KR19990063368A

KR19990063368A - 작동 가스 분배 장치와, 그 장치가 장착된 작동 가스 공급 설비

Info

Publication number: KR19990063368A
Application number: KR1019980057593A
Authority: KR
Inventors: 앙드레 샤방; 마르크 부르즈와; 노르베르 팡자
Original assignee: 쉬에르 피에르; 레르 리뀌드, 소시에떼 아노님. 뿌르 레뛰드 에 렉스쁠로와따시옹 데 프로세데 죠르쥬 끌로드; 앙드레 샤방; 알페 시스템 오토마시옹; 듀쇼또 에릭; 에따블리스망 라베이유
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1998-12-23
Publication date: 1999-07-26
Also published as: CN1221090A; FR2772881B1; US6273129B1; EP0926429A1; SG70661A1; TW396258B; FR2772881A1; JPH11316603A; CN1083965C

Abstract

본 발명은, 하나 이상의 작동 가스 공급원과; 작동 가스를 소비 스테이션을 향하여 운송하기 위한 하나 이상의 인출 파이프에 접속된 일련의 파이프와; 기능성 부재(25, 25A)와; 상기 기능성 부재(25, 25A)와 의사 소통하는 수단(37)과, 상기 기능성 부재(25, 25A)에 관한 태스크를 제어하기 위한 수단(39)과, 이 제어 수단(39)을 작동하기 위한 수단(45)을 포함하는 명령 제어 유닛(35, 35A);으로 구성되며, 조작자에 의해 구동가능한 작동 가스 분배 장치에 관한 것이다. 이 작동 수단(45)은 대응하는 태스크의 제어와 연관되어 있는 주요 제어 영역을 갖는 터치 스크린(47)을 포함하고, 이 주요 제어 영역은 상기 태스크와 연관된 그래픽에 의해 정해지며 이 그래픽은 상기 터치 스크린(47)상에 영구적으로 표시되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

작동 가스 분배 장치와, 그 장치가 장착된 작동 가스 공급 설비

본 발명은 작동 가스를 분배하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 사용되는 작동 가스를 공급하는 설비에 관한 것이다.

전자 회로의 제조에는 다양한 소위 작동(working) 가스, 예컨대 Cl₂, NH₃, HCl, HBr, NF₃또는 WF₆등과 같은 가스의 사용이 요구되며, 이들 가스는 대체로 가스의 유독성 및/또는 가스의 인화성 때문에 인간에게 위험한 것으로 인식되어 있다.

이 때문에 이들 가스는 가스 캐비넷의 이름으로도 알려진 가스 공급 설비내에 두 개가 한 쌍으로 배열되는 가압된 가스 실린더내에 저장된다. 그러한 가스 공급 설비에는 제어식 추출부를 갖는 안전 캐비넷과, 이 캐비넷내에 위치하는 작동 가스 분배 장치가 포함된다.

이 작동 가스 분배 장치는 가스를 공급, 분출 및 추출하기 위해 두 개의 가압된 가스 실린더에 접속되는 일련의 파이프와, 작동 가스의 흐름을 조절하기 위해 이들 일련의 파이프에 배열된 밸브와, 설비의 작동 상태를 감시하기 위해서 파이프내 존재하는 압력을 계측하는 센서와, 가스 누설 검출기를 포함한다.

가스 누설 검출기와 압력 센서에서 비롯되는 다양한 신호는 명령 제어 유닛(command-control unit)에 의해 픽업(pick-up)되어 밸브를 조절하는데 이용된다.

이 명령 제어 유닛은, 예컨대 프로그램화된 컨트롤러와, 이 컨트롤러에 접속된 표시 및 제어 패널을 포함한다.

설비의 블록 선도는 그 패널상에 그려져 있다. 상당히 많은 발광 지시기는 각각 특정 알람(alarm)과 연관되며, 설비 감시 책임을 맡은 조작자에게 알람을 경고하기 위해 이 패널상에 배열된다. 또한, 설비가 수동 모드로 작동되도록 밸브에 명령하는 스위치도 그 패널상에 설치된다. 게다가, 그 패널에 장착되고 컨트롤러에 의해 제어되는 다양한 디스플레이에는 센서에 의해 픽업된 계측 값이 나타내어진다.

전술한 바와 같이, 각종 지시기, 스위치 및 디스플레이 때문에, 표시 및 제어 패널은 일견하기에도 복잡하고 더욱이 사용자에게는 매우 친숙치 못하며, 또한 이것은 설비 감시 책임을 맡는 조작자를 훈련시키기 위해 상당히 긴 훈련 과정이 필요하다는 것을 의미한다.

