓 ^之後，將必須要使得操作者能夠選擇或輸入一配合此一 特定：C作的參數或命令指示。 基於此一目的，該接觸感應螢幕（4 7 )在其右側（ 在第四圖之中將能夠看出）亦包括有一不同於該第一區域 (4 9 )的第二區域（8 0 )，其中該等圖解（8 1，8 2 ’ 3，8 4 )係可根據所啓動的工作而被顯示於該第二 區域（8 0 )之中，其中在此一圖式之中，該等圖解（8 1 ’ 8 2，8 3，8 4 )係只是被顯示爲顯示盒。該等圖 解（8 1，8 2，83，8 4)將可界定出第二控制區係 分別地藉由參考數字（91，92，93，94)來表示 。該等第二控制區（9 1，9 2，9 3，9 4 )將容許操 作者能夠實施各種操作而可用以配合該被啓動之特定的工 作。 當然，該等圖解（8 1，8 2，8 3，8 4)以及操 作者所能夠輸入該操作機構（4 5 )之中的操作命令係可 根據該主控制區而改變，並因此係可根據所啓動的工作而 改變。 更進一步地，在第三圖之中將能夠看出，該操作機構 % I» 裝 頁 訂 '尺度遮用中 國獨家標隼（.CNS ) Α4規格（210X297公釐）

五、發明説明（丨έ) 經濟部中央標準局s(工消費合作社印製 (4 5 )更進—步包括有一機構（7 Ο )係可用以在該接 觸感應螢幕（4 7 )之上指定一已經被操作者啓動的主控 制區或第二控制區。如第四圖之中所示，當一控制區已經 被啓動時，舉.例而言’當控制區( 6Ό )已經被啓動時.，' 該指定機構（7 0 )將使得該控制區（&〇 )能夠被顯示 於該接觸感應螢幕（4 7 )之上，舉例而言，將使得一包 圍該被啓動的主要控制區（6 0 )之著色盒（7 2 )能夠 被顯示妗該接觸感應螢幕（4 7 )之上。藉由此一方式， 操作者將能夠一直保持被通知該接觸感應螢幕（4 7 )之 上所顯示出之目前的工作情形。 :更進一步地，該接觸感應螢幕（47 )在其頂部之上 係包括有一不同於該第一控制區（4 9 )和第二控制區（ 8 0 )的第三控制區（1 0 0 )，其中該第三控制區（1 〇 0 ):係被保留而可用以顯示與操作者所啓動之主控制區相 關的資料。 —可用以顯示出目前時間的區域（1 〇 2)係被界定 於該第二區域（·8 〇 )之上方並位於第三區域（1 〇 〇 ) 之右側。 該接觸感應螢幕（47 )之其餘的元件，該第三控制 區（1 0 0 )，第二控制區（8 0 )以及第一控制區（4 9 )所包圍的區域其目的主要係能夠在當一配合此一工作的 主要控制區已經被操作者所啓動時能夠用以顯示出與藉由 該控制機構（3 9 )所控制的工作之控制作用有關的資料 〇 ____ 19, ^---------l· — 裝 l· — |_! (請先閲讀背面之注意节項再本頁.) 1..^ :1-，..·. • n^i tn .•ο 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210>< 297公釐） A7 __B7__一 五、發明説明（丨7 ) i - 有利地，當無任何第二控制區（8 0 )可用以配合一 主控制區所啓動之一特定工作時，該區域（1 0 4 )係可 被放大，並且亦包括有該第二控制區（8 0 )。 該裝置（9 )利用該接觸感應螢幕\4 7)的操作之 各種不同的實施例將於以下的說明之中被榼述。 舉例而言，在第四圖之中，圖解（5 0 )係顯示出一 鈴鐘，其中在該鈴鐘之下方係寫著“警報”，並且該圖解 (5 0 )係界定出與該控制機構（3 9 )所控制之管理和 顯示警報之工作有關的主控制區（6 0 )，其中該控制機構 (3 9 )已經在以上的說明之中被描述。假如操作者啓動 該主控制區（6 0 )的話，然後該等被取出的警報係可如 第五圖之中所示地被顯示於該接觸感應螢幕（4 7 )的區 域（1 0 4)之中。 此外，該等圖解（8 1，8 2，8 3，8 4 )係可界 定出與該接觸感應螢幕（4 7 )之上所顯示出的警報之管 理和顯示有關的第二控制區（91，92，93，94)。 舉例而言，啓動該圖解（S 2 )所界定出的第二控制區（ 9 2 )將可容許該警報之一經歷過程能夠被顯示出來。 在第四圖之中的圖解（51)係顯示出具有數値的顯 示單元，其中在該顯示單元之下方係寫著“壓力”。