따라서, 본 발명의 목적은 사용자에게 더욱 친숙하고 도움이 되는 디스플레이 및 제어 인터페이스를 갖춘 분배 장치를 제공함으로써 상기와 같은 단점을 해결하는데 있다.

이를 위해, 본 발명에서는, 하나 이상의 작동 가스 공급원과 작동 가스를 소비 스테이션을 향하여 운송하기 위한 하나 이상의 인출 파이프에 접속된 일련의 파이프와; 특히 이 파이프에 배열되어 이들 파이프를 통과하는 작동 가스 흐름을 조절하는데 사용하는 밸브와, 가스 누설 검출기를 포함하는 기능성 부재와; 상기 기능성 부재와 의사 소통하는 수단과, 상기 기능성 부재에 관한 태스크를 제어하기 위한 수단과, 이 제어 수단을 작동하기 위한 수단을 포함하는 명령 제어 유닛;으로 구성되며, 조작자에 의해 구동가능한 작동 가스 분배 장치로서, 상기 작동 수단은 대응하는 태스크의 제어와 연관되어 있는 주요 제어 영역을 갖는 터치 스크린(touch-sensitive screen)을 포함하고, 이 주요 제어 영역은 상기 태스크와 연관된 그래픽(graphics)에 의해 정해지며 이 그래픽은 상기 터치 스크린상에 영구적으로 표시되는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 분배 장치에는 다음과 같은 특징이 하나 또는 그 이상 부가될 수도 있다.

- 상기 터치 스크린은 하나 이상의 주요 제어 영역과, 상기 하나 이상의 주요 제어 영역에 대응하는 태스크를 제어하는 지시에 관하여 상기 하나 이상의 주요 제어 영역에 연관된 하나 이상의 제2 제어 영역을 포함하며, 상기 하나 이상의 제2 제어 영역은 상기 지시와 연관된 그래픽에 의해 정해지며 이 그래픽은 조작자에 의해 상기 대응하는 주요 제어 영역이 구동되는 경우에만 상기 터치 스크린상에 표시되고,

- 상기 터치 스크린에는 상기 주요 제어 영역을 위해서만 독점적으로 보존된 제1 영역과, 상기 제1 영역에서 이격되고 상기 제2 제어 영역을 위해 의도된 제2 영역을 포함하고,

- 상기 터치 스크린에는 상기 제1 제어 영역과 제2 제어 영역에서 이격되고 조작자에 의해 구동되는 주요 제어 영역에 관한 정보를 표시하기 위해 보존되는 제3 영역을 더 포함하고,

- 상기 작동 수단은 조작자에 의해 구동되는 주요 제어 영역을 터치 스크린 상에 지정하기 위한 수단을 추가로 포함하고,

- 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 기능성 부재에 의해 검출된 알람을 터치 스크린상에 관리하고 특히 표시하는 것이며, 터치 스크린의 주요 제어 영역중 하나는 픽업된 알람의 표시를 구동하기 위한 영역이고,

- 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위해서, 장치가 계측 센서를 장착한 경우, 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 상기 계측 센서에 의해 픽업된 계측 값을 평가하고 이들 값을 터치 스크린상에 표시하는 것이며, 상기 주요 제어 영역중 하나는 픽업된 계측 값을 터치 스크린상에 표시하는 것을 구동하기 위한 영역이며,

- 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위해서, 장치가 계측 센서를 장착한 경우, 상기 작동 수단은 작동 가스를 분배하기 위한 분배 장치의, 특히 일련의 파이프와, 이들 파이프에 배열된 밸브를 나타내는 블록 선도를 메모리에 저장하기 위한 수단을 포함하며, 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 상기 계측 센서에 의해 픽업된 계측 값 평가와, 상기 센서에 의해 픽업된 상기 계측 값과 함께 상기 메모리 저장 수단에 기록된 분배 장치의 블록 선도를 터치 스크린상에 표시하는 것이며, 상기 주요 제어 영역중 하나는 터치 스크린상에 픽업된 계측 값과 함께 블록 선도를 표시하는 것을 구동하기 위한 영역이다.

또한, 본 발명에서는, 작동 가스를 분배하기 위한 설비로서, 전술한 바와 같이 작동 가스를 분배하기 위한 제1 장치와 제2 장치를 포함하고, 이들 장치는 직렬로 배열되고, 이들 장치의 명령 제어 유닛은 서로 의사 소통하고, 제2 장치는 제1 장치에 관해서는 기능성 부재이고, 제1 장치의 제어 수단의 하나의 태스크는 기능성 부재로 간주된 제2 장치의 작동 상태를 감시하는 것이며, 제1 장치의 터치 스크린의 상기 주요 제어 영역중 하나는 제1 장치의 터치 스크린상에 제2 장치의 작동 상태에 관한 정보를 표시하는 것을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 설비를 제공한다.

이 작동 가스 분배 설비는 다음과 같은 특징이 부가될 수도 있다.

- 상기 제2 분배 장치에는 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위한 계측 센서가 장착되는 경우, 제1 분배 장치의 작동 수단은 작동 가스를 분배하기 위한 제2 장치의 특히 일련의 파이프와, 이들 파이프내에 배열된 밸브를 나타내는 블록 선도를 메모리에 저장하기 위한 저장 수단을 포함하며, 제1 분배 장치의 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 제2 분배 장치의 센서에 의해 픽업된 계측 값을 평가하고, 제2 분배 장치의 센서에 의해 픽업된 상기 계측 값과 함께 제2 분배 장치의 블록 선도를 제1 분배 장치의 터치 스크린상에 표시하는 것이며, 제1 분배 장치의 터치 스크린의 상기 주요 제어 영역중 하나는 제2 분배 장치의 상기 계측 센서에 의해 픽업된 계측 값과 함께 제2 분배 장치의 블록 선도를 제1 분배 장치의 터치 스크린상에 표시하는 것을 구동하기 위한 영역이다.

또한 본 발명에서는, 압력하에서 차단 캐비넷내 위치하는 하나 이상의 작동 가스 공급원을 포함하는 작동 가스 공급 설비로서, 상기 하나 이상의 공급원에 접속되고 본원에서 정의한 바와 같이 상기 차단 캐비넷내에 위치하고 분배 장치를 포함하며, 분배 장치의 터치 스크린은 상기 캐비넷의 외벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 작동 가스 공급 설비를 제공하는데 있다.

작동 가스 공급 설비에는 다음과 같은 특징이 부가될 수도 있다.

- 상기 공급원이 가스 실린더인 경우, 분배 장치의 상기 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 빈 실린더를 충만한 실린더로 교체하는 각각의 동작 이전과 이후에 파이프를 분출하기 위한 사이클의 명령에 관한 것이며, 터치 스크린의 상기 주요 제어 영역중 하나는 분출 사이클을 구동하기 위해서 밸브에 대한 명령을 구동하기 위한 영역이며,

- 분배 장치에 접속되고 선택적으로 상기 분배 장치에 공급하도록 의도된 작동 가스의 제1 공급원 및 제2 공급원을 포함하며, 분배 장치의 상기 제어 수단에 의해 제어되는 하나의 태스크는 제1 공급원에 의해 공급되는 분배 장치에서 제2 공급원에 의해 공급되는 분배 장치로 전환하기 위한 명령에 관한 것이며, 터치 스크린의 상기 주요 제어 영역중 하나는 상기 전환을 수행하기 위해서 밸브에 대한 명령을 구동하기 위한 영역이다.

본 발명의 다른 특징 및 장점은, 첨부 도면을 참조로 한 비한정적인 실시예에 관한 다음 설명으로 부터 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 작동 가스 분배 장치가 장착된 작동 가스 공급 설비의 개략 사시도이고,

도 2는 도 1의 설비에 장착된 작동 가스 분배 장치의 배관도이고,

도 3은 본 발명에 따른 작동 가스 분배 장치용 명령 제어 유닛의 블록 선도이고,

도 4는 본 발명에 따른 작동 가스 분배 장치의 터치 스크린의 다이어그램이고,

도 5는 터치 스크린상에 표시된 디스플레이의 제1 실시예이고,

도 6은 터치 스크린상에 표시된 디스플레이의 제2 실시예이고,

도 7은 터치 스크린상에 표시된 디스플레이의 제3 실시예이고,

도 8은 터치 스크린상에 표시된 디스플레이의 제4 실시예이며,

도 9는 터치 스크린상에 표시된 디스플레이의 제5 실시예이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

5, 7 : 가스 실린더

25, 25A : 기능성 부재

35, 35A : 명령 제어 유닛

37 : 의사 소통 수단

39 : 제어 수단

47 : 터치 스크린

도 1은 작동 가스, 보다 상세하게는 예컨대 Cl₂, NH₃, HCl, HBr, NF₃또는 WF₆등과 같은 가스를 공급하기 위한 설비(1)의 하부를 절개한 개략 사시도로서, 이 설비는 이러한 가스를 소비하는 하나 이상의 스테이션, 특히 마이크로전자회로용 스테이션에 공급하도록 의도된다.