該圖 解（5 1 )係界定出該可配合一工作的啓動之主控制區（ 6 1 )’其中該工作係有關於拾取該等感應器（3 1 )以及 該等平衡器（3 3 )所測量到的壓力値和重量値，並且係 可如第六圖之中所示地將該等數値顯示於該接觸感應螢幕 _________ 20_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 ----_ 五、發明説明（ίΠ (4 7)之上。 在第四圖之中的圖解（5 2 )係顯示出管路以及被連 接到該等管路之上的汽缸，其中在圖解之下方係寫著“圖 解”。該圖解（5 2 )係界定出該可配洽'一工作的啓動之主 控制區（6 2 )’其中該工作係有關於拾該等感應器（3 1 )以及該等平衡器（3 3 )所測量到的測量値，並且係 可將該分配裝置（9)之一方塊圖顯示於該接觸感應螢幕 (4 7 )之上，其中此一方塊圖以及該等被拾取的測量値 係可如第七圖之中所示地被記錄於該記憶儲存機構（4 8 )之中。 在第四圖之中的圖解（5 3 )係顯示出一氣體供應設 備（一氣室）係具有汽缸以及可用以表示汽缸之更換的箭 頭，其中在該圖解（5 3 )之下方係寫著汽缸”。該圖 解（5 3 )係界定出該可配合兩項工作之啓動的主控制區 (6 3 )。其中一項工作係有關於該等測量値的控制，以便 能夠實施該等沖洗周期以及洩漏檢測工作，其中每一次在 —空的汽缸被一滿的汽缸所更換之前和之後，該等洩漏檢 測工作係爲必要的。另一項工作係有關於針對該等管路之 中所裝設的閥門之命令，以便能夠將藉由該兩汽缸（5， 7)中之一者來供應該分配裝置（9)之狀態下切換到藉 由另兩汽缸中（5，7 )之一者來供應該分配裝置（9 ) 之狀態中。第八圖之中係顯示出一實施例，其中係顯示出 當該主控制區（6 3 )被啓動時所顯示出的螢幕。第八圖 的左側係顯示出該設備（1 )受到汽缸（5，7 )的改變 ___ 2\_ ( CNS ) ( 210X297^"^ ) 一 五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之影響的部分之施Η，虹第八_右麵顯示出操作 者所鉍夠啓動之各種沖洗周期和洩漏檢測周期 ，舉例而言 ，操作者係藉由該等顯示盒（其中該等密碼（F丄，F 2 ，F 3 ’ F 4，F 5 )係被寫入該等顯^盒之中）所界定 出的第二控制區而能夠啓動各種沖洗周_和洩漏檢測周期 。該供應動作係可藉由啓動該等被寫上“左”和“右”之 文字的控制區而能夠被切換。 在第四圖之中的圖解（5 5 )係顯示出一分配裝置（ 9 A )的管路，其中在該圖解之下方係寫著“d D” （針 對分配裝置）。該圖解（5 5 )係界定出該可配合一工作的 啓動之主控制區（6 5 )，其中該工作係有關於該分配裝置 (9 A )的該等感應器（3 1 A )(其中該等感應器（3 1 A)係裝設成與該設備（1 )的分配裝置（9 )串聯）所 拾取的測量値之計算，並且係有關於可將該分配裝置（9 A)之一方塊圖以及該等感應器（3 1 A)所拾取的測量 値如第九圖之中所示地顯示於該接觸感應螢幕（4 7 )之 上’其中該方塊圖係被記錄於該記憶儲存機構（4 8 )之 中。 經由以上所描述的實施例將能夠看出’利用該等可用 以分配一工作氣體之裝置（9 ’ 9 A)及配備有此等裝置 之可用於供應工作氣體的設備（1)之中的接觸感應螢幕 (4 7)將能夠實質地簡化負責監控該等分配裝置（9， 9 A)和設備（丄）的操作人員之工作，並且將可容許該 等分配裝置（g，9 A)和設備（1 )能夠避免過長的以 請 先 閣 讀 背 | fi- 麵 頁 裝 訂 線 22 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) ΑΊ規格（h0'〆297*"上 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Μ ) 及成本昂貴的訓練時間。 23 (請先閲讀背面之注意卞項再填肇貢) -裝· -a 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210>< 297公釐）