이 설비(1)는 차단 캐비넷(3)을 포함하며, 이 캐비넷에는 한편으로 도 1의 절개 부분에서 볼 수 있는 바와 같이, 가압된 작동 가스의 두 개의 실린더(5)(7)와, 다른 한편으로 작동 가스 분배 장치(9)가 구성되고, 이 도면에서 볼 수 있는 바와 같이, 작동 가스 분배 장치(9)의 파이프(11)(13)는 실린더(5)(7)에 각각 접속된다.

설비(1)는 작동 가스를 분배하기 위해 인출 파이프(10)를 통해 작동 가스의 제2 분배 장치(9A)에 접속되며, 이 제2 분배 장치는 작동 가스를 그 제2 인출 파이프(10A)를 경유하여 수개의 소비 스테이션(10B)에 동시에 공급하는 역할을 수행한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 설비(1)의 작동 가스를 분배하기 위한 제1 분배 장치(9)는, 특히 각 실린더(5)(7)에 대하여, 작동 가스를 소비 스테이션(10B)에 운송하기 위해 공통 파이프(17)를 경유하여 인출 파이프(10)에 접속된 메인 파이프(15)와, 진공 발생기(24)의 작동에 의해 캐비넷(3)내의 부분 진공을 얻기 위한 분출 파이프(21)와 가스 추출 파이프(23)를 포함하는 일련의 파이프로 구성된다.

각종 파이프내 다양한 가스 흐름 조절과 제1 분배 장치(9)의 동작 상태 감시를 가능하도록 하기 위해서, 이 분배 장치는 각종 파이프(15)(17)(21)(23)에 배열된 차단 밸브(27) 및 조절 밸브(29)와, 특히 메인 파이프(15)내 존재하는 압력을 계측하기 위한 센서(31)와, 이들 실린더(5)(7)가 액화 가스로 채워질 때 그 채워지는 정도 여하를 결정하기 위해 실린더(5)(7)를 계량하기 위한 저울(33)과, 설비의 캐비넷(3)내에 배열된 가스 누설 검출기(34) 등과 같은 기능성 부재(25)를 포함한다.

도 3의 배관도에서 알 수 있는 바와 같이, 이들 기능성 부재(25)는 모두 명령 제어 유닛(35)에 접속된다.

기능성 부재(25)를 명령 제어하기 위한 이 유닛(35)은 이들 기능성 부재(25)와 의사 소통하기 위한 수단(37)과, 이 수단(37)에 접속되고 기능성 부재(25)에 관한 다양한 태스크(task)를 제어하기 위한 수단(39)을 포함하며, 이들 태스크는 태스크 메모리(41)에 저장된다.

이러한 태스크로는, 예컨대 센서(31) 및/또는 천칭(33)에 의해 픽업된 계측 값을 한계 메모리(43)(threshold memory)에 기록되어 있고 미리 정해진 한계 값과 비교하여, 계측된 값중 하나가 연관된 한계 값과 교차하는 경우 알람 신호를 발생하며, 혹은 알람의 미리 정해진 우선 순위에 따라서 설비(1)를 부분적으로 또는 완전하게 차단하는 역할이 포함된다. 본 경우에 있어서, 제어 수단(39)은 의사 소통 수단(37)을 경유하여 설비중 일부 밸브의 폐쇄를 명령한다.

다른 태스크로는, 예컨대 제1 분배 장치(9)에 가스를 공급하는 실린더(5)가 실제적으로 비워진 후에 분배 장치(9)에 공급하는 것을 다른 실린더(7)로 전환되도록 할 경우 밸브(27)(29)를 제어하는 역할이 포함되며, 이는 반대의 경우에 대해서도 동일하게 적용된다.

또 다른 태스크는 검출기(34)를 이용한 가스 누설의 검출에 관한 것으로서, 그러한 누설이 검출될 경우 알람 신호를 발생시키고 설비(1)를 부분적으로 또는 완전히 차단한다.

게다가, 특별한 태스크에 연관된 특정 기능성 부재(25)는 제2 분배 장치(9A)에 의해 정해지며, 도 3에는 명령 제어 유닛(35A)과 이 유닛(35A)에 접속된 기능성 부재(25A)만을 도시한다.

제2 분배 장치(9A)의 구조는 제1 분배 장치(9)의 구조와 유사하게 일련의 파이프와, 작동 가스의 흐름을 조절하기 위해 이들 파이프에 배열된 밸브(27A)(29A)와, 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위한 센서(31A)와, 가스 누설 검출기(34A) 등과 같은 기능성 부재(25A)를 포함하도록 구성되며, 상기 파이프와 상기 밸브들의 특별한 배열은 이후에 상세히 기술하지 않는다.

그러나, 제2 분배 장치(9A)의 명령 제어 유닛(35A)은 분배 장치(9)의 명령 제어 유닛(35)과 동일하다는 점에 주의해야 한다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 명령 제어 유닛(35A)은 유닛(35)의 의사 소통 수단(37)에 접속된다.

이 의사 소통 수단(37)을 경유하여 제어 수단(39)에 의해 제어되는 특정 태스크는 제2 분배 장치(9A)의 동작 상태 감시에 관한 것이다.

특히, 센서(31A)에 의해 계측된 압력 값과 검출기(34A)에 의해 검출된 소정의 누설 신호가 제어 수단(39)으로 전달된다.

이 제어 수단(39)은 동시에 다양한 태스크들을 용이하게 제어할 수도 있고, 또는 예컨대 알람의 검출와 같은 사건의 발생 시에만 차례로 다양한 태스크들을 제어할 수 있다.

게다가, 명령 제어 유닛(35)은 제어 수단(39)을 작동시키는 작동 수단(45)을 포함하며, 예컨대 조작자가 태스크를 구동하거나 이 태스크를 제어하기 위해 필요한 특정 파라미터를 선택 및 정의한다.

이를 위해, 작동 수단(45)은 터치 스크린(47)과, 이 터치 스크린(47)상에 표시되도록 의도된 메모리 다이어그램이나 그래픽을 저장하는 수단(48)을 포함한다.

도 1에서 알 수 있는 바와 같이, 터치 스크린(47)은 설비 감시 책임을 맡은 조작자가 선명하게 볼 수 있고 접근 가능하도록 설비(1)의 캐비넷(3) 상부의 외벽에 설치된다.

터치 스크린은 도 4에 더욱 상세히 도시된다. 도 4를 참조하면, 터치 스크린(47)은 하부에, 그래픽(50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58)이 영구적으로 표시된 제1 영역(49)을 포함한다. 이들 각각의 그래픽(50-58)은 참조번호(60-68)를 각각 가지고 주요 제어 영역과 연관되어 터치 스크린(47)의 하부에 정해지며, 즉 설비(1) 감시 책임을 맡은 조작자가 그의 손가락으로 터치 스크린(47)을 접촉함으로써, 미리 결정된 태스크에 관한 명령을 작동 수단(45)에 입력한다.

제1 영역(49)은 영구적으로 표시되고 연관되어 있는 그래픽(50-58)과 함께 이들 주요 제어 영역(60-68)에 대해 엄격하게 보존된다. 이들 주요 제어 영역(60-68)은 영구적으로 조작자로 부터의 명령을 민감하게 수용한다. 이것은 제어 수단(39)이 다양한 태스크를 동시에 제어할 때 특히 유리하다. 왜냐하면 조작자는 이러한 태스크에 연관된 주요 제어 영역을 간단히 작동시킴으로써 태스크 작동이 달성되기 때문이다.

어떤 특정 태스크에 있어서, 일단 대응하는 주요 제어 영역이 구동되면 이들 특정 태스크에 관한 파라미터 또는 명령 지시를 선택하거나 입력시킬 가능성을 조작자에게 알려 주는 것이 필요하다.

이와 같은 목적을 위해서, 터치 스크린(47)은, 또한 도 4의 우측에 도시하는 바와 같이, 제1 영역(49)에서 이격되는 제2 영역(80)을 포함하며, 이 제2 영역에는 구동되는 태스크에 따라서 본 도면에서 단지 박스로 도시되는 그래픽(81-84)이 표시된다. 이들 그래픽(81-84)은 참조 번호(91-94)를 각각 가지는 제2 제어 영역을 형성한다. 이들 제2 제어 영역은 조작자가 구동하는 특정 태스크에 관한 다양한 작업을 수행 가능하도록 한다.

물론, 그래픽(81-84)과 조작자가 작동 수단(45)을 시작할 수 있는 작동은 주요 제어 영역과 구동된 태스크에 따라서 변화한다.

게다가, 도 3에 도시하는 바와 같이, 작동 수단은 조작자에 의해 구동되는 주요 제어 영역이나 제2 제어 영역을 터치 스크린(47)상에 지정하기 위한 수단(70)을 더 구비한다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 일단 주요 제어 영역이 구동되면, 예컨대 제어 영역(60)이 구동되면, 지정 수단(70)은 터치 스크린(47)상에, 예컨대 구동된 주요 제어 영역(60)을 에워싸는 컬러 박스(72)가 표시될 수 있게 한다. 이런 방식으로, 조작자는 스크린상에 표시되는 능동 태스크에 관한 정보를 얻게 된다.