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1、 一種用以分配一工作氣體之裝置，該裝置係包括 有連續的管路（1 5，2 1，2 3 )係被連接到該工作氣 體之至少一來源（5，7)之上，並且係被連接到至少一 輸出管（1 0，1 0 A)之上，而可用以將該工作氣體輸 送到一消費站（1 Ο B )，功能元件（2 5，2 5 A )，特 別是閥門（27,29,27A，29A)，係被裝設於該 等管路（1 5，2 1，2 3 )之中，並且係可被使用以調 節經由該等管路（15，2 1，2 3 )之中的工作氣體之 流量，以及氣體洩漏檢測器（3 4，3 4 A )，以及一命令 控制單元（3 5，3 5 A)係包括有一機構（3 7 )係可 與該等功能元件（2 5，2 5 A)連通，一機構（3 9 ) 係可用以控制與該等功能元件（2 5，2 5 A)有關的工 作，以及一機構（4 5)係可用以操作該控制機構（3 9 )，其中該機構（4 5)係可被該分配裝置（9，9 A)之 操作者啓動，該分配裝置（9，9 A)之特徵在於，該操 作機構（4 5 )係包括有一接觸感應螢幕（4 7 )係具有 主要控制區（60, 61，62，63，64, 65，6 6，6 7，6 8)係可用以配合祖對應之工作的控制，該 等主要控制區（60, 61，62, 63, 64, 65, 6 6，6 7，6 8 )係藉由圖解（5 0，5 1，5 2.，5 3，5 4，5 5，5 6，5 7，5 8)而被界定，其中該 等圖解係可用以配合該等工作，並且係可永久地被顯示於 該接觸感應螢幕（4 7)之上。 2、 如申請專利範圍第1項之中所述的裝置，其特徵 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

   六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1、 一種用以分配一工作氣體之裝置，該裝置係包括 有連續的管路（1 5，2 1，2 3 )係被連接到該工作氣 體之至少一來源（5，7)之上，並且係被連接到至少一 輸出管（1 0，1 0 A)之上，而可用以將該工作氣體輸 送到一消費站（1 Ο B )，功能元件（2 5，2 5 A )，特 別是閥門（27,29,27A，29A)，係被裝設於該 等管路（1 5，2 1，2 3 )之中，並且係可被使用以調 節經由該等管路（15，2 1，2 3 )之中的工作氣體之 流量，以及氣體洩漏檢測器（3 4，3 4 A )，以及一命令 控制單元（3 5，3 5 A)係包括有一機構（3 7 )係可 與該等功能元件（2 5，2 5 A)連通，一機構（3 9 ) 係可用以控制與該等功能元件（2 5，2 5 A)有關的工 作，以及一機構（4 5)係可用以操作該控制機構（3 9 )，其中該機構（4 5)係可被該分配裝置（9，9 A)之 操作者啓動，該分配裝置（9，9 A)之特徵在於，該操 作機構（4 5 )係包括有一接觸感應螢幕（4 7 )係具有 主要控制區（60, 61，62，63，64, 65，6 6，6 7，6 8)係可用以配合祖對應之工作的控制，該 等主要控制區（60, 61，62, 63, 64, 65, 6 6，6 7，6 8 )係藉由圖解（5 0，5 1，5 2.，5 3，5 4，5 5，5 6，5 7，5 8)而被界定，其中該 等圖解係可用以配合該等工作，並且係可永久地被顯示於 該接觸感應螢幕（4 7)之上。 2、 如申請專利範圍第1項之中所述的裝置，其特徵 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製· A8 B8 C8 D8 __ 六、申請專利範圍 在於，針對該至少一主要控制區（6 0，6 1，6 2，6 3，64，65，66，67，68)而言，該接觸感應 螢幕（4 7)係包括有至少一第二控制區（9 1，9 2 ’ 9 3，9 4)係可配合該至少一主要控制區（6 0，6 1 ，6 2, 63，64，65，66，67，68)，並且係 有關於一指示而可用以控制該對應於該至少一主要控制區 (60, 61，62, 63, 64, 65, 66，67, 6 8)的工作，該至少一第二控制區（9 1，9 2，9 3 ，9 4)係藉由一圖解（81，82, 8 3, 84)而被 界定，其中該圖解（9 1，9 2，9 3，9 4)係可用以 配合該指示，並且只有在當該對應的主要控制區（6 0， 61，62，63，64，65，66，67, 6 8)被 操作者啓動時才會被顯示於該接觸感應螢幕（4 7 )之上 〇 3、 如申請專利範圍第2項之中所述的裝置，其特徵 在於，該接觸感應螢幕（4 7)係包括有一第一區域（4 9)係可針對該等主要控制區（60, 61，62, 63 ，64，65, 66，67, 6 8 )而特別地被保留，以 及一第二區域（8 0 )係不同於該第一區域（4 9 )，並且 其目的係可用於該等第二控制區（9 1，9 2，9 3，9 4 )。 