게다가, 터치 스크린(47)은 상부에, 제1 영역(49)과 제2 영역(80)에서 이격된 제3 영역(100)을 포함하며, 이 제3 영역은 조작자에 의해 구동된 주요 제어 영역에 관한 정보를 표시하기 위해 보존된다.

이 제3 영역(100)의 오른쪽, 즉 제2 영역(80) 상부에는 현재 시간을 표시하기 위한 영역(102)이 정해진다.

터치 스크린(47)의 나머지 영역(104)은 영역(100)(80)(49)으로 에워싸이고, 이 태스크에 연관된 주요 제어 영역이 조작자에 의해 구동될 때 주로 제어 수단(39)에 의해 제어되는 태스크의 제어에 관한 정보를 주로 표시하도록 의도된다.

유리하게는, 제2 제어 영역이 주요 제어 영역에 의해 구동되는 특정 태스크에 연관되지 않을 때, 영역(104)은 확대되어 또한 제2 영역(80)까지 포함한다.

터치 스크린(47)을 이용한 제1 분배 장치(9) 작동의 다양한 실시예를 이하에 기술한다.

예컨대, 도 4에서 그래픽(50)은 벨을 도시하고 그 아래에 알람(Alarm)이라고 쓰여지며, 전술한 바와 같이 제어 수단(39)에 의해 제어되는 알람을 관리하고 표시하는 태스크에 관한 주요 제어 영역(60)이 정해진다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 조작자가 이 제어 영역(60)을 작동시키면, 픽업된 알람이 터치 스크린(47)의 영역(104)에 표시된다.

또한, 그래픽(81-84)은 스크린상에 표시되는 알람의 관리 및 표시에 관한 제2 제어 영역(91-94)을 형성한다. 예컨대, 그래픽(82)으로 형성된 제2 제어 영역(92)을 작동시키면 알람의 진행 내력이 표시될 수 있다.

도 4에서 그래픽(51)은 수치 값의 표시를 나타내며 그 아래에 압력(Pressure)이라고 쓰여진다. 이 그래픽(51)은 센서(31)와 천칭(33)에 의해 계측된 압력과 무게 값을 픽업하고, 도 6에 도시하는 바와 같이 터치 스크린(47)상에 이들 값을 표시하는 것에 관한 태스크의 구동과 연관된 주요 제어 영역(61)을 형성한다.

도 4에서 그래픽(52)은 파이프와 이 파이프에 접속된 실린더를 도시하며, 그 아래에 다이어그램(Diagram)이라고 쓰여진다. 이 그래픽(52)은 센서(31)와 천칭(33)에 의해 계측된 압력과 무게 값을 픽업하고, 장치의 블록 선도를 터치 스크린상에 표시하는 것에 관한 태스크의 구동에 연관된 주요 제어 영역(62)을 형성하며, 이 블록 선도는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 센서에 의해 픽업된 계측 값과 함께 메모리 저장 수단(48)에 기록된다.

도 4에서 그래픽(53)은 실린더들 및 실린더들의 교환을 의미하는 화살표가 있는 가스 공급 설비(가스 캐비넷)를 도시하며, 그 아래에 실린더들(Cylinders) 이라고 쓰여져 있다. 이 그래픽(53)은 두가지 태스크의 구동과 연관되어 있는 주요 제어 영역(63)에 정해진다. 이들 태스크중 하나는 빈 실린더를 충만한 실린더로 대체하기 이전 및 이후 각 시간에 필요한 누설 체크와 분출 사이클을 수행하기 위한 밸브 제어에 관한 것이다. 다른 태스크로는 실린더(5)(7)중 하나에 의해 공급되는 분배 장치(9)에서 다른 실린더(7)(5)에 의해 공급되는 분배 수단으로 전환하기 위해서 파이프내에 배열된 밸브에 대한 명령에 관한 것이다. 주요 제어 영역(63)을 구동할 때 표시된 스크린의 일 실시예가 도 8에 도시된다. 이 도면에서, 좌측에는 실린더의 변화에 영향을 받는 설비(1) 일부의 블록 선도가 나타내지며, 우측에는 예컨대 코오드 F1에서 F5까지 쓰여진 박스로 형성된 제2 제어 영역에 의해서 조작자에 의해 구동될 수 있는 다양한 누설-체크 및 분출 사이클이 나타난다. 공급은 제어 영역을 구동시킴으로써 전환 가능하고, 제어 영역에는 단어 좌측 및 우측이라고 쓰여진다.

도 4에서 그래픽(55)에는 그 아래에 DD(분배 장치(Distribution Device)의 첫글자)라고 쓰인 분배 장치의 파이프가 도시된다. 이 그래픽(55)은, 설비(1)의 제1 분배 장치(9)와 연속 위치하는 제2 분배 장치(9A)의 센서(31A)에 의해 픽업된 계측 값의 평가와, 제2 분배 장치(9A)의 블록 선도를 터치 스크린상에 표시하는 것에 관한 태스크의 구동과 연관되어 있는 주요 제어 영역(65)이 정해지며, 도 9에 도시하는 바와 같이, 이 블록 선도는 센서(31A)에 의해 픽업된 계측 값과 함께 메모리-저장 수단(48)에 기록된다.

기술한 실시예를 통해 작동 가스를 분배하기 위한 장치와, 이 장치를 장착하고 작동 가스를 공급하기 위한 설비와 관련해서 터치 스크린(47)을 사용하면 설비 감시 책임을 맡은 조작자의 일이 실질적으로 간단해지고 조작자의 장기간에 걸친 고비용의 훈련 과정을 피할 수 있음을 알 수 있다.

Claims

하나 이상의 작동 가스 공급원(5, 7)과; 작동 가스를 소비 스테이션(10B)을 향하여 운송하기 위한 하나 이상의 인출 파이프(10, 10A)에 접속된 일련의 파이프(15, 21, 23)와; 특히 이 파이프(15, 21, 23)에 배열되어 이들 파이프를 통과하는 작동 가스 흐름을 조절하는데 사용하는 밸브(27, 29, 27A, 29A)와, 가스 누설 검출기(34, 34A)를 포함하는 기능성 부재(25, 25A)와; 상기 기능성 부재(25, 25A)와 의사 소통하는 수단(37)과, 상기 기능성 부재(25, 25A)에 관한 다양한 태스크를 제어하기 위한 수단(39)과, 이 제어 수단(39)을 작동하기 위한 수단(45)을 포함하는 명령 제어 유닛(35, 35A);으로 구성되며, 조작자에 의해 구동가능한 작동 가스 분배 장치로서,