4、 如申請專利範圍第3項之中所述的裝置，其特徵 在於，該接觸感應螢幕（4 7)係更進一步包括有一第三 區域（1 0 0)係不同於該第一區域（4 9 )和第二區域 - ____2___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (8 0 )，並且係被保留而可用以顯示與一藉由操作者所啓 動之主要控制區（60,61，62,63,64,65 ，6 6，6 7，6 8)有關的資料。 5、 如申請專利範圍第1至4項中之任一項所述的裝 置，其特徵在於，該操作機構（4 5 )係附加地包括有一 機構（7 0)係可用以在該接觸感應螢幕（4 7)之上指 定一已經被操作者啓動的控制區域（6 0，6 1，6 2， 63，64，6 5 , 6 6, 67，68，91，92, 9 3 ， 9 4 )。 6、 如申請專利範圍第1項所述的裝置，其特徵在於 ，一藉由該控制機構（3 9 )所控制的工作係有關於管理 並且特別是有關於在該接觸感應螢幕（4 7)之上顯示出 該等功能元件（2 5，2 5 A)所檢測出的警報信號，並 且該接觸感應螢幕（4 7)的該等主要控制區（6 〇 ’ 6 1，62，63，64，65，66，67，68)中之 一者（6 0)係爲一可用以啓動該等被拾取的警報之顯示 作用的區域。 7、 如申請專利範圍第1項所述的裝置，其中該分配 裝置係被裝配具有測量感應器（3 1 )，該等測量感應器（ 3 1 )係可特別地用以測量該等管路（1 5)中之現有的 壓力，其特徵在於，一藉由該控制機構（3 9)所控制的 工作係有關於計算該等測量感應器（3 1 )所拾取的測量 値，並且係有關於將該等數値顯示於該接觸感應螢幕（4 .7 )之上，並且該等主要控制區（6 0 ’ 6 1，6 2 ’ 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） ---- ------01 — (请先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 3，64，65，66，67，68)中之一者（6 1 ) 係爲一可用以在該接觸感應螢幕（4 7)之上啓動顯示該 等被拾取的測量値。 8、 如申請專利範圍第1項所述的裝置，其中該分配 裝置係被裝配具有測量感應器（3 1 )，該等測量感應器（ 31)係可特別地用以測量該等管路中之現有的壓力’其 特徵在於，該操作機構（4 5 )包括有一機構（4 8)係 可用以將一方塊圖儲存於記慎裝置之中，其中該方塊圖係 特別地代表該用以分配該工作氣體的裝置（9)之該等連 續的管路（1 5，2 1，2 3)以及該等被裝設於該等管 路（1 5，2 1，2 3)之中的閥門（2 7，2 9)’ 一藉 由該控制機構（3 9)所控制的工作係有關於計算該等測 量感應器（3 1 )所拾取的測量値，並且係有關於將該分 配裝置（9 )之被記錄於該記憶儲存機構（4 8 )之中的 方塊圖與該等測量感應器（31)所拾取的測量値一起顯 示於該接觸感應螢幕（4 7)之上’並且該等主要控制區 (60，61，62 ’63 ’64 ’65，66，67, 6 8)中之一者（6 2)係爲一可用以在該接觸感應螢幕 (4 7)之上啓動顯示該方塊圖以及該等被拾取的測量値 0 9、 一種用以分配一工作氣體之設備，其特徵在於， 該設備係包括有如申請專利範圍第1至8項中之任一項所 述的可用以分配一工作氣體之一第一分配裝置（9)以及 一第二分配裝置（9 A )’該第一分配裝置（9 )和第二分 4 _____ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -*

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 配裝置（9 A)係成串聯方式排列，並且其命令控制單元 (3 5，3 5 A)係可互相連通，就該第一分配裝置（9 )而論，該第二分配裝置（9 A)係爲—功能元件（2 5 )，該第一分配裝置（9)的控制機構（3 9 )之一工作係 有關於監控該第二分配裝置（9 A)的操作狀態，其中該 第一分配裝置（9.)係視該第二分配裝置（9 A )的操作 狀態爲一功能元件（2 5)，並且該第一分配裝置（9)之 接觸感應螢幕（4 7)的該等主控制區（6 〇，6 1，6 2，63 ’64 ’65 ’ 66，67，68)中之一者（ 6 5 )係爲一區域而可用以啓動，以能夠將與該第二分配 裝置（9 A)的操作狀態相關的資料顯示於該第一分配裝 置（9 )的接觸感應螢幕（4 7)之上。 1 ◦、如申請專利範圍第9項之中所述的設備，其中 該第二分配裝置（9 A)係被裝配具有測量感應器（3 1 A )，該等測量感應器（3 1 A )係可特別地用以測量該等 管路中之現有的壓力，其特徵在於，該第一分配裝置（9 )的操作機構（3 9 )包括有一機構（4 8)係可用以將 一方塊圖儲存於記憶裝置之中，其中該方塊圖係特別地代 表該用以分配該工作氣體的第二分配裝置（9 A)之該等 連續的管路以及該等被裝設於該等管路之中的閥門，一藉 由該第一分配裝置（9)之控制機構（3 9)所控制的工 作係有關於計算該第二分配裝置（9 A)的該等測量感應 器（3 1 A)所拾取的測量値’並且係有關於將該第二分 配裝置（9 A)的方塊圖與該第二分配裝置（9 A)的該 ------------- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS >A4規格（210x297公釐） A8 ?88 D8_^_ 六、申請專利範圍 等測量感應器（3 1 A)所拾取的測量値一起顯示於該第 —分配裝置（9 )的接觸感應螢幕（4 7 )之上·，並且該 第一分配裝置（9 )之接觸感應螢幕（4 7 )的該等主控 制區（60，61，62，63，64 ’65’ 6 6 ’ 6 7，68)中之一者（6 5)係爲一區域而可用以啓動， 以能夠將該第二分配裝置（9 A)的方塊圖與該第二分配 裝置（9 A)的該等測量感應器（3 1 A)所拾取的測量 値一起顯示於該第一分配裝置（9)的接觸感應螢幕（4 7 )之上。 1 1、一種用以供應一工作氣體之設備，該設備係包 括有至少一在壓力下之工作氣體的來源（5，7 )，該來源 係被設置於一隔離室（3 )之中，其特徵在於，該設備係 包括有如申請專利範圍第1至8項中之任一項所述的分配 裝置（9 )，係被連接到該至少一來源（5，7 )之上，並 且係被裝設於該隔離室（3 )之中，並且該分配裝置（9 )的接觸感應螢幕（4 7)係被植入於該隔離室（3 )的 外壁之中。 1 2、如申請專利範圍第1 1項之中所述的設備，其 中，該來源係爲一汽缸，其特徵在於，該分配裝置（9) 的控制機構（3 9 )所控制之一工作係有關於該等周期的 命令，係可在每一次藉由一充滿的汽缸以更換一空的汽缸 的操作之前或之後用以將該等管路沖洗出去，並且該接觸 感應螢幕（4 7)的該等主控制區（6 0，6 1，6 2， 63，64，65，66，67’ 68)中之一者（6 3 ____________6 _ - 張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格(210 X 297公釐） " 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 _ _ D8 六、申請專利範圍 )係爲一區域而可用以啓動針對該等閥門之命令，以便能 夠啓動該等沖洗周期。 1 3、如申請專利範圍第1 1或1 2項之中所述的設 備’其中該設備係包括有工作氣體之一第一來源（5)以 及一第二來源（7 )，該第一來源（5 )以及第二來源（7 )係可被連接到該分配裝置（9 )之上，並且其目的係可 用以交換地供應該分配裝置（9 )，其特徵在於，該分配裝 置（9 )的控制機構（3 9 )所控制之一工作係有關於該 等命令，係可從該分配裝置（9 )係藉由該第一來源（5 )來供應切換到該分配裝置（9)係藉由該第二來源（7 )來供應，並且該接觸感應螢幕（4 7)的該等主控制區 (60，61，62,63,64,65,66’67, 6 8)中之一者（6 3)係爲一區域而可用以啓動針對該 等閥門之命令，以便能夠實施該切換動作。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1¾ 適 準 標 家 Μ V)/ S Ν 釐 9 2