상기 작동 수단(45)은 대응하는 태스크의 제어와 연관되어 있는 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)을 갖는 터치 스크린(47)을 포함하고, 이 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)은 상기 태스크와 연관된 그래픽(50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58)에 의해 정해지며 이 그래픽은 상기 터치 스크린(47)상에 영구적으로 표시되는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제1항에 있어서, 상기 터치 스크린(47)은 하나 이상의 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)과, 상기 하나 이상의 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)에 대응하는 태스크를 제어하는 지시에 관하여 상기 하나 이상의 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)에 연관된 하나 이상의 제2 제어 영역(91, 92, 93, 94)을 포함하며, 상기 하나 이상의 제2 제어 영역(91, 92, 93, 94)은 상기 지시와 연관된 그래픽(81, 82, 83, 84)에 의해 정해지며 이 그래픽은 조작자에 의해 상기 대응하는 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)이 구동되는 경우에만 상기 터치 스크린(47)상에 표시되는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제2항에 있어서, 상기 터치 스크린(47)에는 상기 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)을 위해서만 독점적으로 보존된 제1 영역(49)과, 상기 제1 영역(49)에서 이격되고 상기 제2 제어 영역(91, 92, 93, 94)을 위해 의도된 제2 영역(80)을 포함하는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제3항에 있어서, 상기 터치 스크린(47)에는 상기 제1 제어 영역(49)과 제2 제어 영역(80)에서 이격되고 조작자에 의해 구동되는 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)에 관한 정보를 표시하기 위해 보존되는 제3 영역(100)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 작동 수단(45)은 조작자에 의해 구동되는 주요 제어 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68; 91, 92, 93, 94)을 터치 스크린상에 지정하기 위한 수단(70)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 기능성 부재(25, 25A)에 의해 검출된 알람을 터치 스크린(47) 상에 관리하고 특히 표시하는 것이며, 터치 스크린의 주요 제어 영역중 하나(60)는 픽업된 알람의 표시를 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위해서 계측 센서(31)를 장착한 분배 장치로서, 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 상기 계측 센서(31)에 의해 픽업된 계측 값을 평가하고 이들 값을 터치 스크린(47) 상에 표시하는 것이며, 상기 주요 제어 영역중 하나(61)는 픽업된 계측 값을 터치 스크린 상에 표시하는 것을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위해서 계측 센서(31)를 장착한 분배 장치로서, 상기 작동 수단(45)은 작동 가스를 분배하기 위한 제1 분배 장치(9)의, 특히 일련의 파이프들(15, 21, 23)과, 이들 파이프에 배열된 밸브(27, 29)를 나타내는 블록 선도를 메모리에 저장하기 위한 저장 수단(48)을 포함하며, 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 상기 센서(31)에 의해 픽업된 계측 값을 평가하고 상기 센서(31)에 의해 픽업된 상기 계측 값과 함께 상기 메모리 저장 수단(48)에 기록된 분배 장치(9)의 블록 선도를 터치 스크린(47)상에 표시하는 것이며, 상기 주요 제어 영역중 하나(62)는 터치 스크린(47)상에 픽업된 계측 값과 함께 블록 선도를 표시하는 것을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 장치.
작동 가스를 분배하기 위한 설비로서, 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 따른 작동 가스를 분배하기 위한 제1 장치(9)와 제2 장치(9A)를 포함하고, 이들 장치는 직렬로 배열되고, 이들 장치의 명령 제어 유닛(35, 35A)은 서로 의사 소통하고, 제2 장치(9A)는 제1 장치(9)에 관해서는 기능성 부재(25)이고, 제1 장치(9)의 제어 수단(39)의 하나의 태스크는 기능성 부재(25)로 간주된 제2 장치 (9A)의 작동 상태를 감시하는 것이며, 제1 장치(9)의 터치 스크린의 상기 주요 제어 영역중 하나(65)는 제1 장치(9)의 터치 스크린(47)상에 제2 장치(9A)의 작동 상태에 관한 정보를 표시하는 것을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 설비.
제9항에 있어서, 상기 제2 분배 장치(9A)에는 특히 파이프내 존재하는 압력을 계측하기 위한 계측 센서(31A)가 장착되어 있고, 제1 분배 장치(9)의 작동 수단(39)은 작동 가스를 분배하기 위한 제2 분배 장치(9A)의 특히 일련의 파이프와, 이들 파이프내에 배열된 밸브를 나타내는 블록 선도를 메모리에 저장하기 위한 저장 수단(48)을 포함하며, 제1 분배 장치(9)의 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 제2 분배 장치(9A)의 센서(31A)에 의해 픽업된 계측 값을 평가하고, 제2 분배 장치(9A)의 센서에 의해 픽업된 상기 계측 값과 함께 제2 분배 장치(9A)의 블록 선도를 제1 분배 장치(9)의 터치 스크린(47)상에 표시하는 것에 관한 것이며, 제1 분배 장치의 터치 스크린(47)의 상기 주요 제어 영역중 하나(65)는 제2 분배 장치(9A)의 상기 계측 센서(31A)에 의해 픽업된 계측 값과 함께 제2 분배 장치(9A)의 블록 선도를 제1 분배 장치(9)의 터치 스크린 (47)상에 표시하는 것을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 분배 설비.
압력하에 차단 캐비넷(3)내 위치하는 하나 이상의 작동 가스 공급원(5, 7)을 포함하는 작동 가스 공급 설비로서, 상기 하나 이상의 공급원(5, 7)에 접속되고 상기 차단 캐비넷(3)내에 위치하는 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 따른 분배 장치(9)을 포함하며, 분배 장치(9)의 터치 스크린(47)은 상기 캐비넷(3)의 외벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 작동 가스 공급 설비.
제11항에 있어서, 상기 공급원이 가스 실린더이고, 분배 장치(9)의 상기 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 빈 실린더를 충만한 실린더로 교체하는 각각의 동작 이전과 이후에 파이프를 분출하기 위한 사이클의 명령에 관한 것이며, 터치 스크린(47)의 상기 주요 제어 영역중 하나(63)는 분출 사이클을 구동하기 위해서 밸브에 대한 명령을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 공급 설비.
제11항 또는 제12항에 있어서, 분배 장치(9)에 접속되고 선택적으로 상기 분배 장치(9)에 공급하도록 의도된 작동 가스의 제1 공급원(5) 및 제2 공급원(7)을 포함하며, 분배 장치(9)내 상기 제어 수단(39)에 의해 제어되는 하나의 태스크는 제1 공급원(5)에 의해 공급되는 분배 장치(9)에서 제2 공급원(7)에 의해 공급되는 분배 장치로 전환하기 위한 명령에 관한 것이며, 터치 스크린(47)의 상기 주요 제어 영역중 하나(63)는 상기 전환을 수행하기 위해서 밸브에 대한 명령을 구동하기 위한 영역인 것을 특징으로 하는 작동 가스 공급 설비.